JP5117672B2 - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
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Description
図6及び図7は位置合わせマークの第1変形例を示し、図6は3つの位置合わせマークを示す要部拡大図、図7は正確な位置合わせ位置における3つの位置合わせマークの状態を示す図である。
図8及び図9は位置合わせマークの第2変形例を示し、図8はフレキシブル基板と第1フォトマスクの配置を示す図、図9は図8のD−D線断面図である。
上述した実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
4 基材搬送手段
10 フレキシブル基板(帯状素材)
11 第1フォトマスク
11a 第1パターン部
12 第2フォトマスク
12a 第2パターン部
13 第1位置調整手段
15 第2位置調整手段
20 CCDカメラ(マーク読み取り手段)
21 露光予定範囲
22,30 フレキシブル基板の位置合わせマーク
25,31 第1フォトマスクの位置合わせマーク
26,32 第2フォトマスクの位置合わせマーク
Claims (5)
- 両面に感光性材料が形成された帯状基材を、その長手方向に沿って間欠的に送り、露光処理位置には、前記帯状基材の両面にそれぞれ対向するように、第1フォトマスク及び第2フォトマスクを配置し、前記帯状基材の両面に対して前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクを通して光を照射することにより、前記帯状基材の両面に前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクにそれぞれ描かれたパターンを転写する露光方法であって、
前記帯状基材と前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクには、前記帯状基材と前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクを互いに位置合わせするために、対向する位置に複数の位置合わせマークがそれぞれ設けられ、
前記帯状基材の位置合わせマークは、透光性の円形であり、前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクの各位置合わせマークの一方は、非透光性の円環状であり、他方はこの円環状の内周円より小径の非透光性の円形であり、前記第1又は第2フォトマスクの円環状の位置合わせマークが最も大きく、前記帯状基材の位置合わせマークが次に大きく、前記第1又は第2フォトマスクの円形の位置合わせマークが最も小さく設定され、
前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクには、前記帯状基材に対向配置しない外側位置に複数の補助位置合わせマークがそれぞれ設けられ、前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクの各補助位置合わせマークの一方は、非透光性の円環状であり、他方はこの円環状の内周円より小径の非透光性の円形であり、
前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクのそれぞれに設けられた補助位置合わせマークを同時にひとつのCCDカメラで読み取り、その結果得られたデータに基づいて、前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクのうち少なくとも一方をX,Y,θ方向に移動させて前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクを粗い位置合わせし、
対向した位置の前記帯状基材に設けられた位置合わせマークと、前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクのそれぞれに設けられた位置合わせマークと、の3つの位置合わせマークを同時にひとつのCCDカメラで読み取り、その結果得られたデータに基づいて、前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクのうち少なくとも一方をX,Y,θ方向に移動させて前記帯状基材と前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクをそれぞれ位置合わせすることを特徴とする露光方法。 - 請求項1記載の露光方法であって、
前記帯状基材は、前記帯状基材の長手方向における前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクの各補助位置合わせマークの位置と同じ長手方向の位置に補助位置合わせマークを有し、
前記帯状基材の補助位置合わせマークは、透光性の円形で形成されており、
前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクの各補助位置合わせマークと、前記帯状基材の補助位置合わせマークとをCCDカメラを移動させて読み取り、前記帯状基材と前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクとを粗い位置合わせすることを特徴とする露光方法。 - 長手方向に沿って連続的に露光予定範囲が設定され、各露光予定範囲毎に位置合わせマークが複数位置に設けられた帯状基材と、
前記帯状基材を長手方向に搬送する基材搬送手段と、
前記帯状基材の搬送経路の前記帯状基材を挟む位置にそれぞれ配置され、それぞれ複数位置に位置合わせマークが設けられた第1及び第2フォトマスクと、
CCDカメラとを備え、
前記第1及び第2フォトマスクの複数位置の各位置合わせマークは、前記帯状基材の同じ位置合わせマークに対応する位置にそれぞれ配置され、
前記帯状基材の位置合わせマークは、透光性の円形であり、前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクの各位置合わせマークの一方は、非透光性の円環状であり、他方はこの円環状の内周円より小径の非透光性の円形であり、前記第1又は第2フォトマスクの円環状の位置合わせマークが最も大きく、前記帯状基材の位置合わせマークが次に大きく、前記第1又は第2フォトマスクの円形の位置合わせマークが最も小さく設定され、
前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクには、前記帯状基材に対向配置しない外側位置に補助位置合わせマークがそれぞれ設けられ、前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクの各補助位置合わせマークの一方は、非透光性の円環状であり、他方はこの円環状の内周円より小径の非透光性の円形であり、
前記CCDカメラは、前記帯状基材と前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクの対応位置にある3つの位置合わせマークを同時に読み取り可能であると共に、前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクの対応位置にある2つの補助位置合わせマークを同時に読み取り可能であり、
その結果得られたデータに基づいて、前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクのうち少なくとも一方をX,Y,θ方向に移動させて前記帯状基材と前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクをそれぞれ位置合わせする位置調整手段を備え、
前記帯状基材の両面に対して前記第1及び第2フォトマスクを通して光を照射することにより、前記帯状基材の両面に前記第1及び第2フォトマスクにそれぞれ描かれたパターンを転写する構成であり、
前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクのそれぞれに設けられた補助位置合わせマークを同時にひとつの前記CCDカメラで読み取り、その結果得られたデータに基づいて、前記位置調整手段で前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクのうち少なくとも一方をX,Y,θ方向に移動させて前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクを粗い位置合わせし、
対向した位置の前記帯状基材に設けられた位置合わせマークと、前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクのそれぞれに設けられた位置合わせマークと、の3つの位置合わせマークを同時にひとつの前記CCDカメラで読み取り、その結果得られたデータに基づいて、前記位置調整手段で前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクのうち少なくとも一方をX,Y,θ方向に移動させて前記帯状基材と前記第1フォトマスク及び前記第2フォトマスクをそれぞれ位置合わせすることを特徴とする露光装置。 - 請求項3記載の露光装置であって、
前記帯状基材は、前記帯状基材の長手方向における前記第1フォトマスクと前記第2フォトマスクの各補助位置合わせマークの位置と同じ長手方向の位置に補助位置合わせマークを有し、
前記帯状基材の補助位置合わせマークは、透光性の円形で形成されていることを特徴とする露光装置。 - 請求項3または4に記載の露光装置であって、
前記基材搬送経路は、前記帯状基材を垂直方向に沿って搬送する垂直搬送区間を有し、この垂直搬送区間で前記第1及び第2フォトマスクを対向配置させたことを特徴とする露光装置。
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