JP5197441B2 - 横電界方式の液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents
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Description
PS(In-Plane Switching)モードないしFFS(Fringe Field Switching)モード等の
横電界方式で駆動する液晶表示パネルを製造する際に、対向する一対のマザー基板を真空
中で貼り合せ、その後に真空条件下で静電シールドとしての導電膜を形成するスパッタリ
ング等の工程を行う横電界方式の液晶表示パネルの製造方法に関するものである。
あるため、表示用として多くの電子機器に使用されている。液晶表示パネルは、所定方向
に整列した液晶分子の向きを電界により変えて、液晶層の光の透過量を変化させて画像を
表示させるものである。液晶表示パネルの液晶層に電界を印加する方法として、縦電界方
式のものと横電界方式のものとがある。縦電界方式の液晶表示パネルは、液晶層を挟んで
配置される一対の電極により、概ね縦方向の電界を液晶分子に印加するものである。この
縦電界方式の液晶表示パネルとしては、TN(Twisted Nematic)モード、VA(Vertica
l Alignment)モード、MVA(Multi-domain Vertical Alignment)モード等のものが知
られている。
板とカラーフィルター基板のうちの一方のアレイ基板の内面側に一対の電極が互いに絶縁
して設けられており、概ね横方向の電界を液晶分子に対して印加するものである。この横
電界方式の液晶表示パネルとしては、一対の電極が平面視で重ならないIPSモードのも
のと、重なるFFSモードのものとが知られている。横電界方式の液晶表示パネルは広い
視野角を得ることができるという効果があるので、近年、多く用いられるようになってき
ている。
かった課題がある。すなわち、横電界方式の液晶表示パネルは、一対の基板の内の一方に
のみ液晶を駆動するための一対の電極を備えており、他方の基板には電極を備えていない
。そのため、他方の基板側から静電気等に起因する電界が印加された場合、この電界は直
接液晶層に対して作用するため、表示の異常が発生してしまうことになる。それに対し、
縦電界方式の液晶表示パネルは、一方の基板に画素電極が形成されており、他方の基板に
対向電極ないし共通電極が形成されているため、外部から静電気等に起因する電界が印加
されても、この電界は画素電極又は対向電極ないし共通電極によって遮られるため、液晶
層に対して作用することがないので、横電界方式の液晶表示パネルのような表示異常は生
じ難い。
、カラーフィルター基板に静電気等に対するシールド機能を有する導電層や導電膜を形成
することが行われている。例えば、下記特許文献1には、カラーフィルター基板の透明基
板の外表面側のほぼ全域に透明導電膜としてのITO(Indium Thin Oxide)膜を形成し
、このITO膜の上面に偏光板を貼付するようにした横電界方式の液晶表示装置が開示さ
れている。この下記特許文献1に開示されている横電界方式の液晶表示装置によれば、外
部から液晶表示パネルの表面に静電気等の高い電位が加わった場合であっても、表示の異
常の発生を防止できるようになり、また、耐久性、対環境性、および信頼性等も向上させ
ることができるとされている。なお、このようなシールド層としてのITO膜は、例えば
真空ないし減圧雰囲気中でスパッタリング方法によって形成されるが、通常、一対の透明
基板の周縁部にシール材を塗布して貼り合わせた後に形成されるとしている。
透明導電膜を電気的にグラントに通電するアース手段を配設して、液晶表示パネルに電磁
シールドを形成した液晶表示装置が開示されている。下記特許文献2に開示された液晶表
示装置によれば、この電磁波シールドでもって、表示画面を通して入出される電磁波を防
ぎ、周囲の電子機器の誤動作などのさまざまな悪影響をなくし、しかも、電磁波障害に対
し強い液晶表示装置が得られるとされている。
導電膜を形成することにより、静電気等に対してのシールド機能をもたせるようにしてい
る。これら導電層あるいは導電膜は、いずれもITO膜を真空中でのスパッタリング法な
いし蒸着法により形成されている。しかしながら、横電界方式の液晶表示パネルの製造工
程において、一対のマザー基板を大気圧中で剛体プレス等により貼り合わせを行い、その
後真空中でスパッタリング等の成膜工程によってITO等の導電性膜の形成を行うと、マ
ザー基板に割れが発生することがあった。
ような原因によるものであることを見出した。すなわち、貼り合わせ工程は大気圧下で行
われているためにマザー基板の内部は大気圧となっているのに対し、ITO等の導電性膜
の形成工程は真空中で行われているために、マザー基板の外部は真空雰囲気となってしま
う。そのため、ITO等の導電性膜の形成工程時にはマザー基板の内外の圧力差によって
マザー基板が変形を起こし、これがマザー基板の割れの原因となってしまうわけである。
ザー基板の外周に液晶表示パネル用のシール材とは別の外周シール材を環状に形成し、一
対のマザー基板の貼り合わせを真空中で行い、その後にそのまま真空中でITO等の導電
性膜の形成工程を行うことにより解決できることを見出し、本発明を完成するに至ったも
のである。すなわち、本発明の目的は、両マザー基板の貼り合わせを行った後に、ITO
等の導電性膜の形成工程を真空条件下で行ってもマザー基板の割れが発生しない横電界方
式の液晶表示パネルの製造方法を提供することにある。
複数の液晶表示パネル領域が形成された第1マザー基板及び第2マザー基板を用意する
第1の工程と、
前記第1マザー基板及び第2マザー基板の少なくとも一方の表面に、外周囲に沿って環
状にシール材を塗布すると共に前記複数の液晶表示パネル形成領域のそれぞれの周囲にシ
ール材を塗布する第2の工程と、
前記第1マザー基板と前記第2マザー基板を真空中で貼り合せる第3の工程と、
前記貼り合わされた両マザー基板の一方のマザー基板の裏面に導電膜を真空中で成膜す
る第4の工程と、
前記マザー基板を各液晶表示パネルに分断する工程と、
を備えることを特徴とする。
り合せ、その後スパッタリング等で静電シールドとしての導電膜を成膜する工程がある。
しかし、導電膜を成膜するスパッタリング等は真空中で行われるため、従来のように両マ
ザー基板を大気圧下において剛体プレスで貼り合せると、その後に真空条件下で行われる
スパッタリング等の工程で圧力の変化により基板割れが発生するおそれがある。すなわち
、両マザー基板を大気圧下で貼り合わせた場合、両マザー基板の内部は大気圧であるのに
対し、両マザー基板の外部は減圧状態であるから、両マザー基板は外側に膨れる。しかし
、両マザー基板の外側には固定部材がないため、両マザー基板の膨れが大きくなってしま
うため、基板割れが発生するおそれが生じるのである。
のマザー基板の外周に環状の外周シール材を形成し、両マザー基板を真空中で貼り合わせ
ている。この状態では、両マザー基板の内部は減圧状態となる。そのため、その後の製造
工程で基板周囲の圧力が上昇(大気圧中に移行)することがあっても、両マザー基板は内
側に窪むように変形するが、変形量は両マザー基板間の隙間の厚さによって限定されるた
めに大きくはならず、しかも、両マザー基板の内部は減圧状態が保たれている。従って、
本発明の横電界方式の液晶表示パネルの製造方法によれば、静電シールドとしての導電膜
の成膜を再度真空条件下で行っても、両マザー基板の内外の圧力差は小さくなるので、基
板割れが起こり難くなる。
中で貼り合わせているため、基板内部や基板表面に存在する揮発不純物の除去ができ、液
晶表示パネルの品質を向上させることができるという効果も奏する。
液晶表示パネルに分断する工程は、前記貼り合わされたマザー基板を真空中で短冊状に分
断する第5の工程と、
前記短冊状のマザー基板を各液晶表示パネルに分断する第6の工程と、
からなることが好ましい。
する工程も真空中で行っているので、外周シール材が切断されたときにも急激な気圧の変
化が起こらないので、この製造工程での基板割れも抑制することができる。
おける前記複数の液晶表示パネル形成領域のそれぞれの周囲にシール材を塗布する工程は
、前記液晶表示パネル領域毎に液晶注入口を備えるように形成する工程であり、
前記第5の工程と第6の工程の間に液晶注入工程と液晶注入口封止工程を備えることが
好ましい。
空注入法を用いた横電界方式の液晶表示パネルの製造方法にも奏することができる。
おける前記複数の液晶表示パネル形成領域のそれぞれの周囲にシール材を塗布する工程は
、前記液晶表示パネル領域毎に環状にシール材を塗布する工程であり、
前記第2の工程と第3の工程の間に液晶を滴下注入する工程を備えることが好ましい。
晶滴下法を用いた液晶表示パネルの製造方法にも奏することができる。
中で剛体プレスすることによって行うことが好ましい。
で剛体プレスにより行うので、従来の大気圧のみで貼り合わせる方法に比べ、より強固な
貼り合わせができるようになる。
前記両マザー基板を貼り合わせる真空の減圧条件は、前記第4の工程における導電膜を成
膜する真空の減圧条件と同一であることが好ましい。
る時の減圧条件と一方のマザー基板の裏面に導電膜を成膜する時の減圧条件が同一である
ので、導電膜の成膜時に再度減圧しても外周シール材の内部には圧力の変化がほとんどな
いため、さらに基板割れを抑制した横電界方式の液晶表示パネルの製造方法を提供するこ
とができる。
により製造された横電界方式の液晶表示パネルであることを特徴とする。
示パネルを提供することができる。
細に説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するためにF
FSモードの液晶表示パネルの製造方法を例にとって説明するものであって、本発明をこ
の実施形態に記載されたFFSモードの液晶表示パネルの製造方法に特定することを意図
するものではなく、本発明は特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態のものにも等し
く適応し得るものである。なお、この明細書における説明のために用いられた各図面にお
いては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に
縮尺を異ならせて表示しており、必ずしも実際の寸法に比例して表示されているものでは
ない。また、以下に述べるアレイ基板及びカラーフィルター基板の「表面」とは各種配線
が形成された面ないしは液晶と対向する側の面を示すものとし、「裏面」とは表示面側(
カラーフィルター基板の場合)ないしバックライト側(アレイ基板の場合)の面を示すも
のとする。
まず、図1を参照して、本実施形態1のFFSモードの液晶表示パネルの製造方法によ
って製造される液晶表示パネルの構成について説明する。図1A及び図1Bに示すように
、本実施形態1の液晶表示パネル10Aはガラス等からなる透明基板12上に各種配線等
を形成したアレイ基板11とガラス等からなる透明基板15上にカラーフィルター等を形
成したカラーフィルター基板14が対向配置されている。そして、カラーフィルター基板
14の裏面には静電シールドとしての導電膜17が成膜されている。
出し部12aが形成されるようにカラーフィルター基板14より若干サイズが大きいもの
が使用されている。この張出し部12aには、液晶を駆動するドライバーIC21等が配
置されている。
8aが塗布される。なお、このシール材18aで囲まれた領域が表示領域22となってい
る。アレイ基板11とカラーフィルター基板14とは、一定の隙間(セルギャップ)を有
するようにフォトスペーサー(図示省略)が形成されシール材18で張り合わされている
。アレイ基板11の表示領域22内に、基板辺のシール材18aに形成された液晶注入口
19から液晶23を注入した後に、この液晶注入口19に封止材20を塗布して封止した
構成となっている。
膜、樹脂膜等の成膜とパターニングを繰り返して信号線や走査線などの各種配線、スイッ
チング素子としての薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)、ITOやIZ
O(Indium Zinc Oxide)等の透明導電性材料からなる下電極、電極間絶縁膜、ITOや
IZO等の透明導電性材料からなる上電極、配向膜などを備え、複数個の液晶表示パネル
領域を含むように形成される。なお、図1Bではこれらを総称して構造物13とされてい
る。そして、配向膜にラビング処理をして第1マザー基板11Mが完成される(ステップ
S1)。
属膜や樹脂膜、絶縁膜等の成膜とパターニングを繰り返し、遮光層、カラーフィルター層
、オーバーコート層、配向膜等を備えるように形成される。なお、図1Bではこれらを総
称して構造物16とされている。そして、配向膜にラビング処理をして第2マザー基板1
4Mが完成される(ステップS2)。
塗布する。このシール材は、例えば専用のシールディスペンサー24を用いて塗布する。
このときシール材は、マザー基板表面の外周に塗布するシール材(以下、「外周シール材
」という)18と、各液晶表示パネル形成領域25の周囲を囲むように一部に液晶注入口
19となる部分を開けて塗布するシール材(以下、「パネルシール材」という)18aの
両方を塗布する(ステップS3)。なお、これらのシール材18、18aは第1マザー基
板11M及び第2マザー基板14Mの少なくとも一方に形成することができるが、実施形
態1では第1マザー基板11M側に形成した例を示す。また、シール材は熱硬化性樹脂や
紫外線硬化性樹脂等を用いることができる。
ルギャップを一定に保つためのフォトスペーサー(図示省略)を設ける必要があるが、こ
のフォトスペーサーは第1マザー基板又は第2マザー基板のいずれか一方の表面に形成す
ればよい。
シール材18とパネルシール材18aを塗布した第1マザー基板11Mと第2マザー基板
14Mを対向配置し、両マザー基板11M、14Mに形成したアライメントマーク(図示
省略)等を合わせることにより位置決めを行う。また、本実施形態1では、図4Bに示す
ように、貼り合わせは、公知の真空発生装置を用いて真空状態にした装置26内で行う。
そして、図4Cに示すように、この貼り合せは、使用するシール材18、18aに合わせ
て、熱などを加えながら且つ所定の圧力を加えて行う方法が採用されるが、周囲雰囲気を
真空から大気圧へ変えることにより、大気の圧力を利用して力を加える方法を採用しても
よい(ステップS4)。
、14Mに形成された外周シール材18の内部は減圧状態のまま貼り合わされることとな
る。そのため、この貼り合わされたマザー基板(以下、単にマザー基板という)10AM
は、大気圧中に露出しても、外周シール材18の内部は減圧状態が保たれることになる。
また、マザー基板10AMを減圧下で貼り合わせているため、基板内部や表面に存在する
揮発不純物の除去ができ、完成した液晶表示パネルの品質においても有利である。
の静電シールドとしての導電膜17を第2マザー基板14Mの裏面にスパッタリング等に
よって真空雰囲気下において成膜する。この成膜は、ここでは専用のスパッタリング装置
27等を用いて行う(ステップS5)。
、後の工程で導電膜17を成膜するために真空雰囲気にした際、両マザー基板11M、1
4M内の圧力と外部の圧力との差によって両マザー基板は外側に大きく膨れるように変形
するため、基板割れが発生するおそれがある。しかしながら、この実施形態1では、両マ
ザー基板11M、14Mは真空中で貼り合わされているため、両マザー基板11M、14
Mを貼り合せた後も、両マザー基板11M、14Mの内部は減圧状態が保たれている。そ
のため、両マザー基板11M、14Mを大気中に取り出した場合には、両マザー基板11
M、14Mは内側に窪むように変形するが、変形量は両マザー基板11M、14M間の隙
間の厚さによって限定されるために大きくはならず、しかも、両マザー基板の内部は減圧
状態が保たれている。しかも、スパッタリング等の真空工程を行うためにマザー基板10
AMの外周シール材18の外部を減圧状態にしても、内外の気圧差は少ないので、基板割
れの発生のおそれが少なくなる。
た、成膜工程としては、スパッタリングの他に真空蒸着法や化学蒸着法(CVD)などが
ある。また、ステップS4、ステップS5における真空状態の減圧条件は、貼り合わせ工
程の減圧条件を、成膜工程の最高減圧条件に合わせるようにすると、成膜工程で再度真空
状態にしても減圧条件が貼り合わせ時と同じなので基板への負担を大幅に減少させること
ができる。
分断工程は、図6Aに示すように、マザー基板10AMを第1分断線28に沿って短冊状
に分断する。また、第1分断工程は、図6Bに示すように、真空発生装置において真空状
態にした装置31内でレーザーカッター29から照射されるレーザ光30によって行う。
上記ステップ4において、真空状態で貼り合わされたマザー基板10AMは、外周シール
材18の内部はまだ減圧状態に保たれている。そのため、この第1分断工程を大気圧中で
行うと、外周シール材18が切断されたとき、外周シール材18の内部の圧力が急激に上
昇してしまうので、基板割れのおそれがある。そのため、この第1分断工程も真空状態で
行われる(ステップS6)。
ールカッターを用いた方法などが知られているが、本実施形態1では、この第1分断は真
空状態で行われるので、レーザーカッター29を用いる方法を採用した。また、この短冊
状のマザー基板10ASは、図6Cに示すように、外周シール材18の一部が残ったまま
となっている。
に示したように、短冊状のマザー基板10ASを液晶注入口19が下になるように設置し
、液晶注入口19に対応する位置に合わせて液晶23を用意する。このとき、液晶23の
注入装置(図示省略)内を減圧して真空状態にする。次に、図7Bに示すように、短冊状
のマザー基板10ASの液晶注入口19に液晶23に接触させる。すると、図7Cに示す
ように、液晶注入口19からいわゆる毛細管現象により、液晶23が各液晶表示パネル1
0Aの表示領域22内に侵入する。その後、しばらくして、この液晶23の注入装置の内
部を大気圧に戻すと、図7Dに示すように、液晶23は、表示領域22の隅々までさらに
行き渡る。その後、図7Eに示すように、液晶注入口19を封止材20で封止して、液晶
の注入が終了する(ステップS7)。
の注入が終了した後、短冊状のマザー基板10ASを、図7Eに示した第2分断線32に
沿って分断し、個々のパネル状に分断する。ここで、一部の残った外周シール材18はマ
ザー基板10AMの端部とともに切断され除去される(ステップS8)。そして、分断し
た液晶表示パネルにドライバーIC21等を設置して、図1Aに示すような本実施形態1
の横電界方式の液晶表示パネル10Aが完成される(ステップS9)。
実施形態1では液晶の注入に真空注入法を用いたFFSモードの液晶表示パネルの製造
方法を説明したが、実施形態2では、液晶滴下法を用いたFFSモードの液晶表示パネル
の製造方法について説明する。なお、実施形態2のFFSモードの液晶表示パネルの製造
方法では、液晶滴下法を用いる点が実施形態1のFFSモードの液晶表示パネルの製造方
法と異なるので、実施形態1のFFSモードの液晶表示パネルの製造方法と共通する構成
には同一の符号を参照し、詳細な説明は省略する。
造される液晶表示パネルの構成について説明する。図8A及び図8Bに示すように、本実
施形態2の液晶表示パネル10Bは上記実施形態1の製造方法で製造される液晶表示パネ
ル10Aとはシール材18により液晶注入口19が形成されていない点が異なる。なお、
他の構成は実施形態1の液晶表示パネルと共通する。
る。この工程は上記実施形態1で説明したステップ1と同一であるので、詳細な説明は省
略する(ステップS11)。
のシール材は、例えば専用のシールディスペンサー24を用いて塗布する。このときシー
ル材は、第1マザー基板11M表面の外周に塗布する外周シール材18と、各液晶表示パ
ネル形成領域25の周囲を環状に塗布するシール材(以下、環状シール材という)18b
の両方を塗布する(ステップS12)。なお、これらのシール材18、18bは第1マザ
ー基板11M及び第2マザー基板14Mの少なくとも一方に形成することができるが、図
10Aでは第1マザー基板11M側に形成した例を示す。また、シール材は熱硬化性、紫
外線硬化性あるいはこれらを組み合わせたものを用いる。
3)。なお、この工程は上記実施形態1で説明したステップ3と同一なので説明は省略す
る。
液晶23を滴下する。液晶23は、各液晶表示パネル形成領域25の中央部、すなわち、
第2マザー基板14Mに形成された環状シール材18bの内側に対応する位置に滴下され
る(ステップS14)。
周シール材18と環状シール材18b塗布した第1マザー基板11Mと、あらかじめ液晶
23を滴下した第2マザー基板14Mを対向配置し、両マザー基板11M、14Mに形成
したアライメントマーク(図示省略)等を合わせることにより位置決めを行う。
を用いて真空状態にした装置26内で行う。そして、図11Cに示すように、両マザー基
板11M、14Mの貼り合せを行い、滴下した液晶23を表示領域22内に充填させる。
その後、貼り合わせたマザー基板(以下、単にマザー基板という)10BMを真空中から
大気圧中へ移動させ、大気圧により圧力を加え、貼り合わせを行う。そして、シール材1
8、18bを加熱あるいは、紫外線を照射することで硬化させる(ステップS15)。
より、マザー基板10BMに形成した外周シール材18及び環状シール材18bの内部は
減圧状態のまま貼り合わせることとなり、このマザー基板10BMを大気圧中に移動して
も外周シール材18及び環状シール材18bの内部は減圧状態が保たれることになり、基
板割れのおそれが減少する。
テップS16)。この工程は、上記実施形態1のステップ5と同一工程なので説明は省略
する。
う(ステップS17)。この工程は、上記実施形態1のステップ6と共通するが、異なる
点としては、環状シール材18bの内部の表示領域22にすでに液晶23が充填されてい
ることであるが、分断工程自体には特別に異なる点はない。なお、分断は上記実施形態1
で述べたのと同様に、真空中で行われる(図12B参照)。
32に沿って分断を行い、パネル状にする(ステップS18)。なお、第2分断工程は実
施形態1のステップ8と共通する工程であるので、説明は省略する。
式の液晶表示パネル10Bが完成する(ステップS19)。
造方法によれば、製造工程中に数回の真空工程を行うことになるが、マザー基板に外周シ
ール材を形成することにより外周シール材の内部は減圧状態が保たれる。そのため、気圧
の変化による基板割れを抑制することができる。
シール材は、1重に塗布した場合を示したが、これに限らず2重、3重に塗布してもよい
。このようにすることで、一本の外周シール材の形成が不十分であっても、他の外周シー
ルにより減圧状態を保つことができる。
製造方法を説明したが、これに限らず、横電界方式の液晶表示パネルであれば、IPSモ
ードの液晶表示パネル等にも適用することができる。更に、また、本発明の横電界方式の
液晶表示パネルの製造方法は、上記第1マザー基板の構成において、層間膜の形成を省略
したFFSモードの横電界方式の液晶表示パネルにも適用することができる。
される液晶表示パネルによれば、基板割れによる損傷を抑制した信頼性の高い横電界方式
の液晶表示パネルを提供することができる。
0AS、10BS:短冊状のマザー基板 11:アレイ基板 12:透明基板 12a:
張出し部 13:構造物 14:カラーフィルター基板 14M:第2マザー基板 15
:透明基板 16:構造物 17:導電膜 18:外周シール材 18a:パネルシール
材 18b:環状シール材 19:液晶注入口 20:封止材 21:ドライバーIC
22:表示領域 23:液晶 24:シールディスペンサー 25:液晶表示パネル形成
領域 28:第1分断線 32:第2分断線
Claims (7)
- 横電界方式の液晶表示パネルの製造方法において、
複数の液晶表示パネル領域が形成された第1マザー基板及び第2マザー基板を用意する
第1の工程と、
前記第1マザー基板及び第2マザー基板の少なくとも一方の表面に、外周囲に沿って環
状にシール材を塗布すると共に前記複数の液晶表示パネル形成領域のそれぞれの周囲にシ
ール材を塗布する第2の工程と、
前記第1マザー基板と前記第2マザー基板を真空中で貼り合せる第3の工程と、
前記貼り合わされた両マザー基板の一方のマザー基板の裏面に導電膜を真空中で成膜す
る第4の工程と、
前記マザー基板を各液晶表示パネルに分断する工程と、
を備えることを特徴とする横電界方式の液晶表示パネルの製造方法。 - 前記マザー基板を各液晶表示パネルに分断する工程は、
前記貼り合わされたマザー基板を真空中で短冊状に分断する第5の工程と、
前記短冊状のマザー基板を各液晶表示パネルに分断する第6の工程と、
からなることを特徴とする請求項1に記載の横電界方式の液晶表示パネルの製造方法。 - 前記第2の工程における前記複数の液晶表示パネル形成領域のそれぞれの周囲にシール
材を塗布する工程は、前記液晶表示パネル領域毎に液晶注入口を備えるように形成する工
程であり、
前記第5工程と第6工程の間に液晶注入工程と液晶注入口封止工程を備えることを特徴
とする請求項2に記載の横電界方式の液晶表示パネルの製造方法。 - 前記第2の工程における前記複数の液晶表示パネル形成領域のそれぞれの周囲にシール
材を塗布する工程は、前記液晶表示パネル領域毎に環状にシール材を塗布する工程であり
、
前記第2の工程と第3の工程の間に液晶を滴下注入する工程を備えることを特徴とする
請求項2に記載の横電界方式の液晶表示パネルの製造方法。 - 前記第3の工程は、真空中で剛体プレスすることによって行うことを特徴とする請求項
1〜4のいずれかに記載の横電界方式の液晶表示パネルの製造方法。 - 前記第3の工程における前記両マザー基板を貼り合わせる真空の減圧条件は、
前記第4の工程における導電膜を成膜する真空の減圧条件と同一であることを特徴とする
、請求項1〜5に記載の横電界方式の液晶表示パネルの製造方法 - 前記請求項1〜6の何れかに記載の製造方法により製造された横電界方式の液晶表示パ
ネル。
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