JP5169511B2 - Head inspection apparatus, head inspection method, and droplet discharge apparatus - Google Patents

Head inspection apparatus, head inspection method, and droplet discharge apparatus Download PDF

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Description

本発明は、ヘッドのノズルからの液滴吐出を検査するヘッド検査装置、ヘッド検査方法及び液滴吐出装置に関する。   The present invention relates to a head inspection device, a head inspection method, and a droplet discharge device that inspect droplet discharge from a nozzle of a head.

従来、インクジェットプリンタなどに搭載され、インクジェット方式でノズルから液滴を吐出するヘッドを検査する方法が知られている。具体的には、検査装置のヘッド取付部に対して取り付けられたヘッドのノズルからの液滴を吐出して、その吐出速度、吐出量、吐出角度等を検査する（例えば、特許文献１参照）。
特開２００５−１５１９２号公報 Conventionally, a method for inspecting a head mounted on an ink jet printer or the like and ejecting liquid droplets from a nozzle by an ink jet method is known. Specifically, droplets are ejected from the nozzles of the head attached to the head attachment portion of the inspection apparatus, and the ejection speed, ejection amount, ejection angle, and the like are inspected (for example, see Patent Document 1) .
JP 2005-15192 A

しかしながら、ヘッドの検査を行う時に、ヘッド取付部に対するヘッドの取り付け方が悪いと、ヘッドの移動時に振動して同一ノズルから吐出される液滴の吐出角度にバラツキが発生し、結果的に正確な検査をできないという問題があった。
特に、ノズル数が多い長尺のヘッドの場合、検査に時間がかかるため、検査時間の短縮を図る上でヘッドの移動速度を速くすると、振動が発生し易くなって検査結果への取付けの影響が大きくなるという問題があった。 However, when the head is inspected, if the head mounting method is poor with respect to the head mounting portion, the ejection angle of the liquid droplets ejected from the same nozzle varies due to vibration when the head moves, resulting in an accurate There was a problem that the inspection was not possible.
In particular, in the case of a long head with a large number of nozzles, it takes time to inspect. Therefore, if the moving speed of the head is increased in order to shorten the inspection time, vibration is likely to occur and the influence of mounting on the inspection result. There was a problem that became larger.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ヘッドの振動の影響、特に、ヘッドの移動により生じる振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行うことができるヘッド検査装置、ヘッド検査方法及び液滴吐出装置の提供を課題とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and a head inspection apparatus and a head inspection method capable of appropriately performing a head inspection in consideration of the influence of head vibration, particularly the influence of vibration caused by movement of the head. And a droplet discharge device.

以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明のヘッド検査装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。 In order to solve the above problems, the head inspection apparatus according to the first aspect of the present invention provides:
A head moving means for attaching a head for discharging droplets from the nozzle and moving the head in a predetermined direction;
Imaging means for imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time before and after each movement of the head by the head moving means;
State information generating means for generating discharge state information relating to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of each droplet before and after the movement of the head, based on an imaging result by the imaging means;
A state determination unit that determines a discharge state of a droplet based on the discharge state information before and after the movement of the head generated by the state information generation unit;
It is characterized by having.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のヘッド検査装置において、
前記状態情報生成手段は、前記吐出状態情報として、前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきに係るばらつき情報を生成し、
前記状態判定手段は、前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記ばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴としている。 According to a second aspect of the present invention, in the head inspection apparatus according to the first aspect,
The status information generating means, as the ejection state information, by the movement back and forth each of said head, generates variation information according to the variation of the discharge angles of the multiple discharged droplets from the nozzle,
The state determination unit determines a droplet discharge state based on the variation information before and after the movement of the head generated by the state information generation unit.

請求項３に記載の発明のヘッド検査装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記吐出状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。 A head inspection device according to a third aspect of the present invention provides:
A head moving means for attaching a head for discharging droplets from the nozzle and moving the head in a predetermined direction;
Imaging means for imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time after the head movement by the head moving means;
State information generating means for generating discharge state information related to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of the droplet based on the imaging result by the imaging means;
Reference storage means for storing reference state information relating to the determination of the discharge state of the droplets;
A state determination unit that determines a discharge state of a droplet based on the reference state information stored in the reference storage unit and the discharge state information generated by the state information generation unit;
It is characterized by having.

請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のヘッド検査装置において、
前記状態情報生成手段は、前記吐出状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきに係るばらつき情報を生成し、
前記基準記憶手段は、前記基準状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきの許容範囲に係るばらつき基準情報を記憶し、
前記状態判定手段は、前記基準記憶手段に記憶されている前記ばらつき基準情報と、前記状態情報生成手段により生成された前記ばらつき情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴としている。 According to a fourth aspect of the present invention, in the head inspection apparatus according to the third aspect,
The status information generating means, as the discharge state information, generates variation information according to the variation of the discharge angles of the multiple discharged droplets from the nozzle,
It said reference storing means, as the reference state information, and stores the variation reference information according to the allowable range of variation of the discharge angles of the multiple discharged droplets from the nozzle,
The state determination unit determines a droplet discharge state based on the variation reference information stored in the reference storage unit and the variation information generated by the state information generation unit. Yes.

請求項５に記載の発明のヘッド検査方法は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段を備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する処理と、
撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する処理と、
生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する処理と、
を行うことを特徴としている。 The head inspection method of the invention according to claim 5 is:
Using a head inspection apparatus equipped with a head moving means for attaching a head for discharging droplets from a nozzle and moving the head in a predetermined direction,
A process of imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time before and after each movement of the head by the head moving means;
Based on the imaging result, processing for generating ejection state information related to the ejection angle with respect to one direction orthogonal to the movement direction of the head of each droplet before and after the movement of the head;
A process of determining a droplet discharge state based on the generated discharge state information before and after the movement of the head;
It is characterized by performing.

請求項６に記載の発明のヘッド検査方法は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段とを備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する処理と、
撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する処理と、
生成された前記吐出状態情報と前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する処理と、
を行うことを特徴としている。 A head inspection method according to a sixth aspect of the present invention includes:
A head inspection apparatus having a head for ejecting liquid droplets from a nozzle, and comprising a head moving means for moving the head in a predetermined direction, and a reference storage means for storing reference state information relating to determination of the discharge state of the liquid droplets make use of,
A process of imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time interval after the head is moved by the head moving means;
A process of generating discharge state information relating to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of the droplet based on the imaging result;
A process of determining a discharge state of a droplet based on the generated discharge state information and the reference state information stored in the reference storage unit;
It is characterized by performing.

請求項７に記載の発明の液滴吐出装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドを有し、前記ノズルから吐出された液滴を基材に着弾させて、表示装置を構成する表示装置構成部材を作成する作成手段と、
前記ヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。 The droplet discharge device of the invention according to claim 7 is,
A creation unit that has a head for ejecting liquid droplets from a nozzle, and makes a liquid droplet ejected from the nozzle land on a substrate to create a display device constituent member that constitutes a display device;
A head moving means attached to the head and moving the head in a predetermined direction;
Imaging means for imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time before and after each movement of the head by the head moving means;
State information generating means for generating discharge state information relating to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of each droplet before and after the movement of the head, based on an imaging result by the imaging means;
A state determination unit that determines a discharge state of a droplet based on the discharge state information before and after the movement of the head generated by the state information generation unit;
It is characterized by having.

請求項８に記載の発明の液滴吐出装置は、
ノズルから液滴を吐出するヘッドを有し、前記ノズルから吐出された液滴を基材に着弾させて、表示装置を構成する表示装置構成部材を作成する作成手段と、
前記ヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記吐出状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴としている。 The droplet discharge device of the invention according to claim 8 is,
A creation unit that has a head for ejecting liquid droplets from a nozzle, and makes a liquid droplet ejected from the nozzle land on a substrate to create a display device constituent member that constitutes a display device;
A head moving means attached to the head and moving the head in a predetermined direction;
Imaging means for imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time after the head movement by the head moving means;
State information generating means for generating discharge state information related to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of the droplet based on the imaging result by the imaging means;
Reference storage means for storing reference state information relating to the determination of the discharge state of the droplets;
A state determination unit that determines a discharge state of a droplet based on the reference state information stored in the reference storage unit and the discharge state information generated by the state information generation unit;
It is characterized by having.

本発明によれば、ヘッド移動手段に取り付けられたヘッドの振動の影響、特に、ヘッドの移動により生じる振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。 According to the present invention, it is possible to properly perform the head inspection in consideration of the influence of vibration of the head attached to the head moving means , particularly the influence of vibration caused by the movement of the head.

以下、本発明の実施形態について、図１〜図１１を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

［実施形態１］
図１は、本発明を適用した実施形態１のヘッド検査装置１００の概略構成を示すブロック図であり、図２（ａ）及び図２（ｂ）は、ヘッド検査装置１００に備わる撮像部３と発光部４の配置を模式的に示す図である。また、図３は、ヘッド検査装置１００の制御部７の構成を示す図である。
また、以下の説明では、インクジェットヘッドＳのノズル（図示略）の並び方向を左右方向とし、左右方向に直交する一方向を前後方向とし、前後方向及び左右方向の双方に直交する方向を上下方向とする。 [Embodiment 1]
FIG. 1 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a head inspection apparatus 100 according to a first embodiment to which the present invention is applied. FIGS. 2A and 2B are diagrams illustrating an imaging unit 3 provided in the head inspection apparatus 100. It is a figure which shows typically arrangement | positioning of the light emission part. FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of the control unit 7 of the head inspection apparatus 100.
In the following description, the arrangement direction of the nozzles (not shown) of the inkjet head S is the left-right direction, one direction orthogonal to the left-right direction is the front-rear direction, and the direction orthogonal to both the front-rear direction and the left-right direction is the upper-lower direction. And

実施形態１のヘッド検査装置１００は、検査対象となるインクジェットヘッドＳが取り付けられる搬送ステージ１と、インクジェットヘッドＳを駆動するヘッド駆動部２と、インクジェットヘッドＳのノズルから吐出されたインク滴（液滴）を撮像する撮像部３と、撮像部３によるインク滴の撮像の際に発光する発光部４と、撮像部３により撮像されたインク滴の画像を処理する画像処理部５と、検査結果を表示するモニタ６と、各部を制御する制御部７とを備えている。   The head inspection apparatus 100 according to the first embodiment includes a transport stage 1 to which an inkjet head S to be inspected is attached, a head drive unit 2 that drives the inkjet head S, and ink droplets (liquids) ejected from nozzles of the inkjet head S. An image pickup unit 3 that picks up an image of a drop), a light emitting unit 4 that emits light when an image of the ink droplet is picked up by the image pickup unit 3, an image processing unit 5 that processes an image of the ink droplet picked up by the image pickup unit 3, Is provided with a monitor 6 for displaying and a control unit 7 for controlling each unit.

インクジェットヘッドＳは、特に限定されるものではなく、例えば、図示は省略するが、チャネルに対して圧電素子の収縮により圧力を付与して、チャネルの出口に連通するノズルからインク滴（液滴）を吐出させるヘッドチップを具備している。
ヘッドチップには、ノズルが所定方向に並んで複数形成されている。 The ink jet head S is not particularly limited. For example, although not shown in the drawing, a pressure is applied to the channel by contraction of the piezoelectric element, and an ink droplet (droplet) is ejected from a nozzle communicating with the outlet of the channel. The head chip which discharges is comprised.
In the head chip, a plurality of nozzles are formed side by side in a predetermined direction.

搬送ステージ１は、インクジェットヘッドＳをそのノズル列方向が左右方向となるように取り付けるものである。また、搬送ステージ１は、ヘッド移動手段として、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを案内部材（図示略）により左右方向に移動させる。
即ち、搬送ステージ１は、ヘッド検査の際に、複数のノズルのうち、検査対象となるノズルから吐出されたインク滴が撮像部３の画角内に入るようにインクジェットヘッドＳを左右方向に移動させる。これにより、複数のノズル全ての検査を行うことができる。 The transport stage 1 is for mounting the inkjet head S so that the nozzle row direction is the left-right direction. Moreover, the conveyance stage 1 moves the inkjet head S to the left-right direction by a guide member (not shown) as a head moving means under control of the control part 7.
That is, the conveyance stage 1 moves the inkjet head S in the left-right direction so that the ink droplets ejected from the nozzles to be inspected are within the angle of view of the imaging unit 3 during the head inspection. Let As a result, all of the plurality of nozzles can be inspected.

ヘッド駆動部（駆動手段）２は、ヘッド検査の際に、制御部７の制御下にて、所定の駆動条件に基づいてインクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させる。
即ち、ヘッド駆動部２は、ヘッドチップのチャネルに並設された駆動壁を駆動させるための駆動電極に所定の駆動信号を出力して、当該駆動信号に従って駆動壁を膨張・収縮させることにより、ノズルからインク滴を吐出させる。 The head driving unit (driving unit) 2 drives the ink jet head S based on predetermined driving conditions to eject ink droplets from the nozzles under the control of the control unit 7 during head inspection.
That is, the head drive unit 2 outputs a predetermined drive signal to the drive electrode for driving the drive wall arranged in parallel with the channel of the head chip, and expands and contracts the drive wall according to the drive signal, Ink droplets are ejected from the nozzles.

撮像部３及び発光部４は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、搬送ステージ１に取り付けられたインクジェットヘッドＳの下側にて、前後方向に沿って対向するように配置されている。   As shown in FIGS. 2A and 2B, the imaging unit 3 and the light emitting unit 4 are opposed to each other along the front-rear direction on the lower side of the inkjet head S attached to the transport stage 1. Has been placed.

発光部４は、撮像部３によるインク滴の撮像の際に光を照射する。
発光部４としては、撮像時にインク滴に光を照射することができるものであれば如何なるものであっても良く、例えば、ストロボ、ＬＥＤ等を適用することができる。 The light emitting unit 4 emits light when the imaging unit 3 captures an ink droplet.
The light emitting unit 4 may be anything as long as it can irradiate ink droplets at the time of imaging. For example, a strobe or LED can be applied.

撮像部（撮像手段）３は、制御部７の制御下にて、画角内を連続的に撮像して画像データを生成する。具体的には、撮像部３は、図示は省略するが、撮像レンズと、撮像レンズを通過した被写体像を二次元の画像信号に変換するＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal-oxide Semiconductor）等の電子撮像部と、電子撮像部に所定の露出時間で被写体を撮像させ、当該電子撮像部の撮像領域から画像信号（画像フレーム）を所定のフレームレートで読み出す処理の実行を制御する撮影制御部等を備えている。   The imaging unit (imaging means) 3 continuously captures the inside of the angle of view and generates image data under the control of the control unit 7. Specifically, the imaging unit 3 is not illustrated, but includes an imaging lens and a CCD (Charge Coupled Device) or CMOS (Complementary Metal-oxide Semiconductor) that converts a subject image that has passed through the imaging lens into a two-dimensional image signal. ) And the like, and shooting for controlling the execution of a process of causing the electronic imaging unit to image a subject with a predetermined exposure time and reading an image signal (image frame) from the imaging region of the electronic imaging unit at a predetermined frame rate A control unit and the like are provided.

また、撮像部３は、ノズルから吐出させたインク滴を発光部４が発光する第１のタイミングで撮像した後（撮像１；図４参照）、所定時間経過後に発光部４が再度発光する第２のタイミングで撮像して（撮像２；図４参照）、それぞれの画像データを生成する。即ち、撮像部３は、ノズルから吐出させたインク滴を所定時間を空けて複数回撮像する。   The imaging unit 3 captures the ink droplets ejected from the nozzles at the first timing when the light emitting unit 4 emits light (imaging 1; see FIG. 4), and then the light emitting unit 4 emits light again after a predetermined time has elapsed. (2) (image 2; see FIG. 4) to generate respective image data. That is, the imaging unit 3 images the ink droplets ejected from the nozzles a plurality of times with a predetermined time interval.

画像処理部５は、制御部７の制御下にて、撮像部３による撮像により生成された画像データに基づいて、液滴の重心位置を算出したり、液滴の吐出角度のばらつきを算出したり、ばらつきが許容値よりも小さいか否かの判定を行う（詳細後述）。   Under the control of the control unit 7, the image processing unit 5 calculates the position of the center of gravity of the droplet and the variation in the discharge angle of the droplet based on the image data generated by the imaging by the imaging unit 3. Or whether the variation is smaller than the allowable value (details will be described later).

制御部７は、ヘッド検査装置１００の各部を制御するものであり、例えば、図３に示すように、ＣＰＵ７１と、ＲＡＭ７２と、記憶部７３等を備えている。   The control unit 7 controls each unit of the head inspection apparatus 100, and includes, for example, a CPU 71, a RAM 72, a storage unit 73, and the like as shown in FIG.

ＣＰＵ７１は、当該ヘッド検査装置１００の各部を統括的に制御するものであり、記憶部７３に記憶された各種処理プログラムに従って各種の制御動作を行う。その際に、ＣＰＵ７１は、ＲＡＭ７２内の格納領域内に各種処理結果を格納させ、必要に応じてその処理結果をモニタ６に表示させるようになっている。   The CPU 71 comprehensively controls each unit of the head inspection apparatus 100 and performs various control operations according to various processing programs stored in the storage unit 73. At that time, the CPU 71 stores various processing results in a storage area in the RAM 72 and displays the processing results on the monitor 6 as necessary.

ＲＡＭ７２は、例えば、ＣＰＵ７１により実行される処理プログラム等を展開するためのプログラム格納領域や、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等を格納するデータ格納領域などを備える。   The RAM 72 includes, for example, a program storage area for expanding a processing program executed by the CPU 71, a data storage area for storing input data, a processing result generated when the processing program is executed, and the like.

記憶部７３は、例えば、ハードディスクドライブ等により構成され、ヘッド検査装置１００で実行可能なシステムプログラム、当該システムプログラムで実行可能な各種処理プログラム、これら各種処理プログラムを実行する際に使用されるデータ等を記憶する。
具体的には、記憶部７３は、撮像制御プログラム７３ａ、重心算出制御プログラム７３ｂ、第１状態情報生成制御プログラム７３ｃ、第１状態判定制御プログラム７３ｄ等を記憶している。 The storage unit 73 includes, for example, a hard disk drive and the like, a system program that can be executed by the head inspection apparatus 100, various processing programs that can be executed by the system program, data that is used when executing these various processing programs, and the like Remember.
Specifically, the storage unit 73 stores an imaging control program 73a, a gravity center calculation control program 73b, a first state information generation control program 73c, a first state determination control program 73d, and the like.

撮像制御プログラム７３ａは、インクジェットヘッドＳのノズルから吐出されたインク滴を撮像部３に所定時間を空けて複数回撮像させる処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が撮像制御プログラム７３ａを実行することで、撮像部３にノズルから吐出したインク滴を発光部４が発光する第１のタイミングで撮像させた後（撮像１；図４参照）、所定時間経過後に発光部４が再度発光する第２のタイミングで撮像させる（撮像２；図４参照）。 The imaging control program 73a is a program for causing the CPU 71 to realize a function related to the process of causing the imaging unit 3 to image the ink droplets ejected from the nozzles of the inkjet head S a plurality of times with a predetermined time interval.
Specifically, the CPU 71 executes the imaging control program 73a to cause the imaging unit 3 to image the ink droplets ejected from the nozzles at the first timing at which the light emitting unit 4 emits light (imaging 1; see FIG. 4). ) After the predetermined time elapses, the light emitting unit 4 is caused to pick up an image at a second timing at which the light is emitted again (image pickup 2; see FIG. 4).

重心算出制御プログラム７３ｂは、撮像部３に撮像され生成されたインク滴の重心位置を画像処理部５に算出させる重心算出処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が重心算出制御プログラム７３ｂを実行することで、画像処理部５は、第１のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）及び第２のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）を算出する（図４参照）。
なお、インク滴の重心位置の算出手法は、特に限定されるものではなく、例えば、撮像したインク滴の画像イメージを、所定のサンプル形状と重心位置が対応付けられた参照テーブルを参照して、類似の形状を選択して重心を決定する方法が挙げられる。
また、インク滴の重心は、撮像画像内の所定位置（例えば、中央）を基準（原点）として算出される。 The center-of-gravity calculation control program 73b is a program for causing the CPU 71 to realize a function related to the center-of-gravity calculation process that causes the image processing unit 5 to calculate the center of gravity position of the ink droplet imaged and generated by the imaging unit 3.
Specifically, when the CPU 71 executes the center-of-gravity calculation control program 73b, the image processing unit 5 is imaged at the center of gravity (Xa1, Ya1) of the ink droplet imaged at the first timing and at the second timing. The center of gravity (Xa2, Ya2) of the ink droplet is calculated (see FIG. 4).
The method for calculating the gravity center position of the ink droplet is not particularly limited. For example, the image image of the captured ink droplet is referred to a reference table in which a predetermined sample shape is associated with the gravity center position. There is a method of selecting a similar shape and determining the center of gravity.
The center of gravity of the ink droplet is calculated with a predetermined position (for example, the center) in the captured image as a reference (origin).

第１状態情報生成制御プログラム７３ｃは、撮像部３によるインク滴の撮像結果に基づいて、インクジェットヘッドＳの移動前後各々のインク滴の吐出状態に係る吐出状態情報を画像処理部（状態情報生成手段）５に生成させる状態情報生成処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第１状態情報生成制御プログラム７３ｃを実行することで、画像処理部５は、重心算出処理の算出結果に係るインク滴の重心に基づいて算出された、インクジェットヘッドＳの移動前後各々における所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度（θ）のばらつきに基づいて、吐出状態情報（ばらつき情報）として標準偏差σを生成する。
ここで、インクジェットヘッドＳの移動前における所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差をσ(1)とし、インクジェットヘッドＳの移動後における所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差をσ(2)とする。
なお、インク滴の吐出角度（θ）は、ノズルから略直下に延在する線分に対してインク滴が左右方向にずれた角度であり、θ＝tan-1｛（Xa2-Xa1）/（Ya2-Ya1）｝の式に従って算出される。 The first state information generation control program 73c displays the discharge state information relating to the discharge state of each ink droplet before and after the movement of the inkjet head S based on the result of ink droplet imaging by the imaging unit 3 as an image processing unit (state information generating unit). ) This is a program for causing the CPU 71 to realize the function related to the state information generation process to be generated by 5.
Specifically, when the CPU 71 executes the first state information generation control program 73c, the image processing unit 5 calculates the ink jet head S calculated based on the center of gravity of the ink droplet according to the calculation result of the center of gravity calculation processing. A standard deviation σ is generated as ejection state information (variation information) based on variations in ejection angles (θ) of ink droplets ejected from a predetermined nozzle a plurality of times before and after the movement.
Here, the standard deviation related to the variation in the discharge angle of the predetermined nozzle before the movement of the inkjet head S is σ (1), and the standard deviation related to the variation in the discharge angle of the predetermined nozzle after the movement of the inkjet head S is σ. (2).
The ink droplet ejection angle (θ) is an angle at which the ink droplet is displaced in the left-right direction with respect to a line segment extending almost directly from the nozzle, and θ = tan-1 {(Xa2-Xa1) / ( Ya2-Ya1)} is calculated.

第１状態判定制御プログラム７３ｄは、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前後各々の吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を画像処理部（状態判定手段）５に判定させる状態判定処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第１状態判定制御プログラム７３ｄを実行することで、画像処理部５は、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α1よりも小さいか否かに応じてインク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。 The first state determination control program 73d determines the discharge state of the ink droplets to the image processing unit (state determination unit) 5 based on the discharge state information before and after the movement of the inkjet head S generated in the state information generation process. This is a program for causing the CPU 71 to realize the function related to the state determination process.
Specifically, when the CPU 71 executes the first state determination control program 73d, the image processing unit 5 varies the ejection angle of a predetermined nozzle before the movement of the inkjet head S generated in the state information generation process. The absolute value of the value obtained by subtracting the standard deviation σ (2) related to the variation in the discharge angle of the predetermined nozzle after the movement of the inkjet head S from the standard deviation σ (1) related to It is determined whether or not the ink droplet ejection state is normal depending on whether or not it is smaller than α1.

例えば、許容値α1を０．０２と設定した場合に、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)が０．０３５であり（図５（ａ）参照）、インクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)が０．０３２であったとすると（図５（ｂ）参照）、σ(1)−σ(2)が−０．００３となり、その絶対値が許容値α1（＝０．０２）よりも小さくなって、画像処理部５は、インク滴の吐出状態は正常であると判定する。
これに対して、インクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)が０．０７８であり（図６（ａ）参照）、インクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)が０．０３５であったとすると（図６（ｂ）参照）、σ(1)−σ(2)が０．０４３となり、その絶対値が許容値α1（＝０．０２）以上となって、画像処理部５は、インク滴の吐出状態は異常であると判定する。 For example, when the allowable value α1 is set to 0.02, the standard deviation σ (2) related to the variation in the discharge angle of the predetermined nozzle after the movement of the inkjet head S is 0.035 (FIG. 5A). (See FIG. 5B), assuming that the standard deviation σ (1) relating to the variation in the ejection angle of the predetermined nozzle before the movement of the inkjet head S is 0.032 (see FIG. 5B). 2) becomes −0.003, and its absolute value becomes smaller than the allowable value α1 (= 0.02), and the image processing unit 5 determines that the ink droplet ejection state is normal.
On the other hand, the standard deviation σ (2) related to the variation in the discharge angle of the predetermined nozzle after the movement of the inkjet head S is 0.078 (see FIG. 6A). If the standard deviation σ (1) related to the variation in the discharge angle of a predetermined nozzle is 0.035 (see FIG. 6B), σ (1) −σ (2) is 0.043, which is absolute The value becomes the allowable value α1 (= 0.02) or more, and the image processing unit 5 determines that the ink droplet ejection state is abnormal.

次に、ヘッド検査処理について、図７〜図９を参照して説明する。
図７は、ヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
なお、以下のヘッド検査処理にあっては、状態判定処理における比較用の許容値α1がユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力されて設定されているものとする。 Next, the head inspection process will be described with reference to FIGS.
FIG. 7 is a flowchart illustrating an example of an operation related to the head inspection process.
In the following head inspection process, it is assumed that the allowable value α1 for comparison in the state determination process is input and set based on a predetermined operation of a setting input unit (not shown) by the user.

図７に示すように、先ず、搬送ステージ１の所定の取付部にインクジェットヘッドＳを取り付けた後（ステップＳ１）、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ２）。   As shown in FIG. 7, first, after the inkjet head S is attached to a predetermined attachment portion of the transport stage 1 (step S1), a discharge angle variation measurement process before moving the head is performed (step S2).

以下に、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理について図８を参照して説明する。
図８は、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。 Hereinafter, the discharge angle variation measurement process before moving the head will be described with reference to FIG.
FIG. 8 is a flowchart illustrating an example of an operation related to the discharge angle variation measurement process before the head movement.

図８に示すように、先ず、ユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて、制御部７は、各ノズルからのインク滴の吐出角度の測定回数を設定するとともに、インク滴の吐出から発光部４の発光タイミングに係るストロボディレイ時間を設定する（ステップＳ２１）。
ストロボディレイ時間とは、インクジェットヘッドＳのノズルからインク滴を吐出するタイミングから発光部４を発光させて撮像部３により撮像するまでの遅延時間である。このストロボディレイ時間として、具体的には、インク滴を第１のタイミングで撮像するためのストロボディレイ時間１と、インク滴を第２のタイミングで撮像するために、ストロボディレイ時間１から設定された遅延時間経過後に撮像を行うストロボディレイ時間２を設定する。 As shown in FIG. 8, first, based on a predetermined operation of a setting input unit (not shown) by the user, the control unit 7 sets the number of times of measurement of the ejection angle of the ink droplets from each nozzle and sets the ink droplets. A strobe delay time related to the light emission timing of the light emitting unit 4 from the discharge is set (step S21).
The “strobody lay time” is a delay time from when the ink droplets are ejected from the nozzles of the inkjet head S until the light emitting unit 4 emits light and the imaging unit 3 captures an image. Specifically, the strobody lay time is set from the strobody lay time 1 for imaging ink droplets at the first timing and the strobody lay time 1 for imaging ink droplets at the second timing. Strobody lay time 2 for imaging after the delay time has elapsed is set.

次に、ヘッド駆動部２は、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させる（ステップＳ２２）。
続けて、制御部７のＣＰＵ７１は、記憶部７３の撮像制御プログラム７３ａを実行して、設定されたストロボディレイ時間に従って第１のタイミングで発光部４を発光させて、ノズルから吐出したインク滴を撮像部３に撮像させた後、第２のタイミングで発光部４を再度発光させて、同じインク滴を撮像部３に再度撮像させる（ステップＳ２３）。 Next, the head driving unit 2 drives the inkjet head S to eject ink droplets from the nozzles under the control of the control unit 7 (step S22).
Subsequently, the CPU 71 of the control unit 7 executes the imaging control program 73a of the storage unit 73 to cause the light emitting unit 4 to emit light at the first timing according to the set strobed lay time, and to eject ink droplets ejected from the nozzles. After the imaging unit 3 captures an image, the light emitting unit 4 is caused to emit light again at the second timing, and the same ink droplet is imaged again by the imaging unit 3 (step S23).

次に、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の重心算出制御プログラム７３ｂを実行して、画像処理部５は、第１のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）及び第２のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）を算出する（ステップＳ２４：重心算出処理）。続けて、制御部７のＣＰＵ７１は、重心算出処理にて算出されたインク滴の重心に基づいて、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから吐出されたインク滴の吐出角度（θ）を画像処理部５に算出させる（ステップＳ２５）。   Next, the CPU 71 of the control unit 7 executes the center-of-gravity calculation control program 73b of the storage unit 73, and the image processing unit 5 executes the center of gravity (Xa1, Ya1) of the ink droplet imaged at the first timing and the second. The center of gravity (Xa2, Ya2) of the ink droplet imaged at the timing is calculated (step S24: center of gravity calculation process). Subsequently, the CPU 71 of the control unit 7 calculates the ejection angle (θ) of the ink droplet ejected from a predetermined nozzle of the inkjet head S based on the center of gravity of the ink droplet calculated in the center of gravity calculation processing. (Step S25).

そして、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したか否かを判定する（ステップＳ２６）。
ここで、測定回数に達していないと判定されると（ステップＳ２６；ＮＯ）、ステップＳ２２に移行して、それ以降の処理を、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達するまで（ステップＳ２６；ＹＥＳ）繰り返す。 Then, under the control of the control unit 7, the image processing unit 5 determines whether or not the number of measurement of the ink droplet ejection angle has reached the set number of measurements (step S26).
If it is determined that the number of measurements has not been reached (step S26; NO), the process proceeds to step S22, and the subsequent processing is repeated until the number of measurements of the ink droplet ejection angle reaches the set number of measurements. (Step S26; YES) Repeat.

ステップＳ２６にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したと判定されると（ステップＳ２６；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第１状態情報生成制御プログラム７３ｃを実行して、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度（θ）に基づいて当該インク滴の吐出角度（θ）のばらつきを算出して、当該吐出角度のばらつきに基づいて標準偏差σ(1)を算出する（ステップＳ２７：状態情報生成処理）。
これにより、ヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理を終了する。 If it is determined in step S26 that the number of ink droplet ejection angles has reached the set number of measurements (step S26; YES), the CPU 71 of the control unit 7 controls the first state information generation in the storage unit 73. By executing the program 73c, the image processing unit 5 calculates the variation of the ejection angle (θ) of the ink droplet based on the ejection angle (θ) of the ink droplet ejected from the predetermined nozzle of the inkjet head S a plurality of times. Then, the standard deviation σ (1) is calculated based on the variation in the discharge angle (step S27: state information generation process).
Thus, the discharge angle variation measurement process before moving the head is completed.

その後、図７に示すように、制御部７は搬送ステージ１によりインクジェットヘッドＳを左右方向に沿って移動させた後（ステップＳ３）、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ４）。   Thereafter, as shown in FIG. 7, the control unit 7 moves the inkjet head S along the left-right direction by the transport stage 1 (step S3), and then performs a discharge angle variation measurement process after the head movement (step S4). .

以下に、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理について図９を参照して説明する。
図９は、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。 Hereinafter, the discharge angle variation measurement process after the head movement will be described with reference to FIG.
FIG. 9 is a flowchart illustrating an example of an operation related to the discharge angle variation measurement process after the head is moved.

以下に説明するヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理は、インクジェットヘッドＳの移動後に行って標準偏差σ(2)を算出する以外の点ではヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理（図８参照）と略同様である。
即ち、図９に示すように、先ず、インク滴の吐出角度の測定回数及びストロボディレイ時間を設定する（ステップＳ４１）。
次に、ヘッド駆動部２は、制御部７の制御下にて、インクジェットヘッドＳを駆動させてノズルからインク滴を吐出させた後（ステップＳ４２）、撮像部３は、制御部７の制御下にて、第１のタイミングでノズルから吐出したインク滴を撮像した後、第２のタイミングで同じインク滴を再度撮像する（ステップＳ４３）。 The discharge angle variation measurement process after the head movement described below is performed after the inkjet head S is moved and the standard deviation σ (2) is calculated, and the discharge angle variation measurement process before the head movement (see FIG. 8). Is substantially the same.
That is, as shown in FIG. 9, first, the number of ink droplet ejection angles and the number of strobodilays are set (step S41).
Next, the head driving unit 2 drives the inkjet head S to eject ink droplets from the nozzles under the control of the control unit 7 (step S42), and then the imaging unit 3 is controlled by the control unit 7. Then, after imaging the ink droplets ejected from the nozzles at the first timing, the same ink droplets are imaged again at the second timing (step S43).

次に、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、第１のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa1，Ya1）及び第２のタイミングで撮像されたインク滴の重心（Xa2，Ya2）を算出した後（ステップＳ４４：重心算出処理）、算出されたインク滴の重心に基づいて、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから吐出されたインク滴の吐出角度（θ）を算出する（ステップＳ４５）。   Next, the image processing unit 5 controls the center of gravity (Xa1, Ya1) of the ink droplets captured at the first timing and the center of gravity (Xa2) of the ink droplets captured at the second timing under the control of the control unit 7. , Ya2) (step S44: center of gravity calculation processing), and then, based on the calculated center of gravity of the ink droplet, the ejection angle (θ) of the ink droplet ejected from a predetermined nozzle of the inkjet head S is calculated ( Step S45).

そして、画像処理部５は、制御部７の制御下にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達していないと判定すると（ステップＳ４６；ＮＯ）、ステップＳ４２に移行して、それ以降の処理を、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達するまで（ステップＳ４６；ＹＥＳ）繰り返す。   If the image processing unit 5 determines that the number of measurement of the ink droplet ejection angle has not reached the set number of measurement under the control of the control unit 7 (step S46; NO), the process proceeds to step S42. The subsequent processing is repeated until the number of measurement of the ink droplet ejection angle reaches the set number of measurements (step S46; YES).

ステップＳ４６にて、インク滴の吐出角度の測定回数が設定した測定回数に達したと判定されると（ステップＳ４６；ＹＥＳ）、画像処理部５は、インクジェットヘッドＳの所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度（θ）に基づいて当該インク滴の吐出角度（θ）のばらつきを算出して、当該吐出角度のばらつきに基づいて、標準偏差σ(2)を算出する（ステップＳ４７：状態情報生成処理）。
これにより、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理を終了する。 If it is determined in step S46 that the number of measurement of the ink droplet ejection angle has reached the set number of measurements (step S46; YES), the image processing unit 5 ejects a plurality of times from a predetermined nozzle of the inkjet head S. The variation of the ejection angle (θ) of the ink droplet is calculated based on the ejection angle (θ) of the ink droplet, and the standard deviation σ (2) is calculated based on the variation of the ejection angle (step S47). : Status information generation processing).
Thus, the discharge angle variation measurement process after the head movement is completed.

その後、図７に示すように、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第１状態判定制御プログラム７３ｄを実行して、画像処理部５は、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α1よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ５：状態判定処理）。
ここで、|σ(1)−σ(2)|が許容値α1よりも小さいと判定されると（ステップＳ５；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が正常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に正常である旨を表示させる（ステップＳ６）。
一方、|σ(1)−σ(2)|が許容値α1以上であると判定されると（ステップＳ５；ＮＯ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が異常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に異常である旨を表示させる（ステップＳ７）。 Thereafter, as shown in FIG. 7, the CPU 71 of the control unit 7 executes the first state determination control program 73 d of the storage unit 73, and the image processing unit 5 performs the inkjet head S generated by the state information generation process. The absolute value obtained by subtracting the standard deviation σ (2) related to the variation in the discharge angle of the predetermined nozzle after the movement of the inkjet head S from the standard deviation σ (1) related to the variation in the discharge angle of the predetermined nozzle before the movement It is determined whether or not the value is smaller than a preset allowable value α1 for comparison (step S5: state determination process).
If it is determined that | σ (1) −σ (2) | is smaller than the allowable value α1 (step S5; YES), the CPU 71 of the control unit 7 notifies that the ink droplet ejection state is normal. The display control signal concerning is transmitted, and the monitor 6 is displayed as normal (step S6).
On the other hand, if it is determined that | σ (1) −σ (2) | is equal to or greater than the allowable value α1 (step S5; NO), the CPU 71 of the control unit 7 notifies that the ink droplet ejection state is abnormal. Such a display control signal is transmitted to display an abnormality on the monitor 6 (step S7).

そして、上記の検査を全てのノズルについて行った後、搬送ステージ１からインクジェットヘッドＳを取り外して、当該ヘッド検査処理を終了する（ステップＳ８）。   And after performing said test | inspection about all the nozzles, the inkjet head S is removed from the conveyance stage 1, and the said head test | inspection process is complete | finished (step S8).

以上のように、実施形態１のヘッド検査装置１００によれば、インクジェットヘッドＳの移動前後各々のインク滴の吐出状態に係る吐出状態情報に基づいて、インク滴の吐出状態を判定することができる。
具体的には、インクジェットヘッドＳの移動前後各々にて、所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度のばらつきに係るばらつき情報（標準偏差σ）を生成し、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動前の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(1)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が許容値α1よりも小さいか否かに応じて、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定することができる。
従って、インクジェットヘッドＳの振動の影響、特に、インクジェットヘッドＳの移動により生じる振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。 As described above, according to the head inspection apparatus 100 of the first embodiment, the ink droplet ejection state can be determined based on the ejection state information relating to the ink droplet ejection state before and after the movement of the inkjet head S. .
Specifically, before and after the movement of the inkjet head S, variation information (standard deviation σ) relating to variations in the ejection angle of ink droplets ejected from a predetermined nozzle a plurality of times is generated, and status information generation processing is performed. The standard deviation σ (2) related to the variation in the ejection angle of the predetermined nozzle after the movement of the inkjet head S from the standard deviation σ (1) related to the variation in the ejection angle of the predetermined nozzle before the movement of the generated inkjet head S Whether or not the ink droplet ejection state is normal can be determined according to whether or not the absolute value of the value obtained by subtracting is smaller than the allowable value α1.
Therefore, the head inspection can be appropriately performed in consideration of the influence of the vibration of the ink jet head S, particularly the influence of the vibration caused by the movement of the ink jet head S.

［実施形態２］
以下に、実施形態２のヘッド検査装置について、図１０及び図１１を参照して説明する。
図１０は、本発明を適用した実施形態２のヘッド検査装置の制御部７の構成を示す図である。 [Embodiment 2]
Hereinafter, the head inspection apparatus according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 10 and 11.
FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration of the control unit 7 of the head inspection apparatus according to the second embodiment to which the present invention is applied.

実施形態２のヘッド検査装置は、図１０及び図１１に示すように、状態判定処理にて、所定の基準値σ(0)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値と許容値α2を比較して、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。
なお、実施形態２のヘッド検査装置は、制御部７の構成以外の点で上記実施形態１のヘッド検査装置１００と略同様の構成をなし、その説明は省略する。 As shown in FIGS. 10 and 11, the head inspection apparatus according to the second embodiment changes the discharge angle variation of a predetermined nozzle after moving the inkjet head S from the predetermined reference value σ (0) in the state determination process. The absolute value of the value obtained by subtracting the standard deviation σ (2) is compared with the allowable value α2, and it is determined whether or not the ink droplet ejection state is normal.
The head inspection apparatus according to the second embodiment has substantially the same configuration as that of the head inspection apparatus 100 according to the first embodiment except for the configuration of the control unit 7, and the description thereof is omitted.

制御部７の記憶部７３には、撮像制御プログラム７３ａ、重心算出制御プログラム７３ｂに加えて、第２状態情報生成制御プログラム７３ｅ、第２状態判定制御プログラム７３ｆ、基準データｄを記憶している。   The storage unit 73 of the control unit 7 stores a second state information generation control program 73e, a second state determination control program 73f, and reference data d in addition to the imaging control program 73a and the gravity center calculation control program 73b.

基準データｄは、インク滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報として、ユーザによる設定入力部の所定操作に基づいて入力された基準値σ(0)である。基準値σ(0)は、ノズルから複数回吐出された液滴の吐出角度のばらつきの許容範囲を規定するための情報（ばらつき基準情報）である。
ここで、記憶部７３は、基準状態情報を記憶する基準記憶手段を構成している。 The reference data d is a reference value σ (0) input based on a predetermined operation of the setting input unit by the user as reference state information relating to the determination of the ink droplet ejection state. The reference value σ (0) is information (variation reference information) for defining an allowable range of variation in the ejection angle of droplets ejected from the nozzle a plurality of times.
Here, the storage unit 73 constitutes a reference storage unit that stores reference state information.

第２状態情報生成制御プログラム７３ｅは、撮像部３によるインク滴の撮像結果に基づいて、インクジェットヘッドＳの移動後のインク滴の吐出状態に係る吐出状態情報を画像処理部（状態情報生成手段）５に生成させる状態情報生成処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第２状態情報生成制御プログラム７３ｅを実行することで、画像処理部５は、重心算出処理にて算出されたインク滴の重心に基づいて、インクジェットヘッドＳの移動後における所定のノズルから複数回吐出されたインク滴の吐出角度θのばらつきを算出して、算出された吐出角度のばらつきに基づいて、吐出状態情報（ばらつき情報）として標準偏差σ(2)を生成する。 The second state information generation control program 73e uses the image processing unit (state information generating unit) to display the discharge state information related to the discharge state of the ink droplets after the ink jet head S moves based on the ink droplet imaging result by the imaging unit 3. 5 is a program for causing the CPU 71 to realize the function related to the state information generation processing to be generated by the CPU 5.
Specifically, the CPU 71 executes the second state information generation control program 73e, so that the image processing unit 5 after the movement of the inkjet head S is based on the center of gravity of the ink droplet calculated in the center of gravity calculation process. The variation of the ejection angle θ of the ink droplet ejected from the predetermined nozzle a plurality of times is calculated, and the standard deviation σ (2) is generated as the ejection state information (variation information) based on the calculated variation of the ejection angle. .

第２状態判定制御プログラム７３ｆは、状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動後の吐出状態情報と記憶部７３に記憶されている基準データｄに基づいて、インク滴の吐出状態を画像処理部（状態判定手段）５に判定させる状態判定処理に係る機能をＣＰＵ７１に実現させるためのプログラムである。
具体的には、ＣＰＵ７１が第２状態判定制御プログラム７３ｆを実行することで、画像処理部５は、記憶部７３に記憶されている基準値σ(0)から状態情報生成処理にて生成されたインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α2よりも小さいか否かに応じてインク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定する。 The second state determination control program 73f determines the ink droplet ejection state based on the ejection state information after the movement of the inkjet head S generated in the state information generation process and the reference data d stored in the storage unit 73. This is a program for causing the CPU 71 to realize a function related to a state determination process to be determined by the image processing unit (state determination unit) 5.
Specifically, when the CPU 71 executes the second state determination control program 73f, the image processing unit 5 is generated by the state information generation process from the reference value σ (0) stored in the storage unit 73. Depending on whether or not the absolute value of the value obtained by subtracting the standard deviation σ (2) relating to the variation in the ejection angle of a predetermined nozzle after the movement of the inkjet head S is smaller than a preset allowable value α2 for comparison It is then determined whether the ink droplet ejection state is normal.

次に、ヘッド検査処理について、図１１を参照して説明する。
図１１は、ヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。
なお、以下のヘッド検査処理にあっては、状態判定処理における比較用の許容値α2がユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力されて設定されているものとする。 Next, the head inspection process will be described with reference to FIG.
FIG. 11 is a flowchart illustrating an example of an operation related to the head inspection process.
In the following head inspection process, it is assumed that an allowable value α2 for comparison in the state determination process is input and set based on a predetermined operation of a setting input unit (not shown) by the user.

図１１に示すように、先ず、搬送ステージ１の所定の取付部にインクジェットヘッドＳを取り付けた後（ステップＳ１）、制御部７は、ユーザによる設定入力部（図示略）の所定操作に基づいて入力された基準値σ(0)を設定する（ステップＳ１０２）。なお、設定された基準値σ(0)は、記憶部７３の所定の記憶領域に記憶される。   As shown in FIG. 11, first, after attaching the inkjet head S to a predetermined mounting portion of the transport stage 1 (step S <b> 1), the control unit 7 is based on a predetermined operation of a setting input unit (not shown) by the user. The input reference value σ (0) is set (step S102). The set reference value σ (0) is stored in a predetermined storage area of the storage unit 73.

次に、制御部７は、搬送ステージ１によりインクジェットヘッドＳを左右方向に沿って移動させた後（ステップＳ３）、ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理を行う（ステップＳ４）。
ヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理は、実施形態１のヘッド検査装置１００における処理と略同様であり、その説明は省略する。 Next, the control unit 7 moves the inkjet head S along the left-right direction by the transport stage 1 (step S3), and then performs a discharge angle variation measurement process after the head movement (step S4).
The discharge angle variation measurement process after the head movement is substantially the same as the process in the head inspection apparatus 100 of the first embodiment, and a description thereof will be omitted.

その後、制御部７のＣＰＵ７１が、記憶部７３の第２状態判定制御プログラム７３ｆを実行して、画像処理部５は、記憶部７３に記憶されている基準値σ(0)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が予め設定されている比較用の許容値α2よりも小さいか否かを判定する（ステップＳ１０５：状態判定処理）。
ここで、|σ(0)−σ(2)|が許容値α2よりも小さいと判定されると（ステップＳ１０５；ＹＥＳ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が正常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に正常である旨を表示させる（ステップＳ６）。
一方、|σ(0)−σ(2)|が許容値α2以上であると判定されると（ステップＳ１０５；ＮＯ）、制御部７のＣＰＵ７１は、インク滴の吐出状態が異常である通知に係る表示制御信号を送信してモニタ６に異常である旨を表示させる（ステップＳ７）。 Thereafter, the CPU 71 of the control unit 7 executes the second state determination control program 73 f of the storage unit 73, and the image processing unit 5 determines the ink jet head S from the reference value σ (0) stored in the storage unit 73. It is determined whether or not the absolute value of the value obtained by subtracting the standard deviation σ (2) relating to the variation in the discharge angle of the predetermined nozzle after the movement is smaller than a preset allowable value α2 for comparison (step S105). : State determination processing).
If it is determined that | σ (0) −σ (2) | is smaller than the allowable value α2 (step S105; YES), the CPU 71 of the control unit 7 notifies that the ink droplet ejection state is normal. The display control signal concerning is transmitted, and the monitor 6 is displayed as normal (step S6).
On the other hand, if it is determined that | σ (0) −σ (2) | is equal to or larger than the allowable value α2 (step S105; NO), the CPU 71 of the control unit 7 notifies that the ink droplet ejection state is abnormal. Such a display control signal is transmitted to display an abnormality on the monitor 6 (step S7).

そして、上記の検査を全てのノズルについて行った後、搬送ステージ１からインクジェットヘッドＳを取り外して、当該ヘッド検査処理を終了する（ステップＳ８）。   And after performing said test | inspection about all the nozzles, the inkjet head S is removed from the conveyance stage 1, and the said head test | inspection process is complete | finished (step S8).

以上のように、実施形態２のヘッド検査装置によれば、インク滴の吐出状態の判定に係る基準データｄとインク滴の吐出状態に係る吐出状態情報とに基づいて、インク滴の吐出状態を判定することができる。
具体的には、記憶部７３に記憶されている基準値σ(0)からインクジェットヘッドＳの移動後の所定のノズルの吐出角度のばらつきに係る標準偏差σ(2)を減算した値の絶対値が許容値α2よりも小さいか否かに応じて、インク滴の吐出状態が正常であるか否かを判定することができる。
従って、インクジェットヘッドＳの振動の影響、特に、インクジェットヘッドＳの移動により生じる振動の影響を考慮してヘッド検査を適正に行うことができる。 As described above, according to the head inspection apparatus of the second embodiment, the ink droplet ejection state is determined based on the reference data d relating to the determination of the ink droplet ejection state and the ejection state information relating to the ink droplet ejection state. Can be determined.
Specifically, the absolute value of the value obtained by subtracting the standard deviation σ (2) related to the variation in the ejection angle of a predetermined nozzle after the movement of the inkjet head S from the reference value σ (0) stored in the storage unit 73. It is possible to determine whether or not the ink droplet ejection state is normal depending on whether or not is smaller than the allowable value α2.
Therefore, the head inspection can be appropriately performed in consideration of the influence of the vibration of the ink jet head S, particularly the influence of the vibration caused by the movement of the ink jet head S.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
例えば、吐出状態情報として、液滴の吐出角度のばらつきにかかるばらつき情報（標準偏差）を例示したが、これに限られるものではなく、液滴の吐出状態に係るものであって、インクジェットヘッドＳの振動に影響されて変動する情報であれば如何なるものであっても良い。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various improvements and design changes may be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, the variation information (standard deviation) related to the variation in the ejection angle of the droplet is exemplified as the ejection state information. However, the present invention is not limited to this, but relates to the ejection state of the droplet. Any information may be used as long as the information fluctuates and is affected by the vibration.

さらに、上記実施形態１、２にあっては、ヘッド検査対象として、インク滴をノズルから吐出するインクジェットヘッドＳを例示したが、これに限られるものではなく、液滴を吐出するヘッドであれば如何なるものであっても良い。   Furthermore, in the first and second embodiments, the inkjet head S that ejects ink droplets from the nozzles is exemplified as a head inspection target. However, the present invention is not limited to this, and any head that ejects droplets may be used. It can be anything.

また、上記実施形態１、２にあっては、インクジェットヘッドＳ等のヘッドを検査する専用のヘッド検査装置１００を用いるようにしたが、これに限られるものではなく、例えば、有機ＥＬディスプレイや液晶ディスプレイ等の表示装置を構成する表示装置構成部材を製造する製造装置（液滴吐出装置）を用いても良い。
即ち、有機ＥＬディスプレイのＥＬ材料の塗布や、液晶ディスプレイのカラーフィルタ材料の塗布等を行う製造装置には、撮像部３や搬送ステージ１を具備するものがあり、これらを利用してノズルからの液滴の吐出角度を測定して、ヘッドの吐出状態を検査するようにしても良い。 In the first and second embodiments, the dedicated head inspection apparatus 100 for inspecting a head such as the ink jet head S is used. However, the present invention is not limited to this. For example, an organic EL display or a liquid crystal display is used. You may use the manufacturing apparatus (droplet discharge apparatus) which manufactures the display apparatus structural member which comprises display apparatuses, such as a display.
That is, some manufacturing apparatuses for applying an EL material for an organic EL display, a color filter material for a liquid crystal display, and the like include an imaging unit 3 and a transfer stage 1. You may make it test | inspect the discharge state of a head by measuring the discharge angle of a droplet.

さらに、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。   Furthermore, it is needless to say that other specific detailed structures can be appropriately changed.

加えて、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。   In addition, it should be thought that embodiment disclosed this time is an illustration and restrictive at no points. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明を適用した実施形態１のヘッド検査装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the head test | inspection apparatus of Embodiment 1 to which this invention is applied. 図１のヘッド検査装置の撮像部と発光部の配置を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically arrangement | positioning of the imaging part and light emission part of the head test | inspection apparatus of FIG. 図１のヘッド検査装置の制御部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the control part of the head test | inspection apparatus of FIG. 図１のヘッド検査装置のインクジェットヘッドから吐出された液滴の撮像タイミングを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the imaging timing of the droplet discharged from the inkjet head of the head test | inspection apparatus of FIG. ヘッド移動前後の吐出角度ばらつき測定処理の結果の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the result of the discharge angle dispersion | variation measurement process before and behind head movement. ヘッド移動前後の吐出角度ばらつき測定処理の結果の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the result of the discharge angle dispersion | variation measurement process before and behind head movement. 図１のヘッド検査装置によるヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。3 is a flowchart showing an example of an operation related to a head inspection process by the head inspection apparatus of FIG. 1. 図７のヘッド検査処理におけるヘッド移動前の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。8 is a flowchart illustrating an example of an operation related to a discharge angle variation measurement process before head movement in the head inspection process of FIG. 7. 図７のヘッド検査処理におけるヘッド移動後の吐出角度ばらつき測定処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。8 is a flowchart illustrating an example of an operation related to a discharge angle variation measurement process after moving the head in the head inspection process of FIG. 7. 本発明を適用した実施形態２のヘッド検査装置の制御部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the control part of the head test | inspection apparatus of Embodiment 2 to which this invention is applied. 図１０のヘッド検査装置によるヘッド検査処理に係る動作の一例を示すフローチャートである。11 is a flowchart illustrating an example of an operation related to a head inspection process performed by the head inspection apparatus of FIG. 10.

符号の説明Explanation of symbols

１００ ヘッド検査装置
１ 搬送ステージ（ヘッド移動手段）
３ 撮像部（撮像手段）
４ 発光部
５ 画像処理部（状態情報生成手段、状態判定手段）
７ 制御部
７３ 記憶部（基準記憶手段）
Ｓ インクジェットヘッド 100 Head inspection apparatus 1 Transport stage (head moving means)
3 Imaging unit (imaging means)
4 Light emitting unit 5 Image processing unit (state information generating unit, state determining unit)
7 control unit 73 storage unit (reference storage means)
S Inkjet head

Claims (8)

ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴とするヘッド検査装置。 A head moving means for attaching a head for discharging droplets from the nozzle and moving the head in a predetermined direction;
Imaging means for imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time before and after each movement of the head by the head moving means;
State information generating means for generating discharge state information relating to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of each droplet before and after the movement of the head, based on an imaging result by the imaging means;
A state determination unit that determines a discharge state of a droplet based on the discharge state information before and after the movement of the head generated by the state information generation unit;
A head inspection apparatus comprising: 前記状態情報生成手段は、前記吐出状態情報として、前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきに係るばらつき情報を生成し、
前記状態判定手段は、前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記ばらつき情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴とする請求項１に記載のヘッド検査装置。 The status information generating means, as the ejection state information, by the movement back and forth each of said head, generates variation information according to the variation of the discharge angles of the multiple discharged droplets from the nozzle,
2. The head inspection according to claim 1, wherein the state determination unit determines a droplet discharge state based on the variation information before and after the movement of the head generated by the state information generation unit. apparatus. ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記吐出状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴とするヘッド検査装置。 A head moving means for attaching a head for discharging droplets from the nozzle and moving the head in a predetermined direction;
Imaging means for imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time after the head movement by the head moving means;
State information generating means for generating discharge state information related to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of the droplet based on the imaging result by the imaging means;
Reference storage means for storing reference state information relating to the determination of the discharge state of the droplets;
A state determination unit that determines a discharge state of a droplet based on the reference state information stored in the reference storage unit and the discharge state information generated by the state information generation unit;
A head inspection apparatus comprising: 前記状態情報生成手段は、前記吐出状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきに係るばらつき情報を生成し、
前記基準記憶手段は、前記基準状態情報として、前記ノズルから複数回吐出された液滴の前記吐出角度のばらつきの許容範囲に係るばらつき基準情報を記憶し、
前記状態判定手段は、前記基準記憶手段に記憶されている前記ばらつき基準情報と、前記状態情報生成手段により生成された前記ばらつき情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定することを特徴とする請求項３に記載のヘッド検査装置。 The status information generating means, as the discharge state information, generates variation information according to the variation of the discharge angles of the multiple discharged droplets from the nozzle,
It said reference storing means, as the reference state information, and stores the variation reference information according to the allowable range of variation of the discharge angles of the multiple discharged droplets from the nozzle,
The state determination unit determines a droplet discharge state based on the variation reference information stored in the reference storage unit and the variation information generated by the state information generation unit. The head inspection apparatus according to claim 3. ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段を備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する処理と、
撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する処理と、
生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する処理と、
を行うことを特徴とするヘッド検査方法。 Using a head inspection apparatus equipped with a head moving means for attaching a head for discharging droplets from a nozzle and moving the head in a predetermined direction,
A process of imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time before and after each movement of the head by the head moving means;
Based on the imaging result, processing for generating ejection state information related to the ejection angle with respect to one direction orthogonal to the movement direction of the head of each droplet before and after the movement of the head;
A process of determining a droplet discharge state based on the generated discharge state information before and after the movement of the head;
A head inspection method. ノズルから液滴を吐出するヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段とを備えるヘッド検査装置を用いて、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する処理と、
撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する処理と、
生成された前記吐出状態情報と前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する処理と、
を行うことを特徴とするヘッド検査方法。 A head inspection apparatus having a head for ejecting liquid droplets from a nozzle, and comprising a head moving means for moving the head in a predetermined direction, and a reference storage means for storing reference state information relating to determination of the discharge state of the liquid droplets make use of,
A process of imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time interval after the head is moved by the head moving means;
A process of generating discharge state information relating to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of the droplet based on the imaging result;
A process of determining a discharge state of a droplet based on the generated discharge state information and the reference state information stored in the reference storage unit;
A head inspection method. ノズルから液滴を吐出するヘッドを有し、前記ノズルから吐出された液滴を基材に着弾させて、表示装置を構成する表示装置構成部材を作成する作成手段と、
前記ヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動前後各々にて、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、前記ヘッドの移動前後各々の液滴の当該ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
前記状態情報生成手段により生成された前記ヘッドの移動前後各々の前記吐出状態情報に基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴とする液滴吐出装置。 A creation unit that has a head for ejecting liquid droplets from a nozzle, and makes a liquid droplet ejected from the nozzle land on a substrate to create a display device constituent member that constitutes a display device;
A head moving means attached to the head and moving the head in a predetermined direction;
Imaging means for imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time before and after each movement of the head by the head moving means;
State information generating means for generating discharge state information relating to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of each droplet before and after the movement of the head, based on an imaging result by the imaging means;
A state determination unit that determines a discharge state of a droplet based on the discharge state information before and after the movement of the head generated by the state information generation unit;
A droplet discharge apparatus comprising: ノズルから液滴を吐出するヘッドを有し、前記ノズルから吐出された液滴を基材に着弾させて、表示装置を構成する表示装置構成部材を作成する作成手段と、
前記ヘッドが取り付けられ、当該ヘッドを所定方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記ヘッド移動手段による前記ヘッドの移動後に、前記ノズルから吐出させた液滴を所定時間を空けて複数回撮像する撮像手段と、
前記撮像手段による撮像結果に基づいて、液滴の前記ヘッドの移動方向に直交する一方向を基準とする吐出角度に係る吐出状態情報を生成する状態情報生成手段と、
液滴の吐出状態の判定に係る基準状態情報を記憶する基準記憶手段と、
前記基準記憶手段に記憶されている前記基準状態情報と前記状態情報生成手段により生成された前記吐出状態情報とに基づいて、液滴の吐出状態を判定する状態判定手段と、
を備えることを特徴とする液滴吐出装置。 A creation unit that has a head for ejecting liquid droplets from a nozzle, and makes a liquid droplet ejected from the nozzle land on a substrate to create a display device constituent member that constitutes a display device;
A head moving means attached to the head and moving the head in a predetermined direction;
Imaging means for imaging the liquid droplets ejected from the nozzle a plurality of times with a predetermined time after the head movement by the head moving means;
State information generating means for generating discharge state information related to a discharge angle based on one direction orthogonal to the moving direction of the head of the droplet based on the imaging result by the imaging means;
Reference storage means for storing reference state information relating to the determination of the discharge state of the droplets;
A state determination unit that determines a discharge state of a droplet based on the reference state information stored in the reference storage unit and the discharge state information generated by the state information generation unit;
A droplet discharge apparatus comprising:
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