JP3122025U - 高速回転式分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 図1に示すとおりで、高速回転式分子ポンプMPにおいてケーシング5と一体で吸気口側のフランジ5Fの周囲に平面部Fを設けたものである。この平面部Fはフランジ5Fの周囲に角度90度の間隔で4ヶ所に形成されている。この平面部Fに、半導体製造装置等の被排気部に固定の機枠(図示せず)が面接合される。したがって高速回転式分子ポンプMPは周囲4ヶ所にてフランジ5Fが固定されることになり、高速回転による内部破壊によって生じるトルクをこれら機枠が受けることになり、高速回転式分子ポンプMPが脱落するような事態は避けられる。
【選択図】 図1
Description
ターボ分子ポンプは、その主体をなすターボ機構が円筒状のケーシング内に回転自在に保持され、ケーシングの一方側における吸気口からの分子、ガス等を吸気し、他方側の排気口に排気する構成をなしている。すなわち、ターボ機構はケーシングの中央部位の軸芯に配置された回転体がケーシングに架設された上下の軸受にて回転自在に保持されるとともに、この回転体は同じくケーシングに架設されたモータにて高速回転されるよう連結されている。そして、このターボ機構は回転体の外周部に複数段固定された回転翼とケーシング側に固定された複数段の固定翼との組み合わせであって、この中で回転翼がモータにて高速回転、具体的には1分間に数万回転という回転速度で駆動され、ガス、分子を圧縮して排気する。
そのため、万一の事故の場合にもポンプを回転させないことで固定ボルトの破断を防止し、ポンプ脱落を防止するとともに装置側に伝達される急停止トルクを低減させることが課題となっている。
しかも通常の分子ポンプに対し、部品点数を増やすことなく、吸気口フランジ固定ボルトの破断防止すなわちポンプの脱落防止を実現することができる。
本考案がまず第1に提供する実施例は、図1から図4に示すとおりで、高速回転式分子ポンプMPにおいてケーシング5と一体で吸気口側のフランジ5Fの周囲に平面部Fを設けたものである。この平面部Fは高速回転式分子ポンプMPを上方からみた平面図の図2に示すとおり、平面部Fはフランジ5Fの周囲の90°間隔で4ヶ所に形成されている。この実施例の構成によれば、図3、図4に示すとおり、固定の機枠21が各平面部Fに面接合される。図4は図3におけるZ−Z面から見た平面図を示すが、機枠21は半導体製造装置HVにおける固定部に固設されているもので、したがって高速回転式分子ポンプMPは図4に示すとおり周囲4ヶ所にてフランジ5Fが固定されることになり、高速回転式分子ポンプMPの内部破壊によって生じるトルクをこれら機台22に取り付けた機枠21が受けることになり、高速回転式分子ポンプMPが脱落するような事態は避けられる。
図11は機台22に機枠21がこの平面部Fに接合された状態を示す。図12は図11におけるD−D面から見た平面図である。この実施例の場合は平面部Fがポンプ機台部1に設けられていて、ポンプ機台部1が機台22と一体化されることにより高速回転式分子ポンプMPの脱落防止も効果的に行われる。
以上5つの実施例を説明したが、これら各図において図21、図22に示す符号と同一の符号で示される部品は、図21、図22と同一ないし同様の機能を有するものであり詳細な説明は省略する。
1K 電極コイル
1C 円筒体
2 モータ
3 回転軸
4 回転体
4N 円筒部
4T ロータ
5 ケーシング
5F フランジ
6 吸気口
7 排気口
8A、8R 磁気軸受
10 ステータリング
11 固定ボルト
21 機枠
22 機台
B1〜B8 回転翼
DP ドラッグポンプ
F 平面部
HV 半導体製造装置
MP 高速回転式分子ポンプ
N ねじ溝
NP ねじ溝ポンプ
S 緩衝部材
SL スペーサ
SR ステータリング
T1〜T7 固定翼
TK ターボ機構
TP ターボ分子ポンプ
Claims (9)
- ケーシングの内方に回転体を回転可能に収納し、この回転体を高速で回転駆動させケーシング側機構との協働機能により、ケーシングの一端開口部の吸気口から気体分子を吸引し、他端開口部の排気口から気体分子を排気する分子ポンプにおいて、分子ポンプの外周部に複数個の平面部を設けたことを特徴とする高速回転式分子ポンプ。
- ケーシングの内方に回転体を回転可能に収納し、この回転体を高速で回転駆動させケーシング側機構との協働機能により、ケーシングの一端開口部の吸気口から気体分子を吸引し、他端開口部の排気口から気体分子を排気する分子ポンプにおいて、分子ポンプの外周部に複数個の平面部を設けるとともにこの平面部の表面部に緩衝部材を付設したことを特徴とする高速回転式分子ポンプ。
- 分子ポンプは、回転体が外周部に複数段の回転翼部を有するとともにケーシング側には前記回転翼と交互に配置された固定翼を有するターボ機構を備えたターボ分子ポンプであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の高速回転式分子ポンプ。
- 分子ポンプは、回転体が外周部にねじ溝を有するとともにその外周面がケーシングの内周面に近接した状態でケーシングに収容されているモレキュラドラッグポンプであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の高速回転式分子ポンプ。
- 分子ポンプの外周部がケーシングと一体またはこれに取り付けられたフランジであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の高速回転式分子ポンプ。
- 分子ポンプの外周部がケーシングであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の高速回転式分子ポンプ。
- 分子ポンプの外周部がポンプ機台であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の高速回転式分子ポンプ。
- 分子ポンプの外周部がケーシングと一体またはこれに取り付けられたフランジであって、このフランジに形成された平面部に固定の機枠が接合されたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の高速回転式分子ポンプ。
- 分子ポンプの外周部がケーシングと一体またはこれに取り付けられたフランジであって、このフランジに形成された平面部に対して緩衝部材を介して固定の機枠が接合されたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の高速回転式分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006001879U JP3122025U (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | 高速回転式分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006001879U JP3122025U (ja) | 2006-03-16 | 2006-03-16 | 高速回転式分子ポンプ |
Publications (1)
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JP3122025U true JP3122025U (ja) | 2006-06-01 |
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ID=43472104
Family Applications (1)
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JP (1) | JP3122025U (ja) |
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2006
- 2006-03-16 JP JP2006001879U patent/JP3122025U/ja not_active Expired - Fee Related
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