JP5136262B2 - 回転真空ポンプ - Google Patents
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Description
本発明の請求項2に係る発明は、周面に多段の回転翼が形成されたディスク部と、ディスク部の下方に延設された回転円筒部とを有するロータと、回転翼の最下段の回転翼の下方において回転円筒部の周囲に配設され、回転円筒部との間でガス通路を形成する固定円筒と、固定円筒を支持する支持部材とを備え、支持部材のロータ回転軸方向の上端部には、固定円筒がロータ回転軸方向に嵌合する嵌合部と、嵌合部に連なり、固定円筒の取付方向反対側のロータ回転軸方向にかけて徐々に径が大きくなるテーパ部を有する凹部とが設けられ、固定円筒の外周面とこれに対向する支持部材の内周面との間に、固定円筒の変形用の隙間が設けられ、固定円筒の上面と最下段の回転翼との間に隙間が設けられていることを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態に係るターボ分子ポンプの全体構成を示す断面図であり、図2は、図1の要部拡大図である。このターボ分子ポンプは、例えば半導体製造装置に用いられる真空ポンプである。なお、説明の便宜上、以下では図1に示すようにターボ分子ポンプの上下方向を定義する。
(1)ベース1の上端面に、固定円筒24の取付用の凹部10を設け、凹部10にテーパ部11と嵌合部12を形成して、凹部10(テーパ部11)の内周面とこれに対向する固定円筒24(リング部26)の外周面との間の隙間が上方にかけて徐々に増加するようにした。これによりロータ破壊時に固定円筒24が上方に持ち上げられ、テーパ部11によって周囲を拘束されながらベース内を回転するので、ロータ破壊の衝撃がベース1に作用することを防ぐことができ、ロータ破壊時のエネルギーを効果的に吸収できる。固定円筒24が上昇するにしたがいテーパ部11とリング部26の間の最小隙間が徐々に大きくなるので、ベース1からの拘束力が小さくなって固定円筒24が回転しやすくなるとともに、固定円筒24の回転トルクがベース1に伝わりにくくなり、ベース1に作用する衝撃力を低減できる。
(3)ベース1と固定円筒24の間に径方向に隙間SPを設けるようにしたので、ロータ3の飛散物の衝突により固定円筒24が変形した際に、その衝撃力がベース1側に伝達されるのを防ぐことができる。
(4)隙間SPの径方向の長さL2を固定円筒24の嵌合長さL1よりも長くしたので、固定円筒24がロータ飛散物からの衝撃によりベース1内で傾いた場合であっても、ベース1に衝撃力が作用することを防ぐことができる。
2 ケーシング
3 ロータ
10 凹部
11 テーパ部
12 嵌合部
21 固定翼
24 固定円筒
31 回転翼
32 回転円筒部
SP 隙間
Claims (2)
- 回転円筒部を有するロータと、
前記回転円筒部の周囲に配設され、前記回転円筒部との間でガス通路を形成する固定円筒と、
前記固定円筒を支持する支持部材とを備え、
前記支持部材のロータ回転軸方向の端部には、前記固定円筒がロータ回転軸方向に嵌合する嵌合部と、前記嵌合部に連なり、前記固定円筒の取付方向反対側のロータ回転軸方向にかけて徐々に径が大きくなるテーパ部を有する凹部とが設けられ、
前記固定円筒の外周面とこれに対向する前記支持部材の内周面との間に、前記固定円筒の変形用の隙間が設けられ、前記隙間の径方向の長さは、前記嵌合部における前記固定円筒のロータ回転軸方向の嵌合長さよりも長いことを特徴とする回転真空ポンプ。 - 周面に多段の回転翼が形成されたディスク部と、前記ディスク部の下方に延設された回転円筒部とを有するロータと、
前記回転翼の最下段の回転翼の下方において前記回転円筒部の周囲に配設され、前記回転円筒部との間でガス通路を形成する固定円筒と、
前記固定円筒を支持する支持部材とを備え、
前記支持部材のロータ回転軸方向の上端部には、前記固定円筒がロータ回転軸方向に嵌合する嵌合部と、前記嵌合部に連なり、前記固定円筒の取付方向反対側のロータ回転軸方向にかけて徐々に径が大きくなるテーパ部を有する凹部とが設けられ、
前記固定円筒の外周面とこれに対向する前記支持部材の内周面との間に、前記固定円筒の変形用の隙間が設けられ、
前記固定円筒の上面と前記最下段の回転翼との間に隙間が設けられていることを特徴とする回転真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008192335A JP5136262B2 (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | 回転真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008192335A JP5136262B2 (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | 回転真空ポンプ |
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JP5136262B2 true JP5136262B2 (ja) | 2013-02-06 |
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Family Applications (1)
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JP2008192335A Expired - Fee Related JP5136262B2 (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | 回転真空ポンプ |
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2008
- 2008-07-25 JP JP2008192335A patent/JP5136262B2/ja not_active Expired - Fee Related
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