JP2007178958A - Method of manufacturing color filter - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a color filter which permits high-quality display hardly causing irregularity in the hue, etc. of each of formed colored layers and hardly causing color irregularity, by using an inkjet method. <P>SOLUTION: The method of manufacturing color filter comprises: a color filter substrate formation process; a colored layer forming coating liquid application process of applying a colored layer forming coating liquid on a colored layer formation area of the substrate by the inkjet method; a prebake process of prebaking the colored layer forming coating liquid; and a postbake process of postbaking the colored layer forming coating liquid, wherein, after the colored layer forming coating liquid application process, an inspection process of inspecting irregularity of the colored layer forming coating liquid applied on the colored layer formation area and an adjustment process of adjusting discharge condition of the colored layer forming coating liquid in the colored layer forming coating liquid by utilizing the inspection data are performed and, thereby, the discharge condition of the colored layer forming coating liquid in the colored layer forming coating liquid application process is adjusted. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used in a liquid crystal display device or the like.

近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、このカラー液晶ディスプレイが高価であることから、コストダウンの要求が高まっており、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタに対するコストダウンの要求が高い。   In recent years, with the development of personal computers, especially portable personal computers, the demand for liquid crystal displays, particularly color liquid crystal displays, has been increasing. However, since this color liquid crystal display is expensive, there is an increasing demand for cost reduction, and in particular, there is a high demand for cost reduction for a color filter having a high specific gravity.

このようなカラーフィルタにおいては、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色パターンを備え、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われるものである。   In such a color filter, it is usually provided with coloring patterns of three primary colors of red (R), green (G), and blue (B), and electrodes corresponding to the respective pixels of R, G, and B are turned on, By turning it off, the liquid crystal operates as a shutter, and light passes through each of the R, G, and B pixels, and color display is performed.

従来より行われているカラーフィルタの一般的な製造方法としては、例えば染色法が挙げられる。この染色法は、まずガラス基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料を形成し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、およびＢのカラーフィルタ層を形成する。   As a general method for producing a color filter which has been conventionally performed, for example, a staining method can be mentioned. In this dyeing method, first, a water-soluble polymer material, which is a dyeing material, is formed on a glass substrate, patterned into a desired shape by a photolithography process, and then the obtained pattern is immersed in a dyeing bath. To get a colored pattern. By repeating this three times, R, G, and B color filter layers are formed.

また、他の方法としては顔料分散法が挙げられる。この方法においては、まず基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングすることにより単色のパターンを得る。さらにこの工程を３回繰り返すことにより、Ｒ、Ｇ、およびＢのカラーフィルタ層を形成する。   Another method is a pigment dispersion method. In this method, a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed is first formed on a substrate, and this is patterned into a desired shape by a photolithography process to obtain a monochromatic pattern. Further, this process is repeated three times to form R, G, and B color filter layers.

しかしながら、上記いずれの方法も、Ｒ、Ｇ、およびＢの３色を着色するために、同一の工程を３回繰り返す必要があり、コスト高になるという問題や、露光や現像等、多数の工程を繰り返すため歩留まりが低下するという問題がある。またさらに、現像の際に用いられる薬品等によって、他の部材が劣化してしまう場合がある等の問題もあった。   However, in any of the above methods, in order to color the three colors of R, G, and B, it is necessary to repeat the same process three times. There is a problem in that the yield decreases because the process is repeated. Furthermore, there has been a problem that other members may be deteriorated by chemicals used during development.

そこで、例えば基材上に、光触媒と、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する材料とを含有する光触媒含有層形成用塗工液を用いて光触媒含有層を形成し、この光触媒含有層をパターン状に露光することにより、特性が変化したパターンを形成し、着色層をインクジェット法により形成するカラーフィルタの製造方法が提案されている（特許文献１）。また例えば、基材上に着色層を形成する着色層形成用塗工液を留めるためのバンクを形成し、このバンクにフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射することによりバンクを撥液性として、インクジェット法等により着色層等の機能性部を形成する方法も提案されている（特許文献２）。   Therefore, for example, a photocatalyst-containing layer is formed on a base material using a photocatalyst-containing layer-forming coating liquid containing a photocatalyst and a material whose characteristics change due to the action of the photocatalyst accompanying energy irradiation. A method for manufacturing a color filter is proposed in which a pattern having a changed characteristic is formed by exposing the film in a pattern, and a colored layer is formed by an inkjet method (Patent Document 1). Further, for example, a bank for retaining a colored layer forming coating solution for forming a colored layer on a substrate is formed, and the bank is made liquid repellent by irradiating plasma with a fluorine compound as an introduction gas. A method of forming a functional part such as a colored layer by an inkjet method or the like has also been proposed (Patent Document 2).

これらの方法によれば、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成することが可能であることから、複雑な工程を繰り返す必要がなく、製造効率がよいという利点を有している。また現像液等を用いる必要がないことから、部材の劣化等が生じるおそれもないものとすることができる。しかしながら、インクジェット法により、着色層を形成する着色層形成用塗工液を吐出して着色層を形成する場合、各インクジェットノズルから吐出される着色層形成用塗工液の吐出量にはバラつきがある。そのため、各着色層形成用領域に吐出される着色層形成用塗工液の量が均一なものとならず、各着色層の色相等にバラつきが生じ、形成されたカラーフィルタに色ムラが発生する等の問題があった。   According to these methods, it is possible to apply a colored layer forming coating solution by an ink jet method and form a colored layer, so that there is no need to repeat complicated steps and there is an advantage that production efficiency is good. Have. Further, since it is not necessary to use a developer or the like, the member can be prevented from being deteriorated. However, when the colored layer forming coating liquid for forming the colored layer is discharged by the inkjet method to form the colored layer, the discharge amount of the colored layer forming coating liquid discharged from each inkjet nozzle varies. is there. For this reason, the amount of the colored layer forming coating liquid discharged to each colored layer forming region is not uniform, the hue of each colored layer varies, and color unevenness occurs in the formed color filter. There was a problem such as.

特開２００１−０７４９２８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-074928 特開２０００−１８７１１１号公報JP 2000-187111 A

そこで、形成される各着色層の色相等にバラつきが少なく、色ムラの少ない高品質な表示が可能なカラーフィルタを、インクジェット法を用いて製造する方法の提供が望まれている。   Therefore, it is desired to provide a method for manufacturing a color filter using an ink jet method, which is capable of displaying a high-quality display with little variation in hue and the like of each colored layer to be formed and less color unevenness.

本発明は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を形成するカラーフィルタ用基板形成工程と、上記カラーフィルタ用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、上記着色層形成用塗工液をプリベイクするプリベイク工程と、上記着色層形成用塗工液をポストベイクするポストベイク工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記着色層形成用塗工液塗布工程後、上記着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程、および上記検査工程による検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液における上記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程を行い、上記着色層形成用塗工液塗布工程の着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。   The present invention provides a color filter substrate forming step of forming a color filter substrate having a colored layer forming region for forming a colored layer, and an ink jet method on the colored layer forming region of the color filter substrate. A colored layer forming coating solution coating step for applying a colored layer forming coating solution, a prebaking step for prebaking the colored layer forming coating solution, and a post baking step for postbaking the colored layer forming coating solution. An inspection step for inspecting unevenness of the colored layer forming coating solution applied to the colored layer forming region after the colored layer forming coating solution application step, And using the inspection data from the inspection step, performing an adjustment step of adjusting the discharge condition of the colored layer forming coating solution in the colored layer forming coating solution, To provide a method for manufacturing a color filter, characterized by adjusting the discharge condition of the colored layer forming coating liquid of use coating liquid applying process.

本発明によれば、上記カラーフィルタを製造する際、着色層形成用塗工液の吐出ムラ等を検査する検査工程を行い、その検査データを利用して着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することから、その調整結果が後に行われる着色層形成用塗工液における着色層形成用塗工液の吐出条件に反映され、各着色層形成用領域に塗布される着色層の量等をより一定にすることが可能となる。したがって、本発明により製造されたカラーフィルタにおいては、各着色層間での色ムラ等が少なく、高品質な色表示が可能となる。   According to the present invention, when manufacturing the color filter, an inspection process for inspecting discharge unevenness of the colored layer forming coating liquid is performed, and the discharge condition of the colored layer forming coating liquid is obtained using the inspection data. Therefore, the amount of the colored layer applied to each colored layer forming region is reflected in the discharge conditions of the colored layer forming coating solution in the colored layer forming coating solution to be adjusted later. Can be made more constant. Therefore, the color filter manufactured according to the present invention has little color unevenness between the colored layers and enables high-quality color display.

上記発明においては、上記検査工程および上記調整工程が、上記プリベイク工程と上記ポストベイク工程との間に行われることが好ましい。これにより、検査工程において、着色層形成用塗工液が混色等のないものとすることができ、より正確に検査を行うことが可能となるからである。   In the said invention, it is preferable that the said test | inspection process and the said adjustment process are performed between the said prebaking process and the said post-baking process. Thereby, in the inspection process, the coating liquid for forming the colored layer can be free of color mixing and the like, and the inspection can be performed more accurately.

上記発明においては、上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の輝度を検査する工程を有していてもよく、また上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の色度を検査する工程を有していてもよい。また上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の膜厚を検査する工程を有していてもよく、また上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の体積を検査する工程を有していてもよい。これらの測定を行うことにより、各インクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の量等を把握することが可能となり、調整工程において、効率よく着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となるからである。   In the said invention, the said test process may have the process of test | inspecting the brightness | luminance of the said coating liquid for colored layer formation applied to each said colored layer formation area | region, and the said test process is the said process. You may have the process of test | inspecting the chromaticity of the said coating liquid for colored layer formation apply | coated to each area | region for colored layer formation. In addition, the inspection step may include a step of inspecting a film thickness of the colored layer forming coating solution applied to each colored layer forming region, and the inspecting step includes each of the colored layers. You may have the process of test | inspecting the volume of the said coating liquid for colored layer formation apply | coated to the formation area. By performing these measurements, it is possible to grasp the amount of the colored layer forming coating liquid discharged from each inkjet nozzle, and in the adjustment process, the discharging conditions of the colored layer forming coating liquid can be efficiently determined. This is because it becomes possible to adjust.

またさらに、上記発明においては、上記カラーフィルタ用基板形成工程が、上記着色層形成用領域が親液性であり、かつ上記着色層形成用領域以外の領域が撥液性であるカラーフィルタ用基板を形成する工程であることが好ましい。この場合、上記カラーフィルタ用基板の撥液性および親液性を利用して、着色層形成用領域のみに高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となり、高精細な着色層を有するカラーフィルタを製造することができるからである。   Still further, in the above invention, the color filter substrate forming step includes a color filter substrate in which the colored layer forming region is lyophilic and a region other than the colored layer forming region is lyophobic. It is preferable that it is a process of forming. In this case, using the liquid repellency and lyophilicity of the color filter substrate, it becomes possible to apply the color layer forming coating liquid only to the color layer forming region with high definition. This is because a color filter having a layer can be manufactured.

本発明によれば、各着色層間での色ムラ等が少なく、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができるという効果を奏する。   According to the present invention, there is an effect that it is possible to manufacture a color filter capable of producing a high-quality color display with little color unevenness between colored layers.

本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。以下詳しく説明する。   The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used in a liquid crystal display device or the like. This will be described in detail below.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を形成するカラーフィルタ用基板形成工程と、上記カラーフィルタ用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、上記着色層形成用塗工液をプリベイクするプリベイク工程と、上記着色層形成用塗工液をポストベイクするポストベイク工程とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記着色層形成用塗工液塗布工程後、上記着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程、および上記検査工程による検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液における上記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程を行い、上記着色層形成用塗工液塗布工程の着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することを特徴とするものである。   The color filter manufacturing method of the present invention includes a color filter substrate forming step of forming a color filter substrate having a colored layer forming region for forming a colored layer, and the color layer forming of the color filter substrate. On the region, a colored layer forming coating solution coating step for applying a colored layer forming coating solution by an inkjet method, a prebaking step for prebaking the colored layer forming coating solution, and the colored layer forming coating method And a post-baking process for post-baking the liquid, wherein after the colored layer forming coating liquid coating step, the unevenness of the colored layer forming coating liquid applied to the colored layer forming region And adjusting the discharge conditions of the colored layer forming coating liquid in the colored layer forming coating liquid using the inspection process for inspecting Perform step, characterized in that for adjusting the discharge condition of the colored layer forming coating liquid of the colored layer forming coating solution coating process.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、例えば図１のフロー図に示すように、カラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、およびポストベイク工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記着色層形成用塗工液塗布工程後、着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程が行われる。この検査工程により、着色層形成用塗工液にムラが生じていること等が認められた場合には、不具合のあるインクジェットノズルの着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程が行われ、着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件が決定される。なお、本発明においては、図１のフロー図に示すように、プリベイク工程とポストベイク工程との間に、上記検査工程および調整工程が行われるものであってもよく、また図２のフロー図に示すように、上記着色層形成用塗工液塗布工程とプリベイク工程との間に、上記検査工程および調整工程が行われるものであってもよい。なお、検査工程において、着色層形成用塗工液にムラ等が認められない場合には、調整工程を行うことなく、ポストベイク工程やプリベイク工程が行われてもよい。なお、本発明でいう上記着色層形成用塗工液のムラとは、着色層形成用塗工液の塗布量のムラだけでなく、例えば着色層形成用領域に塗布された際の色度や輝度、膜厚、体積のムラ等も含むものとする。   The color filter manufacturing method of the present invention is, for example, as shown in the flowchart of FIG. 1, manufacturing a color filter having a color filter substrate forming step, a colored layer forming coating liquid coating step, a pre-baking step, and a post-baking step. It is a method, Comprising: The inspection process which test | inspects the nonuniformity of the coating liquid for colored layer formation after the said coating liquid application process for colored layer formation is performed. When it is recognized that unevenness has occurred in the colored layer forming coating solution by this inspection step, an adjustment step for adjusting the discharge condition of the colored layer forming coating solution of the defective inkjet nozzle is performed. It is performed, and the discharge conditions of the colored layer forming coating solution in the colored layer forming coating solution application step are determined. In the present invention, as shown in the flow chart of FIG. 1, the inspection process and the adjustment process may be performed between the pre-baking process and the post-baking process, and the flow chart of FIG. As shown, the inspection step and the adjustment step may be performed between the colored layer forming coating solution coating step and the pre-baking step. In addition, in the inspection process, when unevenness etc. are not recognized by the coating liquid for colored layer formation, a post-baking process and a pre-baking process may be performed without performing an adjustment process. The unevenness of the colored layer forming coating solution referred to in the present invention is not only the unevenness of the coating amount of the colored layer forming coating solution, but also the chromaticity when applied to the colored layer forming region, for example. Including luminance, film thickness, volume unevenness, and the like.

上述したように、通常、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する場合、各インクジェットノズルによって、着色層形成用塗工液の吐出量等にバラつきがあることから、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量が一定とならず、形成される各着色層の色相等にバラつきが生じるという問題があった。   As described above, usually, when a colored layer forming coating solution is applied by an inkjet method to form a colored layer, the discharge amount of the colored layer forming coating solution varies depending on each inkjet nozzle. The amount of the colored layer forming coating solution applied to each colored layer forming region is not constant, and there is a problem that the hue of each colored layer to be formed varies.

一方、本発明においては、上記検査工程により、着色層形成用塗工液の塗布状態にムラがないかを検査し、着色層形成用塗工液の吐出条件が最適でない場合には、不具合のあるインクジェットノズルの着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する。この調整結果が後に行われる着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件に反映されることから、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量をより均一なものとすることができ、本発明によれば、形成された各着色層の色相等にバラつきが少なく、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができるのである。以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程について説明する。   On the other hand, in the present invention, the inspection step checks whether there is unevenness in the application state of the colored layer forming coating solution, and if the discharge condition of the colored layer forming coating solution is not optimal, The discharge condition of the coating liquid for forming a colored layer of a certain inkjet nozzle is adjusted. Since this adjustment result is reflected in the discharge conditions of the colored layer forming coating liquid in the colored layer forming coating liquid coating process performed later, the colored layer forming coating applied to each colored layer forming region The amount of liquid can be made more uniform, and according to the present invention, it is possible to produce a color filter capable of high-quality color display with little variation in hue or the like of each formed colored layer. It is. Hereinafter, each process of the manufacturing method of the color filter of this invention is demonstrated.

１．カラーフィルタ用基板形成工程
まず、本発明のカラーフィルタ用基板形成工程について説明する。本発明のカラーフィルタ用基板形成工程は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を形成する工程であり、例えば図３（ａ）に示すように、着色層形成用領域ａをパターン状に有するカラーフィルタ用基板１を形成する工程である。 1. Color Filter Substrate Formation Step First, the color filter substrate formation step of the present invention will be described. The color filter substrate forming step of the present invention is a step of forming a color filter substrate having a colored layer forming region for forming a colored layer. For example, as shown in FIG. This is a step of forming the color filter substrate 1 having the working area a in a pattern.

本工程において形成されるカラーフィルタ用基板としては、目的とする形状に着色層を形成可能な着色層形成用領域を有するものであれば、その着色層形成用領域の性状や形状等は特に限定されるものではない。例えば本工程により形成されるカラーフィルタ用基板は、着色層形成用領域の周囲に、着色層形成用塗工液を留めるための土手がパターン状に形成されたものであってもよく、また上記着色層形成用領域が親液性領域とされ、かつ上記着色層形成用領域以外の領域が撥液性領域とされているもの等であってもよい。   The color filter substrate formed in this step is not particularly limited as long as it has a colored layer forming region capable of forming a colored layer in a desired shape, the properties and shape of the colored layer forming region. Is not to be done. For example, the color filter substrate formed by this step may have a pattern in which a bank for retaining the colored layer forming coating solution is formed around the colored layer forming region. The coloring layer forming region may be a lyophilic region, and the region other than the coloring layer forming region may be a liquid repellent region.

本工程は特に、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域であるカラーフィルタ用基板を形成する工程であることが好ましい。このようなカラーフィルタ用基板とすることにより、着色層形成用塗工液塗布工程において着色層形成用塗工液が塗布された際、撥液性領域には着色層形成用塗工液が付着せず、親液性である着色層形成用領域のみに高精細に着色層形成用塗工液が付着するものとすることができる。したがって、後述する着色層形成用塗工液塗布工程により、高精細なパターン状に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となり、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができるからである。なお、本発明でいう撥液性領域とは、隣接する領域より、液体との接触角が１°以上高い領域をいうこととする。本発明においては特に、上記撥液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、５０°以上、中でも７０°以上であることが好ましい。また撥液性領域の純水との接触角は９０°以上、中でも１００°以上であることが好ましい。一方、上記親液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、９°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下とされることが好ましい。また、純水との接触角は２０°以下、中でも１０°以下とされることが好ましい。これにより、上記親液性領域のみに、高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。なお、上記液体との接触角は、上記表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定（マイクロシリンジから液滴を滴下して３０秒後）し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得られるものである。   This step is particularly preferably a step of forming a color filter substrate in which the colored layer forming region is a lyophilic region and the other regions are liquid repellent regions. By using such a color filter substrate, when the colored layer forming coating solution is applied in the colored layer forming coating solution coating step, the colored layer forming coating solution is applied to the liquid repellent region. The colored layer forming coating solution can be attached with high definition only to the colored layer forming region which is not lyophilic. Therefore, it is possible to apply the colored layer forming coating liquid in a high-definition pattern by the colored layer forming coating liquid application step, which will be described later, and manufacture a color filter capable of high-quality color display. Because you can. The liquid repellent region referred to in the present invention refers to a region having a contact angle with the liquid that is 1 ° or more higher than the adjacent region. In the present invention, in particular, the contact angle of the liquid repellent region with a liquid having a surface tension of 40 mN / m is preferably 50 ° or more, more preferably 70 ° or more. The contact angle of the liquid repellent region with pure water is preferably 90 ° or more, and more preferably 100 ° or more. On the other hand, the contact angle of the lyophilic region with a liquid having a surface tension of 40 mN / m is preferably 9 ° or less, and particularly preferably the contact angle with a liquid having a surface tension of 60 mN / m is 10 ° or less. The contact angle with pure water is preferably 20 ° or less, and more preferably 10 ° or less. This is because it becomes possible to apply the colored layer forming coating solution with high definition only to the lyophilic region. The contact angle with the liquid is measured using a contact angle measuring device (CA-Z type, manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) (dropping a droplet from a microsyringe). 30 seconds later), and the result can be obtained or graphed.

本工程において、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域であるカラーフィルタ用基板を形成する方法としては、例えばエネルギー照射に伴う光触媒の作用により濡れ性が変化する濡れ性変化層を基板表面に形成し、この濡れ性変化層の濡れ性をパターン状（着色層形成用領域のパターン状）に変化させる方法等とすることができる。このような濡れ性変化層を利用して、親液性のパターンを形成する方法としては、例えば特開２００２−４０２３０公報や、特開２００３−１０５０２９公報等に記載された方法を用いることができる。   In this step, as a method for forming a color filter substrate in which the colored layer forming region is a lyophilic region and the other regions are liquid repellent regions, for example, wetting is performed by the action of a photocatalyst accompanying energy irradiation. For example, a wettability changing layer whose properties change may be formed on the substrate surface, and the wettability of the wettability changing layer may be changed to a pattern (pattern of the colored layer forming region). As a method for forming a lyophilic pattern using such a wettability changing layer, for example, methods described in JP-A-2002-40230, JP-A-2003-105029, and the like can be used. .

また、例えば上記着色層形成用領域のみに、親液性を有する材料を用いて層を形成する方法や、上記着色層形成用領域以外の領域のみに、撥液性を有する材料を用いて層を形成する方法等であってもよく、またこれらを組合わせた方法であってもよい。またさらに、着色層形成用領域以外の領域に、有機材料からなる層を形成し、この層に対してフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマ照射することにより、着色層形成用領域以外の領域を、撥液性とする方法等であってもよい。なおプラズマ照射を行うことにより、上記着色層形成用領域以外の領域を撥液性とする場合、上記着色層形成用領域の表面は、無機材料が露出、または無機材料によって覆われていることが好ましい。これにより、基板全面にプラズマ照射をした場合であっても、上記着色層形成用領域にはフッ素が導入されず、着色層形成用領域以外の領域のみにフッ素が導入されるものとすることができるからである。上記プラズマの照射方法は、例えば特開２０００−１８７１１１号公報に記載されている方法と同様とすることができる。   Further, for example, a method of forming a layer using a lyophilic material only in the colored layer forming region, or a layer using a liquid repellent material only in a region other than the colored layer forming region. Or a combination of these methods may be used. Furthermore, a layer made of an organic material is formed in a region other than the colored layer forming region, and the layer is irradiated with plasma using a fluorine compound as an introduction gas, thereby repelling the region other than the colored layer forming region. It may be a liquid method. Note that when the region other than the colored layer forming region is made liquid repellent by performing plasma irradiation, the surface of the colored layer forming region may be exposed or covered with the inorganic material. preferable. Thereby, even when the entire surface of the substrate is irradiated with plasma, fluorine is not introduced into the colored layer forming region, but fluorine is introduced only into regions other than the colored layer forming region. Because it can. The plasma irradiation method can be the same as the method described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-187111.

２．着色層形成用塗工液塗布工程
次に、本発明における着色層形成用塗工液塗布工程について説明する。本工程は、上記カラーフィルタ用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する工程であり、例えば図３（ｂ）および（ｃ）に示されるように、着色層形成用塗工液２を上記カラーフィルタ用基板１の着色層形成用領域ａ上にパターン状に塗布する工程である。 2. Next, the colored layer forming coating solution coating step in the present invention will be described. This step is a step of applying a colored layer forming coating solution by an inkjet method onto the colored layer forming region of the color filter substrate, as shown in FIGS. 3B and 3C, for example. In this step, the colored layer forming coating solution 2 is applied in a pattern on the colored layer forming region a of the color filter substrate 1.

本発明のカラーフィルタの製造方法において、初めて着色層形成用塗工液塗布工程が行われる場合には、本工程は、通常の吐出条件、もしくは予め設定された吐出条件により着色層形成用塗工液を吐出する工程とされる。なお予め設定された吐出条件とは、カラーフィルタを製造する前に、本発明におけるカラーフィルタ用基板形成工程や、着色層形成用塗工液塗布工程、ポストベイク工程、検査工程、および調査工程等と同様の工程を行うことによって、適宜決定された着色層形成用塗工液の吐出条件をいう。   In the manufacturing method of the color filter of the present invention, when the colored layer forming coating liquid coating step is performed for the first time, this step is performed for the colored layer forming coating under normal discharge conditions or preset discharge conditions. A step of discharging the liquid is performed. The pre-set ejection conditions are, for example, a color filter substrate forming process, a colored layer forming coating liquid coating process, a post-baking process, an inspection process, and an investigation process before manufacturing a color filter. The discharge conditions of the coating liquid for forming a colored layer, which are determined as appropriate by performing the same process, are referred to.

また本発明のカラーフィルタの製造方法において２回目以降に本工程が行われる場合には、後述する調整工程によって調整された吐出条件に基づいて着色層形成用塗工液の吐出が行われることとなる。これにより、より良好な吐出条件で着色層形成用塗工液を塗布することが可能となり、より色ムラ等の少ないカラーフィルタを製造することが可能となるからである。なお上述したように、検査工程において特に着色層形成用塗工液にムラ等が認められない場合には、調整工程が行われる必要がないことから、通常本工程は、先に決定されている吐出条件に基づいて着色層形成用塗工液の吐出が行われるものとされる。   In addition, when this step is performed after the second time in the method for producing a color filter of the present invention, the colored layer forming coating liquid is discharged based on the discharge conditions adjusted by the adjustment step described later. Become. This is because it becomes possible to apply the color layer-forming coating solution under better discharge conditions, and to produce a color filter with less color unevenness. Note that, as described above, this step is usually determined first because the adjustment step does not need to be performed when no unevenness or the like is observed in the colored layer forming coating liquid in the inspection step. The colored layer forming coating solution is discharged based on the discharge conditions.

ここで、本工程において着色層形成用塗工液を塗布するために用いられるインクジェット装置としては、一般的にカラーフィルタを製造する際に用いられるものと同様とすることができる。上記インクジェット装置として、１つのみインクジェットノズルを有するものが用いられてもよいが、本発明においては特に、複数のインクジェットノズルを有するものが用いられることが好ましい。これにより、効率よくカラーフィルタを製造することが可能となるからである。   Here, the inkjet apparatus used for applying the color layer-forming coating solution in this step can be the same as that generally used when producing a color filter. As the ink jet device, one having only one ink jet nozzle may be used, but in the present invention, it is particularly preferable to use one having a plurality of ink jet nozzles. This is because the color filter can be efficiently manufactured.

また、本工程に用いられる着色層形成用塗工液としては、製造されるカラーフィルタの種類等により適宜選択され、一般的にカラーフィルタの製造に用いられるものと同様とすることができる。   The colored layer forming coating solution used in this step is appropriately selected depending on the type of color filter to be produced, and can be the same as that generally used for the production of color filters.

また、本工程において、着色層形成用塗工液が塗布される領域としては、着色層形成用領域の性状や形状等に合わせて適宜選択される。例えば、上記着色層形成用領域が、土手によって区画されている場合等には、着色層形成用塗工液は、着色層形成用領域のみに塗布されることとなる。一方、上記着色層形成用領域が親液性領域とされ、かつそれ以外の領域が撥液性領域とされている場合等には、上記着色層形成用塗工液が撥液性領域に付着しないものとすることができることから、着色層形成用塗工液が基板全面に塗布されるものとしてもよい。   In this step, the region to which the colored layer forming coating solution is applied is appropriately selected in accordance with the properties and shape of the colored layer forming region. For example, when the colored layer forming region is partitioned by a bank, the colored layer forming coating solution is applied only to the colored layer forming region. On the other hand, when the colored layer forming region is a lyophilic region and the other region is a liquid repellent region, the colored layer forming coating solution adheres to the liquid repellent region. Therefore, the colored layer forming coating solution may be applied to the entire surface of the substrate.

３．プリベイク工程
次に、本発明におけるプリベイク工程について説明する。本工程は、上述した着色層形成用塗工液塗布工程により塗布された着色層形成用塗工液をプリベイクする工程である。本工程により着色層形成用塗工液をプリベイクし、着色層形成用塗工液をある程度固化させることによって、後述する検査工程において着色層形成用塗工液どうしが混色してしまうことや、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の状態が変化してしまうこと等を防ぐことができ、より正確に検査を行うことが可能となる。 3. Prebaking process Next, the prebaking process in this invention is demonstrated. This step is a step of prebaking the colored layer forming coating solution applied in the above-described colored layer forming coating solution applying step. By pre-baking the colored layer forming coating solution in this step and solidifying the colored layer forming coating solution to some extent, the colored layer forming coating solution may be mixed in the inspection step described later, It is possible to prevent the state of the colored layer forming coating liquid applied to the colored layer forming region from being changed, and it is possible to perform inspection more accurately.

本工程においては、上記着色層形成用塗工液が流動性を有しない状態となるまで固化させることが可能であれば、そのプリベイクの条件等は特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタの製造方法におけるプリベイクの条件と同様とすることができる。   In this step, the prebaking conditions and the like are not particularly limited as long as the colored layer forming coating liquid can be solidified until it does not have fluidity. The pre-baking conditions in the filter manufacturing method can be the same.

４．検査工程
次に、本発明における検査工程について説明する。本工程は、上記着色層形成用領域上に塗布された上記着色層形成用塗工液のムラを検査する工程であり、上記着色層形成用塗工液のムラを検査することが可能な方法であれば、その方法は特に限定されるものではない。 4). Inspection Process Next, the inspection process in the present invention will be described. This step is a step of inspecting unevenness of the colored layer forming coating solution applied on the colored layer forming region, and a method capable of inspecting unevenness of the colored layer forming coating solution. If so, the method is not particularly limited.

本工程に用いられるムラの検査方法としては、例えば上記各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の輝度を測定する方法や、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の色度を測定する方法、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の膜厚を測定する方法、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の体積を測定する方法等が挙げられる。   As a method for inspecting unevenness used in this step, for example, a method of measuring the luminance of the colored layer forming coating solution applied to each colored layer forming region or a coloring applied to the colored layer forming region. A method for measuring the chromaticity of the layer forming coating liquid, a method for measuring the film thickness of the colored layer forming coating liquid applied to the colored layer forming area, and a coloring applied to the colored layer forming area Examples include a method for measuring the volume of the layer forming coating solution.

上記輝度を測定する方法としては、蛍光灯等の光源を用いて、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の透過画像をＲＧＢ各色の色分解フィルタを使用したＣＣＤカメラ等で撮影し、全面または測定したい領域を画像として記録する。その後、この画像のＲＧＢ各色の濃淡の分布を解析し、輝度分布として算出する方法等とすることができる。なお、ＣＣＤカメラ取得画像は輝度データとして算出できればモノクロでもカラーでも良い。また、顕微鏡型分光光度計を用い、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の測定したい領域について、輝度を計測する方法も用いることができる。上記方法により、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の輝度ムラを測定することにより、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の量のムラを把握すること等が可能となる。具体的には、輝度が高い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が少なく、輝度が低い領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が多いといえる。したがって、後述する調整工程において、この輝度データに基づいて、不具合のあるインクジェットノズルの着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。   As a method for measuring the luminance, a CCD camera using a color separation filter for each color of RGB, using a light source such as a fluorescent lamp as a transmission image of the colored layer forming coating solution applied to the colored layer forming region. Etc., and record the entire surface or the area to be measured as an image. Then, a method of calculating the luminance distribution by analyzing the density distribution of each RGB color of the image can be used. The CCD camera acquired image may be monochrome or color as long as it can be calculated as luminance data. Moreover, the method of measuring a brightness | luminance about the area | region which wants to measure the coating liquid for colored layer formation applied to the said area | region for colored layer formation using a microscope type spectrophotometer can also be used. By measuring the luminance unevenness of the colored layer forming coating solution applied to each colored layer forming region by the above method, the amount of the colored layer forming coating solution applied to each colored layer forming region It becomes possible to grasp unevenness. Specifically, it can be said that the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is small in the region with high luminance, and the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is large in the region with low luminance. Therefore, in the adjustment process described later, it is possible to adjust the discharge condition of the coating liquid for forming the colored layer of the defective inkjet nozzle based on the luminance data.

また、色度を測定する方法としては、顕微鏡形分光光度計を用い、上記各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の色度を計測する方法とすることができる。計測した色度より、赤色着色層形成用塗工液（Ｒ）に対してはＲｘを、緑色着色層形成用塗工液（Ｇ）に対してはＧｙを、青色着色層形成用塗工液（Ｂ）に対してはＢｙを抽出し、これらをそれぞれの色度データとすることが有効である。例えば、上記Ｒｘ、Ｇｙ、およびＢｙの値の分布を把握することにより、着色層形成用塗工液の量のブレ等を把握することが可能となり、後述する調整工程において、この色度データに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。   Moreover, as a method of measuring chromaticity, it can be set as the method of measuring the chromaticity of the coating liquid for colored layer formation applied to each said colored layer formation area | region using a microscope type spectrophotometer. From the measured chromaticity, Rx is applied to the red colored layer forming coating liquid (R), Gy is applied to the green colored layer forming coating liquid (G), and the blue colored layer forming coating liquid is used. For (B), it is effective to extract By and use these as chromaticity data. For example, by grasping the distribution of the values of Rx, Gy, and By, it becomes possible to grasp the blur of the amount of the coating liquid for forming the colored layer, and the chromaticity data is included in the adjustment process described later. Based on this, it becomes possible to adjust the discharge conditions of the colored layer forming coating solution.

また、上記膜厚を測定する方法としては、上記着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液を例えばプリベイクし、触針型の膜厚計や非接触型の３次元形状測定器等により測定する方法とすることができる。触針型の膜厚計とは、例えば針先を着色層形成用塗工液に接触させたまま移動させ、針先の上下動の推移にて膜厚を計測する手法であり、非接触型の３次元形状測定器とは、例えば光学干渉の干渉縞を用いて相対的な膜厚を算出する手法である。ここで、上記着色層形成用塗工液が、完全には硬化していないが混色しない程度に硬化している状態である場合には、非接触型の３次元形状測定器を使用する方法であることが好ましい。なお、上記膜厚を測定する方法を用いる場合、例えば各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の最大膜厚の分布を測定する方法であってもよく、また着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の平均膜厚の分布を測定する方法であってもよい。平均膜厚は、上記測定器により、各着色層形成用領域内の膜厚を複数箇所について測定し、その測定値から算出することができる。   Further, as a method for measuring the film thickness, for example, the colored layer forming coating solution applied to the colored layer forming region is pre-baked, and a stylus type film thickness meter or a non-contact type three-dimensional shape is used. It can be set as the method of measuring with a measuring device. The stylus-type film thickness meter is a technique that moves the needle tip while keeping it in contact with the colored layer forming coating solution and measures the film thickness by the movement of the needle tip in the vertical direction. The three-dimensional shape measuring instrument is a method for calculating a relative film thickness using, for example, an interference fringe of optical interference. Here, when the colored layer forming coating solution is not completely cured but is cured to such an extent that it is not mixed, it is a method using a non-contact type three-dimensional shape measuring instrument. Preferably there is. In addition, when using the method of measuring the film thickness, for example, it may be a method of measuring the maximum film thickness distribution of the colored layer forming coating liquid applied to each colored layer forming region. It may be a method of measuring the distribution of the average film thickness of the colored layer forming coating solution applied to the layer forming region. The average film thickness can be calculated from the measured values obtained by measuring the film thickness in each colored layer forming region at a plurality of locations using the measuring instrument.

ここで、膜厚が厚い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が多く、膜厚が薄い領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が少ないといえる。したがって、後述する調整工程において、この膜厚のデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。   Here, it can be said that in the region where the film thickness is thick, the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is large, and in the region where the film thickness is thin, the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is small. Therefore, in the adjustment step described later, it is possible to adjust the discharge condition of the colored layer forming coating liquid based on the data of the film thickness.

また、上記体積を測定する方法としては、非接触型の３次元形状測定器等により測定する方法とすることができる。例えば各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の体積を測定する場合、この着色層形成用領域を細分化した所定の面積ごとの膜厚を計測し、それぞれ測定された膜厚（高さ）に上記所定の面積を乗じた値の総和により算出することができる。体積が多い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が多く、体積が少ない領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が少ないといえる。したがって、後述する調整工程において、この体積のデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。   The volume can be measured by a non-contact type three-dimensional shape measuring instrument or the like. For example, when measuring the volume of the colored layer forming coating solution in each colored layer forming region, the film thickness is measured for each predetermined area obtained by subdividing the colored layer forming region, and the measured film thickness ( It can be calculated by the sum of values obtained by multiplying the predetermined area by (height). It can be said that the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is large in the region having a large volume, and the amount of the applied coating solution for forming the colored layer is small in the region having a small volume. Therefore, in the adjustment process described later, it is possible to adjust the discharge conditions of the colored layer forming coating liquid based on the volume data.

なお、本工程は、上記のいずれか一種類の測定方法のみを行うものであってもよいが、例えば二種類以上の測定方法を組合わせて行うものであってもよい。二種類以上の測定方法を組合わせた場合、後述する調整工程において、より正確に着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。また二種類以上の測定を組合わせて行う場合には、少なくとも１つの測定方法を各カラーフィルタ用基板について行い、それ以外の測定方法を、数枚のカラーフィルタ用基板のうちの一枚に対して行うものであってもよい。   In addition, although this process may perform only one of the above-described measurement methods, for example, it may be performed by combining two or more measurement methods. When two or more types of measurement methods are combined, it is possible to adjust the discharge conditions of the colored layer forming coating solution more accurately in the adjustment step described later. When two or more types of measurements are performed in combination, at least one measurement method is performed on each color filter substrate, and the other measurement methods are performed on one of several color filter substrates. May be performed.

ここで本発明においては、上述した各方法の中でも特に、輝度を測定する方法を少なくとも用いて本工程が行われることが好ましい。これにより、検査工程に要する時間が短く、より短時間で効率よく検査工程を行うことが可能となるからである。   Here, in this invention, it is preferable that this process is performed using at least the method of measuring a brightness among the above-described methods. This is because the time required for the inspection process is short and the inspection process can be performed efficiently in a shorter time.

５．調整工程
次に、本発明における調整工程について説明する。本工程は、上述した検査工程により得られた検査データを利用して、着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する工程である。本工程においては、上記検査工程により得られた検査データから、例えば塗布された着色層形成用塗工液の量が多すぎる領域、少すぎる領域等を割り出し、その領域の着色層形成用塗工液の塗布に用いられたインクジェットノズルを特定し、そのインクジェットノズルの吐出条件を調整する方法等とすることができる。なお、上記検査工程において、特に着色層形成用領域上に塗布された着色層形成用塗工液にムラ等が認められなかった場合には、上述したように本工程を行うことなく、上記プリベイク工程や後述するポストベイク工程が行われてもよい。 5. Adjustment Step Next, the adjustment step in the present invention will be described. This step is a step of adjusting the discharge condition of the colored layer forming coating solution in the colored layer forming coating solution application step using the inspection data obtained by the above-described checking step. In this step, from the inspection data obtained in the inspection step, for example, an area where the amount of the applied colored layer forming coating solution is too large or too small is determined, and the colored layer forming coating in that area is determined. For example, the inkjet nozzle used for applying the liquid can be specified, and the ejection conditions of the inkjet nozzle can be adjusted. In addition, in the inspection step, particularly when unevenness or the like is not observed in the colored layer forming coating solution applied on the colored layer forming region, the prebaking is performed without performing this step as described above. The process and the post-baking process mentioned later may be performed.

本工程における吐出条件の調整方法としては、例えば着色層形成用領域に吐出する着色層形成用塗工液の液滴数を増減して調整する方法や、インクジェットノズルにかける電圧量やパルス幅を調整すること等によって、インクジェットノズルから一回に吐出される着色層形成用塗工液の量を調整する方法、予め各インクジェットノズルから複数段階の液適量（例えば多い、通常、少ない等）吐出できるように設定しておき、これらを適宜組合わせることによって、着色層形成用塗工液の量を調整する方法、またこれらの方法を必要に応じて２つ以上組合わせる方法等が挙げられる。   Examples of the adjustment method of the discharge conditions in this step include a method of adjusting the number of droplets of the colored layer forming coating liquid discharged to the colored layer forming region, and a method of adjusting the voltage amount and pulse width applied to the inkjet nozzle. A method for adjusting the amount of the coating liquid for forming a colored layer ejected from the inkjet nozzle at a time by adjusting, etc., and a suitable amount of liquid (for example, more, usually less) can be ejected from each inkjet nozzle in advance. A method for adjusting the amount of the coating solution for forming the colored layer by appropriately combining these, and a method for combining two or more of these methods as necessary, may be mentioned.

上述したような方法により決定された着色層形成用塗工液の吐出条件は、上記着色層形成用塗工液塗布工程における各インクジェットノズルの設定に反映されることとなる。   The discharge condition of the colored layer forming coating liquid determined by the method as described above is reflected in the setting of each inkjet nozzle in the colored layer forming coating liquid application step.

６．ポストベイク工程
次に、本発明におけるポストベイク工程について説明する。本発明におけるポストベイク工程は、上述した着色層形成用塗工液を完全に固化させることが可能な工程であればよく、ポストベイクの条件等は特に限定されるものではない。このような条件としては、一般的なカラーフィルタの製造方法におけるポストベイクの条件と同様とすることができる。 6). Post Bake Process Next, the post bake process in the present invention will be described. The post-baking step in the present invention is not particularly limited as long as it is a step capable of completely solidifying the above-described colored layer forming coating solution. Such conditions can be the same as the post-baking conditions in a general color filter manufacturing method.

７．その他の工程
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上述した各工程以外にも、必要に応じて、例えば上記着色層上に配向膜を形成する配向膜形成工程等を有していてもよい。なお、このような工程については、一般的なカラーフィルタの製造方法における工程と同様とすることができる。 7). Other Steps In addition to the above-described steps, the method for producing a color filter of the present invention may include, for example, an alignment film forming step for forming an alignment film on the colored layer, if necessary. . In addition, about such a process, it can be made to be the same as the process in the manufacturing method of a general color filter.

また、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

例えば本発明は、上記着色層形成用塗工液塗布工程において着色層形成用塗工液がインクジェット装置のインクジェットノズルから吐出された際の着色層形成用塗工液の飛翔状態をＣＣＤカメラで撮像することにより計測する方法が、上記検査工程として行われるものであってもよい。インクジェットヘッドのインク吐出周波数と同期をとってストロボを発光させ、これによって照らし出されたインクをＣＣＤカメラにより撮像することによりインクの飛翔状態を撮影することができる。そこで、撮影時間をずらして取得した２枚以上の上記画像より、ずらした時間と移動の距離から吐出速度を算出することができる。上記着色層形成用塗工液の吐出速度、およびインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の体積は比例関係にあり、上記吐出速度を測定することによって、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の量を把握することが可能となる。したがって、このデータに基づいて、上述した調整工程により、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。   For example, the present invention captures the flying state of the colored layer forming coating solution when the colored layer forming coating solution is ejected from an inkjet nozzle of an inkjet apparatus in the colored layer forming coating solution coating step with a CCD camera. The method of measuring by doing may be performed as the inspection step. The stray light is emitted in synchronization with the ink ejection frequency of the inkjet head, and the ink flying state can be photographed by photographing the light illuminated by this with a CCD camera. Therefore, the discharge speed can be calculated from the shifted time and the distance of movement from the two or more images acquired by shifting the shooting time. The ejection speed of the colored layer forming coating liquid and the volume of the colored layer forming coating liquid ejected from the inkjet nozzle are in a proportional relationship, and by measuring the ejection speed, each colored layer forming area is measured. It becomes possible to grasp | ascertain the quantity of the coating liquid for colored layer formation applied. Therefore, based on this data, it is possible to adjust the discharge conditions of the colored layer forming coating solution by the adjustment step described above.

また、上記検査工程として、インクジェットノズルからの吐出重量を測定する方法が行われるものであってもよい。上記吐出重量を測定する方法としては、例えば各インクジェットノズルから一定時間に吐出される着色層形成用塗工液の総重量を計測し、この総重量を、一定時間に吐出された液滴数で除算することにより算出する方法とすることができる。なお、１つのインクジェットノズルから吐出される液滴の量は通常極めて少量であり、総重量を計測可能な重量まで吐出する際に長い時間を要することから、着色層形成用塗工液中の溶媒等の揮発の影響が懸念されるが、例えばすべてのインクジェットノズルから着色層形成用塗工液を吐出させた場合の着色層形成用塗工液の総重量から、計測したいインクジェットノズルのみから着色層形成用塗工液を吐出させなかった場合の着色層形成用塗工液の総重量を減算することにより、特定のインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の量を短時間で正確に計測することができる。また、不揮発性が高くかつ着色層形成用塗工液より比重の重い液体に着色層形成用塗工液を打ち込むことにより、長時間、溶媒等の揮発を気にせずに、１つのインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の重量を計測することもできる。各インクジェットノズルから吐出される着色層形成用塗工液の各液滴の量を把握することにより、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量を把握することが可能となる。したがって、このデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。   Moreover, the method of measuring the discharge weight from an inkjet nozzle as said test | inspection process may be performed. As a method for measuring the discharge weight, for example, the total weight of the colored layer forming coating liquid discharged from each inkjet nozzle in a certain time is measured, and this total weight is calculated by the number of droplets discharged in the certain time. It can be set as the method of calculating by dividing. In addition, since the amount of droplets discharged from one inkjet nozzle is usually very small, and it takes a long time to discharge the total weight to a measurable weight, the solvent in the colored layer forming coating solution For example, from the total weight of the colored layer forming coating solution when the colored layer forming coating solution is discharged from all inkjet nozzles, the colored layer only from the inkjet nozzle to be measured. By subtracting the total weight of the colored layer forming coating liquid when the forming coating liquid is not discharged, the amount of the colored layer forming coating liquid discharged from a specific inkjet nozzle can be accurately determined in a short time. Can be measured. In addition, by driving the colored layer forming coating liquid into a liquid that is highly non-volatile and heavier in specific gravity than the colored layer forming coating liquid, it can be used from one inkjet nozzle for a long time without worrying about volatilization of the solvent. The weight of the discharged colored layer forming coating solution can also be measured. By grasping the amount of each droplet of the colored layer forming coating liquid discharged from each inkjet nozzle, it is possible to grasp the amount of the colored layer forming coating liquid applied to each colored layer forming region. It becomes possible. Therefore, it becomes possible to adjust the discharge conditions of the colored layer forming coating liquid based on this data.

以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。   The following examples illustrate the present invention more specifically.

[実施例１]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製〕
カラーフィルタ用ガラス材として用いられている厚み０．７ｍｍ、横３７０ｍｍ、縦４７０ｍｍのＣｏｒｎｉｎｇ社製ＥＡＧＬＥ２０００を用意し、このガラス基材上にフォトリソグラフィー法にて樹脂製のブラックマトリクスを形成した。ブラックマトリクスは開口部が１００μｍ×３００μｍ、遮光部分の線幅が２０μｍとなるように形成し、横方向に１２０μｍピッチ、縦方向に３２０μｍピッチにて縦横ともそれぞれ１０００画素ずつ配置されるものとした。またこの際、遮光部分の膜厚は平均１．５μｍとした。
上記ブラックマトリクス付ガラス基材に対し、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、ブラックマトリクスの表面を撥液性に、それ以外の領域（着色層形成用領域）を親液性とした。このとき表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、ブラックマトリクス上で６５°、着色層形成用領域で１０°であった。
次に、上記親疎液性を有する検量線作成用基板に対し、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布した。着色層形成用塗工液は、カラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等からなるＲＧＢ各色の顔料分散型インクを用い、１つの開口部（着色層形成用領域）あたり１３０滴にて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。またこのときのインクジェットヘッドへの印加電圧は７５Ｖ、パルス幅は６μｓであった。またさらに、インクジェットヘッドは１ヘッドにつき１００ノズルを有するものを用い、１色につき１ヘッド、すなわちＲＧＢ３色にて３ヘッドを用いた。塗布は、各着色層形成用領域（１画素）あたり１ノズルが配置されるように位置決めして行い、ノズルから吐出された着色層形成用塗工液の各液滴が、上記着色層形成用領域内に着弾するように行った。また着色層形成用塗工液は横方向にＲＧＢの順に繰り返し配置し、縦方向には同色が並ぶように配置した。
なおこの際、各色の着色層形成用塗工液は開口部全域に塗れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。
上記着色層形成用塗工液を着弾させた検量線作成用基板を１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。プリベイク後の着色層形成用塗工液は、先端の直径が１２μｍの針で５ｍｇの圧力にて表面を触針しても傷が入らない程度に固化し、混色しない状態であった。なお、各着色層形成用領域に、それぞれ１００滴ずつ、１２０滴ずつ、１４０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布した３種類の検量線作成用基板を形成した。 [Example 1]
(Creation of calibration curve and determination of manufacturing conditions)
[Preparation of calibration curve substrate]
EAGLE 2000 made by Corning having a thickness of 0.7 mm, a width of 370 mm, and a length of 470 mm used as a glass material for a color filter was prepared, and a resin black matrix was formed on the glass substrate by a photolithography method. The black matrix was formed so that the opening was 100 μm × 300 μm and the line width of the light-shielding portion was 20 μm, and 1000 pixels were arranged in each of the horizontal and vertical directions at a pitch of 120 μm and a vertical direction of 320 μm. At this time, the film thickness of the light shielding portion was 1.5 μm on average.
By applying a plasma treatment using a fluorine compound as an introduction gas to the glass substrate with a black matrix, the surface of the black matrix is made lyophobic, and the other area (colored layer forming area) is made lyophilic. did. At this time, the contact angle with a liquid having a surface tension of 40 mN / m was 65 ° on the black matrix and 10 ° in the colored layer forming region.
Next, the colored layer forming coating solution was applied to the calibration curve preparing substrate having lyophobic properties using an inkjet head. The color layer forming coating liquid uses RGB color pigment-dispersed ink composed of a color filter pigment and a thermosetting resin or the like, and a desired color at 130 drops per one opening (colored layer forming region). What designed the density so that the color of the filter could be expressed was used. At this time, the voltage applied to the inkjet head was 75 V and the pulse width was 6 μs. Furthermore, the inkjet head has 100 nozzles per head, and one head per color, that is, three heads for RGB three colors. Application is performed by positioning so that one nozzle is arranged for each colored layer forming region (one pixel), and each droplet of the colored layer forming coating liquid discharged from the nozzle is used for forming the colored layer. Went to land in the area. The colored layer forming coating solution was repeatedly arranged in the horizontal direction in the order of RGB, and the same color was arranged in the vertical direction.
At this time, the colored layer forming coating liquid of each color spreads over the entire opening, and different colors did not mix.
The calibration curve creating substrate on which the colored layer forming coating solution was landed was placed on a hot plate at 120 ° C. and prebaked for 10 minutes. The pre-baked colored layer forming coating solution was solidified to the extent that no flaws were formed even when the surface of the tip was touched with a needle having a diameter of 12 μm at a pressure of 5 μm, and no color mixing occurred. In addition, three types of calibration curve creating substrates were formed in which each of the colored layer forming regions was coated with the coating solution for forming the colored layer by 100 drops, 120 drops, and 140 drops.

〔検量線の作成〕
上記着色層を形成した３種類の検量線作成用基板の、着色層形成用塗工液が塗布された面とは反対面側より蛍光灯を照射し、この透過光を着色層形成用塗工液が塗布された面側からＣＣＤカメラにて撮像した。撮像に対し、ＣＣＤカメラにＲＧＢ各色の色分解フィルタを設置し、Ｒ補正用画像、Ｇ補正用画像、Ｂ補正用画像の３種類、計９枚の画像を取得した。またこのときの撮像の分解能は１００μｍ以下となるように設定した。撮像した画像に認められた濃淡を画像処理し、輝度の分布に変換した。その後、各画素の位置と輝度の分布を着弾液滴数の異なる画像より解析し、各画素すなわちインクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と輝度との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって撮像し、輝度分布を算出した。この輝度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、輝度データを測定したところ、輝度の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件により下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。 (Create a calibration curve)
Irradiate a fluorescent lamp from the surface opposite to the surface on which the coating solution for forming the colored layer of the three types of calibration curve forming substrates on which the colored layer is formed, and apply this transmitted light to the coating for forming the colored layer. An image was taken with a CCD camera from the side where the liquid was applied. For imaging, a color separation filter for each color of RGB was installed in the CCD camera, and a total of nine images were acquired: three types of images for R correction, G correction, and B correction. Further, the imaging resolution at this time was set to be 100 μm or less. The shading recognized in the captured image was subjected to image processing and converted to a luminance distribution. Then, analyze the position and brightness distribution of each pixel from images with different numbers of landing droplets, determine the relationship between the number of droplets ejected from each pixel, that is, each nozzle of the inkjet head, and brightness, and create a calibration curve did.
[Production and adjustment of inspection substrate]
An inspection substrate was prepared by the same method as the calibration curve preparation substrate described above. A coating solution for forming a colored layer was applied to each colored layer forming region of the inspection substrate, and images were taken by the same method as described in the preparation of the calibration curve, and the luminance distribution was calculated. From this luminance distribution and the above calibration curve, the amount of liquid droplets from each nozzle necessary to eliminate the difference in luminance between the colored layer forming regions was calculated. Furthermore, when the above-described inspection substrate is prepared, and the appropriate amount of the calculated liquid is applied to each colored layer forming region, the coloring layer forming coating solution is applied and the luminance data is measured, the luminance distribution converges. confirmed. Then, the manufacture of a color filter was started by performing the following color filter substrate forming step, colored layer forming coating liquid coating step, pre-baking step, inspection step, and post-baking step under the above conditions. In the inspection process during the manufacture of the color filter, the adjustment process was performed without stopping production as soon as a color filter substrate requiring adjustment was found.

（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。 (Color filter substrate formation process)
A color filter substrate having a colored layer forming region was continuously formed by the same method as the calibration curve creating substrate described above.

（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。 (Coloring layer forming coating solution coating process and pre-baking process)
On each colored layer forming region of each color filter substrate, the colored layer forming coating solution was applied by landing the colored layer forming coating solution by the number of droplets calculated by the method described above. . Thereafter, it was placed on a 120 ° C. hot plate and prebaked for 10 minutes.

（検査工程）
上記プリベイク工程後、上記着色層形成用塗工液が塗布された全てのカラーフィルタ用基板について、上述した検量線作成時と同様の手法により撮像し、輝度データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の輝度データが、生産開始時の輝度データと差が生じていないかを確認した。なお、２５０枚目、５７０枚目、７２０枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の輝度が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。 (Inspection process)
After the pre-baking step, all the color filter substrates coated with the colored layer forming coating solution are imaged by the same method as in the calibration curve creation described above, and luminance data is calculated and manufactured. It was confirmed that the brightness data of the color filter substrate did not differ from the brightness data at the start of production. In addition, since it was confirmed that the brightness of the color filter substrates produced on the 250th, 570th, and 720th sheets had a difference to the range that needs to be adjusted, production should be stopped immediately. The adjustment process mentioned later was performed.

（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。 (Post-baking process)
Each of the color filter substrates after the inspection process was post-baked.
(Adjustment process)
The amount of liquid droplets from each nozzle necessary to eliminate the difference in brightness between the colored layer forming regions using the above-described calibration curve only when a color filter substrate that is determined to require adjustment is recognized. Was calculated. Then, this condition was reflected in the setting of the inkjet apparatus in the coating liquid application process for forming a colored layer.

（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。 (result)
When 1000 color filters were manufactured by the above method, a color filter with little color unevenness and brightness unevenness could be manufactured.

[実施例２]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より輝度（Ｙ値）を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と輝度の関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって測定し、輝度分布を算出した。この輝度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、輝度データを測定したところ、輝度の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件により下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。 [Example 2]
(Creation of calibration curve and determination of manufacturing conditions)
[Preparation of calibration curve creation substrate and creation of calibration curve]
By the same method as in Example 1 described above, three types of calibration curve creation substrates were created, and the spectrophotometry of each colored layer formation region was measured with a microscope spectrophotometer LCF-series manufactured by Otsuka Electronics, The luminance (Y value) was calculated from the measured value. Thereafter, the relationship between the number of ejected droplets ejected from each nozzle of the inkjet head and the luminance was determined, and a calibration curve was created.
[Production and adjustment of inspection substrate]
An inspection substrate was prepared by the same method as the calibration curve preparation substrate described above. A coating solution for forming a colored layer was applied to each colored layer forming region of this inspection substrate in 130 drops, and measurement was performed by the same method as described in the preparation of the calibration curve, and the luminance distribution was calculated. From this luminance distribution and the above calibration curve, the amount of liquid droplets from each nozzle necessary to eliminate the difference in luminance between the colored layer forming regions was calculated. Furthermore, when the above-described inspection substrate is prepared, and the appropriate amount of the calculated liquid is applied to each colored layer forming region, the coloring layer forming coating solution is applied and the luminance data is measured, the luminance distribution converges. confirmed. Then, the manufacture of a color filter was started by performing the following color filter substrate forming step, colored layer forming coating liquid coating step, pre-baking step, inspection step, and post-baking step under the above conditions. In the inspection process during the manufacture of the color filter, the adjustment process was performed without stopping production as soon as a color filter substrate requiring adjustment was found.

（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。 (Color filter substrate formation process)
A color filter substrate having a colored layer forming region was continuously formed by the same method as the calibration curve creating substrate described above.

（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。 (Coloring layer forming coating solution coating process and pre-baking process)
On each colored layer forming region of each color filter substrate, the colored layer forming coating solution was applied by landing the colored layer forming coating solution by the number of droplets calculated by the method described above. . Thereafter, it was placed on a 120 ° C. hot plate and prebaked for 10 minutes.

（検査工程）
続いて、上記プリベイク工程後、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により測定し、輝度データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の輝度データが、生産開始時の輝度データと差が生じていないかを確認した。なお、４００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の輝度が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。 (Inspection process)
Subsequently, after the pre-baking step, the color filter substrate coated with the colored layer forming coating solution is measured at a rate of 1 out of 200 by the same method as that used for preparing the calibration curve described above, and brightness data is obtained. The luminance data of the manufactured color filter substrate was confirmed to be different from the luminance data at the start of production. In addition, since it was confirmed that the brightness of the color filter substrate produced on the 400th sheet had a difference up to a range that needs to be adjusted, the adjustment process described later was performed immediately without stopping production. It was.
(Post-baking process)
Each of the color filter substrates after the inspection process was post-baked.

（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。 (Adjustment process)
The amount of liquid droplets from each nozzle necessary to eliminate the difference in brightness between the colored layer forming regions using the above-described calibration curve only when a color filter substrate that is determined to require adjustment is recognized. Was calculated. Then, this condition was reflected in the setting of the inkjet apparatus in the coating liquid application process for forming a colored layer.

（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した３枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。 (result)
When 1000 color filters were manufactured by the above method, a color filter with little color unevenness and brightness unevenness could be manufactured except for 3 sheets produced during the above-described inspection process and adjustment process.

[実施例３]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より色度Ｒｘ、Ｇｙ、Ｂｙを算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と色度の関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって測定し、色度分布を算出した。この色度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、色度データを測定したところ、色度の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件を用い、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。 [Example 3]
(Creation of calibration curve and determination of manufacturing conditions)
[Preparation of calibration curve creation substrate and creation of calibration curve]
By the same method as in Example 1 described above, three types of calibration curve creation substrates were created, and the spectrophotometry of each colored layer formation region was measured with a microscope spectrophotometer LCF-series manufactured by Otsuka Electronics, Chromaticity Rx, Gy, By was calculated from the measured values. Thereafter, the relationship between the number of droplets ejected from each nozzle of the inkjet head and the chromaticity was determined, and a calibration curve was created.
[Production and adjustment of inspection substrate]
An inspection substrate was prepared by the same method as the calibration curve preparation substrate described above. A coating solution for forming a colored layer was applied to each colored layer forming region of the substrate for inspection by 130 drops, and the measurement was performed by the same method described in the preparation of the calibration curve, and the chromaticity distribution was calculated. . From this chromaticity distribution and the calibration curve, the amount of droplets from each nozzle required to eliminate the difference in chromaticity of each colored layer forming region was calculated. Further, when the above-described inspection substrate is prepared, and the appropriate amount of the calculated liquid is applied to each colored layer forming region, the colored layer forming coating solution is applied, and the chromaticity data is measured, the chromaticity distribution converges. It was confirmed. Therefore, using the above conditions, the production of the color filter was started by performing the following color filter substrate forming step, colored layer forming coating solution coating step, pre-baking step, inspection step, and post-baking step. In the inspection process during the manufacture of the color filter, the adjustment process was performed without stopping production as soon as a color filter substrate requiring adjustment was found.

（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。 (Color filter substrate formation process)
A color filter substrate having a colored layer forming region was continuously formed by the same method as the calibration curve creating substrate described above.

（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。 (Coloring layer forming coating solution coating process and pre-baking process)
On each colored layer forming region of each color filter substrate, the colored layer forming coating solution was applied by landing the colored layer forming coating solution by the number of droplets calculated by the method described above. . Thereafter, it was placed on a 120 ° C. hot plate and prebaked for 10 minutes.

（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により測定し、色度データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の色度データが、生産開始時の色度データと差が生じていないかを確認した。なお、２００枚目および８００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の色度Ｂｙが、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。 (Inspection process)
Subsequently, the color filter substrate coated with the colored layer forming coating solution is measured at a rate of 1 out of 200 by the same method as in the calibration curve creation described above, and chromaticity data is calculated. Then, it was confirmed whether the chromaticity data of the manufactured color filter substrate was different from the chromaticity data at the start of production. In addition, since it was confirmed that the chromaticity By of the color filter substrates produced on the 200th and 800th sheets had a difference up to the range where adjustment was necessary, without immediately stopping production, The adjustment process mentioned later was performed.

（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。 (Post-baking process)
Each of the color filter substrates after the inspection process was post-baked.
(Adjustment process)
Only when a color filter substrate that is determined to require the above adjustment is recognized, using the above-described calibration curve, droplets from each nozzle that are necessary to eliminate the difference in chromaticity of each colored layer forming region The amount was calculated. Then, this condition was reflected in the setting of the inkjet apparatus in the coating liquid application process for forming a colored layer.

（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した６枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。 (result)
When 1000 color filters were manufactured by the above method, a color filter having little color unevenness and brightness unevenness could be manufactured except for 6 sheets produced during the inspection process and the adjustment process.

[実施例４]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、触針式膜厚計ＶＥＥＣＯ社製デックタックOSP-1110にて測定した。測定は着色層形成用領域中央部を横断するように触針させ、各着色層形成用領域の最大膜厚を記録した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と上記最大膜厚値との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって最大膜厚分布を算出した。この最大膜厚分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の最大膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、最大膜厚データを測定したところ、最大膜厚の分布が収束することが確認された。そこで、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。 [Example 4]
(Creation of calibration curve and determination of manufacturing conditions)
[Preparation of calibration curve creation substrate and creation of calibration curve]
Three types of calibration curve creating substrates were prepared in the same manner as in Example 1 described above, and the thickness of the colored layer forming coating solution in each colored layer forming region was measured using a stylus type film thickness meter VEECO. Measured with a manufactured deck tack OSP-1110. The measurement was made to touch the central portion of the colored layer forming region and the maximum film thickness of each colored layer forming region was recorded. Thereafter, the relationship between the number of droplets ejected from each nozzle of the inkjet head and the maximum film thickness value was determined, and a calibration curve was created.
[Production and adjustment of inspection substrate]
An inspection substrate was prepared by the same method as the calibration curve preparation substrate described above. A coating solution for forming a colored layer was applied to each colored layer forming region of the substrate for inspection by 130 drops, and the maximum film thickness distribution was calculated by the same method as described in the preparation of the calibration curve. From the maximum film thickness distribution and the calibration curve, the amount of droplets from each nozzle required to eliminate the difference in the maximum film thickness of each colored layer forming region was calculated. Furthermore, when the above-mentioned inspection substrate was prepared, and the appropriate amount of the calculated liquid was applied to each colored layer forming region, the coating liquid for forming the colored layer was applied, and the maximum film thickness data was measured. It was confirmed that it converged. Therefore, the production of the color filter was started by performing the following color filter substrate forming process, colored layer forming coating liquid coating process, pre-baking process, inspection process, and post-baking process. In the inspection process during the manufacture of the color filter, the adjustment process was performed without stopping production as soon as a color filter substrate requiring adjustment was found.

（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。 (Color filter substrate formation process)
A color filter substrate having a colored layer forming region was continuously formed by the same method as the calibration curve creating substrate described above.

（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。 (Coloring layer forming coating solution coating process and pre-baking process)
On each colored layer forming region of each color filter substrate, the colored layer forming coating solution was applied by landing the colored layer forming coating solution by the number of droplets calculated by the method described above. . Thereafter, it was placed on a 120 ° C. hot plate and prebaked for 10 minutes.

（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により最大膜厚データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の最大膜厚データが、生産開始時の最大膜厚データと差が生じていないかを確認した。なお、４００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の最大膜厚が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。 (Inspection process)
Subsequently, with respect to the color filter substrate coated with the colored layer forming coating solution, the maximum film thickness data is calculated by the same method as in the calibration curve creation described above at a rate of 1 per 200 sheets, and manufactured. It was confirmed that the maximum film thickness data of the color filter substrate used did not differ from the maximum film thickness data at the start of production. In addition, since it was confirmed that the maximum film thickness of the color filter substrate produced on the 400th sheet is different to the range that needs to be adjusted, the adjustment process described later without stopping production immediately. Went.
(Post-baking process)
Each of the color filter substrates after the inspection process was post-baked.

（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の最大膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した４枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。 (Adjustment process)
Only when a color filter substrate that is determined to require the above adjustment is recognized, the liquid from each nozzle required to eliminate the difference in the maximum film thickness of each colored layer forming region using the above-described calibration curve. The drop volume was calculated. Then, this condition was reflected in the setting of the inkjet apparatus in the coating liquid application process for forming a colored layer.
(result)
When 1000 color filters were manufactured by the above method, a color filter having little color unevenness and brightness unevenness could be manufactured except for 4 sheets produced during the above-described inspection process and adjustment process.

[実施例５]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、Ｍｉｃｒｏｍａｐ社三次元非接触表面形状計測装置ｍｉｃｒｏｍａｐ５５７を用い測定した。測定は各着色層形成用領域（１画素）毎、すなわち１００μｍ×３００μｍの範囲における表面形状を計測し、そのエリアにおける平均膜厚を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と平均膜厚値との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって撮像し、平均膜厚分布を算出した。この平均膜厚分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の平均膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、平均膜厚データを測定したところ、平均膜厚の分布が収束することが確認された。そこで、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。 [Example 5]
(Creation of calibration curve and determination of manufacturing conditions)
[Preparation of calibration curve creation substrate and creation of calibration curve]
Using the same method as in Example 1 described above, three types of calibration curve creating substrates are prepared, and the thickness of the colored layer forming coating solution in each colored layer forming region is determined by the Micromap 3D non-contact surface shape. It measured using measuring device micromap557. The measurement was performed by measuring the surface shape in each colored layer forming region (one pixel), that is, in the range of 100 μm × 300 μm, and calculating the average film thickness in that area. Thereafter, the relationship between the number of droplets ejected from each nozzle of the inkjet head and the average film thickness value was determined, and a calibration curve was created.
[Production and adjustment of inspection substrate]
An inspection substrate was prepared by the same method as the calibration curve preparation substrate described above. Apply 130 drops of the colored layer forming coating solution to each colored layer forming region of the inspection substrate, and image the image using the same method as described in the preparation of the calibration curve, and calculate the average film thickness distribution. did. From this average film thickness distribution and the above calibration curve, the amount of droplets from each nozzle required to eliminate the difference in average film thickness in each colored layer forming region was calculated. Furthermore, when the above-described substrate for inspection was prepared, and an appropriate amount of the calculated liquid was applied to each colored layer forming region, the coating liquid for forming the colored layer was applied, and the average film thickness data was measured. It was confirmed that it converged. Therefore, the production of the color filter was started by performing the following color filter substrate forming process, colored layer forming coating liquid coating process, pre-baking process, inspection process, and post-baking process. In the inspection process during the manufacture of the color filter, the adjustment process was performed without stopping production as soon as a color filter substrate requiring adjustment was found.

（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。 (Color filter substrate formation process)
A color filter substrate having a colored layer forming region was continuously formed by the same method as the calibration curve creating substrate described above.

（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。 (Coloring layer forming coating solution coating process and pre-baking process)
On each colored layer forming region of each color filter substrate, the colored layer forming coating solution was applied by landing the colored layer forming coating solution by the number of droplets calculated by the method described above. . Thereafter, it was placed on a 120 ° C. hot plate and prebaked for 10 minutes.

（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により平均膜厚データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の平均膜厚データが、生産開始時の平均膜厚データと差が生じていないかを確認した。なお、６００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の平均膜厚が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。 (Inspection process)
Subsequently, with respect to the color filter substrate coated with the colored layer forming coating solution, the average film thickness data is calculated by the same method as in the calibration curve creation described above at a rate of one per 200 sheets, and manufactured. It was confirmed whether the average film thickness data of the color filter substrate used was different from the average film thickness data at the start of production. In addition, since it was confirmed that the average film thickness of the 600th color filter substrate was changed to the range that needed to be adjusted, the adjustment process described later without stopping production immediately. Went.
(Post-baking process)
Each of the color filter substrates after the inspection process was post-baked.

（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の平均膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した８枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。 (Adjustment process)
Only when a color filter substrate determined to require the above adjustment is recognized, using the calibration curve described above, the liquid from each nozzle required to eliminate the difference in the average film thickness of each colored layer forming region The drop volume was calculated. Then, this condition was reflected in the setting of the inkjet apparatus in the coating liquid application process for forming a colored layer.
(result)
When 1000 color filters were manufactured by the above method, a color filter with little color unevenness and brightness unevenness could be manufactured except for 8 sheets produced during the inspection process and the adjustment process.

[実施例６]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔検量線作成用基板の作製および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、Ｍｉｃｒｏｍａｐ社三次元非接触表面形状計測装置ｍｉｃｒｏｍａｐ５５７を用い測定した。測定は各着色層形成用領域（１画素）毎、すなわち１００μｍ×３００μｍの範囲における表面形状を計測し、そのエリアにおける着色層形成用塗工液の体積を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と体積との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作製用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって体積分布を算出した。この体積分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の体積の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出された液適量ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、体積データを測定したところ、体積の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件を用い、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。 [Example 6]
(Creation of calibration curve and determination of manufacturing conditions)
[Preparation of calibration curve creation substrate and creation of calibration curve]
Using the same method as in Example 1 described above, three types of calibration curve creating substrates are prepared, and the thickness of the colored layer forming coating solution in each colored layer forming region is determined by the Micromap 3D non-contact surface shape. It measured using measuring device micromap557. The measurement was performed by measuring the surface shape in each colored layer forming region (one pixel), that is, in a range of 100 μm × 300 μm, and calculating the volume of the colored layer forming coating solution in that area. Thereafter, a relationship between the number of ejected droplets ejected from each nozzle of the inkjet head and the volume was determined, and a calibration curve was created.
[Production and adjustment of inspection substrate]
An inspection substrate was prepared by the same method as the calibration curve preparation substrate described above. A coating solution for forming a colored layer was applied to each colored layer forming region of the substrate for inspection by 130 drops, and the volume distribution was calculated by the same method as described in the preparation of the calibration curve. From this volume distribution and the above calibration curve, the amount of droplets from each nozzle required to eliminate the difference in volume of each colored layer forming region was calculated. Furthermore, when the above-mentioned inspection substrate is prepared, and the appropriate amount of the calculated liquid is applied to each colored layer forming region, the color layer forming coating solution is applied and the volume data is measured, the volume distribution converges. confirmed. Therefore, using the above conditions, the production of the color filter was started by performing the following color filter substrate forming step, colored layer forming coating solution coating step, pre-baking step, inspection step, and post-baking step. In the inspection process during the manufacture of the color filter, the adjustment process was performed without stopping production as soon as a color filter substrate requiring adjustment was found.

（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。 (Color filter substrate formation process)
A color filter substrate having a colored layer forming region was continuously formed by the same method as the calibration curve creating substrate described above.

（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。 (Coloring layer forming coating solution coating process and pre-baking process)
On each colored layer forming region of each color filter substrate, the colored layer forming coating solution was applied by landing the colored layer forming coating solution by the number of droplets calculated by the method described above. . Thereafter, it was placed on a 120 ° C. hot plate and prebaked for 10 minutes.

（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により体積データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の体積データが、生産開始時の体積データと差が生じていないかを確認した。なお、６００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の体積が、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。
（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。 (Inspection process)
Subsequently, with respect to the color filter substrate coated with the colored layer forming coating liquid, volume data is calculated at the rate of 1 out of 200 by the same method as in the calibration curve creation described above, and manufactured. It was confirmed that the volume data of the color filter substrate used did not differ from the volume data at the start of production. In addition, since it was confirmed that the volume of the substrate for color filter produced on the 600th sheet had a difference up to the range where adjustment was necessary, the adjustment process described later was performed immediately without stopping production. It was.
(Post-baking process)
Each of the color filter substrates after the inspection process was post-baked.

（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の平均膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。
（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した８枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。 (Adjustment process)
Only when a color filter substrate determined to require the above adjustment is recognized, using the calibration curve described above, the liquid from each nozzle required to eliminate the difference in the average film thickness of each colored layer forming region The drop volume was calculated. Then, this condition was reflected in the setting of the inkjet apparatus in the coating liquid application process for forming a colored layer.
(result)
When 1000 color filters were manufactured by the above method, a color filter with little color unevenness and brightness unevenness could be manufactured except for 8 sheets produced during the inspection process and the adjustment process.

[実施例７]
（検量線の作成および製造条件の決定）
〔パルス幅と吐出速度との関係の把握〕
以下の方法により、パルス幅４μｓ、６μｓ、８μｓにて電圧を印加したときの各ノズルからの吐出速度を測定し、インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅と吐出速度との関連を示す検量線を作成した。吐出速度の測定は、以下の方法により測定した。インクジェットヘッドの吐出周波数２ｋＨｚと同じ周波数にてストロボを発光させ、そのストロボ発光を照射したインク液滴の画像をＣＣＤにて撮像し、ストロボ発光をずらすことにより、インクジェットヘッドから吐出されてから１０μｓ後の着色層形成用塗工液の液滴の画像も取得した。これら２種類の画像の吐出液滴の位置と時間より、各ノズルからの吐出液滴の速度を算出した。
〔検量線作成用基板の作製〕
各着色層形成用領域に、着色層形成用塗工液を塗布する際、インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅をそれぞれ４μｓ、６μｓ、および８μｓとし、各着色層形成用領域にそれぞれ１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布した以外は、上述した実施例１と同様に、３種類の検量線作成用基板を作製した。
〔検量線の作成〕
上記３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より色度Ｒｘ、Ｇｙ、Ｂｙを算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルに印加する電圧のパルス幅と色度の関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の作製および調整〕
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、検査用基板を作製した。この検査用基板の各着色層形成用領域に、インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅を６μｓに設定し、１３０滴ずつ着色層形成用塗工液を塗布し、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって色度分布を算出した。この色度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な、各インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅を算出した。さらに、上記検査用基板を作製し、算出されたインクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅にて、１３０滴ずつ、各着色層形成用領域に着色層形成用塗工液を塗布し、色度データを測定したところ、色度の分布が収束することが確認された。そこで、上記条件を用い、下記のカラーフィルタ用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、プリベイク工程、検査工程、ポストベイク工程を行うことにより、カラーフィルタの製造を開始した。なお、カラーフィルタ製造中の検査工程において、調整が必要なカラーフィルタ用基板が認められ次第、生産をとめることなく、調整工程を行った。 [Example 7]
(Creation of calibration curve and determination of manufacturing conditions)
[Understanding the relationship between pulse width and discharge speed]
The following method is used to measure the ejection speed from each nozzle when a voltage is applied at a pulse width of 4 μs, 6 μs, and 8 μs, and a calibration curve indicating the relationship between the pulse width of the voltage applied to the inkjet head and the ejection speed is shown. Created. The discharge speed was measured by the following method. A strobe is emitted at the same frequency as the ejection frequency of 2 kHz of the ink jet head, an image of an ink droplet irradiated with the strobe light is picked up by a CCD, and the strobe light is shifted, thereby 10 μs after being ejected from the ink jet head Images of droplets of the colored layer forming coating solution were also obtained. From the position and time of the ejected droplets of these two types of images, the velocity of the ejected droplets from each nozzle was calculated.
[Preparation of calibration curve substrate]
When applying the colored layer forming coating solution to each colored layer forming region, the pulse width of the voltage applied to the inkjet head is set to 4 μs, 6 μs, and 8 μs, respectively, and 130 drops are added to each colored layer forming region. Three types of calibration curve preparing substrates were prepared in the same manner as in Example 1 except that the colored layer forming coating solution was applied.
(Create a calibration curve)
The above three types of calibration curve creation substrates are prepared, and the spectrophotometer of each colored layer forming region is measured with a microscope spectrophotometer LCF-series manufactured by Otsuka Electronics, and the chromaticity Rx, Gy, By is determined from the measured values. Was calculated. Thereafter, the relationship between the pulse width of the voltage applied to each nozzle of the inkjet head and the chromaticity was determined, and a calibration curve was created.
[Production and adjustment of inspection substrate]
An inspection substrate was produced by the same method as the calibration curve creation substrate described above. In each colored layer forming region of this inspection substrate, the pulse width of the voltage applied to the ink jet head is set to 6 μs, and the colored layer forming coating solution is applied 130 drops at a time. The chromaticity distribution was calculated by the same method as described above. From this chromaticity distribution and the above calibration curve, the pulse width of the voltage applied to each inkjet head necessary to eliminate the chromaticity difference between the colored layer forming regions was calculated. Further, the above-described inspection substrate is prepared, and the colored layer forming coating solution is applied to each colored layer forming region in 130 drops at the calculated pulse width of the voltage applied to the inkjet head, and the chromaticity data. Was measured, and it was confirmed that the distribution of chromaticity converged. Therefore, using the above conditions, the production of the color filter was started by performing the following color filter substrate forming step, colored layer forming coating solution coating step, pre-baking step, inspection step, and post-baking step. In the inspection process during the manufacture of the color filter, the adjustment process was performed without stopping production as soon as a color filter substrate requiring adjustment was found.

（カラーフィルタ用基板形成工程）
上述した検量線作成用基板と同様の方法により、着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を連続して形成した。 (Color filter substrate formation process)
A color filter substrate having a colored layer forming region was continuously formed by the same method as the calibration curve creating substrate described above.

（着色層形成用塗工液塗布工程およびプリベイク工程）
上記各カラーフィルタ用基板の各着色層形成用領域上に、上述した方法により算出された液滴数ずつ、着色層形成用塗工液を着弾させて、着色層形成用塗工液を塗布した。その後、１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。 (Coloring layer forming coating solution coating process and pre-baking process)
On each colored layer forming region of each color filter substrate, the colored layer forming coating solution was applied by landing the colored layer forming coating solution by the number of droplets calculated by the method described above. . Thereafter, it was placed on a 120 ° C. hot plate and prebaked for 10 minutes.

（検査工程）
続いて、上記着色層形成用塗工液が塗布されたカラーフィルタ用基板について、２００枚に１枚の割合で上述した検量線作成時と同様の手法により測定し、色度データの算出を行い、製造されているカラーフィルタ用基板の色度データが、生産開始時の色度データと差が生じていないかを確認した。なお、２００枚目および８００枚目に作製されたカラーフィルタ用基板の色度Ｂｙが、調整が必要な範囲まで差が生じていることが確認されたので、それぞれ直ちに、生産を止めることなく、後述する調整工程を行った。 (Inspection process)
Subsequently, the color filter substrate coated with the colored layer forming coating solution is measured at a rate of 1 out of 200 by the same method as in the calibration curve creation described above, and chromaticity data is calculated. Then, it was confirmed whether the chromaticity data of the manufactured color filter substrate was different from the chromaticity data at the start of production. In addition, since it was confirmed that the chromaticity By of the color filter substrates produced on the 200th and 800th sheets had a difference up to the range where adjustment was necessary, without immediately stopping production, The adjustment process mentioned later was performed.

（ポストベイク工程）
上記検査工程が終了したカラーフィルタ用基板について、それぞれポストベイクを行った。
（調整工程）
上記調整が必要と判断されたカラーフィルタ基板が認められた場合にのみ、上述した検量線を用いて、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な各ノズルに印加する電圧のパルス幅を算出した。その後、この条件を、着色層形成用塗工液塗布工程におけるインクジェット装置の設定に反映させた。 (Post-baking process)
Each of the color filter substrates after the inspection process was post-baked.
(Adjustment process)
Only when a color filter substrate determined to require the above adjustment is recognized, using the calibration curve described above, a voltage applied to each nozzle necessary to eliminate the difference in chromaticity of each colored layer forming region The pulse width was calculated. Then, this condition was reflected in the setting of the inkjet apparatus in the coating liquid application process for forming a colored layer.

（結果）
１０００枚のカラーフィルタを上記方法により製造したところ、上記検査工程および調整工程を行う最中に生産した６枚を除き、色ムラおよび輝度ムラの少ないカラーフィルタを製造することができた。 (result)
When 1000 color filters were manufactured by the above method, a color filter having little color unevenness and brightness unevenness could be manufactured except for 6 sheets produced during the inspection process and the adjustment process.

本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程を説明するフロー図である。It is a flowchart explaining each process of the manufacturing method of the color filter of this invention. 本発明のカラーフィルタの製造方法の各工程を説明するフロー図である。It is a flowchart explaining each process of the manufacturing method of the color filter of this invention. 本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を説明する工程図である。It is process drawing explaining an example of the manufacturing method of the color filter of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１…カラーフィルタ用基板
２…着色層形成用塗工液
ａ…着色層形成用領域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color filter substrate 2 ... Colored layer forming coating liquid a ... Colored layer forming region

Claims (7)

着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ用基板を形成するカラーフィルタ用基板形成工程と、
前記カラーフィルタ用基板の前記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、
前記着色層形成用塗工液をプリベイクするプリベイク工程と、
前記着色層形成用塗工液をポストベイクするポストベイク工程と
を有するカラーフィルタの製造方法であって、
前記着色層形成用塗工液塗布工程後、前記着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程、および前記検査工程による検査データを利用して、前記着色層形成用塗工液における前記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程を行い、前記着色層形成用塗工液塗布工程の着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A color filter substrate forming step of forming a color filter substrate having a colored layer forming region for forming a colored layer;
On the colored layer forming region of the color filter substrate, a colored layer forming coating solution applying step for applying a colored layer forming coating solution by an inkjet method;
A pre-baking step of pre-baking the colored layer forming coating solution;
A post-baking step of post-baking the colored layer-forming coating solution,
After the colored layer forming coating liquid application step, using the inspection process for inspecting unevenness of the colored layer forming coating liquid applied to the colored layer forming region, and the inspection data by the inspection step, An adjustment step of adjusting the discharge condition of the colored layer forming coating solution in the colored layer forming coating solution is performed, and the discharging condition of the colored layer forming coating solution in the colored layer forming coating solution applying step is set. A method for producing a color filter, characterized by adjusting. 前記検査工程および前記調整工程が、前記プリベイク工程と前記ポストベイク工程との間に行われることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。   The method for manufacturing a color filter according to claim 1, wherein the inspection step and the adjustment step are performed between the pre-baking step and the post-baking step. 前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の輝度を検査する工程を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。   3. The color filter according to claim 1, wherein the inspection step includes a step of inspecting a luminance of the colored layer forming coating liquid applied to each colored layer forming region. Production method. 前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の色度を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。   4. The method according to claim 1, wherein the inspection step includes a step of inspecting the chromaticity of the colored layer forming coating solution applied to each colored layer forming region. The manufacturing method of the color filter of Claim. 前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の膜厚を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。   5. The method according to claim 1, wherein the inspection step includes a step of inspecting a film thickness of the colored layer forming coating solution applied to each colored layer forming region. The manufacturing method of the color filter of Claim. 前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の体積を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。   The said inspection process has the process of test | inspecting the volume of the said coating liquid for colored layer formation applied to each said colored layer formation area | region, The claim in any one of Claim 1-5 characterized by the above-mentioned. The manufacturing method of the color filter as described in a term. 前記カラーフィルタ用基板形成工程が、前記着色層形成用領域が親液性であり、かつ前記着色層形成用領域以外の領域が撥液性であるカラーフィルタ用基板を形成する工程であることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。   The color filter substrate forming step is a step of forming a color filter substrate in which the colored layer forming region is lyophilic and a region other than the colored layer forming region is liquid repellent. The method for producing a color filter according to any one of claims 1 to 6, wherein the color filter is produced.

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