JP5190943B2 - 2探針ケルビンプローブ - Google Patents
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Description
従って従来は、被測定電極の配置がランダムの場合は、ケルビン法による測定ではなく、プローブを1本1本回路電極にコンタクトさせる方法により測定していた。そのため、検査効率及び検査の信頼性が劣る欠点があった。
プローブ2と2´の材質としては、鋼鉄、ベリリウム、リン青銅、ステンレス、モリブデンなどの金属から、その用途に応じて最適な材質を選択すればよい。プローブ2と2´とに被覆する絶縁被膜の種類は特に限定されないが、上記実施例では、ポリイミド樹脂が使用されている。
プローブ収納スリーブ1、検査用板取付用のスリーブ4及び筒体9の材質は、プローブ2,2´の材質と同様に、鋼鉄、ベリリウム、リン青銅、ステンレス、モリブデンなどの金属から選択すればよい。
このようなプローブとするには、前記プローブ収納スリーブ1の内径が0.2〜0.6mmであり、前記2本のプローブの長辺又は直線部の長さが0.1〜0.5mmとするのが良い。
スリーブ1内に、断面半円形又は断面長方形の2本のプローブ2,2´を、若干隙間があるように装着し、スリーブ1後端で、圧接又は接着固定し、2本のプローブ2,2´(図2のプローブA及びB)は、図3に示すように、被測定物10に対し、独立して弾性屈曲し得るようにし、被測定物の表面の微細な凹凸を吸収して確実に2探針の役目を実現する。
それから、スリーブ1とスリーブ4との間のバネ圧を調整するストッパーリング9を、プローブ1に圧接又は接着により固定し、プローブ全体の機能性を完成させる。
コイルスプリング8のバネ圧は、前記二本のプローブ2,2´が被測定物の微小な凹凸に当って、独立して屈曲した後、前記プローブ収納スリーブが前記コイルスプリング8のバネ力に抗して移動するように調整する。
2,2´・・………プローブ
3・・………接着固定部
4・・………スリーブ
5・・………プローブ取付板
6・・………バネ抜け防止鍔
7・・………バネ抜け防止鍔
8・・………コイルスプリング
9・・………筒体
10・・………被測定物
Claims (8)
- 断面横長のバネ性を有し且つ絶縁被膜でコーティングした二本のプローブをプローブ収納スリーブに各々独立して弾性屈曲し得るように装入し、該プローブ収納スリーブを検査用板取付用のスリーブに嵌合させ、前記プローブ収納スリーブの先端部と検査用板取付用のスリーブ先端との間にコイルスプリングを外嵌させ、前記二本のプローブ後部は、前記プローブ収納スリーブに固定したことを特徴とする2探針ケルビンプローブ。
- 前記プローブ収納スリーブの前記検査用板取付用スリーブ後端からの突出部には、ストッパー及び前記コイルスプリングのバネ圧調整用筒体を嵌合装着する請求項1記載のプローブ。
- 前記プローブ収納スリーブの先端部と検査用板取付用のスリーブ先端に鍔を形成し、両方の鍔の間に前記コイルスプリングを外嵌させる請求項1又は2記載のプローブ。
- 断面横長のバネ性を有する二本のプローブは、断面半円径若しくは長方形であり、前記プローブ収納スリーブ及び検査用板取付用スリーブは、断面円形である請求項1〜3のいずれかに記載のプローブ。
- 前記二本のプローブが被測定物の微小な凹凸に当って、独立して屈曲した後、前記プローブ収納スリーブが前記コイルスプリングのバネ力に抗して移動するようにバネ圧が調整されている請求項1〜4のいずれかに記載のプローブ。
- 前記検査用板取付用のスリーブ外径が、0.3〜0.8mmであり、前記プローブ収納スリーブの外径が0.2〜0.7mmである請求項1〜5のいずれかに記載のプローブ。
- 前記プローブ収納スリーブの内径が0.2〜0.6mmであり、前記2本のプローブの長辺又は直線部の長さが0.1〜0.5mmである請求項1〜6のいずれかに記載のプローブ。
- 前記ケルビンプローブは、被測定電極の配置がランダムである回路電極を検査する請求項1〜7のいずれかに記載のプローブ。
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