JP5186851B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents
Manufacturing method of color filter Download PDFInfo
- Publication number
- JP5186851B2 JP5186851B2 JP2007237943A JP2007237943A JP5186851B2 JP 5186851 B2 JP5186851 B2 JP 5186851B2 JP 2007237943 A JP2007237943 A JP 2007237943A JP 2007237943 A JP2007237943 A JP 2007237943A JP 5186851 B2 JP5186851 B2 JP 5186851B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- colored layer
- color filter
- forming
- layer forming
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used in a liquid crystal display device or the like.
近年、パーソナルコンピュータの発達、特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、このカラー液晶ディスプレイが高価であることから、コストダウンの要求が高まっており、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタに対するコストダウンの要求が高い。 In recent years, with the development of personal computers, especially portable personal computers, the demand for liquid crystal displays, especially color liquid crystal displays, has been increasing. However, since this color liquid crystal display is expensive, there is an increasing demand for cost reduction, and in particular, there is a high demand for cost reduction for a color filter having a high specific gravity.
上記カラーフィルタは、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色パターンを備えており、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われる。 The color filter is usually provided with coloring patterns of the three primary colors of red (R), green (G), and blue (B), and the electrodes corresponding to the R, G, and B pixels are turned on and off. As a result, the liquid crystal operates as a shutter, and light passes through each of the R, G, and B pixels, and color display is performed.
このようなカラーフィルタの形成方法としては、例えば基材上に、光触媒と、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する材料とを含有する光触媒含有層形成用塗工液を用いて光触媒含有層を形成し、この光触媒含有層をパターン状に露光することにより、特性が変化したパターンを形成し、着色層をインクジェット法により形成する方法が提案されている（特許文献１）。また例えば、基材上に着色層を形成する着色層形成用塗工液を留めるためのバンクを形成し、このバンクにフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射することによりバンクを撥液性として、インクジェット法により着色層を形成する方法も提案されている（特許文献２）。 As a method for forming such a color filter, for example, a photocatalyst-containing layer forming coating solution containing a photocatalyst and a material whose characteristics change due to the action of the photocatalyst accompanying energy irradiation is used on a substrate. A method has been proposed in which a layer having a characteristic changed by forming a layer and exposing the photocatalyst-containing layer in a pattern, and forming a colored layer by an inkjet method (Patent Document 1). Further, for example, a bank for retaining a colored layer forming coating solution for forming a colored layer on a substrate is formed, and the bank is made liquid repellent by irradiating plasma with a fluorine compound as an introduction gas. A method of forming a colored layer by an inkjet method has also been proposed (Patent Document 2).
これらの方法によれば、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成することが可能であることから、複雑な工程を繰り返す必要がなく、製造効率がよいという利点を有している。また現像液等を用いる必要がないことから、部材の劣化等が生じるおそれもないものとすることができる。しかしながら、各インクジェットノズルから吐出される着色層形成用塗工液の吐出量にはバラつきがある。そのため、各着色層形成用領域に吐出される着色層形成用塗工液の量が均一なものとならず、各着色層の色相等にバラつきが生じ、形成されたカラーフィルタに色ムラが発生する等の問題があった。 According to these methods, it is possible to form a colored layer by applying a colored layer-forming coating solution by an ink jet method, so there is no need to repeat complicated steps and the advantage of high production efficiency. Have. Further, since it is not necessary to use a developer or the like, the member can be prevented from being deteriorated. However, the discharge amount of the colored layer forming coating liquid discharged from each inkjet nozzle varies. For this reason, the amount of the colored layer forming coating liquid discharged to each colored layer forming region is not uniform, the hue of each colored layer varies, and color unevenness occurs in the formed color filter. There was a problem such as.
そこで、各インクジェットノズルからの吐出量を調整するために、各インクジェットノズルごとに検量線を作成し、吐出液滴数を増減させること等により各インクジェットノズルからの吐出量を均一化する方法等が提案されている（例えば特許文献３）。しかしながら、着色層を形成する際には通常、色ムラ低減等のために上記各着色層形成用領域に複数のインクジェットノズルから着色層形成用塗工液を塗布し、各着色層を形成する方法が採用されている。そのため、上記調整方法では、実際の製造条件と異なる条件で各インクジェットノズルの吐出条件の調整が行われることとなり、的確に調整を行うことが難しいという問題があった。また通常、上記調整後のインクジェットノズルからの吐出量にも多少の誤差があることから、複数のインクジェットノズルを用いて着色層を形成する場合、それぞれの誤差が積み重なること等によって、形成される着色層の色ムラが大きくなる場合がある、という問題もあった。これは、例えば３つのインクジェットノズルを用いて各着色層を形成する場合に、それぞれのインクジェットノズルの吐出条件にそれぞれ誤差があった場合、最大３つのインクジェットノズルからの吐出量の誤差が重なり、目的とする値から大幅にずれてしまうからである。 Therefore, in order to adjust the discharge amount from each inkjet nozzle, there is a method for making the discharge amount from each inkjet nozzle uniform by creating a calibration curve for each inkjet nozzle and increasing or decreasing the number of discharged droplets, etc. It has been proposed (for example, Patent Document 3). However, when forming a colored layer, usually, a method of forming each colored layer by applying a colored layer forming coating solution from a plurality of inkjet nozzles to each colored layer forming region in order to reduce color unevenness, etc. Is adopted. For this reason, in the above adjustment method, the discharge conditions of each inkjet nozzle are adjusted under conditions different from the actual manufacturing conditions, and there is a problem that accurate adjustment is difficult. In addition, since there is usually some error in the discharge amount from the adjusted inkjet nozzle, when a colored layer is formed using a plurality of inkjet nozzles, the color formed due to the accumulation of each error, etc. There is also a problem that the color unevenness of the layer may increase. This is because, for example, when each colored layer is formed using three inkjet nozzles, if there are errors in the ejection conditions of the respective inkjet nozzles, errors in the ejection amounts from a maximum of three inkjet nozzles overlap. This is because it deviates significantly from the value.
また上記調整方法を用いた場合、すべてのインクジェットノズルの検量線を作成する必要があることから、工程が煩雑であるという問題もあった。 Moreover, when the said adjustment method was used, since it was necessary to create the calibration curve of all the inkjet nozzles, there also existed a problem that a process was complicated.
そこで、複数のインクジェットノズルを用いて着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、形成される各着色層の色相等にバラつきが少なく、色ムラの少ない高品質な表示が可能なカラーフィルタの製造方法の提供が望まれている。 Accordingly, a color filter manufacturing method for forming a colored layer using a plurality of ink jet nozzles, which is capable of high-quality display with little variation in hue or the like of each formed colored layer and less color unevenness It is desired to provide a manufacturing method.
本発明は、カラーフィルタ形成用基板の各着色層形成用領域に、複数のインクジェットノズルを用いて着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、検査用基板の各テスト用領域上に、上記着色層を形成する際と同じ組み合わせの上記複数のインクジェットノズルから、予め定められた初期条件に従ってそれぞれ上記着色層形成用塗工液を塗布し、検査用着色層を形成する検査用着色層形成工程と、上記検査用着色層を検査し、ムラが生じている上記検査用着色層の形成に用いられた上記複数のインクジェットノズルのうちの一つの上記インクジェットノズルの設定条件のみを上記初期条件から補正した補正条件を決定する補正条件決定工程と、上記補正条件決定工程により決定された上記補正条件に従って、上記カラーフィルタ形成用基板の上記各着色層形成用領域上に上記着色層を形成する着色層形成工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。 The present invention is a method for producing a color filter, wherein a colored layer is formed by applying a colored layer forming coating solution to each colored layer forming region of a color filter forming substrate using a plurality of inkjet nozzles, From each of the plurality of inkjet nozzles in the same combination as when forming the colored layer on each test area of the inspection substrate, the colored layer forming coating solution is applied according to predetermined initial conditions, and inspected. One of the plurality of inkjet nozzles used for forming the colored layer for inspection and the colored layer for inspection which forms the colored layer for inspection, and the colored layer for inspection which is inspected and the unevenness is generated A correction condition determination step for determining a correction condition for correcting only the setting conditions of the inkjet nozzle from the initial condition, and the correction condition determined by the correction condition determination step. It, provides a method for producing a color filter characterized by having a colored layer forming step of forming the colored layer on the color filter substrate for forming the respective colored layer forming region.
本発明によれば、実際に着色層を形成する際と同様のインクジェットノズルの組み合わせで、上記検査用着色層形成工程および補正条件決定工程を行うことから、的確にインクジェットノズルからの吐出条件を調整することが可能となる。また上記調整の際、複数のインクジェットノズルのうちの一つのインクジェットノズルのみの吐出条件を変更することから、調整の際に生じる誤差を少ないものとすることができる。したがって、形成される着色層の色ムラ等を少ないものとすることができ、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができる。またさらに、上記複数のインクジェットノズルのうちの一つのインクジェットノズルのみの吐出条件を変更することから、全てのインクジェットノズルについて調整を行う必要がなく、製造効率の面からも好ましいものとすることができる。 According to the present invention, since the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step are performed with the same combination of ink jet nozzles as when actually forming the colored layer, the discharge conditions from the ink jet nozzles are accurately adjusted. It becomes possible to do. Further, since the discharge condition of only one inkjet nozzle among the plurality of inkjet nozzles is changed at the time of the above adjustment, errors that occur at the time of adjustment can be reduced. Therefore, color unevenness of the colored layer to be formed can be reduced, and a color filter capable of high-quality color display can be manufactured. Furthermore, since the ejection conditions of only one inkjet nozzle among the plurality of inkjet nozzles are changed, it is not necessary to adjust all the inkjet nozzles, which is preferable from the viewpoint of manufacturing efficiency. .
上記発明においては、上記各着色層形成用領域に、３個〜８個の範囲内の上記インクジェットノズルを用いて上記着色層形成用塗工液を塗布することが好ましい。１つの着色層を形成する際に用いられるインクジェットノズルの数を上記範囲内とすることにより、効率よくカラーフィルタを製造することが可能であり、また補正条件決定工程で決定される補正条件に誤差の少ないものとすることができるからである。 In the said invention, it is preferable to apply | coat the said coating liquid for colored layer formation to each said colored layer formation area | region using the said inkjet nozzle in the range of 3-8 pieces. By setting the number of inkjet nozzles used when forming one colored layer within the above range, it is possible to efficiently manufacture a color filter, and there is an error in the correction conditions determined in the correction condition determination step. This is because it can be made less.
上記発明においては、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程が、カラーフィルタの製造条件を決定するために行われるものとしてもよい。これにより、上記補正条件決定工程により決定された補正条件に基づいて、色ムラ等の少ない高品質なカラーフィルタを製造することが可能となるからである。 In the said invention, the said test colored layer formation process and the said correction condition determination process are good also as what is performed in order to determine the manufacturing conditions of a color filter. This is because it is possible to manufacture a high-quality color filter with little color unevenness based on the correction condition determined in the correction condition determination step.
また上記発明においては、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程が、カラーフィルタの製造条件を修正するために行われるものとしてもよい。例えばカラーフィルタを連続して製造している際に、色ムラ等の不具合が生じた場合、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を行い、インクジェットノズルからの吐出量を調整することにより、再度、色ムラ等の少ない高品質なカラーフィルタを製造することが可能となるからである。 Moreover, in the said invention, the said test colored layer formation process and the said correction condition determination process are good also as what is performed in order to correct the manufacturing conditions of a color filter. For example, when problems such as color unevenness occur during continuous production of color filters, the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step are performed to adjust the discharge amount from the inkjet nozzle. This makes it possible to produce a high-quality color filter with less color unevenness again.
本発明によれば、的確にインクジェットノズルからの吐出条件を調整することが可能であり、またその調整に誤差の少ないものとすることができることから、形成される着色層に色ムラ等が少なく、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができる。また本発明によれば効率よくカラーフィルタを製造することができるという効果も奏する。 According to the present invention, it is possible to accurately adjust the discharge conditions from the ink jet nozzle, and since the adjustment can be performed with less error, the formed colored layer has less color unevenness, etc. A color filter capable of high-quality color display can be manufactured. Further, according to the present invention, there is an effect that a color filter can be manufactured efficiently.
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。以下、本発明のカラーフィルタの製造方法について詳しく説明する。 The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used in a liquid crystal display device or the like. Hereafter, the manufacturing method of the color filter of this invention is demonstrated in detail.
本発明のカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタ形成用基板の各着色層形成用領域に、複数のインクジェットノズルを用いて着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、検査用基板の各テスト用領域上に、上記着色層を形成する際と同じ組み合わせの上記複数のインクジェットノズルから、予め定められた初期条件に従ってそれぞれ上記着色層形成用塗工液を塗布し、検査用着色層を形成する検査用着色層形成工程と、上記検査用着色層を検査し、ムラが生じている上記検査用着色層の形成に用いられた上記複数のインクジェットノズルのうちの一つの上記インクジェットノズルの設定条件のみを上記初期条件から補正した補正条件を決定する補正条件決定工程と、上記補正条件決定工程により決定された上記補正条件に従って、上記カラーフィルタ形成用基板の上記各着色層形成用領域上に上記着色層を形成する着色層形成工程とを有することを特徴とする方法である。 The color filter manufacturing method of the present invention is a color filter that forms a colored layer by applying a colored layer forming coating solution to each colored layer forming region of a color filter forming substrate using a plurality of inkjet nozzles. In the manufacturing method, the colored layer forming coating is performed from the plurality of inkjet nozzles in the same combination as the colored layer is formed on each test region of the inspection substrate in accordance with predetermined initial conditions. A plurality of inkjet nozzles used for forming the colored layer for inspection, in which the liquid is applied to form a colored layer for inspection, and the colored layer for inspection is inspected to form the colored layer for inspection. A correction condition determining step for determining a correction condition for correcting only the setting condition of one of the inkjet nozzles from the initial condition, and the correction condition determining step. According to the determined said correction condition, a method characterized by having a colored layer forming step of forming the colored layer on the color filter substrate for forming the respective colored layer forming region.
本発明のカラーフィルタの製造方法は、各着色層の形成に、それぞれ複数のインクジェットノズルが用いられるカラーフィルタの製造方法であり、例えば図１の模式図に示すように、カラーフィルタ形成用基板２１の各着色層形成用領域には、複数（図１では３つ）のインクジェットノズルから着色層形成用塗工液１２が塗布される。上述したように、各インクジェットノズルから吐出される着色層形成用塗工液１２の量には通常バラつきがあるため、形成される着色層２２の膜厚にバラつきが生じ、色ムラ等が生じることとなる。なお図１では、各インクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液１２を模式的に区分して記載しているが、実際には各インクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液１２は混合された状態となる。
The method for producing a color filter of the present invention is a method for producing a color filter in which a plurality of inkjet nozzles are used for forming each colored layer. For example, as shown in the schematic diagram of FIG. The colored layer forming
そこで、本発明のカラーフィルタの製造方法では、例えば図２の模式図に示すように、実際のカラーフィルタに着色層を形成する際と同様のインクジェットノズルの組み合わせで、検査用基板１の各テスト用領域にそれぞれ予め設定された初期条件に基づいて着色層形成用塗工液１２を塗布し、検査用着色層３を形成する検査用着色層形成工程を行う（図２（ａ））。続いて上記検査用着色層３を検査し、ムラが生じている検査用着色層（図２（ａ）では３Ｂおよび３Ｃ）を特定し、この検査用着色層（３Ｂおよび３Ｃ）の形成に用いられた複数のインクジェットノズルのうちの一つのインクジェットノズル（ここでは、１２ｆおよび１２ｉを吐出したインクジェットノズル）のみの設定条件を調整し、補正条件を決定する補正条件決定工程（図示せず）を行う。これにより、上記補正条件に基づいてカラーフィルタ形成用基板の各着色層形成用領域上に着色層を形成する着色層形成工程を行った際に、各着色層に膜厚ムラや色ムラ等がないものとすることができるのである（図２（ｂ））。
Therefore, in the color filter manufacturing method of the present invention, for example, as shown in the schematic diagram of FIG. 2, each test of the inspection substrate 1 is performed with the same combination of ink jet nozzles as in forming a colored layer on an actual color filter. The colored layer forming
本発明においては、実際にカラーフィルタを製造する際と同様のインクジェットノズルの組み合わせでそれぞれ検査用着色層を形成し、上記補正条件決定工程を行うことから、的確にインクジェットノズルからの吐出条件を修正することが可能となり、形成される着色層に色ムラ等が少ないものとすることができる。 In the present invention, since the test colored layer is formed with the same combination of inkjet nozzles as in the actual production of the color filter and the correction condition determining step is performed, the ejection conditions from the inkjet nozzles are accurately corrected. Therefore, the color layer to be formed can have less color unevenness.
また本発明においては、複数のインクジェットノズルのうち、一つのインクジェットノズルのみを選択して、吐出条件の調整を行うことから、生じる誤差を少ないものとすることができる。またさらに、本発明によれば、一部のインクジェットノズルの吐出条件のみを調整することから、全てのインクジェットノズルについて検量線を作成する必要等がなく、効率よく補正条件を決定することが可能となるという利点も有している。 In the present invention, since only one ink jet nozzle is selected from the plurality of ink jet nozzles and the discharge conditions are adjusted, the error that occurs can be reduced. Furthermore, according to the present invention, since only the discharge conditions of some inkjet nozzles are adjusted, there is no need to create a calibration curve for all inkjet nozzles, and correction conditions can be determined efficiently. It also has the advantage of becoming.
ここで本発明においては、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を、カラーフィルタの製造条件を決定するために行う場合（第１実施態様）、および上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を、カラーフィルタの製造条件を修正するために行う場合（第２実施態様）の２つの実施態様がある。以下、それぞれの実施態様ごとにわけて説明する。 Here, in this invention, when performing the said colored layer formation for an inspection and the said correction condition determination process in order to determine the manufacturing conditions of a color filter (1st embodiment), and the said colored layer formation process for an inspection, There are two embodiments when the correction condition determining step is performed in order to correct the manufacturing conditions of the color filter (second embodiment). Hereinafter, each embodiment will be described separately.
Ａ．第１実施態様
まず、本発明のカラーフィルタの製造方法の第１実施態様について説明する。本実施態様のカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタ形成用基板の各着色層形成用領域に、複数のインクジェットノズルを用いて着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、上記検査用着色層形成工程と、上記補正条件決定工程と、上記着色層形成工程とを有し、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を、カラーフィルタの製造条件を決定するために行う方法である。
A. First Embodiment First, a first embodiment of the method for producing a color filter of the present invention will be described. The color filter manufacturing method according to this embodiment includes a color filter that forms a colored layer by applying a colored layer forming coating solution to each colored layer forming region of a color filter forming substrate using a plurality of inkjet nozzles. The method for producing a color filter includes the inspection colored layer forming step, the correction condition determining step, and the colored layer forming step, wherein the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step are color filters. This is a method performed to determine the manufacturing conditions.
本実施態様のカラーフィルタの製造方法では、例えば図３のフロー図に示すように、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を行い、最適なインクジェットノズルからの吐出条件を決定した後に、この条件に基づいてカラーフィルタを製造する工程、すなわち着色層形成工程を行うこととなる。本実施態様では、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程後に、再度上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を行い、補正条件が最適化されているか検査等してもよい。 In the color filter manufacturing method of the present embodiment, for example, as shown in the flowchart of FIG. 3, after performing the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step, and determining the optimum discharge conditions from the inkjet nozzles Based on these conditions, a process for producing a color filter, that is, a colored layer forming process is performed. In this embodiment, the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step are performed again after the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step, and whether the correction conditions are optimized or the like is checked. Good.
本実施態様によれば、カラーフィルタを製造する前に上記検査用着色層形成工程および補正条件決定工程を行い、上記補正条件決定工程により決定された補正条件に基づいて上記着色層形成工程を行うことから、色ムラ等のない高品質なカラーフィルタを効率よく製造することが可能となる。
以下、本実施態様のカラーフィルタの製造方法について、各工程ごとに詳しく説明する。
According to this embodiment, the color layer forming process for inspection and the correction condition determining process are performed before the color filter is manufactured, and the color layer forming process is performed based on the correction condition determined by the correction condition determining process. Therefore, it is possible to efficiently manufacture a high-quality color filter free from color unevenness.
Hereafter, the manufacturing method of the color filter of this embodiment is demonstrated in detail for every process.
１．検査用着色層形成工程
まず、本実施態様のカラーフィルタの製造方法における検査用着色層形成工程について説明する。本実施態様における検査用着色層形成工程は、検査用基板の各テスト用領域上に、上記着色層を形成する際と同じ組み合わせの上記複数のインクジェットノズルから、予め定められた初期条件に従ってそれぞれ上記着色層形成用塗工液を塗布し、検査用着色層を形成する工程である。なお、本実施態様でいう予め定められた初期条件とは、一般的なカラーフィルタを製造する際の着色層形成用塗工液の吐出条件とすることや、インクジェット装置の初期状態の条件等とすることができる。
1. Colored layer formation process for inspection First, the colored layer formation process for inspection in the manufacturing method of the color filter of this embodiment is explained. In the test colored layer forming step in the present embodiment, each of the above-described inkjet nozzles in the same combination as in forming the colored layer is formed on each test region of the test substrate according to a predetermined initial condition. In this step, a colored layer forming coating solution is applied to form a colored layer for inspection. The predetermined initial conditions in the present embodiment are the discharge conditions of the coating liquid for forming a colored layer when manufacturing a general color filter, the initial conditions of the ink jet device, and the like. can do.
また上記着色層を形成する際と同じ組み合わせとは、着色層形成工程において、それぞれの着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布する際に用いられる複数のインクジェットノズルの組み合わせと、本工程においてそれぞれのテスト用領域へ着色層形成用塗工液を塗布する際に用いられるインクジェットノズルの組み合わせとが同一となることをいう。また本工程において上記複数のインクジェットノズルから、それぞれ検査用基板のテスト用領域に着色層形成用塗工液を塗布する方法としては、各テスト用領域に複数のインクジェットノズルから同時に着色層形成用塗工液を塗布する方法であってもよいが、通常、順次各インクジェットノズルから各テスト用領域に着色層形成用塗工液を塗布する方法とされる。またこの際、実際にカラーフィルタを製造する際、すなわち後述する着色層形成工程において着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布する際と同様の順序で各インクジェットノズルから着色層形成用塗工液の塗布を行ってもよく、またインクジェットノズルを用いる順序を異なるもの等としてもよい。 The same combination as that when forming the colored layer is a combination of a plurality of inkjet nozzles used when applying the colored layer forming coating liquid to each colored layer forming region in the colored layer forming step, and This means that the combination of the ink jet nozzles used when applying the colored layer forming coating solution to each test region in this step is the same. Further, in this step, the method for applying the colored layer forming coating solution from the plurality of inkjet nozzles to the test area of the inspection substrate, respectively, is as follows. Although a method of applying a working solution may be used, it is usually a method of applying a colored layer forming coating solution sequentially from each inkjet nozzle to each test region. Further, at this time, when the color filter is actually manufactured, that is, the colored layer is formed from each inkjet nozzle in the same order as when the colored layer forming coating liquid is applied to the colored layer forming region in the colored layer forming step described later. The coating liquid may be applied, or the order of using the inkjet nozzles may be different.
上記複数のインクジェットノズルを用いた着色層形成用塗工液の塗布方法としては、例えばインクヘッドに形成されているＮ個のインクジェットノズルを、それぞれｎ個（整数）のインクジェットノズルが含まれるようにｍ個のグループに分割し、インクジェットノズルｎ個分ずつインクジェットヘッドを移動させて着色層形成用塗工液を塗布する方法等とすることができる。具体的には、検査用基板に形成されたｎ個のテスト用領域と、第１グループのｎ個のインクジェットノズルとをそれぞれ一対一で対応させて着色層形成用塗工液を塗布した後、ｎ個分インクジェットヘッドを移動させて、第２のグループで同様に着色層形成用塗工液を塗布し、さらにインクジェットヘッドをｎ個分移動させてｍ回着色層形成用塗工液を塗布する方法等とすることができる。なお、本実施態様においては上記塗布方法に限定されるものではなく、例えば上記インクジェットヘッドを、インクジェットノズル（ｎ−ａ（ａは整数））分ずつ移動させて着色層形成用塗工液を塗布する方法等としてもよい。 As a method for applying the colored layer forming coating liquid using the plurality of inkjet nozzles, for example, N (integer) inkjet nozzles are included in each of N inkjet nozzles formed on the ink head. A method of dividing the ink into m groups and moving the ink jet head by n ink jet nozzles to apply the color layer forming coating liquid may be employed. Specifically, after the n number of test regions formed on the inspection substrate and the first group of n number of inkjet nozzles correspond to each other in a one-to-one correspondence, Move the inkjet head n times and apply the colored layer forming coating solution in the same manner in the second group, and then move the inkjet head n times and apply the colored layer forming coating solution m times. It can be a method or the like. In addition, in this embodiment, it is not limited to the said coating method, For example, the said inkjet head is moved for every inkjet nozzle (na (a is an integer)), and the coating liquid for colored layer formation is apply | coated. It is good also as the method of doing.
また本実施態様において、上記各テスト用領域に着色層形成用塗工液を塗布する際に用いられるインクジェットノズルの数、すなわち各着色層を形成する際に用いられるインクジェットノズルの数は、通常、３個〜８個程度、中でも３個〜６個程度、特に３個〜４個程度とされることが好ましい。１つの着色層を形成する際に用いられるインクジェットノズルの数が上記範囲を超えると、工程が煩雑であり、また上記の中の１つのインクジェットノズルの液滴数等を調整するだけでは、調整が困難となるからである。 Further, in this embodiment, the number of inkjet nozzles used when applying the colored layer forming coating solution to each of the test regions, that is, the number of inkjet nozzles used when forming each colored layer is usually: It is preferably about 3 to 8, more preferably about 3 to 6, especially about 3 to 4. If the number of inkjet nozzles used in forming one colored layer exceeds the above range, the process becomes complicated, and adjustment is possible only by adjusting the number of droplets of one inkjet nozzle among the above. It will be difficult.
なお本工程においては、上記着色層形成用塗工液を塗布した後、プリベイク等してもよい。上記検査用着色層は上記着色層形成用塗工液が完全に硬化した状態のものであってもよく、また上記着色層形成用塗工液が完全に硬化していない状態のもの等であってもよい。なお上記プリベイクの条件等については、一般的なカラーフィルタの着色層形成の際の条件と同様とすることができる。 In this step, the colored layer forming coating solution may be applied and then prebaked or the like. The colored layer for inspection may be in a state in which the colored layer forming coating solution is completely cured, or in a state in which the colored layer forming coating solution is not completely cured. May be. The prebaking conditions and the like can be the same as the conditions for forming a colored layer of a general color filter.
また本実施態様に用いられる検査用基板としては、上記テスト用領域を有するものであれば特に限定されるものではなく、例えば後述する着色層形成工程に用いられるカラーフィルタ形成用基板の着色層形成用領域とテスト用領域の配列や間隔等が異なるもの等であってもよいが、通常、後述する着色層形成工程に用いられるカラーフィルタ形成用基板、すなわちカラーフィルタを実際に製造する際に用いられるカラーフィルタ形成用基板と同様のものが用いられる。 In addition, the inspection substrate used in this embodiment is not particularly limited as long as it has the above-described test region. For example, the color layer formation of the color filter formation substrate used in the color layer formation step described later is used. However, it is usually used when actually manufacturing a color filter forming substrate used in a colored layer forming process described later, that is, a color filter. The same color filter forming substrate is used.
このような検査用基板としては、例えばテスト用領域の周囲に、着色層形成用塗工液を留めるための土手がパターン状に形成されたものとすることや、また上記テスト用領域が親液性領域とされ、かつ上記着色層形成用領域以外の領域が撥液性領域とされているもの等とすることができる。 As such a test substrate, for example, a bank for holding the colored layer forming coating solution is formed in a pattern around the test region, or the test region is a lyophilic solution. And a region other than the colored layer forming region may be a liquid repellent region.
本実施態様においては特に、上記テスト用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域である検査用基板が用いられることが好ましい。後述する着色層形成用工程に用いられるカラーフィルタ形成用基板の着色層形成用領域を親液性領域、それ以外の領域を撥液性領域とすることが、カラーフィルタの製造効率や着色層を高精細に形成することが可能となる面等から好ましいからである。 In the present embodiment, it is particularly preferable to use an inspection substrate in which the test area is a lyophilic area and the other areas are liquid-repellent areas. The color filter forming substrate used in the color layer forming step, which will be described later, has a colored layer forming region as a lyophilic region, and the other region as a lyophobic region. This is because it is preferable from the viewpoint of enabling high-definition formation.
なお、本実施態様でいう撥液性領域とは、隣接する領域より、液体との接触角が１°以上高い領域をいうこととする。本実施態様においては特に、上記撥液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、５０°以上、中でも７０°以上であることが好ましい。また撥液性領域の純水との接触角は９０°以上、中でも１００°以上であることが好ましい。一方、上記親液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、９°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下とされることが好ましい。また、純水との接触角は２０°以下、中でも１０°以下とされることが好ましい。これにより、上記親液性領域のみに、高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。なお、上記液体との接触角は、上記表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定（マイクロシリンジから液滴を滴下して３０秒後）し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得られるものである。 The liquid repellent region referred to in the present embodiment refers to a region having a contact angle with the liquid that is 1 ° or more higher than the adjacent region. In this embodiment, in particular, the contact angle of the liquid repellent region with a liquid having a surface tension of 40 mN / m is preferably 50 ° or more, more preferably 70 ° or more. The contact angle of the liquid repellent region with pure water is preferably 90 ° or more, and more preferably 100 ° or more. On the other hand, the contact angle of the lyophilic region with a liquid having a surface tension of 40 mN / m is preferably 9 ° or less, and particularly preferably the contact angle with a liquid having a surface tension of 60 mN / m is 10 ° or less. The contact angle with pure water is preferably 20 ° or less, and more preferably 10 ° or less. This is because it becomes possible to apply the colored layer forming coating solution with high definition only to the lyophilic region. The contact angle with the liquid is measured using a contact angle measuring device (CA-Z type, manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) (dropping a droplet from a microsyringe). 30 seconds later), and the result can be obtained or graphed.
また、本実施態様に用いられる、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域である検査用基板の形成方法としては、例えばエネルギー照射に伴う光触媒の作用により濡れ性が変化する濡れ性変化層を基板表面に形成し、この濡れ性変化層の濡れ性をパターン状（テスト用領域のパターン状）に変化させる方法等とすることができる。このような濡れ性変化層を利用して、親液性のパターンを形成する方法としては、例えば特開２００２−４０２３０公報や、特開２００３−１０５０２９公報等に記載された方法を用いることができる。 In addition, as a method for forming an inspection substrate used in this embodiment in which the colored layer forming region is a lyophilic region and the other region is a liquid repellent region, for example, a photocatalyst associated with energy irradiation is used. A wettability changing layer whose wettability is changed by an action can be formed on the substrate surface, and the wettability of the wettability changing layer can be changed to a pattern (pattern shape of a test region). As a method for forming a lyophilic pattern using such a wettability changing layer, for example, methods described in JP-A-2002-40230, JP-A-2003-105029, and the like can be used. .
また、例えば上記テスト用領域のみに、親液性を有する材料を用いて層を形成する方法や、上記テスト用領域以外の領域のみに、撥液性を有する材料を用いて層を形成する方法等であってもよく、またこれらを組み合わせた方法であってもよい。またさらに、テスト用領域以外の領域に、有機材料からなる層を形成し、この層に対してフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマ照射することにより、テスト用領域以外の領域を、撥液性とする方法等であってもよい。なおプラズマ照射を行うことにより、上記テスト用領域以外の領域を撥液性とする場合、上記テスト用領域の表面は、無機材料が露出、または無機材料によって覆われていることが好ましい。これにより、基板全面にプラズマ照射をした場合であっても、上記テスト用領域にはフッ素が導入されず、テスト用領域以外の領域のみにフッ素が導入されるものとすることができるからである。上記プラズマの照射方法は、例えば特開２０００−１８７１１１号公報に記載されている方法と同様とすることができる。 Also, for example, a method of forming a layer using a lyophilic material only in the test region, or a method of forming a layer using a liquid repellent material only in a region other than the test region Or a combination of these methods. Further, a layer made of an organic material is formed in a region other than the test region, and the layer other than the test region is made liquid repellent by irradiating the layer with plasma using a fluorine compound as an introduction gas. It may be a method or the like. Note that when the region other than the test region is made liquid repellent by performing plasma irradiation, the surface of the test region is preferably exposed or covered with an inorganic material. Thereby, even when plasma irradiation is performed on the entire surface of the substrate, fluorine is not introduced into the test region, and fluorine can be introduced only into regions other than the test region. . The plasma irradiation method can be the same as the method described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-187111.
また本実施態様に用いられる着色層形成用塗工液としては、実際にカラーフィルタを製造する際と同様の着色層形成用塗工液が用いられることとなる。このような着色層形成用塗工液としては、インクジェット法を用いて形成される一般的なカラーフィルタの着色層を形成する際に用いられるものと同様とすることができる。 Further, as the colored layer forming coating solution used in the present embodiment, the same colored layer forming coating solution as that used in the actual production of the color filter is used. Such a coating liquid for forming a colored layer can be the same as that used when forming a colored layer of a general color filter formed using an inkjet method.
２．補正条件決定工程
次に、本実施態様における補正条件決定工程について説明する。本実施態様における補正条件決定工程は、上記検査用着色層形成工程により形成された検査用着色層を検査し、ムラが生じている上記検査用着色層の形成に用いられた上記複数のインクジェットノズルのうちの一つの上記インクジェットノズルの設定条件のみを上記初期条件から補正した補正条件を決定する工程である。本実施態様でいうムラとは、検査用着色層の膜厚のムラや、色度のムラ、輝度のムラ等をいうこととする。
2. Correction Condition Determination Step Next, the correction condition determination step in this embodiment will be described. The correction condition determining step in the present embodiment is an inspection of the inspection colored layer formed by the inspection colored layer forming step, and the plurality of inkjet nozzles used for forming the inspection colored layer in which unevenness occurs. And determining a correction condition in which only the setting condition of one of the inkjet nozzles is corrected from the initial condition. The unevenness referred to in this embodiment refers to unevenness in the thickness of the colored layer for inspection, unevenness in chromaticity, unevenness in luminance, and the like.
上記検査用着色層を検査する方法としては、例えば上記検査用着色層の色度を検査する方法、輝度を検査する方法、または膜厚を検査する方法とすることができる。 As a method of inspecting the inspection colored layer, for example, a method of inspecting the chromaticity of the inspection colored layer, a method of inspecting luminance, or a method of inspecting the film thickness can be used.
色度を測定する方法としては、顕微鏡形分光光度計を用い、上記各テスト用領域に形成された検査用着色層の色度を計測する方法とすることができる。計測した色度より、赤色検査用着色層（Ｒ）に対してはＲｘを、緑色検査用着色層（Ｇ）に対してはＧｙを、青色検査用着色層（Ｂ）に対してはＢｙを抽出し、これらをそれぞれの色度データとすることが有効である。例えば、上記Ｒｘ、Ｇｙ、およびＢｙの値の分布を把握することにより、検査用着色層の形成に用いられた着色層形成用塗工液の量のブレ等を把握することが可能となり、この色度データに基づいて、補正条件を決定することが可能となる。 As a method for measuring the chromaticity, a microscope-type spectrophotometer can be used to measure the chromaticity of the inspection colored layer formed in each of the test regions. From the measured chromaticity, Rx for the red colored layer (R), Gy for the green colored layer (G), and By for the blue colored layer (B). It is effective to extract them and use them as respective chromaticity data. For example, by grasping the distribution of the values of Rx, Gy, and By, it becomes possible to grasp the blur of the amount of the coating liquid for forming the colored layer used for forming the colored layer for inspection. Based on the chromaticity data, the correction condition can be determined.
上記輝度を測定する方法としては、蛍光灯等の光源を用いて、上記テスト用領域に形成された検査用着色層の透過画像をＲＧＢ各色の色分解フィルタを使用したＣＣＤカメラ等で撮影し、全面または測定したい領域を画像として記録する。その後、この画像のＲＧＢ各色の濃淡の分布を解析し、輝度分布として算出する方法等とすることができる。なお、ＣＣＤカメラ取得画像は輝度データとして算出できればモノクロでもカラーでも良い。また、顕微鏡型分光光度計を用い、上記テスト用領域に形成された検査用着色層の測定したい領域について、輝度を計測する方法も用いることができる。上記方法により、各テスト用領域に形成された検査用着色層の輝度ムラを測定することにより、各テスト用領域に塗布された着色層形成用塗工液の量のムラを把握すること等が可能となる。具体的には、輝度が高い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が少なく、輝度が低い領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が多いといえる。したがって、この輝度データに基づいて、補正条件を決定することが可能となる。 As a method for measuring the luminance, using a light source such as a fluorescent lamp, a transmission image of the colored layer for inspection formed in the test area is taken with a CCD camera using a color separation filter for each color of RGB, etc. Record the entire area or area you want to measure as an image. Then, a method of calculating the luminance distribution by analyzing the density distribution of each RGB color of the image can be used. The CCD camera acquired image may be monochrome or color as long as it can be calculated as luminance data. Moreover, the method of measuring a brightness | luminance about the area | region which wants to measure the colored layer for a test | inspection formed in the said area | region for a test using a microscope type spectrophotometer can also be used. By measuring the luminance unevenness of the colored layer for inspection formed in each test area by the above method, it is possible to grasp the unevenness in the amount of the coating liquid for forming the colored layer applied to each test area. It becomes possible. Specifically, it can be said that the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is small in the region with high luminance, and the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is large in the region with low luminance. Therefore, the correction condition can be determined based on the luminance data.
また、上記膜厚を測定する方法としては、上記テスト用領域に形成された検査用着色層を、触針型の膜厚計や非接触型の３次元形状測定器等により測定する方法とすることができる。触針型の膜厚計とは、例えば針先を着色層形成用塗工液に接触させたまま移動させ、針先の上下動の推移にて膜厚を計測する手法であり、非接触型の３次元形状測定器とは、例えば光学干渉の干渉縞を用いて相対的な膜厚を算出する手法である。ここで、上記検査用着色層が、完全には硬化していないが混色しない程度に硬化している状態である場合には、非接触型の３次元形状測定器を使用する方法であることが好ましい。なお、上記膜厚を測定する方法を用いる場合、例えば各テスト用領域に形成された上記検査用着色層の最大膜厚の分布を測定する方法であってもよく、またテスト用領域に形成された検査用着色層の平均膜厚の分布を測定する方法であってもよい。平均膜厚は、上記測定器により、各テスト用領域内の検査用着色層の膜厚を複数箇所について測定し、その測定値から算出することができる。 In addition, as a method of measuring the film thickness, a method of measuring the inspection colored layer formed in the test region with a stylus-type film thickness meter, a non-contact type three-dimensional shape measuring instrument, or the like. be able to. The stylus-type film thickness meter is a technique that moves the needle tip while keeping it in contact with the colored layer forming coating solution and measures the film thickness by the movement of the needle tip in the vertical direction. The three-dimensional shape measuring instrument is a method for calculating a relative film thickness using, for example, an interference fringe of optical interference. Here, when the colored layer for inspection is not completely cured but is cured to such an extent that it is not mixed, it may be a method of using a non-contact type three-dimensional shape measuring instrument. preferable. When the method for measuring the film thickness is used, for example, a method for measuring the distribution of the maximum film thickness of the colored layer for inspection formed in each test region may be used. Alternatively, a method of measuring the average film thickness distribution of the colored layer for inspection may be used. The average film thickness can be calculated from the measured values obtained by measuring the thickness of the colored layer for inspection in each test region at a plurality of locations using the measuring instrument.
ここで、膜厚が厚い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が多く、膜厚が薄い領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が少ないといえる。したがってこの膜厚データに基づいて、補正条件を決定することが可能となる。 Here, it can be said that in the region where the film thickness is thick, the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is large, and in the region where the film thickness is thin, the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is small. Therefore, the correction condition can be determined based on the film thickness data.
なお、本工程は、上記のいずれか一種類の測定方法のみを行うものであってもよく、また例えば二種類以上の測定方法を組合わせて行うものであってもよい。二種類以上の測定方法を組合わせた場合、より正確に補正条件を決定することが可能となる。 In addition, this process may perform only one of the above-described measurement methods, or may be performed by combining, for example, two or more measurement methods. When two or more types of measurement methods are combined, the correction condition can be determined more accurately.
また本工程において、上記検査用着色層の形成に用いられた複数のインクジェットノズルのうちの一つのインクジェットノズルの設定条件のみを上記初期条件から補正して補正条件を決定する方法としては、上述した検査方法により検査し、得られたデータから検量線等を作成し、着色層形成用塗工液の量が多すぎる領域、少なすぎる領域等を割り出し、その着色層形成用塗工液の量がぶれている領域に必要とされる着色層形成用塗工液の量、または減らす着色層形成用塗工液の量を算出する。その後、上記テスト用領域に着色層形成用塗工液を塗布した複数のインクジェットノズルのうちから一つのインクジェットノズルを選択し、このインクジェットノズルの吐出条件を、算出された調整量に合わせて調整し、補正条件を決定する。本工程において調整のために選択されるインクジェットノズルは特に限定されるものではなく、例えば各検査用着色層を形成した際に、最後に用いたインクジェットノズルをそれぞれ選択してもよく、また最初や中間に用いたインクジェットノズルをそれぞれ選択してもよい。また各検査用着色層ごとに、異なるタイミングで用いたインクジェットノズルを適宜選択してもよい。 Further, in this step, the method for determining the correction condition by correcting only the setting condition of one of the plurality of inkjet nozzles used for forming the colored layer for inspection from the initial condition is described above. Inspect by the inspection method, create a calibration curve etc. from the obtained data, determine the area where the amount of the coating liquid for forming the colored layer is too much, the area where there is too little, etc. The amount of the coloring layer forming coating solution required for the blurred region or the amount of the coloring layer forming coating solution to be reduced is calculated. After that, one inkjet nozzle is selected from a plurality of inkjet nozzles coated with the colored layer forming coating solution in the test area, and the ejection condition of the inkjet nozzle is adjusted according to the calculated adjustment amount. Determine correction conditions. The inkjet nozzle selected for adjustment in this step is not particularly limited. For example, when each colored layer for inspection is formed, the inkjet nozzle used last may be selected. You may select the inkjet nozzle used in the middle, respectively. Moreover, you may select suitably the inkjet nozzle used at different timing for every colored layer for a test | inspection.
なお、選択された上記インクジェットノズルの吐出条件を調整する方法としては、吐出液滴数を増減させる方法が一般的に用いられ、上記調整後の条件が、補正条件として用いられることとなる。また上記補正条件においては、上述した方法により選択されたインクジェットノズル以外の吐出条件は、初期条件と同様の条件とされる。本実施態様においては、本工程により決定された補正条件が、後述する着色層形成工程に反映されることとなり、上記補正条件に基づいてカラーフィルタの製造が開始されることとなる。 As a method for adjusting the discharge conditions of the selected inkjet nozzle, a method of increasing or decreasing the number of discharged droplets is generally used, and the adjusted condition is used as a correction condition. In the correction conditions, the discharge conditions other than the ink jet nozzle selected by the above-described method are the same as the initial conditions. In this embodiment, the correction conditions determined in this step are reflected in the colored layer forming step described later, and the production of the color filter is started based on the correction conditions.
３．着色層形成工程
次に、本実施態様における着色層形成工程について説明する。本実施態様における着色層形成工程は、上記補正条件に基づいて、カラーフィルタ形成用基板の着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成する工程である。
3. Colored layer forming step Next, the colored layer forming step in this embodiment will be described. The colored layer forming step in the present embodiment is a step of forming a colored layer by applying a colored layer forming coating solution to the colored layer forming region of the color filter forming substrate based on the correction conditions.
本実施態様において着色層形成用塗工液を塗布する方法としては、着色層形成用塗工液上記補正条件に従って塗布する方法であれば特に限定されるものではなく、例えば複数のインクジェットノズルから、同時に着色層形成用塗工液を塗布する方法であってもよいが、通常、各インクジェットノズルから順に着色層形成用塗工液を塗布する方法とされる。 In the present embodiment, the method for applying the colored layer forming coating liquid is not particularly limited as long as it is a method for applying the colored layer forming coating liquid in accordance with the above correction conditions. For example, from a plurality of inkjet nozzles, Although the method of apply | coating the coating liquid for colored layer formation simultaneously may be sufficient, it is usually set as the method of apply | coating the coating liquid for colored layer formation in order from each inkjet nozzle.
また上記着色層形成用領域を有するカラーフィルタ形成用基板としては、着色層形成用領域にインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液を付着させ、高精細に着色層を形成可能なものであれば特に限定されるものではない。本実施態様においては、上述したテスト用基板と同様に、例えば着色層形成用領域の周囲に、着色層形成用塗工液を留めるための土手がパターン状に形成されたものとすることや、また上記着色層形成用領域が親液性領域とされ、かつ上記着色層形成用領域以外の領域が撥液性領域とされているもの等とされることが好ましい。 Further, the color filter forming substrate having the colored layer forming region can be formed with a high-definition colored layer by adhering the colored layer forming coating liquid discharged from the inkjet nozzle to the colored layer forming region. If it is, it will not specifically limit. In this embodiment, as with the test substrate described above, for example, a bank for fastening the colored layer forming coating solution is formed in a pattern around the colored layer forming region, The colored layer forming region is preferably a lyophilic region, and a region other than the colored layer forming region is a liquid repellent region.
このようなカラーフィルタ形成用基板としては、透明基板上に着色層形成用領域が形成されたものとすることができ、このような着色層形成用領域の形成方法としては、上述したテスト用基板のテスト用領域の形成方法と同様とすることができる。
また上記透明基板としては、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材を用いることができる。また上記透明基板上には遮光部が形成されていてもよい。上記遮光部としては、一般的なカラーフィルタに用いられる遮光部と同様とすることができる。
As such a color filter forming substrate, a colored layer forming region can be formed on a transparent substrate. As a method for forming such a colored layer forming region, the above-described test substrate is used. This method can be the same as the method for forming the test region.
In addition, the transparent substrate has, for example, an inflexible transparent rigid material such as quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, or synthetic quartz plate, or a flexible material such as a transparent resin film or an optical resin plate. A transparent flexible material can be used. A light shielding part may be formed on the transparent substrate. The light shielding part can be the same as the light shielding part used in a general color filter.
４．その他の工程
なお、本実施態様においては、上述した検査用着色層形成工程、補正条件決定工程、および着色層形成工程以外に、適宜他の工程を有していてもよい。このような工程については、例えばカラーフィルタ形成用基板を形成する工程や、上記テスト用基板を形成する工程等が挙げられる。
4). Other Steps In addition to the above-described inspection colored layer forming step, correction condition determining step, and colored layer forming step, the present embodiment may have other steps as appropriate. Examples of such a process include a process of forming a color filter forming substrate and a process of forming the test substrate.
Ｂ．第２実施態様
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法の第２実施態様について説明する。本実施態様のカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタ形成用基板の各着色層形成用領域に、複数のインクジェットノズルを用いて着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、検査用着色層形成工程と、補正条件決定工程と、着色層形成工程とを有することを特徴とする方法であり、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を、カラーフィルタの製造条件を修正するために行う方法である。
B. Second Embodiment Next, a second embodiment of the color filter manufacturing method of the present invention will be described. The color filter manufacturing method according to this embodiment includes a color filter that forms a colored layer by applying a colored layer forming coating solution to each colored layer forming region of a color filter forming substrate using a plurality of inkjet nozzles. A method for producing a colored layer for inspection, a correction condition determining step, and a colored layer forming step, wherein the colored layer for inspection and the correction condition determining step Is a method for correcting the manufacturing conditions of the color filter.
本実施態様は、例えば図４のフロー図に示すように、カラーフィルタ製造中、製造されたカラーフィルタに色ムラ等の不具合が生じた場合に、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を行い、カラーフィルタの製造条件を修正し、再度着色層を形成する着色層形成工程を行うカラーフィルタの製造方法である。本実施態様では、上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程後に、再度上記検査用着色層形成工程および上記補正条件決定工程を行い、補正条件が最適化されているか検査等してもよい。 In the present embodiment, for example, as shown in the flowchart of FIG. 4, when a defect such as color unevenness occurs in the manufactured color filter during the manufacture of the color filter, the inspection colored layer forming step and the correction condition determination are performed. This is a method for manufacturing a color filter, in which a colored layer forming step is performed in which the process is performed, the manufacturing conditions of the color filter are corrected, and the colored layer is formed again. In this embodiment, the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step are performed again after the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step, and whether the correction conditions are optimized or the like is checked. Good.
本実施態様によれば、カラーフィルタ製造中に、色ムラ等の不具合が生じた場合でも、上記検査用着色層形成工程および補正条件決定工程を行って補正条件を決定し、この補正条件に基づいて上記着色層形成工程を行うことから、再度色ムラ等のない、高品質なカラーフィルタを製造することが可能となる。以下、本実施態様における検査用着色層形成工程および補正条件決定工程について説明する。なお、上記着色層形成工程については、上述した第１実施態様と同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 According to this embodiment, even when a defect such as color unevenness occurs during the production of the color filter, the correction condition is determined by performing the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step, and based on the correction condition. Since the colored layer forming step is performed, it is possible to manufacture a high-quality color filter without color unevenness again. Hereinafter, the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step in this embodiment will be described. In addition, about the said colored layer formation process, since it can be the same as that of the 1st embodiment mentioned above, detailed description here is abbreviate | omitted.
１．検査用着色層形成工程
まず、本実施態様のカラーフィルタの製造方法における検査用着色層形成工程について説明する。本実施態様における検査用着色層形成工程は、検査用基板の各テスト用領域上に、上記着色層を形成する際と同じ組み合わせの上記複数のインクジェットノズルから、予め定められた初期条件に従ってそれぞれ上記着色層形成用塗工液を塗布し、検査用着色層を形成する工程である。なお、本実施態様でいう予め定められた初期条件とは、実際にカラーフィルタを製造していた際の着色層形成用塗工液の吐出条件とすることができる。
1. Colored layer formation process for inspection First, the colored layer formation process for inspection in the manufacturing method of the color filter of this embodiment is explained. In the test colored layer forming step in the present embodiment, each of the above-described inkjet nozzles in the same combination as in forming the colored layer is formed on each test region of the test substrate according to a predetermined initial condition. In this step, a colored layer forming coating solution is applied to form a colored layer for inspection. The predetermined initial condition in the present embodiment can be a discharge condition of the colored layer forming coating liquid when the color filter is actually manufactured.
また上記着色層を形成する際と同じ組み合わせとは、上記着色層形成工程において、それぞれの着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布する際に用いられる複数のインクジェットノズルの組み合わせと、本工程においてそれぞれのテスト用領域へ着色層形成用塗工液を塗布する際に用いられるインクジェットノズルの組み合わせとが同一となることをいう。なお、上記インクジェットノズルの組み合わせは、本工程および補正条件決定後に行われる着色層形成工程における組み合わせと同様とされればよく、不具合が生じたカラーフィルタを製造していた際と同一でなくてもよい。 Further, the same combination as that when forming the colored layer is a combination of a plurality of inkjet nozzles used when applying the colored layer forming coating liquid to each colored layer forming region in the colored layer forming step. In this step, the combination of the inkjet nozzles used when applying the colored layer forming coating solution to each test region is the same. The combination of the inkjet nozzles may be the same as the combination in this step and the colored layer forming step performed after determining the correction conditions, and may not be the same as when the color filter in which the defect occurred is manufactured. Good.
また本工程において上記複数のインクジェットノズルから、それぞれ検査用基板のテスト用領域に着色層形成用塗工液を塗布する方法としては、各テスト用領域に複数のインクジェットノズルから同時に着色層形成用塗工液を塗布する方法であってもよいが、通常、順次各インクジェットノズルから各テスト用領域に着色層形成用塗工液を塗布する方法とされる。またこの際、実際にカラーフィルタを製造する際、すなわち後述する着色層形成工程において着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布する際と同様の順序で各インクジェットノズルから着色層形成用塗工液の塗布を行ってもよく、またインクジェットノズルを用いる順序を異なるもの等としてもよい。 Further, in this step, the method for applying the colored layer forming coating solution from the plurality of inkjet nozzles to the test area of the inspection substrate, respectively, is as follows. Although a method of applying a working solution may be used, it is usually a method of applying a colored layer forming coating solution sequentially from each inkjet nozzle to each test region. Further, at this time, when the color filter is actually manufactured, that is, the colored layer is formed from each inkjet nozzle in the same order as when the colored layer forming coating liquid is applied to the colored layer forming region in the colored layer forming step described later. The coating liquid may be applied, or the order of using the inkjet nozzles may be different.
なお、上記複数のインクジェットノズルを用いた着色層形成用塗工液の塗布方法や用いられる検査用基板、着色層形成用塗工液等については、上述した第１実施態様と同様とすることができる。 In addition, about the application method of the coating liquid for coloring layer formation using the said some inkjet nozzle, the board | substrate for a test | inspection used, the coating liquid for coloring layer formation, etc., it is the same as that of the 1st embodiment mentioned above. it can.
また本実施態様においても、上記各テスト用領域に着色層形成用塗工液を塗布する際に用いられるインクジェットノズルの数、すなわち各着色層を形成する際に用いられるインクジェットノズルの数は、通常、３個〜８個程度、中でも３個〜６個程度、特に３個〜４個程度とされることが好ましい。１つの着色層を形成する際に用いられるインクジェットノズルの数が上記範囲を超えると、工程が煩雑であり、また上記の中の１つのインクジェットノズルの液滴数等を調整するだけでは、調整が困難となるからである。 Also in this embodiment, the number of inkjet nozzles used when applying the colored layer forming coating solution to each test area, that is, the number of inkjet nozzles used when forming each colored layer is usually It is preferably about 3 to 8, more preferably about 3 to 6, especially about 3 to 4. If the number of inkjet nozzles used in forming one colored layer exceeds the above range, the process becomes complicated, and adjustment is possible only by adjusting the number of droplets of one inkjet nozzle among the above. It will be difficult.
また本工程においては、上記着色層形成用塗工液を塗布した後、プリベイク等してもよい。上記検査用着色層は上記着色層形成用塗工液が完全に硬化した状態のものであってもよく、また上記着色層形成用塗工液が完全に硬化していない状態のもの等であってもよい。なお上記プリベイクの条件等については、一般的なカラーフィルタの着色層形成の際の条件と同様とすることができる。 In this step, pre-baking or the like may be performed after the colored layer forming coating solution is applied. The colored layer for inspection may be in a state in which the colored layer forming coating solution is completely cured, or in a state in which the colored layer forming coating solution is not completely cured. May be. The prebaking conditions and the like can be the same as the conditions for forming a colored layer of a general color filter.
２．補正条件決定工程
次に、本実施態様における補正条件決定工程について説明する。本実施態様における補正条件決定工程は、上記検査用着色層形成工程により形成された検査用着色層を検査し、ムラが生じている上記検査用着色層の形成に用いられた上記複数のインクジェットノズルのうちの一つの上記インクジェットノズルの設定条件のみを上記初期条件から補正した補正条件を決定する工程である。本実施態様でいうムラとは、検査用着色層の膜厚のムラや、色度のムラ、輝度のムラ等をいうこととする。
2. Correction Condition Determination Step Next, the correction condition determination step in this embodiment will be described. The correction condition determining step in the present embodiment is an inspection of the inspection colored layer formed by the inspection colored layer forming step, and the plurality of inkjet nozzles used for forming the inspection colored layer in which unevenness occurs. And determining a correction condition in which only the setting condition of one of the inkjet nozzles is corrected from the initial condition. The unevenness referred to in this embodiment refers to unevenness in the thickness of the colored layer for inspection, unevenness in chromaticity, unevenness in luminance, and the like.
上記検査用着色層を検査する方法としては、例えば上記検査用着色層の色度を検査する方法、輝度を検査する方法、または膜厚を検査する方法とすることができ、第１実施態様で説明した方法と同様とすることができる。 As a method for inspecting the inspection colored layer, for example, a method for inspecting the chromaticity of the inspection colored layer, a method for inspecting luminance, or a method for inspecting a film thickness can be used. It can be similar to the described method.
また本工程において、上記検査用着色層の形成に用いられた複数のインクジェットノズルのうちの一つのインクジェットノズルの設定条件のみを上記初期条件から補正して補正条件を決定する方法としても、上記第１実施態様と同様とすることができる。 In the present step, the correction condition may be determined by correcting only the setting condition of one of the plurality of inkjet nozzles used for forming the colored layer for inspection from the initial condition. It can be similar to one embodiment.
なお、選択された上記インクジェットノズルの吐出条件を調整する方法としては、吐出液滴数を増減させる方法が一般的に用いられ、上記調整後の条件が、補正条件として用いられることとなる。また上記補正条件においては、上述した方法により選択されたインクジェットノズル以外の吐出条件は、上述した初期条件と同様の条件とされる。本実施態様においては、本工程により決定された補正条件が、後述する着色層形成工程に反映されることとなり、再度カラーフィルタの製造が開始されることとなる。 As a method for adjusting the discharge conditions of the selected inkjet nozzle, a method of increasing or decreasing the number of discharged droplets is generally used, and the adjusted condition is used as a correction condition. Further, in the correction conditions, the discharge conditions other than the ink jet nozzle selected by the method described above are the same as the initial conditions described above. In this embodiment, the correction conditions determined in this step are reflected in the colored layer forming step described later, and the production of the color filter is started again.
３．その他の工程
なお、本実施態様においては、上述した検査用着色層形成工程、補正条件決定工程、および着色層形成工程以外に、適宜他の工程を有していてもよい。このような工程については、例えばカラーフィルタ形成用基板を形成する工程や、上記テスト用基板を形成する工程等が挙げられる。
3. Other Steps In addition to the above-described inspection colored layer forming step, correction condition determining step, and colored layer forming step, the present embodiment may have other steps as appropriate. Examples of such a process include a process of forming a color filter forming substrate and a process of forming the test substrate.
また、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。 The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
以下に実施例および比較例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples.
［実施例１］
（パターニング用基材の作製）
カラーフィルタ用ガラス材として用いられている厚み０．７ｍｍ、横３７０ｍｍ、縦４７０ｍｍのＣｏｒｎｉｎｇ社製ＥＡＧＬＥ２０００を用意し、このガラス基材上にフォトリソグラフィー法にて樹脂製の遮光部を形成した。遮光部のサイズは開口部が１００μｍ×３００μｍ、遮光部分の線幅を２０μｍとし、横方向に１２０μｍピッチ、縦方向に３２０μｍピッチにて縦横とも１０００画素配置した。遮光部分の膜厚は平均１．５μｍとした。
上記遮光部付ガラス基材に対し、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、遮光部の表面を撥液性に、それ以外の部分を親液性とした。このとき表面張力４０ｍＮ/ｍの液体との接触角は、遮光部上で６５°、それ以外の部分で１０°であった。
[Example 1]
(Preparation of patterning substrate)
EAGLE 2000 made by Corning having a thickness of 0.7 mm, a width of 370 mm, and a length of 470 mm used as a glass material for a color filter was prepared, and a light shielding part made of resin was formed on the glass substrate by a photolithography method. The size of the light-shielding portion was 100 μm × 300 μm in the opening, the line width of the light-shielding portion was 20 μm, and 1000 pixels were arranged vertically and horizontally at a pitch of 120 μm in the horizontal direction and a pitch of 320 μm in the vertical direction. The thickness of the light shielding portion was 1.5 μm on average.
By applying a plasma treatment using a fluorine compound as an introduction gas to the glass substrate with a light shielding part, the surface of the light shielding part was made liquid-repellent and the other parts were made lyophilic. At this time, the contact angle with a liquid having a surface tension of 40 mN / m was 65 ° on the light-shielding portion and 10 ° in the other portions.
（検量線用基板の作製）
上記親疎液性を有する遮光部付ガラス基板に対し、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布した。塗工液はカラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等からなるＲＧＢ各色の顔料分散型インクを用い、１つの開口部あたり１３０滴にて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計した。このときのインクジェットヘッドへの印加電圧は７５Ｖ、パルス幅は６μｓであった。インクジェットヘッドは１ヘッドに対し１００ノズルを有するものを用い、１色につき１ヘッド、すなわちＲＧＢ３色にて３ヘッドを用いた。塗布は遮光部の１つの開口部（１画素）あたり１ノズルが配置されるように位置決めして行い、かつインク吐出液滴が開口部内に着弾するように行った。
(Preparation of calibration curve substrate)
The colored layer forming coating solution was applied to the glass substrate with a light-shielding part having lyophobic properties using an inkjet head. The coating liquid uses RGB pigment dispersed inks consisting of pigments for color filters and thermosetting resins, etc., and the concentration is designed so that the desired color filter color can be expressed with 130 drops per opening. . At this time, the voltage applied to the inkjet head was 75 V and the pulse width was 6 μs. An inkjet head having 100 nozzles for one head was used, and one head for each color, that is, three heads for three colors of RGB. The application was performed by positioning so that one nozzle was arranged per one opening (one pixel) of the light shielding part, and so that the ink discharge droplets landed in the opening.
上記インクジェットヘッドの１００個のノズルを、Ａ群、Ｂ群、Ｃ群、Ｄ群の４群の各２５個に分類した。まずＢ群、Ｃ群、Ｄ群のノズルを用い、１つの開口部あたり各ノズルから３０滴を重ねて塗布し、計９０滴のインク液滴を着弾させ、２５個の画素を形成した。
次にＡ群のノズルを用い１０滴のインク液滴を、Ｂ、Ｃ，Ｄ群のノズルにて形成した２５個の画素に重なるように塗布した。１画素につき計１００滴の液滴を着弾させた基板となった。
The 100 nozzles of the ink jet head were classified into 25 groups of 4 groups of A group, B group, C group, and D group. First, using the nozzles of the B group, the C group, and the D group, 30 drops were applied from each nozzle per opening, and a total of 90 ink droplets were landed to form 25 pixels.
Next, 10 ink droplets were applied so as to overlap 25 pixels formed by the nozzles of the B, C, and D groups using the nozzles of the A group. The substrate was landed with a total of 100 droplets per pixel.
同様の手法にてＢ、Ｃ，Ｄ群のノズルを用いて各３０滴、Ａ群のノズルで３０滴塗布した基板を作製し、次にＢ、Ｃ，Ｄ群のノズルで各３０滴、Ａ群のノズルで５０滴塗布した基板を作製した。１つの開口部あたり、１００滴、１２０滴、１４０滴のインク液滴を着弾させた２５画素分の３種類の基板となった。
インクは横方向にＲＧＢの順に繰り返し配置し、縦方向には同色が並ぶように配置した。各色のインクは開口部全域に塗れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。
上記インクを着弾させた基板を１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。プリベイク後のインクは、先端の直径が１２μｍの針で５ｍｇの圧力にて表面を触針しても傷が入らない程度に固化し、混色しない状態であった。
In the same manner, a substrate coated with 30 drops each using the nozzles of the B, C, and D groups and 30 drops using the nozzles of the A group is manufactured. A substrate coated with 50 drops with a nozzle of the group was prepared. Three types of substrates corresponding to 25 pixels on which 100, 120, and 140 ink droplets were landed per one opening were obtained.
The ink was repeatedly arranged in the horizontal direction in the order of RGB, and the same color was arranged in the vertical direction. Ink of each color spreads over the entire opening, and different colors did not mix.
The substrate on which the ink was landed was placed on a hot plate at 120 ° C. and prebaked for 10 minutes. The ink after pre-baking solidified to the extent that no flaws were formed even when the surface was touched with a needle having a diameter of 12 μm at the tip at a pressure of 5 mg, and no color mixing occurred.
（検量線の作成）
上記着色層を形成した３種類の基板の、各画素の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より色度Ｒｘ、Ｇｙ、Ｂｙを算出した。
次に、インクジェットヘッドＡ群の各ノズルから吐出する吐出液滴数と色度の関係を求め、検量線を作成した。
(Create a calibration curve)
The spectrophotometer of each pixel of the three types of substrates on which the colored layers were formed was measured with a microscope spectrophotometer LCF-series manufactured by Otsuka Electronics, and chromaticities Rx, Gy, and By were calculated from the measured values.
Next, the relationship between the number of droplets ejected from each nozzle of the inkjet head A group and the chromaticity was determined, and a calibration curve was created.
（検査用基板の作成および色度による検査）
検量線用基板の作成にて記載した手法と同手法にて、１つの開口部あたりＢ、Ｃ、Ｄ群のノズルにて３０滴、Ａ群のノズルにて４０滴のインク液滴を着弾させ、プリベイクを実施し、これを検量線の作成にて記載した手法と同手法にて各画素の分光光度を測定し、色度分布を算出した。
この色度分布に対し、検量線より、各画素の色度の差を無くすために必要なＡ群の各ノズルからの液滴量を算出した。
(Inspection board creation and chromaticity inspection)
Using the same method as described in the creation of the calibration curve substrate, 30 drops of ink are landed by the nozzles of the B, C, and D groups and 40 ink droplets are landed by the nozzles of the A group. Then, pre-baking was performed, and the spectrophotometry of each pixel was measured by the same method as described in the preparation of the calibration curve, and the chromaticity distribution was calculated.
For this chromaticity distribution, the amount of droplets from each nozzle of group A required to eliminate the difference in chromaticity of each pixel was calculated from the calibration curve.
（評価）
インクジェットヘッドのＢ、Ｃ，Ｄ群の各ノズルから３０滴、Ａ群の各ノズルからは算出した液適量に基づき、検量線用基板の作成にて記載した手法と同手法にて吐出および塗布した。
この結果、各ノズルからの液適量が全て同じ数にて塗布したときと比較し、塗布ムラを消すことができた。
(Evaluation)
30 drops from each of the nozzles of the B, C, and D groups of the inkjet head, and ejection and coating were performed in the same manner as described in the preparation of the calibration curve substrate based on the appropriate amount of liquid calculated from each nozzle of the A group. .
As a result, the coating unevenness could be eliminated as compared with the case where the appropriate amount of liquid from each nozzle was applied in the same number.
[比較例１]
実施例１に記載した手法と同様の手法にて、検量線用基板を作製した。
[Comparative Example 1]
A calibration curve substrate was produced in the same manner as described in Example 1.
（検量線用基板の作製）
上記インクジェットヘッドの１００個のノズルを分類することなく、１つの開口部あたり各ノズルから１００滴、１２０滴、１４０滴のインク液滴を着弾させた３種類の基板を作製した。インクは横方向にＲＧＢの順に繰り返し配置し、縦方向には同色が並ぶように配置した。各色のインクは開口部全域に塗れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。
上記インクを着弾させた基板を１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。プリベイク後のインクは、先端の直径が１２μｍの針で５ｍｇの圧力にて表面を触針しても傷が入らない程度に固化し、混色しない状態であった。
(Preparation of calibration curve substrate)
Without classifying the 100 nozzles of the inkjet head, three types of substrates on which 100, 120, and 140 ink droplets were landed from each nozzle per opening were produced. The ink was repeatedly arranged in the horizontal direction in the order of RGB, and the same color was arranged in the vertical direction. Ink of each color spreads over the entire opening, and different colors did not mix.
The substrate on which the ink was landed was placed on a hot plate at 120 ° C. and prebaked for 10 minutes. The ink after pre-baking solidified to the extent that no flaws were formed even when the surface was touched with a needle having a diameter of 12 μm at the tip at a pressure of 5 mg, and no color mixing occurred.
（検量線の作成）
上記着色層を形成した３種類の基板の、各画素の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より色度Ｒｘ、Ｇｙ、Ｂｙを算出した。各画素すなわちインクジェットヘッドの各ノズルから吐出する吐出液滴数と色度の関係を求め、検量線を作成した。
(Create a calibration curve)
The spectrophotometer of each pixel of the three types of substrates on which the colored layers were formed was measured with a microscope spectrophotometer LCF-series manufactured by Otsuka Electronics, and chromaticities Rx, Gy, and By were calculated from the measured values. A relationship between the number of droplets ejected from each pixel, that is, each nozzle of the inkjet head, and chromaticity was determined, and a calibration curve was created.
（検査用基板の作成および色度による検査）
検量線用基板の作成にて記載した手法と同手法にて、１つの開口部あたり１３０滴のインク液滴を着弾させ、プリベイクを実施し、これを検量線の作成にて記載した手法と同手法にて各画素の分光光度を測定し、色度分布を算出した。
この色度分布に対し、検量線より、各画素の色度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。
(Inspection board creation and chromaticity inspection)
Using the same method as described in the preparation of the calibration curve substrate, 130 ink droplets per one opening were landed and prebaked, and this was the same as the method described in the preparation of the calibration curve. The spectrophotometer of each pixel was measured by the method, and the chromaticity distribution was calculated.
For this chromaticity distribution, the amount of droplets from each nozzle required to eliminate the difference in chromaticity of each pixel was calculated from the calibration curve.
（評価）
インクジェットヘッドの各ノズルから、算出した液適量に基づき、検量線用基板の作成にて記載した手法と同手法にて吐出および塗布した。この結果、各ノズルからの液適量が全て同じ数にて塗布したときと比較し、塗布ムラは減少した。しかし細かいスジ状の塗布ムラが残り、完全にスジ状のムラを消すことはできなかった。
(Evaluation)
Based on the calculated appropriate liquid amount, each nozzle of the inkjet head was discharged and applied by the same method as described in the preparation of the calibration curve substrate. As a result, the coating unevenness decreased as compared with the case where the appropriate amount of liquid from each nozzle was applied in the same number. However, fine streak-like coating unevenness remained, and the streak-like unevenness could not be completely eliminated.
１ …テスト用基板
３ …検査用着色層
１２…着色層形成用塗工液
２１…カラーフィルタ形成用基板
２２…着色層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (4)
前記複数のインクジェットノズルは、同じ数のインクジェットノズルを含む複数個のグループに分割されて用いられ、
前記インクジェットノズルのグループの組み合わせは、少なくとも一枚の前記カラーフィルタ形成用基板の製造において、変更されることがなく、
検査用基板の各テスト用領域上に、前記着色層を形成する際と同じ組み合わせの前記複数のインクジェットノズルから、予め定められた初期条件に従ってそれぞれ前記着色層形成用塗工液を塗布し、検査用着色層を形成する検査用着色層形成工程と、
前記検査用着色層を検査し、ムラが生じている前記検査用着色層の形成に用いられた前記複数のインクジェットノズルのうち、前記インクジェットノズルの複数個のグループのうちの特定のグループに属するインクジェットノズルの設定条件のみを前記初期条件から補正した補正条件を決定する補正条件決定工程と、
前記補正条件決定工程により決定された前記補正条件に従って、前記カラーフィルタ形成用基板の前記各着色層形成用領域上に前記着色層形成用塗工液を塗布し、前記着色層を形成する着色層形成工程と
を有し、
前記検査用着色層形成工程および前記着色層形成工程では、各着色層を形成する際に、前記インクジェットノズルの複数個のグループの全てのグループに属する各々のインクジェットノズルを用いて前記着色層形成用塗工液を塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A color filter manufacturing method for forming a colored layer by applying a colored layer forming coating solution to each colored layer forming region of a color filter forming substrate using a plurality of inkjet nozzles,
The plurality of inkjet nozzles are used by being divided into a plurality of groups including the same number of inkjet nozzles,
The combination of the inkjet nozzle groups is not changed in the production of at least one color filter forming substrate,
From each of the plurality of inkjet nozzles in the same combination as when the colored layer is formed on each test region of the inspection substrate, the colored layer forming coating liquid is applied according to a predetermined initial condition, and inspected. A colored layer forming step for inspection to form a colored layer for testing,
An ink jet belonging to a specific group among a plurality of groups of the ink jet nozzles among the plurality of ink jet nozzles used for forming the test color layer in which the inspection color layer is inspected and uneven. A correction condition determining step for determining a correction condition in which only the nozzle setting condition is corrected from the initial condition;
A colored layer that forms the colored layer by applying the colored layer forming coating liquid on each colored layer forming region of the color filter forming substrate according to the correction condition determined in the correction condition determining step. possess and the formation process,
In the colored layer forming step for inspection and the colored layer forming step, the colored layer forming step is performed by using each inkjet nozzle belonging to all of the plurality of groups of the inkjet nozzles when forming each colored layer. A method for producing a color filter, which comprises applying a coating liquid .
タの製造方法。 The color filter manufacturing method according to claim 1, wherein the inspection colored layer forming step and the correction condition determining step are performed to determine a manufacturing condition of the color filter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007237943A JP5186851B2 (en) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | Manufacturing method of color filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007237943A JP5186851B2 (en) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | Manufacturing method of color filter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009069489A JP2009069489A (en) | 2009-04-02 |
| JP5186851B2 true JP5186851B2 (en) | 2013-04-24 |
Family
ID=40605816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007237943A Expired - Fee Related JP5186851B2 (en) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | Manufacturing method of color filter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5186851B2 (en) |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2208823T3 (en) * | 1996-02-16 | 2004-06-16 | Canon Kabushiki Kaisha | METHOD OF MANUFACTURE OF A COLOR FILTER AND ITS APPLIANCE. |
| JP4532644B2 (en) * | 2000-02-18 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | Color filter density measuring method and color filter manufacturing method |
| JP2002221616A (en) * | 2000-11-21 | 2002-08-09 | Seiko Epson Corp | Method and device for manufacturing color filter, method and device for manufacturing liquid crystal device, method and device for manufacturing el device, device for controlling inkjet head, method and device for discharging material and electronic instrument |
| JP4835154B2 (en) * | 2005-12-28 | 2011-12-14 | 大日本印刷株式会社 | Test pattern board for color filter manufacturing |
| JP4876577B2 (en) * | 2005-12-28 | 2012-02-15 | 大日本印刷株式会社 | Manufacturing method of color filter |
| JP4788340B2 (en) * | 2005-12-28 | 2011-10-05 | 大日本印刷株式会社 | Manufacturing method of color filter |
| JP4876578B2 (en) * | 2005-12-28 | 2012-02-15 | 大日本印刷株式会社 | Manufacturing method of color filter |
-
2007
- 2007-09-13 JP JP2007237943A patent/JP5186851B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2009069489A (en) | 2009-04-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1081799C (en) | Color filter, method for manufacturing it, and liquid crystal panel | |
| CN102307676B (en) | Method for inspecting jetting state of inkjet head and apparatus for inspecting jetting state of inkjet head | |
| US6277529B1 (en) | Color filter manufacture method and liquid crystal display using color filters manufactured by the method | |
| KR20070082386A (en) | Normalization method of ink drops for uniformity of amount of ink drops ejected from nozzles of inkjet head | |
| JP4876577B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JP4876578B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JP4788341B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JP4788340B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| WO2010044429A1 (en) | Method and apparatus for applying droplet | |
| WO2010005011A1 (en) | Inkjet printing device and jet quantity inspecting method | |
| JP5186851B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JP5195980B2 (en) | Test pattern board for color filter manufacturing | |
| JP2006178455A (en) | Pre-printing of subpixel by which color uniformity of color filter is attained and/or reliquefying method | |
| JP4835154B2 (en) | Test pattern board for color filter manufacturing | |
| JP4532644B2 (en) | Color filter density measuring method and color filter manufacturing method | |
| JP2007178958A (en) | Method of manufacturing color filter | |
| JP4835350B2 (en) | Color filter and manufacturing method thereof | |
| JP5205733B2 (en) | Manufacturing method of color filter | |
| JP2017026955A (en) | Color filter and display device | |
| JP5239984B2 (en) | Discharge pattern generation method, generation apparatus, color filter, and organic electroluminescence element | |
| JP5029259B2 (en) | Color filter color property evaluation method and color filter manufacturing method | |
| JP2006189550A (en) | Method for drawing matrix-shaped microregion by using ink jet process | |
| JP2007094312A (en) | Print and its manufacturing method | |
| JP2007187838A (en) | Color filter substrate and manufacturing method of color filter substrate | |
| KR101105421B1 (en) | Method for estimation of jetting stability of ink for color filter and apparatus thereof |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100520 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120229 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120313 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120511 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120529 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120824 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20121002 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121225 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130107 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160201 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |