JP5069550B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る塗布装置1の構成を示した上面図である。また、図2は、塗布装置1を図1のII−II線で切断した縦断面図である。これらの各図には、装置内における各部の位置関係や動作方向を明確化するために、共通のXYZ直交座標系が付されている。
<2−1.吐出開始時の動作>
続いて、上記の塗布装置1において、有機EL液の吐出を開始するときの動作について、図5のフローチャートおよび図6のグラフを参照しつつ説明する。図6のグラフにおいて、□印付きの折れ線は、有機EL液供給源85から有機EL液用配管83を介して主配管81へ供給される有機EL液の流量を示し、○印付きの折れ線は、主溶媒供給源86から主溶媒供給用配管84を介して主配管81へ供給される主溶媒の流量を示している。なお、以下に説明する動作は、塗布装置1の起動後などのように有機EL液の吐出を開始させるときに、ノズル部30の各ノズル31を待機ポッド50の各開口部51に収納した状態でノズル31毎に実行される動作である。また、以下の吐出開始動作において、マスフローコントローラ83a,84aおよび開閉弁83b,84bは、上記の制御部70からの指令に従って動作する。
続いて、上記の塗布装置1において、基板9の上面に有機EL液を塗布するときの動作について、図7のフローチャートを参照しつつ説明する。なお、以下に説明する塗布処理が開始される時点においては、上記の2−1.において説明した有機EL液の吐出開始動作は既に完了しており、待機ポッド50内において、ノズル部30の各ノズル31から有機EL液が液柱状に良好に吐出されている。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記の例では、塗布装置1のノズル部30に3本のノズル31が搭載されていたが、ノズル部30に搭載されるノズルの数は、1本や2本であってもよく、4本以上であってもよい。また、上記の塗布装置1は、赤色用、緑色用、および青色用の有機EL液を吐出するために3本のノズル31を備えていたが、本発明の塗布装置は、複数のノズル31から単色の有機EL液を吐出するものであってもよい。
9 基板
20 ステージ移動機構
30 ノズル部
31 ノズル
31b 吐出孔
40 ノズル移動機構
50 待機ポッド
51 開口部
60 回収トレイ
70 制御部
80 送液系
81 主配管
82 混合部
83 有機EL液供給用配管
83a マスフローコントローラ
83b 開閉弁
84 主溶媒供給用配管
84a マスフローコントローラ
84b 開閉弁
85 有機EL液供給源
86 主溶媒供給源
L 液柱
Claims (6)
- 基板の表面に被塗布物質と所定の有機溶媒とを含む塗布液を塗布する塗布装置において、
基板の表面に向けて前記塗布液を吐出するノズルと、
前記ノズルに接続された配管部と、
前記配管部に前記塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記配管部に前記有機溶媒を供給する溶媒供給手段と、
前記塗布液供給手段と前記溶媒供給手段とを制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記塗布液供給手段からの前記塗布液の供給を停止させた状態で前記溶媒供給手段からの前記有機溶媒の供給を行う溶媒供給動作と、
前記溶媒供給動作の後、前記溶媒供給手段からの前記有機溶媒の供給量を徐々に低下させるとともに前記塗布液供給手段からの前記塗布液の供給量を徐々に増加させる置換動作と、
前記置換動作の後、前記溶媒供給手段からの前記有機溶媒の供給を停止させた状態で、前記塗布液供給手段からの前記塗布液の供給を行う塗布液供給動作とを、
実行させることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記制御手段は、
前記置換動作において、前記溶媒供給手段からの前記有機溶媒の供給量と、前記塗布液供給手段からの前記塗布液の供給量とがほぼ等しくなった時点で、前記有機溶媒供給手段からの前記有機溶媒の供給を停止させることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1または請求項2に記載の塗布装置において、
前記塗布液供給手段は、塗布液用配管と前記塗布液用配管上に設けられた塗布液用マスフローコントローラとを有し、
前記溶媒供給手段は、溶媒用配管と前記溶媒用配管上に設けられた溶媒用マスフローコントローラとを有し、
前記制御手段は、前記塗布液用マスフローコントローラおよび前記溶媒用マスフローコントローラを制御することにより、前記置換動作を実行させることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれかに記載の塗布装置において、
前記塗布液は、前記被塗布物質として有機EL材料を含むことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれかに記載の塗布装置において、
前記ノズルは、70μm以下の径を有する吐出孔を介して前記塗布液を吐出することを特徴とする塗布装置。 - 基板の表面に被塗布物質と所定の有機溶媒とを含む塗布液を塗布する塗布装置において、
基板の表面に向けて前記塗布液を吐出するノズルと、
前記ノズルに接続された配管部と、
前記配管部に前記塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記配管部に前記有機溶媒を供給する溶媒供給手段と、
前記塗布液供給手段と前記溶媒供給手段とを制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記塗布液供給手段からの少量の前記塗布液の供給と、前記溶媒供給手段からの前記有機溶媒の供給とを行う混合液供給動作と、
前記混合液供給動作の後、前記溶媒供給手段からの前記有機溶媒の供給量を徐々に低下させるとともに前記塗布液供給手段からの前記塗布液の供給量を徐々に増加させる置換動作と、
前記置換動作の後、前記溶媒供給手段からの前記有機溶媒の供給を停止させた状態で、前記塗布液供給手段からの前記塗布液の供給を行う塗布液供給動作とを、
実行させることを特徴とする塗布装置。
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