JP5096360B2 - センサー素子ならびに該センサー素子を製造するための方法および薬剤 - Google Patents

センサー素子ならびに該センサー素子を製造するための方法および薬剤 Download PDF

Info

Publication number
JP5096360B2
JP5096360B2 JP2008544934A JP2008544934A JP5096360B2 JP 5096360 B2 JP5096360 B2 JP 5096360B2 JP 2008544934 A JP2008544934 A JP 2008544934A JP 2008544934 A JP2008544934 A JP 2008544934A JP 5096360 B2 JP5096360 B2 JP 5096360B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor element
porous layer
gas
sensor
platinum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008544934A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009519446A (ja
Inventor
クラーマー ベルント
ハイマン デトレフ
ヴァール トーマス
ブラウン ハリー
アイゼレ ウルリッヒ
シューマン ベルント
レンガー クリストフ
ヨッケル イェルク
ブーゼ フランク
オップ アンドレアス
クルーゼ マティアス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of JP2009519446A publication Critical patent/JP2009519446A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5096360B2 publication Critical patent/JP5096360B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J23/00Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
    • B01J23/38Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals
    • B01J23/54Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals combined with metals, oxides or hydroxides provided for in groups B01J23/02 - B01J23/36
    • B01J23/56Platinum group metals
    • B01J23/58Platinum group metals with alkali- or alkaline earth metals
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J37/00Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
    • B01J37/0009Use of binding agents; Moulding; Pressing; Powdering; Granulating; Addition of materials ameliorating the mechanical properties of the product catalyst
    • B01J37/0018Addition of a binding agent or of material, later completely removed among others as result of heat treatment, leaching or washing,(e.g. forming of pores; protective layer, desintegrating by heat)
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J37/00Processes, in general, for preparing catalysts; Processes, in general, for activation of catalysts
    • B01J37/02Impregnation, coating or precipitation
    • B01J37/0201Impregnation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4075Composition or fabrication of the electrodes and coatings thereon, e.g. catalysts

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Catalysts (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Description

本発明は、独立請求項の上位概念に記載された、ガスセンサーのためのセンサー素子および該センサー素子を製造するための方法および含浸溶液に関する。
従来技術
このセンサー素子は、平面状の固体電解質から形成されかつ電気化学的ポンプセルおよび/またはネルンストによる電気化学的セル(elektrochemische Nernstzellen)を有することができる、内燃機関の排ガス中の酸素濃度を測定するためのセラミックセンサー素子である。この電気化学的セルは、測定電極を有し、この測定電極は、腐食作用する排ガスに晒される限り、しばしば不十分な長時間安定性を有する。これは、例示的に電気化学的測定セルの信号ずれの形で現れる
この問題を解決するために、ドイツ連邦共和国特許第4100106号明細書C1の記載から、ガス混合物に晒される測定電極が、触媒活性物質を含有する保護層で被覆されているセンサー素子は、公知である。この保護層は、測定電極に拡散する排ガスの触媒平衡調整、ひいてはセンサー素子の比較的安定した調整位置を保証する。この提案の欠点は、保護層の形成のための比較的高い材料費ならびに調整位置が長時間運転の際に完全には安定でないことである。このずれは、保護層、ひいては保護層の内容物質が高い温度で一緒に焼結され、その結果、僅かな触媒活性を有するにすぎないセンサー素子の製造工程によって引き起こされる。
本発明の課題は、良好な貯蔵安定性および安定した調整位置を示すにも拘わらず、簡単で安価に製造することができるセンサー素子を提供することである。
発明の利点
独立請求項の特徴部の特徴を有する、本発明によるセンサー素子ならびに該センサー素子を製造するための方法および薬剤は、本発明の基礎となる課題を解決する。
この場合、センサー素子は、保護層の実現および材料組成に基づいて長時間運転の際に良好な信号安定性を示し、それにも拘わらず比較的安価に実現することができる保護層を有する。これは、保護層を多孔質に形成させ、単に保護層の細孔に選択された触媒活性物質を備えさせることにより達成される。センサー素子の製造は、単に付加的な含浸工程ならびに付加的な加熱処理を必要とし、したがって簡単に従来の完成法で実施可能である。
従属請求項に挙げられた手段によって、独立請求項に記載されたセンサー素子ならびに該センサー素子を製造するための方法および薬剤の好ましいさらなる展開および改善が可能である。
即ち、センサー素子の多孔質層が該多孔質層の細孔中で少なくとも部分的に触媒活性の被覆を有し、この場合この被覆の材料組成は、多孔質層の材料組成とずれており、前記被覆がパラジウムまたはルテニウム、アルカリ金属またはアルカリ土類金属を例えばそれぞれ白金またはパラジウムおよび/または白金の存在で、例えば2質量%の最少濃度で含有することは、好ましい。この場合には、殊に溶液が同時にバリウムおよび元素のルビジウムまたはセシウムを含有しないことは、有利である。それというのも、これらバリウムおよび元素のルビジウムまたはセシウムは、一緒に出現する際に減少された触媒活性を示すからである。
更に、多孔質層が保護層としてセンサー素子の電極を少なくとも領域的に被覆するかまたは選択的に拡散バリヤーとして形成されており、センサー素子の内部ガス空間へのガス混合物の侵入が制限されることは、有利である。こうして、測定すべきガス混合物中で触媒平衡調整が達成され、その後にセンサー素子の内部ガス空間内に配置されていてもよいセンサー素子の前記測定電極が達成される。
図面
次に、本発明の1つの実施例は、図に示されており、次の記載で詳細に説明される。
実施例
図1は、本発明によるセンサー素子10の1つの実施例を示す。センサー素子10は、層状に形成されており、第1の固体電解質層21、第2の固体電解質層22および第3の固体電解質層23を含む。この場合、固体電解質層21〜23は、酸素イオン伝導性固体電解質材料、例えばY23で安定化または部分安定化されたZrO2から形成されている。センサー素子10は、当業者に公知の方法でガス測定センサー中に使用されている。
第1の固体電解質層21と第2の固体電解質層22との間には、絶縁層43を有する加熱導体路(Heizerleiterbahn)41が設けられている。絶縁層43は、酸化アルミニウムからなる多孔質層であり、この多孔質層は、加熱導体路41を完全に包囲している。加熱導体路41の絶縁層43は、側方で、即ち加熱導体路41の層平面内で気密なパッキンフレーム44によって包囲されている。パッキンフレーム44は、センサー素子10の外側表面にまで延在している。
第2の固体電解質層22中には、参照ガスを含む参照ガス空間35が導入されている。参照ガス空間35中で、第3の固体電解質層23上には、第1の電極31が施こされている。第1の電極31に向かい合う、第3の固体電解質層23の側、ひいてはセンサー素子10の外側表面上には、第2の電極32が設けられており、この第2の電極は、排ガスに晒されている。
第1の電極31および第2の電極32は、双方の電極31、32の間に配置された固体電解質23と共に電気化学的セルを形成する。第1の電極31(参照ガス空間35内)と第2の電極32(排ガス中)に異なる酸素分圧が存在する場合には、双方の電極31、32の間には、排ガス中の酸素分圧の1つの基準である電圧が形成される(ネルンストによる電気化学的セル)。電気化学的セル31、32、33は、センサー素子10の測定範囲15内、即ち排ガスに対向した、センサー素子10の端部区間に配置されている。
電極31、32上でガス混合物成分の熱力学的平衡の調節が行なわれることを保証するために、使用される全ての電極は、触媒活性材料、例えば白金からなり、この場合に全ての電極のための電極材料は、自体公知の方法でサーメットとして使用され、セラミックシートと共に焼結される。
殊に、外側のポンプ電極32を潜在的に腐食作用および研削作用するガス混合物から保護するために、外側のポンプ電極32には、特に保護層24が備えられている。この保護層は、特に開放気泡状に形成されており、この場合孔径は、測定すべきガス混合物が多孔質層の細孔内に拡散侵入しうるように選択される。この場合、多孔質層の孔径は、特に2〜10μmの範囲内にある。多孔質層は、セラミック材料、例えばアルミニウム、ジルコニウム、セリウムまたはチタンの酸化物から形成されている。多孔質層の多孔度は、センサー素子の製造の際に多孔質層24の基本材料を含有するスクリーン印刷用ペーストへの気泡形成剤の添加によって相応して調節されうる。
外側のポンプ電極32に拡散するガス混合物の平衡調整を改善するために、保護層は、付加的に触媒活性物質を含有する。この触媒活性物質は、殊にガス混合物の酸化性ガス成分と還元性成分との反応を生じさせる。
保護層24を形成させるために、出発材料、例えばセラミック粉末、気泡形成剤および場合による触媒活性成分は、スクリーン印刷ペーストに移行される。更に、保護層24の材料は、スクリーン印刷によってセラミック層23の生成形体上にもたらされる。引き続き、殊に焼結工程の形で熱処理が行なわれる。焼結工程後、形成された多孔質の保護層24には、少なくとも1つの触媒活性物質または該物質の前駆体化合物を含有する含浸溶液が設けられる。
その後に、引き続いてもう1つの熱処理が行なわれ、この熱処理は、保護層24の細孔内に導入された含浸溶液の乾燥および場合によっては触媒活性物質または該物質の前駆体化合物の活性化を生じる。そのために、センサー素子10は、含浸溶液の溶剤が蒸発されかつ少なくとも部分的に触媒活性物質からなる被覆を保護層24の細孔内形成させる温度にもたらされる。
使用される含浸溶液は、貴金属、例えばパラジウム、ルテニウムまたは白金を触媒活性物質として含有し、この場合には、特に白金は、0.0096モル/lの最少濃度で含有されている。この含浸溶液は、選択的にかまたは付加的にアルカリ金属、例えば殊にリチウム、カリウム、ルビジウムまたはセリウムの化合物を含有することができるかまたはアルカリ土類金属、例えば殊にマグネシウム、カルシウム、ストロンチウムまたはバリウムの化合物を含有することができる。
保護層24の細孔内で生じる被覆の特に高い触媒活性は、アルカリ金属化合物およびアルカリ土類金属化合物が白金またはパラジウムとの混合物で使用される場合に達成することができる。同様に、バリウムおよびルビジウムまたはバリウムおよびセシウムが含浸溶液それ自体内で使用されない場合には、特に有利であることが判明した。更に、好ましい1つの実施態様において、バリウムは、アルミニウム化合物との混合物で使用され、この場合には、特に1:4〜1:8、殊に1:6の混合比が選択される。
この場合、アルカリ金属化合物またはアルカリ土類金属化合物は、含浸溶液の0.1モル/lから1.6モル/lまでの濃度範囲内で添加されるが、しかし、これに対して貴金属化合物は、含浸溶液中に0.096〜0.4モル/lの濃度で設けられる。
第1表中には、試験結果がリストアップされており、この場合このリストに記載された含浸溶液の全ての溶液が標準ラムダプローブの保護層を含浸させるために採用され、生じる保護層の触媒活性のための基準としてラムダプローブの信号定数は、長時間試験後または燃料に富んだリッチ排ガスと酸素に富んだリーン排ガスとのガス混合物の組成の数多くの交換後およびこれと反対の組成の数多くの交換後に測定された。対立プローブとして含浸なしの標準ラムダプローブの信号定数が測定された(試験77)。信号定数の基準として、試験用ラムダプローブが理論的に1のラムダ値に相当する450Vの測定電圧を示すようなガス混合物のラムダ値が検出された。
Figure 0005096360
Figure 0005096360
第1表中に記載された化合物での多孔質層24の含浸は、約1.5〜8質量%、殊に2〜4.5質量%の白金含量、約0.1〜10質量%、殊に0.2〜4.5質量%のリチウム含量またはルビジウム含量、約0.5〜9質量%、殊に0.8〜4.5質量%のマグネシウム含量および/または約0.1〜3.5質量%、殊に0.2〜2.2質量%のバリウム含量を有する多孔質層を生じる。更に、或いは他の選択可能な方法によれば、この多孔質層24は、白金族の金属ルテニウム、ロジウムまたはパラジウムの中の1つ約0.1〜10質量%、殊に0.2〜3.5質量%および/または元素カリウム、セシウム、カルシウムおよびストロンチウムの中の1つ約0.1〜15質量%、殊に0.8〜9.8質量%を含有することができる。
多孔質層24は、センサー素子の電極のための保護層として適当であるだけでなく、例えばセンサー素子内での拡散バリヤーとしても適当であり、センサー素子の内部に拡散侵入するガス混合物の平衡調整を触媒的に生じさせる。
本発明により形成された多孔質層を有するセンサー素子は、酸素の測定と共に、特にガス、例えば内燃機関の排ガス中の窒素酸化物、硫黄酸化物、アンモニアまたは炭化水素の測定にも使用されてよい。そのために、センサー素子の記載された層構造は、他の固体電解質層、絶縁層または機能層を含むことができる。
本発明の実施例に記載のセンサー素子を示す断面図。
符号の説明
10 センサー素子、 21 第1の固体電解質層、 22 第2の固体電解質層、 23 第3の固体電解質層、 24 保護層、 31 第1の電極、 32 第2の電極、 33 電気化学的セル、 41 加熱導体路、 43 絶縁層、 44 パッキンフレーム

Claims (6)

  1. 少なくとも1つの電気化学的測定セル(31、32、23)およびガス混合物に晒される少なくとも1つの多孔質層(24)を有する、ガス混合物中のガス成分を測定するためのガスセンサーのためのセンサー素子において、多孔質層(24)がパラジウム、白金、ルテニウムの群から選択される1つの元素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属を含有しており、その際、多孔質層(24)の細孔が少なくとも部分的に触媒活性の被覆を有し、該被覆の材料組成が多孔質層の材料組成とずれており、該被覆がパラジウム、白金、ルテニウムの群から選択される1つの元素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属を含有していることを特徴とする、ガス混合物中のガス成分を測定するためのガスセンサーのためのセンサー素子。
  2. 多孔質層が保護層(24)としてセンサー素子の電極(32)を少なくとも領域的に被覆する、請求項記載のセンサー素子。
  3. 多孔質層(24)がガス混合物に晒される、センサー素子の外側表面(23)上に設けられている、請求項1または2記載のセンサー素子。
  4. 請求項1からまでのいずれか1項に記載のセンサー素子の製造法において、多孔質層を形成させるためにセンサー素子のセラミック支持体上にセラミック材料と気泡形成剤とのペースト状混合物を塗布し、この支持体を第1の加熱処理に掛け、生じた多孔質層をパラジウム、白金、ルテニウムの群から選択される1つの元素、アルカリ金属およびアルカリ土類金属を含有する含浸溶液で含浸し、乾燥し、最終的に支持体の第2の加熱処理を行なうことを特徴とする、請求項1からまでのいずれか1項に記載のセンサー素子の製造法。
  5. 第2の加熱処理を化成ガスの雰囲気中で行なう、請求項記載の方法。
  6. ペースト状混合物が白金を2質量%まで含有する、請求項または記載の方法。
JP2008544934A 2005-12-14 2006-11-29 センサー素子ならびに該センサー素子を製造するための方法および薬剤 Expired - Fee Related JP5096360B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005059594A DE102005059594A1 (de) 2005-12-14 2005-12-14 Sensorelement sowie Verfahren und Mittel zu dessen Herstellung
DE102005059594.4 2005-12-14
PCT/EP2006/069035 WO2007068587A1 (de) 2005-12-14 2006-11-29 Sensorelement sowie verfahren und mittel zu dessen herstellung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009519446A JP2009519446A (ja) 2009-05-14
JP5096360B2 true JP5096360B2 (ja) 2012-12-12

Family

ID=37726797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008544934A Expired - Fee Related JP5096360B2 (ja) 2005-12-14 2006-11-29 センサー素子ならびに該センサー素子を製造するための方法および薬剤

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20100193356A1 (ja)
EP (1) EP1963833B1 (ja)
JP (1) JP5096360B2 (ja)
CN (1) CN101331394B (ja)
DE (1) DE102005059594A1 (ja)
WO (1) WO2007068587A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4992744B2 (ja) * 2008-02-04 2012-08-08 トヨタ自動車株式会社 排気ガスセンサ
JP5070082B2 (ja) * 2008-02-22 2012-11-07 日本特殊陶業株式会社 アンモニアガスセンサ
DE102008040314A1 (de) 2008-07-10 2010-01-14 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Messung von einer Gasspezies geringer Konzentration in einem Gasstrom
US9358525B2 (en) * 2008-12-04 2016-06-07 Johnson Matthey Public Limited Company NOx storage materials for sensor applications
DE102012207216A1 (de) * 2012-04-30 2013-10-31 Robert Bosch Gmbh Messfühler zur Bestimmung mindestens einer Eigenschaft eines Messgases in einem Messgasraum
ES2535054B1 (es) * 2013-09-30 2016-04-05 Abengoa Solar New Technologies S.A. Procedimiento de fabricación de un sensor de detección de hidrógeno y sensor así fabricado
US10503821B2 (en) 2015-12-29 2019-12-10 Sap Se Dynamic workflow assistant with shared application context

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5033892A (ja) * 1973-07-24 1975-04-01
US4277322A (en) * 1980-02-04 1981-07-07 Corning Glass Works Oxygen sensor
JPH0623725B2 (ja) * 1985-12-25 1994-03-30 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサの調整法
JP2574452B2 (ja) * 1988-03-03 1997-01-22 日本碍子株式会社 酸素センサおよびその製造方法ならびに被毒防止方法
EP0331513B1 (en) * 1988-03-03 1994-02-02 Ngk Insulators, Ltd. Oxygen sensor and method of producing the same
JPH0810210B2 (ja) * 1988-11-01 1996-01-31 日本特殊陶業株式会社 Si被毒防止用酸素センサ
DE68927087T2 (de) * 1988-11-01 1997-02-06 Ngk Spark Plug Co Sauerstoffempfindlicher Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung
JP2514701B2 (ja) * 1988-12-02 1996-07-10 日本特殊陶業株式会社 酸素センサ
DE4131503A1 (de) * 1991-09-21 1993-04-01 Bosch Gmbh Robert Abgassensor und verfahren zu dessen herstellung
EP0668503A1 (en) * 1994-02-17 1995-08-23 General Motors Corporation Catalytic/ceramic oxide microcomposite materials for use as exhaust sensor pre-equilibration zone
JPH0996622A (ja) * 1995-09-29 1997-04-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガスセンサおよびその製造方法
JP3533334B2 (ja) * 1998-09-09 2004-05-31 Tdk株式会社 二酸化炭素センサおよび二酸化炭素濃度の測定方法
JP2002031618A (ja) * 2000-05-12 2002-01-31 Denso Corp ガスセンサ
JP2002071632A (ja) * 2000-06-12 2002-03-12 Denso Corp ガスセンサ素子
JP4617599B2 (ja) * 2000-08-07 2011-01-26 株式会社デンソー ガスセンサ素子及びその製造方法
JP2002174618A (ja) * 2000-12-07 2002-06-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体電解質型ガスセンサ
JP3969274B2 (ja) * 2001-12-03 2007-09-05 株式会社デンソー ガスセンサ素子及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE102005059594A1 (de) 2007-06-21
EP1963833A1 (de) 2008-09-03
CN101331394B (zh) 2012-08-08
US20100193356A1 (en) 2010-08-05
JP2009519446A (ja) 2009-05-14
EP1963833B1 (de) 2018-05-16
WO2007068587A1 (de) 2007-06-21
CN101331394A (zh) 2008-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5096360B2 (ja) センサー素子ならびに該センサー素子を製造するための方法および薬剤
US5423973A (en) Exhaust gas sensor and method of producing the same
JP2654212B2 (ja) ガス混合気のガス成分を測定するセンサ素子
JP3102881B2 (ja) ガス組成検出用の抵抗測定センサおよびこの抵抗測定センサの製造方法
US4296148A (en) Method to apply multiple layers, including an electrode layer, on a sintered or pre-sintered ion conductive solid electrolyte body
US4720335A (en) Wide range air fuel ratio sensor
US20030205078A1 (en) Gas-detecting element and gas-detecting device comprising same
US10436740B2 (en) Sensor element for detecting at least one property of a measuring gas in a measuring gas space, containing a ground, impregnated slip layer
JPH0668480B2 (ja) 酸素センサにおける電極構造
JP6305576B2 (ja) 測定ガス空間内の測定ガスの少なくとも1つの特性を検知するためのセンサ素子
US20030154764A1 (en) Sensor element operated with a preliminary catalysis
JP4489862B2 (ja) 電気化学的測定センサ及びその使用
JP2000088796A (ja) ガスセンサ
JP2003194773A (ja) 多孔質電極、これを含む電気化学素子及びガス濃度検出センサ、並びに酸素分圧の制御方法及び可燃性ガスの検出方法
JP2003518619A (ja) ガス成分を測定するためのガスセンサーのセンサー素子
US20060213772A1 (en) Sensing element and method of making
US8828206B2 (en) Gas sensor element and gas sensor employing the gas sensor element
JP4690617B2 (ja) 気体混合物中の気体成分の濃度を測定するためのセンサ
US20040040846A1 (en) Sensor element
JP2003528258A (ja) 触媒活性層を有するセンサ素子及びその製造方法
JP5724832B2 (ja) 酸素濃度センサ
JPH07107524B2 (ja) 酸素ガス検出器
US20030070921A1 (en) Sensor, electrode, and methods of making and using the same
CN108872345B (zh) 气体传感器
JP2018063152A (ja) ガスセンサ素子、及びガスセンサ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101014

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101022

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20101227

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20101228

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20110120

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20110127

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20110222

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20110301

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20110314

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20110322

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110412

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111020

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120116

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120822

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120920

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5096360

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150928

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees