JP5134798B2 - GaN系半導体素子 - Google Patents
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Description
2 GaNバッファ層
3 アンドープGaN層
4 n+型GaNドレイン層
5 n−型GaN層
6 p型GaN系チャネル層
7 選択成長用マスク
8 n型GaNソース層
9 ゲート電極
10 ソース電極
11 絶縁膜
Claims (6)
- GaN系半導体からなるチャネル層と、前記チャネル層を挟んで配置されたソース層及びドレイン層を備えたGaN系半導体素子であって、
前記ソース層は前記チャネル層上にリッジ形状に形成されて配置され、
前記ドレイン層は、前記ソース層と対向するように前記チャネル層の下側に配置されるとともに、ゲート電極の長手方向が、前記チャネル層のm面に沿って形成されていることを特徴とするGaN系半導体素子。 - 前記ゲート電極は、前記ソース層を挟むように前記チャネル層上に絶縁物を介して形成されていることを特徴とする請求項1記載のGaN系半導体素子。
- 前記ソース層のリッジ形状は、2つのリッジ部を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のGaN系半導体素子。
- 前記2つのリッジ部の上面から側面にかけて、かつ前記2つのリッジ部間の前記チャネル層の表面に渡ってソース電極が形成されていることを特徴とする請求項3に記載のGaN系半導体素子。
- 前記ゲート電極は、屈曲部を有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のGaN系半導体素子。
- 前記屈曲部は、曲線形状を有することを特徴とする請求項5に記載のGaN系半導体素子。
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