JP5133239B2 - 露光方法および露光装置 - Google Patents
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- 基板上でフォトマスクを相対的に移動させながら露光を行う露光方法であって、
フォトマスクの移動方向の移動開始側において、前記基板に予め形成されたパターンと前記フォトマスクに設けられた基準マークとを画像認識する画像認識工程と、
この画像認識工程によって認識したパターンの画像と予め記憶されている基準画像とを比較することにより、前記パターンに対する前記フォトマスクのズレ量を算出し、前記フォトマスクの移動によりそのズレを補正するマスク位置補正工程と、
このマスク位置補正工程の後、再度前記フォトマスクに設けられた基準マークを画像認識して、この画像を前記画像認識工程で得た基準マークの画像と比較することにより、前記マスク位置補正工程での前記フォトマスクの実際の移動量を算出し、この移動量から前記マスク位置補正工程によるフォトマスクの位置補正が的確になされたか否かを判定するマスク位置補正検査工程と、
が備えられていることを特徴とする露光方法。 - 前記フォトマスクには、前記基板に予め形成されたパターンを画像認識するための透光窓が形成されると共に、その透光窓には前記フォトマスクの基準マークが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記基板に予め形成されたパターンの画像認識と、前記フォトマスクの基準マークの画像認識とが一のカメラで行われていることを特徴とする請求項1又は2に記載の露光方法。
- 前記カメラが、二重焦点カメラであることを特徴とする請求項3に記載の露光方法。
- 基板上でフォトマスクを相対的に移動させながら露光を行う露光装置であって、
フォトマスクの移動方向の移動開始側において、前記基板に予め形成されたパターンと前記フォトマスクに設けられた基準マークとを画像認識する画像認識手段と、
この画像認識手段によって認識したパターンの画像と予め記憶されている基準画像とを比較することにより、前記パターンに対する前記フォトマスクのズレ量を算出し、前記フォトマスクの移動によりそのズレを補正するマスク位置補正手段と、
このマスク位置補正手段によるマスク位置補正後、再度前記画像認識手段によって前記フォトマスクに設けられた基準マークを画像認識して、この画像をマスク位置補正前に得た基準マークの画像と比較することにより、前記マスク位置補正手段による前記フォトマスクの実際の移動量を算出し、この移動量から前記マスク位置補正手段によるフォトマスクの位置補正が的確になされたか否かを判定するマスク位置補正検査手段と、
が備えられていることを特徴とする露光装置。 - 前記フォトマスクには、前記基板に予め形成されたパターンを画像認識するための透光窓が形成されると共に、その透光窓には前記フォトマスクの基準マークが形成されていることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記基板に予め形成されたパターンの画像認識と、前記フォトマスクの基準マークの画像認識とが一のカメラで行われていることを特徴とする請求項5又は6に記載の露光装置。
- 前記カメラが、二重焦点カメラであることを特徴とする請求項7に記載の露光装置。
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