JP4706119B2 - キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内で使用される半導体製造装置のリニアステージ等を高精度・微細送りで駆動するリニアモータの電機子に関するもので、特にそのキャン板構造に特徴を有するキャンド・リニアモータ電機子およびそのキャンド・リニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置に用いられると共に、低温度上昇と一定速送り精度が要求されるキャンド・リニアモータとしては、例えば、特開２０００−４５７２号公報に開示されているようなガラス布をエポキシ樹脂で固めて構成したキャン板構造を有するリニアモータが知られている。
図５はその従来技術を示すキャンド・リニアモータの電機子の正断面図である。
図５において、５１は可動子、５２はヨーク、５３は永久磁石、５４は固定子、５５はキャン板、５６は多相の電機子巻線、５７は冷媒通路、５８は固定ネジ、５９は固定ベースである。このキャンド・リニアモータは、固定子５４側に電機子巻線５６を配設し、可動子５１側にヨーク５２および永久磁石５３を配したいわゆる可動磁石型のロングストロークタイプのものである。固定子５４側には、第１および第２のキャン板５５，５５が固定ネジ５８で互いに結合された状態で固定ベース５９に固定配設されている。キャン板５５，５５は、合成樹脂をシート状の部材に含浸させて積層し押圧して形成された積層材によって形成された板状部材である。積層材としてエポキシ樹脂を含浸させたガラス布を積層させてプレス成形した積層材を用いている。この積層材は、まず紙や太糸布、細糸布、ガラス布などのシート状部材にフェノール樹脂やエポキシ樹脂、シリコン、メラミン樹脂、ポリエステル等の合成樹脂を含浸させる。そして、このシート状部材を多数重ねて積層し、これを多段積層プレス機等により押圧し板状にして形成される。キャン板５５，５５の対向面（内面側）に設けられた巻線収容溝に電機子巻線５６が設けられ、また、冷媒を流通させるための冷媒通路５７が設けられて、電機子巻線５６の周囲にまんべんなく冷媒がまわり、電機子巻線５６から発生した熱を効率よく吸収するようにしている。
一方、可動子５１の形状は、想像線で示すように、固定子５４の電機子部を挟み込むようにして凹字形を成している。可動子５１は、固定子５４のキャン板５５、５５の両外側に磁気的空隙を介して配置された永久磁石５３，５３と、永久磁石５３，５３の作る磁束を通すための磁性体で作られた界磁ヨーク５２により構成されている。また、永久磁石５３は、可動子５１の移動方向（紙面と垂直方向）に沿って極ピッチごとに交互に極性が異なるように複数配置されている。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、可動子５１と固定子５４の電気的相対位置に応じた所定の電流を電機子巻線５６に流すことにより、可動子５１となる永久磁石５３の作る磁界と作用して可動子５１に推力が発生する。この際、銅損によって発熱した電機子巻線５６を冷媒により冷却し、固定子５４の表面の温度上昇を低く抑えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した従来技術のリニアモータでは、図６に示すように樹脂より成るキャン板５５の表面が滑らかでなくて細かな凹部があるため、その凹部に直接もしくは溜まった水分を介して０．１μｍ程度のパーティクルが付着したりすることがあることが判った。
そのため、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動として用いるとき、キャン板表面が露光用光源からのＵＶ（紫外線）により曝露されると、付着力が弱まりキャン板表面からパーティクルが離散し、クリーン度の低下を招くことも判明した。
また、キャン板表面が光源に曝露されると、図７に示す樹脂を組成するＣとＨ、および気中のＯ2がＵＶにより励起されＣＨ4、Ｃ2Ｈ6、ＣＯ2もしくはＨ2Ｏ等となり気中に拡散し、ケミカルクリーン度の低下を招く。ケミカルクリーン度が低下、すなわちＣＨ4、Ｃ2Ｈ6、ＣＯ2もしくはＨ2Ｏ等が存在すると、シリコンウエハにこれらＣＨ4等が付着し、シリコンチップの製造歩留まりが悪化していた。
以上のように、上述した従来のリニアモータでは露光用光源のＵＶにより曝露されると、キャン板表面から発塵および発ガスが生じるという問題があった。
また、キャン板内に流す冷媒の種類によっては、樹脂中に冷媒が浸透・拡散しキャン板表面から冷媒がにじみ出ることがあった。更に、樹脂が冷媒によって次第に侵食され、長期間の使用では最悪の場合、樹脂に穴があき、液漏れを起こすことも起こり得た。
更に、リニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触すると樹脂が傷つき、樹脂表面に一層の凹凸ができるため、樹脂の露出表面積が増え、前記発塵および発ガスが増加するという問題があった。
本発明は、これらの問題に鑑みてなされたものであり、露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスが少なく、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されて液漏れすることがなく、更にリニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触して樹脂が傷つき露光表面積が増えることによる発塵および発ガス発生の抑制が可能なキャン板構造を持つキャンド・モータ電機子およびキャンド・リニアモータを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項１記載のキャンド・リニアモータ電機子の発明は、芯金と、前記芯金の長手方向に沿って固定される電機子巻線と、前記芯金を額縁状に囲むように設けた梁と、前記梁の両開口部を密封するキャン板と、前記電機子巻線の周囲に冷媒を流すことができるように前記梁と前記キャン板とで構成される密閉空間内に形成される冷媒通路とを具備してなるキャンド・リニアモータ電機子において、前記キャン板を樹脂板材で構成し、かつ前記樹脂板材の少なくとも外面または内面にコーティングカバーを備えたことを特徴とする。
請求項１記載の構成により、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面はコーティングカバーにより覆われることになるので、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、発塵・発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。
請求項２記載の発明は、請求項１記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記コーティングカバーが金属の膜、箔または板であることを特徴とする。
請求項２記載の構成により、前記コーティングカバーを金属の膜、箔または板で構成するため、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面は金属の膜、箔または板により覆われることになり、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、ケミカルクリーンの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食され液漏れを低減することができると共に、機械的衝撃に対しても強固にすることができる。
そのため、リニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触することにより生じるキャン板表面の凸凹が生じることによる露出面積の増加を押えることができ、発塵または発ガスの増加を抑制できる。
【０００５】
請求項３記載の発明は、請求項２記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記金属の膜をメッキにより構成したことを特徴とする。
請求項３記載の構成により、請求項２記載のコーティングカバーとして金属のメッキ膜を用いるため、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面は機械的衝撃に対しても強固なメッキにより覆われることになり、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができると共に、ステンレスはヤング率が高く皺になり難いために接着作業が容易に行え、大掛かりな設備が不要であるので、少量の台数を安価に製作することができる。
請求項４記載の発明は、請求項２記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記金属の箔または板をステンレスで構成したことを特徴とする。
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記ステンレスの箔または板を前記キャン板に接着により取り付けたことを特徴とする。
請求項４および５記載の構成により、請求項２記載のコーティングカバーとしてステンレスよりなる箔または板を用い、これをキャン板に接着するため、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面は機械的衝撃に対しても強固なステンレスにより覆われることになり、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができると共に、ステンレスはヤング率が高く皺になり難いために接着作業が容易に行え、大掛かりな設備が不要であるので、少量の台数を安価に製作することができる。
請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記樹脂板材をガラス繊維又はカーボン繊維を充填した樹脂で構成したことを特徴とする。
請求項６記載の構成により、冷媒の圧力による可動子に対向する空隙へのキャン板変形を抑えることができるのでキャン板の弾性疲労がなくなり液漏れを低減することができると共に、、冷媒流量の増加が図れ、温度上昇を低減することができる。
【０００６】
請求項７記載のキャンド・リニアモータの発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載の電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークとを備え、前記前記電機子と前記界磁ヨークの何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたことを特徴とする。
請求項７記載の構成により、前記請求項１から４記載のキャン板構造の電機子は、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面はコーティングカバーにより覆われることになり、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。さらに、このようなキャンド・リニアモータにおいて、電機子巻線を有する電気装苛手段を固定子とし、永久磁石により構成される磁気装荷手段を移動子とすると、該固定子を覆うキャン板は直接気中に露出するために、発塵・発ガスの問題を低減する効果は一層大きい。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施例を図１〜図３を用いて説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示すキャンド・リニアモータ（磁束貫通形）の全体斜視図である。図において、１０は固定子、１１は固定子ベース、１２はキャン板、１３はヘッダ、１４は冷媒供給口、１５は冷媒排出口、２０は可動子、２１は可動子ベース、２２は界磁ヨーク、２３は永久磁石である。
固定子１０は、２枚のキャン板１２と、この２枚のキャン板１２を上部と下部とで互いに結合する梁１９と、２枚のキャン板１２と梁１９とから成る空間を長さ方向の先端と後端で密封しているヘッダ１３と、このキャン板１２と梁１９とヘッダ１３とから成る閉じた空間内に配置される芯金１６と、芯金１６の長手方向に沿って固定される３相の電機子巻線１７と、キャン板１２の中を冷媒が通過する冷媒通路１８とにより構成されている。
ヘッダ１３はステンレス製鋳物で形成され、キャン板１２の両端のうち、一方端に冷媒を通すための冷媒供給口１４を持ち、他端に冷媒排出口１５を各々持っている。キャン板１２および梁１９とヘッダ１３とは接合面で溶接によって接合されている。また、冷媒を冷媒供給口１４より供給して、冷媒排出口１５より排出することにより、冷媒は電機子巻線１７とキャン板１２の間にある冷媒通路１８を流れる。
一方、可動子２０の形状は、固定子１０の電機子部を挟み込むようにして逆凹字形を成している。可動子２０は、固定子１０のキャン板１２の両側に磁気的空隙を介して配置された永久磁石２３、永久磁石２３の作る磁束を通すための磁性体で作られた界磁ヨーク２２、それらを支持する可動子ベース２１により構成されている。また、永久磁石２３は、可動子の移動方向（図の矢印方向）に沿って、極ピッチごとに交互に極性が異なるように複数配置されている。
可動子２０は、図示しないリニアガイド等によって固定子１０に対して支持されている。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、可動子２０と固定子１０の電気的相対位置に応じた所定の電流を電機子巻線１７に流すことにより、可動子２０となる永久磁石２３の作る磁界と作用して可動子２０に推力が発生し、可動子２０は矢印で示す進行方向に移動する。その際、銅損によって発熱した電機子巻線１７を冷媒により冷却することによって、固定子１０の表面の温度上昇を低く抑えている。
【０００８】
図２は図１のＡ−Ａ線に沿うキャンド・リニアモータの正断面図である。
図２において、１０は固定子、１２はキャン板、１６は芯金、１７は電機子巻線、１８は冷媒通路、１９は梁である。
キャン板１２は、基材として樹脂板材１２２を用い、樹脂板材１２２としてはガラス布をエポキシ樹脂で固めた板状のＧＦＲＰ、もしくは、カーボン繊維をエポキシ樹脂で固めた板状のＣＦＲＰを用いることができる。これらは流通性が良く比較的安価に入手できるものである。
芯金１６はそれ自身の強度を要求されるため、ステンレスが使われている。
電機子巻線１７は、例えば複数の集中巻コイルを３相分用意したもので構成され、芯金１６の左右両側に貼り付けられている。
梁１９は固定子１０のたわみに対する強度材となっており、本実施例の場合には、ステンレス材の機械加工、もしくはアルミ材の機械加工もしくはダイカスト成形により構成でき、本実施例では、アルミ材の機械加工により構成した。
このように、芯金１６には長手方向に沿って両面を挟むように電機子巻線１７が貼り付けられ、芯金１６は上下の梁１９間に固定されている。また、梁１９には、電機子巻線１７の表面と所望の隙間を保ちながらこれらの電機子巻線１７を覆うようにキャン板１２を取りつけている。そして、電機子巻線１７とキャン板１２の隙間には、電機子巻線１７を冷却するための冷媒が流れるようになっており、そのため梁１９とキャン板１２とは図示していないＯリング等を用いて密閉するように固定した。冷媒は、近年オゾン層破壊の問題から、フロリナートに代わりＨＦＥ−７２００等が用いられるようになってきており、樹脂の溶解性は無視できない。本発明の実施例では、冷媒にＨＦＥ−７２００を用いた。
そして、１２１が本発明により設けられるコーティングカバー（後述）で、キャン板１２の基材である樹脂板材１２２を覆って、樹脂板材１２２の表面から塵やガスの離反を低減している。
【０００９】
図３は図２のキャン板１２の構成を説明する拡大正断面図である。
図３において、１０は固定子、１２はキャン板、１２１は本発明により設けられたコーティングカバー、１２２はキャン板材（樹脂板材）、１９は梁である。
図３に示すように、キャン板１２は、永久磁石３（図２）と対向する樹脂板材１２２の外面および電機子巻線１７（図２）と対向する内面に、樹脂板材１２２を覆うコーティングカバー１２１を設けるように構成した。
以上のようなキャン板の構造によれば、キャン板材１２を構成する樹脂板材１２２の少なくとも外面または内面にコーティングカバー１２１を備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用光源のＵＶに曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、ケミカルクリーンの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。
表１に、コーティングカバーの有無によるパーティクル数を表面にＵＶを照射してカウントした結果を示す。
【００１０】
【表１】
本実施例では樹脂板材に板状のＣＦＲＰを用い、コーティングカバー１２１は下記の第２の実施例に示すニッケルメッキにより構成した。
表１に示すように、コーティングカバーなしの場合だとパーティクルの発生がクラス１５であったものが、コーティングカバー１２１を設けるとクラス３と激減した。このように、コーティングカバー１２１を付けることにより、樹脂板材５５の表面の凹凸が少なくなるのでその凹部に直接もしくは水分を介してパーティクルが樹脂板材５５の表面に付きにくくなるため、発塵は激減した。すなわち、コーティングカバーがあるリニアモータは、光源に曝露されても殆ど発塵しないことが確認できた。
また、本発明のようにコーティングカバーを用いると、仮に冷媒によって樹脂が侵食され、樹脂に穴が開いてもコーティングカバーで防止できる。
更に樹脂の侵食は、樹脂とコーティングカバーの間を毛細管現象を伴って徐々に進行するため、急激かつ突然の大量の液漏れは防止できる。
【００１１】
次に、本発明のコーティングカバーの具体例について説明する。
図４は、コーティングカバーの具体例を表すキャン板の拡大正断面図で、図４（Ａ）はコーティングカバーの一具体例、図４（Ｂ）は別の具体例を示している。
まず、図４（Ａ）において、１０は固定子、１２はキャン板、１２１ａは本実施例による金属の膜、１２２はキャン板材（樹脂板材）、１９は梁である。キャン板材１２２および梁１９は図３で示したものと同じであり、キャン板１２１は図示していないＯリング等を用いて密閉するよう固定した。図３で示した樹脂板材１２２の外面および内面のコーティングカバー１２１として、金属の膜１２１ａが形成されている。そして、この金属の膜１２１ａはメッキにより設ける構成としている。本実施例ではニッケルメッキで行ったが、その他、亜鉛メッキ、銅メッキまたはアルミメッキにより行っても良く、その厚さは３〜２０μｍ程度が良い。
以上のキャン板構造によれば、キャン板材１２を構成する樹脂板材１２２の少なくとも外面または内面にメッキで構成された金属の膜１２１ａによるコーティングカバーを備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用光源のＵＶに曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができると共に、樹脂より成るキャン板をメッキにより構成した金属で覆うために機械的衝撃に対しても強固にすることができる。そのため、リニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触することにより生じるキャン板表面の凸凹が生じることによる露出面積の増加を押えることができ、発塵または発ガスの増加を抑制できる。また、コーティングカバーをメッキにより構成するため、コーティングカバーを樹脂板材の表面に設ける作業が大幅に簡素化でき、大量の台数を安価に製作することができる。
【００１２】
次に、図４（Ｂ）について説明する。
図４（Ｂ）において、１０は固定子、１２はキャン板、１２１ｂは本実施例による金属の箔、１２２はキャン板材（樹脂板材）、１９は梁である。
キャン板材１２２および梁１９は図３で示したものと同じであり、キャン板１２１は図示していないＯリング等を用いて密閉するよう固定した。図３で示した樹脂板材１２２の外面および内面のコーティングカバー１２１として、金属の箔１２１ｂが形成されている。本実施例では金属の箔１２１ｂを、厚さ５〜２０μｍ程度のステンレスにより構成し、これを接着によってキャン板材１２２に貼り付けた。
以上のキャン板構造によれば、キャン板材１２を構成する樹脂板材１２２の少なくとも外面または内面に機械的衝撃に対しても強固なステンレスよりなるコーティングカバー１２１ｂを備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用光源のＵＶに曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、ケミカルクリーンの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れ低減することができると共に、ステンレスよりなる箔は、ヤング率が高く皺になり難いため、金属箔としてステンレスを用いることは接着作業が容易に行え、少量の台数を製作する際は大掛かりな設備が不要という利点を有する。
なお、本実施例ではコーティングカバーとして金属の箔を用いているが、他に金属の板でもかまわない。
金属の箔を用いたコーティングカバーの有無によるパーティクル数を表面にＵＶを照射して、カウントした結果、表１と同じような結果が得られた。すなわち、コーティングカバーなしの場合だとパーティクルの発生がクラス１５であったものが、金属の箔を用いたコーティングカバー１２１を設けるとクラス３にまで激減した。
なお、以上の実施例では、固定子に電機子巻線、可動子に界磁とした永久磁石を持つ構造で説明したが、可動子に電機子巻線を、固定子に永久磁石を持つ逆の構造としても良い。
【００１３】
【発明の効果】
以上説明した本発明の実施例におけるキャン板構造のキャンド・リニアモータ電機子により、以下のような効果がある。
▲１▼ コーティングカバーを備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができる。
▲２▼ また、コーティングカバーを備えたことにより、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。
▲３▼ コーティングカバーを金属の膜・箔・板で構成するため、上記▲１▼、▲２▼の他に、機械的衝撃に対しても強固にすることができる。そのため、リニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触することにより生じるキャン板表面の凸凹が生じることによる露出面積の増加を押えることができ、発塵または発ガスの増加を抑制できる。
▲４▼ 金属の膜・箔・板よりなるコーティングカバーをメッキにより構成するため、上記▲１▼、▲２▼、▲３▼の他に、大量の台数を安価に製作することができる。
▲５▼ コーティングカバーとしてステンレスの箔・板を樹脂板材に接着しているため、ステンレスはヤング率が高く皺になり難いことから、接着作業が容易に行え、大掛かりな設備が不要であるので、少量の台数を安価に製作することができる。
▲６▼ キャンド・リニアモータにおいて、電機子巻線を有する電気装苛手段を固定子とし、永久磁石により構成される磁気装荷手段を移動子とすると、固定子を覆うキャン板は直接気中に露出するために、ケミカルクリーンの問題を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿うキャンド・リニアモータの正断面図である。
【図３】図２のキャン板１２の構成を説明する拡大正断面図である。
【図４】本発明のコーティングカバーの具体的実施例を表すキャン板の拡大正断面図で、（Ａ）はコーティングカバーの一具体例、（Ｂ）は別の具体例を示している。
【図５】従来のキャン板の構成を示す構成説明図である。
【図６】樹脂表面と発塵の説明図である。
【図７】樹脂組成と発ガスの説明図である。
【符号の説明】
１０ 固定子
１１ 固定子ベース
１２ キャン板
１２１ コーティングカバー
１２１ａ 金属膜
１２１ｂ 金属箔
１２２ キャン板材（樹脂板材）
１３ ヘッダ
１４ 冷媒供給口
１５ 冷媒排出口
１６ 芯金
１７ 電機子巻線
１８ 冷媒通路
１９ 梁
２０ 可動子
２１ 可動子ベース
２２ 界磁ヨーク
２３ 永久磁石
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム内で使用される半導体製造装置のリニアステージ等を高精度・微細送りで駆動するリニアモータの電機子に関するもので、特にそのキャン板構造に特徴を有するキャンド・リニアモータ電機子およびそのキャンド・リニアモータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置に用いられると共に、低温度上昇と一定速送り精度が要求されるキャンド・リニアモータとしては、例えば、特開２０００−４５７２号公報に開示されているようなガラス布をエポキシ樹脂で固めて構成したキャン板構造を有するリニアモータが知られている。
図５はその従来技術を示すキャンド・リニアモータの電機子の正断面図である。
図５において、５１は可動子、５２はヨーク、５３は永久磁石、５４は固定子、５５はキャン板、５６は多相の電機子巻線、５７は冷媒通路、５８は固定ネジ、５９は固定ベースである。このキャンド・リニアモータは、固定子５４側に電機子巻線５６を配設し、可動子５１側にヨーク５２および永久磁石５３を配したいわゆる可動磁石型のロングストロークタイプのものである。固定子５４側には、第１および第２のキャン板５５，５５が固定ネジ５８で互いに結合された状態で固定ベース５９に固定配設されている。キャン板５５，５５は、合成樹脂をシート状の部材に含浸させて積層し押圧して形成された積層材によって形成された板状部材である。積層材としてエポキシ樹脂を含浸させたガラス布を積層させてプレス成形した積層材を用いている。この積層材は、まず紙や太糸布、細糸布、ガラス布などのシート状部材にフェノール樹脂やエポキシ樹脂、シリコン、メラミン樹脂、ポリエステル等の合成樹脂を含浸させる。そして、このシート状部材を多数重ねて積層し、これを多段積層プレス機等により押圧し板状にして形成される。キャン板５５，５５の対向面（内面側）に設けられた巻線収容溝に電機子巻線５６が設けられ、また、冷媒を流通させるための冷媒通路５７が設けられて、電機子巻線５６の周囲にまんべんなく冷媒がまわり、電機子巻線５６から発生した熱を効率よく吸収するようにしている。
一方、可動子５１の形状は、想像線で示すように、固定子５４の電機子部を挟み込むようにして凹字形を成している。可動子５１は、固定子５４のキャン板５５、５５の両外側に磁気的空隙を介して配置された永久磁石５３，５３と、永久磁石５３，５３の作る磁束を通すための磁性体で作られた界磁ヨーク５２により構成されている。また、永久磁石５３は、可動子５１の移動方向（紙面と垂直方向）に沿って極ピッチごとに交互に極性が異なるように複数配置されている。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、可動子５１と固定子５４の電気的相対位置に応じた所定の電流を電機子巻線５６に流すことにより、可動子５１となる永久磁石５３の作る磁界と作用して可動子５１に推力が発生する。この際、銅損によって発熱した電機子巻線５６を冷媒により冷却し、固定子５４の表面の温度上昇を低く抑えている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した従来技術のリニアモータでは、図６に示すように樹脂より成るキャン板５５の表面が滑らかでなくて細かな凹部があるため、その凹部に直接もしくは溜まった水分を介して０．１μｍ程度のパーティクルが付着したりすることがあることが判った。
そのため、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動として用いるとき、キャン板表面が露光用光源からのＵＶ（紫外線）により曝露されると、付着力が弱まりキャン板表面からパーティクルが離散し、クリーン度の低下を招くことも判明した。
また、キャン板表面が光源に曝露されると、図７に示す樹脂を組成するＣとＨ、および気中のＯ2がＵＶにより励起されＣＨ4、Ｃ2Ｈ6、ＣＯ2もしくはＨ2Ｏ等となり気中に拡散し、ケミカルクリーン度の低下を招く。ケミカルクリーン度が低下、すなわちＣＨ4、Ｃ2Ｈ6、ＣＯ2もしくはＨ2Ｏ等が存在すると、シリコンウエハにこれらＣＨ4等が付着し、シリコンチップの製造歩留まりが悪化していた。
以上のように、上述した従来のリニアモータでは露光用光源のＵＶにより曝露されると、キャン板表面から発塵および発ガスが生じるという問題があった。
また、キャン板内に流す冷媒の種類によっては、樹脂中に冷媒が浸透・拡散しキャン板表面から冷媒がにじみ出ることがあった。更に、樹脂が冷媒によって次第に侵食され、長期間の使用では最悪の場合、樹脂に穴があき、液漏れを起こすことも起こり得た。
更に、リニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触すると樹脂が傷つき、樹脂表面に一層の凹凸ができるため、樹脂の露出表面積が増え、前記発塵および発ガスが増加するという問題があった。
本発明は、これらの問題に鑑みてなされたものであり、露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスが少なく、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されて液漏れすることがなく、更にリニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触して樹脂が傷つき露光表面積が増えることによる発塵および発ガス発生の抑制が可能なキャン板構造を持つキャンド・モータ電機子およびキャンド・リニアモータを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項１記載のキャンド・リニアモータ電機子の発明は、芯金と、前記芯金の長手方向に沿って固定される電機子巻線と、前記芯金を額縁状に囲むように設けた梁と、前記梁の両開口部を密封するキャン板と、前記電機子巻線の周囲に冷媒を流すことができるように前記梁と前記キャン板とで構成される密閉空間内に形成される冷媒通路とを具備してなるキャンド・リニアモータ電機子において、前記キャン板を樹脂板材で構成し、かつ前記樹脂板材の少なくとも外面または内面にコーティングカバーを備えたことを特徴とする。
請求項１記載の構成により、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面はコーティングカバーにより覆われることになるので、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、発塵・発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。
請求項２記載の発明は、請求項１記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記コーティングカバーが金属の膜、箔または板であることを特徴とする。
請求項２記載の構成により、前記コーティングカバーを金属の膜、箔または板で構成するため、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面は金属の膜、箔または板により覆われることになり、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、ケミカルクリーンの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食され液漏れを低減することができると共に、機械的衝撃に対しても強固にすることができる。
そのため、リニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触することにより生じるキャン板表面の凸凹が生じることによる露出面積の増加を押えることができ、発塵または発ガスの増加を抑制できる。
【０００５】
請求項３記載の発明は、請求項２記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記金属の膜をメッキにより構成したことを特徴とする。
請求項３記載の構成により、請求項２記載のコーティングカバーとして金属のメッキ膜を用いるため、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面は機械的衝撃に対しても強固なメッキにより覆われることになり、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができると共に、ステンレスはヤング率が高く皺になり難いために接着作業が容易に行え、大掛かりな設備が不要であるので、少量の台数を安価に製作することができる。
請求項４記載の発明は、請求項２記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記金属の箔または板をステンレスで構成したことを特徴とする。
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記ステンレスの箔または板を前記キャン板に接着により取り付けたことを特徴とする。
請求項４および５記載の構成により、請求項２記載のコーティングカバーとしてステンレスよりなる箔または板を用い、これをキャン板に接着するため、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面は機械的衝撃に対しても強固なステンレスにより覆われることになり、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができると共に、ステンレスはヤング率が高く皺になり難いために接着作業が容易に行え、大掛かりな設備が不要であるので、少量の台数を安価に製作することができる。
請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項記載のキャンド・リニアモータ電機子において、前記樹脂板材をガラス繊維又はカーボン繊維を充填した樹脂で構成したことを特徴とする。
請求項６記載の構成により、冷媒の圧力による可動子に対向する空隙へのキャン板変形を抑えることができるのでキャン板の弾性疲労がなくなり液漏れを低減することができると共に、、冷媒流量の増加が図れ、温度上昇を低減することができる。
【０００６】
請求項７記載のキャンド・リニアモータの発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載の電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークとを備え、前記前記電機子と前記界磁ヨークの何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたことを特徴とする。
請求項７記載の構成により、前記請求項１から４記載のキャン板構造の電機子は、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面または内面はコーティングカバーにより覆われることになり、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。さらに、このようなキャンド・リニアモータにおいて、電機子巻線を有する電気装苛手段を固定子とし、永久磁石により構成される磁気装荷手段を移動子とすると、該固定子を覆うキャン板は直接気中に露出するために、発塵・発ガスの問題を低減する効果は一層大きい。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第１の実施例を図１〜図３を用いて説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示すキャンド・リニアモータ（磁束貫通形）の全体斜視図である。図において、１０は固定子、１１は固定子ベース、１２はキャン板、１３はヘッダ、１４は冷媒供給口、１５は冷媒排出口、２０は可動子、２１は可動子ベース、２２は界磁ヨーク、２３は永久磁石である。
固定子１０は、２枚のキャン板１２と、この２枚のキャン板１２を上部と下部とで互いに結合する梁１９と、２枚のキャン板１２と梁１９とから成る空間を長さ方向の先端と後端で密封しているヘッダ１３と、このキャン板１２と梁１９とヘッダ１３とから成る閉じた空間内に配置される芯金１６と、芯金１６の長手方向に沿って固定される３相の電機子巻線１７と、キャン板１２の中を冷媒が通過する冷媒通路１８とにより構成されている。
ヘッダ１３はステンレス製鋳物で形成され、キャン板１２の両端のうち、一方端に冷媒を通すための冷媒供給口１４を持ち、他端に冷媒排出口１５を各々持っている。キャン板１２および梁１９とヘッダ１３とは接合面で溶接によって接合されている。また、冷媒を冷媒供給口１４より供給して、冷媒排出口１５より排出することにより、冷媒は電機子巻線１７とキャン板１２の間にある冷媒通路１８を流れる。
一方、可動子２０の形状は、固定子１０の電機子部を挟み込むようにして逆凹字形を成している。可動子２０は、固定子１０のキャン板１２の両側に磁気的空隙を介して配置された永久磁石２３、永久磁石２３の作る磁束を通すための磁性体で作られた界磁ヨーク２２、それらを支持する可動子ベース２１により構成されている。また、永久磁石２３は、可動子の移動方向（図の矢印方向）に沿って、極ピッチごとに交互に極性が異なるように複数配置されている。
可動子２０は、図示しないリニアガイド等によって固定子１０に対して支持されている。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、可動子２０と固定子１０の電気的相対位置に応じた所定の電流を電機子巻線１７に流すことにより、可動子２０となる永久磁石２３の作る磁界と作用して可動子２０に推力が発生し、可動子２０は矢印で示す進行方向に移動する。その際、銅損によって発熱した電機子巻線１７を冷媒により冷却することによって、固定子１０の表面の温度上昇を低く抑えている。
【０００８】
図２は図１のＡ−Ａ線に沿うキャンド・リニアモータの正断面図である。
図２において、１０は固定子、１２はキャン板、１６は芯金、１７は電機子巻線、１８は冷媒通路、１９は梁である。
キャン板１２は、基材として樹脂板材１２２を用い、樹脂板材１２２としてはガラス布をエポキシ樹脂で固めた板状のＧＦＲＰ、もしくは、カーボン繊維をエポキシ樹脂で固めた板状のＣＦＲＰを用いることができる。これらは流通性が良く比較的安価に入手できるものである。
芯金１６はそれ自身の強度を要求されるため、ステンレスが使われている。
電機子巻線１７は、例えば複数の集中巻コイルを３相分用意したもので構成され、芯金１６の左右両側に貼り付けられている。
梁１９は固定子１０のたわみに対する強度材となっており、本実施例の場合には、ステンレス材の機械加工、もしくはアルミ材の機械加工もしくはダイカスト成形により構成でき、本実施例では、アルミ材の機械加工により構成した。
このように、芯金１６には長手方向に沿って両面を挟むように電機子巻線１７が貼り付けられ、芯金１６は上下の梁１９間に固定されている。また、梁１９には、電機子巻線１７の表面と所望の隙間を保ちながらこれらの電機子巻線１７を覆うようにキャン板１２を取りつけている。そして、電機子巻線１７とキャン板１２の隙間には、電機子巻線１７を冷却するための冷媒が流れるようになっており、そのため梁１９とキャン板１２とは図示していないＯリング等を用いて密閉するように固定した。冷媒は、近年オゾン層破壊の問題から、フロリナートに代わりＨＦＥ−７２００等が用いられるようになってきており、樹脂の溶解性は無視できない。本発明の実施例では、冷媒にＨＦＥ−７２００を用いた。
そして、１２１が本発明により設けられるコーティングカバー（後述）で、キャン板１２の基材である樹脂板材１２２を覆って、樹脂板材１２２の表面から塵やガスの離反を低減している。
【０００９】
図３は図２のキャン板１２の構成を説明する拡大正断面図である。
図３において、１０は固定子、１２はキャン板、１２１は本発明により設けられたコーティングカバー、１２２はキャン板材（樹脂板材）、１９は梁である。
図３に示すように、キャン板１２は、永久磁石３（図２）と対向する樹脂板材１２２の外面および電機子巻線１７（図２）と対向する内面に、樹脂板材１２２を覆うコーティングカバー１２１を設けるように構成した。
以上のようなキャン板の構造によれば、キャン板材１２を構成する樹脂板材１２２の少なくとも外面または内面にコーティングカバー１２１を備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用光源のＵＶに曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、ケミカルクリーンの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。
表１に、コーティングカバーの有無によるパーティクル数を表面にＵＶを照射してカウントした結果を示す。
【００１０】
【表１】
表１に示すように、コーティングカバーなしの場合だとパーティクルの発生がクラス１５であったものが、コーティングカバー１２１を設けるとクラス３と激減した。このように、コーティングカバー１２１を付けることにより、樹脂板材５５の表面の凹凸が少なくなるのでその凹部に直接もしくは水分を介してパーティクルが樹脂板材５５の表面に付きにくくなるため、発塵は激減した。すなわち、コーティングカバーがあるリニアモータは、光源に曝露されても殆ど発塵しないことが確認できた。
また、本発明のようにコーティングカバーを用いると、仮に冷媒によって樹脂が侵食され、樹脂に穴が開いてもコーティングカバーで防止できる。
更に樹脂の侵食は、樹脂とコーティングカバーの間を毛細管現象を伴って徐々に進行するため、急激かつ突然の大量の液漏れは防止できる。
【００１１】
次に、本発明のコーティングカバーの具体例について説明する。
図４は、コーティングカバーの具体例を表すキャン板の拡大正断面図で、図４（Ａ）はコーティングカバーの一具体例、図４（Ｂ）は別の具体例を示している。
まず、図４（Ａ）において、１０は固定子、１２はキャン板、１２１ａは本実施例による金属の膜、１２２はキャン板材（樹脂板材）、１９は梁である。キャン板材１２２および梁１９は図３で示したものと同じであり、キャン板１２１は図示していないＯリング等を用いて密閉するよう固定した。図３で示した樹脂板材１２２の外面および内面のコーティングカバー１２１として、金属の膜１２１ａが形成されている。そして、この金属の膜１２１ａはメッキにより設ける構成としている。本実施例ではニッケルメッキで行ったが、その他、亜鉛メッキ、銅メッキまたはアルミメッキにより行っても良く、その厚さは３〜２０μｍ程度が良い。
以上のキャン板構造によれば、キャン板材１２を構成する樹脂板材１２２の少なくとも外面または内面にメッキで構成された金属の膜１２１ａによるコーティングカバーを備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用光源のＵＶに曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができると共に、樹脂より成るキャン板をメッキにより構成した金属で覆うために機械的衝撃に対しても強固にすることができる。そのため、リニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触することにより生じるキャン板表面の凸凹が生じることによる露出面積の増加を押えることができ、発塵または発ガスの増加を抑制できる。また、コーティングカバーをメッキにより構成するため、コーティングカバーを樹脂板材の表面に設ける作業が大幅に簡素化でき、大量の台数を安価に製作することができる。
【００１２】
次に、図４（Ｂ）について説明する。
図４（Ｂ）において、１０は固定子、１２はキャン板、１２１ｂは本実施例による金属の箔、１２２はキャン板材（樹脂板材）、１９は梁である。
キャン板材１２２および梁１９は図３で示したものと同じであり、キャン板１２１は図示していないＯリング等を用いて密閉するよう固定した。図３で示した樹脂板材１２２の外面および内面のコーティングカバー１２１として、金属の箔１２１ｂが形成されている。本実施例では金属の箔１２１ｂを、厚さ５〜２０μｍ程度のステンレスにより構成し、これを接着によってキャン板材１２２に貼り付けた。
以上のキャン板構造によれば、キャン板材１２を構成する樹脂板材１２２の少なくとも外面または内面に機械的衝撃に対しても強固なステンレスよりなるコーティングカバー１２１ｂを備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用光源のＵＶに曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、ケミカルクリーンの問題を低減することができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れ低減することができると共に、ステンレスよりなる箔は、ヤング率が高く皺になり難いため、金属箔としてステンレスを用いることは接着作業が容易に行え、少量の台数を製作する際は大掛かりな設備が不要という利点を有する。
なお、本実施例ではコーティングカバーとして金属の箔を用いているが、他に金属の板でもかまわない。
金属の箔を用いたコーティングカバーの有無によるパーティクル数を表面にＵＶを照射して、カウントした結果、表１と同じような結果が得られた。すなわち、コーティングカバーなしの場合だとパーティクルの発生がクラス１５であったものが、金属の箔を用いたコーティングカバー１２１を設けるとクラス３にまで激減した。
なお、以上の実施例では、固定子に電機子巻線、可動子に界磁とした永久磁石を持つ構造で説明したが、可動子に電機子巻線を、固定子に永久磁石を持つ逆の構造としても良い。
【００１３】
【発明の効果】
以上説明した本発明の実施例におけるキャン板構造のキャンド・リニアモータ電機子により、以下のような効果がある。
▲１▼ コーティングカバーを備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低減することができる。
▲２▼ また、コーティングカバーを備えたことにより、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。
▲３▼ コーティングカバーを金属の膜・箔・板で構成するため、上記▲１▼、▲２▼の他に、機械的衝撃に対しても強固にすることができる。そのため、リニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等と接触することにより生じるキャン板表面の凸凹が生じることによる露出面積の増加を押えることができ、発塵または発ガスの増加を抑制できる。
▲４▼ 金属の膜・箔・板よりなるコーティングカバーをメッキにより構成するため、上記▲１▼、▲２▼、▲３▼の他に、大量の台数を安価に製作することができる。
▲５▼ コーティングカバーとしてステンレスの箔・板を樹脂板材に接着しているため、ステンレスはヤング率が高く皺になり難いことから、接着作業が容易に行え、大掛かりな設備が不要であるので、少量の台数を安価に製作することができる。
▲６▼ キャンド・リニアモータにおいて、電機子巻線を有する電気装苛手段を固定子とし、永久磁石により構成される磁気装荷手段を移動子とすると、固定子を覆うキャン板は直接気中に露出するために、ケミカルクリーンの問題を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示すキャンド・リニアモータの全体斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿うキャンド・リニアモータの正断面図である。
【図３】図２のキャン板１２の構成を説明する拡大正断面図である。
【図４】本発明のコーティングカバーの具体的実施例を表すキャン板の拡大正断面図で、（Ａ）はコーティングカバーの一具体例、（Ｂ）は別の具体例を示している。
【図５】従来のキャン板の構成を示す構成説明図である。
【図６】樹脂表面と発塵の説明図である。
【図７】樹脂組成と発ガスの説明図である。
【符号の説明】
１０ 固定子
１１ 固定子ベース
１２ キャン板
１２１ コーティングカバー
１２１ａ 金属膜
１２１ｂ 金属箔
１２２ キャン板材（樹脂板材）
１３ ヘッダ
１４ 冷媒供給口
１５ 冷媒排出口
１６ 芯金
１７ 電機子巻線
１８ 冷媒通路
１９ 梁
２０ 可動子
２１ 可動子ベース
２２ 界磁ヨーク
２３ 永久磁石
Claims (7)
- 芯金と、前記芯金の長手方向に沿って固定される電機子巻線と、前記芯金を額縁状に囲むように設けた梁と、前記梁の両開口部を密封するキャン板と、前記電機子巻線の周囲に冷媒を流すことができるように前記梁と前記キャン板とで構成される密閉空間内に形成される冷媒通路とを具備してなるキャンド・リニアモータ電機子において、
前記キャン板は樹脂板材で構成し、かつ前記樹脂板材の少なくとも外面または内面にコーティングカバーを備えたことを特徴とするキャンド・リニアモータ電機子。 - 前記コーティングカバーが金属の膜、箔または板であることを特徴とする請求項１記載のキャンド・リニアモータ電機子。
- 前記金属の膜をメッキにより構成したことを特徴とする請求項２記載のキャンド・リニアモータ電機子。
- 前記金属の箔または板がステンレスで構成したことを特徴とする請求項２記載のキャンド・リニアモータ電機子。
- 前記ステンレスの箔または板を前記キャン板に接着により取り付けたことを特徴とする請求項４記載のキャンド・リニアモータ電機子。
- 前記樹脂板材がガラス繊維又はカーボン繊維を充填した樹脂で構成したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載のキャンド・リニアモータ電機子。
- 請求項１〜６の何れか１項に記載の電機子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークとを備え、前記前記電機子と前記界磁ヨークの何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたことを特徴とするキャンド・リニアモータ。
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