JP5151039B2 - 誘電体セラミックおよびその製造方法ならびに積層セラミックコンデンサ - Google Patents
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出発原料として、各々微粒のBaCO3、CaCO3およびTiO2の各粉末を用意し、これらを秤量した後、ボールミルにより24時間混合し、次いで、1050℃の温度で熱処理することによって、(Ba0.97Ca0.03)TiO3の組成を有するセラミック(以下、「BCT」と言うこともある。)粉末を得た。
上記試料1−7〜1−11では、加湿処理時間として30分〜45分が採用され、熱処理温度として400〜700℃が採用された。しかし、熱処理温度として700℃を採用した場合、試料1−6のように、加湿処理時間を15分としたり、試料1−12のように、加湿処理時間を45分としたりした場合には、「表層部厚み/結晶粒子直径」が0.01〜0.10であるという条件および「希土類元素/Ti」が0.03〜0.10であるという条件のいずれか一方が満たされなくなった。このことから、加湿処理時間および熱処理温度のいずれか一方がいずれか他方に影響されずに、「表層部厚み/結晶粒子直径」が0.01〜0.10であるという条件および「希土類元素/Ti」が0.03〜0.10であるという条件の双方を満足する試料を確実に得るためには、加湿処理時間を30分以上40分以下とし、かつ熱処理温度を400℃以上550℃以下とすべきであることがわかる。
実験例1における試料1−8のセラミック原料粉末を用いながら、生の積層体を焼成する工程での焼成温度を、表3に示すように種々に変え、その他の点については実験例1の場合と同様の方法により、試料となる積層セラミックコンデンサを得た。なお、試料2−2は、焼成温度が1150℃であるので、実験例1における試料1−8と同じものである。
表5に示すように、セラミック粉末の主成分ABO3として種々のものを用意するとともに、添加成分として、種々の希土類元素および他のいくつかの元素ならびに種々の焼結助剤を用意し、表5に示すモル比となるように誘電体セラミック原料粉末を作製し、これら誘電体セラミック原料粉末を用いて、実験例1の場合と同様の方法によって、各試料に係る積層セラミックコンデンサを作製した。
2 積層体
3 誘電体セラミック層
4,5 内部電極
8,9 外部電極
21 結晶粒子
22 表層部
23 内部
Claims (7)
- ABO3 (Aは、Ba、またはCaおよびSrの少なくとも1種とBaとであり、Bは、Ti、またはZrおよびHfの少なくとも1種とTiとである。)を主成分とし、さらに副成分として希土類元素(希土類元素は、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYの少なくとも1種である。)を含み、結晶粒子と結晶粒界とを備える、誘電体セラミックであって、
前記結晶粒子のうちの90%以上の結晶粒子において、Tiに対する希土類元素の濃度がモル比で0.03〜0.10である、表層部と、Tiに対する希土類元素の濃度がモル比で0.01以下である、内部とを有し、かつ前記表層部の平均厚みの、前記結晶粒子の直径に対する比が0.01〜0.10であることを特徴とする、誘電体セラミック。 - 前記結晶粒子のうちの90%以上の結晶粒子において、前記表層部の平均厚みの、前記結晶粒子の直径に対する比が0.01〜0.04であることを特徴とする、請求項1に記載の誘電体セラミック。
- 前記結晶粒子のうちの90%以上の結晶粒子において、前記表層部における、Tiに対する希土類元素の濃度がモル比で0.05〜0.10である、請求項1または2に記載の誘電体セラミック。
- 前記結晶粒子の前記内部と前記表層部との境界領域の形状が、前記結晶粒子の外周とほぼ同心円状である、請求項1ないし3のいずれかに記載の誘電体セラミック。
- ABO3 (Aは、Ba、またはCaおよびSrの少なくとも1種とBaとであり、Bは、Ti、またはZrおよびHfの少なくとも1種とTiとである。)を主成分とする、セラミック粉末を用意する工程と、
前記セラミック粉末に対し、相対湿度80%以上の雰囲気下で30分以上40分以下、加湿処理を行なう工程と、その後、
前記セラミック粉末に添加成分を混合する工程と、
前記セラミック粉末と前記添加成分との混合物を400℃以上550℃以下で熱処理し、それによって、前記添加成分を前記セラミック粉末の粒子表層部に固溶させる工程と、
前記添加成分が粒子表層部に固溶した前記セラミック粉末を焼成する工程と
を備える、誘電体セラミックの製造方法。 - 前記添加成分は希土類元素(La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYの少なくとも1種)である、請求項5に記載の誘電体セラミックの製造方法。
- 複数の積層された誘電体セラミック層および前記誘電体セラミック層間の特定の界面に沿って形成された内部電極を含む、積層体と、
前記内部電極の特定のものに電気的に接続されるように前記積層体の外表面上に形成される外部電極と
を備え、
前記誘電体セラミック層は、請求項1ないし4のいずれかに記載の誘電体セラミックからなることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
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