JP6244039B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 89
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 83
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 113
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 99
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 63
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 54
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 27
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 230000009969 flowable effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 11
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 77
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 16
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 16
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
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- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/1201—Manufacture or treatment
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- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
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- B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
- B05C13/02—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles for particular articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B05C21/00—Accessories or implements for use in connection with applying liquids or other fluent materials to surfaces, not provided for in groups B05C1/00 - B05C19/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/32—Processes for applying liquids or other fluent materials using means for protecting parts of a surface not to be coated, e.g. using stencils, resists
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
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Description
<1.1. 構成および機能>
図1は、第1実施形態に係る塗布装置1を示す概略平面図である。また、図2は、第1実施形態に係る塗布装置1を示す概略正面図である。なお、図2においては、マスク機構6の図示を省略している。図3は、第1実施形態に係る塗布装置1を示す概略側面図である。
図8は、第1実施形態に係る塗布装置1における塗布処理の流れを示す図である。なお、特に断らない限り、塗布装置1の動作は、制御部10によって制御されるものとする。
図9は、第2実施形態に係るプレート部材61cを示す概略斜視図である。プレート部材61cは、上プレート部71と、下プレート部81とで構成されている。上プレート部71が下プレート部81の上側に載置されることによって、プレート部材61cが構成されている。図10は、第2実施形態に係る上プレート部71の一部を拡大して示す概略平面図である。
5 有機EL塗布機構
6 マスク機構
10 制御部
21 ステージ(保持部)
23 平行移動テーブル
26 ステージ移動機構
50 ノズルユニット
51 ノズル移動機構
52a,52b,52c 塗布ノズル
61,61a,61b,61c プレート部材
611,613 溝(凹部)
612,612a 凸バンク部
614 エッジ溝
62,63 プレート保持部
64 吸引機構
641 吸引口
65 送風機構
651 送風口
66 洗浄液供給部
71,71a,71b 上プレート部
711,711a,711b 貫通孔
712 溝
713 凸バンク部
714 エッジ溝
81,81a,81b 下プレート部
810a,810b 張り出す部分
811,812,813 溝(凹部)
82 側壁部
821 貫通孔
P 基板
Claims (10)
- 基板に流動性材料が塗布されていない非塗布領域を形成する塗布装置であって、
基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記基板の主面に向けて流動性材料を吐出する吐出部と、
前記吐出部を、前記保持部に保持された基板に対して相対的に移動させる移動機構と、
長手方向に延びる凹部を有する1以上のプレート部材と、
前記プレート部材を前記基板と前記吐出部との間の位置に保持するプレート保持部と、
前記プレート部材の表面に吐出された前記流動性材料を吸引する吸引口を有する吸引機構と、
を備え、
前記凹部が、前記プレート部材の表面に形成され、該プレート部材の長手方向であり、前記移動機構による前記吐出部の相対的な移動方向と直交する方向に沿って延び、底面を有する溝である、塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置であって、
前記溝が前記プレート部材の表面に互いに平行に複数、形成されている、塗布装置。 - 請求項2に記載の塗布装置であって、
前記複数の溝のうち、隣り合う2つの前記溝の間に介在する凸バンク部の表面に、撥水性処理が施されている、塗布装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記プレート部材は、
前記溝が複数、形成されている下プレート部と、
前記下プレート部の上部に配されており、前記下プレート部に形成されている前記複数の溝に対応する位置に複数の貫通孔が形成されている上プレート部と、
を含み、
前記下プレート部における、前記上プレート部の長手方向の一方側端部から張り出す部分に、前記吸引機構の前記吸引口が配されている、塗布装置。 - 請求項4に記載の塗布装置であって、
前記上プレート部に、長手方向に沿って延びる複数の溝が形成されており、前記複数の溝の内部に、前記複数の貫通孔が形成されている、塗布装置。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記プレート保持部は、前記基板から浮かせた状態で前記プレート部材を保持する、塗布装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記プレート部材の前記凹部にエアを吹き送る送風機構、
をさらに備える、塗布装置。 - 請求項1から7のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記プレート部材の前記凹部に、洗浄液を供給する洗浄液供給部、
をさらに備える、塗布装置。 - 請求項1から8のいずれか1項に記載の塗布装置であって、
前記流動性材料が、有機EL液、正孔輸送材料または正孔注入材料である、塗布装置。 - 基板に流動性材料が塗布されていない非塗布領域を形成する塗布方法であって、
(a)基板を保持する保持工程と、
(b)長手方向に延びる凹部を有する1以上のプレート部材を、前記基板の上側に配するプレート部材配置工程と、
(c)前記保持工程にて保持された前記基板の主面に向けて吐出部から流動性材料を吐出させつつ、該吐出部を、保持部に保持された基板および前記プレート部材に対して、相対的に移動させる移動工程と、
(d)前記プレート部材の表面に吐出された前記流動性材料を吸引する吸引工程と、
を含み、
前記凹部が、前記プレート部材の表面に形成され、該プレート部の長手方向であり、前記移動機構による前記吐出部の相対的な移動方向と直交する方向に沿って延び、底面を有する溝である、塗布方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014198559 | 2014-09-29 | ||
JP2014198559 | 2014-09-29 | ||
PCT/JP2015/069373 WO2016051896A1 (ja) | 2014-09-29 | 2015-07-06 | 塗布装置および塗布方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016051896A1 JPWO2016051896A1 (ja) | 2017-04-27 |
JP6244039B2 true JP6244039B2 (ja) | 2017-12-06 |
Family
ID=55629949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016551592A Expired - Fee Related JP6244039B2 (ja) | 2014-09-29 | 2015-07-06 | 塗布装置および塗布方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6244039B2 (ja) |
WO (1) | WO2016051896A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114907018A (zh) * | 2016-06-30 | 2022-08-16 | 东京毅力科创株式会社 | 涂敷处理装置、涂敷处理方法和计算机存储介质 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07116579A (ja) * | 1993-10-25 | 1995-05-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板への塗布液塗布装置 |
JP3568838B2 (ja) * | 1999-10-01 | 2004-09-22 | 中外炉工業株式会社 | 塗布装置 |
JP2004050080A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
JP2008293704A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
JP5342282B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2013-11-13 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 塗布装置 |
JP5346656B2 (ja) * | 2009-04-01 | 2013-11-20 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 塗布装置 |
JP2011210531A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Casio Computer Co Ltd | 有機el発光装置の製造方法、プラズマ処理装置及び電子機器 |
-
2015
- 2015-07-06 JP JP2016551592A patent/JP6244039B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2015-07-06 WO PCT/JP2015/069373 patent/WO2016051896A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2016051896A1 (ja) | 2017-04-27 |
WO2016051896A1 (ja) | 2016-04-07 |
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