JP5178297B2 - Cnf探針カンチレバー - Google Patents
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Description
まず、本発明に係るCNF探針カンチレバーの実施例1について説明する。図1の(A)は、実施例1に係るCNF探針カンチレバーの全体構成を示す斜視図である。図1の(A)において、1は単結晶シリコンウエハを加工して作製した支持部(図示せず)より伸びたシリコン製レバー部、2はレバー部1の自由端近傍に形成されたシリコン製の円錐状探針部、3は探針部2の先端に、カーボン化合物を供給しながら高エネルギービームの照射により成長形成された一本のカーボンナノファイバー(CNF)細線である。
次に、実施例2について説明する。図2は、実施例2に係るCNF探針カンチレバーの構成を示す斜視図である。実施例2に係るCNF探針カンチレバーの基本的な構成は、図1の(A)に示した実施例1と同様であり、異なる点は、レバー部の探針部形成面の外端縁が面取りをした形状となっている点である。すなわち、自由端の外周縁の全ての角部が丸みを有した円弧状の形状からなるレバー部1の自由端近傍に形成された探針部2の先端にCNF細線3が成長形成されている。更に、レバー部1の探針部2の形成面の外端縁は面取り加工された面取り部4となっている。
次に、実施例3について説明する。図3の(A)は、実施例3に係るCNF探針カンチレバーの構成を示す斜視図で、図3の(B)は、レバー部の自由端近傍の断面図である。図3の(A)において、11は単結晶シリコンウエハを加工して作製した支持部(図示せず)より伸び、更に酸化膜等がコーティングされた被膜部12を有するシリコン製レバー部、2はレバー部11の自由端近傍に形成されたシリコン製の円錐状探針部、3は探針先端部に成長形成された一本のカーボンナノファイバー(CNF)細線である。
2 突起状探針部
3 CNF細線
4 レバー面取り部
12 被膜部
Claims (3)
- 支持部と、該支持部から伸びた平板状レバー部と、該レバー部の自由端又は自由端近傍に形成された突起状探針部と、該突起状探針部の先端に、カーボン化合物を供給しながら高エネルギービームを照射することにより形成されたカーボンナノファイバー(以下CNFという)細線とからなるCNF探針カンチレバーにおいて、
前記平板状レバー部の前記自由端の外周縁は角部のない丸みを有して構成されていることを特徴とするCNF探針カンチレバー。 - 前記平板状レバー部の前記探針部形成面の外端縁は、面取りされていることを特徴とする請求項1に係るCNF探針カンチレバー。
- 前記平板状レバー部は、コーティング材料にてコーティングされ、 該レバー部の前記自由端の外周縁は角部のない円みを有するように構成されていることを特徴とする請求項1に係るCNF探針カンチレバー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008107434A JP5178297B2 (ja) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | Cnf探針カンチレバー |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009257932A JP2009257932A (ja) | 2009-11-05 |
JP5178297B2 true JP5178297B2 (ja) | 2013-04-10 |
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ID=41385538
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008107434A Active JP5178297B2 (ja) | 2008-04-17 | 2008-04-17 | Cnf探針カンチレバー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5178297B2 (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10239330A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Seiko Instr Inc | Afmプローブ |
JP4073603B2 (ja) * | 2000-03-30 | 2008-04-09 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡走査方法 |
US6755956B2 (en) * | 2000-10-24 | 2004-06-29 | Ut-Battelle, Llc | Catalyst-induced growth of carbon nanotubes on tips of cantilevers and nanowires |
JP3811004B2 (ja) * | 2000-11-26 | 2006-08-16 | 喜萬 中山 | 導電性走査型顕微鏡用プローブ |
JP2003090788A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Olympus Optical Co Ltd | Spmカンチレバー及びその製造方法 |
JP2005024415A (ja) * | 2003-07-03 | 2005-01-27 | Sharp Corp | 導電性カンチレバーおよびその製造方法 |
JP4521482B2 (ja) * | 2004-04-26 | 2010-08-11 | オリンパス株式会社 | Spmカンチレバー及びその製造方法 |
JP4940392B2 (ja) * | 2005-03-08 | 2012-05-30 | 国立大学法人 名古屋工業大学 | カーボンナノ構造材の製造方法 |
JP2006145532A (ja) * | 2005-11-17 | 2006-06-08 | Japan Science & Technology Agency | ナノ構造物の探針先端生成方法 |
-
2008
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009257932A (ja) | 2009-11-05 |
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