JP5151124B2 - Light limiting element and stereolithography system - Google Patents

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本発明は、制限素子、及び光造形システムに関するものである。 The present invention relates to an optical limiting element and an optical modeling system.

二光子吸収現象を利用することにより、極めて高い空間分解能を特徴とする種々の応用が可能となることが知られている。
しかしながら、従来公知の二光子吸収化合物においては、十分な二光子吸収能が得られないため、二光子吸収を誘起する励起光源としては高価な非常に高出力のレーザーが必要である。従って、小型で安価なレーザーを使って、二光子吸収を利用した実用用途を実現するためには、高効率の二光子吸収材料が必須であると共にその増感技術の開発が非常に重要な課題である。
It is known that various applications characterized by extremely high spatial resolution are possible by using the two-photon absorption phenomenon.
However, in the conventionally known two-photon absorption compound, sufficient two-photon absorption ability cannot be obtained, and therefore an expensive and very high-power laser is necessary as an excitation light source for inducing two-photon absorption. Therefore, in order to realize a practical application using two-photon absorption using a small and inexpensive laser, high-efficiency two-photon absorption material is essential and development of sensitization technology is a very important issue It is.

一方、光学的な原理による一光子吸収過程の増感方法として、金属表面に励起される表面プラズモン増強場を用い、微量な物質の光学的な評価測定を行う方法が知られている。
例えば、表面プラズモン顕微鏡として、高屈折率媒体上に成膜された金属薄膜上に配置された極薄い膜(表面プラズモン増強場は、表面から約100nm以下の限られた領域にのみ発生する)を試料として用いる技術が提案されている(例えば、下記特許文献1参照。)。
また、金属微粒子により励起される表面プラズモン増強場を用いる測定方法についての技術提案もなされており、これは、観察測定領域が金属微粒子の周囲100nm以下の領域に限定し、粒子表面に吸着した試料を観察することにより高感度な観測を行うというものである。
On the other hand, as a sensitization method of the one-photon absorption process based on the optical principle, a method of performing optical evaluation measurement of a very small amount of substance using a surface plasmon enhancement field excited on a metal surface is known.
For example, as a surface plasmon microscope, an extremely thin film (surface plasmon enhancement field is generated only in a limited region of about 100 nm or less from the surface) disposed on a metal thin film formed on a high refractive index medium. A technique used as a sample has been proposed (see, for example, Patent Document 1 below).
In addition, a technical proposal for a measurement method using a surface plasmon enhancement field excited by metal fine particles has been made. This is because the observation measurement region is limited to a region of 100 nm or less around the metal fine particles, and the sample adsorbed on the particle surface. By observing, high-sensitivity observation is performed.

また、観察に適用する波長を選択するための技術として、球形コアセル構造による共鳴波長のチューニングについての技術が提案されている(例えば、下記特許文献2参照。)。
更には、マイクロキャビティー中に配置された凝集ナノ粒子により、多光子課程を含む高感度観測法についての開示もなされている(例えば、下記特許文献3参照。)。
Further, as a technique for selecting a wavelength to be applied to observation, a technique for tuning a resonance wavelength by a spherical core cell structure has been proposed (for example, see Patent Document 2 below).
Furthermore, a high-sensitivity observation method including a multiphoton process is disclosed by using aggregated nanoparticles arranged in a microcavity (see, for example, Patent Document 3 below).

一方、近年においては、上述したような金属微粒子に代わる表面ブラズモン増強場の発生手段として、金ナノロッドを利用する技術についての研究もなされている。
この金ナノロッドは、アスペクト比を変えることにより、共鳴波長を変えられるという特性を有しており、530nm程度から近赤外(1100nm程度)までをカバーできる、優れた機能を有する材料である。この金ナノロッドは、界面活性剤を含む溶液中での電気化学的反応によって作製できる(例えば、下記特許文献4参照。)。
On the other hand, in recent years, research has also been conducted on a technique using gold nanorods as means for generating a surface plasmon enhancement field instead of the metal fine particles as described above.
This gold nanorod has a characteristic that the resonance wavelength can be changed by changing the aspect ratio, and is an excellent material capable of covering from about 530 nm to the near infrared (about 1100 nm). This gold nanorod can be produced by an electrochemical reaction in a solution containing a surfactant (see, for example, Patent Document 4 below).

特開2004−156911号公報JP 2004-156911 A 特開2001−513198号公報JP 2001-513198 A 特開2004−530867号公報JP 2004-530867 A 特開2005−68447号公報JP 2005-68447 A

しかしながら、上記特許文献1に開示されている技術においては、薄膜上の増強効果に関し、試料は金属薄膜上の極薄い膜に限定されており、表面プラズモン増強効果が利用可能な領域は、金属薄膜の形状と光学系の配置に依存することになるので、3次元加工等のアプリケーションに応用することが困難であるという問題を有している。   However, in the technique disclosed in Patent Document 1, regarding the enhancement effect on the thin film, the sample is limited to an extremely thin film on the metal thin film, and the region where the surface plasmon enhancement effect can be used is the metal thin film. Therefore, there is a problem that it is difficult to apply to an application such as three-dimensional processing.

また、上記特許文献2に開示されている技術は、金属微粒子等、粒子の周囲に発生する表面プラズモン増強場を利用しているものであるが、上記特許文献1に開示の技術と比較すると、増強場発生の形状の上での自由度は増している。
しかしながら、この技術は、表面プラズモン増強場を発生する粒子は一光子吸収を増感するものであるのに加え、微粒子のみに適用範囲を限定しているため、使用波長選択範囲が狭く、実用上の適用範囲が限定されてしまうという問題を有している。
In addition, the technique disclosed in Patent Document 2 uses a surface plasmon enhancement field generated around the particles, such as metal fine particles, but compared with the technique disclosed in Patent Document 1, The degree of freedom on the shape of the enhancement field generation is increasing.
However, this technology has a narrow range of wavelengths to be used in practical use, because particles that generate a surface plasmon-enhanced field sensitize one-photon absorption and are limited to only fine particles. There is a problem that the application range is limited.

また、上記特許文献3に開示されている技術においては、表面プラズモン増強場の発生手段である凝集ナノ粒子がマイクロキャビティーという微小空間内に配置されており、やはり増強場が限定されるという問題を有している。   Further, in the technique disclosed in Patent Document 3, aggregated nanoparticles, which are means for generating a surface plasmon enhancement field, are arranged in a microspace called a microcavity, and the enhancement field is still limited. have.

また、上記特許文献4に開示されている技術に関しては、波長のチューニングが可能な表面ブラズモン増強場発生手段においては励起波長選択の自由度は向上しているが、励起源と反応物質との配置についての課題を有している。   Further, regarding the technique disclosed in Patent Document 4, the surface plasmon enhancement field generating means capable of tuning the wavelength has improved the degree of freedom in selecting the excitation wavelength, but the arrangement of the excitation source and the reactant is not limited. Have issues about.

そこで本発明においては、上述した従来技術の問題点に鑑み、表面プラズモン増強場を用いた多光子吸収反応の増感機能を具備する複合材料応用としての種デバイスに関する技術の提案を行うこととした。 Therefore, in the present invention, in view of the problems of the prior art described above, to perform the proposed techniques for each species devices as applications of composite materials having a sensitizing function of the multi-photon absorption reaction using surface plasmon enhanced field It was.

請求項1または請求項5の発明においては、金属表面に発生する表面プラズモン増強場を発生させる金属微粒子を含有し、多光子吸収材料は含有しない金属微粒子含有層と、多光子吸収材料を含有し、前記表面プラズモン増強場を発生する金属微粒子を含有しない多光子吸収材料含有層とが、積層された複合部材を具備していることを特徴とする光制限素子または光造形システムを提供する。 In the invention of claim 1 or claim 5, containing the fine metal particles to generate a surface plasmon enhanced field generated on the metal surface, multiphoton absorption material contains the metal fine particle-containing layer containing no, multiphoton absorption material The optical limiting element or the optical modeling system is characterized in that the multi-photon absorbing material-containing layer that does not contain metal fine particles that generate the surface plasmon enhancement field includes a laminated composite member .

請求項2または請求項6の発明においては、前記金属微粒子含有層の金属微粒子が、前記多光子吸収材料含有層との界面に凝集しているもの提供する。 In the invention of claim 2 or claim 6, fine metal particles of the metal fine particle-containing layer, to provide what are agglomerated at the interface between the multi-photon absorption material-containing layer.

請求項3または請求項7の発明においては、前記金属微粒子が、金ナノロッドであることを特徴とするものを提供する。 In the invention of claim 3 or claim 7, wherein the fine metal particles, to provide what is characterized in that a gold nanorod.

請求項4または請求項8の発明においては、前記複合部材が前記金属微粒子含有層と前記多光子吸収材料含有層との積層体を複数具備している多層構成を有しており、前記複数の多光子吸収材料層の、それぞれの多光子吸収感度が、略同一に設定されていることを特徴とするものを提供する。 In the invention of claim 4 or claim 8, the composite member has a multilayer structure including a plurality of laminates of the metal fine particle-containing layer and the multiphoton absorption material-containing layer, of multiphoton absorption material layer, each of the multi-photon absorption sensitivity, can provide those characterized by being set to be substantially the same.

本発明によれば、二光子吸収化合物の増感が実現でき、光子吸収の遷移効率の向上が図られた。
これにより、小型で安価なレーザーを使った実用用途(三次元メモリ、光制限素子、光造形システムなど)を実現可能となった。
また、特に三次元多層光メモリ用途のように記録層(機能層)が多層化された構成の場合、各機能層の特性均一性に優れたデバイスが実現可能となった。
According to the present invention, sensitization of the two-photon absorption compound can be realized, and the transition efficiency of photon absorption is improved.
This made it possible to achieve practical applications (three-dimensional memory, light limiting elements, stereolithography systems, etc.) using small and inexpensive lasers.
In particular, in the case where the recording layer (functional layer) is multi-layered as in the case of a three-dimensional multilayer optical memory, a device with excellent characteristic uniformity of each functional layer can be realized.

本発明においては、金属表面に発生する表面プラズモン増強場を発生させる金属微粒子を含有する金属微粒子含有層と、多光子吸収材料を含有する多光子吸収材料含有層とが積層されている複合部材を提供し、更には、この複合部材を応用した三次元記録媒体、光制限素子、光造形システムを提供する。   In the present invention, a composite member in which a metal fine particle-containing layer containing metal fine particles that generate a surface plasmon enhancement field generated on a metal surface and a multi-photon absorbing material-containing layer containing a multi-photon absorbing material are laminated. Furthermore, a three-dimensional recording medium, an optical limiting element, and an optical modeling system to which this composite member is applied are provided.

本発明において用いる多光子吸収材料の一例である二光子吸収材料とは、非共鳴領域の波長において分子を励起することが可能な材料であり、励起に用いた光子の約2倍のエネルギー準位に、実励起状態が存在する材料である。   A two-photon absorption material, which is an example of a multiphoton absorption material used in the present invention, is a material that can excite molecules at a wavelength in a non-resonant region, and has an energy level that is about twice that of the photons used for excitation. In addition, it is a material in which an actual excited state exists.

ところで、二光子吸収現象とは、三次の非線形光学効果の一種であり、分子が二つのフォトンを同時に吸収して、基底状態から励起状態へ遷移する現象であり、近年、二光子吸収能を有する材料に関する研究が進められている。
しかしながら、このような二光子同時吸収の遷移効率は、一光子吸収に較べて低く、極めて大きなパワー密度の光子を必要とするため、通常に使用されるレーザー光強度では殆ど無視されていまい、ピーク光強度(最大発光波長における光強度)が高いモード同期レーザーのようなフェムト秒程度の極超短パルスレーザーを用いることによって観察できるものである。
By the way, the two-photon absorption phenomenon is a kind of third-order nonlinear optical effect, in which a molecule absorbs two photons at the same time and transitions from a ground state to an excited state, and has recently been capable of absorbing two-photons. Research on materials is underway.
However, the transition efficiency of such two-photon simultaneous absorption is lower than that of one-photon absorption and requires extremely high power density photons. It can be observed by using an ultra-short pulse laser of about femtosecond such as a mode-locked laser having a high light intensity (light intensity at the maximum emission wavelength).

二光子吸収の遷移効率は印加する光電場の二乗に比例する(二光子吸収の二乗特性)。
このため、レーザーを照射した場合、レーザースポット中心部の電界強度の高い位置でのみ二光子の吸収が起こり、周辺部の電界強度の弱い部分では二光子の吸収は全く起こらない。
三次元空間においては、レーザー光をレンズで集光した焦点の電界強度の大きな領域でのみ二光子吸収が起こり、焦点から外れた領域では電界強度が弱いために二光子吸収が全く起こらない。印加された光電場の強度に比例してすべての位置で励起が起こる一光子の線形吸収に比べて、二光子吸収は、この二乗特性に由来して空間内部のピンポイントのみでしか励起が起こらないため、空間分解能が著しく向上する。
この特性を利用して、記録媒体の所定の位置に二光子吸収によりスペクトル変化、屈折率変化または偏光変化を生じさせ、ビットデータを記録する三次元メモリの研究が進められている。二光子吸収は、光の強度の二乗に比例して生じるため、二光子吸収を利用したメモリは、一光子吸収を利用したメモリに比べて、スポットサイズを小さくすることができ、超解像記録が可能となる。その他、この二乗特性に由来する高い空間分解能の特性から、光制限材料、光造形用光硬化樹脂の硬化材料、二光子蛍光顕微鏡用蛍光色素材料などの用途への開発も進められている。
The transition efficiency of two-photon absorption is proportional to the square of the applied photoelectric field (the two-photon absorption square characteristic).
For this reason, when a laser is irradiated, two-photon absorption occurs only at a position where the electric field strength is high at the center of the laser spot, and no two-photon absorption occurs at a portion where the electric field strength is weak at the peripheral portion.
In the three-dimensional space, two-photon absorption occurs only in a region where the electric field strength at the focal point where the laser light is collected by the lens is large, and no two-photon absorption occurs in the region outside the focal point because the electric field strength is weak. Compared to the linear absorption of one photon where excitation occurs at all positions in proportion to the intensity of the applied photoelectric field, the two-photon absorption is excited only at a pinpoint inside the space due to this square characteristic. Therefore, the spatial resolution is significantly improved.
Utilizing this characteristic, research on a three-dimensional memory for recording bit data by causing a spectral change, a refractive index change or a polarization change by two-photon absorption at a predetermined position of a recording medium is underway. Since two-photon absorption occurs in proportion to the square of the intensity of light, a memory using two-photon absorption can reduce the spot size compared to a memory using one-photon absorption, and super-resolution recording. Is possible. In addition, because of the characteristics of high spatial resolution derived from this square characteristic, development for applications such as a light limiting material, a cured material of a photo-curing resin for stereolithography, and a fluorescent dye material for a two-photon fluorescence microscope is being promoted.

更に、二光子吸収を誘起する場合には、化合物の線形吸収帯が存在する波長領域よりも長波長で、かつ吸収の存在しない、近赤外領域の短パルスレーザーを用いることが可能である。化合物の線形吸収帯が存在しない、いわゆる透明領域の近赤外光を用いるため、励起光が吸収や散乱を受けずに試料内部にまで到達させることができ、かつ二光子吸収の二乗特性のために試料内部のピンポイントを高い空間分解能で励起できるため、二光子吸収及び二光子発光は、生体組織の二光子造影や二光子フォトダイナミックセラピー(PDT)などの光化学療法応用面でも期待されている。
また、二光子吸収、二光子発光を用いると、入射した光子のエネルギーよりも高いエネルギーの光子を取り出せるため、波長変換デバイスという観点からアップコンバージョンレージングに関する研究も進められている。
Furthermore, in the case of inducing two-photon absorption, it is possible to use a short-pulse laser in the near-infrared region that has a longer wavelength than the wavelength region in which the linear absorption band of the compound exists and no absorption. Because the near-infrared light of the so-called transparent region, which does not have a linear absorption band of the compound, is used, the excitation light can reach the inside of the sample without being absorbed or scattered, and because of the square characteristic of two-photon absorption In addition, the pinpoint inside the sample can be excited with high spatial resolution, so two-photon absorption and two-photon emission are also expected in photochemotherapeutic applications such as two-photon contrast and two-photon photodynamic therapy (PDT) in biological tissues. .
In addition, when two-photon absorption and two-photon emission are used, photons with higher energy than incident photons can be extracted. Therefore, research on up-conversion lasing is also underway from the viewpoint of a wavelength conversion device.

二光子吸収材料としては、多くの無機材料が利用されてきたが、無機物は、所望の二光子吸収特性や、素子製造のために必要な諸物性を最適化するためのいわゆる分子設計が困難であることから実用化には課題があった。
一方、有機化合物は、分子設計により所望の二光子吸収の最適化が可能であり、かつ諸物性のコントロールも比較的容易であるため、実用化に適しているといえる。
有機系二光子吸収材料としては、ローダミン、クマリン等の色素化合物、ジチエノチオフェン誘導体、オリゴフェニレンビニレン誘導体等が知られている。
しかしながら、これらは、分子あたりの二光子吸収能を示す二光子吸収断面積が小さく、特にフェムト秒パルスレーザーを用いた場合の二光子吸収断面積は、200(GM:×10-50cm4・s・molecule-1・photon-1)未満のものが殆どで、工業上実用的ではない。
Many inorganic materials have been used as two-photon absorption materials, but inorganic materials are difficult to achieve so-called molecular design to optimize the desired two-photon absorption characteristics and various physical properties necessary for device manufacturing. For this reason, there was a problem in practical use.
On the other hand, organic compounds can be optimized for desired two-photon absorption by molecular design, and can be said to be suitable for practical use because they are relatively easy to control various physical properties.
Known organic two-photon absorbing materials include dye compounds such as rhodamine and coumarin, dithienothiophene derivatives, oligophenylene vinylene derivatives, and the like.
However, these have a small two-photon absorption cross section showing the two-photon absorption capacity per molecule, and especially when a femtosecond pulse laser is used, the two-photon absorption cross-section is 200 (GM: x 10-50 cm4 · s · Most of them are less than molecule-1 and photon-1) and are not industrially practical.

続いて、本発明の多光子吸収機能材料に関して具体的に説明する。
先ず、二光子吸収材料の応用について説明する。
近年、インターネット等のネットワークやハイビジョンTVが急速に普及している。
また、HDTV(HighDefinition Television)を考慮すれば、民生用途においても50GB以上、好ましくは100GB以上の画像情報を安価簡便に記録するための大容量記録媒体の要求が高まっている。
更に、コンピューターバックアップ用途、放送バックアップ用途等、業務用途においては、1TB程度以上の大容量の情報を高速かつ安価に記録できる光記録媒体が求められている。
DVD±R等の従来公知の2次元光記録媒体は、記録再生波長を短波長化したとしてもせいぜい25GB程度であり、今後の大容量化への要望に充分に応えることができないことが懸念されている。
Subsequently, the multiphoton absorption functional material of the present invention will be specifically described.
First, the application of the two-photon absorption material will be described.
In recent years, networks such as the Internet and high-definition TVs are rapidly spreading.
Considering HDTV (High Definition Television), there is an increasing demand for a large-capacity recording medium for easily and inexpensively recording image information of 50 GB or more, preferably 100 GB or more for consumer use.
Further, in business applications such as computer backup applications and broadcast backup applications, there is a demand for optical recording media capable of recording large-capacity information of about 1 TB or more at high speed and at low cost.
Conventionally known two-dimensional optical recording media such as DVD ± R are about 25 GB at most even if the recording / reproducing wavelength is shortened, and there is a concern that it will not be able to sufficiently meet the demand for future large capacity. ing.

上述したような現状下、高密度、高容量記録媒体として、三次元光記録媒体が注目されてきている。
三次元光記録媒体とは、三次元(膜厚)方向に何十、何百層もの記録層が積層された構成を有しているものである。
また、記録層を厚膜として光入射方向に対して何重にも記録再生を行えるようになされていてもよい。
このように、三次元光記録媒体は、従来の二次元記録媒体の何十〜何百倍もの超高密度、超高容量記録を達成できるものである。
Under the present situation as described above, a three-dimensional optical recording medium has attracted attention as a high-density, high-capacity recording medium.
A three-dimensional optical recording medium has a structure in which dozens or hundreds of recording layers are laminated in a three-dimensional (film thickness) direction.
Further, the recording layer may be a thick film so that recording and reproduction can be performed multiple times in the light incident direction.
As described above, the three-dimensional optical recording medium can achieve ultra-high density and ultra-high capacity recording that is tens to hundreds of times that of the conventional two-dimensional recording medium.

上記のような三次元光記録媒体は、三次元(膜厚)方向の任意の場所にアクセスして書き込みができるものであるが、その手段として、二光子吸収材料を用いる方法と、ホログラフィ(干渉)を用いる方法とが考えられている。   The three-dimensional optical recording medium as described above can access and write at an arbitrary place in the three-dimensional (film thickness) direction. As a means for that, a method using a two-photon absorption material and a holography (interference) ) Is considered.

先ず、第一の手段である二光子吸収材料を用いた三次元光記録媒体は、物理原理に基づいて何十〜何百倍にもわたってビット記録が可能なものであり、高密度記録化に優れているものである。   First, a three-dimensional optical recording medium using a two-photon absorption material as the first means is capable of bit recording over tens to hundreds of times based on the physical principle, and can be used for high density recording. It is excellent.

二光子吸収材料を用いた3次元光記録媒体に関しては、記録再生に蛍光性物質を用いて蛍光で読み取る方法(レヴィッチ、ユージーン、ポリス他、特表2001−524245号公報、パベル、ユージエン他、特表2000−512061号公報)、フォトクロミック化合物を用いて吸収または蛍光で読み取る方法(コロティーフ、ニコライ・アイ他、特表2001−522119号公報、アルセノフ、ヴラディミール他、特表2001−508221号公報)等が提案されている。   Regarding a three-dimensional optical recording medium using a two-photon absorption material, a method of reading with fluorescence using a fluorescent substance for recording / reproduction (Levic, Eugene, Polis et al., JP-T-2001-524245, Pavel, Eugen et al. Table 2000-512061), a method of reading by absorption or fluorescence using a photochromic compound (Korotif, Nikolai Eye et al., Special Table 2001-522119, Arsenoff, Vladimir et al., Special Table 2001-508221) and the like. Proposed.

しかしながら、従来においては、この三次元光記録媒体に関し、具体的な二光子吸収材料の提示がなされていないか、あるいは単に抽象的に提示されているに過ぎず、二光子吸収化合物の例も二光子吸収効率の極めて小さく実用面において多くの課題があった。
さらに、これら従来の技術において、用いられているフォトクロミック化合物は、可逆材料であるため、非破壊読み出し、記録の長期保存性、再生のS/N比等に実用上の問題点を有しており、光記録媒体として実用性のある方式であるとは言えなかった。
特に非破壊読出しや、記録の長期保存性等の観点からは、不可逆材料を用いて反射率(屈折率または吸収率)または発光強度の変化で再生するのが好ましいが、このような機能を有する二光子吸収材料を具体的に開示している技術についての提案はなされていなかった。
However, conventionally, no specific two-photon absorption material has been presented or only an abstract presentation regarding this three-dimensional optical recording medium, and two examples of two-photon absorption compounds are also available. The photon absorption efficiency was extremely small, and there were many problems in practical use.
Furthermore, since the photochromic compounds used in these conventional techniques are reversible materials, they have practical problems in nondestructive reading, long-term storage stability, reproduction S / N ratio, and the like. However, it cannot be said that this is a practical method as an optical recording medium.
In particular, from the viewpoint of non-destructive readout and long-term storage stability of recording, it is preferable to reproduce by changing the reflectance (refractive index or absorption) or emission intensity using an irreversible material, which has such a function. No proposal has been made for a technique that specifically discloses a two-photon absorbing material.

また、特開平6−28672号公報、特開平6−118306号公報には、屈折率変調により三次元的に記録する記録装置、及び再生装置、読み出し方法等についての開示がなされているが、二光子吸収三次元光記録材料を用いた方法についての技術は、開示されていない。   JP-A-6-28672 and JP-A-6-118306 disclose a recording apparatus, a reproducing apparatus, a reading method, and the like that perform three-dimensional recording by refractive index modulation. A technique regarding a method using a photon-absorbing three-dimensional optical recording material is not disclosed.

上述したように、非共鳴二光子吸収により得た励起エネルギーを用いて反応を起こし、その結果レーザー焦点(記録)部と非焦点(非記録)部で光を照射した際の発光強度を書き換えできない方式で変調することができれば、三次元空間の任意の場所に極めて高い空間分解能で発光強度変調を起こすことができ、究極の高密度記録媒体と考えられる三次元光記録媒体への応用が可能となる。
さらに、非破壊読み出しが可能で、かつ不可逆材料であるため良好な保存性も期待でき実用的である。
As described above, the reaction is caused by using the excitation energy obtained by non-resonant two-photon absorption, and as a result, the emission intensity when light is irradiated at the laser focus (recording) part and the non-focus (non-recording) part cannot be rewritten. If it can be modulated by this method, it is possible to cause emission intensity modulation at an extremely high spatial resolution at an arbitrary place in the three-dimensional space, and it can be applied to a three-dimensional optical recording medium that is considered to be the ultimate high-density recording medium. Become.
Furthermore, since non-destructive readout is possible and the material is an irreversible material, it can be expected to have good storage stability and is practical.

しかしながら、従来利用されていた二光子吸収化合物は、二光子吸収能が低いため、光源としては非常に高出力のレーザーが必要で、かつ記録時間も長くかかるという欠点があった。
特に三次元光記録媒体に使用するためには、速い転送レートを達成するために、高感度にて発光能の違いによる記録を二光子吸収により行うことができる二光子吸収三次元光記録材料の構築が必須である。そのためには、高効率に二光子を吸収し励起状態を生成することができる二光子吸収化合物と、二光子吸収化合物励起状態を用いて何らかの方法にて二光子吸収光記録材料の発光能の違いを効率的に形成できる記録成分を含む材料が有力であるが、そのような材料は今までほとんど開示されておらず、そのような材料の構築が望まれていた。
However, conventionally used two-photon absorption compounds have a disadvantage that they require a very high output laser as a light source and take a long recording time because of their low two-photon absorption ability.
In particular, for use in a three-dimensional optical recording medium, a two-photon absorption three-dimensional optical recording material capable of performing recording by two-photon absorption with high sensitivity to achieve a fast transfer rate. Construction is essential. For that purpose, the difference between the two-photon absorption compound that can absorb two-photons with high efficiency and generate an excited state, and the two-photon absorption optical recording material using a two-photon absorption compound excited state in some way. Although a material containing a recording component that can efficiently form a thin film is effective, such a material has hardly been disclosed so far, and it has been desired to construct such a material.

本発明においては、プラズモン増強を利用して多(二)光子吸収材料を実用化レベルまで高感度化する。
更に、多(二)光子吸収化合物の多(二)光子吸収を利用して記録を行った後、光を記録材料に照射してその発光、反射強度等の違いを検出することにより再生することを特徴とする記録再生が可能な光記録媒体を提供する。
In the present invention, the sensitivity of the multi (2) photon absorbing material is increased to a practical level by utilizing plasmon enhancement.
Further, after performing recording using multi- (2) photon absorption of a multi- (2) photon-absorbing compound, reproduction is performed by irradiating the recording material with light and detecting differences in light emission, reflection intensity, etc. An optical recording medium capable of recording and reproducing is provided.

本発明の多(二)光子吸収材料を用いた光記録媒体は、多(二)光子吸収材料含有層と金属微粒子含有層とを、スピンコーター、ロールコーター、又はバーコーター等を用いて、所定の基板(基材)上に直接塗布したり、あるいはフィルムとしてキャストしたりすることによって積層させた複合部材層を具備している。
多光子吸収材料含有層と金属微粒子含有層とよりなる複合材料の積層順については特定するものではなく、所定の記録層の上方、下方の少なくともいずれか一方にあれば本発明の構成要件を満足するものである。
The optical recording medium using the multi- (2) photon-absorbing material of the present invention is obtained by combining a multi- (2) photon-absorbing material-containing layer and a metal fine particle-containing layer with a spin coater, roll coater, bar coater, or the like. The composite member layer laminated | stacked by apply | coating directly on the board | substrate (base material) of this, or casting as a film is comprised.
The order of lamination of the composite material composed of the multiphoton absorbing material-containing layer and the metal fine particle-containing layer is not specified, and satisfies the constituent requirements of the present invention if it is at least one of the upper side and the lower side of the predetermined recording layer. To do.

上記基板(基材)は、任意の天然、又は合成支持体、好適には柔軟性又は剛性フィルム、シート、又は板形態のものをいずれも適用できる。
具体的な材料としては、ポリエチレンテレフタレート、樹脂下塗り型ポリエチレンテレフタレート、火炎又は静電気放電処理されたポリエチレンテレフタレート、セルロースアセテート、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ガラス等が挙げられる。
また、最終的に目的とする記録媒体の態様に応じて、予め所定のトラッキング用の案内溝やアドレス情報を形成してもよい。
The substrate (base material) may be any natural or synthetic support, preferably a flexible or rigid film, sheet, or plate.
Specific examples of the material include polyethylene terephthalate, resin-primed polyethylene terephthalate, polyethylene terephthalate subjected to flame or electrostatic discharge treatment, cellulose acetate, polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyester, polyvinyl alcohol, and glass.
Further, predetermined tracking guide grooves and address information may be formed in advance according to the final target recording medium.

なお、塗布法による場合、使用した溶媒は、乾燥時に蒸発除去するものとする。
溶媒の蒸発除去は、加熱法、減圧法のいずれによって行ってもよい。
In the case of the coating method, the solvent used is removed by evaporation at the time of drying.
The solvent may be removed by evaporation either by a heating method or a reduced pressure method.

更に、上述したように塗布法やキャスト法によって形成した多(二)光子吸収光記録材料の上に、酸素遮断や層間クロストーク防止のための所定の保護層(中間層)を形成してもよい。
保護層(中間層)は、ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンテレフタレート、またはセロファンフィルム等のプラスチック製のフィルム、または板を静電的な密着、押し出し機を使った積層等により貼合わせるか、前記ポリマーの溶液を塗布することによって形成することができる。また、ガラス板を貼り合わせることによって形成することもできる。
また、層間の気密性を高めるために粘着剤または液状物質を存在させてもよい。
Furthermore, a predetermined protective layer (intermediate layer) for oxygen blocking and interlayer crosstalk prevention may be formed on the multi- (2) photon-absorbing optical recording material formed by a coating method or a casting method as described above. Good.
Protective layer (intermediate layer) is made of a plastic film such as polyolefin such as polypropylene and polyethylene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene terephthalate, or cellophane film, or an electrostatic adhesion and extrusion machine. It can be formed by laminating by using a layer or the like, or by applying a solution of the polymer. Moreover, it can also form by bonding a glass plate.
Moreover, in order to improve the airtightness between layers, an adhesive or a liquid substance may be present.

更に、最終的に目的とする記録媒体の態様に応じて、上記保護層(中間層)にも、予め、所定のトラッキング用の案内溝やアドレス情報を付加してもよい。
上記中間層や粘着層に本発明の構成要素であるプラズモン増強場を発現する金属微粒子やロッドが分散混合されていても良いし、中間層、粘着層表面に金属微粒子層が形成されていても良い。
Furthermore, a predetermined tracking guide groove or address information may be added to the protective layer (intermediate layer) in advance according to the final target recording medium.
Metal fine particles and rods that express the plasmon enhancement field, which is a constituent element of the present invention, may be dispersed and mixed in the intermediate layer or the adhesive layer, or the metal fine particle layer may be formed on the surface of the intermediate layer or the adhesive layer. good.

上述した三次元多層構造の、多光子吸収機能材料を用いた記録媒体の、任意の層に焦点を合わせて記録及び/又は再生を行う。
また、層間を保護層(中間層)で区切っていない構成としても、多(二)光子吸収材料の特性から深さ方向の三次元記録を行うことも可能である。
Recording and / or reproduction is performed focusing on an arbitrary layer of the recording medium using the multi-photon absorption functional material having the above-described three-dimensional multilayer structure.
Further, even when the layers are not separated by a protective layer (intermediate layer), it is possible to perform three-dimensional recording in the depth direction from the characteristics of the multi- (2) photon absorbing material.

次に、本発明の多光子吸収機能材料を用いた三次元記録媒体の具体的な例として、三次元多層光メモリの好ましい実施形態について説明する。
なお、本発明は下記の実施形態により何ら限定されるものではなく、三次元記録(平面及び膜厚方向に記録)が可能な構造であれば、他の構造であってもよい。
Next, a preferred embodiment of a three-dimensional multilayer optical memory will be described as a specific example of a three-dimensional recording medium using the multiphoton absorption functional material of the present invention.
The present invention is not limited in any way by the following embodiment, and any other structure may be used as long as it can perform three-dimensional recording (recording in a plane and a film thickness direction).

三次元多層光メモリの記録/再生のシステムの概略構成図を図1(a)に示し、三次元記録媒体の概略断面図を図1(b)に示す。
図1(a)、(b)に示す三次元記録媒体10においては、平らな支持体(基板1)に、多(二)光子吸収化合物を用いた記録層11と、クロストーク防止用の中間層(保護層)12とが交互に50層ずつ積層された、多層ディスク構成を有しており、各層はスピンコート法により成膜されているものとする。
A schematic configuration diagram of a recording / reproducing system of a three-dimensional multilayer optical memory is shown in FIG. 1A, and a schematic cross-sectional view of a three-dimensional recording medium is shown in FIG.
In the three-dimensional recording medium 10 shown in FIGS. 1A and 1B, a flat support (substrate 1), a recording layer 11 using a multi- (2) photon absorbing compound, and an intermediate for preventing crosstalk. It is assumed that the layer (protective layer) 12 has a multi-layer disc structure in which 50 layers are alternately stacked, and each layer is formed by spin coating.

記録層11の膜厚は、それぞれ0.01〜0.5μmとし、中間層12の膜厚は、それぞれ0.1μm〜5μmが好適である。
上述したような構造によれば、従来公知のCD、DVDと同様のディスクサイズで、テラバイト級の超高密度光記録が実現できる。
The recording layer 11 preferably has a thickness of 0.01 to 0.5 μm, and the intermediate layer 12 preferably has a thickness of 0.1 to 5 μm.
According to the above-described structure, terabyte-class ultrahigh density optical recording can be realized with a disk size similar to that of conventionally known CDs and DVDs.

更に、データの再生方法(透過/或いは反射型)に従い、記録層11を介在させた反対側に、基板1と同様の基板2(保護層)か、高反射率材料からなる反射層が形成されているものとする。
記録ビット3の形成時には、記録用レーザー光源13による単一ビーム(図中、レーザー光L)を用い、フェムト秒オーダーの超短パルス光を利用する。
また再生時には、再生用レーザー光源14によるデータ記録に使用するビームとは異なる波長を用いる。或いは低出力の同波長の光を用いてもよい。
記録及び再生は、ビット単位/ページ単位のいずれにおいても実行可能であり、面光源や二次元検出器等を利用する並行記録/再生は、転送レートの高速化に有効である。
なお、本発明に従い同様に形成される三次元多層光メモリの形態としては、カード状、プレート状、テープ状、ドラム状等が考えられる。
Further, according to the data reproduction method (transmission / or reflection type), a substrate 2 (protective layer) similar to the substrate 1 or a reflection layer made of a high reflectance material is formed on the opposite side of the recording layer 11 interposed. It shall be.
When the recording bit 3 is formed, a single beam (laser light L in the figure) from the recording laser light source 13 is used, and ultrashort pulse light of femtosecond order is used.
At the time of reproduction, a wavelength different from that of the beam used for data recording by the reproduction laser light source 14 is used. Alternatively, light having the same wavelength with low output may be used.
Recording and playback can be performed in either bit units or page units, and parallel recording / playback using a surface light source, a two-dimensional detector, or the like is effective in increasing the transfer rate.
Note that a three-dimensional multilayer optical memory similarly formed according to the present invention may have a card shape, a plate shape, a tape shape, a drum shape, or the like.

次に、本発明の多(二)光子吸収機能材料の具体的な適用例として、光制限素子への応用について説明する。
光通信や光情報処理では、情報等の信号を光で搬送するためには変調、スイッチング等の光制御が必要になる。この種の光制御には、電気信号を用いた電気−光制御方法が従来採用されている。しかし電気−光制御方法は、電気回路のようなCR時定数による帯域制限、素子自体の応答速度や電気信号と光信号との間の速度の不釣合いで処理速度が制限されることなどの制約があり、光の利点である広帯域性や高速性を十分に生かすためには、光信号によって光信号を制御する光−光制御技術が非常に重要になってくる。この要求に応えるものとして本発明の二光子吸収機能材料を加工して光学素子を作製する。これは光を照射することで引き起こされる透過率や屈折率、吸収係数などの光学的変化を利用し、電子回路技術を用いずに光の強度や周波数を変調し、これによって、光通信、光交換、光コンピューター、光インターコネクション等における光スイッチなどに応用するものである。
二光子吸収による光学特性変化を利用する本発明の光制限素子は、通常の半導体材料により形成される光制限素子や、一光子励起によるものに比べ、応答速度にはるかに優れた素子を提供することができる。また高感度ゆえに、S/N比の高い信号特性に優れた光制限素子を提供することができる。
Next, as a specific application example of the multi- (2) photon absorption functional material of the present invention, application to a light limiting element will be described.
In optical communication and optical information processing, optical control such as modulation and switching is required to carry signals such as information with light. For this type of light control, an electro-light control method using an electric signal has been conventionally employed. However, the electro-optical control method has limitations such as a band limitation due to a CR time constant as in an electric circuit, a processing speed being limited due to a response speed of the element itself and a speed mismatch between an electric signal and an optical signal. In order to make full use of the broadband and high speed, which are the advantages of light, light-light control technology for controlling an optical signal with an optical signal becomes very important. In order to meet this requirement, the two-photon absorption functional material of the present invention is processed to produce an optical element. This utilizes optical changes such as transmittance, refractive index, and absorption coefficient caused by light irradiation, and modulates the intensity and frequency of light without using electronic circuit technology. It is applied to optical switches in exchanges, optical computers, optical interconnections, etc.
The optical limiting element of the present invention that utilizes the change in optical characteristics due to two-photon absorption provides an optically limiting element that is formed from a normal semiconductor material and an element that has a much higher response speed than those based on one-photon excitation. be able to. Further, because of the high sensitivity, it is possible to provide an optical limiting element excellent in signal characteristics with a high S / N ratio.

光制限素子としては、従来においても開示がなされており、具体的には、光照射により屈折率が変化する光屈折率材料にその屈折率が変化する波長の光を照射してフォーカシングを行い、屈折率分布を形成する光導波路に関するものであった。
図2に、本発明の二光子吸収機能材料を、二光子励起し得る波長の制御光により二光子励起させることによって、一光子励起し得る波長の信号光を光スイッチングする光制限素子20の一例の概略図を示す。
この例においては、光制限素子20は、金属微粒子または金ナノロッドを含む、または表面に該金属が配置された保護層21で狭持された二光子吸収材料22の構成であるが、本発明はこの構成に限定されるものではない。
The light limiting element has been disclosed in the past. Specifically, the light refractive index material whose refractive index is changed by light irradiation is irradiated with light having a wavelength whose refractive index is changed, and focusing is performed. It relates to an optical waveguide that forms a refractive index profile.
FIG. 2 shows an example of an optical limiting element 20 that optically switches signal light having a wavelength that can be excited by one photon by exciting the two-photon absorption functional material of the present invention with control light having a wavelength that can be excited by two photons. The schematic of is shown.
In this example, the light limiting element 20 has a configuration of a two-photon absorption material 22 that includes metal fine particles or gold nanorods or is sandwiched by a protective layer 21 on the surface of which the metal is disposed. It is not limited to this configuration.

本素子の動作は、制御光23により光制限素子20を多光子励起させることで、信号光24を光スイッチングする。
制御光23は二光子過程を、信号光24は一光子過程を利用するため波長が異なるので、カラーフィルター25を用い、制御光23と信号光24を分離することが可能である。
分離された信号光24を検出器26により検出する。このような構成により、光−光制御技術の高速応答性とS/N比を両立させることが出来る。
The operation of this element is to optically switch the signal light 24 by exciting the light limiting element 20 with multi-photon excitation by the control light 23.
Since the control light 23 uses a two-photon process and the signal light 24 uses a one-photon process, the wavelengths are different. Therefore, it is possible to separate the control light 23 and the signal light 24 using a color filter 25.
The separated signal light 24 is detected by a detector 26. With such a configuration, it is possible to achieve both the high-speed response of the light-light control technology and the S / N ratio.

次に、多光子吸収機能材料として、二光子吸収材料を適用した二光子光造形用材料への応用について説明する。
二光子吸収材料を適用した二光子光造形法に適用する装置の概略図を図3に示す。
この例においては、近赤外パルスレーザー光源31から光を、透過光量を時間的にコントロールするシャッター33と、NDフィルター34を介し、更には、ミラースキャナー35を通して、レンズ37を用いて光硬化性樹脂39中に集光させレーザースポットを走査し、二光子吸収を誘起することによって焦点近傍のみにおいて樹脂を硬化させて任意の三次元構造を形成する二光子マイクロ光造形方法を行うものである。
Next, an application to a two-photon photofabrication material using a two-photon absorption material as a multiphoton absorption functional material will be described.
FIG. 3 shows a schematic diagram of an apparatus applied to a two-photon stereolithography method using a two-photon absorption material.
In this example, light from a near-infrared pulse laser light source 31 is photocured using a lens 37 through a shutter 33 that controls the amount of transmitted light temporally, an ND filter 34, and further through a mirror scanner 35. A two-photon micro-stereolithography method is performed in which an arbitrary three-dimensional structure is formed by curing the resin only in the vicinity of the focal point by condensing the resin 39 and scanning a laser spot to induce two-photon absorption.

この例においては、パルスレーザー光をレンズ37で集光して、集光点近傍にフォトンの密度の高い領域を形成する。このときビームの各断面を通過するフォトンの総数は一定なので、焦点面内でビームを二次元的に走査した場合、各断面における光強度の総和は一定である。
しかしながら、二光子吸収の発生確率は、光強度の二乗に比例するため、光強度の大きい集光点近傍にのみ、二光子吸収の発生の高い領域が形成される。
このように、パルスレーザー光をレンズ37によって集光させ二光子吸収を誘起することで、集光点近傍に光吸収を限定し、ピンポイント的に樹脂を硬化させることが可能となる。
集光点は、コンピュータ38によってZステージ36とガルバノミラーを制御して光硬化樹脂液39内を自由に移動させることができるため、光硬化性樹脂液39内において目的とする三次元加工物を自在に形成することができる。
In this example, pulsed laser light is condensed by a lens 37, and a region with high photon density is formed in the vicinity of the condensing point. At this time, since the total number of photons passing through each cross section of the beam is constant, when the beam is scanned two-dimensionally within the focal plane, the total light intensity in each cross section is constant.
However, since the probability of occurrence of two-photon absorption is proportional to the square of the light intensity, a region where the generation of two-photon absorption is high is formed only near the condensing point where the light intensity is high.
In this way, by condensing the pulsed laser light with the lens 37 and inducing two-photon absorption, it is possible to limit the light absorption near the condensing point and harden the resin in a pinpoint manner.
The condensing point can be freely moved in the photocurable resin liquid 39 by controlling the Z stage 36 and the galvanometer mirror by the computer 38, so that the target three-dimensional workpiece in the photocurable resin liquid 39 can be obtained. It can be freely formed.

上述した二光子光造形法は、以下の特徴を有している。
(a)回折限界をこえる加工分解能:二光子吸収の光強度に対する非線形性によって、光の回折限界を超えた加工分解能を実現できる。
(b)超高速造形:二光子吸収を利用した場合、焦点以外の領域では、光硬化性樹脂が原理的にも硬化しない。このため照射させる光強度を大きくし、ビームのスキャン速度を速くすることができる。このため、造形速度を約10倍向上することができる。
(c)三次元加工:光硬化性樹脂は、二光子吸収を誘起する近赤外光に対して透明である。したがって焦点光を樹脂の内部へ深く集光した場合でも、内部硬化が可能である。従来のSIHでは、ビームを深く集光した場合、光吸収によって集光点の光強度が小さくなり、内部硬化が困難になる問題点が、本発明ではこうした問題点を確実に解決することができる。
(d)高い歩留り:従来法では樹脂の粘性や表面張力によって造形物が破損、変形するという問題があったが、本手法では、樹脂の内部で造形を行うのでこうした問題は解消される。
(e)大量生産への適用:超高速造形を利用することによって、短時間に、連続的に多数個の部品あるいは可動機構の製造が可能である。
The two-photon stereolithography described above has the following characteristics.
(A) Processing resolution exceeding the diffraction limit: Processing resolution exceeding the diffraction limit of light can be realized by the non-linearity of the two-photon absorption with respect to the light intensity.
(B) Ultra-high-speed modeling: When two-photon absorption is used, the photocurable resin does not cure in principle in a region other than the focal point. For this reason, the light intensity to be irradiated can be increased, and the beam scanning speed can be increased. For this reason, modeling speed can be improved about 10 times.
(C) Three-dimensional processing: The photocurable resin is transparent to near-infrared light that induces two-photon absorption. Therefore, even when the focused light is condensed deeply into the resin, internal curing is possible. In the conventional SIH, when the beam is condensed deeply, the light intensity at the condensing point is reduced by light absorption, and the internal curing becomes difficult. In the present invention, these problems can be solved reliably. .
(D) High yield: In the conventional method, there is a problem that the modeled object is damaged or deformed due to the viscosity or surface tension of the resin, but in this method, the problem is solved because modeling is performed inside the resin.
(E) Application to mass production: By using ultra-high speed modeling, it is possible to manufacture a large number of parts or movable mechanisms continuously in a short time.

二光子光造形用の光硬化性樹脂液39は、光を照射することにより二光子重合反応を起こし、液体から固体へと変化するものである。
主成分は、オリゴマーと反応性希釈剤からなる樹脂成分と光重合開始剤(必要に応じ光増感材料を含む)である。
オリゴマーは重合度が2〜20程度の重合体であり、末端に多数の反応基を持つ。
更に、粘度、硬化性等を調整するため、反応性希釈剤が加えられている。
レーザー光を照射すると、重合開始剤または光増感材料が二光子吸収し、重合開始剤から直接または光増感材料を介して反応種が発生し、オリゴマー、反応性希釈剤の反応基に反応し、重合が開始される。
その後、これらの間で連鎖的重合反応を起こし、三次元架橋が形成され、短時間のうちに三次元網目構造を持つ固体樹脂へと変化する。
The photocurable resin liquid 39 for two-photon stereolithography is a substance that undergoes a two-photon polymerization reaction when irradiated with light and changes from a liquid to a solid.
The main components are a resin component composed of an oligomer and a reactive diluent and a photopolymerization initiator (including a photosensitizer if necessary).
An oligomer is a polymer having a degree of polymerization of about 2 to 20, and has a large number of reactive groups at its ends.
Furthermore, a reactive diluent is added to adjust viscosity, curability and the like.
When irradiated with laser light, the polymerization initiator or photosensitizing material absorbs two photons, and reactive species are generated directly from the polymerization initiator or through the photosensitizing material, and react with the reactive groups of the oligomer and reactive diluent. Then, the polymerization is started.
Thereafter, a chain polymerization reaction is caused between them to form a three-dimensional cross-link, and the solid resin is changed to a solid resin having a three-dimensional network structure in a short time.

光硬化性樹脂は、光硬化インキ、光接着剤、積層式立体造形等の分野で使用されており、様々な特性を持つ樹脂が開発されている。
特に、積層式立体造形においては、(1)反応性が良好であること、(2)硬化時の堆積収縮が小さいこと、(3)硬化後の機械特性が優れていること、等が重要である。
これらの特性は、本手法においても同様に重要であり、そのため、積層式立体造形用に開発された樹脂で二光子吸収特性を有するものは本手法の二光子光造形用光硬化性樹脂としても使用できる。
具体的には、アクリレート系及びエポキシ系の光硬化性樹脂が挙げられ、特にウレタンアクリレート系の光硬化性樹脂が好適である。
Photocurable resins are used in the fields of photocurable inks, photoadhesives, layered three-dimensional modeling, and the like, and resins having various characteristics have been developed.
In particular, in layered three-dimensional modeling, (1) good reactivity, (2) small shrinkage during curing, (3) excellent mechanical properties after curing, etc. are important. is there.
These characteristics are equally important in this method, and therefore resins developed for layered three-dimensional modeling that have two-photon absorption characteristics can be used as the two-photon photo-molding photocurable resin of this method. Can be used.
Specific examples include acrylate-based and epoxy-based photocurable resins, and urethane acrylate-based photocurable resins are particularly preferable.

光造形に関しては、従来、特開2005−134873号公報に技術開示がなされている。
これは、感光性高分子膜の表面に、パルスレーザー光を、マスクを介さずに干渉露光させるものである。
前記パルスレーザー光としては、前記感光性高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域の光であることが重要とされている。
従って、パルスレーザー光としては、感光性高分子の種類、または、感光性高分子における感光性機能を発揮する基又は部位の種類等に応じて、その波長領域を適宜選択することができる。
特に、光源から発光されるパルスレーザー光の波長が、感光性高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域でなくても、パルスレーザー光の照射に際して、多光子吸収過程を利用することにより、感光性高分子膜に感光性機能を発揮させることが可能となる。
具体的には、光源から発光されるパルスレーザー光を集光して、集光されたパルスレーザー光を照射すると、多光子の吸収(例えば二光子の吸収、三光子の吸収、四光子の吸収、五光子の吸収など)が生じ、これにより光源から発光されるパルスレーザー光の波長が、感光性高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域でなくても、感光性高分子膜には、実質的に、感光性高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域のパルスレーザー光が照射されたことになる。
このように、干渉露光するパルスレーザー光は、実質的に、感光性高分子膜に感光性機能を発揮させる波長領域となるパルスレーザー光であればよく、照射条件などにより、その波長を適宜選択することができる。
Conventionally, regarding optical modeling, a technical disclosure has been made in JP-A-2005-134873.
In this method, pulsed laser light is subjected to interference exposure on the surface of the photosensitive polymer film without using a mask.
It is important that the pulse laser light is light in a wavelength region that causes the photosensitive polymer film to exhibit a photosensitive function.
Therefore, the wavelength region of the pulsed laser light can be appropriately selected according to the type of the photosensitive polymer or the type of group or part that exhibits the photosensitive function in the photosensitive polymer.
In particular, even if the wavelength of the pulsed laser light emitted from the light source is not in a wavelength region that causes the photosensitive polymer film to exhibit a photosensitive function, by utilizing a multiphoton absorption process upon irradiation with the pulsed laser light, The photosensitive polymer film can exhibit a photosensitive function.
Specifically, when the pulsed laser light emitted from the light source is condensed and irradiated with the condensed pulsed laser light, multiphoton absorption (for example, two-photon absorption, three-photon absorption, four-photon absorption) Even if the wavelength of the pulsed laser light emitted from the light source is not in the wavelength region where the photosensitive polymer film exhibits the photosensitive function, the photosensitive polymer film In effect, the pulsed laser beam in the wavelength region that causes the photosensitive polymer film to exhibit a photosensitive function is irradiated.
As described above, the pulsed laser beam for the interference exposure may be substantially a pulsed laser beam in a wavelength region that causes the photosensitive polymer film to exhibit the photosensitive function, and the wavelength is appropriately selected depending on the irradiation conditions. can do.

本発明による二光子吸収増感方式によれば、従来の二光子吸収機能材料(二光子吸収重合開始剤または二光子吸収光増感材料)に比較し、二光子吸収感度が高いため、高速造形が可能で、励起光源としても小型で安価なレーザー光源が使用できるため、大量生産可能な実用用途への展開が可能となる。   According to the two-photon absorption sensitization method of the present invention, since the two-photon absorption sensitivity is higher than that of a conventional two-photon absorption functional material (two-photon absorption polymerization initiator or two-photon absorption photosensitizer), high-speed modeling. Since a small and inexpensive laser light source can be used as an excitation light source, it can be developed for practical use capable of mass production.

次に、本発明の複合部材を構成する、金属表面に発生する表面プラズモン増強場を発生させる金属微粒子、あるいはこの金属微粒子を構成する金ナノロッドについて詳細に説明する。   Next, the metal microparticles that generate the surface plasmon enhancement field generated on the metal surface, or the gold nanorods that configure the metal microparticles, constituting the composite member of the present invention will be described in detail.

金属微粒子に光を照射するとプラズモン吸収と呼ばれる共鳴吸収現象が生じることが知られている。例えば、球状の金属微粒子が水に分散した金コロイドは、530nm付近に単一吸収を有し、鮮やかな赤色を呈する。これらの球状金属微粒子は、赤色の着色剤としてステンドグラス等に使用されている。
一方、金属微粒子のうちの一種である金ナノロッドは、棒状の金微粒子であり、そのアスペクト比(長軸/短軸の値:R)を制御することにより、可視光線から近赤外線までの任意の特定波長を吸収することが可能な非常にユニークな材料として注目されている。アスペクト比が大きい程、その吸収(共鳴)波長は長波長側にシフトする。アスペクト比に対する吸収(共鳴)スペクトルを図4に示す。
It is known that when a metal fine particle is irradiated with light, a resonance absorption phenomenon called plasmon absorption occurs. For example, a gold colloid in which spherical metal fine particles are dispersed in water has a single absorption near 530 nm and exhibits a bright red color. These spherical metal fine particles are used in stained glass or the like as a red colorant.
On the other hand, gold nanorods, which are one type of metal fine particles, are rod-shaped gold fine particles. By controlling the aspect ratio (major axis / minor axis value: R), any one of visible rays to near infrared rays can be selected. It attracts attention as a very unique material capable of absorbing a specific wavelength. As the aspect ratio is larger, the absorption (resonance) wavelength is shifted to the longer wavelength side. FIG. 4 shows an absorption (resonance) spectrum with respect to the aspect ratio.

金ナノロッドは波長選択性に優れている。すなわち、光学デバイスにおける使用波長に吸収(共鳴)波長を整合化することでより、一層の増感効率向上を図ることのできる材料である。
また、プラズモン増強場を発生させる微粒子は、励起光中では独立のプラズモン増強場を発生させるが、微粒子が近接すると増強場に重なりを生じるばかりではなく、微粒子の間隙部にさらに大きなプラズモン増強場が発生する。このような大きなプラズモン増強場は二つの微粒子が近接した略二両体や微粒子凝集体に顕著に発生する。
特に、略二両体を含む小規模凝集体の状態に特定することにより、散乱による光利用効率の損失を抑え、より大きな増強効果が得られるエンハンス層としての機能が得られることが確かめられた。
また、金ナノロッドは上述のごとく、アスペクト比により共鳴(吸収波長)を制御できるもので、例えば、780nmの光を用いて光学デバイスに応用するのであれば、図4のごとくアスペクト比は3.5付近のものが理論上、増感効率が最も良いわけであるが、本発明は二光子吸収という使用光に対する透明な特性を利用するもので、吸収量があまり大きくなりすぎることが場合によっては二光子特性を相殺してしまうことになる。使用波長に対する透明性を重視するなら、使用波長における金ナノロッドの吸収量を5%以下、好ましくは1%以下にすると良く、使用波長に対する透明性がさほど重要でない場合、使用波長における金ナノロッドの吸収量30%以下好ましくは20%以下とすると良い。
Gold nanorods are excellent in wavelength selectivity. That is, it is a material that can further improve the sensitization efficiency by matching the absorption (resonance) wavelength with the wavelength used in the optical device.
In addition, fine particles that generate a plasmon enhancement field generate an independent plasmon enhancement field in the excitation light, but when the fine particles are close to each other, they not only overlap the enhancement field, but also have a larger plasmon enhancement field in the gap between the fine particles. Occur. Such a large plasmon enhancement field is remarkably generated in a substantially two-body or fine particle aggregate in which two fine particles are close to each other.
In particular, it was confirmed that the function as an enhancement layer that can suppress the loss of light utilization efficiency due to scattering and obtain a greater enhancement effect can be obtained by specifying the state of a small-scale aggregate containing approximately two-bodies. .
Further, as described above, the gold nanorod can control the resonance (absorption wavelength) according to the aspect ratio. For example, when applied to an optical device using light of 780 nm, the aspect ratio is 3.5 as shown in FIG. In the vicinity, the sensitization efficiency is theoretically the best. However, the present invention uses the two-photon absorption, which is a transparent characteristic for the light used, and the amount of absorption may be too large in some cases. This will cancel out the photon characteristics. If the transparency to the wavelength used is important, the absorption amount of the gold nanorod at the wavelength used should be 5% or less, preferably 1% or less. If the transparency to the wavelength used is not so important, the absorption of the gold nanorod at the wavelength used The amount is 30% or less, preferably 20% or less.

次に、本発明の複合部材を構成する、金属微粒子含有層と、多光子吸収材料含有層について詳細に説明する。
多(二)光子吸収材料含有層であるが、これは二光子吸収材料そのものによる薄膜であっても、バルクの形態であっても、あるいは樹脂等で分散混合した形態であっても良い。
特に光造形に応用する場合、二光子吸収材料が紫外線硬化樹脂等の光硬化樹脂に分散されていることが必要であり、その場合の膜厚については特に制限されるものではなく、所望する造形物の大きさに依存する。光硬化樹脂が流動性の高い性質であれば、キャビティ内に金属微粒子含有層/二光子吸収層と配置しておき、光照射後に未露光部を洗い流すことでより高感度化された光造形法を構築することが可能である。また、光制限素子に応用する場合も厳密な厚さの制限はない。一方、三次元多層メモリに適用する場合、その膜厚は上述した通りである。
Next, the metal fine particle-containing layer and the multiphoton absorbing material-containing layer constituting the composite member of the present invention will be described in detail.
The multi- (2) photon absorbing material-containing layer may be a thin film of the two-photon absorbing material itself, a bulk form, or a dispersed and mixed form with a resin or the like.
In particular, when applied to optical modeling, it is necessary that the two-photon absorption material is dispersed in a photocurable resin such as an ultraviolet curable resin, and the film thickness in that case is not particularly limited, and the desired modeling Depends on the size of the object. If the photo-curing resin has high fluidity, it is placed in the cavity as a metal fine particle containing layer / two-photon absorption layer, and the non-exposed part is washed away after the light irradiation to make the photo-molding method more sensitive. It is possible to build Also, there is no strict thickness limitation when applied to an optical limiting element. On the other hand, when applied to a three-dimensional multilayer memory, the film thickness is as described above.

次に、金属微粒子、例えば金ナノロッドを含有する、金属微粒子含有層に関して説明する。
例えば、金や銀を特定の条件で水系溶媒に分散させると球状の微粒子としてコロイド分散させることも可能であるし、球状と形状異方性を有した微粒子との混合としても得ることが可能である。
特に金に関しては、金ナノロッドが微粒子の大半を占める形状のコロイド液を得ることも出来るし、ナノロッドと球状微粒子との混合体として得ることも可能である。
本発明の複合材料を構成する、いわゆる二光子吸収特性を増強させる層、すなわち金属微粒子含有層は、金属微粒子(例えば金ナノロッド)が表面に1粒子が二次元的に敷き詰められた単一層により構成されていてもよく、一部に凝集状態を有した層でもあってもよいし、微粒子が幾層にも積み重なったバルク層となっていても良いし、樹脂等のバインダーに分散混合された形態でもよい。金属微粒子含有層の膜厚は、10nm〜500μm程度の範囲であるものとする。
増感効果としては、金属微粒子(例えば金ナノロッド)が表面に1粒子が二次元的に敷き詰められた単一層や一部に凝集状態を有した層、とりわけ、二光子吸収材料を含有する層との界面に凝集している形態を選定することにより、高い増感効率が得られることが可能であることが確かめられており、望ましい形態である。
これは、上述したように、金属微粒子や金ナノロッドは、使用レーザー波長に吸収を有していたり、金属微粒子の光散乱の影響により使用レーザーに対して透過性の高い二光子吸収特性を利用したりするということと相反する。従って、使用波長における金属微粒子、金ナノロッドの吸収、散乱の影響を、可能な限り低減化させる構成、濃度、配置を選定し、かつ高効率な増感を得るようにすることが好ましく、表面に一層のみであるものや、微粒子、ナノロッドを感光層界面に局在化させた光散乱の影響が少ないものでの増感が望ましい。また、微粒子、ナノロッドが局在化した構成であれば、粒子間の局在プラズモン共鳴による増感も可能であり高効率増感に寄与する。
Next, a metal fine particle-containing layer containing metal fine particles, for example, gold nanorods will be described.
For example, when gold or silver is dispersed in an aqueous solvent under specific conditions, it can be colloidally dispersed as spherical fine particles, or it can be obtained as a mixture of spherical and fine particles having shape anisotropy. is there.
Particularly for gold, it is possible to obtain a colloidal solution in which gold nanorods occupy most of the fine particles, or a mixture of nanorods and spherical fine particles.
The layer that enhances the so-called two-photon absorption characteristics constituting the composite material of the present invention, that is, the metal fine particle-containing layer is composed of a single layer in which one particle is two-dimensionally laid on the surface of metal fine particles (for example, gold nanorods). It may be a layer that is partially agglomerated, may be a bulk layer in which fine particles are stacked in layers, or is dispersed and mixed in a binder such as a resin. But you can. The film thickness of the metal fine particle-containing layer is in the range of about 10 nm to 500 μm.
The sensitization effect includes a single layer in which metal particles (for example, gold nanorods) are two-dimensionally laid on the surface, a layer having a partly aggregated state, particularly a layer containing a two-photon absorbing material, It is confirmed that a high sensitization efficiency can be obtained by selecting a form that is aggregated at the interface, which is a desirable form.
As described above, metal fine particles and gold nanorods have absorption at the wavelength of the laser used, or use two-photon absorption characteristics that are highly transmissive to the laser used due to the effect of light scattering of the metal fine particles. Contrary to that. Therefore, it is preferable to select a configuration, concentration, and arrangement that reduce the influence of absorption and scattering of metal fine particles and gold nanorods at the used wavelength as much as possible, and to obtain highly efficient sensitization. Sensitization with only one layer, or with less influence of light scattering in which fine particles and nanorods are localized at the photosensitive layer interface is desirable. In addition, if the configuration is such that fine particles and nanorods are localized, sensitization by localized plasmon resonance between particles is possible, which contributes to highly efficient sensitization.

次に、本発明の複合部材を、繰り返し積層構成とした場合の感度均一化構成について説明する。
金属微粒子含有層と、二光子吸収材料含有層とを、繰り返し複数回積層した構成とする場合、入射光に対して奥側に進むほど、光の利用効率は低下してくるのが一般的である。
そこで、各二光子吸収層感度の均一化が望まれる。感度均一化法としては奥側に行くほど二光子吸収材料含有層の感度を向上させる方法とその逆に光入射方向に対して手前側の二光子吸収材層になるほど二光子吸収能を低減させる方法とが挙げられる。具体的には二光子材料を奥側になるほど高感度な二光子吸収材料を配置させる方法が挙げられる。次に手前側になるほど、二光子吸収層をバインダー等で希釈して二光子能を順次低減させる方法でも同様の各層の感度均一化は達成出来る。
また、二光子吸収材料(層)は同一としても本発明の増感材料である金属微粒子(ナノロッド)の配置量でも各層の感度均一化は図れる。すなわち、手前側の二光子吸収層に接する金属微粒子(ナノロッド)数を少なく配置して奥側になるほど接する金属微粒子(ナノロッド)の設置密度を向上させて各二光子吸収層の二光子感度の均一化を図ることも可能である。
ここで、請求項での感度の略同一とは光照射パワーの±10%程度の均一化が図れれば良く、好ましくは±5%以内の感度均一化(同一)が図れることを略同一とする。
Next, the sensitivity uniformization structure when the composite member of the present invention is repeatedly laminated will be described.
When the metal fine particle-containing layer and the two-photon absorbing material-containing layer are repeatedly laminated a plurality of times, the light utilization efficiency generally decreases as the depth of the incident light increases. is there.
Therefore, it is desired to make the sensitivity of each two-photon absorption layer uniform. As a sensitivity uniformization method, the sensitivity of the two-photon absorbing material-containing layer is improved toward the back side, and conversely, the two-photon absorbing ability is reduced as the two-photon absorber layer is closer to the light incident direction. And a method. Specifically, there is a method in which a two-photon absorption material with higher sensitivity is arranged as the two-photon material is located on the back side. Next, as the front side is approached, similar sensitivity uniformity of each layer can also be achieved by a method of diluting the two-photon absorption layer with a binder or the like to sequentially reduce the two-photon ability.
Moreover, even if the two-photon absorption material (layer) is the same, the sensitivity of each layer can be made uniform even with the arrangement amount of the metal fine particles (nanorods) that are the sensitizing material of the present invention. In other words, the number of metal fine particles (nanorods) in contact with the two-photon absorption layer on the front side is reduced, and the installation density of the metal fine particles (nanorods) in contact with the back side is improved, so that the two-photon absorption layers have uniform sensitivity. It is also possible to make it easier.
Here, it is sufficient that the sensitivity of the light in the claims is substantially the same as long as the light irradiation power is made uniform by about ± 10%, and preferably the sensitivity is made uniform within the range of ± 5% (same). To do.

上述したように、本発明によれば、多(二)光子吸収化合物の増感が実現でき、光子吸収の遷移効率の向上化が図られた。すなわち、小型で安価なレーザーを使った実用用途(三次元メモリ、光制限素子、光造形システムなど)を実現可能となる。
また、特に三次元多層光メモリ用途のように記録層(機能層)が多層化された構成の場合、各機能層の特性均一性に優れたデバイスが実現可能となる。
As described above, according to the present invention, sensitization of a multi (2) photon absorption compound can be realized, and the transition efficiency of photon absorption is improved. That is, it is possible to realize practical applications (three-dimensional memory, light limiting element, stereolithography system, etc.) using a small and inexpensive laser.
In particular, in the case where the recording layer (functional layer) is multi-layered as in the case of a three-dimensional multilayer optical memory, a device having excellent characteristic uniformity of each functional layer can be realized.

次に、具体的なサンプルを作製し、本発明について説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。   Next, although a specific sample is produced and this invention is demonstrated, this invention is not limited to the following examples.

〔実施例1〕
トルエン300mlに硝酸銀10gとオレイルアミン(85%)37.1gを加え、1時間撹拌した。次いで、アスコルビン酸15.6gを加えて3時間撹拌した。これにアセトン300mlを加え、デカンテーションにて上澄み液を除き、沈降物に含有されている溶媒を留去することで粒径10〜30nmの球状銀微粒子を得た。
得られた球状銀微粒子をテトラヒドロフランに再分散させ、厚さ1mmのガラス基板状に銀微粒子膜厚が20〜60nmとなるようにスピンコートした。
これを60℃のオーブンで在留溶媒を除き、室温まで冷却した。
この銀微粒子層上に下記式(1)に示す二光子吸収色素を、2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールに溶解した液を用いて膜厚が100nmとなるようにスピンコートして積層型サンプルを得た。
[Example 1]
To 300 ml of toluene, 10 g of silver nitrate and 37.1 g of oleylamine (85%) were added and stirred for 1 hour. Next, 15.6 g of ascorbic acid was added and stirred for 3 hours. 300 ml of acetone was added thereto, the supernatant was removed by decantation, and the solvent contained in the precipitate was distilled off to obtain spherical silver fine particles having a particle diameter of 10 to 30 nm.
The obtained spherical silver fine particles were re-dispersed in tetrahydrofuran and spin-coated on a glass substrate having a thickness of 1 mm so that the silver fine particle thickness was 20 to 60 nm.
The residual solvent was removed in an oven at 60 ° C. and cooled to room temperature.
On this silver fine particle layer, a two-photon absorption dye represented by the following formula (1) is spin-coated using a solution in which 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol is dissolved so that the film thickness becomes 100 nm. Thus, a laminated sample was obtained.

Figure 0005151124
Figure 0005151124

〔実施例2〕
水30mlに塩化金酸0.37gを加え、ついで、テトラオクチルアンモニウムブロミド2.187gとトルエン80ml混合液を加えて2時間撹拌した。
更に、1−ドデカンチオール0.2gを加えて1時間撹拌した。
次に、NaBH40.378gを水20mlに溶解した液を滴下して2時間撹拌した。
この反応物を分液ロートを用いて水で数回洗浄した後、有機層の溶媒を留去することで粒径20〜50nmの球状金微粒子を得た。
この球状金微粒子をテトラヒドロフランに再分散させ、厚さ1mmのガラス基板状に金微粒子膜厚が40〜100nmとなるようにスピンコートした。これを60℃のオーブンで在留溶媒を除き、室温まで冷却した。
この金微粒子層上に、上記式(1)で示す二光子吸収色素を、2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールに溶解した液で膜厚が100nmとなるようにスピンコートして積層型サンプルを得た。
[Example 2]
To 30 ml of water was added 0.37 g of chloroauric acid, and then 2.187 g of tetraoctylammonium bromide and 80 ml of toluene were added and stirred for 2 hours.
Further, 0.2 g of 1-dodecanethiol was added and stirred for 1 hour.
Next, a solution obtained by dissolving 0.378 g of NaBH 4 in 20 ml of water was added dropwise and stirred for 2 hours.
The reaction product was washed several times with water using a separatory funnel, and then the organic layer solvent was distilled off to obtain spherical gold fine particles having a particle size of 20 to 50 nm.
The spherical gold fine particles were redispersed in tetrahydrofuran and spin-coated on a glass substrate having a thickness of 1 mm so that the gold fine particle thickness was 40 to 100 nm. The residual solvent was removed in an oven at 60 ° C. and cooled to room temperature.
On this gold fine particle layer, the two-photon absorption dye represented by the above formula (1) was spin-coated with a solution in which 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol was dissolved so that the film thickness became 100 nm. Thus, a laminated sample was obtained.

〔実施例3〕
0.18mol/l臭化セチルトリメチルアンモニウム水溶液を70ml、シクロヘキサン0.36ml、アセトン1ml、0.1mol/l硝酸銀水溶液を1.3ml混合して撹拌する。これに0.24mol/l塩化金酸水溶液を0.3ml加えた後、0.1mol/lアスコルビン酸水溶液を0.3ml加えて塩化金酸溶液の色が消失したことを確認する。その後、この液をシャーレに移して低圧水銀灯による波長254nmの紫外線を20分照射することで、吸収波長に約830nmにある金ナノロッド分散液を得た。この金ナノロッド分散液を遠心分離器を用いて金ナノロッド成分を沈降させる。この上澄み液を除いて、さらに水を加えて遠心分離器にかけるという工程を複数回繰り返して、余剰の分散剤臭化セチルトリメチルアンモニウムを除いた。こうして得られた金ナノロッド分散液を、厚さ1mmのガラス基板状に滴下して自然乾燥させたところ金ナノロッド膜厚が40〜80nmとなった。この金微粒子層上に、上記式(1)で示す二光子吸収色素を2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールに溶解した液で膜厚が100nmとなるようにスピンコートして積層型サンプルを得た。
Example 3
70 ml of 0.18 mol / l cetyltrimethylammonium bromide aqueous solution, 0.36 ml of cyclohexane, 1 ml of acetone, and 1.3 ml of 0.1 mol / l silver nitrate aqueous solution are mixed and stirred. After adding 0.3 ml of 0.24 mol / l chloroauric acid aqueous solution to this, 0.3 ml of 0.1 mol / l ascorbic acid aqueous solution is added, and it is confirmed that the color of the chloroauric acid solution has disappeared. Then, this liquid was transferred to a petri dish and irradiated with ultraviolet light having a wavelength of 254 nm for 20 minutes using a low-pressure mercury lamp, thereby obtaining a gold nanorod dispersion liquid having an absorption wavelength of about 830 nm. The gold nanorod component is precipitated from the gold nanorod dispersion using a centrifuge. The supernatant liquid was removed, and the process of adding water and centrifuging was repeated a plurality of times to remove excess dispersant cetyltrimethylammonium bromide. When the gold nanorod dispersion liquid thus obtained was dropped onto a glass substrate having a thickness of 1 mm and naturally dried, the film thickness of the gold nanorods was 40 to 80 nm. On this gold fine particle layer, a two-photon absorbing dye represented by the above formula (1) was spin-coated with a solution in which 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol was dissolved so that the film thickness was 100 nm. A laminated sample was obtained.

〔実施例4〕
厚さ1mmのガラス基板上に、(3−アミノプロピル)エチルジエトキシシランの5%エタノール溶液をスピンコートする。
これを80℃で2時間加熱処理してガラス表面をシランカップリング処理する。
このガラスの処理面を、上記実施例1で得た銀微粒子テトラヒドロフランに分散液に浸して、その後引き上げる。
これを60℃のオーブンで余剰溶媒を除去して銀微粒子がガラス表面上に略1粒子ずつ2次元的に敷きつめられた微粒子層を得た。
AMF観察により微粒子は均一に敷き詰められている部分と微粒子が局所的に凝集している部分とが混在している形態であることを確認した。
この銀微粒子層上に、上記式(1)で示す二光子吸収色素を2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールに溶解した液で膜厚が100nmとなるようにスピンコートして積層型サンプルを得た。
Example 4
A 5% ethanol solution of (3-aminopropyl) ethyldiethoxysilane is spin-coated on a glass substrate having a thickness of 1 mm.
This is heat-treated at 80 ° C. for 2 hours to subject the glass surface to silane coupling treatment.
The treated surface of this glass is immersed in the dispersion of silver fine particle tetrahydrofuran obtained in Example 1 and then pulled up.
The excess solvent was removed in an oven at 60 ° C. to obtain a fine particle layer in which silver fine particles were two-dimensionally spread on the glass surface one by one.
By AMF observation, it was confirmed that the fine particles were in a form in which a portion where the fine particles were uniformly spread and a portion where the fine particles were locally aggregated were mixed.
On this silver fine particle layer, a two-photon absorption dye represented by the above formula (1) was spin-coated with a solution in 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol so that the film thickness was 100 nm. A laminated sample was obtained.

〔実施例5〕
上記実施例4と同様のシランカップリング処理を施したガラス基板処理面を、上記実施例3で得られた金ナノロッド分散液に浸して、その後引き上げ、これを60℃のオーブンで余剰溶媒を除去して金ナノロッドがガラス表面上に略1粒子ずつ2次元的に敷き詰められた微粒子層を得た。
AMF観察により微粒子は均一に敷き詰められている部分と微粒子が局所的に凝集している部分とが混在している形態であることを確認した。
この金ナノロッド層上に、上記式(1)で示す二光子吸収色素を2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールに溶解した液で膜厚が100nmとなるようにスピンコートして積層型サンプルを得た。
Example 5
The glass substrate treated surface subjected to the same silane coupling treatment as in Example 4 above is immersed in the gold nanorod dispersion obtained in Example 3 and then pulled up, and the excess solvent is removed in an oven at 60 ° C. Thus, a fine particle layer was obtained in which gold nanorods were two-dimensionally spread on the glass surface one by one.
By AMF observation, it was confirmed that the fine particles were in a form in which a portion where the fine particles were uniformly spread and a portion where the fine particles were locally aggregated were mixed.
On this gold nanorod layer, a two-photon absorption dye represented by the above formula (1) was spin-coated with a solution in which 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol was dissolved so that the film thickness was 100 nm. A laminated sample was obtained.

〔実施例6〕
上記実施例4で得られた金ナノロッド分散液1gを、1重量%ポリエチレンイミン0.4gと混合した。これに5重量%ポリメタクリル酸メチル−メタクリル酸共重合体のDMF溶液2gを混合する。これを減圧することにより数mlまで濃縮する。この濃縮液を厚さ1mmのガラス基板上に滴下して、90℃のオーブンで溶剤乾燥させてポリマーに金ナノロッドが分散された膜を250nmの厚みで得た。この金ナノロッド分散ポリマー層上に、上記式(1)で示す二光子吸収色素を2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールに溶解した液で膜厚が100nmとなるようにスピンコートして積層型サンプルを得た。
Example 6
1 g of the gold nanorod dispersion obtained in Example 4 was mixed with 0.4 g of 1 wt% polyethyleneimine. To this, 2 g of a DMF solution of 5% by weight polymethyl methacrylate-methacrylic acid copolymer is mixed. This is concentrated to several ml by reducing the pressure. This concentrated solution was dropped onto a glass substrate having a thickness of 1 mm and dried in a solvent at 90 ° C. to obtain a film having gold nanorods dispersed in a polymer with a thickness of 250 nm. On this gold nanorod-dispersed polymer layer, spin coating is performed so that the film thickness becomes 100 nm with a solution in which the two-photon absorption dye represented by the above formula (1) is dissolved in 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol. Thus, a laminated sample was obtained.

〔実施例7〜12〕
上記実施例1〜6において使用した二光子吸収色素を、下記式(2)に示す色素化合物に変更して使用した。
その他の条件は、上記実施例1と同様にしてサンプルを作製した。
[Examples 7 to 12]
The two-photon absorption dye used in Examples 1 to 6 was changed to the dye compound represented by the following formula (2).
Samples were prepared in the same manner as in Example 1 except for the other conditions.

Figure 0005151124
Figure 0005151124

〔比較例1〕
厚さ1mmのガラス基板上に、上記色素(1)を2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールに溶解した液で膜厚が100nmとなるようにスピンコートしてサンプルを作製した。
[Comparative Example 1]
A sample was prepared by spin-coating on a glass substrate having a thickness of 1 mm with a solution obtained by dissolving the dye (1) in 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol to a thickness of 100 nm. .

〔比較例2〕
厚さ1mmのガラス基板上に、上記色素(2)を2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノールに溶解した液で膜厚が100nmとなるようにスピンコートしてサンプルを作製した。
[Comparative Example 2]
A sample was prepared on a 1 mm thick glass substrate by spin-coating the dye (2) in a solution of 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol to a thickness of 100 nm. .

<二光子吸収時の蛍光光量の評価>
測定システムの概略構成図を図5に示す。
上述のようにして作製した各サンプルの二光子吸収量を直接測定することは、プラズモン増強場を発生させる微粒子による励起光の吸収と散乱があるため容易には行うことができない。
そこで、蛍光発光を有する二光子吸収材料を用い、各々のサンプルが二光子吸収によって発する蛍光光量を相対比較し、これによって二光子吸収の増強度を測定することとした。
励起光には、赤外線フェムト秒レーザー、スペクトラフィジックス社製MaiTai(繰り返し周波数80MHz、パルス幅100fs、測定波長780nm、平均照射パワー50mW)を用いている。
出力を調整するため、1/2λ板とグランレーザープリズムよりなるアッテネーターを通し、1/4λ板により円偏光とし、焦点距離100mmの平凸レンズで試料上に集光し、焦点距離40mmのカップリングレンズで蛍光を集め、概略平行光とする。
ダイクロイックミラーで励起光を取り除いた後、焦点距離100mmの平凸レンズで検出用フォトダイオード上に概略集光する。フォトダイオードの手前には赤外線カットガラスフィルターが設置されている。
なお、蛍光強度の評価は、比較例1又は比較例2の二光子色素のサンプルの蛍光強度を1として基準値とし、これとの相対値として表すこととした。
実施例1〜実施例6と比較例1の相対比較評価を下記〔表1〕に表し、実施例7〜実施例12と比較例2との相対比較評価を下記〔表2〕に表す。
<Evaluation of fluorescence intensity at the time of two-photon absorption>
A schematic configuration diagram of the measurement system is shown in FIG.
Direct measurement of the two-photon absorption amount of each sample produced as described above cannot be easily performed due to absorption and scattering of excitation light by fine particles that generate a plasmon enhancement field.
Therefore, a two-photon absorption material having fluorescence emission was used, and the amount of fluorescence emitted by each sample by two-photon absorption was relatively compared, whereby the enhancement of two-photon absorption was measured.
As the excitation light, an infrared femtosecond laser, MaiTai manufactured by Spectra Physics (repetition frequency 80 MHz, pulse width 100 fs, measurement wavelength 780 nm, average irradiation power 50 mW) is used.
In order to adjust the output, it passes through an attenuator consisting of a 1 / 2λ plate and a Glan laser prism, is circularly polarized by a 1 / 4λ plate, and is condensed on a sample by a plano-convex lens having a focal length of 100 mm, and a coupling lens having a focal length of 40 mm. Fluorescent light is collected to make approximately parallel light.
After the excitation light is removed by the dichroic mirror, the light is roughly condensed on the detection photodiode by a plano-convex lens having a focal length of 100 mm. An infrared cut glass filter is installed in front of the photodiode.
The evaluation of the fluorescence intensity is expressed as a reference value with the fluorescence intensity of the sample of the two-photon dye of Comparative Example 1 or Comparative Example 2 as 1, and as a relative value.
The relative comparative evaluation of Examples 1 to 6 and Comparative Example 1 is shown in the following [Table 1], and the comparative comparative evaluation of Examples 7 to 12 and Comparative Example 2 is shown in the following [Table 2].

Figure 0005151124
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Figure 0005151124
Figure 0005151124

上記表1、及び表2の評価結果から明らかなように、本発明の複合部材、すなわち、金属微粒子含有層と、多(二)光子吸収材料含有層とを積層させた構造とすることにより、従来公知の多(二)光子吸収機能材料よりも、その光子吸収特性の増強効果が得られることが確かめられた。
さらには、金属微粒子含有層は、ポリマー中に分散するよりも、二光子吸収材料含有層と接触面積をより大きく確保した方が、より増感効率の向上効果が見込まれ、更には、接触している金属微粒子が凝集している方が、より一層の増強効果が認められることが確かめられた。
As is clear from the evaluation results of Table 1 and Table 2, the composite member of the present invention, that is, a structure in which a metal fine particle-containing layer and a multi- (2) photon absorbing material-containing layer are laminated, It was confirmed that the enhancement effect of the photon absorption characteristics can be obtained as compared with the conventionally known multi- (2) photon absorption functional materials.
Furthermore, it is expected that the metal fine particle-containing layer has a larger contact area with the two-photon absorbing material-containing layer than dispersed in the polymer, and the effect of improving the sensitization efficiency is expected. It was confirmed that a further enhancement effect was observed when the fine metal particles aggregated.

(a)三次元多層光メモリの記録/再生のシステム概略図を示す。(b)三次元記録媒体の概略断面図を示す。(A) A system schematic diagram of recording / reproducing of a three-dimensional multilayer optical memory is shown. (B) A schematic sectional view of a three-dimensional recording medium is shown. 本発明の光制限素子の一例の概略図を示す。The schematic of an example of the optical limiting element of this invention is shown. 二光子光造形法に適用する装置の概略図を示す。The schematic of the apparatus applied to the two-photon stereolithography method is shown. 金ナノロッドのアスペクト比に対する吸収(共鳴)スペクトルを示すShows the absorption (resonance) spectrum for the aspect ratio of gold nanorods 二光子蛍光の測定系を示す。The measurement system of two-photon fluorescence is shown.

符号の説明Explanation of symbols

1 基板
2 基板(反射層)
3 記録ビット
6 ピンホール
7 検出器
10 三次元記録媒体
11 記録層
12 中間層
13 記録用レーザー光源
14 再生用レーザー光源
20 光制限素子
21 保護層
22 二光子吸収材料
23 制御光
24 信号光
25 カラーフィルター
26 検出器
30 光造形物
31 レーザー光源
33 シャッター
34 NDフィルター
35 ミラースキャナー
36 Zステージ
37 レンズ
38 コンピュータ
39 光硬化性樹脂液
1 substrate 2 substrate (reflection layer)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 Recording bit 6 Pinhole 7 Detector 10 Three-dimensional recording medium 11 Recording layer 12 Intermediate layer 13 Laser light source for recording 14 Laser light source for reproduction | regeneration 20 Optical limiting element 21 Protection layer 22 Two-photon absorption material 23 Control light 24 Signal light 25 Color Filter 26 Detector 30 Stereolithography 31 Laser light source 33 Shutter 34 ND filter 35 Mirror scanner 36 Z stage 37 Lens 38 Computer 39 Photocurable resin liquid

Claims (8)

金属表面に発生する表面プラズモン増強場を発生させる金属微粒子を含有し、多光子吸収材料は含有しない金属微粒子含有層と、多光子吸収材料を含有し、前記表面プラズモン増強場を発生する金属微粒子を含有しない多光子吸収材料含有層とが、積層された複合部材を具備していることを特徴とする光制限素子。   A metal fine particle-containing layer containing a metal fine particle that generates a surface plasmon enhancement field generated on a metal surface and not containing a multiphoton absorption material, and a metal fine particle containing a multiphoton absorption material and generating the surface plasmon enhancement field. An optical limiting element comprising a composite member laminated with a multiphoton absorbing material-containing layer that is not contained. 前記金属微粒子含有層の金属微粒子が、前記多光子吸収材料含有層との界面に凝集していることを特徴とする請求項1に記載の光制限素子。   2. The light limiting element according to claim 1, wherein the metal fine particles of the metal fine particle-containing layer are aggregated at an interface with the multi-photon absorbing material-containing layer. 前記金属微粒子が、金ナノロッドであることを特徴とする請求項1または2に記載の光制限素子。   3. The light limiting element according to claim 1, wherein the metal fine particles are gold nanorods. 前記複合部材は、前記金属微粒子含有層と前記多光子吸収材料含有層との積層体を複数具備している多層構成を有しており、
前記複数の多光子吸収材料層の、それぞれの多光子吸収感度が、略同一に設定されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光制限素子。
The composite member has a multilayer configuration including a plurality of laminates of the metal fine particle-containing layer and the multiphoton absorbing material-containing layer,
Wherein the plurality of multi-photon absorption material layer, each of the multi-photon absorption sensitivity, optical limiting device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it is set to substantially the same.
請求項1に記載の複合部材を用いたことを特徴とする光造形システム。   An optical modeling system using the composite member according to claim 1. 前記金属微粒子含有層の金属微粒子が前記多光子吸収材料含有層との界面に凝集していることを特徴とする請求項5に記載の光造形システム。   The optical modeling system according to claim 5, wherein metal fine particles of the metal fine particle-containing layer are aggregated at an interface with the multi-photon absorbing material-containing layer. 前記金属微粒子が金ナノロッドであることを特徴とする請求項5または6に記載の光造形システム。   The stereolithography system according to claim 5 or 6, wherein the metal fine particles are gold nanorods. 前記複合部材は、前記金属微粒子含有層と前記多光子吸収材料含有層との積層体を複数具備している多層構成を有しており、
前記複数の多光子吸収材料層の、それぞれの多光子吸収感度が、略同一に設定されていることを特徴とする請求項5〜7のいずれかに記載の光造形システム。
The composite member has a multilayer configuration including a plurality of laminates of the metal fine particle-containing layer and the multiphoton absorbing material-containing layer,
The optical modeling system according to any one of claims 5 to 7, wherein the multiphoton absorption sensitivities of the plurality of multiphoton absorption material layers are set to be substantially the same.
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