JP6616606B2 - Industrial robot - Google Patents

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Description

本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。   The present invention relates to an industrial robot that transports a predetermined transport object.

従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドの２個のハンドと、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材を保持するアームとを備えている。第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材は、水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように、アームに保持されている。アームに対する第１ハンド支持部材および第２ハンド支持部材の移動方向から見たときに、第１ハンドと第２ハンドとは上下方向で重なっている。   Conventionally, an industrial robot that transports a glass substrate for a liquid crystal display is known (for example, see Patent Document 1). In the industrial robot described in Patent Document 1, two hands, a first hand and a second hand, on which a glass substrate is mounted, a first hand support member to which the first hand is fixed, and a second hand are fixed. A second hand support member, and an arm for holding the first hand support member and the second hand support member. The first hand support member and the second hand support member are held by the arm so as to be linearly reciprocable in the same horizontal direction. When viewed from the moving direction of the first hand support member and the second hand support member relative to the arm, the first hand and the second hand overlap in the vertical direction.

特開２０１５−８０８２８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2015-80828

近年、ガラス基板等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットが設置される製造システムでは、タクトタイムの短縮化が求められている。そこで、本発明の課題は、産業用ロボットが設置される製造システムのタクトタイムを短縮することが可能な産業用ロボットを提供することにある。   In recent years, in a manufacturing system in which an industrial robot that transports an object to be transported such as a glass substrate is installed, a reduction in tact time is required. Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot capable of shortening the tact time of a manufacturing system in which the industrial robot is installed.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が個別に搭載されるとともに同じ高さで配置される複数のハンドと、複数のハンドのそれぞれが固定される複数のハンド支持部材と、複数のハンド支持部材が水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように複数のハンド支持部材を保持する保持部材と、保持部材に対して複数のハンド支持部材のそれぞれを個別に往復移動させる複数のハンド駆動機構とを備えるとともに、保持部材に対するハンド支持部材の移動方向を第１方向とし、水平方向であってかつ第１方向に直交する方向を第２方向とすると、ハンドとして、第１方向から見たときに第２方向で隣り合うように同じ高さで配置される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１方向から見たときに上下方向で第１ハンドと重なるように第１ハンドの下側に配置される第３ハンドと、第１方向から見たときに上下方向で第２ハンドと重なるように第３ハンドと同じ高さで第２ハンドの下側に配置される第４ハンドとを備え、ハンド支持部材として、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第３ハンドが固定される第３ハンド支持部材と、第４ハンドが固定される第４ハンド支持部材とを備え、ハンド駆動機構として、第１ハンド支持部材を往復移動させる第１ハンド駆動機構と、第２ハンド支持部材を往復移動させる第２ハンド駆動機構と、第３ハンド支持部材を往復移動させる第３ハンド駆動機構と、第４ハンド支持部材を往復移動させる第４ハンド駆動機構とを備え、保持部材は、第１ハンド支持部材と第３ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第１保持部材と、第２ハンド支持部材と第４ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第２保持部材とを備え、ハンド駆動機構は、駆動源となるハンド駆動モータと、ハンド駆動モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸の外周面に形成されるオネジに係合するメネジが内周側に形成されるナット部材を有しハンド支持部材を第１方向へ送る送り機構と、第１方向へハンド支持部材を案内するハンドガイド機構とを備え、第１ハンド駆動機構の送り機構を第１送り機構とし、第１ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第１ハンドガイド機構とし、第１ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第１ハンド駆動モータとし、第２ハンド駆動機構の送り機構を第２送り機構とし、第２ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第２ハンドガイド機構とし、第２ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第２ハンド駆動モータとし、第３ハンド駆動機構の送り機構を第３送り機構とし、第３ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第３ハンドガイド機構とし、第３ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第３ハンド駆動モータとし、第４ハンド駆動機構の送り機構を第４送り機構とし、第４ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第４ハンドガイド機構とし、第４ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第４ハンド駆動モータとすると、第１送り機構と第１ハンドガイド機構と第３送り機構と第３ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の一方側に配置され、第２送り機構と第２ハンドガイド機構と第４送り機構と第４ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の他方側に配置され、第３ハンド駆動モータと第１ハンド駆動モータとは、第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で第３ハンドの下側に配置され、第４ハンド駆動モータと第２ハンド駆動モータとは、第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で第４ハンドの下側に配置され、第１送り機構および第１ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第１ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第２送り機構および第２ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第２ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第３送り機構および第３ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第３ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第４送り機構および第４ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第４ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第１送り機構と第１ハンドガイド機構と第３送り機構と第３ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、第３ハンドの下側に配置され、第２送り機構と第２ハンドガイド機構と第４送り機構と第４ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、第４ハンドの下側に配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, an industrial robot of the present invention includes a plurality of hands on which objects to be transported are individually mounted and arranged at the same height, and a plurality of hands to which each of the plurality of hands is fixed. A supporting member, a holding member that holds the plurality of hand supporting members so that the plurality of hand supporting members can linearly reciprocate in the same horizontal direction, and each of the plurality of hand supporting members with respect to the holding member And a plurality of hand drive mechanisms for individually reciprocally moving the hand support member with respect to the holding member as a first direction, and a horizontal direction perpendicular to the first direction as a second direction. The first hand and the second hand arranged at the same height so as to be adjacent to each other in the second direction when viewed from the first direction, and the vertical direction when viewed from the first direction. A third hand arranged below the first hand so as to overlap with one hand, and a second hand at the same height as the third hand so as to overlap with the second hand in the vertical direction when viewed from the first direction A first hand supporting member to which the first hand is fixed, a second hand supporting member to which the second hand is fixed, and a third hand. A third hand support member to which the first hand is fixed, a fourth hand support member to which the fourth hand is fixed, and a first hand drive mechanism for reciprocating the first hand support member as a hand drive mechanism; A second hand drive mechanism for reciprocating the hand support member; a third hand drive mechanism for reciprocating the third hand support member; and a fourth hand drive mechanism for reciprocating the fourth hand support member. Is the first C A first holding member that holds the second hand supporting member and the third hand supporting member so as to be reciprocally movable, and a second holding member that holds the second hand supporting member and the fourth hand supporting member so as to be reciprocally movable, The hand drive mechanism includes a hand drive motor as a drive source, a screw shaft that is rotated by the power of the hand drive motor, and a nut member that is formed on the inner peripheral side of a female screw that engages with a male screw formed on the outer peripheral surface of the screw shaft. And a hand guide mechanism for guiding the hand support member in the first direction, the first hand drive mechanism as the first feed mechanism, and the first hand The hand guide mechanism of the drive mechanism is the first hand guide mechanism, the hand drive motor of the first hand drive mechanism is the first hand drive motor, the feed mechanism of the second hand drive mechanism is the second feed mechanism, and the second The hand guide mechanism of the hand drive mechanism is the second hand guide mechanism, the hand drive motor of the second hand drive mechanism is the second hand drive motor, the feed mechanism of the third hand drive mechanism is the third feed mechanism, and the third hand drive mechanism This hand guide mechanism is the third hand guide mechanism, the hand drive motor of the third hand drive mechanism is the third hand drive motor, the feed mechanism of the fourth hand drive mechanism is the fourth feed mechanism, and the hand guide mechanism of the fourth hand drive mechanism Is the fourth hand guide mechanism, and the hand drive motor of the fourth hand drive mechanism is the fourth hand drive motor, the first feed mechanism, the first hand guide mechanism, the third feed mechanism, and the third hand guide mechanism are in the first direction. When viewed from the side, the second feed mechanism and the second hand guide are arranged on one side in the second direction with respect to the four hand drive motors. The structure, the fourth feed mechanism, and the fourth hand guide mechanism are disposed on the other side in the second direction with respect to the four hand drive motors when viewed from the first direction, and the third hand drive motor and the first hand The drive motor is arranged on the lower side of the third hand in this order so as to overlap in the vertical direction when viewed from the first direction, and the fourth hand drive motor and the second hand drive motor are When viewed from the first direction, it is arranged below the fourth hand in this order so as to overlap in the vertical direction, and the first feed mechanism and the first hand guide mechanism are viewed from the first direction. Arranged adjacent to the first hand drive motor in the second direction, the second feed mechanism and the second hand guide mechanism are adjacent to the second hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction. Arranged and third feed mechanism And the third hand guide mechanism are arranged adjacent to the third hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction, and the fourth feed mechanism and the fourth hand guide mechanism are viewed from the first direction. The first hand mechanism, the first hand guide mechanism, the third feed mechanism, and the third hand guide mechanism are arranged so as to be adjacent to the fourth hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction. The second feed mechanism, the second hand guide mechanism, the fourth feed mechanism, and the fourth hand guide mechanism are arranged below the fourth hand when viewed from the first direction. and said that you are.

本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が個別に搭載されるとともに同じ高さで配置される複数のハンドを備えている。そのため、本発明では、同じ高さで収容されている複数の搬送対象物を複数のハンドによって同時に搬出することが可能になるとともに、同じ高さで収容される複数の搬送対象物を複数のハンドによって同時に搬入することが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットが設置される製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。一方で、たとえば、搬送対象物の搬出時や搬入時に複数のハンドの全てを同時に往復移動させると、複数のハンドの中のいくつかのハンドが、製造システムを構成する製造装置や搬送対象物が収容されるカセット等と接触するおそれがある。本発明の産業用ロボットは、保持部材に対して複数のハンド支持部材のそれぞれを個別に往復移動させる複数のハンド駆動機構を備えているため、搬送対象物の搬出時や搬入時に製造装置等と接触するおそれのあるハンドを停止させておくことが可能になる。したがって、本発明では、搬送対象物の搬出時や搬入時における製造装置等とハンドとの接触を防止することが可能になり、ハンド等の損傷を防止することが可能になる。   The industrial robot of the present invention includes a plurality of hands on which objects to be transported are individually mounted and arranged at the same height. Therefore, in the present invention, it is possible to simultaneously carry out a plurality of conveyance objects accommodated at the same height by a plurality of hands, and to transfer a plurality of conveyance objects accommodated at the same height to a plurality of hands. Can be carried in at the same time. Therefore, according to the present invention, it is possible to reduce the tact time of the manufacturing system in which the industrial robot is installed. On the other hand, for example, when all of a plurality of hands are reciprocated simultaneously at the time of carrying out or carrying in the object to be conveyed, several hands in the plurality of hands are manufactured by the manufacturing apparatus and the object to be conveyed constituting the manufacturing system. There is a risk of contact with a cassette or the like to be accommodated. Since the industrial robot of the present invention includes a plurality of hand drive mechanisms that individually reciprocate each of the plurality of hand support members with respect to the holding member, a manufacturing apparatus, etc. It is possible to stop a hand that may come into contact. Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent contact between the manufacturing apparatus and the hand when the object to be transported is carried out or carried in, and damage to the hand or the like can be prevented.

また、本発明では、保持部材に対するハンド支持部材の移動方向を第１方向とし、水平方向であってかつ第１方向に直交する方向を第２方向とすると、産業用ロボットは、ハンドとして、第１方向から見たときに第２方向で隣り合うように同じ高さで配置される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１方向から見たときに上下方向で第１ハンドと重なるように第１ハンドの下側に配置される第３ハンドと、第１方向から見たときに上下方向で第２ハンドと重なるように第３ハンドと同じ高さで第２ハンドの下側に配置される第４ハンドとを備え、ハンド支持部材として、第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、第３ハンドが固定される第３ハンド支持部材と、第４ハンドが固定される第４ハンド支持部材とを備え、ハンド駆動機構として、第１ハンド支持部材を往復移動させる第1ハンド駆動機構と、第２ハンド支持部材を往復移動させる第２ハンド駆動機構と、第３ハンド支持部材を往復移動させる第３ハンド駆動機構と、第４ハンド支持部材を往復移動させる第４ハンド駆動機構とを備え、保持部材は、第１ハンド支持部材と第３ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第１保持部材と、第２ハンド支持部材と第４ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第２保持部材とを備えている。そのため、第１ハンドと第２ハンドとを用いて、あるいは、第３ハンドと第４ハンドとを用いて、同じ高さで収容されている複数の搬送対象物を同時に搬出することが可能になるとともに、同じ高さで収容される複数の搬送対象物を同時に搬入することが可能になる。 Further, in the present invention, the moving direction of the hand support member relative to the retaining member to the first direction, when the direction perpendicular to a by and the first direction is horizontal and the second direction, industrial robots, as Ha command, A first hand and a second hand arranged at the same height so as to be adjacent to each other in the second direction when viewed from the first direction, and overlap with the first hand in the vertical direction when viewed from the first direction. A third hand arranged below the first hand and arranged below the second hand at the same height as the third hand so as to overlap the second hand in the vertical direction when viewed from the first direction. A first hand support member to which the first hand is fixed, a second hand support member to which the second hand is fixed, and a third hand to be fixed. The hand support member and the fourth hand are fixed to the fourth hand. A first hand drive mechanism that reciprocates the first hand support member, a second hand drive mechanism that reciprocates the second hand support member, and a third hand support member. A third hand drive mechanism that reciprocates and a fourth hand drive mechanism that reciprocates the fourth hand support member are provided, and the holding member holds the first hand support member and the third hand support member so as to be reciprocally movable. And a second holding member that holds the second hand supporting member and the fourth hand supporting member so as to be reciprocally movable. Therefore , it becomes possible to carry out simultaneously the several conveyance target accommodated in the same height using a 1st hand and a 2nd hand, or using a 3rd hand and a 4th hand. At the same time, it is possible to carry in a plurality of objects to be conveyed that are accommodated at the same height.

また、本発明では、ハンド駆動機構は、駆動源となるハンド駆動モータと、ハンド駆動モータの動力で回転するネジ軸およびネジ軸の外周面に形成されるオネジに係合するメネジが内周側に形成されるナット部材を有しハンド支持部材を第１方向へ送る送り機構と、第１方向へハンド支持部材を案内するハンドガイド機構とを備え、第１ハンド駆動機構の送り機構を第１送り機構とし、第１ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第１ハンドガイド機構とし、第２ハンド駆動機構の送り機構を第２送り機構とし、第２ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第２ハンドガイド機構とし、第３ハンド駆動機構の送り機構を第３送り機構とし、第３ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第３ハンドガイド機構とし、第４ハンド駆動機構の送り機構を第４送り機構とし、第４ハンド駆動機構のハンドガイド機構を第４ハンドガイド機構とすると、第１送り機構と第１ハンドガイド機構と第３送り機構と第３ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の一方側に配置され、第２送り機構と第２ハンドガイド機構と第４送り機構と第４ハンドガイド機構とは、第１方向から見たときに、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の他方側に配置されている。 In the present invention , the hand drive mechanism includes a hand drive motor as a drive source, a screw shaft that is rotated by the power of the hand drive motor, and a female screw that engages with a male screw formed on the outer peripheral surface of the screw shaft. A feed mechanism for feeding the hand support member in the first direction and a hand guide mechanism for guiding the hand support member in the first direction, wherein the feed mechanism of the first hand drive mechanism is the first feed. The first hand drive mechanism is the first hand guide mechanism, the second hand drive mechanism is the second feed mechanism, the second hand drive mechanism is the second hand guide mechanism, The feed mechanism of the hand drive mechanism is the third feed mechanism, the hand guide mechanism of the third hand drive mechanism is the third hand guide mechanism, and the feed mechanism of the fourth hand drive mechanism is the second feed mechanism. Assuming that the feed mechanism and the hand guide mechanism of the fourth hand drive mechanism are the fourth hand guide mechanism, the first feed mechanism, the first hand guide mechanism, the third feed mechanism, and the third hand guide mechanism are viewed from the first direction. It is arranged on one side in the second direction from the four hand drive motors, and the second feed mechanism, the second hand guide mechanism, the fourth feed mechanism, and the fourth hand guide mechanism are viewed from the first direction, than four hand driving motor that is disposed on the other side in the second direction.

そのため、可動する部材を有する第１送り機構、第１ハンドガイド機構、第３送り機構および第３ハンドガイド機構と、可動する部材を有する第２送り機構、第２ハンドガイド機構、第４送り機構および第４ハンドガイド機構との第２方向の距離を確保することが可能になる。したがって、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の一方側に配置される可動する部材と、４個のハンド駆動モータよりも第２方向の他方側に配置される可動する部材との干渉を防止することが可能になる。 Therefore , the first feed mechanism, the first hand guide mechanism, the third feed mechanism, and the third hand guide mechanism having movable members, the second feed mechanism, the second hand guide mechanism, the fourth feed mechanism, and the fourth having movable members. A distance in the second direction from the hand guide mechanism can be secured. Therefore, the interference between the movable member arranged on one side in the second direction with respect to the four hand drive motors and the movable member arranged on the other side in the second direction with respect to the four hand drive motors. It becomes possible to prevent.

また、本発明では、第１ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第１ハンド駆動モータとし、第２ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第２ハンド駆動モータとし、第３ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第３ハンド駆動モータとし、第４ハンド駆動機構のハンド駆動モータを第４ハンド駆動モータとすると、第３ハンド駆動モータと第１ハンド駆動モータとは、第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で第３ハンドの下側に配置され、第４ハンド駆動モータと第２ハンド駆動モータとは、第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で第４ハンドの下側に配置され、第１送り機構および第１ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第１ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第２送り機構および第２ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第２ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第３送り機構および第３ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第３ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置され、第４送り機構および第４ハンドガイド機構は、第１方向から見たときに第４ハンド駆動モータと第２方向で隣り合うように配置されている。 In the present invention , the hand drive motor of the first hand drive mechanism is the first hand drive motor, the hand drive motor of the second hand drive mechanism is the second hand drive motor, and the hand drive motor of the third hand drive mechanism is Assuming that the third hand drive motor is the fourth hand drive motor and the fourth hand drive motor is the fourth hand drive motor, the third hand drive motor and the first hand drive motor are vertically oriented when viewed from the first direction. The fourth hand drive motor and the second hand drive motor are arranged so as to overlap in the vertical direction when viewed from the first direction. The first feed mechanism and the first hand guide mechanism are arranged in this order from the upper side in this order, and the first feed mechanism and the first hand guide mechanism are adjacent to the first hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction. The second feed mechanism and the second hand guide mechanism are arranged so as to be adjacent to the second hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction, and the third feed mechanism and the third hand guide are arranged. The mechanism is disposed adjacent to the third hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction, and the fourth feed mechanism and the fourth hand guide mechanism are the fourth hand when viewed from the first direction. drive motor and that are arranged adjacent to each other in the second direction.

そのため、第１ハンド駆動モータ、第１送り機構および第１ハンドガイド機構が、第３ハンド駆動モータ、第３送り機構および第３ハンドガイド機構の上側に配置されている場合と比較して、第１ハンド支持部材および第３ハンド支持部材の構成を簡素化することが可能になる。また、第２ハンド駆動モータ、第２送り機構および第２ハンドガイド機構が、第４ハンド駆動モータ、第４送り機構および第４ハンドガイド機構の上側に配置されている場合と比較して、第２ハンド支持部材および第４ハンド支持部材の構成を簡素化することが可能になる。 Therefore , the first hand drive motor, the first feed mechanism, and the first hand guide mechanism are compared with the case where the first hand drive motor, the first feed mechanism, and the first hand guide mechanism are disposed above the third hand drive motor, the third feed mechanism, and the third hand guide mechanism. It becomes possible to simplify the structure of a support member and a 3rd hand support member. Further , the second hand drive motor, the second feed mechanism, and the second hand guide mechanism are compared with the case where the second hand drive motor, the fourth feed mechanism, and the fourth hand guide mechanism are disposed above the fourth hand drive motor. It becomes possible to simplify the structures of the support member and the fourth hand support member.

本発明において、産業用ロボットは、第２方向における第１保持部材と第２保持部材とのピッチを変更するハンドピッチ変更機構を備えることが好ましい。この場合には、ハンドピッチ変更機構は、産業用ロボットが搬送対象物を搬送する搬送動作中に、第２方向における第１保持部材と第２保持部材とのピッチを変更することが好ましい。このように構成すると、同じ高さで搬送元に収容されている複数の搬送対象物の第２方向のピッチと、同じ高さで搬送先に収容される複数の搬送対象物の第２方向のピッチとが異なる場合であっても、搬送元から搬送先へ搬送対象物を短時間でかつ適切に搬送することが可能になる。   In the present invention, the industrial robot preferably includes a hand pitch changing mechanism that changes a pitch between the first holding member and the second holding member in the second direction. In this case, it is preferable that the hand pitch changing mechanism changes the pitch between the first holding member and the second holding member in the second direction during the transfer operation in which the industrial robot transfers the transfer object. If comprised in this way, the pitch of the 2nd direction of the several conveyance target accommodated in the conveyance origin at the same height and the 2nd direction of the several conveyance target accommodated in the conveyance destination at the same height Even when the pitch is different, the object to be transported can be appropriately transported from the transport source to the transport destination in a short time.

本発明において、ハンドピッチ変更機構は、駆動源となる保持部材駆動モータと、その中心位置が保持部材駆動モータの出力軸に固定される第１レバー部材と、その一端側が第１保持部材に回動可能に連結されるとともにその他端側が第１レバー部材の一端側に回動可能に連結される第２レバー部材と、その一端側が第２保持部材に回動可能に連結されるとともにその他端側が第１レバー部材の他端側に回動可能に連結される第３レバー部材と、第１保持部材を第２方向へ案内する第１保持部材ガイド機構と、第２保持部材を第２方向へ案内する第２保持部材ガイド機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、３個のレバー部材を用いた比較的簡易な構成で、第２方向における第１保持部材と第２保持部材とのピッチを変更することが可能になる。   In the present invention, the hand pitch changing mechanism includes a holding member driving motor serving as a driving source, a first lever member whose center position is fixed to the output shaft of the holding member driving motor, and one end side of which rotates to the first holding member. A second lever member that is movably connected and has a second end that is pivotally connected to one end of the first lever member, and a second end that is pivotally connected to the second holding member and the other end is A third lever member rotatably connected to the other end of the first lever member, a first holding member guide mechanism for guiding the first holding member in the second direction, and the second holding member in the second direction It is preferable to provide a second holding member guide mechanism for guiding. With this configuration, the pitch between the first holding member and the second holding member in the second direction can be changed with a relatively simple configuration using three lever members.

本発明において、ハンドは、第２方向で隣り合うように配置され搬送対象物が搭載される２本のフォークと、第２方向における２本のフォークのピッチを変更するフォークピッチ変更機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、フォークのピッチを変更することで様々な大きさの搬送対象物を搬送することが可能になる。 In the present invention, C command is 2 and forks which placed the object to be transported so as to be adjacent in the second direction is mounted, and a fork pitch changing mechanism for changing the pitch of the two forks in the second direction It is preferable to provide. If comprised in this way, it will become possible to convey the conveyance target object of various magnitude | sizes by changing the pitch of a fork.

本発明において、フォークピッチ変更機構は、駆動源となる減速機付きのフォーク駆動モータと、順ネジが形成される順ネジ部と逆ネジが形成される逆ネジ部とを有しフォーク駆動モータの出力軸に連結されるネジ部材と、２本のフォークの一方に固定され順ネジ部に係合する第１ナット部材と、２本のフォークの他方に固定され逆ネジ部に係合する第２ナット部材と、２本のフォークの一方を第２方向へ案内する第１フォークガイド機構と、２本のフォークの他方を第２方向へ案内する第２フォークガイド機構とを備えることが好ましい。このように構成すると、１本のネジ部材を用いた比較的簡易な構成で、第２方向における２本のフォークのピッチを変更することが可能になる。また、このように構成すると、フォーク駆動モータの減速機の減速比を大きくすることで、所定位置に移動した２本のフォークに第２方向の外力が作用しても、２本のフォークはその位置から動かない。したがって、フォーク駆動モータの減速機の減速比を大きくすることで、特別な固定機構を設けなくても、所定位置に移動した２本のフォークをその位置で固定することが可能になる。   In the present invention, the fork pitch changing mechanism includes a fork drive motor with a speed reducer as a drive source, a forward screw portion in which a forward screw is formed, and a reverse screw portion in which a reverse screw is formed. A screw member connected to the output shaft, a first nut member fixed to one of the two forks and engaged with the forward screw portion, and a second nut fixed to the other of the two forks and engaged with the reverse screw portion It is preferable to include a nut member, a first fork guide mechanism that guides one of the two forks in the second direction, and a second fork guide mechanism that guides the other of the two forks in the second direction. If comprised in this way, it will become possible to change the pitch of the two forks in a 2nd direction with a comparatively simple structure using one screw member. Further, with this configuration, by increasing the reduction ratio of the reduction gear of the fork drive motor, even if an external force in the second direction acts on the two forks moved to a predetermined position, the two forks Does not move from position. Therefore, by increasing the reduction ratio of the reduction gear of the fork drive motor, it becomes possible to fix the two forks moved to a predetermined position at that position without providing a special fixing mechanism.

以上のように、本発明では、産業用ロボットが設置される製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。   As described above, according to the present invention, it is possible to reduce the tact time of the manufacturing system in which the industrial robot is installed.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの正面図である。It is a front view of the industrial robot concerning an embodiment of the invention. 図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボットを示す側面図である。It is a side view which shows an industrial robot from the EE direction of FIG. 図２のＦ−Ｆ方向から産業用ロボットを示す平面図である。It is a top view which shows an industrial robot from the FF direction of FIG. 図１に示すアームおよびアーム支持部材の内部の構造を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure inside the arm and arm support member which are shown in FIG. 図４に示す状態から第１アームと第２アームとのピッチが広がったときの状態を示す図である。It is a figure which shows a state when the pitch of a 1st arm and a 2nd arm spreads from the state shown in FIG. 図４のＧ−Ｇ方向からハンドピッチ変更機構の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of a hand pitch change mechanism from the GG direction of FIG. 図１に示すハンドの基部の内部の構成を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the structure inside the base of the hand shown in FIG. 図１に示すハンドの基部の内部の構成を説明するための側面図である。It is a side view for demonstrating the structure inside the base of the hand shown in FIG. 図３に示すフォークの先端側部分の構成を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating the structure of the front end side part of the fork shown in FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の正面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボット１を示す側面図である。図３は、図２のＦ−Ｆ方向から産業用ロボット１を示す平面図である。図４は、図１に示すアーム１１およびアーム支持部材１６の内部の構造を説明するための図である。 (Schematic configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a front view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view showing the industrial robot 1 from the EE direction of FIG. FIG. 3 is a plan view showing the industrial robot 1 from the FF direction of FIG. FIG. 4 is a view for explaining the internal structure of the arm 11 and the arm support member 16 shown in FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２を搬送するためのロボットである。具体的には、ロボット１は、スマートフォン等の携帯機器に使用される比較的小型のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、液晶ディスプレイの製造システムに組み込まれて使用される。   The industrial robot 1 of this embodiment (hereinafter referred to as “robot 1”) is a robot for transporting a glass substrate 2 for a liquid crystal display, which is an object to be transported. Specifically, the robot 1 is a robot for transporting a relatively small glass substrate 2 (hereinafter referred to as “substrate 2”) used in a portable device such as a smartphone. The robot 1 is used by being incorporated in a liquid crystal display manufacturing system.

ロボット１は、基板２が個別に搭載される４個のハンド３〜６と、４個のハンド３〜６のそれぞれが固定される４個のハンド支持部材７〜１０と、４個のハンド支持部材７〜１０を保持する保持部材としてのアーム１１と、アーム１１を支持する本体部１２と、本体部１２の水平方向への移動が可能となるように本体部１２を支持するベース部材１３とを備えている。本形態のハンド３は第１ハンドであり、ハンド４は第２ハンドであり、ハンド５は第３ハンドであり、ハンド６は第４ハンドである。また、ハンド支持部材７は、ハンド３が固定される第１ハンド支持部材であり、ハンド支持部材８は、ハンド４が固定される第２ハンド支持部材であり、ハンド支持部材９は、ハンド５が固定される第３ハンド支持部材であり、ハンド支持部材１０は、ハンド６が固定される第４ハンド支持部材である。   The robot 1 includes four hands 3 to 6 on which substrates 2 are individually mounted, four hand support members 7 to 10 to which the four hands 3 to 6 are fixed, and four hand supports. An arm 11 as a holding member for holding the members 7 to 10, a main body 12 that supports the arm 11, and a base member 13 that supports the main body 12 so that the main body 12 can be moved in the horizontal direction. It has. The hand 3 in this embodiment is a first hand, the hand 4 is a second hand, the hand 5 is a third hand, and the hand 6 is a fourth hand. The hand support member 7 is a first hand support member to which the hand 3 is fixed, the hand support member 8 is a second hand support member to which the hand 4 is fixed, and the hand support member 9 is a hand 5. Is a third hand support member to which the hand 6 is fixed, and the hand support member 10 is a fourth hand support member to which the hand 6 is fixed.

本体部１２は、アーム１１を保持するアーム支持部材１６と、アーム支持部材１６を上下方向に移動可能に支持する柱状部材１７と、本体部１２の下端部分を構成するとともにベース部材１３に対して水平移動可能な基台１８と、柱状部材１７の下端が固定されるとともに基台１８に対して旋回可能な旋回部材１９とを備えている。アーム１１は、アーム支持部材１６の先端側に保持されている。具体的には、アーム１１の下端側がアーム支持部材１６の先端側に保持されている。   The main body 12 constitutes an arm support member 16 that holds the arm 11, a columnar member 17 that supports the arm support member 16 so as to be movable in the vertical direction, a lower end portion of the main body 12, and the base member 13. A base 18 that can move horizontally and a pivot member 19 that is fixed to the lower end of the columnar member 17 and that can pivot with respect to the base 18 are provided. The arm 11 is held on the distal end side of the arm support member 16. Specifically, the lower end side of the arm 11 is held on the distal end side of the arm support member 16.

アーム支持部材１６の基端側は、柱状部材１７に支持されている。アーム支持部材１６は、図示を省略する昇降機構の動力によって、上下方向を長手方向とする柱状に形成される柱状部材１７に対してアーム１１等と一緒に上下動する。基台１８は、図示を省略する移動機構の動力によって、ベース部材１３に対して水平方向へ直線的に往復移動する。すなわち、本体部１２は、この移動機構の動力によって、ベース部材１３に対して水平方向へ往復移動する。また、旋回部材１９は、図示を省略する旋回機構の動力によって、基台１８に対して旋回する。   The base end side of the arm support member 16 is supported by the columnar member 17. The arm support member 16 moves up and down together with the arm 11 and the like with respect to the columnar member 17 formed in a columnar shape whose longitudinal direction is the vertical direction by the power of a lifting mechanism (not shown). The base 18 reciprocates linearly in the horizontal direction with respect to the base member 13 by the power of a moving mechanism (not shown). That is, the main body 12 reciprocates in the horizontal direction with respect to the base member 13 by the power of the moving mechanism. Further, the turning member 19 turns with respect to the base 18 by the power of a turning mechanism (not shown).

ハンド支持部材７〜１０は、水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるようにアーム１１に保持されている。ロボット１は、アーム１１に対してハンド支持部材７〜１０のそれぞれを個別に往復移動させる４個のハンド駆動機構２２〜２５を備えている（図４参照）。本形態のハンド駆動機構２２は、ハンド支持部材７を往復移動させる第１ハンド駆動機構であり、ハンド駆動機構２３は、ハンド支持部材８を往復移動させる第２ハンド駆動機構であり、ハンド駆動機構２４は、ハンド支持部材９を往復移動させる第３ハンド駆動機構であり、ハンド駆動機構２５は、ハンド支持部材１０を往復移動させる第４ハンド駆動機構である。   The hand support members 7 to 10 are held by the arm 11 so as to be linearly reciprocable in the same horizontal direction. The robot 1 includes four hand drive mechanisms 22 to 25 that individually reciprocate the hand support members 7 to 10 with respect to the arm 11 (see FIG. 4). The hand drive mechanism 22 of this embodiment is a first hand drive mechanism that reciprocates the hand support member 7, and the hand drive mechanism 23 is a second hand drive mechanism that reciprocates the hand support member 8, and the hand drive mechanism Reference numeral 24 denotes a third hand drive mechanism for reciprocating the hand support member 9, and the hand drive mechanism 25 is a fourth hand drive mechanism for reciprocating the hand support member 10.

以下の説明では、アーム１１に対するハンド支持部材７〜１０の移動方向（図２等のＸ方向）を前後方向とし、水平方向であってかつ前後方向に直交する方向（図１等のＹ方向）を左右方向とする。また、左右方向の一方側（Ｙ１方向側）を「右」側とし、その反対側（Ｙ２方向側）を「左」側とする。本形態の前後方向は、第１方向であり、左右方向は、第２方向である。   In the following description, the moving direction of the hand support members 7 to 10 with respect to the arm 11 (X direction in FIG. 2 etc.) is the front-rear direction, and the horizontal direction is a direction perpendicular to the front-rear direction (Y direction in FIG. 1 etc.). Is the left-right direction. In addition, one side in the left-right direction (Y1 direction side) is the “right” side, and the opposite side (Y2 direction side) is the “left” side. The front-rear direction of this embodiment is the first direction, and the left-right direction is the second direction.

ハンド３〜６は、ハンド支持部材７〜１０に固定される基部２６と、基部２６から前後方向の一方側へ突出する２本のフォーク２７を備えている。基部２６は、中空状に形成されるとともに扁平な略直方体状に形成されている。フォーク２７は、中空状に形成されるとともに前後方向に細長い略直方体状に形成されており、フォーク２７の先端側部分の上面は、基板２が搭載される基板搭載面となっている。２本のフォーク２７は、左右方向で隣り合うように配置されている。   The hands 3 to 6 include a base portion 26 fixed to the hand support members 7 to 10 and two forks 27 protruding from the base portion 26 to one side in the front-rear direction. The base portion 26 is formed in a hollow shape and is formed in a flat and substantially rectangular parallelepiped shape. The fork 27 is formed in a hollow shape and is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape elongated in the front-rear direction, and the upper surface of the tip side portion of the fork 27 is a substrate mounting surface on which the substrate 2 is mounted. The two forks 27 are arranged so as to be adjacent in the left-right direction.

ハンド３とハンド４とは、同じ高さで配置されている。具体的には、基板２が搭載されるハンド３の基板搭載面の高さ（すなわち、フォーク２７の上面の高さ）と、基板２が搭載されるハンド４の基板搭載面の高さとが一致するようにハンド３、４が配置されている。また、ハンド３とハンド４とは、前後方向から見たときに左右方向で隣り合うように配置されている。本形態では、ハンド３が左側に配置され、ハンド４が右側に配置されている。   The hand 3 and the hand 4 are arranged at the same height. Specifically, the height of the substrate mounting surface of the hand 3 on which the substrate 2 is mounted (that is, the height of the upper surface of the fork 27) matches the height of the substrate mounting surface of the hand 4 on which the substrate 2 is mounted. Thus, the hands 3 and 4 are arranged. Moreover, the hand 3 and the hand 4 are arrange | positioned so that it may adjoin in the left-right direction when it sees from the front-back direction. In this embodiment, the hand 3 is disposed on the left side and the hand 4 is disposed on the right side.

ハンド５とハンド６とは、同じ高さで配置されている。具体的には、基板２が搭載されるハンド５の基板搭載面の高さと、基板２が搭載されるハンド６の基板搭載面の高さとが一致するようにハンド５、６が配置されている。また、ハンド５とハンド６とは、前後方向から見たときに左右方向で隣り合うように配置されている。本形態では、ハンド５が左側に配置され、ハンド６が右側に配置されている。また、ハンド５は、前後方向から見たときにハンド３と上下方向で重なるようにハンド３の下側に配置され、ハンド６は、前後方向から見たときにハンド４と上下方向で重なるようにハンド３の下側に配置されている。   The hand 5 and the hand 6 are arranged at the same height. Specifically, the hands 5 and 6 are arranged so that the height of the substrate mounting surface of the hand 5 on which the substrate 2 is mounted matches the height of the substrate mounting surface of the hand 6 on which the substrate 2 is mounted. . Moreover, the hand 5 and the hand 6 are arranged so as to be adjacent in the left-right direction when viewed from the front-rear direction. In this embodiment, the hand 5 is arranged on the left side and the hand 6 is arranged on the right side. The hand 5 is arranged below the hand 3 so as to overlap with the hand 3 when viewed from the front-rear direction, and the hand 6 overlaps with the hand 4 when viewed from the front-rear direction. Is disposed below the hand 3.

アーム１１は、ハンド３〜６の下側に配置されている。このアーム１１は、左右方向に分割される第１アーム２９と第２アーム３０とから構成されている。第１アーム２９は、ハンド支持部材７、９を往復移動可能に保持し、第２アーム３０は、ハンド支持部材８、１０を往復移動可能に保持している。第１アーム２９と第２アーム３０とは、左右方向への往復移動が可能となるようにアーム支持部材１６に保持されている。ロボット１は、左右方向における第１アーム２９と第２アーム３０とのピッチを変更するハンドピッチ変更機構３１を備えている（図４参照）。本形態の第１アーム２９は第１保持部材であり、第２アーム３０は第２保持部材である。   The arm 11 is disposed below the hands 3 to 6. The arm 11 includes a first arm 29 and a second arm 30 that are divided in the left-right direction. The first arm 29 holds the hand support members 7 and 9 in a reciprocable manner, and the second arm 30 holds the hand support members 8 and 10 in a reciprocable manner. The first arm 29 and the second arm 30 are held by the arm support member 16 so as to be able to reciprocate in the left-right direction. The robot 1 includes a hand pitch changing mechanism 31 that changes the pitch between the first arm 29 and the second arm 30 in the left-right direction (see FIG. 4). In this embodiment, the first arm 29 is a first holding member, and the second arm 30 is a second holding member.

（ハンド駆動機構の構成）
ハンド駆動機構２２〜２５は、駆動源となるモータ３５〜３８と、ハンド支持部材７〜１０を前後方向へ送る送り機構３９〜４２と、ハンド支持部材７〜１０を前後方向へ案内するガイド機構４３〜４６とを備えている。本形態のモータ３５〜３８は、ハンド駆動モータであり、ガイド機構４３〜４６は、ハンドガイド機構である。また、ハンド駆動機構２２のモータ３５は第１ハンド駆動モータであり、ハンド駆動機構２３のモータ３６は第２ハンド駆動モータであり、ハンド駆動機構２４のモータ３７は第３ハンド駆動モータであり、ハンド駆動機構２５のモータ３８は第４ハンド駆動モータである。さらに、ハンド駆動機構２２の送り機構３９は第１送り機構であり、ハンド駆動機構２３の送り機構４０は第２送り機構であり、ハンド駆動機構２４の送り機構４１は第３送り機構であり、ハンド駆動機構２５の送り機構４２は第４送り機構である。また、ハンド駆動機構２２のガイド機構４３は第１ハンドガイド機構であり、ハンド駆動機構２３のガイド機構４４は第２ハンドガイド機構であり、ハンド駆動機構２４のガイド機構４５は第３ハンドガイド機構であり、ハンド駆動機構２５のガイド機構４６は第４ハンドガイド機構である。 (Configuration of hand drive mechanism)
The hand drive mechanisms 22 to 25 are motors 35 to 38 as drive sources, feed mechanisms 39 to 42 that send the hand support members 7 to 10 in the front-rear direction, and guide mechanisms that guide the hand support members 7 to 10 in the front-rear direction. 43-46. The motors 35 to 38 of the present embodiment are hand drive motors, and the guide mechanisms 43 to 46 are hand guide mechanisms. The motor 35 of the hand drive mechanism 22 is a first hand drive motor, the motor 36 of the hand drive mechanism 23 is a second hand drive motor, and the motor 37 of the hand drive mechanism 24 is a third hand drive motor. The motor 38 of the hand drive mechanism 25 is a fourth hand drive motor. Furthermore, the feed mechanism 39 of the hand drive mechanism 22 is a first feed mechanism, the feed mechanism 40 of the hand drive mechanism 23 is a second feed mechanism, the feed mechanism 41 of the hand drive mechanism 24 is a third feed mechanism, The feed mechanism 42 of the hand drive mechanism 25 is a fourth feed mechanism. The guide mechanism 43 of the hand drive mechanism 22 is a first hand guide mechanism, the guide mechanism 44 of the hand drive mechanism 23 is a second hand guide mechanism, and the guide mechanism 45 of the hand drive mechanism 24 is a third hand guide mechanism. The guide mechanism 46 of the hand drive mechanism 25 is a fourth hand guide mechanism.

モータ３５〜３８は、モータ３５〜３８の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するようにアーム１１に取り付けられている。また、モータ３５〜３８は、モータ３５〜３８の出力軸が前後方向において同じ方向へ突出するようにアーム１１に取り付けられている。さらに、モータ３５〜３８は、前後方向におけるアーム１１の一端側に取り付けられている。本形態では、モータ３５、３７は、第１アーム２９に取り付けられ、モータ３６、３８は、第２アーム３０に取り付けられている。   The motors 35 to 38 are attached to the arm 11 so that the axial direction of the output shaft of the motors 35 to 38 matches the front-rear direction. The motors 35 to 38 are attached to the arm 11 so that the output shafts of the motors 35 to 38 protrude in the same direction in the front-rear direction. Further, the motors 35 to 38 are attached to one end side of the arm 11 in the front-rear direction. In this embodiment, the motors 35 and 37 are attached to the first arm 29, and the motors 36 and 38 are attached to the second arm 30.

モータ３５とモータ３７とは、前後方向から見たときに上下方向で重なるようにハンド５の下側に配置されている。また、モータ３７がモータ３５の上側に配置されている。モータ３６とモータ３８とは、前後方向から見たときに上下方向で重なるようにハンド６の下側に配置されている。また、モータ３８がモータ３６の上側に配置されている。モータ３５とモータ３６とは、左右方向で隣接するように同じ高さで配置され、モータ３７とモータ３８とは左右方向で隣接するように同じ高さで配置されている。また、モータ３５がモータ３６の左側に配置され、モータ３７がモータ３８の左側に配置されている。   The motor 35 and the motor 37 are disposed on the lower side of the hand 5 so as to overlap in the vertical direction when viewed from the front-rear direction. A motor 37 is disposed above the motor 35. The motor 36 and the motor 38 are disposed on the lower side of the hand 6 so as to overlap in the vertical direction when viewed from the front-rear direction. A motor 38 is disposed above the motor 36. The motor 35 and the motor 36 are arranged at the same height so as to be adjacent in the left-right direction, and the motor 37 and the motor 38 are arranged at the same height so as to be adjacent in the left-right direction. The motor 35 is disposed on the left side of the motor 36, and the motor 37 is disposed on the left side of the motor 38.

送り機構３９〜４２は、モータ３５〜３８の動力で回転するネジ軸４８〜５１と、ネジ軸４８〜５１の外周面に形成されるオネジに係合するメネジが内周側に形成されるナット部材５２〜５５とを備えている。具体的には、送り機構３９〜４２は、ネジ軸４８〜５１とナット部材５２〜５５との間に配置されるボール（図示省略）を有するボールネジである。ネジ軸４８〜５１は、ネジ軸４８〜５１の軸方向と前後方向とが一致するようにアーム１１に回転可能に取り付けられている。ナット部材５２〜５５は、ハンド支持部材７〜１０に取り付けられている。モータ３５〜３８の出力軸とネジ軸４８〜５１とは、プーリおよびベルトを介して連結されている。   The feed mechanisms 39 to 42 are screw nuts 48 to 51 that are rotated by the power of the motors 35 to 38 and nuts that are formed on the inner peripheral side with female threads that engage with male screws formed on the outer peripheral surfaces of the screw shafts 48 to 51. Members 52 to 55. Specifically, the feed mechanisms 39 to 42 are ball screws having balls (not shown) disposed between the screw shafts 48 to 51 and the nut members 52 to 55. The screw shafts 48 to 51 are rotatably attached to the arm 11 so that the axial direction of the screw shafts 48 to 51 coincides with the front-rear direction. The nut members 52 to 55 are attached to the hand support members 7 to 10. The output shafts of the motors 35 to 38 and the screw shafts 48 to 51 are connected via a pulley and a belt.

送り機構３９のネジ軸４８は、第１アーム２９に回転可能に取り付けられており、モータ３５の左側に配置されている。送り機構４１のネジ軸５０は、第１アーム２９に回転可能に取り付けられており、モータ３７の左側に配置されている。送り機構４０のネジ軸４９は、第２アーム３０に回転可能に取り付けられており、モータ３６の右側に配置されている。送り機構４２のネジ軸５１は、第２アーム３０に回転可能に取り付けられており、モータ３８の右側に配置されている。送り機構３９のナット部材５２は、ハンド支持部材７の下端側に固定されている。送り機構４０のナット部材５３は、ハンド支持部材８の下端側に固定されている。送り機構４１のナット部材５４は、ハンド支持部材９の上端側に固定されている。送り機構４２のナット部材５５は、ハンド支持部材１０の上端側に固定されている。   The screw shaft 48 of the feed mechanism 39 is rotatably attached to the first arm 29 and is disposed on the left side of the motor 35. The screw shaft 50 of the feed mechanism 41 is rotatably attached to the first arm 29 and is disposed on the left side of the motor 37. A screw shaft 49 of the feed mechanism 40 is rotatably attached to the second arm 30 and is disposed on the right side of the motor 36. The screw shaft 51 of the feed mechanism 42 is rotatably attached to the second arm 30 and is disposed on the right side of the motor 38. The nut member 52 of the feed mechanism 39 is fixed to the lower end side of the hand support member 7. The nut member 53 of the feed mechanism 40 is fixed to the lower end side of the hand support member 8. The nut member 54 of the feed mechanism 41 is fixed to the upper end side of the hand support member 9. The nut member 55 of the feed mechanism 42 is fixed to the upper end side of the hand support member 10.

ガイド機構４３〜４６は、前後方向を長手方向として配置されるガイドレール５７〜６０と、ガイドレール５７〜６０に係合するガイドブロック６１〜６４とを有するリニアガイドである。ガイド機構４３のガイドレール５７は、第１アーム２９に固定されている。ガイドレール５７は、モータ３５の左側に配置されるとともにネジ軸４８の上側に配置されている。ガイド機構４５のガイドレール５９は、第１アーム２９に固定されている。ガイドレール５９は、モータ３７の左側に配置されるとともにネジ軸５０の下側に配置されている。ガイド機構４４のガイドレール５８は、第２アーム３０に固定されている。ガイドレール５８は、モータ３６の右側に配置されるとともにネジ軸４９の上側に配置されている。ガイド機構４６のガイドレール６０は、第２アーム３０に固定されている。ガイドレール６０は、モータ３８の右側に配置されるとともにネジ軸５１の下側に配置されている。   The guide mechanisms 43 to 46 are linear guides having guide rails 57 to 60 arranged with the front-rear direction as a longitudinal direction and guide blocks 61 to 64 that engage with the guide rails 57 to 60. The guide rail 57 of the guide mechanism 43 is fixed to the first arm 29. The guide rail 57 is disposed on the left side of the motor 35 and on the upper side of the screw shaft 48. The guide rail 59 of the guide mechanism 45 is fixed to the first arm 29. The guide rail 59 is disposed on the left side of the motor 37 and is disposed below the screw shaft 50. The guide rail 58 of the guide mechanism 44 is fixed to the second arm 30. The guide rail 58 is disposed on the right side of the motor 36 and on the upper side of the screw shaft 49. The guide rail 60 of the guide mechanism 46 is fixed to the second arm 30. The guide rail 60 is disposed on the right side of the motor 38 and is disposed below the screw shaft 51.

ガイド機構４３のガイドブロック６１は、ハンド支持部材７の下端側に固定されている。このガイドブロック６１は、ナット部材５２の上側に配置されている。ガイド機構４４のガイドブロック６２は、ハンド支持部材８の下端側に固定されている。このガイドブロック６２は、ナット部材５３の上側に配置されている。ガイド機構４５のガイドブロック６３は、ハンド支持部材９の下端側に固定されている。このガイドブロック６３は、ナット部材５４の下側に配置されている。ガイド機構４６のガイドブロック６４は、ハンド支持部材１０の下端側に固定されている。このガイドブロック６４は、ナット部材５５の下側に配置されている。   The guide block 61 of the guide mechanism 43 is fixed to the lower end side of the hand support member 7. The guide block 61 is disposed on the upper side of the nut member 52. The guide block 62 of the guide mechanism 44 is fixed to the lower end side of the hand support member 8. The guide block 62 is disposed on the upper side of the nut member 53. The guide block 63 of the guide mechanism 45 is fixed to the lower end side of the hand support member 9. The guide block 63 is disposed below the nut member 54. The guide block 64 of the guide mechanism 46 is fixed to the lower end side of the hand support member 10. The guide block 64 is disposed below the nut member 55.

上述のように、ネジ軸４８、ナット部５２、ガイドレール５７およびガイドブロック６１は、モータ３５の左側に配置され、ネジ軸４９、ナット部５３、ガイドレール５８およびガイドブロック６２は、モータ３６の右側に配置され、ネジ軸５０、ナット部５４、ガイドレール５９およびガイドブロック６３は、モータ３７の左側に配置され、ネジ軸５１、ナット部５５、ガイドレール６０およびガイドブロック６４は、モータ３８の右側に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、送り機構３９およびガイド機構４３は、モータ３５と左右方向で隣り合うように配置され、送り機構４０およびガイド機構４４は、モータ３６と左右方向で隣り合うように配置され、送り機構４１およびガイド機構４５は、モータ３７と左右方向で隣り合うように配置され、送り機構４２およびガイド機構４６は、モータ３８と左右方向で隣り合うように配置されている。また、モータ３５、３７は、モータ３６、３８の左側に配置されているため、前後方向から見たときに、送り機構３９、４１とガイド機構４３、４５とは、４個のモータ３５〜３８よりも左側に配置され、送り機構４０、４２とガイド機構４４、４６とは、４個のモータ３５〜３８よりも右側に配置されている。   As described above, the screw shaft 48, the nut portion 52, the guide rail 57 and the guide block 61 are arranged on the left side of the motor 35, and the screw shaft 49, the nut portion 53, the guide rail 58 and the guide block 62 are arranged on the motor 36. The screw shaft 50, the nut portion 54, the guide rail 59 and the guide block 63 are arranged on the left side of the motor 37. The screw shaft 51, the nut portion 55, the guide rail 60 and the guide block 64 are arranged on the motor 38. Located on the right side. That is, when viewed from the front-rear direction, the feed mechanism 39 and the guide mechanism 43 are disposed so as to be adjacent to the motor 35 in the left-right direction, and the feed mechanism 40 and the guide mechanism 44 are adjacent to the motor 36 in the left-right direction. The feed mechanism 41 and the guide mechanism 45 are arranged so as to be adjacent to the motor 37 in the left-right direction, and the feed mechanism 42 and the guide mechanism 46 are arranged so as to be adjacent to the motor 38 in the left-right direction. Further, since the motors 35 and 37 are disposed on the left side of the motors 36 and 38, when viewed from the front-rear direction, the feed mechanisms 39 and 41 and the guide mechanisms 43 and 45 include four motors 35 to 38. The feed mechanisms 40, 42 and the guide mechanisms 44, 46 are arranged on the right side of the four motors 35-38.

なお、ハンド支持部材７の上端側には、ハンド３の基部２６の右側面が固定され、ハンド支持部材８の上端側には、ハンド４の基部２６の右側面が固定されている。また、ハンド支持部材９の上端には、ハンド５の基部２６の下面の左端側が固定され、ハンド支持部材１０の上端には、ハンド６の基部２６の下面の右端側が固定されている。前後方向から見たときに、ハンド支持部材７は、ハンド支持部材９よりも左側に配置され、ハンド支持部材８は、ハンド支持部材１０よりも右側に配置されている。   The right side surface of the base portion 26 of the hand 3 is fixed to the upper end side of the hand support member 7, and the right side surface of the base portion 26 of the hand 4 is fixed to the upper end side of the hand support member 8. Further, the left end side of the lower surface of the base portion 26 of the hand 5 is fixed to the upper end of the hand support member 9, and the right end side of the lower surface of the base portion 26 of the hand 6 is fixed to the upper end of the hand support member 10. When viewed from the front-rear direction, the hand support member 7 is disposed on the left side of the hand support member 9, and the hand support member 8 is disposed on the right side of the hand support member 10.

（ハンドピッチ変更機構の構成）
図５は、図４に示す状態から第１アーム２９と第２アーム３０とのピッチが広がったときの状態を示す図である。図６は、図４のＧ−Ｇ方向からハンドピッチ変更機構３１の構成を説明するための図である。 (Configuration of hand pitch change mechanism)
FIG. 5 is a diagram illustrating a state when the pitch between the first arm 29 and the second arm 30 is expanded from the state illustrated in FIG. 4. FIG. 6 is a view for explaining the configuration of the hand pitch changing mechanism 31 from the GG direction of FIG.

ハンドピッチ変更機構３１は、駆動源となるモータ６７と、モータ６７の出力軸に固定されるレバー部材６８と、第１アーム２９に回動可能に連結されるレバー部材６９と、第２アーム３０に回動可能に連結されるレバー部材７０とを備えている。本形態のモータ６７は、保持部材駆動モータであり、レバー部材６８は、第１レバー部材であり、レバー部材６９は、第２レバー部材であり、レバー部材７０は、第３レバー部材である。   The hand pitch changing mechanism 31 includes a motor 67 as a driving source, a lever member 68 fixed to the output shaft of the motor 67, a lever member 69 rotatably connected to the first arm 29, and the second arm 30. And a lever member 70 that is rotatably connected to the lever member 70. The motor 67 of this embodiment is a holding member drive motor, the lever member 68 is a first lever member, the lever member 69 is a second lever member, and the lever member 70 is a third lever member.

モータ６７は、減速機付きのモータ（ギアードモータ）である。このモータ６７は、モータ６７の出力軸の軸方向と前後方向とが一致するようにアーム支持部材１６に取り付けられている。また、モータ６７は、アーム支持部材１６の先端側に取り付けられており、モータ３５〜３８よりも下側に配置されている。左右方向において、モータ６７の出力軸は、モータ３５、３７の出力軸とモータ３６、３８の出力軸との間の中心位置に配置されている。   The motor 67 is a motor with a reduction gear (geared motor). The motor 67 is attached to the arm support member 16 so that the axial direction of the output shaft of the motor 67 coincides with the front-rear direction. The motor 67 is attached to the distal end side of the arm support member 16 and is disposed below the motors 35 to 38. In the left-right direction, the output shaft of the motor 67 is disposed at the center position between the output shafts of the motors 35 and 37 and the output shafts of the motors 36 and 38.

モータ６７の出力軸には、レバー部材６８の中心位置が固定されている。レバー部材６９の一端側（左端側）は、第１アーム２９の下端側に回動可能に連結され、レバー部材６９の他端側（右端側）は、レバー部材６８の一端側に回動可能に連結されている。レバー部材７０の一端側（右端側）は、第２アーム３０の下端側に回動可能に連結され、レバー部材７０の他端側（左端側）は、レバー部材６８の他端側に回動可能に連結されている。レバー部材６９は、前後方向を回動の軸方向として第１アーム２９およびレバー部材６８に対して回動可能となっている。レバー部材７０は、前後方向を回動の軸方向として第２アーム３０およびレバー部材６８に対して回動可能となっている。レバー部材６９は、レバー部材７０よりも下側に配置されている。   The center position of the lever member 68 is fixed to the output shaft of the motor 67. One end side (left end side) of the lever member 69 is rotatably connected to the lower end side of the first arm 29, and the other end side (right end side) of the lever member 69 is rotatable to one end side of the lever member 68. It is connected to. One end side (right end side) of the lever member 70 is rotatably connected to the lower end side of the second arm 30, and the other end side (left end side) of the lever member 70 is rotated to the other end side of the lever member 68. Connected as possible. The lever member 69 is rotatable with respect to the first arm 29 and the lever member 68 with the front-rear direction as the axis direction of rotation. The lever member 70 is rotatable with respect to the second arm 30 and the lever member 68 with the front-rear direction as the axis direction of rotation. The lever member 69 is disposed below the lever member 70.

また、ハンドピッチ変更機構３１は、第１アーム２９および第２アーム３０を左右方向へ案内するためのガイドレール７１およびガイドブロック７２、７３を備えている。ガイドレール７１は、左右方向を長手方向としてアーム支持部材１６の前後の両面の２箇所に固定されている（図４〜図６参照）。図６に示すように、ガイドブロック７３は、第２アーム３０の下端側の２箇所に固定されており、２個のガイドブロック７３は、前後方向の外側からガイドレール７１の右端側部分に係合している。ガイドブロック７２は、第１アーム２９の下端側の２箇所に固定されており、２個のガイドブロック７２は、前後方向の外側からガイドレール７１の左端側部分に係合している。   The hand pitch changing mechanism 31 includes a guide rail 71 and guide blocks 72 and 73 for guiding the first arm 29 and the second arm 30 in the left-right direction. The guide rail 71 is fixed at two locations on both the front and rear sides of the arm support member 16 with the left-right direction as the longitudinal direction (see FIGS. 4 to 6). As shown in FIG. 6, the guide block 73 is fixed at two locations on the lower end side of the second arm 30, and the two guide blocks 73 are engaged with the right end portion of the guide rail 71 from the outside in the front-rear direction. Match. The guide block 72 is fixed at two places on the lower end side of the first arm 29, and the two guide blocks 72 are engaged with the left end side portion of the guide rail 71 from the outside in the front-rear direction.

本形態では、ガイドレール７１とガイドブロック７２とによって第１アーム２９を左右方向へ案内するガイド機構７５が構成され、ガイドレール７１とガイドブロック７３とによって第２アーム３０を左右方向へ案内するガイド機構７６が構成されている。本形態のガイド機構７５は、第１保持部材ガイド機構であり、ガイド機構７６は、第２保持部材ガイド機構である。   In this embodiment, the guide rail 71 and the guide block 72 constitute a guide mechanism 75 that guides the first arm 29 in the left-right direction, and the guide rail 71 and the guide block 73 guide the second arm 30 in the left-right direction. A mechanism 76 is configured. The guide mechanism 75 of this embodiment is a first holding member guide mechanism, and the guide mechanism 76 is a second holding member guide mechanism.

ハンドピッチ変更機構３１では、モータ６７が回転してレバー部材６８が回動すると、第１アーム２９と第２アーム３０とが左右の逆方向へ同じ量だけ移動して第１アーム２９と第２アーム３０の左右方向のピッチが変更される。本形態のモータ６７はサーボモータであり、ハンドピッチ変更機構３１は、第１アーム２９と第２アーム３０とが最も近づいた状態（図４に示す状態）と、第１アーム２９と第２アーム３０とが最も離れた状態（図５に示す状態）との間で、第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを任意に変えることが可能になっている。   In the hand pitch changing mechanism 31, when the motor 67 rotates and the lever member 68 rotates, the first arm 29 and the second arm 30 move by the same amount in the left and right reverse directions to move the first arm 29 and the second arm 29. The pitch in the left-right direction of the arm 30 is changed. The motor 67 of this embodiment is a servo motor, and the hand pitch changing mechanism 31 includes a state in which the first arm 29 and the second arm 30 are closest to each other (a state shown in FIG. 4), a first arm 29 and a second arm. It is possible to arbitrarily change the left-right pitch between the first arm 29 and the second arm 30 between the state 30 and the state farthest from the state 30 (the state shown in FIG. 5).

また、ハンドピッチ変更機構３１は、ロボット１が基板２を搬送する搬送動作中に、必要に応じて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更する。すなわち、ハンドピッチ変更機構３１は、搬送動作中に、必要に応じてハンド３とハンド４との左右方向のピッチ、および、ハンド５とハンド６との左右方向のピッチを変更する。たとえば、左右方向において所定のピッチで基板２が収容されるカセットの収容部からハンド３、４に搭載された基板２を搬出して、カセットの収容部における左右方向のピッチよりも左右方向のピッチが広い製造装置の収容部にハンド３、４に搭載された基板２を搬入する場合、ハンドピッチ変更機構３１は、搬送動作中に、必要に応じて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更する。   Further, the hand pitch changing mechanism 31 changes the left-right pitch between the first arm 29 and the second arm 30 as necessary during the transfer operation in which the robot 1 transfers the substrate 2. That is, the hand pitch changing mechanism 31 changes the left-right pitch between the hand 3 and the hand 4 and the left-right pitch between the hand 5 and the hand 6 as necessary during the transport operation. For example, the substrate 2 mounted on the hands 3 and 4 is unloaded from the cassette housing portion in which the substrates 2 are housed at a predetermined pitch in the left-right direction, and the left-right pitch is higher than the left-right pitch in the cassette housing portion. When the board 2 mounted on the hands 3, 4 is carried into the accommodating portion of the manufacturing apparatus having a large width, the hand pitch changing mechanism 31 is configured to move the first arm 29 and the second arm 30 as necessary during the carrying operation. Change the horizontal pitch.

（ハンドの構成）
図７は、図１に示すハンド３の基部２６の内部の構成を説明するための平面図である。図８は、図１に示すハンド３、５の基部２６の内部の構成を説明するための側面図である。図９は、図３に示すフォーク２７の先端側部分の構成を説明するための平面図である。 (Hand structure)
FIG. 7 is a plan view for explaining the internal configuration of the base 26 of the hand 3 shown in FIG. FIG. 8 is a side view for explaining the internal configuration of the base 26 of the hands 3 and 5 shown in FIG. FIG. 9 is a plan view for explaining the configuration of the tip side portion of the fork 27 shown in FIG.

ハンド３〜６は、上述のように、基部２６と２本のフォーク２７とを備えている。図７、図８に示すように、フォーク２７の基端側部分は、中空状に形成される基部２６の内部に配置されている。また、ハンド３〜６は、左右方向における２本のフォーク２７のピッチを変更するフォークピッチ変更機構７８を備えている。フォークピッチ変更機構７８は、中空状に形成される基部２６の内部に配置されている。   The hands 3 to 6 include the base portion 26 and the two forks 27 as described above. As shown in FIGS. 7 and 8, the base end side portion of the fork 27 is disposed inside a base portion 26 formed in a hollow shape. Each of the hands 3 to 6 includes a fork pitch changing mechanism 78 that changes the pitch of the two forks 27 in the left-right direction. The fork pitch changing mechanism 78 is disposed inside the base portion 26 formed in a hollow shape.

フォーク２７の先端側には、図９に示すように、複数の吸着パッド７７が取り付けられている。複数の吸着パッド７７は、様々な大きさの基板２の吸着が可能となるように配置されている。また、複数の吸着パッド７７のそれぞれが電磁弁を介して吸引装置に接続されており、複数の吸着パッド７７のそれぞれが基板２の吸着動作を行うことが可能になっている。なお、２本のフォーク２７には、たとえば、２個の基板２が搭載される。また、この２個の基板２は、たとえば、図９に示すように、上下方向から見たときに、左右方向に平行な所定の対称軸Ｌに対して線対称となるように２本のフォーク２７に搭載される。   As shown in FIG. 9, a plurality of suction pads 77 are attached to the front end side of the fork 27. The plurality of suction pads 77 are arranged so that the substrates 2 having various sizes can be sucked. In addition, each of the plurality of suction pads 77 is connected to a suction device via an electromagnetic valve, and each of the plurality of suction pads 77 can perform the suction operation of the substrate 2. For example, two substrates 2 are mounted on the two forks 27. Further, for example, as shown in FIG. 9, the two substrates 2 have two forks so as to be line symmetric with respect to a predetermined symmetry axis L parallel to the horizontal direction when viewed from the vertical direction. 27.

フォークピッチ変更機構７８は、駆動源となるモータ７９と、モータ７９の出力軸に連結されるネジ部材８０と、２本のフォーク２７のうちの一方に固定されるナット部材８１と、２本のフォーク２７のうちの他方に固定されるナット部材８２と、ネジ部材８０の回転量を検知する検知機構８３とを備えている。本形態のモータ７９は、フォーク駆動モータであり、ナット部材８１は、第１ナット部材であり、ナット部材８２は、第２ナット部材である。   The fork pitch changing mechanism 78 includes a motor 79 as a driving source, a screw member 80 connected to the output shaft of the motor 79, a nut member 81 fixed to one of the two forks 27, and two A nut member 82 fixed to the other of the forks 27 and a detection mechanism 83 that detects the amount of rotation of the screw member 80 are provided. The motor 79 of this embodiment is a fork drive motor, the nut member 81 is a first nut member, and the nut member 82 is a second nut member.

モータ７９は、減速機付きのモータ（ギアードモータ）である。このモータ７９は、モータ７９の出力軸の軸方向と左右方向とが一致するように基部２６に固定されている。モータ７９の減速機の減速比が大きくなっており、たとえば、減速比は、１／３００である。ネジ部材８０は、細長い棒状に形成されている。このネジ部材８０は、ネジ部材８０の長手方向と左右方向とが一致するように配置されており、基部２６に回転可能に支持されている。ネジ部材８０の一端側には、順ネジが形成される順ネジ部８０ａが形成されている。ネジ部材８０の他端側には、逆ネジが形成される逆ネジ部８０ｂが形成されている。ナット部材８１は、順ネジ部８０ａに係合し、ナット部材８２は、逆ネジ部８０ｂに係合している。ネジ部材８０の一端は、カップリング８５を介してモータ７９の出力軸に連結されている。   The motor 79 is a motor with a reduction gear (geared motor). The motor 79 is fixed to the base portion 26 so that the axial direction of the output shaft of the motor 79 coincides with the left-right direction. The reduction ratio of the reduction gear of the motor 79 is large. For example, the reduction ratio is 1/300. The screw member 80 is formed in an elongated rod shape. The screw member 80 is disposed so that the longitudinal direction of the screw member 80 coincides with the left-right direction, and is rotatably supported by the base portion 26. On one end side of the screw member 80, a forward thread portion 80a in which a forward thread is formed is formed. On the other end side of the screw member 80, a reverse screw portion 80b in which a reverse screw is formed is formed. The nut member 81 is engaged with the forward screw portion 80a, and the nut member 82 is engaged with the reverse screw portion 80b. One end of the screw member 80 is connected to the output shaft of the motor 79 via a coupling 85.

検知機構８３は、ネジ部材８０の他端に固定される検出板８６と、発光素子と受光素子とを有する光学式のセンサ８７とを備えている。センサ８７は、発光素子と受光素子とが対向配置される透過型の光学式センサである。検出板８６は、センサ８７の発光素子と受光素子との間に配置されている。検出板８６には、センサ８７の発光素子から受光素子へ向かう光を透過する透光部と、センサ８７の発光素子から受光素子へ向かう光を遮る遮光部とが形成されている。   The detection mechanism 83 includes a detection plate 86 fixed to the other end of the screw member 80, and an optical sensor 87 having a light emitting element and a light receiving element. The sensor 87 is a transmissive optical sensor in which a light emitting element and a light receiving element are arranged to face each other. The detection plate 86 is disposed between the light emitting element and the light receiving element of the sensor 87. The detection plate 86 is formed with a translucent part that transmits light from the light emitting element of the sensor 87 to the light receiving element and a light shielding part that blocks light from the light emitting element of the sensor 87 to the light receiving element.

本形態では、図７の二点鎖線で示すように２本のフォーク２７が最も近づいたときの２本のフォーク２７の位置がフォーク２７の基準位置となっている。フォークピッチ変更機構７８は、この基準位置を検知するための基準位置検知機構９５を備えている。基準位置検知機構９５は、検出板９６と、発光素子と受光素子とを有する光学式のセンサ９７とを備えている。センサ９７は、発光素子と受光素子とが対向配置される透過型の光学式センサであり、基部２６に固定されている。検出板９６は、２本のフォーク２７が最も近づいたときに、検出板９６がセンサ９７の発光素子と受光素子との間を遮るように、２本のフォーク２７のうちの一方のフォーク２７の基端側部分に取り付けられている。検知機構８３は、基準位置検知機構９５によって検知される２本のフォーク２７の基準位置を基準にしたネジ部材８０の回転量を検知することで２本のフォーク２７のピッチを検知する。   In this embodiment, as shown by a two-dot chain line in FIG. 7, the position of the two forks 27 when the two forks 27 are closest is the reference position of the forks 27. The fork pitch changing mechanism 78 includes a reference position detection mechanism 95 for detecting the reference position. The reference position detection mechanism 95 includes a detection plate 96 and an optical sensor 97 having a light emitting element and a light receiving element. The sensor 97 is a transmissive optical sensor in which a light emitting element and a light receiving element are arranged to face each other, and is fixed to the base portion 26. When the two forks 27 come closest to each other, the detection plate 96 has one of the two forks 27 so that the detection plate 96 blocks between the light emitting element and the light receiving element of the sensor 97. It is attached to the base end part. The detection mechanism 83 detects the pitch of the two forks 27 by detecting the amount of rotation of the screw member 80 based on the reference position of the two forks 27 detected by the reference position detection mechanism 95.

また、フォークピッチ変更機構７８は、２本のフォーク２７を左右方向へ案内するためのガイドレール８９およびガイドブロック９０、９１を備えている。ガイドレール８９は、左右方向を長手方向として基部２６の２箇所に固定されている。２個のガイドレール８９は、前後方向でネジ部材８０を挟むように配置されている。ガイドブロック９０は、２本のフォーク２７のうちの一方のフォーク２７の基端側部分の２箇所に固定され、ガイドブロック９１は、２本のフォーク２７のうちの他方のフォーク２７の基端側部分の２箇所に固定されている。２個のガイドブロック９０のそれぞれは２個のガイドレール８９のそれぞれに係合し、２個のガイドブロック９１のそれぞれは２個のガイドレール８９のそれぞれに係合している。   The fork pitch changing mechanism 78 includes a guide rail 89 and guide blocks 90 and 91 for guiding the two forks 27 in the left-right direction. The guide rail 89 is fixed at two locations on the base 26 with the left-right direction as the longitudinal direction. The two guide rails 89 are arranged so as to sandwich the screw member 80 in the front-rear direction. The guide block 90 is fixed at two locations on the base end side portion of one fork 27 of the two forks 27, and the guide block 91 is on the base end side of the other fork 27 of the two forks 27. It is fixed at two locations of the part. Each of the two guide blocks 90 is engaged with each of the two guide rails 89, and each of the two guide blocks 91 is engaged with each of the two guide rails 89.

本形態では、ガイドレール８９とガイドブロック９０とによって２本のフォーク２７の一方を左右方向へ案内するガイド機構９２が構成され、ガイドレール８９とガイドブロック９１とによって２本のフォーク２７の他方を左右方向へ案内するガイド機構９３が構成されている。本形態のガイド機構９２は、第１フォークガイド機構であり、ガイド機構９３は、第２フォークガイド機構である。   In this embodiment, a guide mechanism 92 that guides one of the two forks 27 in the left-right direction is configured by the guide rail 89 and the guide block 90, and the other of the two forks 27 is configured by the guide rail 89 and the guide block 91. A guide mechanism 93 for guiding in the left-right direction is configured. The guide mechanism 92 of this embodiment is a first fork guide mechanism, and the guide mechanism 93 is a second fork guide mechanism.

フォークピッチ変更機構７８では、モータ７９が回転してネジ部材８０が回転すると、２本のフォーク２７のうちの一方のフォーク２７と他方のフォーク２７とが左右の逆方向へ同じ量だけ移動して２本のフォーク２７の左右方向のピッチが変更される。本形態のフォークピッチ変更機構７８は、検知機構８３での検知結果に基づいて、図７の二点鎖線で示すように２本のフォーク２７が最も近づいた状態と、図７の点線で示すように２本のフォーク２７とが最も離れた状態との間で、２本のフォーク２７の左右方向のピッチを任意に変えることが可能になっている。また、フォークピッチ変更機構７８は、ロボット１で搬送される基板２の大きさが決まると、ロボット１が基板２を搬送する搬送動作の前に、必要に応じて２本のフォーク２７の左右方向のピッチを変更する。すなわち、フォークピッチ変更機構７８は、ロボット１による基板２の搬送動作中に、２本のフォーク２７の左右方向のピッチを変更することはない。   In the fork pitch changing mechanism 78, when the motor 79 rotates and the screw member 80 rotates, one of the forks 27 and the other fork 27 of the two forks 27 moves in the opposite directions in the left and right directions by the same amount. The pitch in the left-right direction of the two forks 27 is changed. The fork pitch changing mechanism 78 of the present embodiment is based on the detection result of the detection mechanism 83, as shown by the two-dot chain line in FIG. In addition, the left and right pitches of the two forks 27 can be arbitrarily changed between the two forks 27 being farthest from each other. In addition, when the size of the substrate 2 transported by the robot 1 is determined, the fork pitch changing mechanism 78 determines the left and right directions of the two forks 27 as necessary before the robot 1 transports the substrate 2. Change the pitch. That is, the fork pitch changing mechanism 78 does not change the left and right pitches of the two forks 27 while the robot 1 is transporting the substrate 2.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、前後方向へ直線的に移動するハンド３とハンド４とが同じ高さで配置され、前後方向へ直線的に移動するハンド５とハンド６とが同じ高さで配置されている。そのため、本形態では、ハンド３、４を用いて、あるいは、ハンド５、６を用いて、同じ高さで収容されている複数の基板２を同時に搬出することが可能になるとともに、同じ高さで収容される複数の基板２を同時に搬入することが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１が設置される製造システムのタクトタイムを短縮することが可能になる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the hand 3 and the hand 4 that move linearly in the front-rear direction are arranged at the same height, and the hand 5 and the hand 6 that move linearly in the front-rear direction are the same height. Is arranged in. Therefore, in this embodiment, it is possible to simultaneously carry out a plurality of substrates 2 accommodated at the same height by using the hands 3 and 4 or by using the hands 5 and 6 and at the same height. It is possible to carry in a plurality of substrates 2 accommodated at the same time. Therefore, in this embodiment, the tact time of the manufacturing system in which the robot 1 is installed can be shortened.

一方で、基板２の搬出時や搬入時に、たとえば、ハンド３とハンド４とを同時に往復移動させると、ハンド３またはハンド４が、基板２が収容されるカセットや製造装置等と接触するおそれがある。また、基板２の搬出時や搬入時に、たとえば、ハンド５とハンド６とを同時に往復移動させると、ハンド５またはハンド６が製造装置等と接触するおそれがある。本形態では、ロボット１が、アーム１１に対してハンド支持部材７〜１０のそれぞれを個別に往復移動させる４個のハンド駆動機構２２〜２５を備えているため、基板２の搬出時や搬入時に製造装置等と接触するおそれのあるハンド３〜６を停止させておくことが可能になる。したがって、本形態では、基板２の搬出時や搬入時における製造装置等とハンド３〜６との接触を防止することが可能になり、ハンド３〜６等の損傷を防止することが可能になる。   On the other hand, when the substrate 3 is unloaded or loaded, for example, if the hand 3 and the hand 4 are simultaneously reciprocated, the hand 3 or the hand 4 may come into contact with a cassette, a manufacturing apparatus, or the like in which the substrate 2 is accommodated. is there. Further, when the substrate 2 is unloaded or loaded, for example, if the hand 5 and the hand 6 are simultaneously reciprocated, the hand 5 or the hand 6 may come into contact with the manufacturing apparatus or the like. In this embodiment, since the robot 1 includes four hand drive mechanisms 22 to 25 that individually reciprocate each of the hand support members 7 to 10 with respect to the arm 11, when the substrate 2 is unloaded or loaded. It becomes possible to stop the hands 3 to 6 that may come into contact with the manufacturing apparatus or the like. Therefore, in this embodiment, it is possible to prevent the manufacturing apparatus or the like from coming into contact with the hands 3 to 6 when the substrate 2 is carried out or carried in, and damage to the hands 3 to 6 can be prevented. .

本形態では、前後方向から見たときに、送り機構３９、４１とガイド機構４３、４５とは、４個のモータ３５〜３８よりも左側に配置され、送り機構４０、４２とガイド機構４４、４６とは、４個のモータ３５〜３８よりも右側に配置されている。そのため、本形態では、送り機構３９、４１およびガイド機構４３、４５と、送り機構４０、４２およびガイド機構４４、４６との左右方向の距離を確保することが可能になる。したがって、本形態では、モータ３５〜３８よりも左側に配置される可動する部材と、モータ３５〜３８よりも右側に配置される可動する部材との干渉を防止することが可能になる。   In this embodiment, when viewed from the front-rear direction, the feed mechanisms 39, 41 and the guide mechanisms 43, 45 are arranged on the left side of the four motors 35-38, and the feed mechanisms 40, 42 and the guide mechanism 44, 46 is arranged on the right side of the four motors 35 to 38. Therefore, in this embodiment, it is possible to ensure the distance in the left-right direction between the feed mechanisms 39 and 41 and the guide mechanisms 43 and 45 and the feed mechanisms 40 and 42 and the guide mechanisms 44 and 46. Therefore, in this embodiment, it is possible to prevent interference between the movable member disposed on the left side of the motors 35 to 38 and the movable member disposed on the right side of the motors 35 to 38.

本形態では、ハンド５がハンド３の下側に配置されるとともに、ハンド５が固定されるハンド支持部材９を駆動するハンド駆動機構２４のモータ３７、送り機構４１およびガイド機構４５が、ハンド３が固定されるハンド支持部材７を駆動するハンド駆動機構２２のモータ３５、送り機構３９およびガイド機構４３よりも上側に配置されている。そのため、本形態では、モータ３７、送り機構４１およびガイド機構４５が、モータ３５、送り機構３９およびガイド機構４３よりも下側に配置されている場合と比較して、ハンド支持部材７、９の構成を簡素化することが可能になる。また、本形態では、ハンド６がハンド４の下側に配置されるとともに、ハンド６が固定されるハンド支持部材１０を駆動するハンド駆動機構２５のモータ３８、送り機構４２およびガイド機構４６が、ハンド４が固定されるハンド支持部材８を駆動するハンド駆動機構２３のモータ３６、送り機構４０およびガイド機構４４よりも上側に配置されている。そのため、本形態では、モータ３８、送り機構４２およびガイド機構４６が、モータ３６、送り機構４０およびガイド機構４４よりも下側に配置されている場合と比較して、ハンド支持部材８、１０の構成を簡素化することが可能になる。   In this embodiment, the hand 5 is disposed below the hand 3, and the motor 37, the feed mechanism 41, and the guide mechanism 45 of the hand drive mechanism 24 that drives the hand support member 9 to which the hand 5 is fixed are Is disposed above the motor 35, the feed mechanism 39, and the guide mechanism 43 of the hand drive mechanism 22 that drives the hand support member 7 to which is fixed. Therefore, in this embodiment, compared with the case where the motor 37, the feed mechanism 41, and the guide mechanism 45 are disposed below the motor 35, the feed mechanism 39, and the guide mechanism 43, the hand support members 7, 9 The configuration can be simplified. In this embodiment, the hand 6 is disposed below the hand 4, and the motor 38, the feed mechanism 42, and the guide mechanism 46 of the hand drive mechanism 25 that drives the hand support member 10 to which the hand 6 is fixed are The hand drive mechanism 23 that drives the hand support member 8 to which the hand 4 is fixed is disposed above the motor 36, the feed mechanism 40, and the guide mechanism 44. Therefore, in this embodiment, compared with the case where the motor 38, the feed mechanism 42, and the guide mechanism 46 are disposed below the motor 36, the feed mechanism 40, and the guide mechanism 44, the hand support members 8, 10 The configuration can be simplified.

本形態では、ハンドピッチ変更機構３１は、ロボット１が基板２を搬送する搬送動作中に、必要に応じて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更している。すなわち、本形態では、ハンドピッチ変更機構３１は、搬送動作中に、必要に応じて、ハンド３とハンド４との左右方向のピッチ、および、ハンド５とハンド６との左右方向のピッチを変更している。そのため、本形態では、同じ高さで搬送元に収容されている複数の基板２の左右方向のピッチと、同じ高さで搬送先に収容される複数の基板２の左右方向のピッチとが異なる場合であっても、搬送元から搬送先へ基板２を短時間でかつ適切に搬送することが可能になる。   In this embodiment, the hand pitch changing mechanism 31 changes the left-right pitch between the first arm 29 and the second arm 30 as necessary during the transfer operation in which the robot 1 transfers the substrate 2. That is, in this embodiment, the hand pitch changing mechanism 31 changes the left-right pitch between the hand 3 and the hand 4 and the left-right pitch between the hand 5 and the hand 6 as necessary during the transport operation. doing. Therefore, in this embodiment, the left-right pitch of the plurality of substrates 2 accommodated in the transfer source at the same height is different from the left-right pitch of the plurality of substrates 2 accommodated in the transfer destination at the same height. Even in this case, the substrate 2 can be appropriately transported from the transport source to the transport destination in a short time.

本形態では、ハンドピッチ変更機構３１は、モータ６７と３個のレバー部材６８〜７０とを備えている。そのため、本形態では、３個のレバー部材６８〜７０を用いた比較的簡易な構成で、第１アーム２９と第２アーム３０とのピッチを変更することが可能になる。また、本形態では、フォークピッチ変更機構７８は、モータ７９と、順ネジ部８０ａと逆ネジ部８０ｂとが形成されるとともにモータ７９の出力軸に連結されるネジ部材８０と、２本のフォーク２７の一方に固定され順ネジ部８０ａに係合するナット部材８１と、２本のフォーク２７の他方に固定され逆ネジ部８０ｂに係合するナット部材８２とを備えている。そのため、本形態では、１本のネジ部材８０を用いた比較的簡易な構成で、２本のフォーク２７のピッチを変更することが可能になる。また、本形態では、モータ７９の減速機の減速比が大きくなっているため、所定位置に移動した２本のフォーク２７に左右方向の外力が作用しても、２本のフォーク２７はその位置から動かない。したがって、本形態では、特別な固定機構を設けなくても、所定位置に移動した２本のフォーク２７をその位置で固定することが可能になる。   In this embodiment, the hand pitch changing mechanism 31 includes a motor 67 and three lever members 68 to 70. Therefore, in this embodiment, the pitch between the first arm 29 and the second arm 30 can be changed with a relatively simple configuration using the three lever members 68 to 70. In this embodiment, the fork pitch changing mechanism 78 includes a motor 79, a forward screw portion 80a and a reverse screw portion 80b, a screw member 80 connected to the output shaft of the motor 79, and two forks. A nut member 81 fixed to one of the two forks 27 and engaged with the forward screw portion 80a, and a nut member 82 fixed to the other of the two forks 27 and engaged with the reverse screw portion 80b. Therefore, in this embodiment, the pitch of the two forks 27 can be changed with a relatively simple configuration using one screw member 80. Further, in this embodiment, since the reduction ratio of the reduction gear of the motor 79 is large, even if an external force in the left-right direction acts on the two forks 27 moved to a predetermined position, the two forks 27 are in their positions. Does not move from. Therefore, in this embodiment, it is possible to fix the two forks 27 moved to the predetermined position at that position without providing a special fixing mechanism.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

上述した形態では、ハンドピッチ変更機構３１は、３個のレバー部材６８〜７０を用いて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更しているが、ハンドピッチ変更機構３１は、３個のレバー部材６８〜７０以外の部材を用いて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更しても良い。たとえば、ハンドピッチ変更機構３１は、フォークピッチ変更機構７８と同様に、順ネジ部と逆ネジ部とを有するネジ部材と、第１アーム２９に固定され順ネジ部に係合するナット部材と、第２アーム３０に固定され逆ネジ部に係合するナット部材とを用いて第１アーム２９と第２アーム３０との左右方向のピッチを変更しても良い。   In the embodiment described above, the hand pitch changing mechanism 31 uses the three lever members 68 to 70 to change the left-right pitch between the first arm 29 and the second arm 30. May change the pitch in the left-right direction between the first arm 29 and the second arm 30 using a member other than the three lever members 68 to 70. For example, like the fork pitch changing mechanism 78, the hand pitch changing mechanism 31 includes a screw member having a forward screw portion and a reverse screw portion, a nut member fixed to the first arm 29 and engaged with the forward screw portion, You may change the pitch of the 1st arm 29 and the 2nd arm 30 in the left-right direction using the nut member fixed to the 2nd arm 30 and engaging with a reverse thread part.

同様に、フォークピッチ変更機構７８は、ネジ部材８０およびナット部材８１、８２以外の部材を用いて２本のフォーク２７の左右方向のピッチを変更しても良い。たとえば、ハンドピッチ変更機構３１と同様に、３個のレバー部材を用いて２本のフォーク２７の左右方向のピッチを変更しても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ハンドピッチ変更機構３１を備えているが、ロボット１は、ハンドピッチ変更機構３１を備えていなくても良い。この場合には、アーム１１は、左右方向に分割されていなくても良い。また、上述した形態では、ハンド３〜６は、フォークピッチ変更機構７８を備えているが、ハンド３〜６は、フォークピッチ変更機構７８を備えていなくても良い。   Similarly, the fork pitch changing mechanism 78 may change the left and right pitches of the two forks 27 using a member other than the screw member 80 and the nut members 81 and 82. For example, like the hand pitch changing mechanism 31, the left and right pitches of the two forks 27 may be changed using three lever members. In the embodiment described above, the robot 1 includes the hand pitch changing mechanism 31. However, the robot 1 may not include the hand pitch changing mechanism 31. In this case, the arm 11 may not be divided in the left-right direction. Moreover, in the form mentioned above, although the hands 3-6 are provided with the fork pitch change mechanism 78, the hands 3-6 do not need to be provided with the fork pitch change mechanism 78.

上述した形態では、モータ３５〜３８は、前後方向におけるアーム１１の一端側に取り付けられている。この他にもたとえば、４個のモータ３５〜３８の中から任意に選択される１個、２個または３個のモータが前後方向におけるアーム１１の一端側に取り付けられ、残りのモータが前後方向におけるアーム１１の他端側に取り付けられても良い。   With the form mentioned above, the motors 35-38 are attached to the one end side of the arm 11 in the front-back direction. In addition, for example, one, two or three motors arbitrarily selected from four motors 35 to 38 are attached to one end side of the arm 11 in the front-rear direction, and the remaining motors are front-rear direction. It may be attached to the other end of the arm 11.

上述した形態では、モータ３５とモータ３６とが左右方向で隣り合い、モータ３７とモータ３８とが左右方向と隣り合うとともに、モータ３５、３６とモータ３７、３８とが上下方向で重なるように配置されている。この他にもたとえば、前後方向におけるアーム１１の一端側において４個のモータ３５〜３８が上下方向で１列に重なるように配置されても良い。また、前後方向におけるアーム１１の一端側において４個のモータ３５〜３８のうちの任意の３個のモータが上下方向で１列に重なるように配置され、残りの１個のモータが前後方向におけるアーム１１の他端側に配置されても良いし、前後方向におけるアーム１１の一端側において４個のモータ３５〜３８のうちの任意の２個のモータが上下方向で重なるように配置され、前後方向におけるアーム１１の他端側において残りの２個のモータが上下方向で重なるように配置されても良い。   In the embodiment described above, the motor 35 and the motor 36 are adjacent to each other in the left-right direction, the motor 37 and the motor 38 are adjacent to each other in the left-right direction, and the motors 35 and 36 and the motors 37 and 38 are arranged to overlap in the vertical direction. Has been. In addition to this, for example, the four motors 35 to 38 may be arranged on one end side of the arm 11 in the front-rear direction so as to overlap with each other in the vertical direction. In addition, any one of the four motors 35 to 38 is arranged on one end side of the arm 11 in the front-rear direction so as to overlap in the vertical direction, and the remaining one motor is disposed in the front-rear direction. It may be arranged on the other end side of the arm 11, or on the one end side of the arm 11 in the front-rear direction, any two of the four motors 35 to 38 are arranged so as to overlap in the vertical direction. The remaining two motors may be arranged so as to overlap in the vertical direction on the other end side of the arm 11 in the direction.

上述した形態では、同じ高さで２個のハンド３とハンド４とが配置され、同じ高さで２個のハンド５とハンド６とが配置されているが、同じ高さで配置されるハンドの数は、３個以上であっても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、２段に重なるように配置される２個のハンド３、４と２個のハンド５、６とを備えているが、ロボット１は、２個のハンド３、４または２個のハンド５、６のみを備えていても良い。また、同じ高さで配置される２個以上のハンドが３段以上で重なるように配置されていても良い。   In the embodiment described above, two hands 3 and 4 are arranged at the same height, and two hands 5 and 6 are arranged at the same height, but hands arranged at the same height. The number of may be three or more. Further, in the above-described form, the robot 1 includes the two hands 3 and 4 and the two hands 5 and 6 that are arranged so as to overlap in two stages, but the robot 1 includes two hands. Only 3, 4 or 2 hands 5, 6 may be provided. Further, two or more hands arranged at the same height may be arranged so as to overlap in three or more stages.

上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は液晶ディスプレイ用のガラス基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、ガラス基板２以外のものであっても良い。たとえば、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、半導体ウエハ等であっても良い。   In the above-described form, the transport object to be transported by the robot 1 is the glass substrate 2 for the liquid crystal display. However, the transport object to be transported by the robot 1 may be other than the glass substrate 2. For example, the transfer object to be transferred by the robot 1 may be a semiconductor wafer or the like.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
３ ハンド（第１ハンド）
４ ハンド（第２ハンド）
５ ハンド（第３ハンド）
６ ハンド（第４ハンド）
７ ハンド支持部材（第１ハンド支持部材）
８ ハンド支持部材（第２ハンド支持部材）
９ ハンド支持部材（第３ハンド支持部材）
１０ ハンド支持部材（第４ハンド支持部材）
１１ アーム（保持部材）
２２ ハンド駆動機構（第1ハンド駆動機構）
２３ ハンド駆動機構（第２ハンド駆動機構）
２４ ハンド駆動機構（第３ハンド駆動機構）
２５ ハンド駆動機構（第４ハンド駆動機構）
２７ フォーク
２９ 第１アーム（第１保持部材）
３０ 第２アーム（第２保持部材）
３１ ハンドピッチ変更機構
３５ モータ（ハンド駆動モータ、第１ハンド駆動モータ）
３６ モータ（ハンド駆動モータ、第２ハンド駆動モータ）
３７ モータ（ハンド駆動モータ、を第３ハンド駆動モータ）
３８ モータ（ハンド駆動モータ、第４ハンド駆動モータ）
３９ 送り機構（第１送り機構）
４０ 送り機構（第２送り機構）
４１ 送り機構（第３送り機構）
４２ 送り機構（第４送り機構）
４３ ガイド機構（ハンドガイド機構、第１ハンドガイド機構）
４４ ガイド機構（ハンドガイド機構、第２ハンドガイド機構）
４５ ガイド機構（ハンドガイド機構、第３ハンドガイド機構）
４６ ガイド機構（ハンドガイド機構、第４ハンドガイド機構）
４８〜５１ ネジ軸
５２〜５５ ナット部材
６７ モータ（保持部材駆動モータ）
６８ レバー部材（第１レバー部材）
６９ レバー部材（第２レバー部材）
７０ レバー部材（第３レバー部材）
７５ ガイド機構（第１保持部材ガイド機構）
７６ ガイド機構（第２保持部材ガイド機構）
７８ フォークピッチ変更機構
７９ モータ（フォーク駆動モータ）
８０ ネジ部材
８０ａ 順ネジ部
８０ｂ 逆ネジ部
８１ ナット部材（第１ナット部材）
８２ ナット部材（第２ナット部材）
９２ ガイド機構（第１フォークガイド機構）
９３ ガイド機構（第２フォークガイド機構）
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, transport object)
3 hands (first hand)
4 hands (second hand)
5 hands (third hand)
6 hands (4th hand)
7 Hand support member (first hand support member)
8 Hand support member (second hand support member)
9 Hand support member (3rd hand support member)
10 Hand support member (4th hand support member)
11 Arm (holding member)
22 Hand drive mechanism (first hand drive mechanism)
23 Hand drive mechanism (second hand drive mechanism)
24 Hand drive mechanism (third hand drive mechanism)
25 Hand drive mechanism (4th hand drive mechanism)
27 Fork 29 First arm (first holding member)
30 Second arm (second holding member)
31 Hand pitch change mechanism 35 Motor (hand drive motor, first hand drive motor)
36 motors (hand drive motor, second hand drive motor)
37 Motor (hand drive motor, third hand drive motor)
38 Motor (hand drive motor, fourth hand drive motor)
39 Feed mechanism (first feed mechanism)
40 Feed mechanism (second feed mechanism)
41 Feed mechanism (third feed mechanism)
42 Feeding mechanism (fourth feeding mechanism)
43 Guide mechanism (hand guide mechanism, first hand guide mechanism)
44 Guide mechanism (hand guide mechanism, second hand guide mechanism)
45 Guide mechanism (hand guide mechanism, third hand guide mechanism)
46 Guide mechanism (hand guide mechanism, fourth hand guide mechanism)
48 to 51 Screw shaft 52 to 55 Nut member 67 Motor (holding member drive motor)
68 Lever member (first lever member)
69 Lever member (second lever member)
70 Lever member (third lever member)
75 Guide mechanism (first holding member guide mechanism)
76 Guide mechanism (second holding member guide mechanism)
78 Fork pitch changing mechanism 79 Motor (fork drive motor)
80 Screw member 80a Forward screw portion 80b Reverse screw portion 81 Nut member (first nut member)
82 Nut member (second nut member)
92 Guide mechanism (first fork guide mechanism)
93 Guide mechanism (second fork guide mechanism)
X first direction Y second direction

Claims (6)

搬送対象物が個別に搭載されるとともに同じ高さで配置される複数のハンドと、複数の前記ハンドのそれぞれが固定される複数のハンド支持部材と、複数の前記ハンド支持部材が水平方向の同じ方向へ直線的に往復移動可能となるように複数の前記ハンド支持部材を保持する保持部材と、前記保持部材に対して複数の前記ハンド支持部材のそれぞれを個別に往復移動させる複数のハンド駆動機構とを備えるとともに、
前記保持部材に対する前記ハンド支持部材の移動方向を第１方向とし、水平方向であってかつ前記第１方向に直交する方向を第２方向とすると、
前記ハンドとして、前記第１方向から見たときに前記第２方向で隣り合うように同じ高さで配置される第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１方向から見たときに上下方向で前記第１ハンドと重なるように前記第１ハンドの下側に配置される第３ハンドと、前記第１方向から見たときに上下方向で前記第２ハンドと重なるように前記第３ハンドと同じ高さで前記第２ハンドの下側に配置される第４ハンドとを備え、
前記ハンド支持部材として、前記第１ハンドが固定される第１ハンド支持部材と、前記第２ハンドが固定される第２ハンド支持部材と、前記第３ハンドが固定される第３ハンド支持部材と、前記第４ハンドが固定される第４ハンド支持部材とを備え、
前記ハンド駆動機構として、前記第１ハンド支持部材を往復移動させる第１ハンド駆動機構と、前記第２ハンド支持部材を往復移動させる第２ハンド駆動機構と、前記第３ハンド支持部材を往復移動させる第３ハンド駆動機構と、前記第４ハンド支持部材を往復移動させる第４ハンド駆動機構とを備え、
前記保持部材は、前記第１ハンド支持部材と前記第３ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第１保持部材と、前記第２ハンド支持部材と前記第４ハンド支持部材とを往復移動可能に保持する第２保持部材とを備え、
前記ハンド駆動機構は、駆動源となるハンド駆動モータと、前記ハンド駆動モータの動力で回転するネジ軸および前記ネジ軸の外周面に形成されるオネジに係合するメネジが内周側に形成されるナット部材を有し前記ハンド支持部材を前記第１方向へ送る送り機構と、前記第１方向へ前記ハンド支持部材を案内するハンドガイド機構とを備え、
前記第１ハンド駆動機構の前記送り機構を第１送り機構とし、前記第１ハンド駆動機構の前記ハンドガイド機構を第１ハンドガイド機構とし、前記第１ハンド駆動機構の前記ハンド駆動モータを第１ハンド駆動モータとし、前記第２ハンド駆動機構の前記送り機構を第２送り機構とし、前記第２ハンド駆動機構の前記ハンドガイド機構を第２ハンドガイド機構とし、前記第２ハンド駆動機構の前記ハンド駆動モータを第２ハンド駆動モータとし、前記第３ハンド駆動機構の前記送り機構を第３送り機構とし、前記第３ハンド駆動機構の前記ハンドガイド機構を第３ハンドガイド機構とし、前記第３ハンド駆動機構の前記ハンド駆動モータを第３ハンド駆動モータとし、前記第４ハンド駆動機構の前記送り機構を第４送り機構とし、前記第４ハンド駆動機構の前記ハンドガイド機構を第４ハンドガイド機構とし、前記第４ハンド駆動機構の前記ハンド駆動モータを第４ハンド駆動モータとすると、
前記第１送り機構と前記第１ハンドガイド機構と前記第３送り機構と前記第３ハンドガイド機構とは、前記第１方向から見たときに、４個の前記ハンド駆動モータよりも前記第２方向の一方側に配置され、
前記第２送り機構と前記第２ハンドガイド機構と前記第４送り機構と前記第４ハンドガイド機構とは、前記第１方向から見たときに、４個の前記ハンド駆動モータよりも前記第２方向の他方側に配置され、
前記第３ハンド駆動モータと前記第１ハンド駆動モータとは、前記第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で前記第３ハンドの下側に配置され、
前記第４ハンド駆動モータと前記第２ハンド駆動モータとは、前記第１方向から見たときに、上下方向で重なるようにかつ上側からこの順番で前記第４ハンドの下側に配置され、
前記第１送り機構および前記第１ハンドガイド機構は、前記第１方向から見たときに前記第１ハンド駆動モータと前記第２方向で隣り合うように配置され、
前記第２送り機構および前記第２ハンドガイド機構は、前記第１方向から見たときに前記第２ハンド駆動モータと前記第２方向で隣り合うように配置され、
前記第３送り機構および前記第３ハンドガイド機構は、前記第１方向から見たときに前記第３ハンド駆動モータと前記第２方向で隣り合うように配置され、
前記第４送り機構および前記第４ハンドガイド機構は、前記第１方向から見たときに前記第４ハンド駆動モータと前記第２方向で隣り合うように配置され、
前記第１送り機構と前記第１ハンドガイド機構と前記第３送り機構と前記第３ハンドガイド機構とは、前記第１方向から見たときに、前記第３ハンドの下側に配置され、
前記第２送り機構と前記第２ハンドガイド機構と前記第４送り機構と前記第４ハンドガイド機構とは、前記第１方向から見たときに、前記第４ハンドの下側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。 A plurality of hands on which the objects to be conveyed are individually mounted and arranged at the same height, a plurality of hand support members to which each of the plurality of hands is fixed, and the plurality of hand support members are the same in the horizontal direction A holding member that holds the plurality of hand support members so as to be linearly reciprocable in a direction, and a plurality of hand drive mechanisms that individually reciprocate the plurality of hand support members with respect to the holding member. And with
When the direction of movement of the hand support member relative to the holding member is the first direction, the horizontal direction and the direction perpendicular to the first direction is the second direction,
The first hand and the second hand arranged at the same height so as to be adjacent to each other in the second direction when viewed from the first direction, and the vertical direction when viewed from the first direction. Same as the third hand so as to overlap the second hand in the vertical direction when viewed from the first direction, and a third hand disposed below the first hand so as to overlap the first hand A fourth hand disposed below the second hand at a height,
As the hand support member, a first hand support member to which the first hand is fixed, a second hand support member to which the second hand is fixed, and a third hand support member to which the third hand is fixed, A fourth hand support member to which the fourth hand is fixed,
As the hand driving mechanism, a first hand driving mechanism for reciprocating the first hand supporting member, a second hand driving mechanism for reciprocating the second hand supporting member, and a reciprocating movement of the third hand supporting member. A third hand drive mechanism, and a fourth hand drive mechanism for reciprocating the fourth hand support member,
The holding member is capable of reciprocating between the first holding member that holds the first hand supporting member and the third hand supporting member so as to be reciprocally movable, and the second hand supporting member and the fourth hand supporting member. A second holding member for holding the
The hand drive mechanism has a hand drive motor as a drive source, a screw shaft that is rotated by the power of the hand drive motor, and a female screw that engages with a male screw formed on the outer peripheral surface of the screw shaft on the inner peripheral side. A feed mechanism that feeds the hand support member in the first direction, and a hand guide mechanism that guides the hand support member in the first direction,
The feed mechanism of the first hand drive mechanism is a first feed mechanism, the hand guide mechanism of the first hand drive mechanism is a first hand guide mechanism, and the hand drive motor of the first hand drive mechanism is a first hand drive. A motor, a feed mechanism of the second hand drive mechanism is a second feed mechanism, a hand guide mechanism of the second hand drive mechanism is a second hand guide mechanism, and the hand drive motor of the second hand drive mechanism is a second A two-hand drive motor, the feed mechanism of the third hand drive mechanism is a third feed mechanism, the hand guide mechanism of the third hand drive mechanism is a third hand guide mechanism, and the hand drive of the third hand drive mechanism is The motor is a third hand drive motor, the feed mechanism of the fourth hand drive mechanism is a fourth feed mechanism, and the fourth The hand-guided mechanism of de drive mechanism and a fourth hand-guided mechanism, the hand driving motor of said fourth hand drive mechanism when the fourth hand drive motor,
The first feed mechanism, the first hand guide mechanism, the third feed mechanism, and the third hand guide mechanism are more movable in the second direction than four hand drive motors when viewed from the first direction. Placed on one side,
The second feed mechanism, the second hand guide mechanism, the fourth feed mechanism, and the fourth hand guide mechanism are more movable in the second direction than four hand drive motors when viewed from the first direction. Placed on the other side,
The third hand drive motor and the first hand drive motor are arranged on the lower side of the third hand in this order from above so as to overlap in the vertical direction when viewed from the first direction,
The fourth hand drive motor and the second hand drive motor are arranged below the fourth hand in this order from above so as to overlap in the vertical direction when viewed from the first direction,
The first feed mechanism and the first hand guide mechanism are arranged adjacent to the first hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction,
The second feeding mechanism and the second hand guide mechanism are arranged adjacent to the second hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction,
The third feed mechanism and the third hand guide mechanism are disposed adjacent to the third hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction,
The fourth feed mechanism and the fourth hand guide mechanism are arranged to be adjacent to the fourth hand drive motor in the second direction when viewed from the first direction,
The first feed mechanism, the first hand guide mechanism, the third feed mechanism, and the third hand guide mechanism are disposed below the third hand when viewed from the first direction,
The second feed mechanism, the second hand guide mechanism, the fourth feed mechanism, and the fourth hand guide mechanism are disposed below the fourth hand when viewed from the first direction. A featured industrial robot. 前記第２方向における前記第１保持部材と前記第２保持部材とのピッチを変更するハンドピッチ変更機構を備えることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 Industrial robot according to claim 1, characterized in that it comprises a hand pitch change mechanism for changing the pitch between the second holding member and the first holding member in the second direction. 前記ハンドピッチ変更機構は、前記産業用ロボットが前記搬送対象物を搬送する搬送動作中に、前記第２方向における前記第１保持部材と前記第２保持部材とのピッチを変更することを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。 The hand pitch changing mechanism is configured to change a pitch between the first holding member and the second holding member in the second direction during a transfer operation in which the industrial robot transfers the transfer object. The industrial robot according to claim 2 . 前記ハンドピッチ変更機構は、駆動源となる保持部材駆動モータと、その中心位置が前記保持部材駆動モータの出力軸に固定される第１レバー部材と、その一端側が前記第１保持部材に回動可能に連結されるとともにその他端側が前記第１レバー部材の一端側に回動可能に連結される第２レバー部材と、その一端側が前記第２保持部材に回動可能に連結されるとともにその他端側が前記第１レバー部材の他端側に回動可能に連結される第３レバー部材と、前記第１保持部材を前記第２方向へ案内する第１保持部材ガイド機構と、前記第２保持部材を前記第２方向へ案内する第２保持部材ガイド機構とを備えることを特徴とする請求項２または３記載の産業用ロボット。 The hand pitch changing mechanism includes a holding member driving motor serving as a driving source, a first lever member whose center position is fixed to the output shaft of the holding member driving motor, and one end side of which rotates to the first holding member. A second lever member connected to the second lever member so that the other end side is pivotably connected to one end side of the first lever member, and the other end is pivotally connected to the second holding member. A third lever member pivotally connected to the other end of the first lever member, a first holding member guide mechanism for guiding the first holding member in the second direction, and the second holding member claim 2 or 3 an industrial robot according to, comprising a second holding member guide mechanism for guiding to the second direction. 前記ハンドは、前記第２方向で隣り合うように配置され前記搬送対象物が搭載される２本のフォークと、前記第２方向における２本の前記フォークのピッチを変更するフォークピッチ変更機構とを備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。 The hand includes two forks that are arranged adjacent to each other in the second direction and on which the conveyance object is mounted, and a fork pitch change mechanism that changes the pitch of the two forks in the second direction. industrial robot according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it comprises. 前記フォークピッチ変更機構は、駆動源となる減速機付きのフォーク駆動モータと、順ネジが形成される順ネジ部と逆ネジが形成される逆ネジ部とを有し前記フォーク駆動モータの出力軸に連結されるネジ部材と、２本の前記フォークの一方に固定され前記順ネジ部に係合する第１ナット部材と、２本の前記フォークの他方に固定され前記逆ネジ部に係合する第２ナット部材と、２本の前記フォークの一方を前記第２方向へ案内する第１フォークガイド機構と、２本の前記フォークの他方を前記第２方向へ案内する第２フォークガイド機構とを備えることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。 The fork pitch changing mechanism has a fork drive motor with a speed reducer as a drive source, a forward screw portion in which a forward screw is formed, and a reverse screw portion in which a reverse screw is formed, and an output shaft of the fork drive motor A first nut member that is fixed to one of the two forks and engages with the forward screw portion, and is fixed to the other of the two forks and engages with the reverse screw portion. A second nut member, a first fork guide mechanism for guiding one of the two forks in the second direction, and a second fork guide mechanism for guiding the other of the two forks in the second direction. The industrial robot according to claim 5, further comprising:
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6998687B2 (en) * 2017-06-29 2022-01-18 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot hand and industrial robot
JP2019010691A (en) 2017-06-29 2019-01-24 日本電産サンキョー株式会社 Hand of industrial robot and industrial robot
JP7092469B2 (en) * 2017-06-29 2022-06-28 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot hand and industrial robot
JP6869137B2 (en) * 2017-07-28 2021-05-12 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP6869136B2 (en) * 2017-07-28 2021-05-12 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP6873881B2 (en) * 2017-10-13 2021-05-19 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
CN108555936A (en) * 2018-06-14 2018-09-21 上海众鸿电子科技有限公司 A kind of wafer handling machinery arm
JP7495271B2 (en) * 2020-04-28 2024-06-04 ニデックインスツルメンツ株式会社 Industrial Robots

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001300879A (en) * 2000-04-24 2001-10-30 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd General-purpose hand for conveying substrate
JP2003203963A (en) * 2002-01-08 2003-07-18 Tokyo Electron Ltd Transport mechanism, processing system and transport method
JP3933524B2 (en) * 2002-05-30 2007-06-20 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing equipment
JP2004342933A (en) * 2003-05-16 2004-12-02 Kondo Seisakusho:Kk Wafer hand
JP2006272526A (en) * 2005-03-30 2006-10-12 Nidec Sankyo Corp Hand of transfer-use robot, and transfer-use robot having the hand
JP2007005435A (en) * 2005-06-22 2007-01-11 Rorze Corp Processing apparatus
JP5402233B2 (en) * 2009-05-19 2014-01-29 株式会社安川電機 Robot and article transfer system
KR101679410B1 (en) * 2011-08-10 2016-11-25 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 End-effector device and substrate transport robot provided with said end-effector device
WO2013040401A1 (en) * 2011-09-16 2013-03-21 Persimmon Technologies, Corp. Low variability robot
CN104511907B (en) * 2013-09-28 2017-04-12 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 Finger-spacing adjustable mechanical arm and wafer conveying device
CN104517879A (en) * 2013-09-28 2015-04-15 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 Convey manipulator with adjustable finger interval and wafer convey device
JP6190692B2 (en) * 2013-10-22 2017-08-30 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot

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