JP5156870B2 - 照明光学ユニットを設定する方法及び装置 - Google Patents
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Description
(3)
シグマ−所定の設定に対する変動dσ−等強度線(所定のR):
(4)
均一性U:
(5)
x方向及びy方向の極バランスpb:
(6)
(7)
楕円率E:
(8)
極バランス誘導xテレセントリック性:
(9)
全体xテレセントリック性:
(10)
σ:照明角度
σ in:内側の最小照明角度
σ out:外側の最大照明角度
R:瞳半径
Φ1,Φ3:x瞳四分円
Φ2,Φ4:y瞳四分円
Φ=Φ1+Φ2+Φ3+Φ4
Claims (11)
- 設定される照明パラメータが像視野(11c)に結像される物体視野(6c)にわたって予め定められる照明光(4)のビームを案内及び成形するための複数の光学面(45)を含む照明光学ユニット(5)を設定する方法であって、
複数の視野点(x,y)での、かつ複数の照明角度(ξ及びη)に対する照明光学ユニット(5)の強度重み付き照明パラメータの少なくとも1つの実際の値を決定する段階と、
前記少なくとも1つの照明パラメータに対する前記照明光学ユニット(5)の前記光学面(45)のうちの少なくとも1つの変形(D(x’,y’))の影響を決定する段階と、
前記照明パラメータの望ましい値を予め定める段階と、
前記照明パラメータの前記実際の値が予め定められた範囲内で該照明パラメータの前記望ましい値に対応するように、その変形の影響が決定された前記少なくとも1つの光学面(45)の望ましい形状(z(x’,y’))を決定する段階と、
前記光学面(45)を該光学面(45)の実際の形状が前記望ましい形状(z(x’,y’))に対応するように該光学面(45)に対して機械応力を作用する少なくとも1つのアクチュエータ(49)を用いて変形する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 複数の視野点(x,y)での、かつ複数の照明角度(ξ及びη)に対する前記照明光学ユニット(5)の前記強度重み付き照明パラメータの少なくとも前記実際の値を決定する段階は、
複数の視野点(x,y)での照明瞳の強度重み付き歪曲(Δξ,Δη)を決定する段階と、
複数の視野点(x,y)での前記照明瞳内の強度重み付き局所区域変化(δA/A)を決定する段階と、
を含み、
前記少なくとも1つの照明パラメータに対する前記照明光学ユニット(5)の前記光学面(45)のうちの少なくとも1つの前記変形(D(x’,y’))の前記影響を決定する段階に対して、
前記強度重み付き歪曲(Δξ,Δη)及び/又は前記強度重み付き局所区域変化(δA/A)に対する前記光学面(45)の前記変形(D(x’,y’))の前記影響を決定する段階、
が実施される、
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 複数の視野点(x,y)での前記照明光学ユニット(5)の強度重み付き照明パラメータの少なくとも1つの実際の値を決定する段階は、視野平面(6,11,13)における及び/又は瞳平面(8,9,29)における前記照明光(4)の波面のシミュレーション及び/又は測定を含む、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の方法。 - 前記決定処理中に、前記波面は、直交関数セットの展開として記述される、
ことを特徴とする請求項3に記載の方法。 - 前記決定処理中に、前記関数セットの個々の関数がターゲット値に設定される、
ことを特徴とする請求項4に記載の方法。 - 設定される照明パラメータが像視野(11c)に結像される物体視野(6c)にわたって予め定められる照明光(4)のビームを案内及び成形するための複数の光学面(45)を含む照明光学ユニット(5)を設定するための装置(41a)であって、
複数の視野点(x,y)での、かつ複数の照明角度(ξ及びη)に対する照明光学ユニット(5)の強度重み付き照明パラメータの少なくとも1つの実際の値を決定し、
前記少なくとも1つの照明パラメータに対する前記照明光学ユニット(5)の光学面(45)のうちの少なくとも1つの変形(D(x’,y’))の影響を決定し、
前記照明パラメータの望ましい値を予め定め、
前記照明パラメータの前記実際の値が予め定められた範囲内で該照明パラメータの前記望ましい値に対応するように、その変形の影響が決定された前記少なくとも1つの光学面(45)の望ましい形状(z(x’,y’))を決定する、
ための決定及び事前規定デバイス(54)を含み、
前記光学面(45)の実際の形状が前記望ましい形状(z(x’,y’))に対応するように該光学面(45)を変形する目的で該光学面(45)に対して機械応力を作用する少なくとも1つのアクチュエータ(49)を含む変形デバイス(44)を含む、
ことを特徴とする装置(41a)。 - 前記変形デバイス(44)は、前記光学面(45)を変形するための複数のアクチュエータ(49)を有する、
ことを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 像視野(11c)に結像される物体視野(6c)を照明するための照明光学ユニット(5)であって、
請求項6又は請求項7に記載の設定装置(41a)、
を含むことを特徴とする照明光学ユニット(5)。 - 請求項8に記載の照明光学ユニットを含み、
物体視野(6c)を像視野(11c)に結像するための投影光学ユニットを含む、
ことを特徴とする光学系。 - 投影リソグラフィのための投影露光装置であって、
請求項9に記載の光学系を含み、
照明光(4)を発生させるための放射線源(3)を含み、
結像される構造を有するレチクル(6a)を物体視野(6c)に保持するためのレチクルホルダ(6b)を含み、
ウェーハ(11a)を像視野(11c)に保持するためのウェーハホルダ(11b)を含む、
ことを特徴とする投影露光装置。 - パターン化構成要素を製造する方法であって、
感光材料から構成された層が少なくとも部分的に付加された基板又はウェーハ(11a)を準備する段階と、
結像される構造を有するレチクル(6a)を準備する段階と、
請求項10に記載の投影露光装置(1)を準備する段階と、
前記投影露光装置(1)を用いて前記レチクル(6a)の少なくとも一部を前記基板(11a)の前記層のある一定の領域上に投影する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
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