KR101309118B1 - 고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치 - Google Patents

고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101309118B1
KR101309118B1 KR1020110030507A KR20110030507A KR101309118B1 KR 101309118 B1 KR101309118 B1 KR 101309118B1 KR 1020110030507 A KR1020110030507 A KR 1020110030507A KR 20110030507 A KR20110030507 A KR 20110030507A KR 101309118 B1 KR101309118 B1 KR 101309118B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ammonia
high purity
purity ammonia
liquid
heat exchange
Prior art date
Application number
KR1020110030507A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120112916A (ko
Inventor
김무한
박채모
Original Assignee
(주)원익머트리얼즈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)원익머트리얼즈 filed Critical (주)원익머트리얼즈
Priority to KR1020110030507A priority Critical patent/KR101309118B1/ko
Publication of KR20120112916A publication Critical patent/KR20120112916A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101309118B1 publication Critical patent/KR101309118B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01C—AMMONIA; CYANOGEN; COMPOUNDS THEREOF
    • C01C1/00—Ammonia; Compounds thereof
    • C01C1/02—Preparation, purification or separation of ammonia
    • C01C1/024—Purification
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01C—AMMONIA; CYANOGEN; COMPOUNDS THEREOF
    • C01C1/00—Ammonia; Compounds thereof
    • C01C1/02—Preparation, purification or separation of ammonia
    • C01C1/12—Separation of ammonia from gases and vapours
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D8/00—Cold traps; Cold baffles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

본 발명은 고순도 암모니아를 제조(정제)하는 고순도 암모니아 제조장치에서 발생하는 기상 암모니아를 고순도 상태로 회수하는 고순도 암모니아 회수기에 관한 것이다.
더욱 상세하게는 고순도 암모니아 제조장치에서 고순도 암모니아를 제조(정제)시 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하기 위하여 배기하는 배기가스 내에 포함되어 있는 암모니아를 압력차를 이용하여 이동시키고, 초저온으로 냉각시켜 액상 암모니아를 획득하되, 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하여 원료용 고순도 암모니아를 획득하고 이를 다시 원료탱크에 공급할 수 있도록 상기 제조장치의 공정시 배기되는 배기가스 내에 포함된 암모니아를 회수하도록 기상 암모니아를 액상 암모니아로 전환하는 콘덴서부와, 상기 콘덴서부와 연통하도록 하부에 일체 형태로 설치되어 액상으로 전환된 액상 암모니아를 저장하는 버퍼탱크부로 이루어진 고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치에 관한 것이다.

Description

고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치{The high purity ammonia recovery apparatus and it uses high purity ammonia recovery system}
본 발명은 고순도 암모니아를 제조(정제)하는 고순도 암모니아 제조장치에서 발생하는 기상 암모니아를 고순도 상태로 회수하는 고순도 암모니아 회수기에 관한 것이다.
더욱 상세하게는 고순도 암모니아 제조장치에서 고순도 암모니아를 제조(정제)시 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하기 위하여 배기하는 배기가스 내에 포함되어 있는 암모니아를 압력차를 이용하여 이동시키고, 초저온으로 냉각시켜 액상 암모니아를 획득하되, 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하여 원료용 고순도 암모니아를 획득하고 이를 다시 원료탱크에 공급할 수 있도록 상기 제조장치의 공정시 배기되는 배기가스 내에 포함된 암모니아를 회수하도록 초저온 냉각시켜 기상 암모니아를 액상 암모니아로 전환하는 콘덴서부와, 상기 콘덴서부와 연통하도록 하부에 일체 형태로 설치되어 액상으로 전환된 액상 암모니아를 저장하는 버퍼탱크부로 이루어진 고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치에 관한 것이다.
반도체용 및 LED용 특수가스로 사용되는 암모니아는 99.99999%(7N이하)인 고순도 암모니아가 사용되며, 반도체 및 LED 산업의 발전으로 인하여 그 수요량이 기하급수적으로 늘고 있는 실정이다.
반도체 및 LED 산업의 발달에 따라서 고순도 암모니아(NH3)는 국내 및 국외에서 많은 개발과 생산 증대를 위하여 계속 개발하고 있는 실정이다.
이러한 상기 고순도 암모니아(NH3)는 냄새를 지닌 무색기체로서, 비점은 -33℃이고, 분자량은 17g/mol이다.
99.99999%(7N이하)인 고순도 암모니아는 고순도 암모니아 제조장치에서 고순도 암모니아 제조공정을 걸쳐 제조되는데, 종래의 고순도 암모니아 제조공정에서는 잔가스(기상 암모니아)를 회수하는 공정이 아닌 세정장치를 이용하여 잔가스(기상 암모니아)를 처리하는 공정으로 이루어진다.
그러나 전술된 바와 같이 반도체 및 LED 산업의 발달에 의하여 고순도 암모니아의 사용은 점점 늘어가는 실정에 맞춰볼 때, 잔가스(기상 암모니아)를 회수하지 않고 세정장치를 통하여 세정하여 버리는 경우에는 제조단가를 절감할 수 없으며, 환경관리에 커다란 부담을 주게 된다.
종래기술 중 (KR) 특허공개번호 10-2010-0091645호인 '잔여가스회수 및 충전방법과 잔여가스회수장치 및 가스충전장치'에서 가스용기에 남아있는 잔여가스회수장치 및 가스충전장치가 제공되어 있다. 그러나, 상기 제공되어 있는 기술은 실린더를 회전시켜 잔여가스를 회수하도록 함으로써 보통 약 47L이하인 소형 실린더에서만 가능하다.
즉, 실린더가 대형의 탱크인 경우에는 탱크를 회전시키기가 힘들며, 회전시 안전사고 등이 발생할 수 있는 문제점이 있다.
또한, 상기에서 설명한 바와 같이 반도체 및 LED 산업의 발달에 의하여 고순도 암모니아의 사용량이 증가함으로써 고순도 암모니아를 제조하기 위한 제조장치에 탱크들 또한 점점 커지고 있는 실정으로 상기 제시된 종래기술인 (KR) 특허공개번호 10-2010-0091645호인 '잔여가스회수 및 충전방법과 잔여가스회수장치 및 가스충전장치'는 적합하지 않다.
(KR) 특허등록번호 10-0584686호 (2006.05.23. 등록일) (KR) 특허공개번호 10-2010-0091645호 (2010.08.19. 공개일)
본 발명은 이러한 문제점을 해소하기 위하여 발명된 것으로,
본 발명은 고순도 암모니아를 제조하는 고순도 암모니아 제조장치에서 고순도 암모니아 제조 과정(공정)시 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하기 위하여 배기하는 배기가스 내에 포함되어 있는 다량의 암모니아를 회수하되, 회수된 암모니아가 다시 고순도 암모니아 제조장치에서 사용할 수 있도록 불순물을 포함되지 않도록 회수하는 고순도 암모니아 회수기를 제공하고자 한다.
또한, 상기 고순도 암모니아 회수기를 이용하여 고순도 암모니아 제조장치에서 발생된 기상 암모니아를 회수하되, 기상 암모니아를 별도의 동력원을 사용하지 않고 이동시키도록 이루어진 고순도 암모니아 회수기를 이용한 고순도 암모니아 회수장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 고순도 암모니아 회수기는, 고순도 암모니아를 제조하는 제조장치(A)에 설치되어 상기 제조장치(A)의 공정시 배기되는 배기가스 내에 포함되어 있는 암모니아를 회수하도록 초저온 냉각하여 기상 암모니아를 액상 암모니아로 전환하는 콘덴서부와; 상기 콘덴서부와 연통하도록 하부에 일체 형태로 설치되어 액상으로 전환된 액상 암모니아를 저장하는 버퍼탱크부로 구성되며, 상기 콘덴서부는 제조장치(A)의 공정시 배기되는 배기가스를 안내하는 회수관과 연결되는 기상 암모니아(배기가스) 유입구가 구비된 상부 챔버와, 상기 챔버의 하측에 설치되어 유입된 기상 암모니아를 냉각시켜 액상으로 전환하는 열교환부로 이루어지며, 상기 버퍼탱크부는 열교환부에서 배출되는 액상 암모니아를 저장하는 탱크몸체와, 상기 탱크몸체의 일측에 설치되어 저장된 액상 암모니아를 측정하는 레벨트랜스 미터와, 탱크몸체의 하측에 형성된 액상 암모니아 배출구와, 탱크몸체의 상측에 형성되어 불순물 가스를 배출하는 이물질 배출구를 포함하며, 상기 버퍼탱크부의 탱크몸체의 상부에는 콘덴서부의 열교환부와 일체 형태로 설치됨을 특징으로 한다.
상기 열교환부는 상측은 상부 챔버와 일체 형태로 설치되고, 하부는 버퍼탱크부의 탱크몸체의 상부에 일체로 형성된 연결관과 일체 형태로 설치된 열교환 몸체와, 상기 열교환 몸체 내측에 수직형태로 설치되어 암모니아가 이동하는 다수개의 열교환 튜브와, 상기 열교환 튜브를 따라 이동하는 암모니아를 냉각시키는 냉매를 열교환 몸체 내측에 공급하는 냉매 공급관과 냉매 배출관을 포함한다.
상기 버퍼탱크부의 압력을 고순도 암모니아를 제조하는 제조장치의 압력보다 낮게 유지시켜 제조장치와 버퍼탱크부의 압력차에 의하여 콘덴서부의 상부 챔버에 기상 암모니아가 유입되도록 함을 특징으로 한다.
다른 발명인 고순도 암모니아 회수기를 이용한 고순도 암모니아 회수장치는 암모니아 원료를 이용하여 고순도 암모니아를 제조하는 고순도 암모니아 제조장치에서 배출되는 기상 암모니아를 압력차에 의하여 회수하여 기상 암모니아를 초저온 냉매로 냉각하여 액상 암모니아로 전환하는 고순도 암모니아 회수기와; 상기 고순도 암모니아 제조장치의 공정시 배출되는 불순물 (배기)가스 내에 포함되어 있는 기상 암모니아를 고순도 암모니아 회수기에 안내하는 다수개의 회수관과; 상기 고순도 암모니아 회수기에서 배출되는 불순물 가스를 처리하는 세정장치(스크러버)와; 상기 고순도 암모니아 회수기에 저장된 액상 암모니아를 이동시키는 펌프를 포함한다.
상기 고순도 암모니아 제조장치 내의 공정압력은 80~120psig 이며, 상기 고순도 암모니아 회수기 내의 압력은 2~30psig로 하여 회수관으로 이동하는 기상 암모니아는 고순도 암모니아 제조장치와 고순도 암모니아 회수기의 압력차에 의하여 이동시킴을 특징으로 한다.
상기 고순도 암모니아 회수기로 회수된 액상의 암모니아는 고순도 암모니아 제조장치의 원료탱크로 이동됨을 특징으로 한다.
상기와 같이 이루어진 본 발명인 고순도 암모니아 회수기는 종래에 고순도 암모니아 제조(정제)공정시 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하기 위하여 배기되는 버려지는 배기가스 내에 포함되어 있는 암모니아를 회수하여 원료의 손실을 최소화함으로써 고순도 암모니아 제조(정제) 비용 및 고순도 암모니아 단가를 낮출 수 있다.
또한, 고순도 암모니아 회수기를 이용한 고순도 암모니아 회수장치는 기상 상태인 암모니아를 별도의 이동수단 없이 이동시켜 회수하도록 하였으며, 고순도 암모니아 회수기를 이용하여 별도의 불순물이 포함되지 않도록 하는 동시에 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하여 고순도의 암모니아 원료를 공급할 수 있다.
또한, 고순도 암모니아 회수기가 콘덴서를 이용하여 초저온으로 냉각시키고, 압력차로 회수함으로써 구비됨으로써 실린더 구조 및 크기에 맞춰 설비를 제작할 필요가 없으며, 기존 사용하던 라인과 연결하여 사용할 수 있음으로 작업시간 단축, 원가 절감 및 공간 비용 절감, 장치 투자비용 등을 절감할 수 있다.
또한, 고순도 암모니아 제조장치의 기상 암모니아를 배출하는 배출(배기)라인을 통합하여 초저온 냉각장치인 콘덴서를 이용하여 통합 관리하고 정제개념을 통한 분리 효율을 극대화하여 제품 손실(LOSS) 절감 및 환경 부담비용의 절감 효과가 있다.
도 1은 본 발명인 고순도 암모니아 회수기를 이용한 고순도 암모니아의 회수장치 구성도.
도 2는 본 발명의 실시예를 도시한 고순도 암모니아 회수기의 개략도.
도 3은 본 발명의 실시예를 도시한 고순도 암모니아 회수기의 부분 상세개략도.
도 4는 본 발명의 실시예를 도시한 고순도 암모니아 회수기의 부분 상세개략도.
도 5 는 암모니아 기액평형 차트.
첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 고순도 암모니아 회수기를 이용한 고순도 암모니아의 회수장치의 구성을 나타낸 개략도로서, 본 발명인 고순도 암모니아 회수기(10)는 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치는 고순도 암모니아를 제조(정제)하는 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)의 일측에 설치되어 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)에서 고순도 암모니아 제조(정제)시 발생한 기상 암모니아를 회수한다.
도 1을 참조하여 상기 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)의 구성을 살펴보면, 저순도 암모니아가 저장된 원료탱크(1)와, 상기 원료탱크(1)의 일측에 설치되어 저순도 암모니아를 기화시키는 기화기(2)와, 상기 기화기(2)를 통과한 기화된 암모니아를 제습하는 제습기(3a)와, 상기 제습기(3a)를 통과한 암모니아를 증류하는 증류기(4)와, 상기 증류기(4)에서 배출되는 기상 암모니아를 응축하는 응축기(6a)와, 상기 증류기(4)에서 배출되는 암모니아를 재가열하는 리보일러(5)와, 상기 리보일러(5)에서 배출되는 기화된 암모니아를 제습하는 제습기(3b)와, 상기 제습기(3b)를 통과한 암모니아를 응축하는 응축기(6b)와, 상기 증류기(4)에서 배출되는 액상 암모니아와, 상기 응축기(6a, 6b)에서 액상 암모니아를 저장하는 액상 고순도 암모니아 제품탱크(7a, 7b)와, 암모니아를 저장하는 실린더(8)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)는 원료탱크(1) 내에 저장된 99.5% 이상의 저순도 암모니아를 정제하여 제품탱크(7a, 7b)에 99.99999%(7N이하)인 고순도 암모니아를 저장한다.
상기 원료탱크(1)에 저장된 99.5% 이상의 저순도 암모니아에는 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 포함하고 있으며, 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)를 통한 정제공정 시 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하기 위한 배기가 필요하다. 이때 배기가스에는 다량의 암모니아를 포함한다.
상기 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)의 정제시 상용(공정)압력은 80~120psig이다.
상기 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)의 일측에 설치되어 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)의 정제공정시 발생하는 기화된 암모니아(기상 암모니아)를 회수하는 고순도 암모니아 회수기(10)의 구성을 도 2 내지 도 4를 참조하여 살펴보면, 크게 기상 암모니아를 액상 암모니아로 전환하는 SHEEL AND TUBE의 VERTICAL 타입으로 제작하여 기액 접촉을 유도하도록 이루어진 콘덴서부(100)와, 상기 콘덴서부(100)와 연통하도록 하부에 일체 형태로 설치되어 액상으로 전환된 액상 암모니아를 저장하는 버퍼탱크부(200)로 구성되며, 단열을 위하여 외부에 단열부재가 설치된다.
상기 콘덴서부(100)는 제조장치(A)에서 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하기 위하여 배기하는 배기가스를 안내하여 배기가스 내에 포함되어 있는 기상 암모니아를 안내하는 다수개의 회수관(20)으로 안내되어 회수되는 기상 암모니아를 공급하는 각각의 회수관(20)과 연결되는 다수개의 기상 암모니아 유입구(111)가 구비된 상부 챔버(110)와, 상기 챔버(110)의 하측에 설치되어 유입된 기상 암모니아를 냉각시켜 액상으로 전환하는 열교환부(120)로 이루어진다.
상기 열교환부(120)는 상측은 상부 챔버(110)와 일체 형태로 설치되고, 하부는 버퍼탱크부(200)의 탱크몸체(210)의 상부에 일체로 형성된 연결관(130)과 일체 형태로 설치된 열교환 몸체(SHEEL)(121)와, 상기 열교환 몸체(121) 내측에 수직형태로 설치되어 암모니아가 이동하는 다수개의 열교환 튜브(122)와, 상기 열교환 튜브(122)를 따라 이동하는 암모니아를 냉각시키는 냉매를 열교환 몸체(121) 내측에 공급하는 냉매 공급관(123)과 냉매 배출관(124)과, 상기 냉매 공급관(123)으로 공급되어 냉매 배출관(124)으로 배출되는 냉매를 유도하는 다수개의 격판(125)로 구성된다.
상기 버퍼탱크부(200)는 열교환부(120)에서 배출되는 액상 암모니아를 저장하는 탱크몸체(210)와, 상기 탱크몸체(210) 내에 저장된 액상 암모니아의 수위를 측정하는 레벨트랜스 미터(220)와, 탱크몸체(210)의 하측에 형성되어 액상암모니아를 배출하는 액상 암모니아 배출구(230)와, 상기 탱크몸체(210) 내의 온도와 압력을 측정하는 온도센서(240)와 압력센서(250)와, 상기 탱크몸체(210)의 상측에 형성되어 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등) 가스를 배출하는 이물질 배출구(260)를 포함한다.
이러한 상기 버퍼탱크부(200)의 탱크몸체(210)의 상부에는 콘덴서부(100)의 열교환부(120)와 일체 형태로 설치된다.
상기와 같이 이루어진 고순도 암모니아 회수기(10)가 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)의 일측에 설치되어 기화된 암모니아를 회수하는 과정을 설명하면,
도 1과 같이 상기 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)의 정제공정시 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등)을 제거하기 위하여 배출되는 배기가스는 각각의 회수관(20)으로 고순도 암모니아 회수기(10)에 안내된다.
이때, 상기 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)의 정제공정시 상용압력은 80~120psig이며, 고순도 암모니아 회수기(10)의 상용압력은 2~30psig으로 하여 고순도 암모니아 제조(정제)장치(A)와 고순도 암모니아 회수기(10) 사이에 압력차가 발생하도록 한다. 이와 같은 발생된 압력차에 의하여 배기가스(즉, 배기가스 내에 포함되어 있는 기상 암모니아)가 회수관(20)을 통하여 고순도 암모니아 회수기(10) 쪽으로 이동하도록 한다.
상기 고순도 암모니아 회수기(10)에 압력차에 의하여 회수되는 배기가스 내에 포함된 기상 암모니아는 도 2와 같이 챔버(110)에 유입되고, 상기 챔버(110)에 유입된 기상 암모니아는 열교환부(120)에 구비된 다수개의 열교환 튜브(122)로 유입되고, 상기 열교환 튜브(122)에서 냉매와 열교환하여 액상으로 전환된다.
이때, 상기 열교환부(120)에서는 기상 암모니아를 -30±5℃로 초저온으로 냉각을 시킨다. 회수관(20)으로 안내되어 회수된 가스는 암모니아뿐 아니라 다른 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등) 가스를 포함하게 되며, 상기 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등) 가스는 열교환부(120)에서 액화되지 않고 액상으로 전환된 암모니아와 함께 하측에 위치한 버퍼탱크부(200)에 유입된다.
상기 액상으로 전환된 암모니아는 버퍼탱크부(200)에 저장되고, 기체 상태인 저비점 불순물(H2, N2, O2, CO2 등) 가스는 상측에 모이게 되고, 상측에 위치한 이물질 배출구(260)로 배출되어 세정장치(스크러버)(9)에서 처리된다.
상기 버퍼탱크부(200)에 저장된 액상 암모니아가 레벨트랜스 미터(220)에서 설정된 수위에 도달하면, 펌프(P)를 가동하여 액상 암모니아 이동관(30)을 통하여 원료탱크(1)에 이동시킨다.
이때, 상기 원료탱크(1)의 압력은 80~120psig으로, 고순도 암모니아 회수기(10)의 버퍼탱크부(200) 압력인 2~30psig보다 높게 되어 케비테이션이 발생한다. 이러한 케비테이션을 방지하기 위하여 펌프(P) 자체 벤트라인(40)을 콘덴서부(100)와 연결하여 동압으로 형성하여 케비테이션을 방지하도록 한다.
A : 고순도 암모니아 제조(정제)장치
1 : 원료펌프 2 : 기화기
3, 3a, 3b : 제습기 4 : 증류기
5 : 리보일러 6, 6a, 6b : 응축기
7, 7a,7b : 제품탱크 8 : 실린더
9 : 세정장치
10 : 고순도 암모니아 회수기 20 : 회수관
100 : 콘덴서부 110 : 챔버
120 : 열교환부 121 : 열교환 몸체
122 : 열교환 튜브 125 : 격판
130 : 연결관
200 : 버퍼탱크부 210 : 탱크몸체
220 : 레벨트랜스 미터 230 : 암모니아 배출구
260 : 이물질 배출구

Claims (6)

  1. 고순도 암모니아를 제조하는 제조장치(A)에 설치되어 상기 제조장치(A)의 공정시 배기되는 배기가스 내에 포함되어 있는 암모니아를 회수하도록 기상 암모니아를 액상 암모니아로 전환하는 콘덴서부(100)와; 상기 콘덴서부(100)와 연통하도록 하부에 설치되어 액상으로 전환된 액상 암모니아를 저장하는 버퍼탱크부(200)로 구성되며,
    상기 콘덴서부(100)는 제조장치(A)의 공정시 배기되는 배기가스를 안내하는 회수관과 연결되는 기상 암모니아 유입구(111)가 구비된 상부 챔버(110)와, 상기 챔버(110)의 하측에 설치되어 유입된 기상 암모니아를 냉각시켜 액상으로 전환하는 열교환부(120)로 이루어지며,
    상기 버퍼탱크부(200)는 열교환부(120)에서 배출되는 액상 암모니아를 저장하는 탱크몸체(210)와, 탱크몸체(210)의 하측에 형성된 액상 암모니아 배출구(230)와, 탱크몸체(210)의 상측에 형성되어 불순물 가스를 배출하는 이물질 배출구(260)를 포함하며,
    상기 열교환부(120)는 상측은 상부 챔버(110)와 일체 형태로 설치되고, 하부는 버퍼탱크부(200)의 탱크몸체(210)의 상부에 일체로 형성된 연결관(130)과 일체 형태로 설치된 열교환 몸체(121)와, 상기 열교환 몸체(121) 내측에 수직형태로 설치되어 암모니아가 이동하는 다수개의 열교환 튜브(122)와, 상기 열교환 튜브(122)를 따라 이동하는 암모니아를 냉각시키는 냉매를 열교환 몸체(121) 내측에 공급하는 냉매 공급관(123)과 냉매 배출관(124)을 포함하며,
    상기 버퍼탱크부(200)의 압력을 고순도 암모니아를 제조하는 제조장치(A)의 압력보다 낮게 유지시켜 제조장치(A)와 버퍼탱크부(200)의 압력차에 의하여 콘덴서부(100)의 상부 챔버(110)에 기상 암모니아가 유입되도록 하되, 상기 고순도 암모니아 제조장치(A) 내의 공정압력은 80~120psig, 상기 버퍼탱크부(200)의 압력은 2~30psig로 하는 것을 특징으로 하는 초저온 냉각을 이용한 고순도 암모니아 회수기.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
KR1020110030507A 2011-04-04 2011-04-04 고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치 KR101309118B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110030507A KR101309118B1 (ko) 2011-04-04 2011-04-04 고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110030507A KR101309118B1 (ko) 2011-04-04 2011-04-04 고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120112916A KR20120112916A (ko) 2012-10-12
KR101309118B1 true KR101309118B1 (ko) 2013-09-16

Family

ID=47282633

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110030507A KR101309118B1 (ko) 2011-04-04 2011-04-04 고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101309118B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106517243A (zh) * 2016-10-27 2017-03-22 湖南懋天世纪新材料有限公司 一种高温氨气回收装置
KR20180034173A (ko) * 2016-09-26 2018-04-04 (주)원익머트리얼즈 암모니아 발생 및 방출 장치

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101908721B1 (ko) * 2016-11-11 2018-10-18 대한민국 암모니아 회수 반응 장치
WO2024122213A1 (ja) * 2022-12-06 2024-06-13 国立研究開発法人産業技術総合研究所 アンモニア製造システム、アンモニア合成反応器、アンモニア回収器、および熱回収器

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050053474A (ko) * 2003-12-03 2005-06-08 다이요 닛산 가부시키가이샤 암모니아의 정제방법 및 정제장치
JP2008505830A (ja) * 2004-07-07 2008-02-28 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード アンモニアの精製および移送充填
KR20080100579A (ko) * 2007-05-14 2008-11-19 (주)오선텍 암모니아 정제방법 및 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050053474A (ko) * 2003-12-03 2005-06-08 다이요 닛산 가부시키가이샤 암모니아의 정제방법 및 정제장치
JP2008505830A (ja) * 2004-07-07 2008-02-28 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード アンモニアの精製および移送充填
KR20080100579A (ko) * 2007-05-14 2008-11-19 (주)오선텍 암모니아 정제방법 및 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180034173A (ko) * 2016-09-26 2018-04-04 (주)원익머트리얼즈 암모니아 발생 및 방출 장치
KR101985730B1 (ko) 2016-09-26 2019-06-04 (주)원익머트리얼즈 암모니아 발생 및 방출 장치
CN106517243A (zh) * 2016-10-27 2017-03-22 湖南懋天世纪新材料有限公司 一种高温氨气回收装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120112916A (ko) 2012-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100587865B1 (ko) 사용 지점에 증기상 생성물을 송출하기 위한 시스템 및 방법
JP2001089131A (ja) 三塩化硼素の精製プロセス及び装置
KR101309118B1 (ko) 고순도 암모니아 회수기 및 이를 이용한 고순도 암모니아 회수장치
CN101723338B (zh) 一种从液氧中提取氪氙的方法
CN201603504U (zh) 烟气脱硫***
CN102007109B (zh) 环氧乙烷设备的操作
CN104944393B (zh) 一种提浓纯化高纯氦气的装置和方法
CN101264862B (zh) 一种制取重水及氘气的生产方法
CN110526213A (zh) 一种溴化氢纯化方法
JPH10231107A (ja) 蒸留装置及び蒸留方法
CN108534463A (zh) 多晶硅还原尾气深度净化方法及***
CN215781616U (zh) 一种低温工业氨制超纯氨的纯化装置
KR101826370B1 (ko) 염소 기체의 생산
CN109833638A (zh) 一种精馏法制备高纯气体的方法和***
CN107648976B (zh) 一种低温分离制取超高纯气体的方法及低温分离***
CN108821302A (zh) 一种三氯化硼的纯化方法及装置
CN107352510B (zh) 多晶硅还原尾气回收方法和回收***
CN208814656U (zh) 一种水处理剂副产氯化氢的净化装置
CN101837237B (zh) 烟气脱硫***
CN101837226A (zh) 吸收塔
JP4382826B2 (ja) 現場でのガスを配送する方法及びそのための装置
KR101200156B1 (ko) 삼불화질소 가스의 제조 시 폐액에 함유된 암모니아 회수장치 및 회수방법
JP2023535427A (ja) 塩化水素ガスの高圧脱離
US2822889A (en) Chlorine purification
WO2018181295A1 (ja) 精留装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170810

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180718

Year of fee payment: 6