JP5104805B2 - 光制御デバイス - Google Patents
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Description
(1)光導波路を伝播する光波の速度と、信号電極を伝播する変調信号であるマイクロ波の速度との速度整合を図るため、光波の屈折率とマイクロ波の実効屈折率を一致させること。
(2)光制御デバイスに光ファイバから光波を導入する際、又は、光制御デバイスから光ファイバに光波を導出する際の光の結合効率を向上させること。
(3)信号電極に印加するマイクロ波の伝播損失を抑制するため、信号電極からマイクロ波が漏出することを抑制すると共に、信号電極に入力される前後及び信号電極の電界が導波路に作用する作用部の前後でインピーダンスを整合させ、インピーダンス不整合よるマイクロ波の反射を抑制すること。
(4)信号電極が形成する電界が、効率良く光導波路に印加される構成とすること。
本発明の特徴は、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御デバイスにおいて、該変調電極は、信号電極と接地電極から構成される、対称または非対称のCPW電極であり、該信号電極の信号入力端部から該光導波路を伝播する光波に変調を行う作用部の開始点までの信号電極を入力側信号電極部とし、該入力側信号電極部の少なくとも一部に、配線を折り返す屈曲部を有し、該屈曲部が存在する領域の該基板の厚みを30〜100μmとすることである。
2 主分岐導波路
3 副マッハツェンダー型導波路
4,41,42 信号電極
5,51,52 電極パッド
61〜63 接地電極
R 折り返し屈曲部
Claims (3)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御デバイスにおいて、
該変調電極は、信号電極と接地電極から構成される、対称または非対称のCPW電極であり、
該信号電極の信号入力端部から該光導波路を伝播する光波に変調を行う作用部の開始点までの信号電極を入力側信号電極部とし、
該入力側信号電極部の少なくとも一部に、配線を折り返す屈曲部を有し、
該屈曲部が存在する領域の該基板の厚みが30〜100μmであり、
該屈曲部を含む信号電極の基板に接する部分の幅が10μm以下であることを特徴とする光制御デバイス。 - 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝播する光波を変調する変調電極とを有する光制御デバイスにおいて、
該変調電極は、信号電極と接地電極から構成される、対称または非対称のCPW電極であり、
該信号電極の信号入力端部から該光導波路を伝播する光波に変調を行う作用部の開始点までの信号電極を入力側信号電極部とし、
該入力側信号電極部の少なくとも一部に、配線を折り返す屈曲部を有し、
該屈曲部が存在する領域の該基板の厚みが30〜100μmであり、
該信号電極は、複数の作用部に独立した変調信号を伝送する複数の信号電極から構成され、該屈曲部において、隣接する異なる信号電極の間隔が500μm以下であることを特徴とする光制御デバイス。 - 請求項1又は2に記載の光制御デバイスにおいて、該基板はZ型カット基板であり、該光導波路は該作用部においてリッジ構造を有し、該信号電極は該リッジ構造の上に配置されていることを特徴とする光制御デバイス。
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