JP5175485B2 - 加熱炉の内部圧力制御方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態における加熱炉の概略構成図である。なお、図中の符号2はイナートガス供給(導入)側のプロセス用流量計、符号3,5および14は自動弁、符号6および7は炉内圧力計、符号8および9はプログラマブルコントローラ、符号10は排気ガスの処理を行う二次側装置群(燃焼装置,触媒装置,脱臭装置等)、符号12はチャンバー、符号17は放圧口である。
先ず、この加熱炉が通常状態で稼動して熱処理を行っている場合、炉体本体1には、プロセス用流量計2および自動弁3を通じて、所定量(一定流量)のイナートガス、あるいは、場合により一時的に空気が供給されるとともに、その排気側には、被処理物(セラミックス材料,炭素材料,燃料電池用材料等)から揮発したバインダー成分等を含む高温ガスが排出される。このような脱バインダー処理においては、温度差や被処理物から脱離するバインダーに起因して、加熱槽内の圧力に変動が生じる場合がある。
2 プロセス用流量計
3 自動弁
4 マスフローコントローラ(導入側)
5 自動弁
6 炉内圧力計(排気側制御用)
7 炉内圧力計(導入側制御用)
8 プログラマブルコントローラ(導入側制御用)
9 プログラマブルコントローラ(排気側制御用)
10 二次側装置群
11 エゼクター
12 チャンバー
13 マスフローコントローラ(排気側)
14 自動弁
15 切替用流量計
16 手動調整用流量計
17 放圧口
Claims (2)
- 処理容器内に被処理物を収容して熱処理する加熱炉の炉内圧力を制御する方法であって、
前記加熱炉の排気系に、エゼクターと、このエゼクターに供給される駆動ガスの流量を調節する排気側マスフローコントローラと、前記排気側マスフローコントローラと前記エグゼクターとの間に位置するチャンバーとを配設するとともに、
前記加熱炉に、その内部に連通して炉内圧力を検知する第1の圧力計を設け、この第1の圧力計の計測値を用いて前記排気側マスフローコントローラを制御することにより、該炉内の圧力を所定の値に調整することを特徴とする加熱炉の炉内圧力制御方法。 - 処理容器内に被処理物を収容して熱処理する加熱炉の炉内圧力を制御する方法であって、
前記加熱炉の排気系に、エゼクターと、このエゼクターに供給される駆動ガスの流量を調節する排気側マスフローコントローラとを配設するとともに、
前記加熱炉に、その内部に連通して炉内圧力を検知する第1の圧力計を設け、この第1の圧力計の計測値を用いて前記排気側マスフローコントローラを制御し、
前記加熱炉に、前記第1の圧力計と同等の第2の圧力計を設け、前記加熱炉の吸気系に、炉内に供給される気体の流量を調節する導入側マスフローコントローラを配設するとともに、
前記第1の圧力計および/または前記排気側マスフローコントローラに異常が生じた場合、前記エゼクターの駆動ガス流量を予め決められた一定量に固定した後、前記第2の圧力計の計測値を用いて前記導入側マスフローコントローラを制御することにより、該炉内の圧力を所定の値に調整することを特徴とする加熱炉の炉内圧力制御方法。
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