JP5182608B2 - 多結晶シリコン反応炉 - Google Patents
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Description
また、本発明の多結晶シリコン反応炉において、前記ノズルの内部を貫通するガス流路は、該ノズルの先端へと向かうに連れ漸次縮径されて形成されていることとしてもよい。
図1は本発明の一実施形態に係る多結晶シリコン反応炉の構成を示す概略斜視図、図2は多結晶シリコン反応炉のノズルを示す縦断面図、図3は多結晶シリコン反応炉のキャップを示す縦断面図、図4はノズルの変形例を示す縦断面図である。
まず、図1に示すように、密閉した多結晶シリコン反応炉10の炉内に種棒となる複数のシリコン芯棒13を配置し、その基端部を炉底2に設置された電極14に固定する。そして、図2に示すように、炉底2に立設されるノズル1から、トリクロロシランと水素との混合ガスからなる原料ガスGを噴出させて、炉内に充満させる。そしてシリコン芯棒13の電極14に通電し、これらシリコン芯棒13をそのジュール熱により1050℃から1100℃程度に加熱して、原料ガスGを熱分解または水素還元させ、多結晶シリコンをシリコン芯棒13の表面に析出させて、多結晶シリコンを製造する。
1a 外装面(ノズル)
3 コーティング層
4a 排気口
5 キャップ
5a 外装面(キャップ)
10 多結晶シリコン反応炉
G 原料ガス
T 対流ガス
R 炉内ガス(使用後)
Claims (2)
- 気相成長法による多結晶シリコンの製造のための原料ガスを、炉内へ導入するノズルを備えた多結晶シリコン反応炉であって、
前記ノズルの外装面は、少なくともSiを含んだコーティング層によって被覆され、
前記炉内には、さらに前記原料ガスを炉外へ排出する排出口にキャップが備えられており、
前記キャップの外装面は、少なくともSiを含んだコーティング層によって被覆され、
前記ノズルから噴出される前記原料ガスは、Siを含み、該ノズルの周囲の炉内ガスとともに前記炉内を対流し循環する対流ガスとなり、
前記対流ガスが、前記コーティング層を形成するようにしたことを特徴とする多結晶シリコン反応炉。 - 請求項1記載の多結晶シリコン反応炉であって、
前記ノズルの内部を貫通するガス流路は、該ノズルの先端へと向かうに連れ漸次縮径されて形成されていることを特徴とする多結晶シリコン反応炉。
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