JP5080977B2 - シートプラズマ成膜装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係るシートプラズマ成膜装置の構成の一例を示す概略図である。図2は、図1のシートプラズマ成膜装置における成膜室の構成を示す図であって、図2(a)は成膜室の正面図、図2(b)は図2(a)の成膜室をIIB−IIB線に沿って切断した状態を示す断面図である。以下、図1及び図2を参照しながら、本実施形態に係るシートプラズマ成膜装置について説明する。なお、ここでは便宜上、図1に示すように、プラズマ輸送の方向をZ方向にとり、このZ方向に直交し、かつ永久磁石24A、24B(後述)の磁化方向をY方向にとり、これらのZ方向及びY方向の両方に直交する方向をX方向にとって、このシートプラズマ成膜装置の構成を説明する。
11 フランジ
12 陰極
13 第一電磁コイル
14 放電空間
15 絶縁体
17 筒状部材
18,32 排気口
20 シートプラズマ変形室
21 輸送空間
22 円柱状プラズマ
23 第二電磁コイル(プラズマ流動手段)
24A,24B 永久磁石
25,38 真空ポンプ
26,37 バルブ
27(S) シートプラズマ
28 第三電磁コイル(プラズマ流動手段)
29 第一ボトルネック部
30 成膜室
31 成膜空間
33A ターゲット
33B ターゲットホルダ
33C,34C 円柱状の支軸(支軸)
34A 基板
34B 基板ホルダ
35,36 移動機構
39 第二ボトルネック部
40 チャンバ
42 第一開口部
43 フランジ
45 第二開口部
48 第四電磁コイル(プラズマ流動手段)
50 陽極室
51 陽極
52 永久磁石
100 シートプラズマ成膜装置
G1 第一中間電極
G2 第二中間電極
P 輸送中心
S 主面
V1 主直流電源
V2,V3 直流電源
Claims (6)
- 内部を減圧可能な減圧容器と、
前記減圧容器の内部にプラズマを発生させるプラズマガンと、
前記減圧容器の内部において前記プラズマを受ける陽極と、
前記プラズマガンで発生したプラズマを円柱状に成形し前記陽極の側へ流動させるプラズマ流動手段と、
前記減圧容器の一部を成し前記円柱状のプラズマが流動するように形成されたシートプラズマ変形室と、
前記シートプラズマ変形室の外側に前記流動するプラズマを挟んで同極同士が対向するように設けられ、前記シートプラズマ変形室の内部において前記円柱状のプラズマをシート状のプラズマに変形する一対の永久磁石と、
前記減圧容器の一部を成すように形成され、その内部に、基板を保持する基板ホルダとターゲットとが前記変形されたシート状のプラズマをその厚み方向に挟むように配置された成膜室と、
前記減圧容器の一部を成すように形成され、一方の端部が前記陽極で閉鎖された陽極室と、を備え、
前記減圧容器は、前記成膜室の第一開口部と、該第一開口部と接合する第一フランジとから構成され、シートプラズマ変形室と該成膜室とを連結する第一ボトルネック部、および前記成膜室の第二開口部と、該第二開口部と接合する第ニフランジとから構成され、前記陽極室と該成膜室とを連結する第二ボトルネック部をさらに有し、前記シート状のプラズマが前記シートプラズマ変形室から該第一のボトルネック部を通って前記成膜室に流入し、かつ該流入したシート状のプラズマが該第二のボトルネック部を通って前記陽極へ流出するように形成され、
前記シート状のプラズマの厚み方向において前記第一、第二のボトルネック部と前記シート状のプラズマの可視部との間に隙間が形成され、かつ、前記第一、第二のボトルネック部の内部空間の幅が前記シート状プラズマの幅よりも大きい、シートプラズマ成膜装置。 - 前記第一のボトルネック部は、前記変形されたシート状のプラズマがその断面形状を維持したまま通過可能な断面形状を有するように形成されている、請求項1に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記シート状のプラズマの厚み方向において、前記シート状のプラズマの前記流動による輸送中心と前記ターゲット及び前記基板の少なくともいずれかの表面との距離が、前記シート状のプラズマの輸送中心と前記第一のボトルネック部の内壁との距離及び前記シート状のプラズマの輸送中心と前記第二のボトルネック部の内壁との距離よりも大きい、請求項1に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記シート状のプラズマの前記輸送中心と前記ターゲット及び前記基板の少なくともいずれかの表面との距離が10mm以上でかつ200mm以下である、請求項3に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記シート状のプラズマの厚み方向において、前記第一のボトルネック部の内寸が、前記シート状のプラズマの前記輸送中心と前記ターゲット表面及び前記基板表面との距離の和よりも小さく、かつ10mm以上100mm以下である、請求項1に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記ターゲット及び前記基板の少なくともいずれかを、前記シート状のプラズマの厚み方向に移動させる移動機構を有する、請求項1に記載のシートプラズマ成膜装置。
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