JP5157486B2 - ダイヘッド及びこれを備えたダイコーター - Google Patents
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Description
3 ダイヘッド
15 導入口
16a、16b エア排出口
23 マニホールド
24 第1スリット(スリット)
25 第2スリット(スリット)
22e 上壁面
R レジスト液(塗布液)
Claims (2)
- 塗布液をスリットに供給するマニホールドが長手方向に延びて形成され、前記マニホールドの上端には塗布液を導入する導入口が設けられ、前記マニホールドの下端と連結される前記スリットから塗布液が吐出されるダイヘッドにおいて、
前記マニホールドを形成する上壁面が、前記導入口を下端として前記長手方向に勾配を有し、その上端にはエアを排出するエア排出口が設けられ、
前記導入口が前記マニホールドの長手方向の中央に位置し、前記エア排出口が前記マニホールドの長手方向の両端側にそれぞれ位置し、
前記エア排出口が前記マニホールドの長手方向の端部よりも中央側に寄って位置し、前記マニホールドを形成する上壁面が前記エア排出口から前記端部に向かって下向きの勾配を有し、
前記エア排出口と前記端部との間の前記マニホールドを形成する上壁面の勾配が、前記導入口と前記エア排出口との間の前記マニホールドを形成する上壁面の勾配よりも大きく、
前記長手方向に対して垂直に切断したときの前記マニホールドの断面積が、前記長手方向に亘って同一であることを特徴とするダイヘッド。 - 請求項1に記載のダイヘッドを備えたことを特徴とするダイコーター。
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