JP5147227B2 - 電気的接続装置の使用方法 - Google Patents
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Description
本発明は、上面に凹所が形成された電極を有する被検査体の電気検査のために前記上面に当接可能なプローブを備える電気的接続装置の使用方法であって、前記プローブはプローブ基板に結合された基部と、該基部から前記プローブ基板に沿ってこれから間隔をおいて前記被検査体の前記電極の上方へ伸びる弾性変形可能のアーム部と、前記プローブ基板から離れる方向へ向けて前記アーム部より突出する針先部とを有する。各プローブの針先部の先端の径は前記凹所の開口径よりも小さく、前記針先部の先端は、前記アーム部に撓みを伴う変形が生じていない状態で前記上面の前記凹所を除く平坦面領域に当接可能である。前記電気的接続装置は、前記プローブに前記電極へ向けてのオーバドライブ力が作用して前記アーム部に撓み変形が生じたとき前記針先部の先端は前記平坦面領域から逸脱することなく該平坦面上を移動し、前記オーバドライブ力が解除されたとき前記針先部の先端は前記平坦面領域から逸脱することなく該平坦面上を移動する。
18 プローブ基板
44 プローブ
44a 針先(先端)
56 半導体ウエハ(被検査体)
58 電極
66 電極の上面
66a 平坦面領域
68 凹所
Claims (4)
- 上面に凹所が形成された電極を有する被検査体の電気検査のために前記上面に当接可能なプローブを備える電気的接続装置の使用方法であって、前記プローブはプローブ基板に結合された基部と、該基部から前記プローブ基板に沿ってこれから間隔をおいて前記被検査体の前記電極の上方へ伸びる弾性変形可能のアーム部と、前記プローブ基板から離れる方向へ向けて前記アーム部より突出する針先部とを備え、該針先部の先端の径は前記凹所の開口径よりも小さく、前記針先部の先端は、前記アーム部に撓みを伴う変形が生じていない状態で前記上面の前記凹所を除く平坦面領域に当接可能でありかつ前記プローブに前記電極へ向けてのオーバドライブ力が作用して前記アーム部に撓み変形が生じたとき前記針先部の先端は前記平坦面領域から逸脱することなく該平坦面上を移動し、前記オーバドライブ力が解除されたとき前記針先部の先端は前記平坦面領域から逸脱することなく該平坦面上を移動することを特徴とする電気的接続装置の使用方法。
- 前記プローブの前記先端は、前記アーム部に撓みを伴う変形が生じていない状態で前記プローブの前記基部に遠い側に位置する前記上面の一半領域に接触可能である、請求項1に記載の電気的接続装置の使用方法。
- 前記アーム部の長手方向仮想延長線は、前記バンプ電極の前記上面のほぼ中心を通る軸線と交差する、請求項1に記載の電気的接続装置の使用方法。
- 前記凹所は前記電極の前記上面の中央部に形成され、該凹所の周壁が該凹所の底部へ向けて傾斜し、前記平坦面領域が前記凹所の前記周壁に連続して該周壁を取り巻くように枠状に形成されており、前記プローブにオーバドライブ力が作用するときおよび該オーバドライブ力が解除されるとき、前記針先は前記傾斜周壁に移行することなく前記平坦面領域上を移動する、請求項1に記載の電気的接続装置の使用方法。
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