JP2006284406A - Dot displacement detection method, dot displacement detection program, reference line acquisition method, dot displacement detection device, and droplet discharge device - Google Patents
Dot displacement detection method, dot displacement detection program, reference line acquisition method, dot displacement detection device, and droplet discharge device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006284406A JP2006284406A JP2005105757A JP2005105757A JP2006284406A JP 2006284406 A JP2006284406 A JP 2006284406A JP 2005105757 A JP2005105757 A JP 2005105757A JP 2005105757 A JP2005105757 A JP 2005105757A JP 2006284406 A JP2006284406 A JP 2006284406A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dot
- straight line
- position measurement
- acquiring
- deviation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、ドットずれ検出方法、ドットずれ検出プログラムおよび基準直線取得方法、並びにドットずれ検出装置および液滴吐出装置に関する。 The present invention relates to a dot deviation detection method, a dot deviation detection program, a reference straight line acquisition method, a dot deviation detection device, and a droplet discharge device.
近年、機能液を液滴として吐出する液滴吐出装置を用いて、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma-Display-Panel）装置、電気泳動表示装置等を製造することが提案されている。このような装置の製造に用いられる液滴吐出装置では、Ｘ・Ｙ移動機構により、ワークと液滴吐出ヘッドとをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させつつ、液滴吐出ヘッドの各ノズルから液滴を吐出することにより、ワークの表面に所定のパターンのドッド列を形成する。 In recent years, liquid crystal display devices, organic EL (Electro-Luminescence) devices, electron-emitting devices, PDP (Plasma-Display-Panel) devices, electrophoretic display devices, etc., using droplet discharge devices that discharge functional liquids as droplets It has been proposed to manufacture. In the droplet discharge device used for manufacturing such a device, the X and Y movement mechanism moves the workpiece and the droplet discharge head relative to each other in the X-axis direction and the Y-axis direction, while By ejecting droplets from each nozzle, a dod string having a predetermined pattern is formed on the surface of the workpiece.
このような液滴吐出装置においては、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液滴の飛行曲がり等が原因となり、液滴が着弾して得られるドットの位置が、正規の位置からずれを生じることがある。このため、製品の精度を確保するため、ドットずれが生じた場合には、これを検出して、吐出タイミングを補正したり、液滴吐出ヘッドのクリーニングやノズル吸引等の回復処理を施す必要がある。 In such a droplet discharge device, the position of a dot obtained by landing of a droplet deviates from a normal position due to a flight curve of the droplet discharged from the nozzle of the droplet discharge head. Sometimes. For this reason, in order to ensure the accuracy of the product, it is necessary to detect the dot deviation when it occurs and correct the ejection timing, or perform recovery processing such as cleaning of the liquid droplet ejection head or nozzle suction. is there.
従来、ドットずれを検出する方法として、ノズルから吐出された液滴の弾道を光学的に検出する方法が提案されている（特許文献１参照）。 Conventionally, a method of optically detecting the trajectory of a droplet discharged from a nozzle has been proposed as a method of detecting dot deviation (see Patent Document 1).
しかしながら、特許文献１の検出方法は、液滴の弾道を光学的手法により液滴のずれを検出するもので、実際に着弾された液滴のドットずれを検出することができないという問題があった。
However, the detection method disclosed in
本発明の目的は、上記の問題を解決するためになされたものであって、容易かつ迅速にドットずれを検出することができるドットずれ検出方法、ドットずれ検出プログラムおよび基準直線取得方法、並びにドットずれ検出装置および液滴吐出装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-described problem, and is a dot deviation detection method, a dot deviation detection program, a reference line acquisition method, and a dot that can detect dot deviation easily and quickly. An object of the present invention is to provide a deviation detection device and a droplet discharge device.
上記課題を解決するために、本発明では、吐出ヘッドのノズルから吐出された液滴が検査ワーク上に着弾して得られたドットの位置ずれを検出するドットずれ検出方法であって、検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、電子画像を画像処理することにより、ドット列の各ドットの位置測定点を取得するドット測定点取得ステップと、各ドットの位置測定点に基づいて第１の直線近似法により、第１の基準直線を取得する第１の基準直線取得ステップと、第１の基準直線と各ドットの位置測定点との距離データを取得する第１回目のずれ量取得ステップと、各ドットの位置測定点のうち、距離データが規定した範囲を超える測定点を排除するデータ排除ステップと、各ドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法により、第２の基準直線を取得する第２の基準直線取得ステップと、第２の基準直線と各ドットの距離データを取得することにより、各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得する第２回目のずれ量取得ステップとを有することを要旨とする。 In order to solve the above-described problem, the present invention provides a dot deviation detection method for detecting a positional deviation of dots obtained by a droplet ejected from a nozzle of a discharge head landing on an inspection work, the inspection work An image acquisition step for acquiring an electronic image of the dot row formed above, a dot measurement point acquisition step for acquiring a position measurement point of each dot of the dot row by performing image processing on the electronic image, and a position of each dot A first reference straight line obtaining step for obtaining a first reference straight line based on the measurement point by a first straight line approximation method, and a first data for obtaining distance data between the first reference straight line and each dot position measurement point. Based on the first deviation amount acquisition step, the data exclusion step of eliminating the measurement points exceeding the range defined by the distance data among the position measurement points of each dot, and the second position measurement point based on the position measurement point of each dot. By acquiring the second reference straight line acquisition step for acquiring the second reference straight line by the straight line approximation method and the distance data between the second reference straight line and each dot, information on the positional deviation amount of each dot is acquired. The gist of the present invention is to have a second deviation amount acquisition step.
これによれば、検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得し、取得した電子画像を画像処置して、各ドットの位置測定点を取得する。これらの測定点に基づいて、第１の直線近似法により測定点における第１の基準直線を取得する。直線近似法としては、最小二乗法を用いることができる。そうして得られた第１の基準直線と各ドットの位置測定点との距離を測定した距離データを取得する（第１回目のずれ量の取得）。さらに、距離データにおいて、予め規定した範囲を超えたドットの位置測定点を排除する。そして、排除して残ったドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法として、例えば、最小二乗法を用いて算出して、第２の基準直線を取得する。第２の基準直線と各ドットの位置測定点との距離を測定した距離データを求めることにより、各ドットの位置ずれに関する情報を取得する（第２回目のずれ量の取得）。従って、本発明では、第１の基準直線により第１回目のずれ量を取得したのちに、予め規定した範囲を超えるデータ（例えば、部分的な偏りを有するデータ）を排除した第２の基準直線から第２回目のずれ量を取得するので、偏りのあるデータの影響を抑え、各ドットに対してほぼ正確なドットずれを検出することができる。 According to this, the electronic image of the dot row formed on the inspection work is acquired, the acquired electronic image is subjected to image processing, and the position measurement point of each dot is acquired. Based on these measurement points, a first reference straight line at the measurement points is obtained by the first linear approximation method. As the linear approximation method, the least square method can be used. Distance data obtained by measuring the distance between the first reference line thus obtained and the position measurement point of each dot is acquired (acquisition of the first shift amount). Further, in the distance data, dot position measurement points that exceed a predetermined range are excluded. Then, based on the position measurement points of the dots remaining after removal, a second reference straight line is obtained by calculating, for example, using the least square method as the second straight line approximation method. By obtaining distance data obtained by measuring the distance between the second reference line and the position measurement point of each dot, information regarding the positional deviation of each dot is obtained (second deviation amount acquisition). Therefore, in the present invention, after obtaining the first shift amount by the first reference line, the second reference line excluding data exceeding a predetermined range (for example, data having a partial deviation). Since the second shift amount is acquired from the above, it is possible to suppress the influence of biased data and detect a substantially accurate dot shift for each dot.
本発明のドットずれ検出方法のデータ排除ステップは、第１回目のずれ量取得ステップで得られた距離データの大きい方から、規定した範囲のドットの位置測定点を排除してもよい。 In the data exclusion step of the dot deviation detection method of the present invention, the dot position measurement points in the specified range may be excluded from the larger distance data obtained in the first deviation amount acquisition step.
これによれば、ずれ量の大きい測定点を排除するので、容易に正確なドットずれ検出を行うことができる。 According to this, since a measurement point with a large amount of deviation is excluded, accurate dot deviation detection can be easily performed.
本発明のドットずれ検出方法のデータ排除ステップは、第１回目のずれ量取得ステップで得られた距離データの値に基づいて標準偏差を算出し、規定した範囲の標準偏差値を超えるドットの位置測定点を排除してもよい。 In the data exclusion step of the dot deviation detection method of the present invention, the standard deviation is calculated based on the value of the distance data obtained in the first deviation amount acquisition step, and the dot positions exceeding the standard deviation value in the specified range Measurement points may be eliminated.
これによれば、標準偏差を算出して、ばらつきの大きい測定点を排除するので、容易に正確なドットずれ検出を行うことができる。 According to this, since the standard deviation is calculated and measurement points having large variations are excluded, accurate dot deviation detection can be easily performed.
本発明のドットずれ検出方法のデータ排除ステップは、第１回目のずれ量取得ステップで得られた距離データの大きい方から、規定した範囲のドットの位置測定点を排除する方法と、距離データに基づいて標準偏差を算出し、規定した範囲の標準偏差値を超えるドットの位置測定点を排除する方法と、を組み合わせてドットの位置測定点を排除してもよい。 The data displacement step of the dot displacement detection method of the present invention includes a method for removing the position measurement points of dots within a specified range from the larger distance data obtained in the first displacement amount acquisition step, and distance data. The dot position measurement point may be excluded by combining the method of calculating the standard deviation based on this and eliminating the dot position measurement points exceeding the standard deviation value in the specified range.
これによれば、距離データの大きい方から規定した範囲の測定点を排除する方法と、標準偏差の算出により規定した範囲の測定点を排除する方法とを組み合わせることにより、対象製品に合わせてドットずれ検出を行うことができる。 According to this, by combining the method of eliminating the measurement points in the range defined by the larger distance data and the method of eliminating the measurement points of the range defined by the standard deviation calculation, the dot is matched to the target product. Deviation detection can be performed.
本発明のドットずれ検出方法のデータ排除ステップは、規定した範囲の値を適宜変更しながら、データ排除ステップと第２の基準直線取得ステップを複数回行ってもよい。 In the data exclusion step of the dot deviation detection method of the present invention, the data exclusion step and the second reference line acquisition step may be performed a plurality of times while appropriately changing the value in the specified range.
これによれば、規定した範囲の値を適宜変更しながら第２の基準直線を取得していくので、第２の基準直線は、偏りのあるデータに対する影響が抑えられ、より正確なドットずれ検出を行うことができる。 According to this, since the second reference line is acquired while appropriately changing the value in the specified range, the second reference line can suppress the influence on the biased data and can detect the dot displacement more accurately. It can be performed.
上記のドットずれ検出方法を用いて、ドットずれ検出を実行するドットずれ検出プログラムであって、検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を記憶する画像記憶手段と、電子画像を画像処理することにより、ドット列の各ドットの位置測定点を演算するドット測定点演算手段と、各ドットの位置測定点に基づいて第１の直線近似法により、第１の基準直線を演算する第１の基準直線演算手段と、第１の基準直線と前記各ドットの位置測定点との距離データを演算する１回目のずれ量演算手段と、各ドットの位置測定点のうち、距離データが規定した範囲を超える測定点を排除するデータ排除演算手段と、各ドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法により、第２の基準直線を演算する第２の基準直線演算手段と、第２の基準直線と各ドットの距離データを演算することにより、各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得する第２回目のずれ量演算手段とを有することを要旨とする。 A dot deviation detection program for detecting dot deviation using the dot deviation detection method described above, an image storage means for storing an electronic image of a dot row formed on an inspection work, and image processing of the electronic image Accordingly, the dot measurement point calculation means for calculating the position measurement point of each dot in the dot row, and the first reference line that calculates the first reference straight line by the first linear approximation method based on the position measurement point of each dot. Reference line calculation means, first deviation amount calculation means for calculating distance data between the first reference line and each dot position measurement point, and a range defined by the distance data among the position measurement points of each dot Data excluding calculation means for excluding measurement points exceeding the second, second reference straight line calculating means for calculating a second reference straight line by a second straight line approximation method based on the position measurement points of each dot, Standard And by calculating the distance data of each dot, and summarized in that a second round of displacement amount calculation means for obtaining information about a position shift amount of each dot.
これによれば、検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を記憶する。記憶した電子画像を読み出して画像処置を行い、各ドットの位置測定点を演算する。演算したこれらの位置測定点に基づいて、第１の直線近似法として、例えば、最小二乗法によりドットの位置測定点に対する第１の基準直線を演算する。そして、第１の基準直線と各ドットの位置測定点との距離を測定した距離を演算する（第１回目のずれ量の演算）。さらに、距離データにおいて、予め規定した範囲を超えたドットの位置測定点を排除する。次に、排除して残ったドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法として、例えば、最小二乗法により第２の基準直線を演算する。そして、第２の基準直線と各ドットの位置測定点との距離を演算する（第２回目のずれ量の演算）ことにより、各ドットの位置ずれに関する情報を取得する。従って、プログラムの実行をすることにより、容易に各ドットに対してほぼ正確なドットずれを検出することができる。 According to this, the electronic image of the dot row formed on the inspection work is stored. The stored electronic image is read out, image processing is performed, and the position measurement point of each dot is calculated. Based on these calculated position measurement points, as a first straight line approximation method, for example, a first reference straight line for the dot position measurement points is calculated by the least square method. Then, the distance obtained by measuring the distance between the first reference straight line and the position measurement point of each dot is calculated (first calculation of the shift amount). Further, in the distance data, dot position measurement points that exceed a predetermined range are excluded. Next, as a second straight line approximation method, a second reference straight line is calculated by, for example, the least square method based on the dot position measurement points remaining after removal. Then, by calculating the distance between the second reference straight line and the position measurement point of each dot (the second calculation of the shift amount), information regarding the positional shift of each dot is acquired. Therefore, by executing the program, it is possible to easily detect a substantially accurate dot shift for each dot.
本発明は、吐出ヘッドのノズルから吐出された液滴が検査ワーク上に着弾して得られたドットの位置ずれを検出するために基準直線を取得する基準直線取得方法であって、検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、電子画像を画像処理することにより、ドット列の各ドットの位置測定点を取得するドット測定点取得ステップと、各ドットの位置測定点に基づいて第１の直線近似法により、第１の基準直線を取得する第１の基準直線取得ステップと、第１の基準直線と各ドットの位置測定点との距離データを取得する第１回目のずれ量取得ステップと、各ドットの位置測定点のうち、距離データが規定した範囲を超える測定点を排除するデータ排除ステップと、各ドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法により、第２の基準直線を取得する第２の基準直線取得ステップとを有することを要旨とする。 The present invention relates to a reference straight line acquisition method for acquiring a reference straight line in order to detect a positional deviation of dots obtained by droplets discharged from nozzles of a discharge head landing on an inspection work. An image acquisition step for acquiring an electronic image of the dot row formed on the dot, a dot measurement point acquisition step for acquiring a position measurement point for each dot of the dot row by performing image processing on the electronic image, and a position measurement for each dot A first reference straight line acquisition step for acquiring a first reference straight line based on a point by a first straight line approximation method, and a first data for acquiring distance data between the first reference straight line and each dot position measurement point. A second deviation amount acquisition step, a data exclusion step for eliminating measurement points exceeding the range defined by the distance data among the position measurement points for each dot, and a second straight line based on the position measurement points for each dot By similar methods, and summarized in that a second reference line acquisition step of acquiring second reference line.
これによれば、検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する。取得した電子画像を画像処置して、各ドットの位置測定点を取得する。これらの測定点に基づいて、第１の直線近似法として、例えば、最小二乗法により測定点における第１の基準直線を取得する。そうして得られた第１の基準直線と各ドットの位置測定点との距離を測定した距離データを取得する（第１回目のずれ量の取得）。さらに、距離データにおいて、予め規定した範囲を超えたドットの位置測定点を排除する。そして、排除して残ったドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法として、例えば、最小二乗法を用いて算出し、第２の基準直線を取得する。第２の基準直線と各ドットの位置測定点との距離を測定した距離データを求めることにより、各ドットの位置ずれに関する情報を取得する（第２回目のずれ量の取得）。従って、第１の基準直線に基づいて第１回目のずれ量を取得したのちに、予め規定した範囲を超えるデータ（例えば、部分的な偏りを有するデータ）を排除して、第２の直線近似法を用いて第２の基準直線を取得するので、第２の基準直線は、基準となるべきものとして求めることができる。 According to this, the electronic image of the dot row formed on the inspection work is acquired. The acquired electronic image is subjected to image processing to acquire a position measurement point of each dot. Based on these measurement points, as a first straight line approximation method, for example, the first reference straight line at the measurement points is acquired by the least square method. Distance data obtained by measuring the distance between the first reference line thus obtained and the position measurement point of each dot is acquired (acquisition of the first shift amount). Further, in the distance data, dot position measurement points that exceed a predetermined range are excluded. Then, the second reference straight line is obtained by calculating, for example, using the least square method as the second straight line approximation method based on the position measurement points of the dots remaining after removal. By obtaining distance data obtained by measuring the distance between the second reference line and the position measurement point of each dot, information regarding the positional deviation of each dot is obtained (second deviation amount acquisition). Therefore, after obtaining the first deviation amount based on the first reference straight line, data exceeding a predetermined range (for example, data having a partial bias) is excluded, and the second linear approximation is performed. Since the second reference line is obtained using the method, the second reference line can be obtained as a reference.
本発明は、吐出ヘッドのノズルから吐出された液滴が検査ワーク上に着弾して得られたドットの位置ずれを検出するドットずれ検出装置であって、検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、電子画像を画像処理することにより、ドット列の各ドットの位置測定点を取得するドット測定点取得手段と、各ドットの位置測定点に基づいて第１の直線近似法により、第１の基準直線を取得する第１の基準直線取得手段と、第１の基準直線と各ドットの位置測定点との距離データを取得する第１回目のずれ量取得手段と、各ドットの位置測定点のうち、距離データが規定した範囲を超える測定点を排除するデータ排除手段と、各ドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法により、第２の基準直線を取得する第２の基準直線取得手段と、第２の基準直線と各ドットの距離データを取得することにより、各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得する第２回目のずれ量取得手段とを有することを要旨とする。 The present invention relates to a dot deviation detection device for detecting a positional deviation of dots obtained by the droplets ejected from the nozzles of the ejection head landing on the inspection work, and comprising a dot row formed on the inspection work. An image acquisition unit that acquires an electronic image, a dot measurement point acquisition unit that acquires a position measurement point of each dot of the dot array by performing image processing on the electronic image, and a first based on the position measurement point of each dot A first reference line acquisition unit that acquires a first reference line by a straight line approximation method; a first deviation amount acquisition unit that acquires distance data between the first reference line and a position measurement point of each dot; The data reference means for eliminating the measurement points exceeding the range defined by the distance data among the position measurement points of each dot, and the second reference straight line by the second linear approximation method based on the position measurement points of each dot Second to get The gist of the invention is to include a reference straight line acquisition unit and a second shift amount acquisition unit that acquires information on the positional shift amount of each dot by acquiring distance data of the second reference straight line and each dot. .
これによれば、画像取得手段によって、検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像が取得される。取得された電子画像は画像処置され、各ドットの位置測定点が取得される。これらの測定点に基づいて、第１の直線近似法として、例えば、最小二乗法により測定点における第１の基準直線が取得される。そうして得られた第１の基準直線と各ドットの位置測定点との距離を測定した距離データが取得される（第１回目のずれ量の取得）。さらに、距離データにおいて、予め規定した範囲を超えたドットの位置測定点が排除される。そして、排除して残ったドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法として、例えば、最小二乗法により算出され、第２の基準直線が取得される。第２の基準直線と各ドットの位置測定点との距離を測定した距離データを求めることにより、各ドットの位置ずれに関する情報が取得される（第２回目のずれ量の取得）。従って、本発明では、第１回目のずれ量を取得したのちに、予め規定した範囲を超えるデータ（例えば、部分的な偏りを有するデータ）が排除され、第２の直線近似法を用いて第２回目のずれ量が取得されるので、基準直線の取得に対する偏りの影響を抑え、各ドットに対してほぼ正確なドットずれを検出することができる。 According to this, the electronic image of the dot row formed on the inspection work is acquired by the image acquisition means. The acquired electronic image is subjected to image processing, and a position measurement point of each dot is acquired. Based on these measurement points, as a first straight line approximation method, for example, the first reference straight line at the measurement points is acquired by the least square method. Distance data obtained by measuring the distance between the first reference line thus obtained and the position measurement point of each dot is acquired (acquisition of the first shift amount). Furthermore, in the distance data, dot position measurement points that exceed a predetermined range are excluded. Then, as a second straight line approximation method, for example, by the least square method based on the position measurement points of the dots remaining after removal, a second reference straight line is obtained. By obtaining distance data obtained by measuring the distance between the second reference line and the position measurement point of each dot, information regarding the positional deviation of each dot is obtained (second deviation amount acquisition). Therefore, in the present invention, after the first deviation amount is acquired, data exceeding a predetermined range (for example, data having a partial bias) is excluded, and the second linear approximation method is used. Since the second shift amount is acquired, it is possible to suppress the influence of the bias on the acquisition of the reference straight line and to detect a substantially accurate dot shift for each dot.
本発明の液滴吐出装置は、上記のドットずれ検出装置を備えたことを要旨とする。 The droplet ejection device of the present invention is summarized as including the above-described dot deviation detection device.
これによれば、液滴吐出されたドットのドットずれ検出をほぼ正確に検出するドットずれ検出装置を備えるので、信頼性の高い液滴吐出装置を提供することができる。 According to this, since the dot deviation detecting device that detects the dot deviation of the droplet ejected dot almost accurately is provided, a highly reliable droplet ejecting apparatus can be provided.
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。 DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings.
図１は、液滴吐出装置１の斜視図である。図１において、機能液を液滴として吐出するヘッド部２０を有するヘッド機構部２と、ヘッド部２０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク３０等を載置するワーク機構部３と、ヘッド部２０に液滴となる機能液を供給する機能液供給部４と、ヘッド部２０の保守を行うメンテナンス機構部５と、ドット径を撮像するカメラ８を有するカメラ機構部７と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部６等を備えている。
FIG. 1 is a perspective view of the
液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚１１と、支持脚１１の上側に設置された定盤１２を備えている。定盤１２の上側には、ワーク機構部３が定盤１２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３の上方には、定盤１２に固定された２本の支持柱２２で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。さらに、ワーク機構部３の上方であって、常盤１２に固定された２本の支持柱１３で支持されているカメラ機構部７が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤１２の一方の端部には、ヘッド機構部２のヘッド部２０と連通して機能液を供給する機能液供給部４が配置されている。そして、ヘッド機構部２の一方の支持柱２２近傍には、メンテナンス機構部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤１２の下側には、制御部６が備えられている。
The
ヘッド機構部２は、機能液を吐出するヘッド部２０と、ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２１と、ヘッドキャリッジ２１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド２３と、Ｙ軸ガイド２３の側方にＹ軸ガイド２３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ２４等を備えている。
The
カメラ機構部７は、ドット径を撮像するカメラ８と、カメラ８を懸架したカメラキャリッジ９と、カメラキャリッジ９のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド１４と、Ｙ軸ガイド１４の側方にＹ軸ガイド１４と平行に設置されたＹ軸リニアモータ１５等を備えている。
The
ワーク機構部３は、ヘッド機構部２およびカメラ機構部７の下方に位置し、ヘッド機構部２およびカメラ機構部７とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、ワーク３０および検査ワーク３５を載置しているワーク載置台３１と、ワーク載置台３１の移動をガイドするＸ軸ガイド３３と、Ｘ軸ガイド３３の側方にＸ軸ガイド３３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ３４等を備えている。
The
これらの構成により、ヘッド部２０とワーク３０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。同様に、カメラ８と検査ワーク３５とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。
With these configurations, the
最初に、ヘッド部２０の移動について説明する。ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２１は、Ｙ軸ガイド２３に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ２１からＹ軸リニアモータ２４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ２４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ２１がＹ軸ガイド２３に沿って任意の位置に移動する。同様に、ワーク載置台３１に搭載されたワーク３０および検査ワーク３５もＸ軸方向に自在に移動する。
First, the movement of the
このように、ヘッド部２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク３０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク３０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部２０とを相対的に制御することにより、ワーク３０上に描画等を行うことができる。
As described above, the
次に、カメラ８の移動について説明する。カメラ８を懸架したカメラキャリッジ９は、Ｙ軸ガイド１４に移動可能に取り付けられている。図示しないが、カメラキャリッジ９からＹ軸リニアモータ１５側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ１５と係合して駆動力を得ることにより、カメラキャリッジ９がＹ軸ガイド１４に沿って任意の位置に移動する。同様に、ワーク載置台３１に搭載された検査ワーク３５もＸ軸方向に自在に移動する。
Next, the movement of the
このように、カメラ８は、Ｙ軸方向の撮像位置まで移動して停止し、下方にある検査ワーク３５のＸ軸方向の移動に同調して、検査ワーク３５を撮像する構成となっている。Ｘ軸方向に移動する検査ワーク３５と、Ｙ軸方向に移動するカメラ８とを相対的に制御することにより、検査ワーク３５上に形成されたドットを撮像することができる。
As described above, the
次に、ヘッド部２０に機能液を供給する機能液供給部４は、機能液タンク４５と、機能液ポンプ４４と、機能液タンク４５から機能液ポンプ４４を経てヘッド部２０までを接続する流路チューブ４９とを備えている。機能液タンク４５は一個だけでなく複数個備えることも可能である。この場合、複数のタンクは、それぞれ専用の流路チューブおよび機能液ポンプによって、ヘッド部２０へ接続する。これにより、機能の異なる機能液を選択してヘッド部２０へ供給することができる。
Next, the functional liquid supply unit 4 that supplies the functional liquid to the
次に、ヘッド部２０の構成について説明する。図２は、ヘッド部の構成を示し、図２（ａ）は平面図であり、同図（ｂ）はノズル部の平面図である。ヘッド部２０は、図２（ａ）に示すように、互いに同じ構造を有する１２個の吐出ヘッド２６を保持している。また、機能液を吐出するための吐出ヘッド２６は、図２（ｂ）に示すように、それぞれが吐出ヘッド２６の長手方向に延びる２つのノズル列２８を有している。１つのノズル列は、それぞれ１８０個のノズル２７が一列に並んだ列のことである。なお、複数の機能液を使用する場合には、１２個の吐出ヘッド２６に、吐出する機能液を個別に設定する。
Next, the configuration of the
次に、吐出ヘッド２６の構造について説明する。図３は、吐出ヘッド２６の構造を示し、図３（ａ）は一部破断した斜視図であり、同図（ｂ）は要部断面図である。それぞれの吐出ヘッド２６は、振動板６３と、ノズルプレート６４を備えている。振動板６３とノズルプレート６４との間には、機能液タンク４５から孔６７を介して供給される機能液が常に充填される液たまり６５が位置している。また、振動板６３と、ノズルプレート６４との間には、複数の隔壁６１が位置している。そして、振動板６３と、ノズルプレート６４と、１対の隔壁６１とによって囲まれた部分がキャビティ６０である。キャビティ６０はノズル２７に対応して設けられているため、キャビティ６０の数とノズル２７の数とは同じである。キャビティ６０には、１対の隔壁６１間に位置する供給口６６を介して、液たまり６５から機能液が供給される。
Next, the structure of the
振動板６３上には、それぞれのキャビティ６０に対応して振動子６２が取り付けられている。振動子６２は、ピエゾ素子６２ｃと、ピエゾ素子６２ｃを挟む１対の電極６２ａ、６２ｂを有する。この１対の電極６２ａ、６２ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル２７から機能液が液滴６８となって吐出される。ノズル２７の周辺部には、液滴６８の飛行曲がりやノズル２７の孔詰まり等を防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥機能液層６９が設けられている。なお、材料液を吐出させるために、振動子６２の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、これは電気熱変換素子による材料液の熱膨張を利用して、材料液を吐出する構成である。
On the
図１に示すように、メンテナンス機構部５は、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、およびフラッシングユニット５８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ５１と、メンテキャリッジ５１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド５２と、メンテキャリッジ５１と一体の螺合部５５と、螺合部５５が螺合するボールねじ５４と、ボールねじ５４を回転させるメンテモータ５３とを備えている。これにより、メンテモータ５３が正逆回転すると、ボールねじ５４が回転し、螺合部５５を介してメンテキャリッジ５１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ５１がヘッド部２０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド２３に沿ってヘッド部２０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
As shown in FIG. 1, the
メンテナンスユニットのキャッピングユニット５６は、液滴吐出装置１が稼動していない時に、ヘッド部２０の１２個の吐出ヘッド２６のそれぞれと密着してキャッピングし、機能液が乾燥してノズル２７が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット５７は、機能液の連続吐出後やキャッピング時にノズル２７に付着した機能液などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット５８は、液滴吐出装置１の稼動開始時やワーク３０への加工前に、ノズル２７から吐出される機能液を受け、ノズル２７の吐出状態を常に良好な状態にする。
The capping
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置１の非稼動時やワーク３０を交換載置している加工待ち時などに、吐出ヘッド２６の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
With these maintenance units, the state of the
次に、以上述べた構成を制御する制御部の構成について説明する。図４は、制御部の構成を示すブロック図である。制御部６は、指令部７０と駆動部８０とを備え、指令部７０は、ＣＰＵ７２，ＲＯＭ７３，ＲＡＭ７４および入出力インターフェース７１からなり、ＣＰＵ７２が入出力インターフェース７１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ７３、ＲＡＭ７４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース７１を介して駆動部８０へ制御信号を出力する。
Next, the configuration of the control unit that controls the configuration described above will be described. FIG. 4 is a block diagram illustrating the configuration of the control unit. The
駆動部８０は、ヘッドドライバ８１、モータドライバ８２、ポンプドライバ８３、メンテドライバ８５、およびカメラドライバ８６から構成されている。モータドライバ８２は、指令部７０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ３４、ヘッド部２０用のＹ軸リニアモータ２４、カメラ８用のＹ軸リニアモータ１５を制御し、ワーク３０および検査ワーク３５、ヘッド部２０およびカメラ８の移動を制御する。さらに、メンテモータ５３を制御してメンテナンス機構部５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバ８１は、吐出ヘッド２６からの機能液の吐出を制御し、モータドライバ８２の制御と同調して、ワーク３０上に所定の描画などが行えるようにする。また、ポンプドライバ８３は、機能液の吐出状態に対応して機能液ポンプ４４を制御し、吐出ヘッド２６への機能液供給を最適に制御する。そして、メンテドライバ８５は、メンテナンス機構部５のキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７およびフラッシングユニット５８を制御する。カメラドライバ８６は、指令部７０の制御信号により、カメラ８を制御する。
The
指令部７０は、ヘッドドライバ８１を介して、複数の振動子６２のそれぞれに互いに独立な信号を与えるように構成されている。このため、ノズル２７から吐出される液滴６８の体積は、ヘッドドライバ８１からの信号に応じてノズル２７毎に制御され可変である。
The
次に、ドットずれ検出装置１６について説明する。図５は、ドットずれ検出装置１６の構成を示すブロック図である。ドットずれ検出装置１６は、ドットを撮像するカメラ８を有する。カメラ８は、制御部６の指令部７０および指令部７０と接続され、カメラドライバ８６よって駆動・制御されている。また、検査ワーク３５が搭載されたワーク載置台を移動させるためのＸ軸リニアモータ３４と、カメラ８を移動させるためのＹ軸リニアモータ１５は、モータドライバ８２を介して指令部７０と接続され、相互に連動して作動するようになっている。
Next, the dot
[ドットずれ検出方法]
次に、ドットずれ検出方法について説明する。図６は、ドットずれ検出方法を示すフローチャートである。図６において、ＲＯＭ７３またはＲＡＭ７４の動作プログラムによって、ＣＰＵ７２が演算処理を行い各動作を実行する。
[Dot shift detection method]
Next, a dot deviation detection method will be described. FIG. 6 is a flowchart showing a dot deviation detection method. In FIG. 6, the
ステップＳ１において、ドットの画像を取得する。まず、図７に示すように、検査ワーク３５上に液滴吐出してドット９０で構成されるドット列を形成する。液滴吐出は、検査ワーク３５がセットされたワーク載置台３１が、Ｘ軸リニアモータ３４の駆動によってヘッド部２０の下方に移動し、ヘッド部２０は、Ｙ軸リニアモータ２４の駆動によって移動して、所定の吐出位置においてノズル２７から機能液を検査ワーク３５に向けて液滴吐出する。検査ワーク３５は、例えば、ガラスマスクやロール紙等を用いることができる。ドット９０の撮像においては、検査ワーク３５が、Ｘ軸リニアモータ３４によってカメラ８の下方まで移動する。画像取得手段としてのカメラ８は、Ｙ軸リニアモータ１５の駆動によって検査ワーク３５の上方に移動する。そして、ドット列が撮像エリアのほぼ中心線を通る位置に合わせる。位置合わせが終わると、カメラ８の焦点を検査ワーク３５上のドット９０に合わせた後に、ドット９０を撮像する。なお、カメラ８をＹ軸方向へ移動させながらドット列全体を撮像することができる。ドット９０の撮像においては、カメラ８を検査ワーク３５に対してＹ軸方向へ移動させながらドット列全体を撮像することもできる。
In step S1, a dot image is acquired. First, as shown in FIG. 7, droplets are ejected onto the
ステップＳ２において、電子画像に取りこんだドットの中心位置測定点を取得する。図８に示すように、カメラ８により撮像された電子画像を画像処理することにより、各ドット９０の中心９１を求め、各ドット９０の中心９１のＸ座標およびＹ座標を決定する。当該座標がドット９０の測定点となる。次いで、カメラ８のレンズ等の光学系の収差（例えば、糸巻き型歪曲収差、樽型歪曲収差等）に基づく歪を補正する処理を施す。この処理は、公知の方法により行うことができるが、例えば、カメラ８を用いて予め規則正しいパターンの被写体を撮像しておき、その撮影画像の歪を正しい座標に変換するための補正量を把握したデータ（データテーブルまたは演算式）を用意しておき、そのデータに照らし合わせて各ドット９０の中心９１の座標を正しい座標に変換することにより行うことができる。このように、カメラ８の収差に基づく歪を補正する処理を施すことにより、ドット９０の位置ずれをより高精度に検出することができる。なお、カメラ８の収差に基づく歪が小さく、誤差が少ないときには、この補正処理を行わなくてもよい。
In step S2, a dot center position measurement point captured in the electronic image is acquired. As shown in FIG. 8, the electronic image captured by the
ステップＳ３において、上記のドット９０の位置測定点に基づいて、図９に示すように、直線近似法として、例えば、最小二乗法により第１の基準直線９２を取得する。第１の基準直線９２は、その方程式をＹ＝ＡＸ＋Ｂとしたとき、定数ＡおよびＢを図９に示す数式によって算出することによって得られる。なお、式中のｎはドット９０における測定点の数である。
In step S3, based on the position measurement point of the
ステップＳ４において、Ｘ軸方向のドットずれ量（第１回目）を取得する。第１の基準直線９２と各ドット９０の中心９１との距離を算出することにより、各ドット９０のＸ軸方向に対するドットずれ量を取得する。図９に示すように、ドット９０のずれ量（Δｘ１〜Δｘ１１）を取得する。しかしながら、ステップＳ４で取得したＸ軸方向ずれ量は、全てのドット９０の測定点を総合して決定されたものであるので、例えば、図８または図９における測定点（ｘ３，ｙ３），（ｘ８，ｙ８），（ｘ１１，ｙ１１）のように部分的にずれ量が偏っている測定点もドットずれ量の測定点に含まれてしまっている。このため、第１の基準直線９２の傾きに影響し、第１回目のＸ軸方向ずれ量は、誤差を含んだずれ量として捉えることができる。
In step S4, the amount of dot deviation in the X-axis direction (first time) is acquired. By calculating the distance between the first reference
ステップＳ５において、排除すべき測定点があるか否かを判断する。上述のように、ドットずれ量を測定したデータ中に偏ったデータが含まれている測定点があるか否かを判断する。測定点の排除判断は、各ドット９０の測定点のうち、Ｘ軸方向ずれ量が規定した範囲を超える測定点を排除する。例えば、Ｘ軸方向ずれ量に基づき、取得したデータを大きい順に並べて、予め用意された規定値に対して、これを満たさないデータの測定点を排除する判断としたり、または、Ｘ軸方向ずれ量に基づき、取得したデータの標準偏差を算出し、予め用意された規定値に対して、これを満たさないデータの測定点を排除すると判断することができる。、あるいは、上記の２通りの排除方法を組み合わせて排除する判断を行うことができる。例えば、上述のようにデータを大きい順に並べて規定値を満たさないデータの測定点を排除した後に、標準偏差を算出して、さらに規定値を満たさないデータの測定点を排除することことができる。 In step S5, it is determined whether there are measurement points to be excluded. As described above, it is determined whether or not there is a measurement point in which the biased data is included in the data in which the dot deviation amount is measured. In the determination of exclusion of measurement points, measurement points of each dot 90 are excluded from measurement points whose X-axis direction deviation amount exceeds a specified range. For example, based on the amount of deviation in the X-axis direction, the acquired data is arranged in descending order, and a determination is made to exclude measurement points of data that do not satisfy the predetermined value, or the amount of deviation in the X-axis direction The standard deviation of the acquired data is calculated based on the above, and it can be determined that the measurement points of the data that do not satisfy the standard value prepared in advance are excluded. Alternatively, it is possible to make a decision to eliminate by combining the above two exclusion methods. For example, after the data are arranged in descending order as described above and the measurement points of the data that do not satisfy the specified value are excluded, the standard deviation can be calculated, and further the measurement points of the data that do not satisfy the specified value can be excluded.
また、予め用意する規定値を適宜変更することもできる。例えば、データを大きい順に並べて、排除する規定値を５〜３０μｍ等の範囲で任意に変更することもできる。また、標準偏差値については、１〜３σ等の範囲で任意に変更することもできる。ステップＳ５において、ＹＥＳの場合は、ステップＳ６に移行し、ＮＯの場合には、ステップＳ９に移行する。 Moreover, the predetermined value prepared beforehand can also be changed suitably. For example, the data can be arranged in descending order, and the specified value to be excluded can be arbitrarily changed within a range of 5 to 30 μm or the like. In addition, the standard deviation value can be arbitrarily changed within a range of 1 to 3σ. If YES in step S5, the process proceeds to step S6. If NO, the process proceeds to step S9.
ステップＳ６において、排除対象とするデータの測定点を排除する。 In step S6, the measurement points of the data to be excluded are excluded.
ステップＳ７において、図１０に示すように最小二乗法により第２の基準直線９３を取得する。第２の基準直線９３は、その方程式をＹ＝ＡＸ＋Ｂとしたとき、定数ＡおよびＢを図１０に示す数式によって算出することによって得られる。なお、式中のｎはドット９０である測定点のうち、ステップＳ６において排除して残った測定点の数である。
In step S7, as shown in FIG. 10, a
ステップＳ８において、Ｙ軸方向ずれ量（第２回目）を取得する。第２の基準直線９３は、前述の通り、部分的に偏ったデータを有する測定点を排除して得られた基準線であるので、全ドット９０が位置ずれなく正確な位置に着弾したと仮定した場合に各ドット９０を通る直線にほぼ一致するので、ドット９０の正規な位置を表す直線であると捉えることができる。よって、第２の基準直線９３と各ドット９０の中心９１との距離を算出することにより、各ドット９０のＸ軸方向に対するドットずれ量を取得することができる。図１０に示すように、図中左から３個目のドット９０のＸ軸方向の位置ずれ量がΔｘ３であり、図中左から８個目のドット９０のＸ軸方向の位置ずれ量がΔｘ８であり、図中最右のドット９０のＸ軸方向の位置ずれ量はΔｘ１１である。さらに、他のドット９０については、Ｙ軸方向の位置ずれがほぼなく、かくして全ての各ドット９０のずれ量を取得する。
In step S8, a Y-axis direction deviation amount (second time) is acquired. As described above, since the
ステップＳ９において、ドットずれ量が規定の範囲内か否かを判断する。判断は、ステップＳ５でＮＯとした場合のドットずれ量（ステップＳ５で取得した第１回目のずれ量）およびステップＳ８で取得した第２回目のドットずれ量が、予め用意された規定値に対して、規定内であるか否かを判断する。ステップＳ９において、ＹＥＳの場合はステップＳ１０へ移行し、ＮＯの場合にはステップＳ１１へ移行する。 In step S9, it is determined whether the dot shift amount is within a specified range. The determination is that the amount of dot deviation when the answer is NO in step S5 (first deviation amount obtained in step S5) and the second dot deviation amount obtained in step S8 are compared to a predetermined value prepared in advance. To determine whether it is within the regulations. If YES in step S9, the process proceeds to step S10. If NO, the process proceeds to step S11.
ステップＳ１０において、液滴吐出作業を開始する。 In step S10, a droplet discharge operation is started.
ステップＳ１１において、クリーニングを実施する。例えば、ノズル２７に異物の付着等による飛行曲がりによるドット位置ずれが発生した場合には、ワイピングを行うことにより、ノズル２７に付着した異物を取除く。また、必要に応じて、フラッシング等のクリーニングを行う。クリーニングが終了すると、再び検査ワーク３５上にドット９０を形成し、ステップＳ１に移行する。
In step S11, cleaning is performed. For example, when a dot position shift occurs due to a flying curve due to adhesion of foreign matter or the like to the
従って、実施形態によれば、以下に示す効果がある。 Therefore, according to the embodiment, the following effects can be obtained.
（１）第１回目のＸ軸方向ずれ量取得ステップにおいて取得したドットずれ量のデータから部分的に偏りのあるデータを排除した後に、再度最小二乗法により算出して第２回目のＸ軸方向ずれ量を取得するので、第２の基準直線９３は、データの偏りの影響が除去された基準線と捉えることができ、第２の基準直線に対してドット９０の距離を測定することにより、ほぼ正確なドットずれを検出することができる。
(1) After excluding partially biased data from the dot deviation data acquired in the first X-axis direction deviation acquisition step, the second X-axis direction is calculated again by the least square method. Since the shift amount is acquired, the
（２）データ排除方法は、容易に変更することができるので、適宜製品の品質に対応して、ドットずれ量を取得することができる。 (2) Since the data exclusion method can be easily changed, it is possible to acquire the amount of dot deviation corresponding to the quality of the product as appropriate.
（３）ドットずれ検出は、液滴の着弾後のドット９０について検出するので、液滴の弾道を見てずれ量を検出する方法に比べ、液滴の着弾後のずれに関する品質状況をより的確に把握することができる。
(3) Since the dot deviation detection is performed for the
本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and the following modifications are given.
（変形例１）本実施形態において、ドットずれ検出は、Ｘ軸方向に対して検出したが、これに限定されない。例えば、図７に示すように、ドット９０のＹ軸方向に対しても検出することができる。このようにすれば、任意のノズル２７に対するドットずれ検出を行うことができる。
(Modification 1) In this embodiment, the dot shift detection is performed in the X-axis direction, but is not limited to this. For example, as shown in FIG. 7, it is possible to detect the
（変形例２）本実施形態において、最小二乗法を用いて１次式で算出したが、これに限定されない。例えば、２次式以上の多項式であってもよい。このようにしても、測定点の偏りを把握することができる。 (Modification 2) In the present embodiment, the calculation is performed by the linear equation using the least square method, but the present invention is not limited to this. For example, it may be a polynomial of quadratic expression or higher. Even in this way, it is possible to grasp the deviation of the measurement points.
（変形例３）図６において、Ｘ軸方向のずれ量取得を２回行ったが、本回数に限定されず、さらにずれ量を取得してもよい。例えば、第２回目のＸ軸方向のずれ量を取得した後に、データ排除ステップを設け、第３の基準直線を取得し、Ｘ軸方向のずれ量を取得する。このようにすれば、ずれがないと仮定したときのドットが並ぶ基準線を、ずれたドットの測定点を排除して、より正確にずれ量を求めることができる。 (Modification 3) In FIG. 6, the amount of deviation in the X-axis direction is acquired twice. However, the number of deviations is not limited to this number, and the amount of deviation may be obtained. For example, after obtaining the second amount of deviation in the X-axis direction, a data exclusion step is provided to obtain a third reference line and obtain the amount of deviation in the X-axis direction. In this way, it is possible to more accurately determine the shift amount by eliminating the measurement point of the shifted dot from the reference line where the dots are arranged when it is assumed that there is no shift.
（変形例４）実施形態において、ドットずれ検出装置１６を液滴吐出装置１に搭載したが、ドットずれ検出装置１６を液滴吐出装置１と別個に構成してもよい。このようにすれば、他の液滴吐出装置にも転用することができるので装置費用を削減することができる。
(Modification 4) In the embodiment, the dot
（変形例５）本実施形態において、画像取得手段としてカメラ８を用いたが、これに限定されない。例えば、リニアセンサ（リニアイメージングセンサ）を用いてもよく、ドット９０をリニアセンサで走査することによって、ドット９０の電子画像を取得することができる。
(Modification 5) In this embodiment, the
１…液滴吐出装置、６…制御部、７…カメラ機構部、８…画像取得手段としてのカメラ、９…カメラキャリッジ、１４…Ｙ軸ガイド、１５…Ｙ軸リニアモータ、１６…ドットずれ検出装置、２０…ヘッド部、２６…吐出ヘッド、２７…ノズル、３５…検査ワーク、５７…ワイピングユニット、５８…フラッシングユニット、６８…液滴、７０…指令部、７２…ドット測定点取得・基準直線取得・ずれ量取得・データ排除の各手段としてのＣＰＵ、７３…記憶手段としてのＲＯＭ、７４…記憶手段としてのＲＡＭ、８１…ヘッドドライバ、８２…モータドライバ、８５…メンテドライバ、８６…カメラドライバ、９０…ドット、９１…ドット中心、９２…第１の基準直線、９３…第２の基準直線。
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列の各ドットの位置測定点を取得するドット測定点取得ステップと、
前記各ドットの位置測定点に基づいて第１の直線近似法により、第１の基準直線を取得する第１の基準直線取得ステップと、
前記第１の基準直線と前記各ドットの位置測定点との距離データを取得する第１回目のずれ量取得ステップと、
前記各ドットの位置測定点のうち、前記距離データが規定した範囲を超える測定点を排除するデータ排除ステップと、
前記各ドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法により、第２の基準直線を取得する第２の基準直線取得ステップと、
前記第２の基準直線と前記各ドットの距離データを取得することにより、前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得する第２回目のずれ量取得ステップと、を有することを特徴とするドットずれ検出方法。 A dot deviation detection method for detecting a positional deviation of dots obtained by droplets ejected from nozzles of an ejection head landing on an inspection work,
An image acquisition step of acquiring an electronic image of a dot row formed on the inspection work;
Dot measurement point acquisition step of acquiring the position measurement point of each dot of the dot row by image processing the electronic image,
A first reference straight line acquisition step of acquiring a first reference straight line by a first straight line approximation method based on the position measurement point of each dot;
A first shift amount acquisition step of acquiring distance data between the first reference straight line and the position measurement point of each dot;
A data exclusion step of eliminating measurement points exceeding the range defined by the distance data among the position measurement points of the dots,
A second reference line acquisition step of acquiring a second reference line by a second straight line approximation method based on the position measurement points of the dots;
A second shift amount acquisition step of acquiring information about a positional shift amount of each dot by acquiring distance data between the second reference line and each dot; Detection method.
前記データ排除ステップは、前記第１回目のずれ量取得ステップで得られた前記距離データの大きい方から、規定した範囲の前記ドットの位置測定点を排除することを特徴とするドットずれ検出方法。 The dot deviation detection method according to claim 1,
The dot displacement detection method characterized in that the data exclusion step excludes the dot position measurement points in a specified range from the larger one of the distance data obtained in the first displacement amount acquisition step.
前記データ排除ステップは、前記第１回目のずれ量取得ステップで得られた前記距離データの値に基づいて標準偏差を算出し、規定した範囲の標準偏差値を超える前記ドットの位置測定点を排除することを特徴とするドットずれ検出方法。 The dot deviation detection method according to claim 1,
The data exclusion step calculates a standard deviation based on the value of the distance data obtained in the first deviation amount acquisition step, and excludes the dot position measurement points that exceed the standard deviation value of a specified range. A dot deviation detection method characterized by:
前記データ排除ステップは、前記第１回目のずれ量取得ステップで得られた前記距離データの大きい方から、規定した範囲の前記ドットの位置測定点を排除する方法と、前記距離データに基づいて標準偏差を算出し、規定した範囲の標準偏差値を超える前記ドットの位置測定点を排除する方法と、を組み合わせてドットの位置測定点を排除することを特徴とするドットずれ検出方法。 The dot deviation detection method according to claim 1,
The data excluding step includes a method of excluding the dot position measurement points in a specified range from the larger one of the distance data obtained in the first deviation amount acquiring step, and a standard based on the distance data. A dot deviation detection method comprising: combining a method of calculating a deviation and excluding the dot position measurement points exceeding a standard deviation value within a specified range, and excluding the dot position measurement points.
前記データ排除ステップは、前記規定した範囲の値を適宜変更しながら、前記データ排除ステップと第２の基準直線取得ステップを複数回行うことを特徴とするドットずれ検出方法。 In the dot shift detection method according to any one of claims 1 to 4,
In the data exclusion step, the dot displacement detection method is characterized in that the data exclusion step and the second reference line acquisition step are performed a plurality of times while appropriately changing the value of the specified range.
前記検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を記憶する画像記憶手段と、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列の各ドットの位置測定点を演算するドット測定点演算手段と、
前記各ドットの位置測定点に基づいて第１の直線近似法により、第１の基準直線を演算する第１の基準直線演算手段と、
前記第１の基準直線と前記各ドットの位置測定点との距離データを演算する第１回目のずれ量演算手段と、
前記各ドットの位置測定点のうち、前記距離データが規定した範囲を超える測定点を排除するデータ排除演算手段と、
前記各ドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法により、第２の基準直線を演算する第２の基準直線演算手段と、
前記第２の基準直線と前記各ドットの距離データを演算することにより、前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得する第２回目のずれ量演算手段と、を有することを特徴とするドットずれ検出プログラム。 A dot deviation detection program for performing dot deviation detection using the dot deviation detection method according to any one of claims 1 to 5,
Image storage means for storing an electronic image of a dot row formed on the inspection work;
Dot measurement point calculation means for calculating the position measurement point of each dot of the dot row by image processing the electronic image;
First reference straight line calculation means for calculating a first reference straight line by a first straight line approximation method based on the position measurement points of the dots;
A first deviation amount calculation means for calculating distance data between the first reference straight line and the position measurement point of each dot;
Among the position measurement points of each dot, data exclusion calculation means for eliminating measurement points exceeding the range defined by the distance data;
A second reference straight line calculating means for calculating a second reference straight line by a second straight line approximation method based on the position measurement point of each dot;
And a second deviation amount calculating means for obtaining information on a positional deviation amount of each dot by calculating distance data between the second reference line and each dot. Detection program.
前記検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得ステップと、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列の各ドットの位置測定点を取得するドット測定点取得ステップと、
前記各ドットの位置測定点に基づいて第１の直線近似法により、第１の基準直線を取得する第１の基準直線取得ステップと、
前記第１の基準直線と前記各ドットの位置測定点との距離データを取得する第１回目のずれ量取得ステップと、
前記各ドットの位置測定点のうち、前記距離データが規定した範囲を超える測定点を排除するデータ排除ステップと、
前記各ドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法により、第２の基準直線を取得する第２の基準直線取得ステップと、を有することを特徴とする基準直線取得方法。 A reference straight line acquisition method for acquiring a reference straight line in order to detect a positional deviation of dots obtained by droplets discharged from nozzles of a discharge head landing on an inspection work,
An image acquisition step of acquiring an electronic image of a dot row formed on the inspection work;
Dot measurement point acquisition step of acquiring the position measurement point of each dot of the dot row by image processing the electronic image,
A first reference straight line acquisition step of acquiring a first reference straight line by a first straight line approximation method based on the position measurement point of each dot;
A first shift amount acquisition step of acquiring distance data between the first reference straight line and the position measurement point of each dot;
A data exclusion step of eliminating measurement points exceeding the range defined by the distance data among the position measurement points of the dots,
And a second reference straight line acquisition step of acquiring a second reference straight line by a second straight line approximation method based on the position measurement points of the dots.
前記検査ワーク上に形成されたドット列の電子画像を取得する画像取得手段と、
前記電子画像を画像処理することにより、前記ドット列の各ドットの位置測定点を取得するドット測定点取得手段と、
前記各ドットの位置測定点に基づいて第１の直線近似法により、第１の基準直線を取得する第１の基準直線取得手段と、
前記第１の基準直線と前記各ドットの位置測定点との距離データを取得する１回目のずれ量取得手段と、
前記各ドットの位置測定点のうち、前記距離データが規定した範囲を超える測定点を排除するデータ排除手段と、
前記各ドットの位置測定点に基づいて第２の直線近似法により、第２の基準直線を取得する第２の基準直線取得手段と、
前記第２の基準直線と前記各ドットの距離データを取得することにより、前記各ドットの位置ずれ量に関する情報を取得する第２回目のずれ量取得手段と、を有することを特徴とするドットずれ検出装置。 A dot deviation detection device for detecting a positional deviation of a dot obtained by landing a droplet discharged from a nozzle of an ejection head on an inspection work,
Image acquisition means for acquiring an electronic image of a dot row formed on the inspection work;
Dot measurement point acquisition means for acquiring a position measurement point of each dot of the dot row by image processing the electronic image;
First reference straight line acquisition means for acquiring a first reference straight line by a first straight line approximation method based on the position measurement point of each dot;
First-time deviation amount acquisition means for acquiring distance data between the first reference straight line and the position measurement point of each dot;
Among the position measurement points of each dot, data exclusion means for eliminating measurement points exceeding the range defined by the distance data;
Second reference straight line acquisition means for acquiring a second reference straight line by a second straight line approximation method based on the position measurement point of each dot;
A second shift amount acquisition unit configured to acquire information about a positional shift amount of each dot by acquiring distance data between the second reference straight line and each dot; Detection device.
A droplet discharge device comprising the dot deviation detection device according to claim 8.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005105757A JP2006284406A (en) | 2005-04-01 | 2005-04-01 | Dot displacement detection method, dot displacement detection program, reference line acquisition method, dot displacement detection device, and droplet discharge device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005105757A JP2006284406A (en) | 2005-04-01 | 2005-04-01 | Dot displacement detection method, dot displacement detection program, reference line acquisition method, dot displacement detection device, and droplet discharge device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006284406A true JP2006284406A (en) | 2006-10-19 |
Family
ID=37406484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005105757A Withdrawn JP2006284406A (en) | 2005-04-01 | 2005-04-01 | Dot displacement detection method, dot displacement detection program, reference line acquisition method, dot displacement detection device, and droplet discharge device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006284406A (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008155630A (en) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Palo Alto Research Center Inc | Method for printing at high spot arrangement accuracy |
| JP2009018580A (en) * | 2007-06-14 | 2009-01-29 | Fujifilm Corp | Dot measuring method, apparatus, and program |
| JP2009096199A (en) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Xerox Corp | Method for proofreading liquid droplet mass based on liquid droplet position feedback |
| CN101837682A (en) * | 2009-03-19 | 2010-09-22 | 精工爱普生株式会社 | Drop is discharged inspection method, testing fixture and the droplet discharge apparatus of head |
| JP2011163802A (en) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | Inspection method |
| JP2012166385A (en) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Canon Inc | Inkjet recording apparatus and method for adjusting the same |
| JP2015116701A (en) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | キヤノン株式会社 | Inspection device and inspection method for inkjet recording head |
| CN116379926A (en) * | 2023-05-31 | 2023-07-04 | 中国铁建电气化局集团第五工程有限公司 | Trackless measurement method and system for contact net of circular shield tunnel and electronic equipment |
-
2005
- 2005-04-01 JP JP2005105757A patent/JP2006284406A/en not_active Withdrawn
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008155630A (en) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Palo Alto Research Center Inc | Method for printing at high spot arrangement accuracy |
| KR101428497B1 (en) * | 2006-12-22 | 2014-08-11 | 팔로 알토 리서치 센터 인코포레이티드 | Method of printing with high spot placement accuracy |
| JP2009018580A (en) * | 2007-06-14 | 2009-01-29 | Fujifilm Corp | Dot measuring method, apparatus, and program |
| US7854488B2 (en) | 2007-06-14 | 2010-12-21 | Fujifilm Corporation | Dot measurement method and apparatus |
| JP2009096199A (en) * | 2007-10-15 | 2009-05-07 | Xerox Corp | Method for proofreading liquid droplet mass based on liquid droplet position feedback |
| CN101837682A (en) * | 2009-03-19 | 2010-09-22 | 精工爱普生株式会社 | Drop is discharged inspection method, testing fixture and the droplet discharge apparatus of head |
| JP2011163802A (en) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | Inspection method |
| JP2012166385A (en) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Canon Inc | Inkjet recording apparatus and method for adjusting the same |
| JP2015116701A (en) * | 2013-12-17 | 2015-06-25 | キヤノン株式会社 | Inspection device and inspection method for inkjet recording head |
| CN116379926A (en) * | 2023-05-31 | 2023-07-04 | 中国铁建电气化局集团第五工程有限公司 | Trackless measurement method and system for contact net of circular shield tunnel and electronic equipment |
| CN116379926B (en) * | 2023-05-31 | 2023-08-25 | 中国铁建电气化局集团第五工程有限公司 | Trackless measurement method and system for contact net of circular shield tunnel and electronic equipment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2006284406A (en) | Dot displacement detection method, dot displacement detection program, reference line acquisition method, dot displacement detection device, and droplet discharge device | |
| KR100990001B1 (en) | Method for discharging droplets and droplet discharge apparatus | |
| JP2007256449A (en) | Droplet jetting inspecting device, droplet jetting device, and manufacturing method for coating body | |
| JP2005119139A (en) | Method and device for measuring discharge amount of functional liquid droplet jet head, method of controlling driving of functional liquid droplet jet head, liquid droplet jet device, method of manufacturing electrooptical device, electrooptical device, and electronic device | |
| JP2006281116A (en) | Dot quality detection method, dot quality detecting apparatus and liquid droplet ejecting apparatus | |
| JP2009239155A (en) | Positioning device and controlling method of positioning device | |
| JP4529755B2 (en) | Dot diameter correction coefficient acquisition method, dot diameter measurement method, dot diameter abnormality detection method, dot diameter measurement device, dot diameter abnormality detection device, and droplet discharge device | |
| JP5463653B2 (en) | Discharge pattern data correction method for liquid drop discharge device and liquid drop discharge device | |
| JP5131450B2 (en) | Droplet discharge amount adjusting method and pattern forming apparatus | |
| JP2011131156A (en) | Method for correcting drawing data of drawing data correction device, drawing data correction device and liquid droplet discharge device equipped with drawing data correction device | |
| JP2005238787A (en) | Ink ejection amount measuring method, and ink ejection amount control method and ink-jet device using the same | |
| JP5218325B2 (en) | Method for measuring discharge weight of droplet discharge device and droplet discharge device | |
| JP4228910B2 (en) | Functional droplet discharge inspection method, functional droplet discharge inspection device, and droplet discharge device equipped with the same | |
| JP2000229409A (en) | Method and system for measuring liquid drop ejection characteristics | |
| KR102256058B1 (en) | Apparatus and method for printing substrate | |
| US11878509B2 (en) | Liquid ejecting apparatus, inspection method, and storage medium | |
| JP5853609B2 (en) | Droplet discharge device | |
| JP2009045547A (en) | Ejection weight measurement method, liquid droplet ejection head maintenance method, liquid droplet ejection apparatus, and liquid droplet ejection method | |
| JP5146294B2 (en) | Droplet discharge head discharge amount measurement method, drive voltage determination method, droplet discharge device, and droplet discharge head discharge amount measurement device | |
| JP2008298690A (en) | Method and system for measuring volume of landing dot | |
| JP5423917B2 (en) | Method for measuring discharge weight of droplet discharge device and droplet discharge device | |
| JP2010099570A (en) | Droplet discharging apparatus | |
| JP2009045546A (en) | Liquid droplet ejection method and liquid droplet ejection apparatus | |
| JP2010142744A (en) | Method of evaluating discharge performance of droplet discharge head, method of deciding maintenance timing of droplet discharge head, method of predicting and deciding service life of droplet discharge head and apparatus for evaluating discharge perormance of droplet discharge head | |
| JP2010143003A (en) | Driving voltage determination method for liquid droplet ejection head, liquid droplet ejection device, driving voltage determination apparatus for the liquid droplet ejection head, and ejection inspection device for carriage unit |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070404 |
|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080603 |