JP5174531B2 - 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置における描画方法 - Google Patents
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Description
また、偏向器は温度や磁気的に安定した鏡筒部(「チャンバールーム」とも呼ばれる。)内に配置されており、この鏡筒部はコスト面や内部環境の維持面の要請から小型化されている。このため、DACアンプユニットや偏向制御回路は、一般的には鏡筒部の外に配置されている。このDACアンプユニットは、その出力を高精度に保つため、偏向器の近くに配置すると共に、偏向器と短いケーブルで接続する必要がある。そうすると、偏向制御回路とDACアンプユニットの距離が必然的に長くなり、その間でデータ転送エラーが起こりやすくなる。従って、特に偏向制御回路とDACアンプユニットとの間で転送データをチェックする必要性が高くなる。
試料142と第2成形アパーチャ126との間には、対物偏向器130が配置されている。この対物偏向器130により試料142上の電子ビーム112の照射位置が決定される。
これらのDACアンプユニット234a〜234hには、位置偏向制御回路230によって生成されたデジタル信号が上記分配回路232を介して送信される。
図3は、位置偏向制御回路230の構成を示す概略図であり、図4は、DACアンプユニット234の構成を示す概略図である。
図5は、DACアンプユニット234の動作と位置偏向制御回路230の動作を説明するためのタイミングチャートである。詳細には、図5(A)はENB信号の変化を、図5(B)はDACアンプユニットに入力されるショットデータ(デジタル信号)を、図5(C)はDACアンプユニット出力の変化を、図5(D)は描画タイミングを、それぞれ示している。また、図5(E)はストライプエンド信号の変化を、図5(F)はSUMクロック信号の変化を、図5(G)はSUMリードパルス信号の変化を、それぞれ示している。
このストライプの描画終了後の非描画期間t5〜t8において、SUMの読み出し及び比較が行われる。具体的には、時刻t6〜時刻t8までの期間、図5(F)に示すように、SUMクロック信号が発生する。このSUMクロック信号により、SUM演算手段235dのアドレスにアクセス可能となる。さらに、時刻t7において、図5(G)に示すように、SUMリードパルス信号が発生する。このSUMリードパルス信号のエッジにより、SUM演算手段235dの特定アドレスからSUMを読み出すことができる。
また、本実施の形態では、各DACアンプユニット234のSUM演算手段235dからSUMを読み出すためのSUMクロック信号及びSUMリードパルス信号を非描画期間に発生させている。これにより、描画期間中にDACアンプユニット出力にSUMクロック信号やSUMリードパルス信号がノイズとして加わることを防止することができる。従って、描画精度を低下させることなく、位置偏向制御回路230から各DACアンプユニット234までのデータ転送をチェックすることができる。
また、これらのSUMクロック信号及びSUMリードパルス信号をストライプの描画終了後の非描画期間に発生させることで、ステージ140の移動中にSUMの読み出しを行うことができる。従って、描画スループットを低下させずに、SUMの読み出しを行うことができる。
124 成形偏向器
130 対物偏向器
210 BLK偏向制御回路
220 成形偏向制御回路
230 位置偏向制御回路
224,234(234a〜234h) DACアンプユニット
231d SUM演算手段
231e SUM比較手段
235b DAC回路
235d SUM演算手段
235e SUMクロック信号発生器
235f SUMリードパルス信号発生器
Claims (5)
- 偏向制御回路によって生成された偏向器制御用のデジタル信号をアナログ信号にDA変換し、DA変換後のアナログ信号を増幅して偏向器に出力するDACアンプユニットを備えた荷電粒子ビーム描画装置において、
前記DACアンプユニットは、前記DA変換を行うDAC回路に書き込まれたデジタル信号の加算値を演算して記憶する第1演算手段と、前記第1演算手段に記憶された前記加算値を読み出すための読み出し信号を発生する読み出し信号発生手段とを有し、
前記偏向制御回路は、前記偏向器制御用のデジタル信号の加算値を演算して記憶する第2演算手段と、前記第1演算手段から読み出された加算値と前記第2演算手段に記憶された加算値とを比較する比較手段とを有し、
前記読み出し信号発生手段は、非描画期間に前記読み出し信号を発生することを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。 - 前記読み出し信号発生手段は、描画領域を仮想分割したストライプの描画終了後の非描画期間にクロック信号を発生するクロック発生手段を有することを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 前記読み出し信号発生手段は、前記ストライプの描画終了後の非描画期間であり、かつ、前記クロック信号が発生している期間に、リードパルス信号を発生するリードパルス信号発生手段を更に有することを特徴とする請求項2に記載の荷電粒子ビーム描画装置。
- 偏向器制御用のデジタル信号を生成する偏向制御回路と、前記デジタル信号をアナログ信号にDA変換し、DA変換後のアナログ信号を増幅して偏向器に出力するDACアンプユニットを備えた荷電粒子ビーム描画装置における描画方法であって、
前記偏向制御回路から送信されたデジタル信号を前記DACアンプユニットのDAC回路に書き込むと共に、書き込まれたデジタル信号の加算値である第1加算値を演算して記憶するステップと、
非描画期間に、前記第1加算値を前記偏向制御回路に読み出すステップと、
前記偏向制御回路に読み出された第1加算値と、前記偏向制御回路で演算されたデジタル信号の加算値である第2加算値とを比較するステップとを含むことを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置における描画方法。 - 前記第1加算値が読み出される非描画期間は、描画領域を仮想分割したストライプの描画終了後の非描画期間であり、この非描画期間に前記第1加算値を読み出すためのクロック信号及びリードパルス信号を前記DACアンプユニットで発生させることを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子ビーム描画装置における描画方法。
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