JP5068494B2 - リニアモータ及びステージ装置 - Google Patents
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Description
複数のコイルが保持されたコイル部と、
前記コイル部に対向するように永久磁石を保持する一対の磁性板と該一対の磁性板の端部を連結する連結部とからなるマグネットヨーク部と、を有し、前記一対の磁性板が前記コイル部の両側面に対向するように平行に配置されており、
前記コイル部に対して前記マグネットヨーク部を移動させるムービングマグネット方式のリニアモータにおいて、
前記磁性板よりも高い強度を有し、且つ軽い材質により形成された高強度部材を前記磁性板の外面に固着してなり、
前記高強度部材の接合面または前記磁性板の接合面に、前記高強度部材と前記磁性板との熱膨張係数の差による応力を分散させるための溝が所定間隔毎に設けられ、
前記高強度部材は、外面に上下方向に延在する一対のリブを有することを特徴とすることにより、上記課題を解決する。
また、本発明によれば、高強度部材の接合面または磁性板の接合面に、高強度部材と磁性板との熱膨張係数の差による応力を分散させるための溝が所定間隔毎に設けられるため、熱膨張係数の差による割れを防止することができる。
16 可動部
18 スライダ
20 リニアモータ
30 ガイド部
60 コイル部
62 マグネットヨーク部
68 永久磁石
70 磁性板
72 凹部
74 リブ
80,110,120,130 セラミックス板
84 溝
86 隙間
90 下部連結部
100 上部連結部
132 リブ
Claims (6)
- 複数のコイルが保持されたコイル部と、
前記コイル部に対向するように永久磁石を保持する一対の磁性板と該一対の磁性板の端部を連結する連結部とからなるマグネットヨーク部と、を有し、前記一対の磁性板が前記コイル部の両側面に対向するように平行に配置されており、
前記コイル部に対して前記マグネットヨーク部を移動させるムービングマグネット方式のリニアモータにおいて、
前記磁性板よりも高い強度を有し、且つ軽い材質により形成された高強度部材を前記磁性板の外面に固着してなり、
前記高強度部材の接合面または前記磁性板の接合面に、前記高強度部材と前記磁性板との熱膨張係数の差による応力を分散させるための溝が所定間隔毎に設けられ、
前記高強度部材は、外面に上下方向に延在する一対のリブを有することを特徴とするリニアモータ。 - 前記高強度部材は、セラミックスにより形成されていることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。
- 前記高強度部材は、前記磁性板の外面に形成された凹部に嵌合されることを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。
- 前記高強度部材は、前記磁性板を部分的に補強するように前記磁性板の外面の複数箇所に固着されることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のリニアモータ。
- 前記磁性板及び連結部は、線膨張係数が前記セラミックスの線膨張係数とほぼ同じ材質からなる磁性材により形成されることを特徴とする請求項2に記載のリニアモータ。
- 請求項1乃至5の何れかに記載のリニアモータをステージの駆動手段に用いたことを特徴とするステージ装置。
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