JP5151276B2 - 搬送システム - Google Patents

Description

本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等を搬送する搬送車を備えた搬送システムの技術分野に関する。

この種の搬送システムとして、天井に敷設された軌道上を走行する懸垂式の搬送車（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transfer）によって被搬送物を搬送するものがある。そして、上述したような搬送システムにおいては、軌道の真下以外に設置された被搬送物の移載（以下、適宜「横移載」と称する）を可能とするものがある。

例えば特許文献１では、搬送車の下部に水平面で運動可能な移載手段を設けることにより、横移載を可能とする技術が開示されている。また特許文献２では、搬送車の側方に天井バッファを設け、昇降台を天井バッファ上まで移動することで横移載を可能とする技術が開示されている。更に特許文献３では、軌道の側方に物品載置台を設けることで横移載を可能とする技術が開示されている。

特開平１１−１８０５０５号公報 特開２００５−２０６３７１号公報 特開２００６−２８２３０３号公報

しかしながら、上述したような横移載を行う際には、搬送車の側方に被搬送物が移載されることとなるため、重心が移動して搬送車が傾いてしまうおそれがある。搬送車が傾いてしまうと、搬送車が正常に走行できなくなる他、例えば被搬送物が衝撃によって破損或いは故障してしまうおそれがあるという技術的問題点がある。また、載置部が本体部に対し昇降可能である場合には、本体部の傾きによって載置部の位置が大きく変化し、被搬送物を被搬送物台等に移載する際の位置合わせ等が困難となってしまうという技術的問題点がある。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを防止可能な搬送システムを提供することを課題とする。

本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、天井に敷設された軌道部と、該軌道部を走行する走行部と、該走行部に吊り下がる形で取り付けられた本体部及び該本体部から前記軌道部の側方に移動して被搬送物を載置可能である載置部を有する搬送部と、前記軌道部に対向する前記本体部の面における、前記載置部が側方に移動することによって前記搬送部の重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りに設けられており、前記軌道部に向かって移動可能なアウトリガ部と、前記載置部が側方に移動する際に、前記軌道部に当接するように前記アウトリガ部を移動させるアウトリガ駆動手段とを備える。

本発明に係る搬送システムによれば、その動作時に、先ず天井に敷設された軌道部を走行部が走行することで、搬送部による被搬送物の搬送が行われる。搬送部は、走行部に吊釣り下がる形で取り付けられた本体部及び軌道部の側方に伸長して被搬送物を載置可能である載置部を有しており、軌道部の側方に設置された被搬送物を載置して搬送することが可能である。尚、ここでの「側方に伸長」とは、典型的には水平方向であるが、厳密な水平方向を意味するものではなく、軌道部から側方に外れる限り、斜め下方や斜め上方への伸長であってもよい。即ち、載置部は、典型的である水平に伸長しての横移載を行ってもよいし、変則的である斜めに伸長しての横移載を行ってもよい。また、載置部は伸長せずに載置することも可能である。

ここで特に、上述した横移載を行う場合には、載置部が側方に伸長することによって搬送部の重心が移動する。このため、走行部に吊り下がる形で取り付けられた搬送部は、重心が移動した方向に傾く。更に、伸長した載置部に被搬送物が載置されることで、より傾きは大きくなる。或いは、実際には傾かなくても、傾こうとする方向に力（言い換えれば、モーメント或いはトルク）が働いて、加重の均衡がくずれたり、装置の歪みや軋みの原因となる。

仮に、搬送部が傾いたままで動作を行ったとすると、例えば本体部と軌道部とが接触することで、正常な走行が妨げられたり、衝撃等によって被搬送物が破損或いは故障してしまうおそれがある。しかも、横移載を行ったままの状態で走行することも、搬送システムの初期設定（例えば、ティーチング）や調整の際における、載置部の位置合わせ若しくは位置調整又は角度合わせや角度調整の際に、必須である又は望まれるところである。

しかるに本発明では特に、軌道部に対向する本体の面における、重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りにアウトリガ部が設けられている。尚、載置部が複数方向に伸長可能である場合には、重心が移動する方向が複数存在することとなるため、アウトリガ部が複数設けられてもよい。アウトリガ部は前記軌道部に向かって移動可能であり、載置部が伸長する際に、アウトリガ駆動手段によって、軌道部に当接するように移動させられる。典型的には、アウトリガ部が鉛直方向上向きに移動させられることによって、軌道部の下面に当接する。

アウトリガ部が軌道部に当接することで、アウトリガ部が軌道部及び本体部夫々を支える状態となり、軌道部及び本体部が互いに接触してしまうことを防止する。アウトリガ部が軌道部に当接することで生じる抗力或いは反力によって、横移載の重心移動により発生する力（言い換えれば、モーメント或いはトルク）との均衡を保つことが可能となる訳である。よって、搬送部が重心の移動によって傾くことを防止することが可能となる。尚、アウトリガ部は、より縁寄りに設けられる方がよいが、伸長によって移動した重心よりも縁に近い位置であれば、上述した効果を得ることが可能である。

以上説明したように、本発明に係る搬送システムによれば、載置部が伸長した際にアウトリガ部が軌道部と当接するように移動させられるため、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを防止することが可能である。

本発明の搬送システムの一態様では、前記載置部は、前記本体部に対して昇降可能である。

この態様によれば、例えば載置部には昇降ベルト等が設けられており、本体部に対して昇降可能とされている。即ち、本体部と異なる高さにある被搬送物を把持したり、本体部と異なる高さにある被搬送物台等に被搬送物を移載することが可能である。

仮に、載置部が本体部から降下されている際に本体部が傾斜すると、載置部の位置も大きく変化することとなり、載置部と被搬送物との互いの位置、或いは被搬送物と被搬送物台との互いの位置を合わせることが著しく困難となるおそれがある。

しかるに本態様では特に、アウトリガ部によって、本体部が傾いてしまうことを防止することが可能である。よって、載置部が伸長して降下されている場合であっても、載置部の位置が大きく変化してしまうことがない。従って、被搬送物を確実に把持する、或いは確実に被搬送物台に移載することが可能である。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、ローラである。

この態様によれば、アウトリガ駆動部によって移動されたアウトリガ部が軌道部と接触する部分はローラであり、好ましくは走行方向に転動可能に取り付けられることによって、軌道部上において回転することで、接触した状態であっても走行部の走行を妨げない。このため、載置部を伸長している場合に、アウトリガ部で本体部の傾きを防止しつつ走行することが可能となる。このような効果は、例えば被搬送物を載置する際の走行部の停止位置等の教示（所謂、ティーチング）を行う際に顕著に発揮される。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、弾性体を含んでいる。

この態様によれば、アウトリガ駆動部によって移動されたアウトリガ部が軌道部と接触する部分は弾性体を含んでおり、軌道部と本体部とが接触することによる衝撃や傷を防止する。弾性体は、例えばウレタンゴムやシリコンゴム等であり、柔軟性、耐摩耗性、潤滑性等を考慮した上で材質を決定することによって、上述した効果をより高めることが可能である。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、偏心シャフトに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記偏心シャフトを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させる。

この態様によれば、アウトリガ部は、偏心シャフトに接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、偏心シャフトが回転させられることで、アウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、ピニオンと噛み合わされたラックに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記ピニオンを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させる。

この態様によれば、アウトリガ部は、ピニオンと噛み合わされたラックと接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、ピニオンが回転させられることでラックが駆動し、ラックに接続されたアウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、アクチュエータに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記アクチュエータを制御することで、前記アウトリガ部を移動させる。

この態様によれば、アウトリガ部は、例えば電動式、電磁気式、油圧式、空圧式、機械式などのアクチュエータに接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、アクチュエータが制御されることで、アウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、カムと噛み合わされており、前記アウトリガ駆動手段は、前記カムを制御することで、前記アウトリガ部を移動させる。

この態様によれば、アウトリガ部はカムと噛み合わされている。そして、アウトリガ駆動手段がカムを回転させることにより、アウトリガ部が軌道部に接触するように移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部が前記軌道部に接触したことを検出する接触検出手段を更に備える。

この態様によれば、アウトリガ部が軌道部に当接するように移動された際に、接触検出手段によって、アウトリガ部が軌道部に接触したことが検出される。即ち、アウトリガ部によって、本体部が傾いてしまうことを適切に防止できているか否かを知ることが可能である。

アウトリガ部と接触する軌道部は、分岐点や合流点において途切れている場合があり、そのような地点においては、移動されたアウトリガ部が、軌道部に接触できないという事態が発生するおそれがある。このような場合に、本態様では特に、アウトリガ部が軌道部に接触したことが検出されないため、アウトリガ部による傾きを防止するという効果が適切に得られていないことを知ることができる。よって、本体部を移動させる等、アウトリガ部が軌道部に接触するように、何らかの対策を施すことが可能となる。

以上説明したように、本態様に係る搬送システムによれば、移動されたアウトリガ部が軌道部に接触しているか否かを知ることができるため、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを、より好適に防止することが可能である。

上述した接触検出手段を更に備える態様では、前記接触検出手段は、前記アウトリガ部が前記軌道部によって押下されていることを検出するように構成してもよい。

このように構成すれば、アウトリガ部と軌道部との接触の検出は、アウトリガ部が軌道部から押下されていることを検出することによって行われる。

アウトリガ部は軌道部に当接するように移動されるため、接触した際には軌道部から抗力を受けて押下される。従って、押下されていることから、アウトリガ部が軌道部に接触していることを検出することが可能となる。

押下されたことを検出するように構成することで、例えば光学式センサや接触式センサ等を用いた単純な構成によって、アウトリガ部が軌道部に接触したことを検出することが可能となる。

上述した接触検出手段がアウトリガ部の押下を検出する態様では、前記アウトリガ部が移動されていない際に、前記アウトリガ部を前記軌道部に接触しない範囲で前記軌道部に近付けるように付勢する付勢手段を更に備えるように構成してもよい。

このように構成すれば、アウトリガ部がアウトリガ駆動手段によって移動されていない際に、アウトリガ部は軌道部に接触しない範囲で軌道部に近付くように付勢される。付勢手段は、典型的にはバネであり、その復元力によってアウトリガ部を付勢する。

上述したように付勢しておけば、軌道と接触したアウトリガ部は、軌道部から押下されることで、付勢した分だけ押し戻される。よって、軌道部から押下されていることを、より容易に検出することが可能となる。従って、アウトリガ部が軌道と接触していることをより好適に検出することが可能である。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

＜第１実施形態＞
先ず、第１実施形態に係る搬送システムの構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、搬送システムの構成を示す側面図であり、図２は横移載を行う際の搬送システムの構成を示す側面図である。

図１において、第１実施形態に係る搬送システムは、走行ローラ１１５を有する走行部１１０と、本体部１３０、移動部１４０、把持部１５０、昇降ベルト１６０及び落下防止部１７０を有する搬送部１２０と、アウトリガ部２００と、軌道部３００とを備えて構成されている。

軌道部３００は、天井に敷設されており、例えば鉄やステンレス等の金属から構成される。

走行部１１０は、例えば図示しないモータ等によって走行ローラ１１５を回転させることで、軌道部３００内を走行する。

搬送部１２０は、本体部１３０が走行部１１０に吊り下がる形で取り付けられており、本体部１３０の下面に移動部１４０が設けられている。移動部１４０の内部には、把持部１５０が昇降ベルト１６０によって取り付けられている。また移動部１４０の下方には、被搬送物４００の落下を防止する落下防止部１７０が設けられている。尚、移動部１４０、把持部１５０、昇降ベルト１６０及び落下防止部１７０は本発明の「載置部」の一例である。

図２において、搬送部１２０は、移動部１４０を本体部１３０の側方に伸長して、被搬送物４００の横移載を行うことも可能である。また、昇降ベルト１６０の巻出し及び巻取りを行うことで、本体部１３０と高さの異なる位置にある被搬送物４００を移載することも可能である。落下防止部１７０は、被搬送物４００の移載を行う場合には、移載の妨げとならないように縮小させる、或いは移動部１４０の内部に収納させることが可能である。

アウトリガ部２００は、本体部１３０の軌道部３００に対向する面に設けられており、移動されることによって、軌道部３００と接触可能である。また、アウトリガ部２００における軌道部３００と接触する部分は、ローラである。

次に、第１実施形態に係る搬送システムの動作について、引き続き図１及び図２を参照して説明する。尚、ここでは搬送部１２０が被搬送物４００の横移載を行う場合を例にとり説明する。

図１において、第１実施形態に係る搬送システムの動作時には、先ず被搬送物４００を移載していない搬送部１２０が、走行部１１０によって被搬送物４００を移載する位置に移動される。この際、アウトリガ部２００は軌道部３００とは接触していない。また、搬送部１２０の重心は、本体部１３０のほぼ中心の位置となっている。

図２において、搬送部１２０は、先ず移動部１４０を本体部１３０の側方に移動（即ち、伸長）させる。続いて、昇降ベルト１６０を巻出すことによって、把持部１５０を被搬送物台等に設置された被搬送物４００の位置まで降下させ、被搬送物４００を移載する。この際、移動部１４０の伸長と共に、搬送部１２０の重心は伸長と同じ方向（即ち、図における右方向）に移動する。このため、走行部１１０から吊り下げられている搬送部１２０は、移動した重心を中心にして傾こうとする。

ここで本実施形態では特に、移動部１４０が伸長された際には、アウトリガ部２００が鉛直方向上向きに移動されることで軌道部３００と接触する。搬送部１２０は、アウトリガ部２００を介して軌道部３００からの抗力を受けるため、傾かずに移動部１４０を伸長する前の姿勢を維持することが可能となる。従って、搬送部１２０が傾くことによる被搬送物４００の破損或いは故障等を防止することができる。

また、図２に示すように、把持部１５０を降下させて被搬送物を移載する際には特に、搬送部１２０が傾くことによって、昇降ベルト１６０の先端に取り付けられた把持部１５０の位置は大きく変化してしまい、被搬送物４００を把持することが困難となるおそれがある。

更に、被搬送物を把持した後には、被搬送物４００の重みも加わることで更に重心が移動して、搬送部１２０の傾きは大きくなる。把持した被搬送物４００を被搬送物台等に移載する場合は、被搬送物４００の底面と被搬送物台の載置面との位置を互いに平行に近づくようにした方がよいが、搬送部１２０が傾くことで、把持部１５０の位置も大きく変化するので、このような位置合わせの動作が著しく困難となってしまう。

これに対し、本実施形態では、上述したようにアウトリガ部２００によって、搬送部１２０が傾くことを防止することができる。このため、被搬送物４００を把持部１５０によって把持する際に、被搬送物４００と把持部１５０との位置合わせがより正確に行える。また、把持した被搬送物４００を被搬送物台等に移載する場合にも、被搬送物４００と被搬送物台との位置合わせがより正確に行える。従って、被搬送物４００の移載をより確実に行うことが可能となる。

更に、アウトリガ部２００における軌道部３００と接触する部分はローラであるため、アウトリガ部２００が軌道部３００と接触している場合においても、走行部１１０による走行が可能である。よって、横移載を行った状態でも搬送部１２０を傾かせずに走行させることが可能である。このように横移載を行った状態のままで円滑に走行可能であると、ティーチングの際に便利である。

次に、アウトリガ部２００の詳細な構成及び動作について図３及び図４を参照して説明する。ここに図３はアウトリガ部の全体構成を示す上面図であり、図４は、偏心シャフトによるアウトリガ部の駆動を示す側面図である。

図３において、アウトリガ部２００は、ローラ２１０と、シャフト２２０と、ベベルギア２３０と偏心シャフト２４０とを備えて構成されている。尚、シャフト２２０には、本発明の「アウトリガ駆動部」の一例であるモータが接続されている。また、ローラ２１０の表面（即ち、軌道部３００と接触する面）は、ウレタンゴムによって構成されている。

アウトリガ部２００の駆動時には、先ずモータの回転がシャフト２２０に伝えられる。続いて、シャフト２２０の回転方向が、シャフト２２０に接続されたベベルギア２３０によって変換されて、偏心シャフト２４０に伝えられる。そして、偏心シャフト２４０が回転されることによって、偏心シャフト２４０に接続されたローラ２１０が移動され、軌道部３００に接触する。

図４において、駆動前のローラ２１０は、軌道部３００に接触していない状態である。そして、駆動によって偏心シャフト２４０が回転されると、ローラ２１０全体が回転して鉛直方向上向きへと移動することにより、軌道部３００と接触する。軌道部３００に接触したローラ２１０は、ベアリング２１５を軸にして軌道部３００上を回転することが可能である。尚、この際、ローラ２１０の回転軸と偏心軸とが縦に並ぶように（即ち、図に示すように回転軸及び偏心軸を結ぶ直線と軌道部３００における接触面とが垂直になるように）、或いはそれに近付けるようにすることで、ローラ２１０の回転トルクを小さくでき、よりスムーズな回転を実現することが可能となる。

次に、アウトリガ部２００の変形例について図５及び図６を参照して説明する。ここに図５及び図６は夫々、アウトリガ部の変形例を示す側面図である。尚、図５及び図６においては、モータ等の一部の部材を省略して図示してある。

図５において、ローラ２１０は、ピニオン２５０と噛み合わされたラック２６０に接続されている。このように構成する場合、ピニオン２５０を回転させることによって、ラック２６０及びラック２６０に接続されたローラ２１０が図における上下方向に駆動される。

図６において、ローラ２１０は、本発明の「アクチュエータ」の一例である、リニアアクチュエータに接続されており、リニアアクチュエータを制御することによって、ローラ２１０が図における上下方向に駆動される。

このように、アウトリガ部２００の構成は、ローラ２１０を軌道部３００に当接させるような方向に駆動できるものであれば、様々な態様をとることが可能である。

以上説明したように、第１実施形態に係る搬送システムによれば、横移載を行う場合等に、搬送車１００の重心がずれて、搬送車１００が傾くことを防止することが可能である。従って、例えば衝撃に弱い半導体等の基板等をより好適に移載し、搬送することが可能である。

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る搬送システムについて、図７から図１１を参照して説明する。ここに図７は、第２実施形態に係る搬送システムにおける、非接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図であり、図８は、第２実施形態に係る搬送システムにおける、接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図である。また図９は、センサ部の構成を示す側面図であり、図１０及び図１１は、第２実施形態に係る搬送システムの変形例の構成を示す側面図である。尚、図７及び図９、並びに図１０においては、図３から図６において示したようなローラ２１０を駆動するための構成は省略して図示してあり、図１１においては、仕切り板やセンサ部等を省略して図示してある。また、第２実施形態は、上述の第１実施形態と比べて、アウトリガ部の接触を検出するセンサ部を備えている点で異なり、その他の構成及び動作については概ね同様である。このため第２実施形態では、センサ部の構成及び動作について詳細に説明し、その他の構成及び動作については適宜説明を省略する。

図７において、第２実施形態に係る搬送システムにおけるアウトリガ部２００は、ローラ２１０と、駆動板５１０と、基準板５２０と、駆動軸５３０と、本発明の「付勢手段」の一例であるバネ５４０と、仕切り板５５０と、本発明の「接触検出手段」の一例であるセンサ部５６０とを備えて構成されている。

駆動板５１０は、本体部１３０（図１参照）に固定された基準板５２０に駆動軸５３０を介して接続されており、駆動軸５３０回転軸として回転するように駆動可能とされている。尚、駆動板５１０にはローラ２１０及び仕切り板５５０が固定されており、基準板５２０にはセンサ部５６０が固定されている。

バネ５４０は、駆動板５１０及び基準板５２０に接続されており、駆動板５１０を基準板５２０に引付けるように（即ち、図中の矢印方向に）付勢している。

仕切り板５５０は、金属の板等であって、付勢された状態でセンサ部５６０に検出されるように配置されている。

センサ部５６０は、例えば、ローラ２１０が当接していない際の仕切り板５５０の縁部（図７から図９において、下側の縁の付近にある部分）を挟んで対向配置された一対の発光部５６１及び受光部５６２を有する。尚、センサ部５６０は、接触式のセンサ等から構成されてもよい。

図８において、ローラ２１０が移動されて軌道部３００に接触すると、ローラ２１０は軌道部３００によって押下される。ローラ２１０は駆動板５１０に固定されているため、ローラ２１０が押下されるのに伴い、駆動板５１０も押下される。

ここで、駆動板５１０に固定されていた仕切り板５５０の位置も変化し（即ち、図中における仕切り板５５０の右端が、図の上方向に移動する。）、仕切り板５５０はセンサ部５６０によって検出されなくなる。以下に、センサ部５６０による検出について詳細に説明する。

図９において、ローラ２１０が軌道部３００に接触していない場合（図７参照）、仕切り板５５０は、センサ部５６０の発光部５６１と受光部５６２との間に位置する。このため、発光部５６１から出射された光は受光部５６２に到達せず、これによりセンサ部５６０は仕切り板５５０を検出する。

一方、ローラ２１０が軌道部３００に接触している場合（図８参照）、仕切り板５５０は上述したように、図中における上方向に移動する。このため、発光部５６１から出射された光は受光部５６２に到達し、仕切り板５５０はセンサ部５６０によって検出されなくなる。

上述したように、仕切り板５５０が、ローラ２１０が軌道部３００に接触していない場合には検出され、接触している場合には検出されないようにすることで、センサ部５６０によって、間接的にローラ２１０が軌道部３００に接触したことを検出することができる。

図１０において、アウトリガ部２００は、ローラ２１０に接続された仕切り板５５０を、バネ５４０によって基準板５２０側から軌道部３００側に押し上げるように構成してもよい。このような場合、仕切り板５５０はセンサ部５６０によって、ローラ２１０が軌道部３００に接触していない場合には検出されず、接触している場合に検出される。

図１１において、アウトリガ部２００は、ローラ２１０がバネ５４０によって押し下げられるように構成してもよい。例えば、図に示すように本体部１３０（図１参照）等に固定された支持板６１０と、カム６３０に噛み合わされた噛合部６２０との間にバネ５４０が設けられ、ローラ２１０が軌道部３００から遠ざかる側（即ち、図の下側）に付勢されるように構成される。

アウトリガ部２００が駆動される際には、カム６３０が駆動モータ６５０によって、回転軸６４０を軸にして回転される。これによって、図に示すようにローラ２１０が押し上げられ、アウトリガ部２００は軌道部３００と接触するように移動される。

このように、アウトリガ部２００の構成は、ローラ２１０が軌道部３００に接触したことをセンサ部５６０によって検出できるようなものであれば、様々な態様をとることが可能である。

以上説明したように、第２実施形態に係る搬送システムによれば、アウトリガ部２００の接触を検出するセンサ部５６０が備えられているため、アウトリガ部２００による搬送部１２０の傾きを防止するという効果が適切に得られているか否かを検出することができる。従って、より好適に搬送部１２０の傾きを防止することが可能である。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

搬送システムの構成を示す側面図である。 横移載を行う際の搬送システムの構成を示す側面図である。 アウトリガ部の全体構成を示す上面図である。 偏心シャフトによるアウトリガ部の駆動を示す側面図である。 アウトリガ部の変形例を示す側面図（その１）である。 アウトリガ部の変形例を示す側面図（その２）である。 第２実施形態に係る搬送システムにおける、非接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図である。 第２実施形態に係る搬送システムにおける、接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図である。 センサ部の構成を示す側面図である。 第２実施形態に係る搬送システムの変形例の構成を示す側面図（その１）である。 第２実施形態に係る搬送システムの変形例の構成を示す側面図（その２）である。

符号の説明

１１０…走行部、１１５…走行ローラ、１２０…搬送部、１３０…本体部、１４０…移動部、１５０…把持部、１６０…昇降ベルト、１７０…落下防止部、２００…アウトリガ部、２１０…ローラ、２１５…ベアリング、２２０…シャフト、２３０…ベベルギア、２４０…偏心シャフト、２５０…ピニオン、２６０…ラック、２７０…リニアアクチュエータ、３００…軌道部、４００…被搬送物、５１０…駆動板、５２０…基準板、５３０…駆動軸、５４０…バネ、５５０…仕切り板、５６０…センサ部、６１０…支持板、６２０…噛合部、６３０…カム、６４０…回転軸、６５０…駆動モータ

Claims (11)

1. 天井に敷設された軌道部と、
   該軌道部を走行する走行部と、
   該走行部に吊り下がる形で取り付けられた本体部及び該本体部から前記軌道部の側方に移動して被搬送物を載置可能である載置部を有する搬送部と、
   前記軌道部に対向する前記本体部の面における、前記載置部が側方に移動することによって前記搬送部の重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りに設けられており、前記軌道部に向かって移動可能なアウトリガ部と、
   前記載置部が側方に移動する際に、前記軌道部に当接するように前記アウトリガ部を移動させるアウトリガ駆動手段と
   を備えることを特徴とする搬送システム。
2. 前記載置部は、前記本体部に対して昇降可能であることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、ローラであることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
4. 前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、弾性体を含んでいることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送システム。
5. 前記アウトリガ部は、偏心シャフトに接続されており、
   前記アウトリガ駆動手段は、前記偏心シャフトを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。
6. 前記アウトリガ部は、ピニオンと噛み合わされたラックに接続されており、
   前記アウトリガ駆動手段は、前記ピニオンを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。
7. 前記アウトリガ部は、アクチュエータに接続されており、
   前記アウトリガ駆動手段は、前記アクチュエータを制御することで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。
8. 前記アウトリガ部は、カムと噛み合わされており、
   前記アウトリガ駆動手段は、前記カムを制御することで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送システム。
9. 前記アウトリガ部が前記軌道部に接触したことを検出する接触検出手段を更に備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の搬送システム。
10. 前記接触検出手段は、前記アウトリガ部が前記軌道部によって押下されていることを検出することを特徴とする請求項９に記載の搬送システム。
11. 前記アウトリガ部が移動されていない際に、前記アウトリガ部を前記軌道部に接触しない範囲で前記軌道部に近付けるように付勢する付勢手段を更に備えることを特徴とする請求項１０に記載の搬送システム。

Images