JP5121912B2 - Colored photosensitive resin composition, pattern forming method, color filter manufacturing method, color filter, and display device including the same - Google Patents

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本発明は、着色感光性樹脂組成物、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及びそれを備えた表示装置に関する。   The present invention relates to a colored photosensitive resin composition, a pattern forming method, a color filter manufacturing method, a color filter, and a display device including the same.

近年、液晶表示装置の開発は、画面が比較的小面積であるパソコン、モニターの用途から、画面が大型でしかも高度な画質が求められるテレビ用途にも展開されている。
テレビ用途では、従来のモニター用途に比べて、より高度な画質、即ち、コントラスト、及び色純度の向上が求められている。コントラスト向上のために、カラーフィルタの形成に用いる着色感光性樹脂組成物に使用する着色剤(有機顔料等)の粒子サイズが、より微細なものが求められている。また、色純度向上のため、該着色感光性樹脂組成物の固形分中に占める着色剤(有機顔料)の含有率としては、より高いものが求められている。
In recent years, the development of liquid crystal display devices has been expanded from the use of personal computers and monitors having a relatively small screen to the use of televisions requiring a large screen and high image quality.
In television applications, higher image quality, that is, improvement in contrast and color purity is required compared to conventional monitor applications. In order to improve contrast, a finer particle size of a colorant (such as an organic pigment) used in a colored photosensitive resin composition used for forming a color filter is required. Moreover, the higher thing is calculated | required as content rate of the coloring agent (organic pigment) which occupies in solid content of this colored photosensitive resin composition for color purity improvement.

着色感光性樹脂組成物において、着色剤(有機顔料)が微細化し、且つ、その含有率が高くなると、フォトリソ法で画像パターンを形成したときに、線幅感度が低くなる(線幅が細くなる)などの問題を生じる。このような問題点を解決するため、カラーフィルタ用の感光性樹脂組成物に用いる光重合開始剤の改良により線幅感度を向上させる試みが数多く提案されている。例えば、特定の構造のトリアジン系化合物を使用した光重合性組成物(例えば、特許文献1参照。)や、ベンゾフェノン系、アセトフェノン系、チオキサントン系化合物を1つ又は2つ以上混合使用したカラーフィルタ用フォトレジスト(例えば、特許文献2参照。)などが開示されている。   In the colored photosensitive resin composition, when the colorant (organic pigment) becomes finer and the content thereof becomes higher, the line width sensitivity becomes lower (the line width becomes narrower) when an image pattern is formed by the photolithography method. ). In order to solve such problems, many attempts have been made to improve the line width sensitivity by improving the photopolymerization initiator used in the photosensitive resin composition for color filters. For example, a photopolymerizable composition using a triazine compound having a specific structure (for example, see Patent Document 1), or a color filter using one or a mixture of two or more benzophenone, acetophenone, and thioxanthone compounds. A photoresist (see, for example, Patent Document 2) is disclosed.

また、近年、青色レーザの普及により、特に短波長(365nmや405nm)の光源に感受性を有する感光性樹脂組成物が種々の用途から望まれている。これを実現するために、短波長の光源に対して高い感度を示す光重合開始剤に対する要求が高まっていおり、そのような光重合開始剤として、多種のオキシムエステル化合物が提案されている。例えば、特許文献3には、光重合開始剤として特定構造のオキシムエステル化合物を適用したカラーフィルタ用の着色感光性組成物が開示されている。また、特許文献4には、高感度であり、重合物の着色を抑制しうる光重合開始剤として、特定構造を有するオキシムエステル化合物が開示される。   In recent years, with the widespread use of blue lasers, photosensitive resin compositions that are particularly sensitive to light sources with short wavelengths (365 nm and 405 nm) are desired for various applications. In order to realize this, there is an increasing demand for a photopolymerization initiator exhibiting high sensitivity to a short wavelength light source, and various oxime ester compounds have been proposed as such photopolymerization initiators. For example, Patent Document 3 discloses a colored photosensitive composition for a color filter to which an oxime ester compound having a specific structure is applied as a photopolymerization initiator. Patent Document 4 discloses an oxime ester compound having a specific structure as a photopolymerization initiator that has high sensitivity and can suppress coloring of a polymer.

特開平6−289611号公報JP-A-6-289611 特開平9−80225号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-80225 特開2005−202252号公報JP-A-2005-202252 特開2004−359639号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-359639

しかしながら、光重合開始剤としてオキシムエステル化合物を含有する従来の感光性樹脂組成物では、カラーフィルタ用途の如く着色剤を多く含有させた場合において、充分な硬化感度が得られないなどの問題があった。また、硬化性を更に向上させるべく、硬化膜に対して後加熱処理(ポストベーク)を行った場合には、硬化膜に所望としない着色が生じるという問題もあった。硬化膜における所望としない着色は、特に、当該硬化膜をカラーフィルタの着色パターンに適用した場合において、輝度低下などの性能劣化を来す。   However, the conventional photosensitive resin composition containing an oxime ester compound as a photopolymerization initiator has a problem that sufficient curing sensitivity cannot be obtained when a large amount of colorant is contained as in color filter applications. It was. In addition, when post-heating treatment (post-baking) is performed on the cured film in order to further improve the curability, there is also a problem that undesired coloring occurs on the cured film. Undesired coloring in the cured film causes performance deterioration such as a reduction in luminance, particularly when the cured film is applied to the coloring pattern of the color filter.

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その課題は、硬化感度が高く、現像性が良好で、優れた耐熱性と所望の色相とを有する着色硬化膜を形成しうる着色感光性樹脂組成物を提供することである。
また、本発明の他の課題は、前記着色感光性樹脂組成物を用いて、現像性が良好で、優れた耐熱性と所望の色相とを有する直線性に優れた着色パターンを形成しうるパターン形成方法、及び、該パターン形成方法を適用したカラーフィルタの製造方法を提供することである。
更に、本発明の他の課題は、高感度に形成された着色パターンを有する輝度の良好なカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを備えた表示装置を提供することである。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and the problems thereof are colored photosensitivity capable of forming a colored cured film having high curing sensitivity, good developability, excellent heat resistance and a desired hue. It is to provide a resin composition.
Moreover, the other subject of this invention is the pattern which can form the coloring pattern which was excellent in developability, and was excellent in the linearity which has the outstanding heat resistance and desired hue using the said colored photosensitive resin composition. A forming method and a method for producing a color filter to which the pattern forming method is applied.
Another object of the present invention is to provide a color filter having a color pattern having high sensitivity and a good luminance, and a display device including the color filter.

前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。   Means for solving the above problems are as follows.

<1> 少なくとも、(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)下記一般式(I)で表される光重合開始剤、(E)多官能チオール化合物、及び(F)溶剤を含有する着色感光性樹脂組成物。 <1> At least (A) a colorant, (B) a binder resin, (C) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator represented by the following general formula (I), (E) a polyfunctional thiol compound, And (F) a colored photosensitive resin composition containing a solvent.

一般式(I)中、Rは、芳香環又はヘテロ芳香環を含む1価の置換基を表し、X、X、X及びXは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表し、Yは単結合又はカルボニル基を表し、Zはメチル基又はフェニル基を表す。 In general formula (I), R 1 represents a monovalent substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring, and X 1 , X 2 , X 3 and X 4 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, Alternatively, it represents an alkyl group, Y represents a single bond or a carbonyl group, and Z represents a methyl group or a phenyl group.

<2> 前記一般式(I)において、Rで表される芳香環又はヘテロ芳香環を含む1価の置換基が、下記一般式(a)又は(b)で示される1価の置換基である<1>に記載の着色感光性樹脂組成物。
<2> In the general formula (I), the monovalent substituent containing the aromatic ring or heteroaromatic ring represented by R 1 is a monovalent substituent represented by the following general formula (a) or (b) The colored photosensitive resin composition according to <1>.

一般式(a)中、Zは、炭素数1〜5のアルキル基、又はフェニル基を表す。一般式(a)及び(b)中、Xは、各々独立に、ハロゲン原子、アリールカルボニル基、又はヘテロアリールカルボニル基を表し、lは0又は1を表す。一般式(a)及び(b)中に示す波線は、隣接するYとの結合位置である。 In the general formula (a), Z 1 represents an alkyl group, or a phenyl group having 1 to 5 carbon atoms. In general formulas (a) and (b), X independently represents a halogen atom, an arylcarbonyl group, or a heteroarylcarbonyl group, and l represents 0 or 1. The wavy line shown in the general formulas (a) and (b) is the coupling position with the adjacent Y.

<3> 前記一般式(I)で表される光重合開始剤が、下記一般式(I-A)で表される光重合開始剤である<1>又は<2>に記載の着色感光性組成物。
<3> The colored photosensitivity according to <1> or <2>, wherein the photopolymerization initiator represented by the general formula (I) is a photopolymerization initiator represented by the following general formula (IA). Composition.

一般式(I−A)中、Rは、ハロゲン原子、アルキル基、メトキシ基、フェノキシ基、フェニルチオ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、シアノ基、又はニトロ基を表すか、或いは、隣接する2以上のR同士で互いに結合して芳香族炭化水素環を形成する基を表し、nは0〜5の整数を表す。X、X、X、X、Y及びZは、前記一般式(I)におけるX、X、X、X、Y及びZと同義である。 In General Formula (IA), R A represents a halogen atom, an alkyl group, a methoxy group, a phenoxy group, a phenylthio group, a diethylamino group, a morpholino group, a cyano group, or a nitro group, or two or more adjacent to each other. R A 's are bonded to each other to form an aromatic hydrocarbon ring, and n represents an integer of 0 to 5. X 1, X 2, X 3 , X 4, Y and Z have the same meanings as X 1, X 2, X 3 , X 4, Y and Z in the general formula (I).

<4> 前記(E)多官能チオール化合物が、2官能のチオール化合物である<1>から<3>のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   <4> The colored photosensitive resin composition according to any one of <1> to <3>, wherein the (E) polyfunctional thiol compound is a bifunctional thiol compound.

<5> 前記(B)バインダー樹脂が、分子内に重合性基を有するバインダー樹脂であるである<1>から<4>のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   <5> The colored photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4>, wherein the (B) binder resin is a binder resin having a polymerizable group in a molecule.

<6> 前記(B)バインダー樹脂が、分子内に、(B−1)下記一般式(II)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(III)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むバインダー樹脂である<1>から<5>のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   <6> The (B) binder resin has (B-1) a structural unit represented by the following general formula (II) in the molecule, (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and (B-3) The binder resin containing at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formula (III): <1> to <5> Colored photosensitive resin composition.

一般式(II)中、R11〜R15はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基、又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。 In the general formula (II), R 11 to R 15 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group, or an aryl group, and R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.

一般式(III)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に炭素数4以下のアルキル基であるか、いずれか一方が水素原子で他方が炭素数4以下のアルキル基であるか、又は、R23及びR24が互いに結合して炭素環を形成する基を表す。 In the general formula (III), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 are each independently an alkyl group having 4 or less carbon atoms, either one is a hydrogen atom and the other is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, or R 23 and R 24 are A group that forms a carbocycle by bonding.

<7> 更に、(G)増感色素を含有する<1>から<6>のいずれか1項に記載のの着色感光性樹脂組成物。   <7> The colored photosensitive resin composition according to any one of <1> to <6>, further comprising (G) a sensitizing dye.

<8> 前記(B)バインダー樹脂が、分子内に、前記(B−1)一般式(II)で表される構造単位、前記(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び前記(B−3)一般式(III)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を50モル%〜90モル%と、酸性基を有する構造単位と、を含み、重量平均分子量が10000〜100000の範囲にある樹脂である<6>又は<7>に記載の着色感光性樹脂組成物。   <8> The (B) binder resin has in its molecule (B-1) a structural unit represented by the general formula (II), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, And (B-3) 50 mol% to 90 mol% of at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the general formula (III), and a structural unit having an acidic group, The colored photosensitive resin composition according to <6> or <7>, which is a resin having a weight average molecular weight in the range of 10,000 to 100,000.

<9> <1>から<8>のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を基板上に付与して着色層を形成する着色層形成工程と、
前記着色層をパターン様に露光して露光部を硬化させる露光工程と、
前記露光後の着色層における未硬化部を現像により除去してパターンを形成する現像工程と、
を含むパターン形成方法。
<9> A colored layer forming step of forming a colored layer by applying the colored photosensitive resin composition according to any one of <1> to <8> on a substrate;
An exposure step of exposing the colored layer in a pattern to cure the exposed portion;
A development step of forming a pattern by removing uncured portions in the colored layer after the exposure by development; and
A pattern forming method including:

<10> <9>に記載のパターン形成方法により、基板上に着色パターンを形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法。
<11> <10>に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタ。
<12> <11>に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。
<10> A method for producing a color filter including a step of forming a colored pattern on a substrate by the pattern forming method according to <9>.
<11> A color filter manufactured by the manufacturing method according to <10>.
<12> A display device comprising the color filter according to <11>.

本発明によれば、硬化感度が高く、現像性が良好で、優れた耐熱性と所望の色相とを有する着色硬化膜を形成しうる着色感光性樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、前記着色感光性樹脂組成物を用いて、現像性が良好で、優れた耐熱性と所望の色相とを有する直線性に優れた着色パターンを形成しうるパターン形成方法、及び、該パターン形成方法を適用したカラーフィルタの製造方法を提供することができる。
また、本発明によれば、高解像度の着色パターンを有する輝度の良好なカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを備えた表示装置を提供することができる。
According to the present invention, it is possible to provide a colored photosensitive resin composition having high curing sensitivity, good developability, and capable of forming a colored cured film having excellent heat resistance and a desired hue.
Further, according to the present invention, a pattern forming method capable of forming a colored pattern having excellent developability, excellent heat resistance, and excellent linearity using the colored photosensitive resin composition. And the manufacturing method of the color filter to which this pattern formation method is applied can be provided.
In addition, according to the present invention, it is possible to provide a color filter with a high luminance having a high-resolution coloring pattern, and a display device including the color filter.

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。
≪着色感光性樹脂組成物≫
本発明の着色感光性樹脂組成物は、少なくとも、(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)一般式(I)で表される光重合開始剤、(E)多官能チオール化合物、及び(F)溶剤を含有する着色感光性樹脂組成物である。
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail.
≪Colored photosensitive resin composition≫
The colored photosensitive resin composition of the present invention comprises at least (A) a colorant, (B) a binder resin, (C) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator represented by the general formula (I), ( E) A colored photosensitive resin composition containing a polyfunctional thiol compound and (F) a solvent.

以下に本発明の着色感光性樹脂組成物の各構成成分について詳述する。
なお、本発明の着色感光性樹脂組成物において「固形分」とは、着色感光性樹脂組成物を用いて正確に1gアルミパンに量り取り、160℃60分間乾燥して得られた質量を意味し、本発明の着色感光性樹脂組成物では、(F)溶剤を除いた着色感光性樹脂組成物の全成分が「固形分」に包含される。
Hereinafter, each component of the colored photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail.
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, the “solid content” means a mass obtained by accurately weighing 1 g aluminum pan using the colored photosensitive resin composition and drying it at 160 ° C. for 60 minutes. In the colored photosensitive resin composition of the present invention, (F) all components of the colored photosensitive resin composition excluding the solvent are included in the “solid content”.

<(D)一般式(I)で表される光重合開始剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、下記一般式(I)で表される光重合開始剤(以下、適宜「特定重合開始剤」と称する)を含有する。
<(D) Photopolymerization initiator represented by general formula (I)>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerization initiator represented by the following general formula (I) (hereinafter referred to as “specific polymerization initiator” as appropriate).

一般式(I)中、Rは、芳香環又はヘテロ芳香環を含む1価の置換基を表し、X、X、X及びXは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表し、Yは単結合又はカルボニル基を表し、Zはメチル基又はフェニル基を表す。 In general formula (I), R 1 represents a monovalent substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring, and X 1 , X 2 , X 3 and X 4 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, Alternatively, it represents an alkyl group, Y represents a single bond or a carbonyl group, and Z represents a methyl group or a phenyl group.

一般式(I)中、Rで表される芳香環又はヘテロ芳香環を含む1価の置換基としては、例えば、フェニル環、ナフタレン環、アントラセン環、テトラセン環、フェナントレン環、ピレン環、クリセン環、アズレン環、フルオレン環、アセナフチル環、インデン環、ピリジン環、ピリミジン環、キノリン環、イミダゾール環、トリアジン環、チエニル環、フリル環、アクリジン環、フェナントリジン環、キサンテン環、クロメン環、カルバゾール環、フェナジン環、フェノチアジン環、フェノキサジン環、ベンゾチアゾール環等を含んで構成された1価の置換基が挙げられ、これらの基はいずれも更に置換されていてもよい。 In the general formula (I), examples of the monovalent substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring represented by R 1 include a phenyl ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a tetracene ring, a phenanthrene ring, a pyrene ring, and a chrysene. Ring, azulene ring, fluorene ring, acenaphthyl ring, indene ring, pyridine ring, pyrimidine ring, quinoline ring, imidazole ring, triazine ring, thienyl ring, furyl ring, acridine ring, phenanthridine ring, xanthene ring, chromene ring, carbazole And monovalent substituents including a ring, a phenazine ring, a phenothiazine ring, a phenoxazine ring, a benzothiazole ring, and the like. Any of these groups may be further substituted.

としては、下記一般式(a)又は一般式(b)表される1価の置換基が好ましい。 R 1 is preferably a monovalent substituent represented by the following general formula (a) or general formula (b).

一般式(a)中、Zは、炭素数1〜5のアルキル基、又はフェニル基を表す。Zとして好ましくは、炭素数1〜3のアルキル基又はフェニル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基であり、更に好ましくはエチル基である。
一般式(a)及び(b)中、Xは、各々独立に、ハロゲン原子、アリールカルボニル基、又はヘテロアリールカルボニル基を表し、lは0又は1を表す。一般式(a)又は(b)において、Xで表されるアリールカルボニル基又はヘテロアリールカルボニル基は、更に置換基が導入されたものであってもよい。
一般式(a)又は(b)に、Xが複数存在する場合、複数のXは、同一であっても異なっていてもよい。
一般式(a)及び(b)中に示す波線は、隣接するYとの結合位置である。
In the general formula (a), Z 1 represents an alkyl group, or a phenyl group having 1 to 5 carbon atoms. Z 1 is preferably an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms or a phenyl group, more preferably a methyl group or an ethyl group, and still more preferably an ethyl group.
In general formulas (a) and (b), X independently represents a halogen atom, an arylcarbonyl group, or a heteroarylcarbonyl group, and l represents 0 or 1. In the general formula (a) or (b), the arylcarbonyl group or heteroarylcarbonyl group represented by X may be further introduced with a substituent.
When a plurality of Xs are present in the general formula (a) or (b), the plurality of Xs may be the same or different.
The wavy line shown in the general formulas (a) and (b) is the coupling position with the adjacent Y.

としては、前記一般式(a)で表される1価の置換基あることがより好ましく、下記一般式(a−1)で表される1価の置換基であることがより好ましい。 R 1 is more preferably a monovalent substituent represented by the general formula (a), and more preferably a monovalent substituent represented by the following general formula (a-1).

一般式(a−1)中、X’は、1価の置換基を表し、Zは、前記一般式(a−1)におけるZと同義であり、mは0〜5の整数である。 In General Formula (a-1), X ′ represents a monovalent substituent, Z 1 has the same meaning as Z 1 in General Formula (a-1), and m is an integer of 0 to 5. .

X’で表される1価の置換基としては、置換基若しくは無置換のアルキル基、置換基若しくは無置換のアリール基、置換基若しくは無置換のアルケニル基、置換基若しくは無置換のアルキニル基、置換基若しくは無置換のアルコキシ基、置換基若しくは無置換のアリールオキシ基、置換基若しくは無置換のアルキルチオオキシ基、置換基若しくは無置換のアリールチオオキシ基、置換基若しくは無置換のハロゲン化アルキル基、N上に置換基若しくは無置換のアミド基、置換基若しくは無置換のアシルオキシ基、置換基若しくは無置換のアルキルスルファニル基、置換基若しくは無置換のアリールスルファニル基、置換基若しくは無置換のアルキルスルフィニル基、置換基若しくは無置換のアリールスルフィニル基、置換基若しくは無置換のアルキルスルホニル基、置換基若しくは無置換のアリールスルホニル基、置換基若しくは無置換のアシル基、置換基若しくは無置換のアルコキシカルボニル基、置換基若しくは無置換のカルバモイル基、置換基若しくは無置換のスルファモイル基、置換基若しくは無置換のアミノ基、置換基若しくは無置換のホスフィノイル基、置換基若しくは無置換の複素環基、ハロゲン原子等が挙げられる。   Examples of the monovalent substituent represented by X ′ include a substituent or an unsubstituted alkyl group, a substituent or an unsubstituted aryl group, a substituent or an unsubstituted alkenyl group, a substituent or an unsubstituted alkynyl group, Substituent or unsubstituted alkoxy group, substituted or unsubstituted aryloxy group, substituted or unsubstituted alkylthiooxy group, substituted or unsubstituted arylthiooxy group, substituted or unsubstituted alkyl halide group , N-substituted or unsubstituted amide group, substituted or unsubstituted acyloxy group, substituted or unsubstituted alkylsulfanyl group, substituted or unsubstituted arylsulfanyl group, substituted or unsubstituted alkylsulfinyl Group, substituted or unsubstituted arylsulfinyl group, substituted or unsubstituted Alkylsulfonyl group, substituted or unsubstituted arylsulfonyl group, substituted or unsubstituted acyl group, substituted or unsubstituted alkoxycarbonyl group, substituted or unsubstituted carbamoyl group, substituted or unsubstituted sulfamoyl group A substituted or unsubstituted amino group, a substituted or unsubstituted phosphinoyl group, a substituted or unsubstituted heterocyclic group, and a halogen atom.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルキル基としては、炭素数1〜30のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、1−エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、2−エチルヘキシル基、フェナシル基、1−ナフトイルメチル基、2−ナフトイルメチル基、4−メチルスルファニルフェナシル基、4−フェニルスルファニルフェナシル基、4−ジメチルアミノフェナシル基、4−シアノフェナシル基4−メチルフェナシル基、2−メチルフェナシル基、3−フルオロフェナシル基、3−トリフルオロメチルフェナシル基、3−ニトロフェナシル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkyl group represented by X ′ is preferably an alkyl group having 1 to 30 carbon atoms, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group, octyl group, decyl group. , Dodecyl group, octadecyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, 1-ethylpentyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, trifluoromethyl group, 2-ethylhexyl group, phenacyl group, 1- Naphthoylmethyl group, 2-naphthoylmethyl group, 4-methylsulfanylphenacyl group, 4-phenylsulfanylphenacyl group, 4-dimethylaminophenacyl group, 4-cyanophenacyl group 4-methylphenacyl group, 2-methyl Phenacyl group, 3-fluorophenacyl group, 3-trifluoromethylphenol Sill group, 3-Nitorofenashiru group.

X’で表される置換基若しくは無置換のアリール基としては、炭素数6〜30のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基、ビフェニル基、1−ナフチル基、2−ナフチル基、9−アンスリル基、9−フェナントリル基、1−ピレニル基、5−ナフタセニル基、1−インデニル基、2−アズレニル基、9−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、o−、m−、及びp−トリル基、キシリル基、o−、m−、及びp−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、オバレニル基等がある。   The substituted or unsubstituted aryl group represented by X ′ is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenyl group, a biphenyl group, a 1-naphthyl group, a 2-naphthyl group, or a 9-anthryl group. 9-phenanthryl group, 1-pyrenyl group, 5-naphthacenyl group, 1-indenyl group, 2-azurenyl group, 9-fluorenyl group, terphenyl group, quarterphenyl group, o-, m-, and p-tolyl group , Xylyl group, o-, m-, and p-cumenyl group, mesityl group, pentarenyl group, binaphthalenyl group, turnaphthalenyl group, quarternaphthalenyl group, heptaenyl group, biphenylenyl group, indacenyl group, fluoranthenyl group, acenaphthylenyl group , Aceanthrylenyl group, phenalenyl group, fluorenyl group, anthryl group, bianthracese Group, teranthracenyl group, quarteranthracenyl group, anthraquinolyl group, phenanthryl group, triphenylenyl group, pyrenyl group, chrysenyl group, naphthacenyl group, preadenyl group, picenyl group, perylenyl group, pentaphenyl group, pentacenyl group, Examples include a tetraphenylenyl group, a hexaphenyl group, a hexacenyl group, a rubicenyl group, a coronenyl group, a trinaphthylenyl group, a heptaphenyl group, a heptacenyl group, a pyranthrenyl group, and an oberenyl group.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルケニル基としては、炭素数2〜10のアルケニル基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、スチリル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkenyl group represented by X ′ is preferably an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include a vinyl group, an allyl group, and a styryl group.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルキニル基としては、炭素数2〜10のアルキニル基が好ましく、例えば、エチニル基、プロピニル基、プロパルギル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkynyl group represented by X ′ is preferably an alkynyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include an ethynyl group, a propynyl group, and a propargyl group.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルコキシ基としては、炭素数1〜30のアルコキシ基が好ましく、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基、tert−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、イソペンチルオキシ基、ヘキシルオキシキ、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、2−エチルヘキシルオキシ基、デシルオキシ基、ドデシルオキシ基、オクタデシルオキシ基、エトキシカルボニルメチル基、2−エチルヘキシルオキシカルボニルメチルオキシ基、アミノカルボニルメチルオキシ基、N,N−ジブチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−メチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−エチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−オクチルアミノカルボニルメチルオキシ基、N−メチル−N−ベンジルアミノカルボニルメチルオキシ基、ベンジルオキシ基、シアノメチルオキシ基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkoxy group represented by X ′ is preferably an alkoxy group having 1 to 30 carbon atoms, such as a methoxy group, an ethoxy group, a propyloxy group, an isopropyloxy group, a butoxy group, an isobutoxy group, sec-butoxy, tert-butoxy, pentyloxy, isopentyloxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, 2-ethylhexyloxy, decyloxy, dodecyloxy, octadecyloxy, ethoxycarbonyl Methyl group, 2-ethylhexyloxycarbonylmethyloxy group, aminocarbonylmethyloxy group, N, N-dibutylaminocarbonylmethyloxy group, N-methylaminocarbonylmethyloxy group, N-ethylaminocarbonylmethyloxy group, N-o Chill aminocarbonylmethyl group, N- methyl -N- benzylaminocarbonyl methyloxy group, a benzyloxy group, and a cyanomethyloxy group.

X’で表される置換基若しくは無置換のアリールオキシ基としては、炭素数6〜30のアリールオキシ基が好ましく、例えば、フェニルオキシ基、1−ナフチルオキシ基、2−ナフチルオキシ基、2−クロロフェニルオキシ基、2−メチルフェニルオキシ基、2−メトキシフェニルオキシ基、2−ブトキシフェニルオキシ基、3−クロロフェニルオキシ基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシ基、3−シアノフェニルオキシ基、3−ニトロフェニルオキシ基、4−フルオロフェニルオキシ基、4−シアノフェニルオキシ基、4−メトキシフェニルオキシ基、4−ジメチルアミノフェニルオキシ基、4−メチルスルファニルフェニルオキシ基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシ基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted aryloxy group represented by X ′ is preferably an aryloxy group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenyloxy group, 1-naphthyloxy group, 2-naphthyloxy group, 2- Chlorophenyloxy group, 2-methylphenyloxy group, 2-methoxyphenyloxy group, 2-butoxyphenyloxy group, 3-chlorophenyloxy group, 3-trifluoromethylphenyloxy group, 3-cyanophenyloxy group, 3-nitro Phenyloxy group, 4-fluorophenyloxy group, 4-cyanophenyloxy group, 4-methoxyphenyloxy group, 4-dimethylaminophenyloxy group, 4-methylsulfanylphenyloxy group, 4-phenylsulfanylphenyloxy group, etc. Can be mentioned.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルキルチオオキシ基としては、炭素数1〜30のチオアルコキシ基が好ましく、例えば、メチルチオオキシ基、エチルチオオキシ基、プロピルチオオキシ基、イソプロピルチオオキシ基、ブチルチオオキシ基、イソブチルチオオキシ基、sec−ブチルチオオキシ基、tert−ブチルチオオキシ基、ペンチルチオオキシ基、イソペンチルチオオキシ基、ヘキシルチオオキシ基、ヘプチルチオオキシ基、オクチルチオオキシ基、2−エチルヘキシルチオオキシ基、デシルチオオキシ基、ドデシルチオオキシ基、オクタデシルチオオキシ基、ベンジルチオオキシ基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkylthiooxy group represented by X ′ is preferably a thioalkoxy group having 1 to 30 carbon atoms, such as a methylthiooxy group, an ethylthiooxy group, a propylthiooxy group, or an isopropylthiooxy group. Butylthiooxy group, isobutylthiooxy group, sec-butylthiooxy group, tert-butylthiooxy group, pentylthiooxy group, isopentylthiooxy group, hexylthiooxy group, heptylthiooxy group, octylthiooxy group 2-ethylhexylthiooxy group, decylthiooxy group, dodecylthiooxy group, octadecylthiooxy group, benzylthiooxy group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアリールチオオキシ基としては、炭素数6〜30のアリールチオオキシ基が好ましく、例えば、フェニルチオオキシ基、1−ナフチルチオオキシ基、2−ナフチルチオオキシ基、2−クロロフェニルチオオキシ基、2−メチルフェニルチオオキシ基、2−メトキシフェニルチオオキシ基、2−ブトキシフェニルチオオキシ基、3−クロロフェニルチオオキシ基、3−トリフルオロメチルフェニルチオオキシ基、3−シアノフェニルチオオキシ基、3−ニトロフェニルチオオキシ基、4−フルオロフェニルチオオキシ基、4−シアノフェニルチオオキシ基、4−メトキシフェニルチオオキシ基、4−ジメチルアミノフェニルチオオキシ基、4−メチルスルファニルフェニルチオオキシ基、4−フェニルスルファニルフェニルチオオキシ基等がある。   The substituted or unsubstituted arylthiooxy group represented by X ′ is preferably an arylthiooxy group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylthiooxy group, a 1-naphthylthiooxy group, and 2-naphthylthio group. Oxy group, 2-chlorophenylthiooxy group, 2-methylphenylthiooxy group, 2-methoxyphenylthiooxy group, 2-butoxyphenylthiooxy group, 3-chlorophenylthiooxy group, 3-trifluoromethylphenylthiooxy group 3-cyanophenylthiooxy group, 3-nitrophenylthiooxy group, 4-fluorophenylthiooxy group, 4-cyanophenylthiooxy group, 4-methoxyphenylthiooxy group, 4-dimethylaminophenylthiooxy group, 4-methylsulfanylphenylthiooxy group, 4-phenyls There is phenylsulfanyl phenylthio group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアシルオキシ基としては、炭素数2〜20のアシルオキシ基が好ましく、例えば、アセチルオキシ基、プロパノイルオキシ基、ブタノイルオキシ基、ペンタノイルオキシ基、トリフルオロメチルカルボニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、1−ナフチルカルボニルオキシ基、2−ナフチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted acyloxy group represented by X ′ is preferably an acyloxy group having 2 to 20 carbon atoms, such as an acetyloxy group, a propanoyloxy group, a butanoyloxy group, a pentanoyloxy group, a trinoyl group. A fluoromethylcarbonyloxy group, a benzoyloxy group, a 1-naphthylcarbonyloxy group, a 2-naphthylcarbonyloxy group, and the like can be given.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルキルスルファニル基としては、炭素数1〜20のアルキルスルファニル基が好ましく、例えば、メチルスルファニル基、エチルスルファニル基、プロピルスルファニル基、イソプロピルスルファニル基、ブチルスルファニル基、ヘキシルスルファニル基、シクロヘキシルスルファニル基、オクチルスルファニル基、2−エチルヘキシルスルファニル基、デカノイルスルファニル基、ドデカノイルスルファニル基、オクタデカノイルスルファニル基、シアノメチルスルファニル基、メトキシメチルスルファニル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkylsulfanyl group represented by X ′ is preferably an alkylsulfanyl group having 1 to 20 carbon atoms, such as a methylsulfanyl group, an ethylsulfanyl group, a propylsulfanyl group, an isopropylsulfanyl group, or a butylsulfanyl group. Group, hexylsulfanyl group, cyclohexylsulfanyl group, octylsulfanyl group, 2-ethylhexylsulfanyl group, decanoylsulfanyl group, dodecanoylsulfanyl group, octadecanoylsulfanyl group, cyanomethylsulfanyl group, methoxymethylsulfanyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアリールスルファニル基としては、炭素数6〜30のアリールスルファニル基が好ましく、例えば、フェニルスルファニル基、1−ナフチルスルファニル基、2−ナフチルスルファニル基、2−クロロフェニルスルファニル基、2−メチルフェニルスルファニル基、2−メトキシフェニルスルファニル基、2−ブトキシフェニルスルファニル基、3−クロロフェニルスルファニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルファニル基、3−シアノフェニルスルファニル基、3−ニトロフェニルスルファニル基、4−フルオロフェニルスルファニル基、4−シアノフェニルスルファニル基、4−メトキシフェニルスルファニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルファニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルファニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルファニル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted arylsulfanyl group represented by X ′ is preferably an arylsulfanyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfanyl group, 1-naphthylsulfanyl group, 2-naphthylsulfanyl group, 2- Chlorophenylsulfanyl group, 2-methylphenylsulfanyl group, 2-methoxyphenylsulfanyl group, 2-butoxyphenylsulfanyl group, 3-chlorophenylsulfanyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfanyl group, 3-cyanophenylsulfanyl group, 3-nitro Phenylsulfanyl group, 4-fluorophenylsulfanyl group, 4-cyanophenylsulfanyl group, 4-methoxyphenylsulfanyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfanyl group, 4-phenylsulfanyl group Le phenylsulfanyl group, 4-dimethylamino-phenylsulfanyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルキルスルフィニル基としては、炭素数1〜20のアルキルスルフィニル基が好ましく、例えば、メチルスルフィニル基、エチルスルフィニル基、プロピルスルフィニル基、イソプロピルスルフィニル基、ブチルスルフィニル基、ヘキシルスルフィニル基、シクロヘキシルスルフィニル基、オクチルスルフィニル基、2−エチルヘキシルスルフィニル基、デカノイルスルフィニル基、ドデカノイルスルフィニル基、オクタデカノイルスルフィニル基、シアノメチルスルフィニル基、メトキシメチルスルフィニル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkylsulfinyl group represented by X ′ is preferably an alkylsulfinyl group having 1 to 20 carbon atoms, such as a methylsulfinyl group, an ethylsulfinyl group, a propylsulfinyl group, an isopropylsulfinyl group, or a butylsulfinyl group. Group, hexylsulfinyl group, cyclohexylsulfinyl group, octylsulfinyl group, 2-ethylhexylsulfinyl group, decanoylsulfinyl group, dodecanoylsulfinyl group, octadecanoylsulfinyl group, cyanomethylsulfinyl group, methoxymethylsulfinyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアリールスルフィニル基としては、炭素数6〜30のアリールスルフィニル基が好ましく、例えば、フェニルスルフィニル基、1−ナフチルスルフィニル基、2−ナフチルスルフィニル基、2−クロロフェニルスルフィニル基、2−メチルフェニルスルフィニル基、2−メトキシフェニルスルフィニル基、2−ブトキシフェニルスルフィニル基、3−クロロフェニルスルフィニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルフィニル基、3−シアノフェニルスルフィニル基、3−ニトロフェニルスルフィニル基、4−フルオロフェニルスルフィニル基、4−シアノフェニルスルフィニル基、4−メトキシフェニルスルフィニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルフィニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルフィニル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted arylsulfinyl group represented by X ′ is preferably an arylsulfinyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfinyl group, 1-naphthylsulfinyl group, 2-naphthylsulfinyl group, 2- Chlorophenylsulfinyl group, 2-methylphenylsulfinyl group, 2-methoxyphenylsulfinyl group, 2-butoxyphenylsulfinyl group, 3-chlorophenylsulfinyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfinyl group, 3-cyanophenylsulfinyl group, 3-nitro Phenylsulfinyl group, 4-fluorophenylsulfinyl group, 4-cyanophenylsulfinyl group, 4-methoxyphenylsulfinyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfinyl group, 4-phenylsulfa Naphthoylmethyl Nils sulfinyl group, 4-dimethylaminophenyl sulfinyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルキルスルホニル基としては、炭素数1〜20のアルキルスルホニル基が好ましく、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、イソプロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2−エチルヘキシルスルホニル基、デカノイルスルホニル基、ドデカノイルスルホニル基、オクタデカノイルスルホニル基、シアノメチルスルホニル基、メトキシメチルスルホニル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkylsulfonyl group represented by X ′ is preferably an alkylsulfonyl group having 1 to 20 carbon atoms, such as methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, propylsulfonyl group, isopropylsulfonyl group, butylsulfonyl. Group, hexylsulfonyl group, cyclohexylsulfonyl group, octylsulfonyl group, 2-ethylhexylsulfonyl group, decanoylsulfonyl group, dodecanoylsulfonyl group, octadecanoylsulfonyl group, cyanomethylsulfonyl group, methoxymethylsulfonyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアリールスルホニル基としては、炭素数6〜30のアリールスルホニル基が好ましく、例えば、フェニルスルホニル基、1−ナフチルスルホニル基、2−ナフチルスルホニル基、2−クロロフェニルスルホニル基、2−メチルフェニルスルホニル基、2−メトキシフェニルスルホニル基、2−ブトキシフェニルスルホニル基、3−クロロフェニルスルホニル基、3−トリフルオロメチルフェニルスルホニル基、3−シアノフェニルスルホニル基、3−ニトロフェニルスルホニル基、4−フルオロフェニルスルホニル基、4−シアノフェニルスルホニル基、4−メトキシフェニルスルホニル基、4−メチルスルファニルフェニルスルホニル基、4−フェニルスルファニルフェニルスルホニル基、4−ジメチルアミノフェニルスルホニル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted arylsulfonyl group represented by X ′ is preferably an arylsulfonyl group having 6 to 30 carbon atoms, such as a phenylsulfonyl group, a 1-naphthylsulfonyl group, a 2-naphthylsulfonyl group, 2- Chlorophenylsulfonyl group, 2-methylphenylsulfonyl group, 2-methoxyphenylsulfonyl group, 2-butoxyphenylsulfonyl group, 3-chlorophenylsulfonyl group, 3-trifluoromethylphenylsulfonyl group, 3-cyanophenylsulfonyl group, 3-nitro Phenylsulfonyl group, 4-fluorophenylsulfonyl group, 4-cyanophenylsulfonyl group, 4-methoxyphenylsulfonyl group, 4-methylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-phenylsulfanylphenylsulfonyl group, 4-dimethyl Le amino phenylsulfonyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアシル基としては、炭素数2〜20のアシル基が好ましく、例えば、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロメチルカルボニル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、1−ナフトイル基、2−ナフトイル基、4−メチルスルファニルベンゾイル基、4−フェニルスルファニルベンゾイル基、4−ジメチルアミノベンゾイル基、4−ジエチルアミノベンゾイル基、2−クロロベンゾイル基、2−メチルベンゾイル基、2−メトキシベンゾイル基、2−ブトキシベンゾイル基、3−クロロベンゾイル基、3−トリフルオロメチルベンゾイル基、3−シアノベンゾイル基、3−ニトロベンゾイル基、4−フルオロベンゾイル基、4−シアノベンゾイル基、4−メトキシベンゾイル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted acyl group represented by X ′ is preferably an acyl group having 2 to 20 carbon atoms, such as an acetyl group, a propanoyl group, a butanoyl group, a trifluoromethylcarbonyl group, a pentanoyl group, or a benzoyl group. 1-naphthoyl group, 2-naphthoyl group, 4-methylsulfanylbenzoyl group, 4-phenylsulfanylbenzoyl group, 4-dimethylaminobenzoyl group, 4-diethylaminobenzoyl group, 2-chlorobenzoyl group, 2-methylbenzoyl group, 2-methoxybenzoyl group, 2-butoxybenzoyl group, 3-chlorobenzoyl group, 3-trifluoromethylbenzoyl group, 3-cyanobenzoyl group, 3-nitrobenzoyl group, 4-fluorobenzoyl group, 4-cyanobenzoyl group, Examples include 4-methoxybenzoyl group It is.

X’で表される置換基若しくは無置換のアルコキシカルボニル基としては、炭素数2〜20のアルコキシカルボニル基が好ましく、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、トリフルオロメチルオキシカルボニル基、1−ナフチルオキシカルボニル基、2−ナフチルオキシカルボニル基、4−メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、4−ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、4−ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、2−クロロフェニルオキシカルボニル基、2−メチルフェニルオキシカルボニル基、2−メトキシフェニルオキシカルボニル基、2−ブトキシフェニルオキシカルボニル基、3−クロロフェニルオキシカルボニル基、3−トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、3−シアノフェニルオキシカルボニル基、3−ニトロフェニルオキシカルボニル基、4−フルオロフェニルオキシカルボニル基、4−シアノフェニルオキシカルボニル基、4−メトキシフェニルオキシカルボニル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted alkoxycarbonyl group represented by X ′ is preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, such as a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, a propoxycarbonyl group, a butoxycarbonyl group, or a hexyloxy group. Carbonyl group, octyloxycarbonyl group, decyloxycarbonyl group, octadecyloxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, trifluoromethyloxycarbonyl group, 1-naphthyloxycarbonyl group, 2-naphthyloxycarbonyl group, 4-methylsulfanylphenyloxycarbonyl Group, 4-phenylsulfanylphenyloxycarbonyl group, 4-dimethylaminophenyloxycarbonyl group, 4-diethylaminophenyloxycarbonyl group, 2-chloropheny Oxycarbonyl group, 2-methylphenyloxycarbonyl group, 2-methoxyphenyloxycarbonyl group, 2-butoxyphenyloxycarbonyl group, 3-chlorophenyloxycarbonyl group, 3-trifluoromethylphenyloxycarbonyl group, 3-cyanophenyloxy Examples include carbonyl group, 3-nitrophenyloxycarbonyl group, 4-fluorophenyloxycarbonyl group, 4-cyanophenyloxycarbonyl group, 4-methoxyphenyloxycarbonyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のカルバモイル基としては、総炭素数1〜30のカルバモイル基が好ましく、例えば、N−メチルカルバモイル基、N−エチルカルバモイル基、N−プロピルカルバモイル基、N−ブチルカルバモイル基、N−ヘキシルカルバモイル基、N−シクロヘキシルカルバモイル基、N−オクチルカルバモイル基、N−デシルカルバモイル基、N−オクタデシルカルバモイル基、N−フェニルカルバモイル基、N−2−メチルフェニルカルバモイル基、N−2−クロロフェニルカルバモイル基、N−2−イソプロポキシフェニルカルバモイル基、N−2−(2−エチルヘキシル)フェニルカルバモイル基、N−3−クロロフェニルカルバモイル基、N−3−ニトロフェニルカルバモイル基、N−3−シアノフェニルカルバモイル基、N−4−メトキシフェニルカルバモイル基、N−4−シアノフェニルカルバモイル基、N−4−メチルスルファニルフェニルカルバモイル基、N−4−フェニルスルファニルフェニルカルバモイル基、N−メチル−N−フェニルカルバモイル基、N、N−ジメチルカルバモイル基、N、N−ジブチルカルバモイル基、N、N−ジフェニルカルバモイル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted carbamoyl group represented by X ′ is preferably a carbamoyl group having 1 to 30 carbon atoms. For example, N-methylcarbamoyl group, N-ethylcarbamoyl group, N-propylcarbamoyl group, N -Butylcarbamoyl group, N-hexylcarbamoyl group, N-cyclohexylcarbamoyl group, N-octylcarbamoyl group, N-decylcarbamoyl group, N-octadecylcarbamoyl group, N-phenylcarbamoyl group, N-2-methylphenylcarbamoyl group, N-2-chlorophenylcarbamoyl group, N-2-isopropoxyphenylcarbamoyl group, N-2- (2-ethylhexyl) phenylcarbamoyl group, N-3-chlorophenylcarbamoyl group, N-3-nitrophenylcarbamoyl group, N- 3-cyanopheni Carbamoyl group, N-4-methoxyphenylcarbamoyl group, N-4-cyanophenylcarbamoyl group, N-4-methylsulfanylphenylcarbamoyl group, N-4-phenylsulfanylphenylcarbamoyl group, N-methyl-N-phenylcarbamoyl group N, N-dimethylcarbamoyl group, N, N-dibutylcarbamoyl group, N, N-diphenylcarbamoyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のスルファモイル基としては、総炭素数0〜30のスルファモイル基が好ましく、例えば、スルファモイル基、N−アルキルスルファモイル基、N−アリールスルファモイル基、N、N−ジアルキルスルファモイル基、N、N−ジアリールスルファモイル基、N−アルキル−N−アリールスルファモオイル基等が挙げられる。より具体的には、N−メチルスルファモイル基、N−エチルスルファモイル基、N−プロピルスルファモイル基、N−ブチルスルファモイル基、N−ヘキシルスルファモイル基、N−シクロヘキシルスルファモイル基、N−オクチルスルファモイル基、N−2−エチルヘキシルスルファモイル基、N−デシルスルファモイル基、N−オクタデシルスルファモイル基、N−フェニルスルファモイル基、N−2−メチルフェニルスルファモイル基、N−2−クロロフェニルスルファモイル基、N−2−メトキシフェニルスルファモイル基、N−2−イソプロポキシフェニルスルファモイル基、N−3−クロロフェニルスルファモイル基、N−3−ニトロフェニルスルファモイル基、N−3−シアノフェニルスルファモイル基、N−4−メトキシフェニルスルファモイル基、N−4−シアノフェニルスルファモイル基、N−4−ジメチルアミノフェニルスルファモイル基、N−4−メチルスルファニルフェニルスルファモイル基、N−4−フェニルスルファニルフェニルスルファモイル基、N−メチル−N−フェニルスルファモイル基、N,N−ジメチルスルファモイル基、N,N−ジブチルスルファモイル基、N,N−ジフェニルスルファモイル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted sulfamoyl group represented by X ′ is preferably a sulfamoyl group having 0 to 30 carbon atoms in total, for example, a sulfamoyl group, an N-alkylsulfamoyl group, an N-arylsulfamoyl group, N, N-dialkylsulfamoyl group, N, N-diarylsulfamoyl group, N-alkyl-N-arylsulfamoyl group and the like can be mentioned. More specifically, N-methylsulfamoyl group, N-ethylsulfamoyl group, N-propylsulfamoyl group, N-butylsulfamoyl group, N-hexylsulfamoyl group, N-cyclohexylsulfur group. Famoyl group, N-octylsulfamoyl group, N-2-ethylhexylsulfamoyl group, N-decylsulfamoyl group, N-octadecylsulfamoyl group, N-phenylsulfamoyl group, N-2- Methylphenylsulfamoyl group, N-2-chlorophenylsulfamoyl group, N-2-methoxyphenylsulfamoyl group, N-2-isopropoxyphenylsulfamoyl group, N-3-chlorophenylsulfamoyl group, N-3-nitrophenylsulfamoyl group, N-3-cyanophenylsulfamoyl group, N-4-methoxyphenyl Nylsulfamoyl group, N-4-cyanophenylsulfamoyl group, N-4-dimethylaminophenylsulfamoyl group, N-4-methylsulfanylphenylsulfamoyl group, N-4-phenylsulfanylphenylsulfamoyl Group, N-methyl-N-phenylsulfamoyl group, N, N-dimethylsulfamoyl group, N, N-dibutylsulfamoyl group, N, N-diphenylsulfamoyl group and the like.

X’で表される置換基若しくは無置換のアミノ基としては、総炭素数0〜50のアミノ基が好ましく、例えば、−NH、N−アルキルアミノ基、N−アリールアミノ基、N−アシルアミノ基、N−スルホニルアミノ基、N,N−ジアルキルアミノ基、N,N−ジアリールアミノ基、N−アルキル−N−アリールアミノ基、N,N−ジスルホニルアミノ基等が挙げられる。より具体的には、N−メチルアミノ基、N−エチルアミノ基、N−プロピルアミノ基、N−イソプロピルアミノ基、N−ブチルアミノ基、N−tert―ブチルアミノ基、N−ヘキシルアミノ基、N−シクロヘキシルアミノ基、N−オクチルアミノ基、N−2−エチルヘキシルアミノ基、N−デシルアミノ基、N−オクタデシルアミノ基、N−ベンジルアミノ基、N−フェニルアミノ基、N−2−メチルフェニルアミノ基、N−2−クロロフェニルアミノ基、N−2−メトキシフェニルアミノ基、N−2−イソプロポキシフェニルアミノ基、N−2−(2−エチルヘキシル)フェニルアミノ基、N−3−クロロフェニルアミノ基、N−3−ニトロフェニルアミノ基、N−3−シアノフェニルアミノ基、N−3−トリフルオロメチルフェニルアミノ基、N−4−メトキシフェニルアミノ基、N−4−シアノフェニルアミノ基、N−4−トリフルオロメチルフェニルアミノ基、N−4−メチルスルファニルフェニルアミノ基、N−4−フェニルスルファニルフェニルアミノ基、N−4−ジメチルアミノフェニルアミノ基、N−メチル−N−フェニルアミノ基、N,N−ジメチルアミノ基、N,N−ジエチルアミノ基、N,N−ジブチルアミノ基、N,N−ジフェニルアミノ基、N,N−ジアセチルアミノ基、N,N−ジベンゾイルアミノ基、N,N−(ジブチルカルボニル)アミノ基、N,N−(ジメチルスルホニル)アミノ基、N,N−(ジエチルスルホニル)アミノ基、N,N−(ジブチルスルホニル)アミノ基、N,N−(ジフェニルスルホニル)アミノ基、モルホリノ基、3,5−ジメチルモルホリノ基、カルバゾール基等が挙げられる。 The substituted or unsubstituted amino group represented by X ′ is preferably an amino group having 0 to 50 carbon atoms in total, for example, —NH 2 , N-alkylamino group, N-arylamino group, N-acylamino. Group, N-sulfonylamino group, N, N-dialkylamino group, N, N-diarylamino group, N-alkyl-N-arylamino group, N, N-disulfonylamino group and the like. More specifically, N-methylamino group, N-ethylamino group, N-propylamino group, N-isopropylamino group, N-butylamino group, N-tert-butylamino group, N-hexylamino group, N-cyclohexylamino group, N-octylamino group, N-2-ethylhexylamino group, N-decylamino group, N-octadecylamino group, N-benzylamino group, N-phenylamino group, N-2-methylphenylamino Group, N-2-chlorophenylamino group, N-2-methoxyphenylamino group, N-2-isopropoxyphenylamino group, N-2- (2-ethylhexyl) phenylamino group, N-3-chlorophenylamino group, N-3-nitrophenylamino group, N-3-cyanophenylamino group, N-3-trifluoromethylphenyla Group, N-4-methoxyphenylamino group, N-4-cyanophenylamino group, N-4-trifluoromethylphenylamino group, N-4-methylsulfanylphenylamino group, N-4-phenylsulfanylphenylamino Group, N-4-dimethylaminophenylamino group, N-methyl-N-phenylamino group, N, N-dimethylamino group, N, N-diethylamino group, N, N-dibutylamino group, N, N-diphenyl Amino group, N, N-diacetylamino group, N, N-dibenzoylamino group, N, N- (dibutylcarbonyl) amino group, N, N- (dimethylsulfonyl) amino group, N, N- (diethylsulfonyl) Amino group, N, N- (dibutylsulfonyl) amino group, N, N- (diphenylsulfonyl) amino group, morpholino group, 3, - dimethyl morpholino group, and a carbazolyl group.

X’で表される置換基若しくは無置換のホスフィノイル基としては、総炭素数2〜50のホスフィノイル基が好ましく、例えば、ジメチルホスフィノイル基、ジエチルホスフィノイル基、ジプロピルホスフィノイル基、ジフェニルホスフィノイル基、ジメトキシホスフィノイル基、ジエトキシホスフィノイル基、ジベンゾイルホスフィノイル基、ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)ホスフィノイル基等が挙げられる。   The substituted or unsubstituted phosphinoyl group represented by X ′ is preferably a phosphinoyl group having 2 to 50 carbon atoms in total, for example, a dimethylphosphinoyl group, a diethylphosphinoyl group, a dipropylphosphinoyl group, Examples thereof include a diphenylphosphinoyl group, a dimethoxyphosphinoyl group, a diethoxyphosphinoyl group, a dibenzoylphosphinoyl group, and a bis (2,4,6-trimethylphenyl) phosphinoyl group.

X’で表される置換基若しくは無置換の複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、芳香族或いは脂肪族の複素環が好ましい。例えば、チエニル基、ベンゾ[b]チエニル基、ナフト[2,3−b]チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、2H−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、3H−インドリル基、インドリル基、1H−インダゾリル基、プリニル基、4H−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、4aH−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、チオキサントリル基等がある。   The substituted or unsubstituted heterocyclic group represented by X ′ is preferably an aromatic or aliphatic heterocyclic ring containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom, or a phosphorus atom. For example, thienyl group, benzo [b] thienyl group, naphtho [2,3-b] thienyl group, thiantenyl group, furyl group, pyranyl group, isobenzofuranyl group, chromenyl group, xanthenyl group, phenoxathinyl group, 2H-pyrrolyl group, pyrrolyl group, imidazolyl group, pyrazolyl group, pyridyl group, pyrazinyl group, pyrimidinyl group, pyridazinyl group, indolizinyl group, isoindolyl group, 3H-indolyl group, indolyl group, 1H-indazolyl group, purinyl group, 4H- Quinolidinyl group, isoquinolyl group, quinolyl group, phthalazinyl group, naphthyridinyl group, quinoxanilyl group, quinazolinyl group, cinnolinyl group, pteridinyl group, 4aH-carbazolyl group, carbazolyl group, β-carbolinyl group, phenanthridinyl group, acridinyl group, perimidinyl group Nyl group, phenanthrolinyl group, phenazinyl group, phenalsadinyl group, isothiazolyl group, phenothiazinyl group, isoxazolyl group, furazanyl group, phenoxazinyl group, isochromanyl group, chromanyl group, pyrrolidinyl group, pyrrolinyl group, imidazolidinyl group, imidazolinyl group, pyrazolidinyl group Group, pyrazolinyl group, piperidyl group, piperazinyl group, indolinyl group, isoindolinyl group, quinuclidinyl group, morpholinyl group, thioxanthryl group and the like.

X’で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等がある。   Examples of the halogen atom represented by X ′ include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.

X’で表される置換基若しくは無置換のハロゲン化アルキル基としては、モノフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ジクロロメチル基、トリクロメチル基、モノブロモメチル基、ジブロモメチル基、トリブロモメチル基等が挙げられる。   Examples of the substituted or unsubstituted halogenated alkyl group represented by X ′ include a monofluoromethyl group, a difluoromethyl group, a trifluoromethyl group, a dichloromethyl group, a trichloromethyl group, a monobromomethyl group, a dibromomethyl group, A tribromomethyl group etc. are mentioned.

X’で表されるN上に置換基若しくは無置換のアミド基としては、N,N−ジメチルアミド基、N,N−ジエチルアミド基等が挙げられる。   Examples of the substituent or unsubstituted amide group on N represented by X ′ include N, N-dimethylamide group and N, N-diethylamide group.

更に、X’で表される上記の置換基は、導入可能な場合には、更に他の置換基で置換されていてもよい。   Furthermore, the above-described substituent represented by X ′ may be further substituted with another substituent when it can be introduced.

そのような置換基としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、エトキシ基、tert−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、p−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、tert−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、p−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、p−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、メチル基、エチル基、tert−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、フェニル基、p−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基等のアリール基等の他、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、p−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。   Examples of such a substituent include halogen atoms such as fluorine atom, chlorine atom, bromine atom and iodine atom, alkoxy groups such as methoxy group, ethoxy group and tert-butoxy group, phenoxy group and p-tolyloxy group. Aryloxy group, alkoxycarbonyl group such as methoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, phenoxycarbonyl group, acyloxy group such as acetoxy group, propionyloxy group, benzoyloxy group, acetyl group, benzoyl group, isobutyryl group, acryloyl group, methacryloyl group , Acyl groups such as methoxalyl group, alkylsulfanyl groups such as methylsulfanyl group, tert-butylsulfanyl group, arylsulfanyl groups such as phenylsulfanyl group, p-tolylsulfanyl group, methylamino group, cyclohexyl Alkylamino group such as amino group, Dimethylamino group such as dimethylamino group, Diethylamino group, Morpholino group, Piperidino group, Arylamino group such as phenylamino group, p-tolylamino group, Methyl group, Ethyl group, Tert-butyl group In addition to alkyl groups such as dodecyl group, phenyl groups, p-tolyl groups, xylyl groups, cumenyl groups, naphthyl groups, anthryl groups, phenanthryl groups, etc., hydroxy groups, carboxy groups, formyl groups, mercapto groups, Sulfo group, mesyl group, p-toluenesulfonyl group, amino group, nitro group, cyano group, trifluoromethyl group, trichloromethyl group, trimethylsilyl group, phosphinico group, phosphono group, trimethylammonium group, dimethylsulfonyl group, Triphenylphenacylphosphoniumyl Etc. The.

これらの中でも、X’としては、溶剤溶解性と長波長領域の吸収効率向上の点から、置換基若しくは無置換のアルキル基、置換基若しくは無置換のアリール基、置換基若しくは無置換のアルケニル基、置換基若しくは無置換のアルキニル基、置換基若しくは無置換のアルコキシ基、置換基若しくは無置換のアリールオキシ基、置換基若しくは無置換のアルキルチオオキシ基、置換基若しくは無置換のアリールチオオキシ基、置換基若しくは無置換のハロゲン化アルキル基、置換基若しくは無置換のアミノ基、又はN上に置換基若しくは無置換のアミド基が好ましく、中でも置換基若しくは無置換のアルキル基がより好ましい。   Among these, X ′ is a substituent or an unsubstituted alkyl group, a substituent or an unsubstituted aryl group, a substituent or an unsubstituted alkenyl group from the viewpoint of improving solvent solubility and absorption efficiency in the long wavelength region. A substituted or unsubstituted alkynyl group, a substituted or unsubstituted alkoxy group, a substituted or unsubstituted aryloxy group, a substituted or unsubstituted alkylthiooxy group, a substituted or unsubstituted arylthiooxy group, A substituted or unsubstituted halogenated alkyl group, a substituted or unsubstituted amino group, or a substituted or unsubstituted amide group on N is preferred, and among them, a substituted or unsubstituted alkyl group is more preferred.

一般式(a−1)において、X’が複数存在する場合、複数のX’は同じであっても、異なっていてもよい。
一般式(a−1)において、mは0〜5の整数を表すが、合成の容易さの観点で0〜3の整数が好ましく、0〜2の整数がより好ましい。
一般式(a−1)において、Zは、前記一般式(a)におけるZと同義であり、好ましい範囲も同様である。
In General Formula (a-1), when a plurality of X ′ are present, the plurality of X ′ may be the same or different.
In general formula (a-1), m represents an integer of 0 to 5, and is preferably an integer of 0 to 3 and more preferably an integer of 0 to 2 from the viewpoint of ease of synthesis.
In formula (a-1), Z 1 has the same meaning as Z 1 in the general formula (a), and preferred ranges are also the same.

以下、Rに包含される1価の置換基の例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。具体例の波線は、一般式(I)中におけるYとの結合位置である。 Examples of monovalent substituents included in R 1 are shown below, but the present invention is not limited thereto. The wavy line in the specific example is the bonding position with Y in the general formula (I).

一般式(I)中、X、X、X及びXは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表す。
一般式(I)中、X1、X、X又はXで表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、又はヨウ素原子が挙げられる。
In general formula (I), X 1 , X 2 , X 3 and X 4 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group.
In general formula (I), examples of the halogen atom represented by X 1 , X 2 , X 3, or X 4 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.

一般式(I)中、X、X、X又はXで表されるアルキル基としては、炭素数1〜5のアルキル基が好ましい。該アルキル基の例としては、メチル基、エチル基、イソブチル基、イソプロピル基等が挙げられる。 In the general formula (I), the alkyl group represented by X 1, X 2, X 3 or X 4, preferably an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. Examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an isobutyl group, and an isopropyl group.

一般式(I)におけるX1、X、X及びXとしては、総てが水素原子であることがより好ましい。 As X 1 , X 2 , X 3 and X 4 in the general formula (I), it is more preferable that all are hydrogen atoms.

一般式(I)中、Yは単結合又はカルボニル基を表す。   In general formula (I), Y represents a single bond or a carbonyl group.

一般式(I)中、Zはメチル基又はフェニル基を表す。   In general formula (I), Z represents a methyl group or a phenyl group.

一般式(I)で表される光重合開始剤としては、X1、X、X及びX4がいずれも水素原子であり、Rが前記一般式(a)〜(d)から選択される1価の置換基であり、Yが単結合又はカルボニル基であり、Zがメチル基又はフェニル基であるものが特に好ましい。 As the photopolymerization initiator represented by the general formula (I), X 1 , X 2 , X 3 and X 4 are all hydrogen atoms, and R 1 is selected from the general formulas (a) to (d). Particularly preferred are monovalent substituents, wherein Y is a single bond or a carbonyl group, and Z is a methyl group or a phenyl group.

一般式(I)で表される光重合開始剤の好適な態様の一つは、下記一般式(I−A)で表される光重合開始剤である。   One of the suitable aspects of the photoinitiator represented by general formula (I) is a photoinitiator represented by the following general formula (IA).

一般式(I−A)中、Rは、ハロゲン原子、アルキル基、メトキシ基、フェノキシ基、フェニルチオ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、シアノ基、又はニトロ基を表すか、或いは、隣接する2以上のR同士で互いに結合して芳香族炭化水素環を形成する基を表し、nは0〜5の整数を表す。X、X、X、X、Y及びZは、前記一般式(I)におけるX、X、X、X、Y及びZと同義である。 In General Formula (IA), R A represents a halogen atom, an alkyl group, a methoxy group, a phenoxy group, a phenylthio group, a diethylamino group, a morpholino group, a cyano group, or a nitro group, or two or more adjacent to each other. R A 's are bonded to each other to form an aromatic hydrocarbon ring, and n represents an integer of 0 to 5. X 1, X 2, X 3 , X 4, Y and Z have the same meanings as X 1, X 2, X 3 , X 4, Y and Z in the general formula (I).

一般式(I)中、Rで表されるアルキル基としては、炭素数1〜8のアルキル基が好ましい。該アルキル基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、2−エチルヘキシル基等が挙げられ、メチル基であることがより好ましい。 In general formula (I), as an alkyl group represented by RA , a C1-C8 alkyl group is preferable. Examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a 2-ethylhexyl group, and a methyl group is more preferable.

一般式(I)中、Rが複数存在する場合、複数のRは同じであっても、異なっていてもよい。 In formula (I), if R A there are multiple, the plurality of R A may be the same or different.

一般式(I)中、Rが、隣接する2以上のR同士で互いに結合して芳香族炭化水素環を形成する基である場合、該2以上のRは、これらが結合するフェニル環と共に芳香族炭化水素環を形成する。該芳香族炭化水素環としては、例えば、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、テトラセン環、ピレン環、等が挙げられる。 In the general formula (I), when R A is a group that is bonded to each other between two or more adjacent R A to form an aromatic hydrocarbon ring, the two or more R A are phenyls to which they are bonded. An aromatic hydrocarbon ring is formed with the ring. Examples of the aromatic hydrocarbon ring include a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring, a tetracene ring, and a pyrene ring.

一般式(I)中、nは0〜3が好ましく、nが1であることがより好ましい。   In general formula (I), n is preferably 0 to 3, and n is more preferably 1.

一般式(I−A)中、X、X、X、X、Y及びZは、前記一般式(I)におけるX、X、X、X、Y及びZと同義であり、好ましい態様も同様である。 In the general formula (I-A), X 1 , X 2, X 3, X 4, Y and Z, X 1 in the general formula (I), X 2, X 3, X 4, Y and Z as defined The preferred embodiments are also the same.

一般式(I−A)で表される光重合開始剤としては、X、X、X及びXがいずれも水素原子であり、Rがメチル基であり、nが1であり、Yが単結合又はカルボニル基であり、Zがメチル基又はフェニル基であるものが特に好ましい。 As a photoinitiator represented by the general formula (IA), X 1 , X 2 , X 3 and X 4 are all hydrogen atoms, R A is a methyl group, and n is 1. , Y is a single bond or a carbonyl group, and Z is particularly preferably a methyl group or a phenyl group.

以下に、特定重合開始剤の具体例化合物を挙げるが、本発明はこれらの化合物により何ら制限されるものではない。   Specific examples of the specific polymerization initiator are shown below, but the present invention is not limited to these compounds.

特定重合開始剤は、例えば、特開2009−134289号公報、特開2009−191061号公報に記載の方法に準じて合成することができる。   The specific polymerization initiator can be synthesized, for example, according to the methods described in JP2009-134289A and JP2009-191061A.

特定重合開始剤としては、市販品を用いてもよい。市販品の例としては、TRONLY TR−PBG−304、TRONLY TR−PBG−309、TRONLY TR−PBG−305(常州強力電子新材料有限公司社(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD)製)が挙げられる。   Commercial products may be used as the specific polymerization initiator. Examples of commercially available products are TRONLY TR-PBG-304, TRONLY TR-PBG-309, TRONLY TR-PBG-305 (manufactured by CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO., LTD) Can be mentioned.

特定重合開始剤は、200nm〜400nmの波長領域に吸収波長を有するものであり、より好ましくは300nm〜400nmの波長領域に吸収波長を有するものである。特定重合開始剤としては、特に、355nm及び365nmの吸光度が高いものが好ましい。   The specific polymerization initiator has an absorption wavelength in the wavelength region of 200 nm to 400 nm, and more preferably has an absorption wavelength in the wavelength region of 300 nm to 400 nm. As the specific polymerization initiator, those having high absorbance at 355 nm and 365 nm are particularly preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、特定重合開始剤に加え、本発明の効果を損なわない限りにおいて、特定重合開始剤とは構造の異なる他の光重合開始剤を含有してもよい。   In addition to the specific polymerization initiator, the colored photosensitive resin composition of the present invention may contain another photopolymerization initiator having a structure different from that of the specific polymerization initiator as long as the effects of the present invention are not impaired. .

特定重合開始剤とは構造の異なる他の光重合開始剤としては、後述する(C)重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であれば、従来公知のものを制限なく用いることができる。他の光重合開始剤として具体的な例としては、ロフィン系光重合開始剤、前記一般式(I)とは異なる構造を有するオキシム系光重合開始剤、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物、等が挙げられる。   As the other photopolymerization initiator having a different structure from the specific polymerization initiator, any conventionally known photopolymerization initiator can be used without limitation as long as it is a compound that initiates and accelerates the polymerization of the polymerizable compound (C) described later. Specific examples of the other photopolymerization initiator include a lophine photopolymerization initiator, an oxime photopolymerization initiator having a structure different from the general formula (I), an organic halogenated compound, an oxydiazole compound, Carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, organic boric acid compounds, disulfonic acid compounds, onium salt compounds, acylphosphine (oxide) compounds, etc. Is mentioned.

他の光重合開始剤として用いうるロフィン系光重合開始剤としては、例えば、ヘキサアリールビイミダゾール化合物が挙げられる。ヘキサアリールビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5.5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、   Examples of the lophine photopolymerization initiator that can be used as other photopolymerization initiators include hexaarylbiimidazole compounds. Examples of the hexaarylbiimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2-chlorophenyl)- 4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) ) Biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4- Dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichloro) Phenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5 ′ -Tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5.5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2' -Bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-methylphenyl) -4,4', 5 5′-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxyca Bonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-ethyl) Phenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4 -Ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2 -Phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4', 5,5'-tetrakis (4-phenoxy) Carbonylphenyl) biimidazole,

2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(4−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3,4−ジメトキシフェニル)ビイミダゾール、 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (4-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3,4-dimethoxyphenyl) biimidazole ,

2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジシアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリシアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジエチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリエチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等を挙げることができる。 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′ , 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2, 4,6-tribromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dicyanophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra Phenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-tricyanophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dimethylphenyl) ) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimi Sol, 2,2′-bis (2,4,6-trimethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-diethylphenyl) -4 , 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-triethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2 ′ -Bis (2,4-diphenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-triphenylphenyl) -4,4', 5 , 5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-fluorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, and the like.

上記の中でも、特に好ましい化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、保土ヶ谷化学工業製 B−CIM、)、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3,4−ジメトキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、日本シベルヘグナー製 HABI1311)、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、黒金化成)が挙げられる。   Among these, particularly preferable compounds include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (for example, B-CIM, manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), 2 , 2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3,4-dimethoxyphenyl) biimidazole (for example, HABI1311 manufactured by Nippon Sibel Hegner), 2,2′-bis (2 -Methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (for example, black gold chemical).

他の光重合開始剤の例としては、アミノアセトフェノン系開始剤も好適なものとして挙げられる。アミノアセトフェノン系開始剤の具体例としては、下記式で示される構造を有し、式中のRが水素原子、メチル基、又は、エチル基で表される化合物が挙げられる。他の光重合開始剤としてのアミノアセトフェノン系開始剤は、市販品としても入手可能であり、例えば、IRGACURE(Irg)369、及び、IRGACURE(Irg)379(何れもチバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)が挙げられる。 As examples of other photopolymerization initiators, aminoacetophenone-based initiators are also preferable. Specific examples of the aminoacetophenone initiator include compounds having a structure represented by the following formula, wherein R 1 is represented by a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group. Aminoacetophenone initiators as other photopolymerization initiators are also available as commercial products, for example, IRGACURE (Irg) 369 and IRGACURE (Irg) 379 (both manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) ).

また、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物の具体例としては、若林等、「Bull Chem.Soc.Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号公報、特開昭48−36281号公報、特開昭55−32070号公報、特開昭60−239736号公報、特開昭61−169835号公報、特開昭61−169837号公報、特開昭62−58241号公報、特開昭62−212401号公報、特開昭63−70243号公報、特開昭63−298339号公報、M.P.Hutt“Journal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)」、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書、特開昭62−143044号公報、特開昭62−150242号公報、特開平9−188685号公報、特開平9−188686号公報、特開平9−188710号公報、特開2000−131837号公報、特開2002−107916号公報、特許第2764769号公報、特願2000−310808号公報等の各公報、及び、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19−22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平6−157623号公報、特開平6−175564号公報、特開平6−175561号公報、特開平6−175554号公報、特開平6−175553号公報、特開平9−188710号公報、特開平6−348011号公報、特開平7−128785号公報、特開平7−140589号公報、特開平7−306527号公報、特開平7−292014号公報、J.C.S.Perkin II(1979)1653−1660)、J.C.S.Perkin II(1979)156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202−232、特開2000−66385号公報、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報に記載の等に記載の光重合開始剤が具体例として挙げられる。   Also, organic halogenated compounds, oxydiazole compounds, carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, organic boric acid compounds, disulfonic acid compounds, Specific examples of the onium salt compound and the acylphosphine (oxide) compound include: Wakabayashi et al., “Bull Chem. Soc. Japan” 42, 2924 (1969), US Pat. No. 3,905,815, Japanese Patent Publication No. 46- 4605, JP 48-36281, JP 55-3070, JP 60-239736, JP 61-169835, JP 61-169837, Kokai 62-58241, JP-A 62-212401 , JP-A-63-70243, JP-Sho 63-298339 discloses, M. P. Hutt “Journal of Heterocyclic Chemistry” 1 (No 3), (1970) ”, Japanese Patent Publication No. 6-29285, US Pat. Nos. 3,479,185, 4,311,783, 4,622, 286, etc., JP-A-62-143044, JP-A-62-1050242, JP-A-9-188865, JP-A-9-188686, JP-A-9-188710, JP-A-2000-131837, JP-A-2002-107916, Japanese Patent No. 2764769, Japanese Patent Application No. 2000-310808, etc., and Kunz, Martin “Rad Tech'98. Proceeding April 19-22. , 1998, Chicago ”etc. Urate, JP-A-6-157623, JP-A-6-175564, JP-A-6-175561, JP-A-6-175554, JP-A-6-175553, JP-A-9-188710 JP, 6-348011, JP 7-128785, JP 7-140589, JP 7-306527, JP 7-292014, J. Pat. C. S. Perkin II (1979) 1653-1660), J. MoI. C. S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, JP 2000-66385 A, JP 2000-80068 A, JP 2004-534797 A, etc. Specific examples of the photopolymerization initiators described are listed.

特定重合開始剤と他の光重合開始剤とを併用する場合における他の光重合開始剤の含有量は、特定重合開始剤の含有量100質量部に対して、100質量部以下であることが好ましい。   When the specific polymerization initiator and another photopolymerization initiator are used in combination, the content of the other photopolymerization initiator may be 100 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the specific polymerization initiator. preferable.

また、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対する光重合開始剤の総量〔特定重合開始剤及び他の重合開始剤の総量〕としては、0.5質量%〜20質量%の範囲が好ましく、1.0質量%〜15質量%の範囲がより好ましく、4質量%〜11質量%の範囲が更に好ましい。   Further, the total amount of the photopolymerization initiator with respect to the total solid content of the colored photosensitive resin composition [total amount of the specific polymerization initiator and other polymerization initiator] is preferably in the range of 0.5% by mass to 20% by mass, The range of 1.0 mass% to 15 mass% is more preferable, and the range of 4 mass% to 11 mass% is still more preferable.

なお、特定重合開始剤、或いは、他の光重合開始剤として、露光波長に吸収を持たない化合物を用いる場合には、露光波長に吸収を有する化合物を増感剤とし
て使用することが好ましい。増感剤については後述する。
In addition, when using the compound which does not have absorption in an exposure wavelength as a specific polymerization initiator or another photoinitiator, it is preferable to use the compound which has absorption in an exposure wavelength as a sensitizer. The sensitizer will be described later.

<(A)着色剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤を少なくとも1種含む。
着色剤としては、染料、及び顔料を適宜選択して用いることができる。耐熱性などの観点からは、顔料がより好ましい。
<(A) Colorant>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains at least one colorant.
As the colorant, dyes and pigments can be appropriately selected and used. From the viewpoint of heat resistance and the like, a pigment is more preferable.

着色剤として使用される顔料は、無機顔料であっても、有機顔料であってもよい。高透過率の着色膜を得る観点から、なるべく粒子サイズの小さいものの使用が好ましい。顔料の一次粒子径の平均は、0.01μm〜0.1μmであることが好ましく、さらに好ましくは、0.01μm〜0.05μmの範囲である。   The pigment used as the colorant may be an inorganic pigment or an organic pigment. From the viewpoint of obtaining a colored film having a high transmittance, it is preferable to use one having a particle size as small as possible. The average primary particle diameter of the pigment is preferably 0.01 μm to 0.1 μm, and more preferably 0.01 μm to 0.05 μm.

本発明の着色感光性樹脂組成物においては、後述する高分子分散剤を用いることで、顔料のサイズが小さい場合であっても、顔料分散性、分散安定性が良好となるため、膜厚が薄くても色純度に優れる着色画素を形成しうる。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, by using the polymer dispersant described later, the pigment dispersibility and dispersion stability are improved even when the pigment size is small. Even if it is thin, a colored pixel having excellent color purity can be formed.

さらに、本発明においては、着色感光性樹脂組成物に含有される顔料のうち、一次粒子径が0.02μm未満の顔料の割合が、該顔料の全量中、10%未満であり、かつ、一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合が、該顔料の全量中、5%未満であることが好ましい。   Furthermore, in the present invention, among the pigments contained in the colored photosensitive resin composition, the proportion of the pigment having a primary particle size of less than 0.02 μm is less than 10% in the total amount of the pigment, and the primary The proportion of the pigment having a particle diameter exceeding 0.08 μm is preferably less than 5% in the total amount of the pigment.

一次粒子径が0.02μm未満の顔料の割合が、10%未満であることで、耐熱性、色度変化を防止することができ、一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合が、5%未満であることで、カラーフィルタの着色画素を形成した場合においてコントラストが良く、着色感光性樹脂組成物の経時安定性が良く、さらには異物故障を防止することができる。
一次粒子径が0.02μm未満の顔料の割合は、耐熱性、及び色度変化防止の観点から、5%未満であることがより好ましい。
一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合は、コントラストをよくする観点から、3%未満であることが好ましい。
When the ratio of the pigment having a primary particle diameter of less than 0.02 μm is less than 10%, the heat resistance and chromaticity change can be prevented, and the ratio of the pigment having a primary particle diameter exceeding 0.08 μm is 5 When it is less than%, the contrast is good when the colored pixels of the color filter are formed, the time-dependent stability of the colored photosensitive resin composition is good, and foreign matter failure can be prevented.
The proportion of the pigment having a primary particle size of less than 0.02 μm is more preferably less than 5% from the viewpoints of heat resistance and chromaticity change prevention.
The proportion of the pigment having a primary particle diameter exceeding 0.08 μm is preferably less than 3% from the viewpoint of improving contrast.

顔料の一次粒子径は、TEM(透過型電子顕微鏡)を用いて測定することができる。
即ち、TEM写真を画像解析して粒径分布を調べることにより行なう。例えば、3〜10万倍での観察試料中の全粒子数と、0.02μm未満、及び0.08μmを超える顔料の粒子数を計測することで粒度分布を把握できる。より具体的には、顔料粉体を透過型電子顕微鏡で3〜10万倍で観察し、写真を撮り、1000個の一次粒子の長径を測定し、0.02μm未満、及び0.08μmを超える一次粒子の割合を算出する。この操作を顔料粉体の部位を変えて合計で3箇所について行い、結果を平均する。
The primary particle diameter of the pigment can be measured using a TEM (transmission electron microscope).
That is, the TEM photograph is subjected to image analysis to examine the particle size distribution. For example, the particle size distribution can be grasped by measuring the total number of particles in the observation sample at a magnification of 300,000 to 100,000, and the number of pigment particles less than 0.02 μm and more than 0.08 μm. More specifically, the pigment powder is observed with a transmission electron microscope at 3 to 100,000 times, photographed, the major axis of 1000 primary particles is measured, less than 0.02 μm, and more than 0.08 μm Calculate the percentage of primary particles. This operation is performed for a total of three locations by changing the location of the pigment powder, and the results are averaged.

着色剤として用いうる無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で表される金属化合物を挙げることができる。無機顔料の例として、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属の金属酸化物、及び、該金属の複合酸化物等が挙げられる。   Examples of inorganic pigments that can be used as the colorant include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specific examples of inorganic pigments include metal oxides of metals such as iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, and composite oxides of the metals. Can be mentioned.

着色剤として用いうる有機顔料の例としては、例えば、
C.I.Pigment Red 1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279、
Examples of organic pigments that can be used as colorants include, for example:
C. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49, 49: 1, 49: 2, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279,

C.I.Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214   C. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 17 4, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213, 214

C.I.Pigment Orange 2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73、
C.I. Pigment Green 7、10、36、37、58
C.I.Pigment Blue 1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、79のCl置換基をOHに変更したもの、80、
C.I.Pigment Violet 1、19、23、27、32、37、42、
C.I.Pigment Brown 25、28等を挙げることができる。
C. I. Pigment Orange 2, 5, 13, 16, 17: 1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73,
C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37, 58
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 79 Cl substituent was changed to OH Stuff, 80,
C. I. Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 32, 37, 42,
C. I. Pigment Brown 25, 28 and the like.

これらの顔料の中で、本発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明は、これらに限定されるものではない。
C.I.Pigment Yellow 11、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185、
C.I.Pigment Orange 36、71、
C.I.Pigment Red 122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264、
C.I.Pigment Violet 19、23、32、
C.I.Pigment Blue 15:1、15:3、15:6、16、22、60、66、
C.I.Pigment Green 7、36、37、58。
Among these pigments, examples of pigments that can be preferably used in the present invention include the following. However, the present invention is not limited to these.
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C. I. Pigment Orange 36, 71,
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C. I. Pigment Violet 19, 23, 32,
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66,
C. I. Pigment Green 7, 36, 37, 58.

好適な有機顔料の一つは、臭素化亜鉛フタロシアニン顔料である。緑色顔料の例示において、C.I. Pigment Green 58として前掲した公知の顔料も、臭素化フタロシアニン顔料に包含される顔料である。   One suitable organic pigment is a brominated zinc phthalocyanine pigment. In the illustration of the green pigment, C.I. I. The known pigments listed above as Pigment Green 58 are also included in brominated phthalocyanine pigments.

一般に亜鉛フタロシアニンは、フタロシアニン環中に16個の水素原子を有しているため、これらの水素原子を、最大16個まで臭素原子で置換することができる。
臭素化亜鉛フタロシアニン顔料としては、例えば、下記一般式(a)で表される臭素化亜鉛フタロシアニン顔料が例示される。
Since zinc phthalocyanine generally has 16 hydrogen atoms in the phthalocyanine ring, up to 16 of these hydrogen atoms can be substituted with bromine atoms.
Examples of brominated zinc phthalocyanine pigments include brominated zinc phthalocyanine pigments represented by the following general formula (a).

一般式(a)中、X21〜X36は、それぞれ独立に、水素原子、塩素原子、又は臭素原子を表し、これらの少なくとも8個は、臭素原子である。 In the general formula (a), X 21 to X 36 each independently represent a hydrogen atom, a chlorine atom, or a bromine atom, and at least eight of these are bromine atoms.

一般式(a)において、X21〜X36の8個以上が臭素原子で置換されることによって、黄味を帯びた明度の高い緑色を呈し、カラーフィルタの緑色画素部パターンへの使用に最適である。本発明では、臭素原子を8個以上置換した亜鉛フタロシアニンが最も好適である。濃い緑色を得るためには、X21〜X36が臭素原子のみであることが好ましい。 In general formula (a), when eight or more of X 21 to X 36 are substituted with bromine atoms, it exhibits a yellowish green color with high brightness and is ideal for use in the color pixel pattern of a color filter It is. In the present invention, zinc phthalocyanine substituted with 8 or more bromine atoms is most preferred. In order to obtain a dark green color, X 21 to X 36 are preferably only bromine atoms.

臭素化亜鉛フタロシアニンの平均組成は、マススペクトロスコピーに基づく質量分析と、フラスコ燃焼イオンクロマトグラフによるハロゲン含有量分析から容易に求められる。   The average composition of brominated zinc phthalocyanine can be easily obtained from mass spectrometry based on mass spectroscopy and halogen content analysis by flask combustion ion chromatography.

臭素化亜鉛フタロシアニンは、例えば、クロルスルホン酸法、ハロゲン化フタロニトリル法、溶融法等の様な公知の製造方法で製造できる。より具体的な製造方法については、特開2008−19383号公報、特開2007−320986号公報、特開2004−70342号公報等に詳細に記載されている。   Brominated zinc phthalocyanine can be produced by a known production method such as a chlorosulfonic acid method, a halogenated phthalonitrile method, or a melting method. More specific production methods are described in detail in JP 2008-19383 A, JP 2007-320986 A, JP 2004-70342 A, and the like.

上述した有機顔料は、単独若しくは、色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。組合せの具体例を以下に示す。   The organic pigments described above can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Specific examples of combinations are shown below.

例えば、赤色層(R)用の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独又はそれらの少なくとも1種とジスアゾ系顔料、イソインドリン系顔料、キノフタロン系顔料等の黄色顔料との混合、又はアントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料の少なくとも1種とペリレン系顔料、アントラキノン系顔料、縮合ジス系顔料、ジケトピロロピロール系顔料等の赤色顔料との混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド155、C.I.ピグメント・レッド224、が挙げられ、縮合ジス系赤色顔料としてはC.I.ピグメント・レッド242が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメント・レッド254とC.I.ピグメント・イエロー139又はC.I.ピグメント・レッド177との混合が好ましい。   For example, as a pigment for the red layer (R), yellow color such as anthraquinone pigment, perylene pigment, diketopyrrolopyrrole pigment alone or at least one of them and disazo pigment, isoindoline pigment, quinophthalone pigment, etc. A mixture with a pigment, or at least one of an anthraquinone pigment, a perylene pigment, a diketopyrrolopyrrole pigment and a red pigment such as a perylene pigment, an anthraquinone pigment, a condensed dis pigment, a diketopyrrolopyrrole pigment Mixing or the like can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment Red 177, and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224, and condensed condensed red pigments include C.I. I. Pigment red 242, and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment Red 254, and C.I. I. Pigment red 254 and C.I. I. Pigment yellow 139 or C.I. I. Mixing with Pigment Red 177 is preferred.

また、赤色顔料と他顔料とを併用する場合、その質量比(赤色顔料:他顔料)は、100:5〜100:80が好ましい。100:4以下では400nmから500nmの光透過率を抑えることが困難で色純度を上げることができない場合がある。また100:81以上では発色力が下がる場合がある。特に、上記質量比としては、100:10〜100:65の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。   Moreover, when using a red pigment and another pigment together, the mass ratio (red pigment: other pigment) has preferable 100: 5-100: 80. If it is 100: 4 or less, it may be difficult to suppress the light transmittance from 400 nm to 500 nm, and the color purity may not be increased. Further, when the ratio is 100: 81 or more, the coloring power may decrease. Particularly, the mass ratio is optimally in the range of 100: 10 to 100: 65. In addition, in the case of the combination of red pigments, it can adjust according to chromaticity.

また、緑色層(G)用の顔料としては、緑色顔料であるハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又は、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメント・グリーン7、36、37、又は58と、C.I.ピグメント・イエロー138、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメント・イエロー180又はC.I.ピグメント・イエロー185との混合が好ましい。
緑色顔料と黄色顔料との質量比は、十分な色純度を得ること、及びNTSC目標色相からのずれを抑制する観点から、100:5〜100:150が好ましい。質量比としては100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。
In addition, as the pigment for the green layer (G), a halogenated phthalocyanine pigment which is a green pigment is used alone or with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment. Mixing with can be used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37, or 58; I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred.
The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150 from the viewpoint of obtaining sufficient color purity and suppressing deviation from the NTSC target hue. The mass ratio is particularly preferably in the range of 100: 30 to 100: 120.

本発明の着色感光性組成物は、緑色の着色感光性組成物に適用した場合において、着色層が加熱されても、所望としない着色が生じることがないので、輝度が高く保持できることから効果的である。   When the colored photosensitive composition of the present invention is applied to a green colored photosensitive composition, even if the colored layer is heated, undesired coloring does not occur. It is.

青色層(B)用の顔料としては、青色顔料であるフタロシアニン系顔料を単独で、若しくは、これとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、C.I.ピグメント・ブルー15:6とC.I.ピグメント・バイオレット23との混合が好ましい。
青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:50が好ましく、より好ましくは100:5〜100:30である。
As the pigment for the blue layer (B), a phthalocyanine pigment that is a blue pigment can be used alone, or a mixture of this pigment and a dioxazine purple pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred.
The mass ratio of the blue pigment and the purple pigment is preferably 100: 0 to 100: 50, more preferably 100: 5 to 100: 30.

本発明の着色感光性組成物は、青色の着色感光性組成物に適用したときにおいても、着色層が加熱されても開始剤に起因する着色が少なく黄色に着色しないので効果的である。   Even when the colored photosensitive composition of the present invention is applied to a blue colored photosensitive composition, even if the colored layer is heated, there is little coloring caused by the initiator and it is effective because it is not colored yellow.

本発明では、特に着色剤として有機顔料を用い、且つ顔料の微細化工程あるいは分散工程で、顔料を高分子化合物で被覆したものを用いることが好ましい。顔料を高分子化合物で被覆することによって微細化された顔料においても、2次凝集体の形成が抑制され、1次粒子の状態で分散させることができる分散性が向上された被覆顔料、分散させた1次粒子が安定的に維持される分散安定性に優れた被覆顔料を用いることがより好ましい。   In the present invention, it is particularly preferable to use an organic pigment as a colorant, and a pigment coated with a polymer compound in a pigment refining step or a dispersing step. Even in pigments refined by coating the pigment with a polymer compound, the formation of secondary aggregates is suppressed, and the coated pigment with improved dispersibility that can be dispersed in the form of primary particles It is more preferable to use a coating pigment excellent in dispersion stability in which primary particles are stably maintained.

本発明で好適な態様である被覆顔料とは、高分子化合物で顔料が被覆されたものであるが、被覆とは微細化で生じた表面活性の高い顔料の新界面が、高分子化合物との強い静電的作用によって、該高分子化合物の強固な被覆層を形成するため、より高い分散安定性を有する被覆顔料が得られるものと考えられる。即ち、本発明においては、被覆処理後の顔料は、高分子化合物を溶解する有機溶剤で洗浄しても、被覆した高分子化合物はほとんど遊離しない。   The coated pigment, which is a preferred embodiment in the present invention, is a pigment coated with a polymer compound. However, the coating is a new surface of a pigment having high surface activity generated by miniaturization. Since a strong coating layer of the polymer compound is formed by a strong electrostatic action, it is considered that a coated pigment having higher dispersion stability can be obtained. That is, in the present invention, the coated polymer compound is hardly released even when the pigment after coating treatment is washed with an organic solvent that dissolves the polymer compound.

本発明でいう被覆顔料は、有機顔料などの顔料粒子が側鎖に複素環等の極性基を有する高分子化合物で被覆されているものであり、該高分子化合物が顔料粒子表面の一部或いは全部に強固に被覆されることでより高い分散安定性の効果を奏するものであり、一般的な高分子分散剤が顔料に吸着してなるものとは異なるものである。この被覆状態は以下に示す有機溶剤による洗浄で高分子化合物の遊離量(遊離率)を測定することにより確認できる。即ち、単に吸着してなる高分子化合物は有機溶剤による洗浄によりそのほとんど、具体的には、65%以上が遊離、除去されるが、本発明の如く表面被覆された顔料の場合には遊離率は極めて少なく、30%以下である。   The coated pigment as used in the present invention is one in which pigment particles such as organic pigments are coated with a polymer compound having a polar group such as a heterocyclic ring in the side chain, and the polymer compound is a part of the pigment particle surface or By being firmly coated all over, a higher dispersion stability effect can be obtained, which is different from that obtained by adsorbing a general polymer dispersant to a pigment. This covering state can be confirmed by measuring the free amount (release rate) of the polymer compound by washing with an organic solvent described below. That is, most of the polymer compound simply adsorbed is washed and washed with an organic solvent, specifically, 65% or more is liberated and removed. In the case of a surface-coated pigment as in the present invention, the liberation rate Is very small, 30% or less.

前記遊離量(遊離率)は、被覆処理後の顔料を1−メトキシ−2−プロパノールで洗浄して、算出する。即ち、顔料10gを1−メトキシ−2−プロパノール100ml中に投入し、振とう機を用いて室温で3時間振とうさせ、その後遠心分離機で80,000rpmで8時間かけて顔料を沈降させ、上澄み液部分の固形分の質量を乾燥法により求める。この固形分の質量と、顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量との比から、遊離率(%)を算出する。   The release amount (release rate) is calculated by washing the coated pigment with 1-methoxy-2-propanol. That is, 10 g of the pigment was put into 100 ml of 1-methoxy-2-propanol, shaken at room temperature for 3 hours using a shaker, and then the pigment was allowed to settle for 8 hours at 80,000 rpm with a centrifuge. The mass of the solid content of the supernatant is determined by a drying method. The liberation rate (%) is calculated from the ratio between the mass of the solid content and the mass of the polymer compound used for the coating of the pigment.

市販等の顔料についての前記遊離量(遊離率)は、以下の方法で測定できる。即ち、顔料を溶解する溶剤(例えばジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、蟻酸、硫酸など)で、顔料全体を溶解した後に、高分子化合物と顔料とに、溶解性の差を利用して有機溶剤で分離して、「顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量」として算出する。別途、顔料を1−メトキシ−2−プロパノールで洗浄して、得られた上記の遊離量を、この「顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量」で除して遊離率(%)を求める。
遊離率は小さいほど顔料への被覆率が高く、分散性、分散安定性が良好である。遊離率の好ましい範囲は30%以下、より好ましくは20%以下、最も好ましくは15%以下である。理想的には0%である。
The said free amount (free rate) about commercially available pigments can be measured by the following method. That is, after dissolving the entire pigment with a solvent that dissolves the pigment (for example, dimethyl sulfoxide, dimethylformamide, formic acid, sulfuric acid, etc.), the polymer compound and the pigment are separated by an organic solvent using the difference in solubility. Thus, it is calculated as “mass of the polymer compound used for the coating treatment of the pigment”. Separately, the pigment was washed with 1-methoxy-2-propanol, and the obtained liberation amount was divided by the “mass of the polymer compound used for the pigment coating treatment” to obtain the liberation rate (%). Ask for.
The smaller the liberation rate, the higher the coverage of the pigment, and the better the dispersibility and dispersion stability. A preferable range of the liberation rate is 30% or less, more preferably 20% or less, and most preferably 15% or less. Ideally 0%.

被覆処理は、顔料の微細化工程で同時に行うことが好ましく、具体的には、(i)顔料と、(ii)水溶性の無機塩と、(iii)実質的に(ii)を溶解しない少量の水溶性の有機溶剤、及び(iv)高分子化合物を加え、ニーダー等で機械的に混練して混合物を得る工程(ソルトミリング工程と称する)、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で撹拌しスラリー状とする工程、及び、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥する工程を経て実施される。   The coating treatment is preferably performed at the same time in the step of refining the pigment. Specifically, (i) a pigment, (ii) a water-soluble inorganic salt, and (iii) a small amount that does not substantially dissolve (ii). (Iv) A step of adding a polymer compound and mechanically kneading with a kneader or the like to obtain a mixture (referred to as a salt milling step), throwing the mixture into water, a high speed mixer, etc. It is carried out through a step of stirring to form a slurry, and a step of filtering, washing with water and drying if necessary.

上記したソルトミリングについて、さらに具体的に説明する。
まず、(i)有機顔料と(ii)水溶性の無機塩の混合物に、湿潤剤として少量の(iii)水溶性の有機溶剤を加え、ニーダー等で強く練り込んだ後、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で攪拌しスラリー状とする。次に、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥することにより、微細化された顔料が得られる。なお、油性のワニスに分散して用いる場合には、乾燥前の処理顔料(濾過ケーキと呼ぶ)を一般にフラッシングと呼ばれる方法で、水を除去しながら油性のワニスに分散することも可能である。また水系のワニスに分散する場合は、処理顔料は乾燥する必要がなく、濾過ケーキをそのままワニスに分散することができる。
The salt milling described above will be described more specifically.
First, a small amount of (iii) a water-soluble organic solvent is added as a wetting agent to a mixture of (i) an organic pigment and (ii) a water-soluble inorganic salt, and after kneading strongly with a kneader or the like, this mixture is submerged in water. The mixture is stirred and stirred with a high speed mixer or the like to form a slurry. Next, the slurry is filtered, washed with water, and dried if necessary to obtain a finer pigment. In addition, when using it disperse | distributing to an oil-based varnish, it is also possible to disperse | distribute the process pigment (it is called a filter cake) before drying to an oil-based varnish, removing water by the method generally called flushing. When dispersed in an aqueous varnish, the treated pigment does not need to be dried, and the filter cake can be dispersed in the varnish as it is.

ソルトミリング時に上記(iii)有機溶剤に(iv)少なくとも一部可溶な樹脂を併用することにより、さらに微細で、表面が(iv)少なくとも一部可溶な樹脂による被覆された、乾燥時の顔料の凝集が少ないものが得られる。
なお、(iv)高分子化合物を加えるタイミングは、ソルトミリング工程の初期にすべてを添加してもよく、分割して添加してもよい。また分散工程で添加することも可能である。
By using a combination of (iv) at least a partly soluble resin in the above (iii) organic solvent during salt milling, a finer surface is coated with (iv) at least a partly soluble resin. A pigment with little aggregation is obtained.
In addition, (iv) the timing which adds a high molecular compound may add all at the initial stage of a salt milling process, and may add it divided | segmented. It is also possible to add in the dispersion step.

顔料の被覆に用いる高分子化合物は、顔料への吸着性基を有するものなら何でもよい。特に、側鎖に複素環を有する高分子化合物が好ましい。本発明における後述する(B)バインダー樹脂も顔料の被覆に用いる高分子化合物として好ましいものである。
このような高分子化合物としては、例えば特開2008−83089号公報の段落番号〔0029〕〜〔0030〕、特開2009−62457号公報の段落番号〔0044〕〜〔0047〕に開示されているものが使用できる。
The polymer compound used for coating the pigment may be anything as long as it has an adsorptive group for the pigment. In particular, a polymer compound having a heterocyclic ring in the side chain is preferable. The binder resin (B) described later in the present invention is also preferable as the polymer compound used for coating the pigment.
Examples of such a polymer compound are disclosed in paragraph numbers [0029] to [0030] of JP-A-2008-83089 and paragraph numbers [0044] to [0047] of JP-A-2009-62457. Things can be used.

上記した被覆処理した顔料を用いる場合でも、分散剤の少なくとも1種を使用して顔料を分散し、顔料分散組成物として使用することがさらに好ましい。この分散剤の含有により、顔料の分散性をさらに向上させることができる。
分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
Even in the case of using the above-described coated pigment, it is more preferable to disperse the pigment using at least one dispersant and use it as a pigment dispersion composition. By containing this dispersant, the dispersibility of the pigment can be further improved.
As the dispersant, for example, a known pigment dispersant or surfactant can be appropriately selected and used.

具体的には、多くの種類の化合物を使用可能であり、例えば、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学工業(株)製)、W001(裕商(株)社製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(裕商(株)社製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(いずれもチバ・スペシャルテイケミカル社製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(いずれもサンノプコ社製)等の高分子分散剤;   Specifically, many kinds of compounds can be used, for example, organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid (co) polymer polyflow No. 75, No. 90, No. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Industry Co., Ltd.), W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), and the like; polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether Nonionic surfactants such as polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester; W004, W005, W017 (manufactured by Yusho Co., Ltd.) Anionic surfactants such as EFKA 46, EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA polymer 100, EFKA polymer 400, EFKA polymer 401, EFKA polymer 450 (all manufactured by Ciba Specialty Chemicals), Disperse Aid 6, Disperse Aid 8, Disperse Aid 15, polymer dispersants such as Disperse Aid 9100 (both manufactured by San Nopco);

ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000などの各種ソルスパース分散剤(日本ルーブリゾール(株)製);アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123(旭電化(株)製)及びイソネットS−20(三洋化成(株)製)、Disperbyk 101、103、106、108、109、111、112、116、130、140、142、161、162、163、164、166、167、170、171、174、176、180、182、2000、2001、2050、2150、LPN6919,LPN21116、LPN21324(ビックケミー社製)が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーが挙げられる。 Solsperse 3000, 5000, 9000, 12000, 13240, 13940, 17000, 24000, 26000, 28000 and other Solsperse dispersants (manufactured by Nippon Lubrizol Co., Ltd.); Adeka Pluronic L31, F38, L42, L44, L61, L64, F68, L72, P95, F77, P84, F87, P94, L101, P103, F108, L121, Asahi Denka Co., Ltd. and Isonet S-20 (Sanyo Kasei Co., Ltd.), Disperbyk 101, 103, 106, 108, 109, 111, 112, 116, 130, 140, 142, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 170, 171, 174, 176, 180, 182, 2000, 2001, 2050, 2150, LP 6919, LPN21116, LPN21324 (manufactured by BYK Co., Ltd.). In addition, an oligomer or polymer having a polar group at the molecular end or side chain, such as an acrylic copolymer.

分散剤の含有量としては、既述の顔料の質量に対して、1〜100質量%が好ましく、3〜70質量%がより好ましい。   As content of a dispersing agent, 1-100 mass% is preferable with respect to the mass of the above-mentioned pigment, and 3-70 mass% is more preferable.

顔料誘導体は、顔料の被覆に用いる高分子化合物の一つであり、必要に応じて、着色感光性樹脂組成物に添加される。分散剤と親和性のある部分あるいは極性基を導入した顔料誘導体を顔料表面に吸着させ、これを分散剤の吸着点として用いることで、顔料を微細な粒子として感光性樹脂組成物中に分散させ、その再凝集を防止することができ、コントラストが高く、透明性に優れたカラーフィルタを構成するのに有効である。   The pigment derivative is one of polymer compounds used for coating the pigment, and is added to the colored photosensitive resin composition as necessary. The pigment is introduced into the photosensitive resin composition as fine particles by adsorbing a pigment derivative having a portion having affinity for the dispersant or a polar group to the pigment surface and using it as an adsorption point of the dispersant. The re-aggregation can be prevented, and it is effective for constructing a color filter having high contrast and excellent transparency.

顔料誘導体は、具体的には有機顔料を母体骨格とし、側鎖に酸性基や塩基性基、芳香族基を置換基として導入した化合物である。有機顔料は、具体的には、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、キノフタロン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノリン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ベンゾイミダゾロン顔料等が挙げられる。一般に、色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系、トリアジン系、キノリン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、例えば、特開平11−49974号公報、特開平11−189732号公報、特開平10−245501号公報、特開2006−265528号公報、特開平8−295810号公報、特開平11−199796号公報、特開2005−234478号公報、特開2003−240938号公報、特開2001−356210号公報等に記載されているものを使用できる。   Specifically, the pigment derivative is a compound in which an organic pigment is used as a base skeleton, and an acidic group, a basic group, or an aromatic group is introduced into a side chain as a substituent. Specific examples of organic pigments include quinacridone pigments, phthalocyanine pigments, azo pigments, quinophthalone pigments, isoindoline pigments, isoindolinone pigments, quinoline pigments, diketopyrrolopyrrole pigments, and benzoimidazolone pigments. Is mentioned. In general, light yellow aromatic polycyclic compounds such as naphthalene series, anthraquinone series, triazine series and quinoline series which are not called pigments are also included. Examples of the dye derivative include JP-A-11-49974, JP-A-11-189732, JP-A-10-245501, JP-A-2006-265528, JP-A-8-295810, and JP-A-11. -199796, JP-A-2005-234478, JP-A-2003-240938, JP-A-2001-356210, etc. can be used.

顔料誘導体の含有量としては、顔料の質量に対して、1質量%〜30質量%が好ましく、3質量%〜20質量%がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、粘度を低く抑えながら、分散を良好に行なえると共に分散後の分散安定性を向上させることができ、透過率が高く優れた色特性が得られ、カラーフィルタを作製するときには良好な色特性を有する高コントラストに構成することができる。   As content of a pigment derivative, 1 mass%-30 mass% are preferable with respect to the mass of a pigment, and 3 mass%-20 mass% are more preferable. When the content is within the above range, the dispersion can be favorably performed while the viscosity is kept low, the dispersion stability after dispersion can be improved, and the color characteristics with high transmittance can be obtained. When producing a filter, it can be configured to have high contrast with good color characteristics.

分散の方法は、例えば、顔料と分散剤を予め混合してホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機等を用いて微分散させることによって行うことができる。   The dispersion method can be performed, for example, by finely dispersing a pigment and a dispersant previously mixed with a homogenizer or the like using a bead disperser using zirconia beads or the like. .

本発明において着色剤として染料を用いる場合は、均一に溶解された着色感光性樹脂組成物が得られる。
着色剤として使用可能な染料としては、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用途として用いられている公知の染料を使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に記載の色素である。
When a dye is used as the colorant in the present invention, a colored photosensitive resin composition dissolved uniformly can be obtained.
There is no restriction | limiting in particular as dye which can be used as a coloring agent, The well-known dye conventionally used as a color filter use can be used. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 JP-A-6-194828, JP-A-8-21599, JP-A-4-249549, JP-A-10-123316, JP-A-11-302283, JP-A-7-286107, JP 2001-4823, JP-A-8-15522, JP-A-8-29771, JP-A-8-146215, JP-A-11-3434. 7, JP-A-8-62416, JP-A-2002-14220, JP-A-2002-14221, JP-A-2002-14222, JP-A-2002-14223, JP-A-8-302224 JP-A-8-73758, JP-A-8-179120, JP-A-8-151531, and the like.

化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。   The chemical structure includes pyrazole azo, anilino azo, triphenyl methane, anthraquinone, anthrapyridone, benzylidene, oxonol, pyrazolotriazole azo, pyridone azo, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, A dye such as xanthene, phthalocyanine, benzopyran, or indigo can be used.

本発明の着色感光性樹脂組成物における着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対して、質量分率で15質量%〜60質量%であることが好ましく、20質量%〜50質量%がより好ましく、20質量%〜45質量%がさらに好ましい。   The content of the colorant in the colored photosensitive resin composition of the present invention is preferably 15% by mass to 60% by mass and 20% by mass with respect to the total solid content of the colored photosensitive resin composition. % To 50% by mass is more preferable, and 20% to 45% by mass is more preferable.

<(B)バインダー樹脂>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、バインダー樹脂を少なくとも1種含む。
バインダー樹脂としては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に用いることができる。
バインダー樹脂としては、着色剤に対してバインダーとして作用し、かつ、着色パターン形成する際に、現像処理工程にて用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ性現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではない。
<(B) Binder resin>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains at least one binder resin.
As the binder resin, a linear organic polymer is preferably used. As such a “linear organic polymer”, a known one can be arbitrarily used.
As the binder resin, any binder resin that acts as a binder for the colorant and that is soluble in a developer, particularly preferably an alkaline developer, used in the development processing step when forming a colored pattern can be used. There is no particular limitation.

バインダー樹脂の重量平均分子量としては、10000〜100000の範囲であることが好ましく、より好ましくは10000〜50000の範囲、さらに好ましくは10000〜40000の範囲である。バインダー樹脂の重量平均分子量がこの範囲内にあると、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターンの現像性、直線性がさらに良好となる。   The weight average molecular weight of the binder resin is preferably in the range of 10,000 to 100,000, more preferably in the range of 10,000 to 50,000, and still more preferably in the range of 10,000 to 40,000. When the weight average molecular weight of the binder resin is within this range, the developability and linearity of the pattern formed using the colored photosensitive resin composition of the present invention are further improved.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、耐溶剤性、表面平滑性、及び耐熱性の観点から、バインダー樹脂として、分子内に重合性基を有するバインダー樹脂を含有することがより好ましい。   The colored photosensitive resin composition of the present invention preferably contains a binder resin having a polymerizable group in the molecule as the binder resin from the viewpoint of solvent resistance, surface smoothness, and heat resistance.

バインダー樹脂が分子内に有する重合性基の例としては、エチレン性不飽和基(例えば、メタクリロイル基、アクリロイル基、スチリル基等)などが挙げられ、エチレン性不飽和基が好ましい。また、分子内に重合性基を有するバインダー樹脂は、重合性基の他、水酸基、イソシアネート基、カルボキシル基等を有することが好ましい。   Examples of the polymerizable group that the binder resin has in the molecule include an ethylenically unsaturated group (for example, a methacryloyl group, an acryloyl group, a styryl group, etc.), and an ethylenically unsaturated group is preferable. The binder resin having a polymerizable group in the molecule preferably has a hydroxyl group, an isocyanate group, a carboxyl group, etc. in addition to the polymerizable group.

分子内に重合性基を有するバインダー樹脂としてより好ましくは、以下に詳述する、分子内に(B−1)一般式(II)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)一般式(III)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むバインダー樹脂(以下、適宜「特定バインダー樹脂」と称する。)が挙げられる。   More preferably as a binder resin having a polymerizable group in the molecule, (B-1) a structural unit represented by the general formula (II) in the molecule, (B-2) N-position-substitution described in detail below. Binder resin containing a structural unit having a maleimide group and (B-3) at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by general formula (III) (hereinafter referred to as “specific binder resin” as appropriate) For example).

(特定バインダー樹脂)
特定バインダー樹脂は、分子内に、(B−1)下記一般式(II)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(III)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むものである。
(Specific binder resin)
The specific binder resin contains, in the molecule, (B-1) a structural unit represented by the following general formula (II), (B-2) a structural unit having an N-position-substituted maleimide group, and (B-3) It contains at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by general formula (III).

〔(B−1)一般式(II)で表される構造単位〕
以下、下記一般式(II)で表される構造単位を、適宜、「構造単位(B−1)」と称する。
[(B-1) Structural Unit Represented by General Formula (II)]
Hereinafter, the structural unit represented by the following general formula (II) is appropriately referred to as “structural unit (B-1)”.

一般式(II)中、R11〜R15は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。 In general formula (II), R 11 to R 15 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group or an aryl group, and R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.

一般式(II)におけるR11〜R15としては、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数5〜14のアリール基が好ましく、中でも、水素原子、臭素原子、塩素原子、シアノ基、炭素数1〜7のアルキル基又は炭素数5〜10のアリール基がより好ましい。
前記アルキル基は置換基を有していてもよく、置換基としては直鎖、分岐、又は環状であってもよく、メチル基、n−プロピル基、iso-プロピル基、t-ブチル基などがあげられ、炭素数1〜7のアルキル基が好ましい。また、前記アリール基は置換基を有していてもよく、置換基としては炭素数1〜7のアルキル基又は炭素数5〜14のアリール基などが挙げられ、好ましくはフェニル基、フリル基、ナフチル基である。
R 11 to R 15 in the general formula (II) are each independently preferably a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an aryl group having 5 to 14 carbon atoms. An atom, a bromine atom, a chlorine atom, a cyano group, an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms, or an aryl group having 5 to 10 carbon atoms is more preferable.
The alkyl group may have a substituent, and the substituent may be linear, branched, or cyclic, and includes a methyl group, an n-propyl group, an iso-propyl group, a t-butyl group, and the like. An alkyl group having 1 to 7 carbon atoms is preferable. The aryl group may have a substituent, and examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms or an aryl group having 5 to 14 carbon atoms, preferably a phenyl group, a furyl group, Naphthyl group.

これらのうち、一般式(II)として好ましいものは、R11〜R15がそれぞれ独立に水素原子、メチル基、フェニル基又はハロゲン原子であり、R16が水素原子又はメチル基であるものである。 Among these, preferred as the general formula (II) are those in which R 11 to R 15 are each independently a hydrogen atom, a methyl group, a phenyl group or a halogen atom, and R 16 is a hydrogen atom or a methyl group. .

〔(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位〕
以下、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位を、適宜、「構造単位(B−2)」と称する。構造単位(B−2)としては、例えば、下記に示す構造単位が挙げられる。
[(B-2) Structural Unit Having N-Substituted Maleimide Group]
Hereinafter, the structural unit having (B-2) N-substituted maleimide group is appropriately referred to as “structural unit (B-2)”. As a structural unit (B-2), the structural unit shown below is mentioned, for example.

〔(B−3)一般式(III)で表される構造単位〕
以下、下記一般式(III)で表される構造単位を、適宜、「構造単位(B−3)]と称する。
[(B-3) Structural unit represented by general formula (III)]
Hereinafter, the structural unit represented by the following general formula (III) is appropriately referred to as “structural unit (B-3)”.

一般式(III)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数4以下のアルキル基を表す。R23とR24とは互いに結合して炭素環を形成していてもよい。 In the general formula (III), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 4 or less carbon atoms. R 23 and R 24 may be bonded to each other to form a carbocycle.

一般式(III)として好ましいものは、R21が水素原子で、R22がメチレン基又はエチレン基で、R23及びR24が互いに結合して6員環を形成しているものである。 Preferred as the general formula (III) is one in which R 21 is a hydrogen atom, R 22 is a methylene group or an ethylene group, and R 23 and R 24 are bonded to each other to form a 6-membered ring.

特定バインダー樹脂は、分子内に、構造単位(B−1)、構造単位(B−2)、及び構造単位(B−3)からなる群より選択される構造単位を少なくとも1種有すればよいが、2種以上有してもよい   The specific binder resin may have at least one structural unit selected from the group consisting of the structural unit (B-1), the structural unit (B-2), and the structural unit (B-3) in the molecule. May have two or more


各構造単位を複数含む場合、構造単位(B−1)と構造単位(B−2)との組み合わせのように、互いに異なる群に属する構造単位同士でもよく、同じ構造単位、例えば、構造単位(B−1)に属する互いに異なる構造単位同士でもよい。
特定バインダー樹脂としては、前記各構造単位のなかでも、構造単位(B−1)を少なくとも有することが好ましい。
.
When a plurality of structural units are included, structural units belonging to different groups, such as a combination of the structural unit (B-1) and the structural unit (B-2), may be included, and the same structural unit, for example, a structural unit ( Different structural units belonging to B-1) may be used.
The specific binder resin preferably has at least the structural unit (B-1) among the above structural units.

特定バインダー樹脂は、分子内に、(B−1)一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を含む構造単位、及び(B−3)一般式(II)で表される構造単位を、合計で50モル%以上90モル%以下有することが好ましく、50モル%以上80モル%以下含むことがより好ましく、60モル%以上80モル%以下含むことがさらに好ましい。
特定バインダー樹脂における前記各構造単位の総量が上記範囲内にあると、現像ラチチュードが良好となり、露光後の現像時における膜減りが少なくなり、得られた硬化膜の表面平滑性が良好となる。
The specific binder resin contains (B-1) a structural unit represented by the general formula (I), (B-2) a structural unit containing an N-substituted maleimide group, and (B-3) a general formula in the molecule. The total of the structural units represented by (II) is preferably 50 mol% or more and 90 mol% or less, more preferably 50 mol% or more and 80 mol% or less, and 60 mol% or more and 80 mol% or less. Is more preferable.
When the total amount of each structural unit in the specific binder resin is within the above range, the development latitude is good, the film loss during development after exposure is reduced, and the surface smoothness of the obtained cured film is good.

なお、なかでも、特定バインダー樹脂は、構造単位(B−1)を20モル%以上90モル%以下で含むことがより好ましく、構造単位(B−1)を50モル%以上80モル%以下、構造単位(B−2)を50モル%以上80モル%以下、構造単位(B−3)を50モル%以上80モル%以下含む態様が更に好ましい。   In particular, the specific binder resin more preferably contains the structural unit (B-1) in an amount of 20 mol% to 90 mol%, and the structural unit (B-1) is in an amount of 50 mol% to 80 mol%. The aspect which contains 50 mol% or more and 80 mol% or less of structural units (B-2), and 50 mol% or more and 80 mol% or less of structural units (B-3) is still more preferable.

〔酸性基を有する構造単位〕
特定バインダー樹脂は、さらに、分子内に、酸性基を有する構造単位を有してもよい。
酸性基を有する構造単位としては、カルボキシ基含有不飽和単量体由来の構造単位を挙げることができる。
[Structural unit having acidic group]
The specific binder resin may further have a structural unit having an acidic group in the molecule.
Examples of the structural unit having an acidic group include structural units derived from a carboxy group-containing unsaturated monomer.

カルボキシ基含有不飽和単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、ケイ皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸又はその無水物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸又はその無水物類;コハク酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル類;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類等である。
これらのカルボキシ基含有不飽和単量体のうち、コハク酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)及びフタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)は、それぞれM−5300及びM−5400(東亞合成(株)製)の商品名で市販されている。
特定バインダー樹脂中、カルボキシ基含有不飽和単量体由来の構造単位は、単独で又は2種以上含まれていてもよい。
Examples of the carboxy group-containing unsaturated monomer include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid; maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, Unsaturated dicarboxylic acid such as itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or the like; trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acid or the anhydride thereof; succinic acid mono [2- (meth) Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids such as acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]; ω-carboxypolycaprolactone mono These are mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as (meth) acrylate.
Among these carboxy group-containing unsaturated monomers, succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) and phthalic acid mono (2-acryloyloxyethyl) are respectively M-5300 and M-5400 (Toagosei ( (Commercially available) under the trade name.
In the specific binder resin, structural units derived from a carboxy group-containing unsaturated monomer may be contained alone or in combination of two or more.

これらの中で、好ましい酸性基を有する構造単位としては、カルボン酸、カルボン酸のカルコゲン類縁体、カルボヒドラゾン酸[RC(=NNH)OH]、カルボキシミド酸[RC(=NH)OH]、スルホン酸[RS(O)OH]、スルフィン酸[RS(O)OH]、スルフェン酸[RSOH]、セレノン酸[RSe(O)OH]、セレニン酸[RSe(O)OH]、セレネン酸[RSeOH]、リン酸とその酸性関連化合物、ケイ酸、ホウ酸の類縁体に由来する構造単位であり、特に好ましいものはアクリル酸、メタクリル酸、及びリン酸に由来する構造単位である。 Among these, as the structural unit having a preferable acidic group, carboxylic acid, chalcogen analog of carboxylic acid, carbohydrazone acid [RC (═NNH 2 ) OH], carboxymidic acid [RC (═NH) OH], Sulfonic acid [RS (O) 2 OH], sulfinic acid [RS (O) OH], sulfenic acid [RSOH], selenonic acid [RSe (O) 2 OH], selenic acid [RSe (O) OH], selenic acid Structural units derived from analogs of [RSeOH], phosphoric acid and its acid-related compounds, silicic acid, and boric acid, particularly preferred are structural units derived from acrylic acid, methacrylic acid, and phosphoric acid.

特定バインダー樹脂が酸性基を有する構造単位を含む場合、その含有量は、5モル%以上50モル%以下であることが好ましく、10モル%以上30モル%以下がより好ましい。この範囲内にあると、現像時の表面平滑度と耐熱性が更に良好となる。   When specific binder resin contains the structural unit which has an acidic group, it is preferable that the content is 5 mol% or more and 50 mol% or less, and 10 mol% or more and 30 mol% or less are more preferable. Within this range, the surface smoothness and heat resistance during development are further improved.

特定バインダー樹脂は前述の各構造単位に加えて、更に、他の構造単位を含んでいてもよい。他の構造単位としては、下記の不飽和単量体に由来する構造単位を挙げることができる。
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデン等のインデン類;
The specific binder resin may further contain other structural units in addition to the above structural units. Examples of other structural units include structural units derived from the following unsaturated monomers.
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m -Aromatic vinyl compounds such as vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (Meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate Rate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydipropylene glycol (meth) acrylate, isobornyl Such as (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, etc. Saturated carboxylic acid esters;

2−アミノエチル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;オキセタニル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸オキセタニルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和アミド類;
マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類;
これらの不飽和単量体由来の構造単位は、単独で又は2種以上を含んでもよい。
2-aminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-aminopropyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, 3-aminopropyl (meth) acrylate, 3-dimethyl Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as aminopropyl (meth) acrylate; unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate; unsaturated carboxylic acid oxetanyl esters such as oxetanyl (meth) acrylate; vinyl acetate, Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate;
Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain, such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, polysiloxane;
These structural units derived from unsaturated monomers may be used alone or in combination of two or more.

以下に、特定バインダー樹脂の例示化合物1−1〜1−8、及び、例示化合物2〜40を示す。特定バインダー樹脂は、上記要件を満たす限りにおいて、これらの例示化合物に限定されるものではない。   The exemplified compounds 1-1 to 1-8 and the exemplified compounds 2 to 40 of the specific binder resin are shown below. The specific binder resin is not limited to these exemplary compounds as long as the above requirements are satisfied.

(他のバインダー樹脂)
本発明の着色感光性組成物においては、バインダー樹脂として、特定バインダー樹脂を好適な例として上記した分子内に重合性基を有するバインダー樹脂以外の他のバインダー樹脂を適用してもよい。他のバインダー樹脂は、特定バインダー樹脂と併用してもよいし、単独で用いてもよいが、特定バインダー樹脂と併用することがより好ましい。
(Other binder resins)
In the colored photosensitive composition of the present invention, as the binder resin, a binder resin other than the binder resin having a polymerizable group in the molecule as described above may be applied as a suitable binder resin. The other binder resin may be used in combination with the specific binder resin or may be used alone, but is more preferably used in combination with the specific binder resin.

他のバインダー樹脂としては、カルボキシ基を有するアクリル系共重合体が好ましく、特に、1個以上のカルボキシ基を有するエチレン性不飽和単量体と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体との共重合体が好ましい。   As the other binder resin, an acrylic copolymer having a carboxy group is preferable, and in particular, an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxy groups and another copolymerizable ethylenically unsaturated monomer. And a copolymer are preferred.

他のバインダー樹脂の具体例としては、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
等を挙げることができる。
As specific examples of other binder resins,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
Etc.

また、下記のようなエポキシ環、オキセタン環を含む樹脂も使用できる。
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/アククリル酸/アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/アクリル酸グリシジル共重合体、
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン/t−ブチルメタクリレート共重合体、
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン/スチレン共重合体、
Moreover, the resin containing the following epoxy rings and oxetane rings can also be used.
Styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Styrene / acrylic acid / tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl acrylate copolymer,
Benzyl methacrylate / methacrylic acid / 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane / t-butyl methacrylate copolymer,
Benzyl methacrylate / methacrylic acid / 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane / styrene copolymer,

ブタジエン/スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
ブタジエン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
スチレン/アクリル酸/無水マレイン酸/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
t−ブチルメタクリレート/アクリル酸/無水マレイン酸/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸メチル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
p−メトキシスチレン/メタクリル酸/シクロヘキシルアクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体。
これらの他のバインダー樹脂は、1種のみで用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
Butadiene / styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Butadiene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
Styrene / acrylic acid / maleic anhydride / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
t-butyl methacrylate / acrylic acid / maleic anhydride / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
Styrene / methacrylic acid / methyl methacrylate / glycidyl methacrylate copolymer,
p-methoxystyrene / methacrylic acid / cyclohexyl acrylate / glycidyl methacrylate copolymer.
These other binder resins may be used alone or in combination of two or more.

本発明の着色感光性樹脂組成物におけるバインダー樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、5質量%〜50質量%の範囲が好ましく、5質量%〜40質量%の範囲がより好ましい。   The content of the binder resin in the colored photosensitive resin composition of the present invention is preferably in the range of 5% by mass to 50% by mass with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. A range is more preferred.

<(C)重合性化合物>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、重合性化合物を含有する。
なお、前記(B)バインダー樹脂が重合性基を有する場合、該バインダー樹脂は、(C)重合性化合物には包含されない。
本発明に用いることができる重合性化合物は、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。
また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応生成物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応生成物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。)
なお、本明細書ではアクリレートとメタクリレートを総称して、(メタ)アクリレートと記載する。
<(C) Polymerizable compound>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a polymerizable compound.
In addition, when said (B) binder resin has a polymeric group, this binder resin is not included in (C) polymeric compound.
The polymerizable compound that can be used in the present invention is an addition polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, and is a compound having at least one terminal ethylenically unsaturated bond, preferably two or more. To be elected. Such a compound group is widely known in the industrial field, and can be used without any particular limitation in the present invention. These have chemical forms such as monomers, prepolymers, i.e. dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof and copolymers thereof. Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), and esters and amides thereof. In this case, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used.
Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, amino group or mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and monofunctional or A dehydration condensation reaction product with a polyfunctional carboxylic acid is also preferably used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen group or In addition, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable. As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid. )
In this specification, acrylate and methacrylate are collectively referred to as (meth) acrylate.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、(メタ)アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ((メタ)アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリ((メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸EO変性トリ(メタ)アクリレート、   Specific examples of the monomer of an ester of an aliphatic polyhydric alcohol compound and an unsaturated carboxylic acid include (meth) acrylic acid ester, ethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, 1, 3 -Butanediol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (( (Meth) acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane tri (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol di (meth) acrylate, tetraethylene Recall di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipenta Erythritol hexa (meth) acrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetra (meth) acrylate, sorbitol penta (meth) acrylate, sorbitol hexa (meth) acrylate, tri ((meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester (meth) acrylate oligomer , Isocyanuric acid EO-modified tri (meth) acrylate,

ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレートEO変性体、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ((メタ)アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが好ましいものとして挙げられる。   Bisphenol A di (meth) acrylate, modified bisphenol A di (meth) acrylate EO, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri ((meth) acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane tri (meth) acrylate Tetraethylene glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified product, dipenta An erythritol hexaacrylate EO modified body is mentioned as a preferable thing.

イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。   Itaconic acid esters include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate And sorbitol tetritaconate. Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate. Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate. Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334号公報、特開昭57−196231号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240号公報、特開昭59−5241号公報、特開平2−226149号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613号公報に記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。   Examples of other esters include aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, JP-A-59- Those having an aromatic skeleton described in Japanese Patent No. 5241 and JP-A-2-226149, those containing an amino group described in JP-A-1-165613, and the like are also preferably used.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726号公報に記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。   Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bis-acrylamide, methylene bis-methacrylamide, 1,6-hexamethylene bis-acrylamide, 1,6-hexamethylene bis. -Methacrylamide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, xylylene bismethacrylamide and the like. Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B No. 54-21726.

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式(A)で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。   In addition, urethane-based addition polymerizable compounds produced by using an addition reaction of isocyanate and hydroxyl group are also suitable, and specific examples thereof include, for example, one molecule described in JP-B-48-41708. A vinyl urethane containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer containing a hydroxyl group represented by the following general formula (A) to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups. Compounds and the like.

一般式(A)
CH=C(R)COOCHCH(R)OH (A)
(但し、R及びRは、各々独立に、水素原子又はメチル基を示す。)
Formula (A)
CH 2 = C (R 4) COOCH 2 CH (R 5) OH (A)
(However, R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group.)

また、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載される分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。   Also, urethane acrylates such as those described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, JP-B-2-16765, JP-B-58-49860, JP-B-56- Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP 17654, JP-B 62-39417, and JP-B 62-39418 are also suitable. Furthermore, by using addition polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. Can obtain a photopolymerizable composition having an excellent photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報、特公昭52−30490号公報の各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号公報、特公平1−40337号公報、特公平1−40336号公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号公報に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。
また、市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、DPHA(日本化薬(株)製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社化学(株)製)が好ましい。
更に日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
Other examples include polyester acrylates, epoxy resins and (meth) described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates reacted with acrylic acid. Further, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337, JP-B-1-40336, and vinylphosphonic acid compounds described in JP-A-2-25493 Etc. can also be mentioned. In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used.
Moreover, as a commercial item, urethane oligomer UAS-10, UAB-140 (made by Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.), DPHA (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600 , T-600 and AI-600 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) are preferable.
Furthermore, Journal of Japan Adhesion Association vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 (1984), which are introduced as photocurable monomers and oligomers, can also be used.

本発明の着色感光性樹脂組成物における重合性化合物の好ましい態様は、分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物と分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物との混合物を用いることである。分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物、および分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物としては、好ましくは以下の化合物である。   A preferred embodiment of the polymerizable compound in the colored photosensitive resin composition of the present invention uses a mixture of a compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule and a compound containing 1 to 4 polymerizable groups in the molecule. That is. Preferred examples of the compound containing 5 or more and 15 or less polymerizable groups in the molecule and the compound containing 1 or more and 4 or less polymerizable groups in the molecule are the following compounds.

分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物の例としては、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、およびU−6HA、U−15HA、UA−32P、UA−7200(以上、新中村化学工業(株)製)、TO−2248、2349、1382(以上、東亞合成(株)製)などである。また、ネオペンチルグリコールオリゴ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールオリゴ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールオリゴ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンオリゴ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールオリゴ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、およびエポキシ(メタ)アクリレート等の分子内に(メタ)アクリル基を5以上15以下含む化合物が挙げられるが、このようなオリゴマーの場合には分子量として1000〜5000の範囲であることが好ましい。   Examples of the compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule include dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, sorbitol penta (meth) acrylate, sorbitol hexa (meth) acrylate, And U-6HA, U-15HA, UA-32P, UA-7200 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), TO-2248, 2349, 1382 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.). Also, neopentyl glycol oligo (meth) acrylate, 1,4-butanediol oligo (meth) acrylate, 1,6-hexanediol oligo (meth) acrylate, trimethylolpropane oligo (meth) acrylate, pentaerythritol oligo (meth) Compounds containing 5 to 15 (meth) acryl groups in the molecule such as acrylate, urethane (meth) acrylate, and epoxy (meth) acrylate can be mentioned. In the case of such an oligomer, the molecular weight is 1000 to 5000. A range is preferable.

分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンPO(プロピレンオキサイド)変性トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンEO(エチレンオキサイド)変性トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、などが挙げられる。   Examples of the compound containing 1 to 4 polymerizable groups in the molecule include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane PO (propylene oxide) -modified tri (meth) acrylate, and trimethylolpropane EO (ethylene oxide) -modified tri. (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, ethoxylated penta And erythritol tetra (meth) acrylate.

分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物と分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物との混合物を用いる場合、分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物と分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物との比は、分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物:分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物が質量換算で60:40〜95:5の範囲が好ましく、70:30〜90:10の範囲がより好ましい。   In the case of using a mixture of a compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule and a compound containing 1 to 4 polymerizable groups in the molecule, the compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule and the molecule The ratio of the compound containing 1 or more and 4 or less polymerizable groups to the compound containing 5 or more and 15 or less polymerizable groups in the molecule: The compound containing 1 or more and 4 or less polymerizable groups in the molecule is 60:40 in terms of mass. The range of ˜95: 5 is preferable, and the range of 70:30 to 90:10 is more preferable.

重合性化合物の含有量の合計は、本発明の着色感光性樹脂組成物層中の全固形分中、10質量%〜50質量%であることが好ましく、15質量%〜40質量%であることがより好ましく、15質量%〜30質量%であることが更に好ましい。
重合性化合物の含有量が上記範囲であると、得られる硬化膜の耐熱性が良好となり、塗膜形成時、或いは、ポストベーク後のシワの発生が抑制され、表面粗さが小さく平滑な硬化膜が形成される。
The total content of the polymerizable compound is preferably 10% by mass to 50% by mass, and preferably 15% by mass to 40% by mass in the total solid content in the colored photosensitive resin composition layer of the present invention. Is more preferable, and it is still more preferable that it is 15 mass%-30 mass%.
When the content of the polymerizable compound is in the above range, the resulting cured film has good heat resistance, and the generation of wrinkles during coating film formation or after post-baking is suppressed, and the surface is low and smooth curing. A film is formed.

本発明の着色感光性樹脂組成物において、重合性化合物と後述する前記(D)成分を含む光重合開始剤との質量比「光重合開始剤/重合性化合物」は0.1以上2.0以下であり、好ましくは0.1以上1.0以下であり、特に好ましくは0.1以上0.8以下である。上記範囲内とすることで、パターン形成性が良好で、基板との密着性に優れる。また、露光・現像後のマスク太り量が充分であり、パターン剥離が抑制される。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, the mass ratio “photopolymerization initiator / polymerizable compound” of the polymerizable compound and the photopolymerization initiator containing the component (D) described later is 0.1 or more and 2.0. Or less, preferably 0.1 or more and 1.0 or less, and particularly preferably 0.1 or more and 0.8 or less. By setting it within the above range, the pattern formability is good and the adhesion to the substrate is excellent. Further, the amount of mask thickening after exposure and development is sufficient, and pattern peeling is suppressed.

<E>多官チオール化合物
本発明の着色感光性樹脂組成物には、多官能チオール化合物を含む。
本発明において「多官能チオール化合物」とは、チオール基を分子内に2個以上有する化合物を意味する。多官能チオール化合物は、チオール基を分子内に2〜6個有することが好ましく、感度及び硬化膜の着色抑制の観点からは、2〜4個有するもの(2官能〜4官能)がより好ましく、感度、硬化膜の着色抑制、及び直線性に優れたパターン形成性の観点からは、チオール基を分子内に2個有するもの(2官能)が特に好ましい。
<E> Multi-functional thiol compound The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a polyfunctional thiol compound.
In the present invention, the “polyfunctional thiol compound” means a compound having two or more thiol groups in the molecule. The polyfunctional thiol compound preferably has 2 to 6 thiol groups in the molecule, and more preferably 2 to 4 (bifunctional to tetrafunctional) from the viewpoint of sensitivity and suppression of coloring of the cured film. From the viewpoint of sensitivity, suppression of coloration of the cured film, and pattern formation excellent in linearity, those having two thiol groups in the molecule (bifunctional) are particularly preferable.

多官能チオール化合物としては、分子量100以上の化合物が好ましく、分子量100〜1500であることが好ましく、分子量150〜1000の化合物が更に好ましい。   The polyfunctional thiol compound is preferably a compound having a molecular weight of 100 or more, preferably a molecular weight of 100 to 1500, and more preferably a compound having a molecular weight of 150 to 1000.

多官能チオール化合物の例としては、エチレングリコールビスチオプロピオネート(EGTP)、ブタンジオールビスチオプロピオネート(BDTP)、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート(TMTP)、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート(PETP)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(チオグリコレート)等の多官能チオール化合物が挙げられ、これらの中でも、ブタンジオールビスチオプロピオネート(BDTP)がより好ましい。   Examples of polyfunctional thiol compounds include ethylene glycol bisthiopropionate (EGTP), butanediol bisthiopropionate (BDTP), trimethylolpropane tristhiopropionate (TMTP), pentaerythritol tetrakisthiopropionate And polyfunctional thiol compounds such as (PETP), tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (thioglycolate), etc. Among these, butanediol bisthiopropionate (BDTP) is more preferable.

多官能チオール化合物としては、市販品を用いることもできる。市販品の例としては、カレンズ(登録商標、以下同様)MT BD1、カレンズ MTPE1、カレンズMT NR1(以上、昭和電工(株)製)等が挙げられる。   A commercial item can also be used as a polyfunctional thiol compound. Examples of commercially available products include Karenz (registered trademark, hereinafter the same) MT BD1, Karenz MTPE1, Karenz MT NR1 (above, Showa Denko KK) and the like.

本発明の着色感光性組成物における多官能チオール化合物の含有量は、該組成物の全固形分に対して、0.1質量%〜10質量%が好ましく、0.3質量%〜5.0質量%がより好ましく、0.3質量%〜3.0質量%が更に好ましい。   The content of the polyfunctional thiol compound in the colored photosensitive composition of the present invention is preferably 0.1% by mass to 10% by mass, and preferably 0.3% by mass to 5.0% with respect to the total solid content of the composition. The mass% is more preferable, and 0.3 mass% to 3.0 mass% is still more preferable.

また、本発明の効果を損ねない範囲で、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、βメルカプトナフタレン、N-フェニル-メルカプトベンズイミダゾール等の単官能チオール化合物を併用してもよい。   In addition, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β-mercaptonaphthalene, N-phenyl-mercapto as long as the effects of the present invention are not impaired. A monofunctional thiol compound such as benzimidazole may be used in combination.

<(F)溶剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤を含む。本発明の着色感光性樹脂組成物は、該組成物が含有する各成分を溶剤に溶解又は分散させて調製することができる。
<(F) Solvent>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a solvent. The colored photosensitive resin composition of the present invention can be prepared by dissolving or dispersing each component contained in the composition in a solvent.

溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、及び3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、及び3−エトキシプロピオン酸エチルなど)、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピルなどの2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、及び2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチルなど)、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、1,3-ブタンジオールジアセテート等;   Examples of the solvent include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, etc. 3-oxypropionic acid alkyl esters (for example, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, and ethyl 3-ethoxypropionate), methyl 2-oxypropionate 2-oxypropionic acid alkyl esters such as ethyl 2-oxypropionate and propyl 2-oxypropionate (for example, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, 2- Methyl ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, and 2-ethoxy- Ethyl 2-methylpropionate, etc.), methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, 1,3-butanediol diacetate, etc. ;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノn−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールn-プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールn-ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等;
Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether, propylene glycol mono n-propyl ether , Propylene glycol mono n-butyl ether, tripropylene glycol mono n-butyl ether, propylene glycol phenyl ether,
Methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol n-propyl ether acetate, propylene glycol diacetate, Propylene glycol n-butyl ether acetate, propylene glycol phenyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol n-propyl ether acetate, dipropylene glycol n-butyl ether acetate, tripropylene glycol methyl Chromatography ether acetate and the like;

アルコキシアルキルアセテート類、例えば、3−メトキシブチルアセテート、4−メトキシブチルアセテート、2−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、2−エトキシブチルアセテート、4−エトキシブチルアセテート、2−メトキシペンチルアセテート、3−メトキシペンチルアセテート、4−メトキシペンチルアセテート、2−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−4−メトキシペンチルアセテート等;   Alkoxyalkyl acetates such as 3-methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 2 -Ethoxybutyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, 2-methoxypentyl acetate, 3-methoxypentyl acetate, 4-methoxypentyl acetate, 2-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3 -Methyl-4-methoxypentyl acetate and the like;

ケトン類、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;
アルコール類、例えば、エタノール、イソプロピルアルコール等;
芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン等が挙げられる。
Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;
Alcohols such as ethanol, isopropyl alcohol and the like;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene are exemplified.

これらのうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート等が好適である。
溶剤は、単独で用いる以外に、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Among these, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate Butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate and the like are preferable.
A solvent may be used in combination of two or more, in addition to being used alone.

<(G)増感色素>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、更に、増感色素を含有することが好ましい。
このような増感色素としては、公知の分光増感色素又は染料、又は光を吸収して光重合開始剤と相互作用する染料又は顔料が挙げられる。
増感色素は、1種のみを用いても2種以上を併用してもよい。
<(G) Sensitizing dye>
The colored photosensitive resin composition of the present invention preferably further contains a sensitizing dye.
Examples of such a sensitizing dye include a known spectral sensitizing dye or dye, or a dye or pigment that absorbs light and interacts with a photopolymerization initiator.
A sensitizing dye may use only 1 type or may use 2 or more types together.

本発明に用いることのできる増感色素として好ましい分光増感色素又は染料は、多核芳香族類(例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、チオキサントン類(例えば、2,4−ジエチルチオキサントン)、シアニン類(例えば、チアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、フタロシアニン類(例えば、フタロシアニン、メタルフタロシアニン)、ポルフィリン類(例えば、テトラフェニルポルフィリン、中心金属置換ポルフィリン)、クロロフィル類(例えば、クロロフィル、クロロフィリン、中心金属置換クロロフィル)、金属錯体、アントラキノン類、(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、及び、下記に列挙するアミン化合物、等が挙げられる。   Preferred spectral sensitizing dyes or dyes that can be used in the present invention include polynuclear aromatics (eg, pyrene, perylene, triphenylene), xanthenes (eg, fluorescein, eosin, erythrosine, rhodamine B, Rose bengal), thioxanthones (eg, 2,4-diethylthioxanthone), cyanines (eg thiacarbocyanine, oxacarbocyanine), merocyanines (eg merocyanine, carbomerocyanine), thiazines (eg thionine, methylene blue) , Toluidine blue), acridines (eg, acridine orange, chloroflavin, acriflavine), phthalocyanines (eg, phthalocyanine, metal phthalocyanine), porphyrins (eg, tetraphenylporphyrin) , Central metal-substituted porphyrins), chlorophylls (eg, chlorophyll, chlorophyllin, central metal-substituted chlorophylls), metal complexes, anthraquinones (eg, anthraquinones), squaliums (eg, squalium), and the amine compounds listed below , Etc.

増感色素として好適なアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。   Examples of suitable amine compounds as sensitizing dyes include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and benzoic acid. 2-dimethylaminoethyl acid, 2-dimethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) Examples include benzophenone and 4,4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone.

これらの増感色素の中でも、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、及び、2,4−ジエチルチオキサントンが特に好ましい。   Among these sensitizing dyes, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone and 2,4-diethylthioxanthone are particularly preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物における増感色素の含有量は、分光増感による感度の向上、添加による着色悪化を抑制する等の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分の質量に対し、0.5質量%〜10質量%の範囲が好ましく、0.5質量%〜5.0質量%の範囲がより好ましく、0.5質量%〜3.0質量%の範囲が更に好ましい。   The content of the sensitizing dye in the colored photosensitive resin composition of the present invention is the mass of the total solid content of the photosensitive resin composition from the viewpoint of improving sensitivity by spectral sensitization and suppressing color deterioration due to addition. On the other hand, the range of 0.5 mass%-10 mass% is preferable, the range of 0.5 mass%-5.0 mass% is more preferable, The range of 0.5 mass%-3.0 mass% is still more preferable.

<その他の成分>
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じて、界面活性剤、熱硬化性樹脂、有機カルボン酸、シランカップリング剤、重合禁止剤、可塑剤などのその他の成分を含有してもよい。
<Other ingredients>
The colored photosensitive resin composition of the present invention further contains other components such as a surfactant, a thermosetting resin, an organic carboxylic acid, a silane coupling agent, a polymerization inhibitor, and a plasticizer as necessary. May be.

(界面活性剤)
本発明の着色感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含むことができる。
顔料濃度を大きくすると塗布液のチキソ性が一般的に大きくなるため、基板上に着色感光性樹脂組成物を塗布又は転写して着色感光性樹脂組成物層(着色層塗膜)形成後の膜厚ムラを生じやすい。また特に、スリットコート法による着色感光性樹脂組成物層(着色層塗膜)形成では、乾燥までに着色感光性樹脂組成物層形成用の塗布液がレベリングして均一な厚みの塗膜を形成することが重要である。
このため、着色感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
塗布性を向上するための界面活性剤としてはノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤等が添加される。
(Surfactant)
The colored photosensitive resin composition of the present invention can contain a surfactant.
Since the thixotropy of the coating liquid generally increases when the pigment concentration is increased, the film after the colored photosensitive resin composition layer (colored layer coating film) is formed by applying or transferring the colored photosensitive resin composition onto the substrate Thickness unevenness is likely to occur. In particular, in the formation of a colored photosensitive resin composition layer (colored layer coating film) by the slit coating method, the coating liquid for forming the colored photosensitive resin composition layer is leveled before drying to form a uniform thickness coating film. It is important to.
For this reason, it is preferable to contain an appropriate surfactant in the colored photosensitive resin composition. Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.
Nonionic surfactants, fluorine-based surfactants, silicon-based surfactants, and the like are added as surfactants for improving coating properties.

ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレングリコール類、ポリオキシプロピレングリコール類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤が好ましい。   Nonionic surfactants include, for example, polyoxyethylene glycols, polyoxypropylene glycols, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, polyoxypropylene alkyl ethers. Nonionic surfactants such as polyoxypropylene alkyl aryl ethers, polyoxypropylene alkyl esters, sorbitan alkyl esters and monoglyceride alkyl esters are preferred.

具体的には、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコールなどのポリオキシアルキレングリコール類;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシプロピレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシアルキレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン-プロピレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシアルキレンジアルキルエステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンソルビタン脂肪酸エステル類などのノニオン系界面活性剤が挙げられる。   Specifically, polyoxyalkylene glycols such as polyoxyethylene glycol and polyoxypropylene glycol; polyoxyalkylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxypropylene stearyl ether and polyoxyethylene oleyl ether; polyoxy Polyoxyethylene aryl ethers such as ethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene polystyryl ether, polyoxyethylene tribenzyl phenyl ether, polyoxyethylene-propylene polystyryl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether; polyoxyethylene dilaurate , Polyoxyalkylene dialkyl esters such as polyoxyethylene distearate, sorbitan fatty acid ester Nonionic surfactants such as stealth and polyoxyalkylene sorbitan fatty acid esters are listed.

これらの具体例は、例えば、アデカプルロニックシリーズ、アデカノールシリーズイ、テトロニックシリーズ(以上、ADEKA(株)製)、エマルゲンシリーズ、レオドールシリーズ(以上、花王(株)製)、エレミノールシリーズ、ノニポールシリーズ、オクタポールシリーズ、ドデカポールシリーズ、ニューポールシリーズ(以上、三洋化成(株)製)、パイオニンシリーズ(竹本油脂(株)製)、ニッサンノニオンシリーズ(日油(株)製)などである。これらの市販されているものが適宜使用できる。好ましいHLB値は8〜20、更に好ましくは10〜17である。   Specific examples of these include, for example, Adeka Pluronic series, Adecanol series i, Tetronic series (above, manufactured by ADEKA Corporation), Emulgen series, Rheodor series (above, produced by Kao Corporation), Eleminor series, Nonipole series, Octapole series, Dodecapol series, New Pole series (Sanyo Chemicals Co., Ltd.), Pionein series (Takemoto Yushi Co., Ltd.), Nissan Nonion series (Nissan Co., Ltd.), etc. It is. These commercially available products can be used as appropriate. A preferable HLB value is 8 to 20, more preferably 10 to 17.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖及び側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキル又はフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができる。
具体的市販品としては、例えばメガファックF142D、同F172、同F173、同F176、同F177、同F183、同F780、同F781、同F782、同F784、同F552、同F554、同R30、同R08(以上、DIC(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145、同S−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(以上、旭硝子(株)製)、エフトップEF351、同352、同801、同802(以上、JEMCO(株)製)などである。
As the fluorosurfactant, a compound having a fluoroalkyl or fluoroalkylene group in at least one of the terminal, main chain and side chain can be suitably used.
Specific commercial products include, for example, MegaFuck F142D, F172, F173, F176, F176, F177, F183, F780, F781, F782, F784, F552, F554, R554, R30, and R08. (Above, manufactured by DIC Corporation), FLORARD FC-135, FC-170C, FC-430, FC-431 (above, manufactured by Sumitomo 3M), Surflon S-112, S-113, S-131, S-141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-106 ( As mentioned above, Asahi Glass Co., Ltd.), Ftop EF351, 352, 801, 802 (above, manufactured by JEMCO).

シリコン系界面活性剤としては、例えばトーレシリコーンDC3PA、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH−190、同SH−193、同SZ−6032、同SF−8428、同DC−57、同DC−190(以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4446、TSF−4460、TSF−4452(以上、GE東芝シリコーン(株)製)等を挙げることができる。
これらのうちで、本発明に好ましい界面活性剤としては、メガファックF780、同F781、同F782、同F784、同F552、及び同F554(以上、DIC(株)製)である。
Examples of the silicone-based surfactant include Torre Silicone DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, and SF-8428. DC-57, DC-190 (above, manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4442 (above GE Toshiba Silicone Co., Ltd.).
Among these, the preferred surfactants for the present invention are Megafac F780, F781, F782, F784, F552, and F554 (manufactured by DIC Corporation).

界面活性剤の含有量は、形成される硬化膜の表面性状及び平滑性の観点から、着色感光性樹脂組成物100質量部に対して、好ましくは5質量部以下、より好ましくは2質量部以下であり、更に好ましくは0.5質量部以下である。   The content of the surfactant is preferably 5 parts by mass or less, more preferably 2 parts by mass or less, with respect to 100 parts by mass of the colored photosensitive resin composition, from the viewpoint of the surface properties and smoothness of the formed cured film. More preferably, it is 0.5 parts by mass or less.

(熱硬化性樹脂)
本発明の着色感光性樹脂組成物は、所望により、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂等の熱硬化性樹脂を含有することができる。
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物などである。
(Thermosetting resin)
The colored photosensitive resin composition of the present invention can contain a thermosetting resin such as an epoxy resin or an oxetane resin, if desired.
Examples of the epoxy resin include bisphenol A type, cresol novolac type, biphenyl type, and alicyclic epoxy compounds.

例えばビスフェノールA型としては、エポトートYD−115、YD−118T、YD−127、YD−128、YD−134、YD−8125、YD−7011R、ZX−1059、YDF−8170、YDF−170など(以上、東都化成(株)製)、デナコールEX−1101、EX−1102、EX−1103など(以上、ナガセケムテックス(株)製)、プラクセルGL−61、GL−62、G101、G102(以上、ダイセル化学工業(株)製)の他に、これらの類似のビスフェノールF型、ビスフェノールS型も挙げることができる。またEbecryl
3700、3701、600(以上、ダイセルユーシービー製)などのエポキシアクリレートも使用可能である。
For example, as bisphenol A type, Epototo YD-115, YD-118T, YD-127, YD-128, YD-134, YD-8125, YD-7011R, ZX-1059, YDF-8170, YDF-170, etc. , Manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), Denacol EX-1101, EX-1102, EX-1103, etc. (above, manufactured by Nagase ChemteX Corporation), Plaxel GL-61, GL-62, G101, G102 (above, Daicel) In addition to Chemical Industry Co., Ltd., these similar bisphenol F type and bisphenol S type can also be mentioned. Ebecryl
Epoxy acrylates such as 3700, 3701, and 600 (manufactured by Daicel UC) can also be used.

クレゾールノボラック型としては、エポトートYDPN−638、YDPN−701、YDPN−702、YDPN−703、YDPN−704など(以上、東都化成(株)製)、デナコールEM−125など(以上、ナガセ化成製)、ビフェニル型としては3,5,3’,5’−テトラメチル−4,4’ジグリシジルビフェニルなどが挙げられる。   Examples of the cresol novolak type include Epototo YDPN-638, YDPN-701, YDPN-702, YDPN-703, YDPN-704, etc. (above, manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.), Denacol EM-125, etc. Examples of the biphenyl type include 3,5,3 ′, 5′-tetramethyl-4,4′diglycidylbiphenyl and the like.

脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド2021、2081、2083、2085、エポリードGT−301、GT−302、GT−401、GT−403、EHPE−3150(以上、ダイセル化学製)、サントートST−3000、ST−4000、ST−5080、ST−5100など(以上、東都化成(株)製)などを挙げることができる。他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートYH−434、YH−434L、ビスフェノールA型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。   Examples of the alicyclic epoxy compound include Celoxide 2021, 2081, 2083, 2085, Epolide GT-301, GT-302, GT-401, GT-403, EHPE-3150 (above, manufactured by Daicel Chemical), Santo Tote ST-3000, ST-4000, ST-5080, ST-5100 and the like (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.) can be exemplified. In addition, Epototo YH-434 and YH-434L, which are amine type epoxy resins, glycidyl ester in which dimer acid is modified in the skeleton of bisphenol A type epoxy resin can be used.

これらのエポキシ樹脂の中で、好ましくはノボラック型エポキシ化合物、脂環式エポキシ化合物が好ましく、エポキシ当量が180〜250のものが特に好ましい。このような素材としてはエピクロンN−660、N−670、N−680、N−690、YDCN−704L(以上、DIC(株)製)、EHPE3150(ダイセル化学工業(株)製)を挙げることができる。   Among these epoxy resins, preferably novolak type epoxy compounds and alicyclic epoxy compounds are preferable, and those having an epoxy equivalent of 180 to 250 are particularly preferable. Examples of such materials include Epicron N-660, N-670, N-680, N-690, YDCN-704L (above, manufactured by DIC Corporation), and EHPE3150 (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.). it can.

オキセタン樹脂としては、アロンオキセタンOXT−101、OXT−121、OXT−211、OXT−221、OXT−212、OXT−610、OX−SQ、PNOX(以上、東亞合成(株)製)を用いることができる。
またオキセタン樹脂は、単独で又はアクリル系共重合体、エポキシ樹脂及びマレイミド樹脂と混合して使用することができる。特にエポキシ樹脂との併用で用いた場合には紫外光レーザー露光により発生した熱による反応性が高く、基板との密着性の観点から好ましい。
As the oxetane resin, Aron Oxetane OXT-101, OXT-121, OXT-211, OXT-221, OXT-212, OXT-610, OX-SQ, PNOX (above, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) may be used. it can.
The oxetane resin can be used alone or mixed with an acrylic copolymer, an epoxy resin and a maleimide resin. In particular, when used in combination with an epoxy resin, the reactivity due to heat generated by ultraviolet laser exposure is high, which is preferable from the viewpoint of adhesion to the substrate.

エポキシ樹脂、オキセタン樹脂等の熱硬化性樹脂の着色感光性樹脂組成物中における含有量としては、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.5〜15質量%が好ましく、1〜10質量%がアルカリに対する溶解性と基板との密着性の両立の観点から好ましい。   The content of the thermosetting resin such as epoxy resin or oxetane resin in the colored photosensitive resin composition is preferably 0.5 to 15% by mass with respect to the total solid content of the colored photosensitive resin composition. -10 mass% is preferable from a viewpoint of coexistence with the solubility with respect to an alkali, and adhesiveness with a board | substrate.

(有機カルボン酸)
着色感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の形成において、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、着色感光性樹脂組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。
(Organic carboxylic acid)
In the formation of a cured film using a colored photosensitive resin composition, an organic carboxylic acid, preferably an organic carboxylic acid, is preferably used to promote alkali solubility in an uncured part and further improve the developability of the colored photosensitive resin composition. Can be added with a low molecular weight organic carboxylic acid having a molecular weight of 1000 or less.

有機カルボン酸の例としては、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、フェノキシ酢酸、メトキシフェノキシ酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。   Examples of organic carboxylic acids include, for example, formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid, and other aliphatic monocarboxylic acids; oxalic acid, malonic acid, Aliphatic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid Dicarboxylic acids; aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, and camphoronic acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, and mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, Aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, melophanoic acid and pyromellitic acid Phenylacetate, phenoxyacetate, methoxyphenoxy acetic, hydratropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenyl succinic acid, atropic acid, cinnamic acid, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, other carboxylic acids such as umbellic acid.

(シランカップリング剤)
本発明の着色感光性樹脂組成物には、更なる基板との密着性向上の観点から、シランカップリング剤を使用することができる。
シランカップリング剤は、無機材料と化学結合可能な加水分解性基としてアルコキシシリル基を有するものが好ましい。また有機樹脂との間で相互作用もしくは結合形成して親和性を示す基を有することが好ましく、そのような基としては(メタ)アクリロイル基、フェニル基、メルカプト基、グリシジル基、オキセタニル基を有するものが好ましく、その中でも(メタ)アクリロイル基又はグリシジル基を有するものが好ましい。
(Silane coupling agent)
A silane coupling agent can be used for the colored photosensitive resin composition of this invention from a viewpoint of the adhesive improvement with the further board | substrate.
The silane coupling agent preferably has an alkoxysilyl group as a hydrolyzable group that can be chemically bonded to an inorganic material. In addition, it preferably has a group that interacts or forms a bond with an organic resin and exhibits an affinity, and such a group has a (meth) acryloyl group, a phenyl group, a mercapto group, a glycidyl group, and an oxetanyl group. Among them, those having a (meth) acryloyl group or a glycidyl group are preferable.

即ち、本発明に用いるシランカップリング剤としては、アルコキシシリル基と、(メタ)アクリロイル基又はエポキシ基と、を有する化合物であることが好ましく、具体的には下記構造の(メタ)アクリロイル−トリメトキシシラン化合物、グリシジル−トリメトキシシラン化合物等が挙げられる。   That is, the silane coupling agent used in the present invention is preferably a compound having an alkoxysilyl group and a (meth) acryloyl group or an epoxy group, and specifically, a (meth) acryloyl-tri having the following structure. Examples include methoxysilane compounds and glycidyl-trimethoxysilane compounds.

シランカップリング剤を用いる場合の含有量としては、本発明に用いられる着色感光性樹脂組成物中の全固形分中、0.2質量%〜5.0質量%の範囲であることが好ましく、0.5質量%〜3.0質量%がより好ましい。   In the case of using a silane coupling agent, the total solid content in the colored photosensitive resin composition used in the present invention is preferably in the range of 0.2% by mass to 5.0% by mass, 0.5 mass%-3.0 mass% are more preferable.

(重合禁止剤)
本発明においては、着色感光性樹脂組成物の製造中あるいは保存中において重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩、フェノキサジン、フェノチアジン等が挙げられる。
(Polymerization inhibitor)
In the present invention, it is desirable to add a small amount of a thermal polymerization inhibitor in order to prevent unnecessary thermal polymerization of the polymerizable compound during the production or storage of the colored photosensitive resin composition.
Examples of the thermal polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6). -T-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine primary cerium salt, phenoxazine, phenothiazine and the like.

熱重合防止剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して、0.01質量%〜5質量%が好ましい。
また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させることもできる。高級脂肪酸誘導体の含有量は、着色感光性樹脂組成物の0.5質量%〜10質量%が好ましい。
The content of the thermal polymerization inhibitor is preferably 0.01% by mass to 5% by mass with respect to the colored photosensitive resin composition.
If necessary, higher fatty acid derivatives such as behenic acid and behenic acid amide can be added to prevent polymerization inhibition due to oxygen and can be unevenly distributed on the surface of the photosensitive layer during the drying process after coating. . The content of the higher fatty acid derivative is preferably 0.5% by mass to 10% by mass of the colored photosensitive resin composition.

(可塑剤)
さらに、本発明においては、着色感光性樹脂組成物の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤等を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、重合性化合物とバインダー樹脂との合計質量に対し10質量%以下を添加することができる。
(Plasticizer)
Furthermore, in the present invention, an inorganic filler, a plasticizer, or the like may be added in order to improve the physical properties of the colored photosensitive resin composition.
Examples of the plasticizer include dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, triacetyl glycerin, and the like. 10 mass% or less can be added with respect to a total mass.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、従来公知の露光手段により硬化させることができる。その中でも、本発明の着色感光性樹脂組成物は、紫外光の露光により高感度で硬化し、また、基板との高い密着性を示す。紫外光の露光手段としては、レーザー露光法及びプロキシミティ露光法のいずれでもよい。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタの着色パターン形成に好ましく使用することができる。
The colored photosensitive resin composition of the present invention can be cured by a conventionally known exposure means. Among these, the colored photosensitive resin composition of the present invention is cured with high sensitivity by exposure to ultraviolet light, and exhibits high adhesion to the substrate. The ultraviolet light exposure means may be either a laser exposure method or a proximity exposure method.
The colored photosensitive resin composition of the present invention can be preferably used for forming a colored pattern of a color filter.

≪パターン形成方法、カラーフィルタ及びその製造方法≫
本発明の着色感光性樹脂組成物、及び、これを用いたパターン形成方法は、液晶表示装置用カラーフィルタの製造に好適である。
以下、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法を、液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法におけるパターンの形成方法として説明するが、本発明はこの方法に限定されるものではない。
≪Pattern forming method, color filter and manufacturing method thereof≫
The colored photosensitive resin composition and the pattern forming method using the same of the present invention are suitable for producing a color filter for a liquid crystal display device.
Hereinafter, a pattern forming method using the colored photosensitive resin composition of the present invention will be described as a pattern forming method in a method for producing a color filter for a liquid crystal display device, but the present invention is not limited to this method. .

本発明のパターン形成方法は、本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に付与して着色層を形成する着色層形成工程と、着色層をパターン様に露光し露光部を硬化させる露光工程と、露光後の着色層における未硬化部を現像により除去してパターンを形成する現像工程と、を含むことを特徴とする。更に、必要に応じて、着色層をベークする工程(プリベーク工程)、及び、現像された着色層をベークする工程(ポストベーク工程)を設けてもよい。以下、これらの工程をあわせて、パターン形成工程ということがある。   The pattern forming method of the present invention includes a colored layer forming step of forming a colored layer by applying the colored photosensitive resin composition of the present invention onto a substrate, and an exposure step of exposing the colored layer in a pattern to cure the exposed portion. And a developing step of forming a pattern by removing an uncured portion in the colored layer after exposure by development. Furthermore, you may provide the process (prebaking process) of baking a colored layer and the process (post-baking process) of baking the developed colored layer as needed. Hereinafter, these steps may be collectively referred to as a pattern forming step.

〔着色層形成工程〕
本発明における着色層形成工程は、本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に付与して着色層を形成する工程である。
基板としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板が挙げられる。さらに、プラスチック基板も使用可能である。これらの基板を用いて、格子状などにブラックマトリックスを形成し、格子の空いた部分に着色パターンが形成されることが好ましい。
[Colored layer forming step]
The colored layer forming step in the present invention is a step of forming the colored layer by applying the colored photosensitive resin composition of the present invention on the substrate.
As the substrate, for example, non-alkali glass, soda glass, borosilicate glass, quartz glass used for liquid crystal display devices and the like, and a substrate obtained by attaching a transparent conductive film thereto, a photoelectric conversion element substrate used for a solid-state imaging device, etc. Is mentioned. Furthermore, a plastic substrate can also be used. It is preferable that a black matrix is formed in a lattice shape or the like using these substrates, and a colored pattern is formed in an empty portion of the lattice.

これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。基板は大型(おおむね1辺1m以上)である方が、本発明の効果をより奏する点で好ましい。   If necessary, an undercoat layer may be provided on these substrates in order to improve adhesion to the upper layer, prevent diffusion of substances, or planarize the substrate surface. It is preferable that the substrate is large (generally 1 m or more per side) from the standpoint of achieving the effects of the present invention.

基板上に着色層を形成するために、本発明の着色感光性樹脂組成物を付与する方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布による付与方法を適用することができる。塗布法の中ではスリット塗布が精度と速さの観点で好ましい。
また、予め仮支持体上に上記塗布法によって形成した塗膜を、基板上に転写する付与方法を適用することもできる。
転写方法に関しては特開2006−23696号公報の段落番号[0023]、[0036]〜[0051]や、特開2006−47592号公報の段落番号[0096]〜[0108]に記載の作製方法を本発明においても好適に用いることができる。
In order to form the colored layer on the substrate, the method of applying the colored photosensitive resin composition of the present invention includes various methods such as slit coating, ink jet method, spin coating, cast coating, roll coating, and screen printing. An application method by coating can be applied. Among the coating methods, slit coating is preferable from the viewpoints of accuracy and speed.
Moreover, the provision method which transfers the coating film previously formed by the said application | coating method on the temporary support body on a board | substrate can also be applied.
Regarding the transfer method, the production methods described in paragraph numbers [0023] and [0036] to [0051] of JP-A-2006-23696 and paragraph numbers [0096] to [0108] of JP-A-2006-47592 are used. It can be suitably used in the present invention.

着色層の層厚(例えば、塗布厚)は、充分な色再現領域を得、且つ充分なパネルの輝度を得るために、乾燥後の膜厚が、0.5μm〜3.0μmとなるように形成することが好ましく、1.5μm〜2.5μmとすることがより好ましい。   The thickness of the colored layer (for example, coating thickness) is set so that the film thickness after drying is 0.5 μm to 3.0 μm in order to obtain a sufficient color reproduction region and sufficient panel brightness. It is preferable to form, and it is more preferable to set it as 1.5 micrometers-2.5 micrometers.

〔乾燥工程〕
上記のような着色感光性樹脂組成物の付与が終了した後、真空乾燥(VCD)により溶剤を乾燥させる乾燥工程を行ってもよい。またさらに、基板上の塗膜を加熱乾燥(プリベーク)させて着色層を得てもよい。
塗膜のプリベーク温度は、60℃〜140℃が好ましく、80℃〜120℃がより好ましい。また、プリベーク時間は、30秒〜300秒が好ましく、80秒〜200秒がより好ましい。
[Drying process]
After the application of the colored photosensitive resin composition as described above is completed, a drying step of drying the solvent by vacuum drying (VCD) may be performed. Furthermore, the coating layer on the substrate may be heat-dried (prebaked) to obtain a colored layer.
The prebaking temperature of the coating film is preferably 60 ° C to 140 ° C, more preferably 80 ° C to 120 ° C. The pre-bake time is preferably 30 seconds to 300 seconds, and more preferably 80 seconds to 200 seconds.

〔露光工程〕
本発明における露光工程は、着色層形成工程により形成れた着色層を、パターン様に露光をし、露光部を硬化させする工程である。
[Exposure process]
The exposure step in the present invention is a step of exposing the colored layer formed by the colored layer forming step in a pattern-like manner and curing the exposed portion.

露光に用いる光源としては、g線、h線、i線、j線等の紫外線の他に、紫外光レーザーなどが好ましい。
また、露光の方式としては、プロキシミティ露光方式、スパッター露光方式のほか、レーザー光源を用いた露光方式も好適に使用できる。
As a light source used for exposure, in addition to ultraviolet rays such as g-line, h-line, i-line, and j-line, an ultraviolet laser or the like is preferable.
In addition to the proximity exposure method and the sputtering exposure method, an exposure method using a laser light source can be suitably used as the exposure method.

レーザーの励起媒体としては、結晶、ガラス、液体、色素、気体などがあり、これらの媒質から固体レーザー、液体レーザー、気体レーザー、半導体レーザーなどの公知の紫外光に発振波長を有するレーザーを用いることができる。その中でも、レーザーの出力及び発振波長の観点から、固体レーザー、ガスレーザーが好ましい。   Laser excitation media include crystals, glass, liquids, dyes, gases, etc., and lasers having oscillation wavelengths for known ultraviolet light, such as solid lasers, liquid lasers, gas lasers, and semiconductor lasers, are used from these media. Can do. Among these, a solid laser and a gas laser are preferable from the viewpoint of laser output and oscillation wavelength.

本発明に用いうる紫外光レーザーの露光波長としては、着色感光性樹脂組成物の感光波長に合致し感度がよい点で、300nm〜380nmの範囲が好ましく、310nm〜360nmの範囲がより好ましく、特に355nm波長レーザー露光法が好適である。   The exposure wavelength of the ultraviolet light laser that can be used in the present invention is preferably in the range of 300 nm to 380 nm, more preferably in the range of 310 nm to 360 nm, particularly in terms of good sensitivity that matches the photosensitive wavelength of the colored photosensitive resin composition. A 355 nm wavelength laser exposure method is preferred.

具体的には、特に出力が大きく、比較的安価な固体レーザーのNd:YAGレーザーの第三高調波(355nm)や、エキシマレーザーのXeCl(308nm)、XeF(353nm)を好適に用いることができる。
また、被露光物(パターン)の露光量としては、1mJ/cm〜100mJ/cmの範囲であり、1mJ/cm〜50mJ/cmの範囲がより好ましい。露光量がこの範囲であると、パターン形成の生産性の点で好ましい。
Specifically, the Nd: YAG laser third harmonic (355 nm), which is a relatively inexpensive solid output, and the excimer laser XeCl (308 nm), XeF (353 nm) can be suitably used. .
As the exposure amount of the exposure object (pattern), in the range of 1mJ / cm 2 ~100mJ / cm 2 , the range of 1mJ / cm 2 ~50mJ / cm 2 is more preferable. An exposure amount within this range is preferable from the viewpoint of pattern formation productivity.

本発明に用いうる紫外光レーザーは、生産性の観点から、20Hz〜2000Hzの周波数で発振されるパルスレーザーであることが好ましい。   The ultraviolet laser that can be used in the present invention is preferably a pulse laser that oscillates at a frequency of 20 Hz to 2000 Hz from the viewpoint of productivity.

本発明に使用可能な露光装置としては特に制限はないが、市販されているものとしては、EGIS(ブイテクノロジー株式会社製)やDF2200G(大日本スクリーン株式会社製などが使用可能である。上記以外の装置も好適に用いられる。   There are no particular restrictions on the exposure apparatus that can be used in the present invention, but commercially available ones such as EGIS (buoy technology) or DF2200G (Dainippon Screen Co., Ltd.) can be used. These devices are also preferably used.

紫外光レーザーは光の平行度が良好で、露光の際にマスクを使用しないで、パターン露光ができるが、パターン形状が出力光の形状、プロファイルの影響を受ける。そのため、マスクを用いてパターンを露光した方が、パターンの直線性が高くなるので好ましい。   The ultraviolet laser has good light parallelism, and pattern exposure can be performed without using a mask during exposure, but the pattern shape is affected by the shape and profile of the output light. Therefore, it is preferable to expose the pattern using a mask because the linearity of the pattern becomes high.

〔現像工程〕
本発明における現像工程は、露光後の着色層における未硬化部を現像により除去して、パターンを形成する工程である。即ち、露光により露光部はパターン状に硬化しており、現像処理では、アルカリ現像処理を行うことにより、露光工程での未照射部分(未硬化部分)を、アルカリ水溶液に溶出させて除去し、光硬化した部分だけを残すことによって、パターンを形成させることができる。
[Development process]
The development step in the present invention is a step of forming a pattern by removing uncured portions in the colored layer after exposure by development. That is, the exposed part is cured in a pattern by exposure, and in the development process, by performing an alkali development process, the unirradiated part (uncured part) in the exposure process is removed by elution in an alkaline aqueous solution, A pattern can be formed by leaving only the photocured portion.

現像液としては、有機アルカリ現像液や無機アルカリ現像液又はその混合液が使用される。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ性化合物を濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に純水で洗浄(リンス)する。
As the developer, an organic alkali developer, an inorganic alkali developer or a mixture thereof is used.
Examples of the alkali agent used in the developer include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxy. And organic alkaline compounds such as tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, and the concentration of these alkaline compounds is 0.001 to 0.001. An alkaline aqueous solution diluted with pure water so as to be 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass, is preferably used as the developer. In the case where a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.

現像温度としては20℃〜35℃が好ましく、23℃〜30℃がより好ましい。現像時間は、30秒〜120秒が好ましく、40秒〜90秒がより好ましい。これらのうち、現像温度と現像時間の好ましい組み合わせは、例えば、温度25℃では50秒〜100秒であり、温度30℃では40秒〜80秒であることが挙げられる。
また、シャワー圧は、0.01MPa〜0.5MPaが好ましく、0.05MPa〜0.3MPaが好ましく、0.1MPa〜0.3MPaが好ましい。これらの条件を選択することによって、パターンの形状を、矩形にしたり、順テーパにしたり任意に設計することができる。
The development temperature is preferably 20 ° C to 35 ° C, more preferably 23 ° C to 30 ° C. The development time is preferably 30 seconds to 120 seconds, and more preferably 40 seconds to 90 seconds. Among these, a preferable combination of the development temperature and the development time is, for example, 50 seconds to 100 seconds at a temperature of 25 ° C. and 40 seconds to 80 seconds at a temperature of 30 ° C.
The shower pressure is preferably 0.01 MPa to 0.5 MPa, preferably 0.05 MPa to 0.3 MPa, and preferably 0.1 MPa to 0.3 MPa. By selecting these conditions, it is possible to arbitrarily design the pattern shape to be rectangular or forward tapered.

〔ポストベーク工程〕
本発明においては、着色感光性樹脂組成物の硬化を完全なものとするために、現像された着色層をベークするポストベーク工程を設けることが好ましい。
ベークする方法は、現像・リンス後のパターンを有する基板を、ホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で加熱することによって行うことができる。
ベークの条件としては、温度は、150℃〜260℃が好ましく、180℃〜260℃がより好ましく、200℃〜240℃が最も好ましい。ベーク時間は、10分間〜150分間が好ましく、20分間〜120分間がより好ましく、20分間〜90分間がもっとも好ましい。
[Post-baking process]
In the present invention, in order to complete the curing of the colored photosensitive resin composition, it is preferable to provide a post-baking step for baking the developed colored layer.
Baking is performed by heating a substrate having a pattern after development and rinsing in a continuous or batch manner using heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer), a high-frequency heater, or the like. It can be carried out.
As conditions for baking, the temperature is preferably 150 ° C to 260 ° C, more preferably 180 ° C to 260 ° C, and most preferably 200 ° C to 240 ° C. The baking time is preferably 10 minutes to 150 minutes, more preferably 20 minutes to 120 minutes, and most preferably 20 minutes to 90 minutes.

なお、RGB3色相、遮光層等、複数色相の着色パターンを形成するときは、着色層の形成、露光、現像、及びベークのサイクルを、所望の色相数だけ繰り返してもよいし、色相ごとに着色層の形成、露光、及び現像を行ってから、最後に全色相分まとめてベークを行なってもよい。これにより、所望の色相よりなる着色画素を備えたカラーフィルタが作製される。   When forming a colored pattern of a plurality of hues, such as RGB three hues and a light-shielding layer, the cycle of forming the colored layers, exposing, developing, and baking may be repeated for the desired number of hues, or colored for each hue. After the formation of the layer, exposure, and development, the entire hue may be finally baked. As a result, a color filter including colored pixels having a desired hue is produced.

≪表示装置≫
本発明のカラーフィルタは、高解像度で、良好な輝度が得られることから、表示装置の作製、特に液晶表示装置の作製に好適である。本発明のパターン形成方法で作製したカラーフィルタを用いた液晶表示装置は、高品位の画像を表示することができる。
≪Display device≫
The color filter of the present invention is suitable for manufacturing a display device, particularly a liquid crystal display device, because high luminance and good luminance can be obtained. A liquid crystal display device using a color filter produced by the pattern forming method of the present invention can display a high-quality image.

表示装置の定義や各表示装置の説明は、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会、1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)、平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会、1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。   For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to, for example, “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, Kogyo Kenkyukai, 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Sangyo Tosho) Issued in 1989). The liquid crystal display device is described in, for example, “Next Generation Liquid Crystal Display Technology (edited by Tatsuo Uchida, Industrial Research Co., Ltd., published in 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”.

液晶表示装置用カラーフィルタは、中でも特に、カラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については、例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)、1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、STN、TN、VA、IPS、OCS、FFS、及びR−OCB等にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門、2001年発行)」の43ページに記載されている。   The color filter for a liquid crystal display device is particularly effective for a color TFT type liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (Kyoritsu Publishing Co., Ltd., issued in 1996)”. Further, the present invention is applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA, STN, TN, VA, IPS, OCS, FFS, and R-OCB. Applicable. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(Toray Research Center Research Division, issued in 2001)".

液晶表示装置は、カラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。
本発明の液晶表示素子用カラーフィルタはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。
これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 著、 (株)シーエムシー、1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉著、(株)富士キメラ総研、2003年発行)」に記載されている。
In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film.
The color filter for a liquid crystal display element of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members.
For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials / Chemicals Market (written by Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., published in 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2)” Author, Fuji Chimera Research Institute, Inc., published in 2003).

バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊デイスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島康裕 著)、同25〜30ページ(八木隆明 著)などに記載されている。   Regarding backlights, SID meeting Digest 1380 (2005) (A. Konno et.al), Monthly Display December 2005, pages 18-24 (by Yasuhiro Shima), pages 25-30 (by Takaaki Yagi) It is described in.

本発明のパターン形成方法によって作製されたカラーフィルタを液晶表示装置に用いることで、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できる。更に、赤、緑、青のLED光源(RGB−LED)をバックライトとすることによって、より輝度が高く、また色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。   By using the color filter produced by the pattern forming method of the present invention for a liquid crystal display device, a high contrast can be realized when combined with a conventionally known three-wavelength tube of a cold cathode tube. Furthermore, by using red, green, and blue LED light sources (RGB-LED) as backlights, it is possible to provide a liquid crystal display device with higher luminance and high color purity and good color reproducibility.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「%」及び「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “%” and “part” are based on mass.

(合成例1:アリル基を有するアルカリ可溶性樹脂1の合成)
撹拌羽を供えた撹拌棒、還流冷却管、温度計を備えた、200mL三つ口フラスコに1−メトキシ−2−プロパノール 54gを入れ、窒素気流下、70℃に加熱した。アリルメタクリレート 10.07g、メタクリレート 1.93g、重合開始剤として2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル) 0.185gを1-メトキシ-2-プロパノール 54gに溶解した溶液を、プランジャーポンプを用いて、2.5時間かけて、三つ口フラスコ内に滴下した。滴下終了後、さらに70℃で2時間撹拌した。加熱終了後、水1Lへ投入し、再沈した。析出物を濾過後、真空乾燥させ、9g(収率75%)のポリマー化合物を得た。
重量平均分子量の測定試料として、得られたポリマー 0.01gを10mLメスフラスコに秤取り、テトラヒドロフラン約8mLを加えて室温で溶解した後に全量を10mLにした。この溶液をゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いて測定した。アルカリ可溶性樹脂1(アリルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、モル比=80/20)の重量平均分子量は35000であった。
(Synthesis Example 1: Synthesis of alkali-soluble resin 1 having an allyl group)
54 g of 1-methoxy-2-propanol was placed in a 200 mL three-necked flask equipped with a stirring rod provided with stirring blades, a reflux condenser, and a thermometer, and heated to 70 ° C. under a nitrogen stream. A solution obtained by dissolving 10.07 g of allyl methacrylate, 1.93 g of methacrylate and 0.185 g of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) as a polymerization initiator in 54 g of 1-methoxy-2-propanol was used as a plunger. Using a pump, it was dropped into the three-necked flask over 2.5 hours. After completion of dropping, the mixture was further stirred at 70 ° C. for 2 hours. After completion of heating, it was poured into 1 L of water and re-precipitated. The precipitate was filtered and then vacuum dried to obtain 9 g (yield 75%) of the polymer compound.
As a measurement sample of the weight average molecular weight, 0.01 g of the obtained polymer was weighed into a 10 mL volumetric flask, and about 8 mL of tetrahydrofuran was added and dissolved at room temperature. This solution was measured using gel permeation chromatography (GPC). The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin 1 (allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, molar ratio = 80/20) was 35,000.

(部分臭素化したハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(緑色顔料)分散液の調製)
−ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の合成−
フタロジニトリル、塩化亜鉛を原料として亜鉛フタロシアニンを製造した。
ハロゲン化は、塩化スルフリル3.1部、無水塩化アルミニウム3.7部、塩化ナトリウム0.46部、亜鉛フタロシアニン1部を40℃で混合し、臭素2.2部を滴下して行った。80℃で15時間反応し、その後、反応混合物を水に投入し、部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料を析出させた。この水性スラリーを濾過し、80℃の湯洗浄を行い、90℃で乾燥させ、2.6部の精製された部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料を得た。
(Preparation of partially brominated zinc halide phthalocyanine pigment (green pigment) dispersion)
-Synthesis of zinc halide phthalocyanine pigments-
Zinc phthalocyanine was produced from phthalodinitrile and zinc chloride.
Halogenation was performed by mixing 3.1 parts of sulfuryl chloride, 3.7 parts of anhydrous aluminum chloride, 0.46 parts of sodium chloride and 1 part of zinc phthalocyanine at 40 ° C., and dropping 2.2 parts of bromine. The mixture was reacted at 80 ° C. for 15 hours, and then the reaction mixture was poured into water to precipitate a partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment. This aqueous slurry was filtered, washed with hot water at 80 ° C., and dried at 90 ° C. to obtain 2.6 parts of a purified partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment.

この部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料1部、粉砕した塩化ナトリウム7部、ジエチレングリコール1.6部、キシレン0.09部を双腕型ニーダーに仕込み、100℃で6時間混練した。混練後80℃の水100部に取り出し、1時間攪拌後、濾過、湯洗、乾燥、粉砕した部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料を得た。
得られた部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料は、質量分析によるハロゲン含有量分析から、平均組成はZnPcBr10Clで(Pc;フタロシアニン)、1分子中に平均10個の臭素を含有するものであった。
なお、透過型電子顕微鏡(日本電子(株)製JEM−2010)で測定した一次粒径の平均値は0.065μmであった。
1 part of this partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment, 7 parts of crushed sodium chloride, 1.6 parts of diethylene glycol and 0.09 part of xylene were charged into a double arm kneader and kneaded at 100 ° C. for 6 hours. After kneading, it was taken out into 100 parts of water at 80 ° C., stirred for 1 hour, and then filtered, washed with hot water, dried and ground to obtain a partially brominated zinc phthalocyanine pigment.
The obtained partially brominated zinc phthalocyanine pigment has an average composition of ZnPcBr 10 Cl 4 H 2 (Pc; phthalocyanine) and contains an average of 10 bromines in one molecule, based on a halogen content analysis by mass spectrometry. there were.
The average primary particle size measured with a transmission electron microscope (JEM-2010, manufactured by JEOL Ltd.) was 0.065 μm.

直径0.5mmのジルコニアビーズを仕込んだ五十嵐機械製造社製高速分散機「TSC−6H」に、前記で得た部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料(PG58と称する。)14.9部、ビックケミー社製アクリル系分散剤「BYK−LPN6919(固形分60%)」11.8部、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセテート(以下、PGMEAと称する。)73.3部を仕込み、毎分2000回転で8時間攪拌して、部分臭素化したハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(以下、緑色顔料PG58と称する。)の分散液を調製した。   In a high-speed disperser “TSC-6H” manufactured by Igarashi Machinery Manufacturing Co., Ltd. charged with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm, 14.9 parts of the partially brominated zinc phthalocyanine pigment (referred to as PG58) obtained above, acrylic manufactured by Big Chemie 11.8 parts of a dispersant “BYK-LPN6919 (solid content: 60%)” and 73.3 parts of propylene glycol 1-monomethyl ether 2-acetate (hereinafter referred to as PGMEA) were charged at 2000 rpm for 8 hours. By stirring, a dispersion of a partially brominated zinc halide phthalocyanine pigment (hereinafter referred to as green pigment PG58) was prepared.

(黄色顔料PY150の分散液の調製)
−樹脂(i−1)の合成−
n−オクタン酸6.4g、ε−カプロラクトン200g、チタン(IV)テトラブトキシド5gを混合し、160℃で8時間加熱した後、室温まで冷却しポリエステル樹脂(i−1)を得た。合成スキームを以下に示す。
(Preparation of dispersion of yellow pigment PY150)
-Synthesis of Resin (i-1)-
6.4 g of n-octanoic acid, 200 g of ε-caprolactone and 5 g of titanium (IV) tetrabutoxide were mixed, heated at 160 ° C. for 8 hours, and then cooled to room temperature to obtain a polyester resin (i-1). A synthesis scheme is shown below.

−樹脂(J−1)の合成−
ポリエチレンイミン(SP−018、数平均分子量1,800、日本触媒製)10g及び前記ポリエステル樹脂(i−1)100gを混合し、120℃で3時間加熱して、中間体(J−1B)を得た。その後、65℃まで放冷し、無水コハク酸3.8gを含有するPGMEA200gをゆっくり添加し2時間攪拌した。その後、PGMEAを添加し、樹脂(J−1)のPGMEA10質量%溶液を得た。樹脂(J−1)は、ポリエステル樹脂(i−1)由来の側鎖と無水コハク酸由来のカルボキシ基を有するものである。合成スキームを以下に示す。
-Synthesis of Resin (J-1)-
10 g of polyethyleneimine (SP-018, number average molecular weight 1,800, manufactured by Nippon Shokubai) and 100 g of the polyester resin (i-1) are mixed and heated at 120 ° C. for 3 hours to obtain an intermediate (J-1B). Obtained. Thereafter, the mixture was allowed to cool to 65 ° C., 200 g of PGMEA containing 3.8 g of succinic anhydride was slowly added, and the mixture was stirred for 2 hours. Thereafter, PGMEA was added to obtain a 10 mass% PGMEA solution of the resin (J-1). The resin (J-1) has a side chain derived from the polyester resin (i-1) and a carboxy group derived from succinic anhydride. A synthesis scheme is shown below.

顔料としてC.I.ピグメントイエロー150(PY150)を15部(平均粒子径60nm)、前記樹脂(J−1)7.5部、PGMEA77.5部を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm)により3時間混合し分散して、黄色顔料PY150の分散液を調製した。   As a pigment, C.I. I. 15 parts (average particle diameter 60 nm) of Pigment Yellow 150 (PY150), 7.5 parts of the resin (J-1), and 77.5 parts of PGMEA were mixed and dispersed by a bead mill (zirconia beads 0.3 mm) for 3 hours. A dispersion of yellow pigment PY150 was prepared.

[実施例1]
(緑色着色感光性樹脂組成物の調製)
下記の成分を撹拌混合して、緑色の着色感光性樹脂組成物を調製した。
・前記緑色顔料PG58の分散液 32.68部
・前記黄色顔料PY150の分散液 14.56部
・バインダー樹脂:例示化合物1−1 0.65部
・重合性化合物:TO−2349(カルボキシル基含有多官能性単量体)5.16部
(東亞合成(株)製、アロニックスTO−2349、酸価67mgKOH/g)
・特定開始剤A 0.9部
(下記構造、商品名:TR−PBG−304、常州強力電子新材料有限公司社製)


・多官能チオール化合物 0.2部
(下記構造、商品名:カレンズMTBD1、昭和電工(株)製)


・溶剤:3−エトキシエチルプロピオネート 23.5部
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 22.3部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール 0.003部
・界面活性剤:メガファックF−554(DIC(株)製) 0.0146部
[Example 1]
(Preparation of green colored photosensitive resin composition)
The following components were stirred and mixed to prepare a green colored photosensitive resin composition.
-Dispersion of the green pigment PG58 32.68 parts-Dispersion of the yellow pigment PY150 14.56 parts-Binder resin: 0.65 parts of Exemplified Compound 1-1-Polymerizable compound: TO-2349 (carboxyl group containing poly Functional monomer) 5.16 parts (Toagosei Co., Ltd., Aronix TO-2349, acid value 67 mgKOH / g)
・ Specific initiator A 0.9 parts (the following structure, trade name: TR-PBG-304, manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd.)


・ 0.2 parts of polyfunctional thiol compound (the following structure, trade name: Karenz MTBD1, manufactured by Showa Denko KK)


Solvent: 23.5 parts of 3-ethoxyethylpropionate Solvent: 22.3 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate Polymerization inhibitor: 0.003 part of p-methoxyphenol Surfactant: Megafax F-554 ( DIC Corporation) 0.0146 parts

(カラーフィルタの作製)
上記で得られた着色感光性樹脂組成物を、無アルカリガラス基板(Corning社、1737、550mm×660mm)の表面上に、スリットダイにより塗布速度100mm/s、塗布ギャップ100μm、塗布流速1.3ml/sの条件で塗布した後、減圧乾燥チャンバーにて到達圧力0.5Torrにて真空乾燥したのち、80℃のオーブンで120秒間乾燥させ(プリベーク)、膜厚2.4μmの塗布膜を得た。(着色層形成工程)
その後、塗布膜を、20μm幅のラインアンドスペースを持つフォトマスクを通して、超高圧水銀灯にて、20mJ/cm(照度35mW/cm)、マスクと着色層との間の距離を200μmにてプロキシ露光した。(露光工程)
露光後の塗布膜をアルカリ現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1%水溶液で40秒間シャワー状に散布、更に純水をシャワー状に60秒間散布して現像液を洗い流した。(現像工程)
次に、上記にて露光及び現像処理が施された塗布膜を230℃のオーブンで40分加熱処理し(ポストベーク)、ガラス基板上に、2.0μmの緑色のストライプ状画素アレイを有するカラーフィルタを得た。
(Production of color filter)
The colored photosensitive resin composition obtained above is coated on the surface of a non-alkali glass substrate (Corning, 1737, 550 mm × 660 mm) by a slit die with a coating speed of 100 mm / s, a coating gap of 100 μm, and a coating flow rate of 1.3 ml. After coating under the conditions of / s, vacuum drying was performed at a final pressure of 0.5 Torr in a vacuum drying chamber, followed by drying in an oven at 80 ° C. for 120 seconds (prebaking) to obtain a coating film having a thickness of 2.4 μm. . (Colored layer formation process)
Then, the coating film is proximate through a photomask having a line and space of 20 μm width with an ultra-high pressure mercury lamp at 20 mJ / cm 2 (illuminance 35 mW / cm 2 ), and the distance between the mask and the colored layer is 200 μm. Exposed. (Exposure process)
The exposed coating film is sprayed with a 1% aqueous solution of alkaline developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) for 40 seconds, and then pure water is sprayed for 60 seconds in the form of a shower. Washed away. (Development process)
Next, the coating film that has been exposed and developed as described above is heated in an oven at 230 ° C. for 40 minutes (post-baking), and a color having a 2.0 μm green stripe pixel array on a glass substrate. A filter was obtained.

〔実施例2〜13、比較例1〜4〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物の調製において、光重合開始剤、バインダー樹脂を、下記表1〜表3に記載の化合物に変更した以外は、実施例1と同様にして実施例2〜13、比較例1〜4の着色感光性樹脂組成物を調製した。
得られた着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例1と同様にしてパターン状画素の形成を行った。
[Examples 2 to 13, Comparative Examples 1 to 4]
In the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 1, Example 2 was carried out in the same manner as Example 1 except that the photopolymerization initiator and the binder resin were changed to the compounds described in Tables 1 to 3 below. 13, The colored photosensitive resin composition of Comparative Examples 1-4 was prepared.
Patterned pixels were formed in the same manner as in Example 1 using the obtained colored photosensitive resin composition.

〔実施例14〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物の調製において、更に、2,4−ジエチルチオキサントン(増感色素、商品名:KAYACURE DETX−S、日本化薬(株)製)を、0.1部添加し、開始剤を0.7部とした以外は、実施例1と同様にして実施例14の着色感光性樹脂組成物を調製した。
得られた着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例1と同様にしてパターン状画素の形成を行った。
Example 14
In the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 1, 0.1 part of 2,4-diethylthioxanthone (sensitizing dye, trade name: KAYACURE DETX-S, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) was further added. Then, a colored photosensitive resin composition of Example 14 was prepared in the same manner as Example 1 except that the initiator was changed to 0.7 part.
Patterned pixels were formed in the same manner as in Example 1 using the obtained colored photosensitive resin composition.

〔比較例5〕
実施例1の着色感光性樹脂組成物の調製において、多官能チオール化合物(カレンズMTBD-1)を、下記に示す単官能チオール化合物(SH−1)に変更した以外は、実施例1と同様にして比較例5の着色感光性樹脂組成物を調製した。
得られた着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例1と同様にしてパターン状画素の形成を行った。
[Comparative Example 5]
In the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 1, the same procedure as in Example 1 was conducted except that the polyfunctional thiol compound (Karenz MTBD-1) was changed to the monofunctional thiol compound (SH-1) shown below. Thus, a colored photosensitive resin composition of Comparative Example 5 was prepared.
Patterned pixels were formed in the same manner as in Example 1 using the obtained colored photosensitive resin composition.

〔実施例15〜17〕
(緑色着色感光性樹脂組成物の調製)
実施例15〜17に用いる緑色着色感光性樹脂組成物として、実施例1〜3にて調製した着色感光性樹脂組成物と同じ緑色の着色感光性樹脂組成物を調製した。
[Examples 15 to 17]
(Preparation of green colored photosensitive resin composition)
As the green colored photosensitive resin composition used in Examples 15 to 17, the same green colored photosensitive resin composition as the colored photosensitive resin composition prepared in Examples 1 to 3 was prepared.

(カラーフィルタの作製)
得られた着色感光性樹脂組成物を、無アルカリガラス基板(Corning社、1737、550mm×660mm)の表面上に、スリットコーター(平田機工(株)、HC−6000)を用いて塗布したのち、90℃のクリーンオーブン内で120秒間プリベークを行って、膜厚2.4μmの塗布膜(着色層)を有する塗布膜付き基板を作製した。(着色層形成工程)
次いで、レーザー露光装置として、EGIS(ブイテクノロジー(株)、YAGレーザーの第三高調波(355nm)、パルス幅6nS)を用い、塗布膜(着色層)表面に対し、約1mJ/cmのパルス照射を20回、フォトマスクを通して行い、露光部分を硬化させた。(露光工程)。
露光後の基板を、現像装置(日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.20MPaに設定して、50秒現像し、純水で洗浄後、風乾した(現像工程)。
その後、230℃のクリーンオーブン内で40分間ポストベークを行って、基板上に2.0μm緑色のストライプ状画素アレイを有するカラーフィルタを得た。
(Production of color filter)
After applying the obtained colored photosensitive resin composition on the surface of an alkali-free glass substrate (Corning, 1737, 550 mm × 660 mm) using a slit coater (Hirata Kiko Co., Ltd., HC-6000), Pre-baking was performed in a clean oven at 90 ° C. for 120 seconds to prepare a substrate with a coating film having a coating film (colored layer) having a thickness of 2.4 μm. (Colored layer formation process)
Next, as a laser exposure apparatus, EGIS (Buy Technology Co., Ltd., third harmonic of YAG laser (355 nm), pulse width 6 nS) is used, and a pulse of about 1 mJ / cm 2 is applied to the coating film (colored layer) surface. Irradiation was performed 20 times through a photomask to cure the exposed portion. (Exposure process).
The substrate after the exposure was developed with a 1.0% developer (CDK-1) of a potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) using a developing device (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). 1 part by weight, 99 parts by weight of pure water diluted at 25 ° C.), the shower pressure was set to 0.20 MPa, developed for 50 seconds, washed with pure water, and then air-dried (developing step).
Thereafter, post-baking was performed in a clean oven at 230 ° C. for 40 minutes to obtain a color filter having a 2.0 μm green stripe pixel array on the substrate.

表1〜表3に示した各バインダー樹脂のうち、各実施例及び比較例3、4に用いた樹脂は、前記バインダー樹脂の説明欄において挙げた例示化合物をその符号で示したものである。   Among the binder resins shown in Tables 1 to 3, the resins used in the examples and comparative examples 3 and 4 are the compounds shown in the explanation column of the binder resin, which are indicated by the reference numerals.

比較例1及び比較例6に用いた比較樹脂1(BzMA/MMA)の詳細は、以下に示す通りである。   The details of Comparative Resin 1 (BzMA / MMA) used in Comparative Example 1 and Comparative Example 6 are as shown below.

比較例2に用いた比較樹脂2(n−プロピルMA/MMA)の詳細は、以下に示す通りである。   Details of Comparative Resin 2 (n-propyl MA / MMA) used in Comparative Example 2 are as shown below.

表1〜表3中に示す着色剤の含有量(%)は、着色感光性樹脂組成物における全固形分に対する緑色顔料及び黄色顔料の総含有量(%)である。
各着色剤の含有比率(%)については、緑色顔料分散液と黄色顔料分散液の比率は変更せずに、顔料分散液の総添加量を増減することで、顔料比を所定の顔料比にすることで調整した。また、顔料の増減分は追添バインダーの添加で調整した。
The content (%) of the colorant shown in Tables 1 to 3 is the total content (%) of the green pigment and the yellow pigment with respect to the total solid content in the colored photosensitive resin composition.
Regarding the content ratio (%) of each colorant, the ratio of the green pigment dispersion to the yellow pigment dispersion is not changed, and the pigment ratio is adjusted to a predetermined pigment ratio by increasing or decreasing the total amount of the pigment dispersion. It was adjusted by doing. The amount of increase or decrease in pigment was adjusted by adding an additional binder.

表1〜表3に示した光重合開始剤のうち、特定重合開始剤である、特定開始剤B、特定開始剤C、及び特定開始剤D、並びに、比較用重合開始剤である、トリアジン系開始剤、CGI−242の詳細は以下の通りである。   Among the photopolymerization initiators shown in Tables 1 to 3, the specific polymerization initiator, the specific initiator B, the specific initiator C, the specific initiator D, and the triazine-based which is a comparative polymerization initiator Details of the initiator, CGI-242, are as follows.

・特定開始剤B(下記構造、商品名:TR-PBG−309、常州強力電子新材料有限公司社製)

・特定開始剤C(下記構造)

・特定開始剤D(下記構造)

・トリアジン系開始剤(下記構造)

・CGI−242(下記構造、BASF社製)
・ Specific initiator B (the following structure, trade name: TR-PBG-309, manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd.)

・ Specific initiator C (the following structure)

・ Specific initiator D (the following structure)

・ Triazine initiator (structure below)

・ CGI-242 (the following structure, manufactured by BASF)

[実施例18、19]
(着色感光性樹脂組成物の調製)
実施例18及び19に用いる青色の着色感光性樹脂組成物を、次のようにして調製した。
−顔料分散液Aの調製−
下記に記載の組成の成分を、ホモジナイザーを用いて回転数3,000r.p.m.で3時間撹拌して混合し、混合溶液を調製し、さらに0.1mmφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ウルトラアペックスミル(寿工業社製)にて8時間分散処理を行なった。
[Examples 18 and 19]
(Preparation of colored photosensitive resin composition)
Blue colored photosensitive resin compositions used in Examples 18 and 19 were prepared as follows.
-Preparation of pigment dispersion A-
The components described below are mixed by stirring for 3 hours at a rotation speed of 3,000 rpm using a homogenizer to prepare a mixed solution, and further a bead disperser using 0.1 mmφ zirconia beads Dispersion treatment was performed for 8 hours using an ultra apex mill (manufactured by Kotobuki Kogyo Co., Ltd.).

・C.I.ピグメントブルー15:6 11.8部
・C.I.ピグメントバイオレット23 1.0部
・Disperbyk161(ビックケミー社製、30%溶液) 24.0部
・PGMEA 63.2部
・ C. I. Pigment Blue 15: 6 11.8 parts C.I. I. Pigment Violet 23 1.0 part Disperbyk 161 (manufactured by Big Chemie, 30% solution) 24.0 parts PGMEA 63.2 parts

−着色感光性樹脂組成物の調製−
得られた顔料分散液Aに、さらに以下の組成の成分を添加し、撹拌混合して青色の着色感光性樹脂組成物を調製した。
-Preparation of colored photosensitive resin composition-
Components of the following composition were further added to the obtained pigment dispersion A and mixed by stirring to prepare a blue colored photosensitive resin composition.

・顔料分散液A 39.20部
・バインダー樹脂:例示化合物1−1の20%PGMEA溶液 16.40部
・重合性化合物:M−510(カルボキシル基含有多官能性単量体) 4.57部
(東亞合成(株)製、アロニックスM−510、酸価100mgKOH/g)
・特定光重合開始剤A 2.74部
(前記構造、TR−PBG−304、常州強力電子新材料有限公司社製)
・多官能チオール化合物A 0.55部
(前記構造、商品名:カレンズMTBD1、昭和電工(株)製)
・エポキシ化合物:EHPE3150(ダイセル化学(株)製) 0.60部
・溶剤:PGMEAと3−エトキシエチルプロピオネート(=80/20[質量比])の混合溶液 35.51部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール 0.01部
・密着力調整剤:KBM−503(信越化学(株)製) 0.40部
・界面活性剤:メガファックF−554(DIC(株)製) 0.02部
Pigment dispersion A 39.20 parts Binder resin: 20% PGMEA solution of Exemplified Compound 1-1 16.40 parts Polymerizable compound: M-510 (carboxyl group-containing polyfunctional monomer) 4.57 parts (Toagosei Co., Ltd., Aronix M-510, acid value 100 mgKOH / g)
Specific photopolymerization initiator A 2.74 parts (the above structure, TR-PBG-304, manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd.)
・ 0.55 part of polyfunctional thiol compound A (the above structure, trade name: Karenz MTBD1, manufactured by Showa Denko KK)
Epoxy compound: EHPE3150 (manufactured by Daicel Chemical Industries) 0.60 parts Solvent: PGMEA and 3-ethoxyethyl propionate (= 80/20 [mass ratio]) mixed solution 35.51 parts Polymerization inhibitor : P-Methoxyphenol 0.01 part / adhesion strength adjusting agent: KBM-503 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 0.40 part / surfactant: Megafac F-554 (manufactured by DIC Corporation) 0.02 Part

(カラーフィルタの作製)
実施例18については、得られた青色の着色感光性樹脂組成物を用いた以外は、実施例1と同様にして、青色のストライプ状画素アレイを有するカラーフィルタを得た。
また、実施例19については、得られた青色の着色感光性樹脂組成物を用いた以外は、実施例15と同様にして、青色のストライプ状画素アレイを有するカラーフィルタを得た。
(Production of color filter)
For Example 18, a color filter having a blue stripe pixel array was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained blue colored photosensitive resin composition was used.
In Example 19, a color filter having a blue stripe pixel array was obtained in the same manner as in Example 15 except that the obtained blue colored photosensitive resin composition was used.

[比較例6]
実施例18において、青色の着色感光性樹脂組成物を用いた光重合開始剤を、表3に記載の比較用光重合開始剤(CGI−202)に変更した以外は、実施例18と同様にして、青色の着色感光性樹脂組成物をした。
得られた着色感光性樹脂組成物を用いて、実施例18と同様にして、青色のストライプ状画素アレイを有するカラーフィルタを得た。
[Comparative Example 6]
In Example 18, the photopolymerization initiator using the blue colored photosensitive resin composition was changed to the comparative photopolymerization initiator (CGI-202) shown in Table 3 in the same manner as in Example 18. A blue colored photosensitive resin composition was prepared.
Using the obtained colored photosensitive resin composition, a color filter having a blue stripe pixel array was obtained in the same manner as in Example 18.

<評価>
(線幅感度の評価)
各実施例及び比較例にて得られたカラーフィルタにおけるストライプ状画素アレイ(ラインパターン)を、光学顕微鏡(200倍)によって観察し、線幅を測定し、下記基準で評価した。
−評価基準−
A:30μm以上35μm未満
B:27μm以上30μm未満
C:25μm以上27μm未満
D:25μm未満
E:パターンが形成されない。または、パターンが剥がれて評価ができない。
<Evaluation>
(Evaluation of line width sensitivity)
The striped pixel array (line pattern) in the color filter obtained in each Example and Comparative Example was observed with an optical microscope (200 times), the line width was measured, and evaluated according to the following criteria.
-Evaluation criteria-
A: 30 μm or more and less than 35 μm B: 27 μm or more and less than 30 μm C: 25 μm or more and less than 27 μm D: Less than 25 μm E: No pattern is formed. Or, the pattern is peeled off and cannot be evaluated.

(直線性の評価)
各実施例及び比較例にて得られたカラーフィルタにおけるストライプ状画素アレイ(ラインパターン)を、光学顕微鏡(200倍)によって観察し、線幅の直線性(ガタツキ具合)を目視し、下記基準で評価した。結果を表1〜表3に示す。
−評価基準−
A:ガタツキやカケが無く、ラインが真直ぐである。
B:ガタツキは数箇所みとめられるが、ラインがほとんど真直ぐである。
C:ガタツキやカケにより2μm程度(線幅に対して10%程度)のラインバラツキが生じている。
D:ガタツキやカケにより5μm程度(線幅に対して20%以上)のラインバラツキが生じている。
E:パターンが形成されない。または、パターン剥がれて評価ができない。
(Evaluation of linearity)
The stripe-like pixel array (line pattern) in the color filter obtained in each example and comparative example was observed with an optical microscope (200 times), and the linearity (roughness) of the line width was visually observed. evaluated. The results are shown in Tables 1 to 3.
-Evaluation criteria-
A: There is no rattling or chipping, and the line is straight.
B: Although some rattlings are observed, the line is almost straight.
C: Line variation of about 2 μm (about 10% with respect to the line width) occurs due to rattling or chipping.
D: Line variation of about 5 μm (20% or more with respect to the line width) occurs due to rattling or chipping.
E: No pattern is formed. Or, the pattern is peeled off and cannot be evaluated.

(耐熱性の評価)
各実施例及び比較例にて得られたストライプ状画素アレイ(ラインパターン)が形成された基板を、240℃のクリーンオーブン内で60分間追加ベークし、追加ベーク前後での色変化(ΔEab)を、大塚電子(株)製分光測光器「MCPD−2000」を用いて評価した。ここで、ΔEabとは、L表色系における色差を意味する。色差の変化ΔEabを測定し下記基準で評価した。結果を表1〜表3に示す。
−評価基準−
5 :ΔEabが0以上1.0未満。
4.5:ΔEabが1.0以上2.0未満
4 :ΔEabが2.0以上3.0未満
3.5:ΔEabが3.0以上3.5未満
3 :ΔEabが3.5以上4.0未満
2.5:ΔEabが4.0以上5.0未満
2 :ΔEabが5.0以上
1 :剥がれがあり、且つΔEabが5.0以上
(Evaluation of heat resistance)
The substrate on which the striped pixel array (line pattern) obtained in each example and comparative example was formed was additionally baked in a clean oven at 240 ° C. for 60 minutes, and the color change (ΔE * ab before and after the additional baking). ) Was evaluated using a spectrophotometer “MCPD-2000” manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. Here, ΔE * ab means a color difference in the L * a * b * color system. The change ΔE * ab in color difference was measured and evaluated according to the following criteria. The results are shown in Tables 1 to 3.
-Evaluation criteria-
5: ΔE * ab is 0 or more and less than 1.0.
4.5: ΔE * ab is 1.0 or more and less than 2.0 4: ΔE * ab is 2.0 or more and less than 3.0 3.5: ΔE * ab is 3.0 or more and less than 3.5 3: ΔE * ab is 3.5 or more and less than 4.0 2.5: ΔE * ab is 4.0 or more and less than 5.0 2: ΔE * ab is 5.0 or more 1: There is peeling, and ΔE * ab is 5.0 that's all

(現像性の評価)
各実施例又は各比較例に用いた着色感光性樹脂組成物を、前記無アルカリガラス基板の表面上にスピンコーターを用いて乾燥膜厚が2.0μmとなるように塗布し、120℃で2分間プリベークさせて均一な着色層を形成した。次いで、各実施例又は各比較例に適用された露光方式及び露光条件により露光を行った。
(Evaluation of developability)
The colored photosensitive resin composition used in each example or each comparative example was applied on the surface of the alkali-free glass substrate using a spin coater so that the dry film thickness was 2.0 μm, and the coating was performed at 120 ° C. Pre-baked for a minute to form a uniform colored layer. Next, exposure was performed by the exposure method and exposure conditions applied to each example or each comparative example.

次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、基板上の着色層表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製を100倍希釈した液)にて24℃でフラットノズル圧力0.04MPaで5秒おきにシャワー現像し、その後、流水で20秒間リンスした後、エアナイフで乾燥させ、ストライプ状画素アレイ(ラインパターン)を得た。   Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the colored layer on the substrate, and then a KOH developer (KOH, containing nonionic surfactant, trade names: CDK-1, Fuji Film). Shown with a flat nozzle pressure of 0.04 MPa at 24 ° C. every 5 seconds, then rinsed with running water for 20 seconds, dried with an air knife, and striped. A pixel array (line pattern) was obtained.

上記ラインパターンの形成にあたって、以下のようにして現像性の評価を行なった。即ち、現像を10秒から5秒ずつ延長して行い、未硬化部が基板から除去されるのに要した時間を測定した。
測定結果を表1〜表3に示す。
In forming the line pattern, the developability was evaluated as follows. That is, development was carried out by extending from 10 seconds to 5 seconds, and the time required for removing the uncured portion from the substrate was measured.
The measurement results are shown in Tables 1 to 3.

(輝度の評価)
各実施例及び比較例にて得られた緑色又は青色のストライプ状画素アレイを有するカラーフィルタについて、色度を大塚電子(株)製分光測光器「MCPD−2000」を用いて色度及び輝度を測定し、下記基準により評価した。結果を表1〜表3に示す。
(Evaluation of brightness)
For the color filter having the green or blue stripe pixel array obtained in each of the examples and comparative examples, the chromaticity and luminance were measured using a spectrophotometer “MCPD-2000” manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. Measured and evaluated according to the following criteria. The results are shown in Tables 1 to 3.

<緑色画素を有するカラーフィルタの評価>
緑色の画素を有する各カラーフィルタについては、x=0.287、y=0.600の色度に合わせて、輝度Yを測定し、下記基準により評価した。
−評価基準−
AA:輝度Yが58.0以上
A:輝度Yが57.5以上58.0未満
B:輝度Yが57.0以上57.5未満
C:輝度Yが56.5以上57.0未満
D:輝度Yが56.0以上56.5未満
E:輝度Yが56.0未満
<Evaluation of a color filter having a green pixel>
For each color filter having a green pixel, the luminance Y was measured according to the chromaticity of x = 0.287 and y = 0.600, and evaluated according to the following criteria.
-Evaluation criteria-
AA: Luminance Y is 58.0 or more A: Luminance Y is 57.5 or more and less than 58.0 B: Luminance Y is 57.0 or more and less than 57.5 C: Luminance Y is 56.5 or more and less than 57.0 D: Luminance Y is 56.0 or more and less than 56.5 E: Luminance Y is less than 56.0

<青色画素を有するカラーフィルタの評価>
青色の画素を有する各カラーフィルタについては、x=0.135、y=0.119の色度に合わせて、輝度Yを測定し、下記基準により評価した。
−評価基準−
A:輝度Yが14.5以上
B:輝度Yが14.0以上14.5未満未満
C:輝度Yが13.5以上14.0未満未満
D:輝度Yが13.0以上13.5未満未満
E:輝度Yが13.0未満
<Evaluation of color filter having blue pixel>
About each color filter which has a blue pixel, the brightness | luminance Y was measured according to the chromaticity of x = 0.135 and y = 0.119, and the following reference | standard evaluated.
-Evaluation criteria-
A: Luminance Y is 14.5 or more B: Luminance Y is 14.0 or more and less than 14.5 C: Luminance Y is 13.5 or more and less than 14.0 D: Luminance Y is 13.0 or more and less than 13.5 Less than E: Luminance Y is less than 13.0

(総合評価)
線幅感度、直線性、耐熱性を総合的に下記基準で評価した。結果を表1〜表3にまとめて示した。一般に、使用に際しては、5又は4であることが好ましい。
評価基準
5 :非常に優れている。
4 :通常使用では問題ないレベル。
3 :通常使用がかろうじて容認されるレベル。
2 :性能不十分で通常使用できないレベル。
1 :前記各評価の少なくとも3項目が著しく劣るレベル。
(Comprehensive evaluation)
Line width sensitivity, linearity, and heat resistance were comprehensively evaluated according to the following criteria. The results are summarized in Tables 1 to 3. In general, it is preferably 5 or 4 in use.
Evaluation criteria 5: Very good.
4: Level at which there is no problem in normal use.
3: Level at which normal use is barely acceptable.
2: A level where performance is insufficient and cannot be used normally.
1: At least three items in each evaluation are significantly inferior.

表1〜表3に明らかなように、実施例の着色感光性組成物は、線幅感度が高く、現像性に優れ、直線性及び耐熱性に優れたパターンが形成でき、該着色感光性組成物を用いて作製したカラーフィルタは良好な輝度を示すことがわかる。   As is apparent from Tables 1 to 3, the colored photosensitive compositions of the examples have high line width sensitivity, excellent developability, and can form patterns with excellent linearity and heat resistance. It can be seen that the color filter manufactured using the object exhibits good luminance.

Claims (12)

少なくとも、(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)下記一般式(I)で表される光重合開始剤、(E)多官能チオール化合物、及び(F)溶剤を含有する着色感光性樹脂組成物。


(一般式(I)中、Rは、芳香環又はヘテロ芳香環を含む1価の置換基を表し、X、X、X及びXは、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表し、Yは単結合又はカルボニル基を表し、Zはメチル基又はフェニル基を表す。)
At least (A) a colorant, (B) a binder resin, (C) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator represented by the following general formula (I), (E) a polyfunctional thiol compound, and (F) ) A colored photosensitive resin composition containing a solvent.


(In the general formula (I), R 1 represents a monovalent substituent containing an aromatic ring or a heteroaromatic ring, and X 1 , X 2 , X 3 and X 4 are each independently a hydrogen atom or a halogen atom. Or represents an alkyl group, Y represents a single bond or a carbonyl group, and Z represents a methyl group or a phenyl group.)
前記一般式(I)において、Rで表される芳香環又はヘテロ芳香環を含む1価の置換基が、下記一般式(a)又は(b)で表される1価の置換基である請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。


(一般式(a)中、Zは、炭素数1〜5のアルキル基、又はフェニル基を表す。一般式(a)及び(b)中、Xは、各々独立に、ハロゲン原子、アリールカルボニル基、又はヘテロアリールカルボニル基を表し、lは0又は1を表す。一般式(a)及び(b)中に示す波線は、隣接するYとの結合位置である。)
In the general formula (I), the monovalent substituent containing the aromatic ring or heteroaromatic ring represented by R 1 is a monovalent substituent represented by the following general formula (a) or (b). The colored photosensitive resin composition according to claim 1.


(In General Formula (a), Z 1 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a phenyl group. In General Formulas (a) and (b), each X independently represents a halogen atom or an arylcarbonyl. Represents a group or a heteroarylcarbonyl group, and l represents 0 or 1. The wavy line shown in the general formulas (a) and (b) is the bonding position with the adjacent Y.)
前記一般式(I)で表される光重合開始剤が、下記一般式(I-A)で表される光重合開始剤である請求項1又は請求項2に記載の着色感光性組成物。


(一般式(I−A)中、Rは、ハロゲン原子、アルキル基、メトキシ基、フェノキシ基、フェニルチオ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、シアノ基、又はニトロ基を表すか、或いは、隣接する2以上のR同士で互いに結合して芳香族炭化水素環を形成する基を表し、nは0〜5の整数を表す。X、X、X、X、Y及びZは、前記一般式(I)におけるX、X、X、X、Y及びZと同義である。)
The colored photosensitive composition according to claim 1 or 2, wherein the photopolymerization initiator represented by the general formula (I) is a photopolymerization initiator represented by the following general formula (IA).


(In General Formula (IA), R A represents a halogen atom, an alkyl group, a methoxy group, a phenoxy group, a phenylthio group, a diethylamino group, a morpholino group, a cyano group, or a nitro group, or adjacent 2 R A represents a group which is bonded to each other to form an aromatic hydrocarbon ring, and n represents an integer of 0 to 5. X 1 , X 2 , X 3 , X 4 , Y and Z are the above X 1, X 2 in the general formula (I), X 3, X 4, the same meanings as Y and Z.)
前記(E)多官能チオール化合物が、2官能のチオール化合物である請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the (E) polyfunctional thiol compound is a bifunctional thiol compound. 前記(B)バインダー樹脂が、分子内に重合性基を有するバインダー樹脂である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the (B) binder resin is a binder resin having a polymerizable group in the molecule. 前記(B)バインダー樹脂が、分子内に、(B−1)下記一般式(II)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(III)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むバインダー樹脂である請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。


(一般式(II)中、R11〜R15はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基、又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。)


(一般式(III)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に炭素数4以下のアルキル基であるか、いずれか一方が水素原子で他方が炭素数4以下のアルキル基であるか、又は、R23及びR24が互いに結合して炭素環を形成する基を表す。)
The (B) binder resin contains, in the molecule, (B-1) a structural unit represented by the following general formula (II), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and (B- 3) A colored photosensitive resin according to any one of claims 1 to 5, which is a binder resin containing at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formula (III): Resin composition.


(In the general formula (II), R 11 to R 15 each independently represents a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group, or an aryl group, and R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.)


(In the general formula (III), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 are each independently an alkyl group having 4 or less carbon atoms. Or either one is a hydrogen atom and the other is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, or R 23 and R 24 are bonded to each other to form a carbocyclic ring.)
更に、(G)増感色素を含有する請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, further comprising (G) a sensitizing dye. 前記(B)バインダー樹脂が、分子内に、前記(B−1)一般式(II)で表される構造単位、前記(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び前記(B−3)一般式(III)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を50モル%〜90モル%と、酸性基を有する構造単位と、を含み、重量平均分子量が10000〜100000の範囲にある樹脂である請求項6又は請求項7に記載の着色感光性樹脂組成物   The (B) binder resin contains in its molecule (B-1) a structural unit represented by the general formula (II), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and ( B-3) 50 mol% to 90 mol% of at least one structural unit selected from the group consisting of the structural unit represented by the general formula (III) and a structural unit having an acidic group, and weight The colored photosensitive resin composition according to claim 6 or 7, which is a resin having an average molecular weight in the range of 10,000 to 100,000. 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を基板上に付与して着色層を形成する着色層形成工程と、
前記着色層をパターン様に露光して露光部を硬化させる露光工程と、
前記露光後の着色層における未硬化部を現像により除去してパターンを形成する現像工程と、
を含むパターン形成方法。
A colored layer forming step of forming a colored layer by applying the colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 8 on a substrate;
An exposure step of exposing the colored layer in a pattern to cure the exposed portion;
A development step of forming a pattern by removing uncured portions in the colored layer after the exposure by development; and
A pattern forming method including:
請求項9に記載のパターン形成方法により、基板上に着色パターンを形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法。   A method for producing a color filter, comprising a step of forming a colored pattern on a substrate by the pattern forming method according to claim 9. 請求項10に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタ。   A color filter manufactured by the manufacturing method according to claim 10. 請求項11に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。   A display device comprising the color filter according to claim 11.
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