JP5148372B2 - フッ素含有排水の循環利用方法及びそれに用いる排水処理装置 - Google Patents
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Description
本発明においてフッ素含有排水とは、洗浄水を用いたフッ素を含む排ガス洗浄から排出されるフッ素含有排水であって、フッ素化合物が溶解及び/又は懸濁している排水をいう。フッ素を含む排ガスとしては、例えば、半導体製造工程における、化学蒸着(CVD)装置等のドライクリーニング、ドライエッチング及び蒸着等の成膜工程で排出されるフッ素を含むガス等が挙げられる。前記排ガスは、例えば、PFC(パーフルオロカーボン)、SF6(六フッ化イオウ)、NF3(三フッ化窒素)等のフッ素化合物を含む。洗浄水を用いたフッ素を含む排ガスの洗浄としては、例えば、上記フッ素を含む排ガスを洗浄水によって捕集して無害化する湿式吸着等が挙げられ、より具体的にはアルカリ水溶液や酸水溶液等の洗浄水を用いたスクラビング処理等が挙げられる。フッ素含有排水中のフッ素の形態は特に制限されるものではなく、遊離のフッ素イオンであっても良いし、フッ素含有排水中にケイ素(Si)が含まれる場合は、ヘキサフルオロ珪酸(H2SiF6)又はその塩として存在していてもよい。また、本発明においてフッ素含有排水は、例えば、ウエット洗浄及びウエットエッチング等のその他の半導体製造工程、液晶製造工程、回収フロン処理場、発電所、ステンレス鋼板製造工程、フッ酸製造工程、ごみ焼却等から排出されるフッ素含有排水をさらに含んでいても良い。
本発明において処理水とは、フッ素含有排水とカルシウム化合物とを混合し、これによって形成されるフッ素とカルシウムとを含む凝集物を含む排水を、固液分離して得られる液体及び/又は固液分離して得られる液体をさらに処理することにより排出される液体をいう。固液分離して得られる液体としては、凝集物を沈殿させて得られる上澄み液や、凝集物を含む排水をろ過することにより得られる透過水等が挙げられる。さらなる処理としては、例えば、後述する晶析処理等が挙げられる。処理水のフッ素濃度は、8mg/Lを超える濃度である。処理水のフッ素濃度は、例えば、排ガスの洗浄装置の洗浄水供給槽に供給される時点の処理水のフッ素濃度であることが好ましい。処理水のフッ素濃度は、例えば、JIS K 0102のイオン電極法によって測定することができる。
本発明においてフッ素含有排水の循環利用とは、洗浄水を用いたフッ素を含む排ガスの洗浄で排出されるフッ素含有排水とカルシウム化合物とを混合することによってフッ素除去処理を行い、得られた処理水を前記排ガス洗浄の洗浄水として再利用することをいう。本発明のフッ素含有排水の循環利用方法によれば、処理水が排ガスの洗浄に使用される洗浄水として再利用されることから、例えば、フッ素を含む処理水の河川等への排出及び/又は放流をなくすことができる。また、本発明のフッ素含有排水の循環利用方法によれば、処理水を洗浄水として循環利用するため、例えば、フッ素を含む排ガスの洗浄に使用する洗浄水の供給量を削減できる。さらには、フッ素濃度を排出基準の規制値に適合させるために必要となる煩雑な処理や高度な処理装置等が不要になることから、例えば、設備投資や処理コストを低減できる。
本発明のフッ素含有排水の循環利用方法は、洗浄水を用いたフッ素を含む排ガスの洗浄によって排出されるフッ素含有排水とカルシウム化合物とを混合し、フッ素とカルシウムとを含む凝集物を形成させる工程、凝集物を含む排水を固液分離して処理水を得る工程、及び前記処理水を前記フッ素を含む排ガスの洗浄に使用する洗浄水として利用するために回収する工程を含む。
本発明の排水処理装置は、本発明のフッ素含有排水の循環利用方法を行うための排水処理装置であって、フッ素を含む排ガスの洗浄装置から排出されるフッ素含有排水を回収する原水槽と、前記フッ素含有排水中のフッ素とカルシウム化合物とを反応させて凝集させる反応槽と、前記凝集物を沈殿させる沈殿槽と、前記排ガスの洗浄装置と連結可能な処理水供給管とを含み、前記処理水供給管を通じて、前記沈殿槽の上澄み液から得られる処理水を前記洗浄装置に供給可能な装置である。本発明の排水処理装置は、例えば、前記処理水供給管を排ガス洗浄装置に連結することによって本発明のフッ素含有排水の循環利用方法を行うことができる。本発明の排水処理装置によれば、処理水を排ガス洗浄装置で使用する洗浄水として利用するため、例えば、フッ素を含む処理水の河川等への排出及び/又は放流することなくフッ素含有排水を処理できる。また、洗浄用供給水の使用量を大幅に削減することができる。
H2SiF6+Ca(OH)2→CaSiF6+2H2O ・・・(1)
H2SiF6+Ca(OH)2→CaF2+SiO2 ・・・(2)
2HF+Ca(OH)2→CaF2+2H2O ・・・(3)
2・・・原水槽
21・・・第1反応槽
22・・・第2反応槽
23・・・凝集槽
3・・・沈殿槽
4・・・洗浄水供給槽
5・・・排ガス洗浄装置
6・・・汚泥槽
11・・・カルシウム化合物槽
12・・・凝集剤槽
13・・・酸性剤槽
14・・・アルカリ性剤槽
P1〜P6・・・配管
Claims (6)
- フッ素含有排水の循環利用方法であって、
洗浄水を用いたフッ素を含む排ガスの洗浄で排出されるフッ素含有排水とカルシウム化合物とを混合し、フッ素とカルシウムとを含む凝集物を形成させる工程、
前記凝集物を含む排水を固液分離して処理水を得る工程、及び
前記処理水を前記フッ素を含む排ガスの洗浄に使用する洗浄水として利用するために回収する工程を含み、
前記フッ素含有排水と前記カルシウム化合物との混合は、前記カルシウム化合物の添加量を前記フッ素含有排水のフッ素濃度に対して1倍当量以下とし、前記カルシウム化合物を消石灰とし、前記フッ素含有排水からフッ素除去処理を行い、得られた処理水を前記排ガス洗浄の洗浄水として再利用する、フッ素含有排水の循環利用方法。 - 前記処理水が、循環利用系の外部に排出されることなく前記洗浄水として利用される、請求項1記載のフッ素含有排水の循環利用方法。
- 前記固液分離して得られた液体をさらに晶析処理して処理水を得ることを含む、請求項1又は2に記載のフッ素含有排水の循環利用方法。
- 前記洗浄水を用いたフッ素を含む排ガスの洗浄が、スクラビング処理を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載のフッ素含有排水の循環利用方法。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載のフッ素含有排水の循環利用方法を行うための排水処理装置であって、
フッ素を含む排ガスの洗浄装置から排出されるフッ素含有排水を回収する原水槽と、
前記フッ素含有排水中のフッ素とカルシウム化合物とを反応させて凝集させる反応槽と、
前記凝集物を沈殿させる沈殿槽と、
前記排ガスの洗浄装置と連結可能な処理水供給管とを含み、
前記処理水供給管を通じて、前記沈殿槽の上澄み液から得られる処理水を前記洗浄装置に供給可能であり、
前記フッ素含有排水と前記カルシウム化合物との混合は、前記カルシウム化合物の添加量を前記フッ素含有排水のフッ素濃度に対して1倍当量以下とし、前記カルシウム化合物を消石灰とし、前記フッ素含有排水からフッ素除去処理を行い、得られた処理水を前記排ガス洗浄の洗浄水として再利用する、排水処理装置。 - 前記フッ素を含む排ガスの洗浄装置が、スクラバーを含む、請求項5記載の排水処理装置。
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