JP5061492B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造に関する。

クリーンルーム内では雰囲気中の塵の量が管理されており、そのようなクリーンルームで利用され、ワークを直線往復移動させるアクチュエータに対しても低発塵性能が要求されている。
従来から、そのような要求に応えようとした低発塵アクチュエータが知られており、その一例を図１０〜図１５に示す。

図１０〜図１３に示すように、アクチュエータは、座面２０にワーク（図示しない）を取付けて所定の距離を直線往復移動するキャリッジ１０と、そのキャリッジ１０を直線往復移動させる直動装置として、キャリッジ１０の直線移動を案内する直線案内装置５２（例えばリニアガイド装置）やキャリッジ１０を直線移動させる直線駆動装置５１（例えばボールねじ装置やリニアモーター装置）がハウジング３０の内部に備えられている。なお、ハウジング３０は、その直線往復移動するキャリッジ１０や前記直動装置を収容可能な長さに形成されている。また、直線駆動装置５１（但し、リニアモーター以外の場合）は、駆動伝達手段５４（例えば図１０等の場合では、ベルトとプーリーによる駆動伝達、図１２等の場合では、図示しない継手による駆動伝達）によって駆動力を直線駆動装置５１に伝達可能に設置された駆動源５３（例えばモーター）で駆動されている。
さらに、アクチュエータのハウジング３０の一面３１には、キャリッジ１０の移動経路に沿って開口したスリットＳを有し、座面２０を搭載するキャリッジ１０の搭載部１１が、そのスリットＳと隙間を有して貫通してハウジング３０の外面に突出している。
これにより、スリットＳに沿って搭載部１１が直線往復移動可能な構成となる。

そのようなアクチュエータのシール構造としては、スリットＳの一対の対向する端面３２には、そのスリットＳの全長に亘たって、それぞれスリットＳの開口を挟む方向で対向して開口した一対の案内溝３３が備えられ、前記スリットＳの案内溝３３に帯状のシール部材、例えばシールベルト４０が案内されてスリットＳの開口をシールするシール構造が知られている。なお、そのシールベルト４０は、スリットＳの軸方向両端側３４，３４でハウジングＳの内部へ誘導され、ハウジングＳの内部で可動ループを形成（例えば、ハウジング３０の長さ方向両端側にそれぞれ配設されたプーリー４１を介して、ハウジング３０の長さ方向に可動ループを形成）する。

また、図１４及び図１５に示すように、ハウジング３０のスリットＳを貫通してハウジング３０の外面に突出するキャリッジ１０の搭載部１１は、座面２０を取付ける取付部１２と、シールベルト４０を固定する固定面１１２を備えている。取付部１２は、その搭載部１１の軸方向（図１４中両矢印参照）の中央部は段差状に突出して形成され、固定面１１２は、その取付部１２の各軸方向側に、スリットＳの案内溝３３と同一平面で対向して形成されている。
そして、ハウジング３０の内部で可動ループを形成したシールベルト４０は、図１０及び図１２に示すように、ハウジング３０の一面３１の外面側に取り回されるとともに、ハウジング３０の一面３１に設けられたスリットＳの案内溝３３に案内されている。そして、そのシールベルト４０の端部は、前記分割された一対の固定面１１２にそれぞれ固定（例えば、雄ネジ１１３と固定面１１２に設けた雌ネジによって、シールベルト４０を共締めして固定）されている。
このような構成により、シールベルト４０が搭載部１１の直線往復移動に伴なって移動するとともに、スリットＳの案内溝３３に案内されてスリットＳの開口をシールしている。さらに、アクチュエータには図示しない吸引機構が連結され、ハウジング３０の内気を吸引するようにしている（特許文献１及び特許文献２）。

なお、図１０及び図１１にはワークを取付ける座面２０が１つの搭載部１１に搭載されている場合が示されているが、図１２及び図１３に示されるように、ワークを取付ける座面２０が２つの搭載部１１に搭載されている場合であってもアクチュエータの構成は、搭載部１１の配置に合わせてハウジング３０の幅方向の大きさ及びスリットＳの数、シールベルト４０の数及びそのシールベルト４０の可動ループを形成する構成（例えばプーリー４１）の配設等が変更されるものの、直線案内装置５２や直線駆動装置５１等の関係は搭載部１１が１つある例（図１０及び図１１）との構成と同様である。

このようなシール構造では、スリットＳによる開口を略閉塞するとともに、ハウジング３０の内気を吸引することにより、外部への塵埃の排出を抑制できる。
しかしながら、キャリッジ１０の高速化や、より厳しい清浄度に対する要求へ対応のためには、なお改良の余地あった。
図１５に示すように、搭載部１１の移動方向（図中両矢印参照）のスリット両端部と搭載部１１との間の領域（図中Ｆ２の領域、以下Ｆ２領域と称する）では、スリットＳの開口がシールベルト４０で略シールされてハウジング３０の内と外を略隔離できるので低発塵の効果が望める。
しかしながら、キャリッジ１０の搭載部１１の移動方向（図中両矢印参照）と直交する側面１１１とスリットＳとの間の対向領域（図中Ｆ１の領域、以下Ｆ１領域と称する）においては、キャリッジ１０とスリットＳとの隙間Ｇがあり、調査の結果、吸引機構の併用にもかかわらず、なお、この部分を介して塵埃の外部への排出があり、厳しい清浄度等への対応のためには、無視できないことが判明した。

特開２００３−４９９２１号公報 特開２００４−８４８２４号公報

本発明の目的は、ハウジングに設けられたスリットの全領域をシールして、低発塵の効果が高く、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造を提供することである。

上記課題を達成するために、本発明は、座面を搭載する搭載部を有するキャリッジと、そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングと、該ハウジングの内気を吸引する吸引機構とを備え、該ハウジングの一面には、キャリッジの移動経路に沿って開口するスリットが設けられるとともに、該スリットを貫通してキャリッジの搭載部がハウジングの外側に突出し、かつ、吸引機構により内気が吸引されてハウジング内が負圧に保たれた状態で、スリットの開口が、搭載部の移動に伴って移動しつつシールされるシール構造を備えたアクチュエータにおいて、シール構造は、搭載部移動方向におけるスリット両端部と搭載部との間の領域をシールする帯状のシール部材と、搭載部移動方向と直交する方向における搭載部の側面とスリットとの対向領域の隙間をシールする隙間シール部材とを有し、スリットの開口の対向する一対の端面には、スリットの全長に亘たり、それぞれスリットを挟む方向で対向して開口した一対の案内溝が備えられ、帯状のシール部材とともに隙間シール部材が案内溝に案内されることによってスリット開口の全領域をシールし、ハウジングの内と外を隔離しており、案内溝は、溝底側の幅もしくはスリットの端面側の幅のいずれか一方が他方よりも狭められており、シール構造において、隙間シール部材は、帯状のシール部材と別体を成し、搭載部の側面とスリットとの対向領域の隙間をシールするように、搭載部に備えられた鍔状のシール部材として構成されている。

搭載部は、その軸方向中央部が段差状に突出して座面を取付ける取付部を形成し、取付部の各軸方向側にはスリットと対向する固定面が形成され、帯状のシール部材は、スリットの全長を搭載部の移動に伴なってシール可能な長さに連続するとともに、前記取付部が貫通可能な孔部を備え、帯状のシール部材の孔部にキャリッジの取付部を貫通させるとともに、シールベルトを各固定面に固定してなるようにしてもよい。

また、搭載部は、キャリッジと一体に形成される固定部と、キャリッジと別体に形成され、座面を取付ける取付部とで構成され、帯状のシール部材を取付部と固定部とで挟持し固定してもよい。

なお、帯状のシール部材は、固定部の少なくとも一方の固定面に固定される部位で分割されている場合もある。

さらに、帯状のシール部材は、スリットの軸方向両端側でハウジング内部へ誘導され、ハウジング内部で可動ループを形成しているシールベルトであってもよい。

本発明によれば、ハウジングに設けられたスリットの全領域をシールして、低発塵の効果が高く、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造を提供することができるようになった。

以下本発明の実施の一形態を図に基づいて説明する。
本発明は、ハウジング３０に設けられたスリットＳのスリット両端部と搭載部１１との間の領域（以下、この開口領域をＦ２領域ともいう。）、及び搭載部１１の移動方向と直交する側面１１１とスリットＳとの間の対向領域（以下、この開口領域をＦ１領域ともいう。）のスリット開口の全領域（以下、この全開口領域をＦ領域ともいう。）をシールしてハウジング３０の内と外を隔離するものであるが、特に、Ｆ１領域において、スリットＳと搭載部１１との隙間Ｇをシールするシール構造に特徴を有している。その具体的な実施の形態を以下、図１〜図９にて詳細に説明する。

なお、Ｆ１領域におけるシール構造以外の構成は、Ｆ２領域におけるシール構造を含め、前述した従来技術の構造が採用可能であるため、ここでは、本発明特有の構成であるＦ１領域におけるシール構造を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。
また、以下の実施形態では、２本の搭載部１１を備えたアクチュエータの場合を説明するが、本発明によるシール構造は１本の搭載部１１を備えたアクチュエータの場合にも適用可能である。さらに、直線案内装置、直線駆動装置、駆動源等の形式や種類についても以下の実施形態に限定されるものではない。

図１〜図４は本発明の第１の実施形態であり、座面２０を取付けるキャリッジ１０の搭載部１１とスリットＳのＦ１領域をキャリッジ１０の搭載部１１に固定された帯状のシール部材によってシールするシール構造を示す。なお、搭載部１１は従来と同様の構成のものが使用される。

帯状のシール部材として本実施形態ではシールベルト４０が採用されている。シールベルト４０は、スリットＳの全長を搭載部１１の移動に伴なってシール可能な長さに連続して形成される。また、シールベルト４０は、スリットＳの両端側３４，３４からハウジング３０の内部へ誘導され、ハウジング３０の内部でループ状に配設されることにより、可動ループを形成している。例えば、本実施例では従来と同様に、ハウジング３０の長さ方向両端側にそれぞれ配設されたプーリー４１を介して可動ループを形成している（図１０及び図１２参照）。
なお、可動ループを形成する手段は、シールベルト４０が円滑に可動すればどのような手段でも良いので、ここでは特に限定をしない。

また、シールベルト４０は、スリットＳの案内溝３３間を架け渡し可能な幅に形成されている。
さらに、シールベルト４０には、その幅方向の中心に合わせて、取付部１２よりも僅かに大きく形成された孔部４２が備えられ、シールベルト４０は、その孔部４２に搭載部１１の取付部１２が貫通した状態で固定面１１２に固定されている。
なお、シールベルト４０を固定面１１２に固定する場合には、シールベルト４０の孔部４２を取付部１２が貫通するように搭載部１１の固定面１１２上に配し、シールベルト４０を固定面１１２に固定する。これにより、シールベルト４０の幅方向の両端側が取付部１２からはみ出し、そのはみ出し部分６０の先端側がスリットＳの案内溝３３の開口に挿入される。なお、シールベルト４０は軸方向（図中両矢印参照）に移動することによって、案内溝３３に案内される。

また、シールベルト４０は従来と同様に、雄ネジ１１３と固定面１１２に設けた雌ネジによって共締され固定されている。
なお、シールベルト４０を固定面１１２に固定する手段は、シールベルト４０が固定面１１２に堅牢に固定されればどのような固定方法でも良いので、ここでは特に限定しない。例えば、強力な接着剤によって固定するものであっても良い。さらに、シールベルト４０の材質は、スリットＳの開口をシール可能な材質であれば良いので、特に限定しない。例えば、ゴム等の樹脂や柔軟な金属によって形成されていても良いし、ポリウレタン等の樹脂を含浸してなる繊維によって形成されていても良い。
さらに、アクチュエータには図示しない吸引機構が連結され、ハウジング３０の内気を吸引するようにしている。

このとき、シールベルト４０の取付部１２からはみ出した部分６０は図３（ａ）に示すように、搭載部１１の移動方向（図中両矢印参照）と直交する側面１１１から案内溝３３まで架け渡される。これにより、搭載部１１の側面１１１とスリットＳの端面３２との間の対向領域（Ｆ１領域）の隙間Ｇがシールされるので、ハウジング３０の内側と外側が隔離される。また、案内溝３３のハウジング内方側の溝面３６とシールベルト４０のはみ出し部分６０とが広い面積で面接触しているので、ハウジング３０内を負圧にしてハウジング３０の外方への塵の放出を防止する吸引機構の併用も相俟って、その負圧により、案内溝３３の面３６にシールベルト４０のはみ出し部分６０が吸い付けられ、ハウジング３０の内外を確実に隔離することが可能となる。

なお、図３（ｂ）に示すように、シールベルト４０のはみ出し部分６０の案内溝３３内に位置する部分がハウジング３０と接触しないようにされていても良い。このような構成によれば、Ｆ１領域の隙間Ｇがシールされるとともに、シールベルト４０のはみ出し部分６０がハウジング３０と摺接しないため、シールベルト４０の摩耗が生じない。なお、微少な隙間を介してハウジング３０内外が連通することになるが、隙間は微少なため、吸引機構による内気の吸引に伴うベンチュリ効果によって外気の流入速度が高まることにより、ハウジング３０内から外部への塵埃排出は抑制されるので、この部分も実質的にシールされた状態となる。さらに、同図で案内溝３３の形状について、溝底の幅を狭めるようにしているのは、吸引機構による吸引に伴うベンチュリ効果を高めるためである。

また、図３（ｃ）に示すように、案内溝３３の溝内部の形状は、スリットＳの端面３２側が狭く、溝底３５側に向けて広くなるように形成されていても良い。このような構成によれば、Ｆ１領域の隙間Ｇはシールされつつ、案内溝３３のハウジング内方側の面３６とシールベルト４０のはみ出し部分６０との接触面積は小さく押えることができるので、シールベルト４０のはみ出し部分６０が案内溝３３に案内される際の摺動抵抗を小さくすることができる。

また、シールベルト４０は、搭載部１１からそれぞれ、スリットＳの軸方向両端側３４，３４に向かってスリットＳの案内溝３３に案内されつつハウジング３０の両端側３４，３４までハウジング３０の一面３１に架け渡され、これにより、スリットＳのＦ２領域がシールされている。
このように、本発明の第１の実施形態では、Ｆ２領域においては、従来と同様に、シールベルト４０がスリットＳの案内溝３３に案内されることによって、スリットＳの開口をシールベルト４０でシールされるシール構造を構成する。

さらに、Ｆ１領域においても、キャリッジ１０の搭載部１１に固定されたシールベルト４０のはみ出し部分６０が、スリットＳの案内溝３３に案内されることによって、搭載部１１の側面１１１とスリットＳの端面３２との間の対向領域の隙間Ｇがシールされるシール構造を構成する（図２〜図４参照）。
従って、前記Ｆ２領域と前記Ｆ１領域が連続してシールされるので、ハウジング３０に設けられたスリットＳが設けられた長さの全領域（Ｆ１領域及びＦ２領域からなる全開口領域であるＦ領域）に亘ってハウジング３０の内と外が隔離され、低発塵の効果を高くすることができる。

なお、本実施形態では、シールベルト４０がハウジングの内部でループして可動ループを成している場合を説明したが、スリットＳが設けられた長さの全領域（Ｆ１領域及びＦ２領域からなる全開口領域であるＦ領域）をシールベルト４０でシール可能であれば、この限りではなく、例えば、スリットＳの両端側３４，３４において、シールベルト４０が巻き取られる構成であっても良い。この場合には、前記全領域（Ｆ領域）においてシールベルト４０がたるみ無く配されるように、シールベルト４０に一定の張力をもたせる機構を付加することが好ましい。例えば、巻き取り装置にバネ機構を付加してシールベルト４０に一定の張力を持たせても良い。

また、本実施形態では、スリットＳに案内溝３３を備え、シールベルト４０がその案内溝３３に案内されてシールするシール構造を説明したが、スリットＳに案内溝３３を備えない形態であっても本発明の範囲内である。この場合には、シール性を向上させるために、Ｆ１領域およびＦ２領域にてスリットＳの開口近傍の壁面などに摺接するリップなどの構成がシールベルトに備えられているのが好ましい。

また、図５は、本発明の第２の実施形態であり、キャリッジ１０の搭載部１１を分割型とした場合を示している。この場合の搭載部１１は、キャリッジ１０と一体に形成される固定部１１４と、キャリッジ１０と別体に形成され、座面２０を取付ける取付部１２とで構成され、シールベルト４０は固定部１１４と取付部１２とに挟持され固定されＦ１領域においてシール構造を形成する。その他の構成及び作用効果は、上述した第１の実施形態と同様であるので、ここでは、第２の実施形態における搭載部１１とシールベルト４０との構成及び配置関係を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。
なお、本実施形態に使用されるシールベルト４０は前述の第１の実施形態と同様の構成である。

具体的には、キャリッジ１０と一体に形成される固定部１１４の軸方向（図中両矢印参照）の中央部は段差状の凹部１１５が形成され、その凹部１１５の各軸方向側には、ハウジング３０のスリットＳの案内溝３３と同一平面で対向する固定面１１２が備えられている。
一方、座面２０を取付ける取付部１２は、座面２０が取付けられる一面を有し、さらに、取付部１２の他面には、固定部１１４の固定面１１２と対向して形成される押え面１２１を有して構成される。また、その押え面１２１の軸方向（図中両矢印参照）の中央部には、固定部１１４の凹部１１５と嵌合する凸部１２２が形成されている。

シールベルト４０を搭載部１１に固定する場合には、まず、取付部１２の凸部１２２がシールベルト４０の孔部４２に貫通するように、シールベルト４０を取付部１２の凸部１２２に被せる。さらに、取付部１２と固定部１１４をその凸部１２２と凹部１１５が嵌合するように嵌め合わせることによって、シールベルト４０が取付部１２の押え面１２１と固定部１１４の固定面１１２とに挟持される。そして、取付部１２と固定部１１４とを固定することによって、取付部１２の押え面１２１と固定部１１４の固定面１１２とに挟持されたシールベルト４０が固定面１１２に固定される。

なお、シールベルト４０を固定面１１２に固定する手段は、本実施形態では、一例として、取付部１２の一面から凸部１２２を貫通するネジ孔と、固定部１１４の凹部１１５に設けた雌ネジと、雄ネジ１１３とによって、固定部１１４と取付部１２を共締めして固定する手段を採用する。なお、シールベルト４０の固定手段は、固定部１１４と取付部１２がシールベルト４０を挟持しつつ、かつ、堅牢に固定される限りにおいて、これに限定されるものではなく、例えば、強力な接着剤によって固定されるものであっても良い。

また、本実施形態では、固定部１１４に凹部１１５を設け、取付部１２に凸部１１２を設けられているが、固定部１１４に凸部を設け、取付部１２に凹部が設けられていても良い。さらに、シールベルト４０が確実に挟持され、かつ、堅牢に固定される限りにおいて、凹部及び凸部を設けない構成であっても良い。その場合には、固定部１１４と取付部１２とを堅牢に固定するために、例えば、シールベルト４０を挟持しつつ取付部１２を固定部１１４にネジによって共締めする等の固定手段が用いられることが好ましい。

なお、本実施形態において使用されたシールベルト４０の変形例として、例えば、図６に示すように、シールベルト４０は固定部１１４の一方の固定面１１２に固定される部位で分割されるように構成しても良い。この場合であっても、シールベルト４０の固定部１１２に固定される部位と孔部４２を設けた部位が固定部１１４と取付部１２とに挟持され固定され、Ｆ１領域においてシール構造を形成する。

この場合には、シールベルト４０の固定部１１４への堅牢な固定を確保するために、本実施形態のシールベルト４０を固定部１１４と取付部１２とで挟持して固定する構成に加えて、分断されたシールベルト４０のそれぞれを固定面１１２に直接固定する手段を備えることが好ましい。なお、シールベルト４０の固定手段は、シールベルト４０が固定面１１２に堅牢に固定される限りにおいて、特に限定しないが、例えば、雄ネジ１１６と固定面１１２に設けた雌ネジによって、シールベルト４０を共締めして固定しても良いし、強力な接着剤によって固定するものであっても良い。

また、本変形例では、シールベルト４０は固定部１１４の一方の固定面１１２に固定される部位のみが分割された場合を説明したが、これに限定されるものではなく、シールベルト４０が固定部１１４と取付部１２とに挟持され固定され、シールベルト４０の孔部４２を設けた部位がＦ１領域におけるシール構造を形成する限りにおいて、例えば、固定部１１４の一対の固定面１１２に固定される部位でそれぞれ分割されていても良い。

また、図７〜図９は、本発明の第３の実施形態であり、本実施形態に係るシール構造は、搭載部移動方向（図中両矢印参照）のスリットＳの両端部３４，３４と搭載部１１との間の領域（Ｆ２領域）が帯状のシール部材によってシールされ、搭載部１１とスリットＳとの間の対向領域（Ｆ１領域）が搭載部１１に備えられた鍔状のシール部材６０によってシールされている場合を示す。なお、本実施形態においても帯状のシール部材としてシールベルト４０が使用され、搭載部１１とシールベルト４０の構成およびＦ２領域におけるシール構造は従来と同様の構成であるので、ここでは、本実施形態におけるＦ１領域に設けられるシール構造とスリットＳとの構成及び配置関係を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。

搭載部１１に備えられた鍔状のシール部材６０は、スリットＳの端面３２と対向するキャリッジ１０の搭載部１１の外側の側面１１１に、その側面１１１の軸方向長さに亘って連続して備えられている。さらに、その側面１１１への固定部分を基端部５１として、該基端部５１からハウジング３０のスリットＳの端面３２に向けて、シールベルト４０と同一平面を成して、先端部５２が延設されている。

また、鍔状のシール部材６０は側面１１１に堅牢に固定されることを要するので、本実施形態では、断面視逆Ｌ字型の部材が使用され、側面１１１に沿って固定されたＬ字型の一方の板状部位を基端部５１とする。これにより、基端部５１と側面１１１とは広い面積で固定され、堅牢な固定が確保される。なお、基端部５１を側面１１１に固定する手段は、特に限定しない。例えば、ネジによって基端部５１を側面１１１に固定する手段であっても良いし、或いは、強力な接着剤によって固定されるものであっても良い。または、基端部５１が側面１１１と一体に構成され、側面１１１から直接先端部５２が延設されていても良い。例えば、搭載部１１の成形時に鍔状のシール部材６０が一体成形されているものでも良い。

さらに、延設された先端部５２は、搭載部１１の軸方向長さに亘って連続して設けられており、その先端部５２の先端側は、前記案内溝３３に挿入されるとともに、案内溝３３の開口を軸方向（図中両矢印参照）に移動可能に配されている。これにより、先端部５２が前記案内溝３３に案内される構成となり、鍔状のシール部材６０がＦ１領域をシールするシール構造となる。
なお、本実施形態では、鍔状のシール部材６０が、少なくともキャリッジ１０の搭載部１１の幅方向外側端部１１１に備えられている場合を説明したが、キャリッジ１０の幅方向外側と内側の双方の端部１１１に備えられていても良い。鍔状のシール部材６０をキャリッジ１０の幅方向外側と内側の双方に配することによって、キャリッジ１０の搭載部１１間のＦ１領域もシールされるので、ハウジング３０の内外を確実に隔離することが可能となる。その他の構成及び作用効果は上述した各実施形態と同様であるので説明を省略する。

また、本実施形態における鍔状のシール部材６０は、シール性能を安定して発揮するため、少なくとも先端部５２を所定の位置に保持することが可能な材質で形成されていることを要する。例えば、本実施形態では、鍔状のシール部材６０は金属材料によって形成されている。また、鍔状のシール部材６０は先端部５２を所定の位置に保持可能な限りにおいて、他の材質で形成されていても良く、例えばゴム等の樹脂によって形成されていても良く、ポリウレタン等の樹脂を含浸してなる繊維によって形成されていても良い。また、本実施形態では、鍔状のシール部材６０は側面１１１の軸方向長さに亘って連続して備えられている場合を説明したが、シール性能を安定して発揮可能な限りにおいて必ずしも一体に連続して形成されていない場合であっても良く、例えば、複数の鍔状のシール部材６０が側面１１１の軸方向長さに亘って隙間無く並べられていても良い。

さらに、本実施形態では、このような鍔状のシール部材６０を備えた形態において、その鍔状のシール部材６０と重ねて、帯状のシール部材４０が備えられることを除外するものではない。その場合には、前述の第１の実施形態および第２の実施形態で説明した搭載部１１が使用され、Ｆ１領域は鍔状のシール部材６０と帯状のシール部材４０とによってシールされる。
また、本実施形態においても、上述の各実施形態と同様にスリットＳに案内溝３３を備えない形態であっても本発明の範囲内である。この場合のシールベルト４０の構成例については上述した通りである。

（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータのシール構造のキャリッジとシールベルトとの関係を示す斜視図、（ｂ）は、同図（ａ）の組み立て図。 本発明の第１の実施形態に係るシール構造を備えたアクチュエータの幅方向に沿った断面図。 （ａ）は、シールベルトとスリットの案内溝との関係の一例を示す要部拡大断面図、（ｂ）は、シールベルトとスリットの案内溝との関係の他の例を示す要部拡大断面図、（ｃ）は、シールベルトとスリットの案内溝との関係のその他の例を示す要部拡大断面図。 本発明の第１の実施形態に係るアクチュエータのシール構造とスリットの関係を示す平面図。 （ａ）は、本発明の第２の実施形態に係るアクチュエータのシール構造のキャリッジとシールベルトとの関係を示す斜視図、（ｂ）は、同図（ａ）の組み立て図。 （ａ）は、第２の実施形態の変形例に係るアクチュエータのシール構造のキャリッジとシールベルトとの関係を示す斜視図、（ｂ）は、同図（ａ）の組み立て図。 従来の軸受ユニットの構成を示す断面図。 （ａ）は、本発明の第３の実施形態に係るアクチュエータのシール構造のキャリッジとシールベルトとの関係を示す斜視図、（ｂ）は、同図（ａ）の組み立て図。 本発明の第３の実施形態に係るシール構造を備えたアクチュエータの幅方向に沿った断面図。 本発明の第３の実施形態に係るアクチュエータのシール構造とスリットの関係を示す平面図。 従来のアクチュエータの構成の一例を示す斜視図。 従来のアクチュエータの構成の一例を示す、図１０のＡ−Ａ線に沿った一部断面図。 従来のアクチュエータの構成の他の例を示す斜視図。 従来のアクチュエータの構成の他の例を示す、図１２のＢ−Ｂ線に沿った一部断面図。 従来のアクチュエータのシール構造のキャリッジとシールベルトとの関係を示す斜視図。 従来のアクチュエータのシール構造とスリットの関係を示す平面図。

符号の説明

１０ キャリッジ
１１ 搭載部
２０ 座面
３０ ハウジング
３１ ハウジング一面
３２ 開口の一対の端面
３３ 案内溝
６０ シールベルトのはみ出し部分、鍔状のシール部材
１１１ 搭載部の幅方向端面
Ｆ１ キャリッジの搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの間の対向領域（Ｆ１領域）
Ｆ２ 搭載部の移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域（Ｆ２領域）
Ｇ 隙間
Ｓ スリット

Claims (5)

1. 座面を搭載する搭載部を有するキャリッジと、
   そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、
   該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングと、
   該ハウジングの内気を吸引する吸引機構とを備え、
   該ハウジングの一面には、キャリッジの移動経路に沿って開口するスリットが設けられるとともに、該スリットを貫通してキャリッジの搭載部がハウジングの外側に突出し、かつ、
   吸引機構により内気が吸引されてハウジング内が負圧に保たれた状態で、スリットの開口が、搭載部の移動に伴って移動しつつシールされるシール構造を備えたアクチュエータにおいて、
   シール構造は、搭載部移動方向におけるスリット両端部と搭載部との間の領域をシールする帯状のシール部材と、搭載部移動方向と直交する方向における搭載部の側面とスリットとの対向領域の隙間をシールする隙間シール部材とを有し、
   スリットの開口の対向する一対の端面には、スリットの全長に亘たり、それぞれスリットを挟む方向で対向して開口した一対の案内溝が備えられ、帯状のシール部材とともに隙間シール部材が案内溝に案内されることによってスリット開口の全領域をシールし、ハウジングの内と外を隔離しており、
   案内溝は、溝底側の幅もしくはスリットの端面側の幅のいずれか一方が他方よりも狭められており、
   シール構造において、隙間シール部材は、帯状のシール部材と別体を成し、搭載部の側面とスリットとの対向領域の隙間をシールするように、搭載部に備えられた鍔状のシール部材として構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
2. 搭載部は、その軸方向中央部が段差状に突出して座面を取付ける取付部を形成し、取付部の各軸方向側にはスリットと対向する固定面が形成され、
   帯状のシール部材は、スリットの全長を搭載部の移動に伴なってシール可能な長さに連続するとともに、前記取付部が貫通可能な孔部を備え、
   帯状のシール部材の孔部にキャリッジの取付部を貫通させるとともに、シールベルトを各固定面に固定してなることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 搭載部は、キャリッジと一体に形成される固定部と、キャリッジと別体に形成され、座面を取付ける取付部とで構成され、
   帯状のシール部材を取付部と固定部とで挟持し固定してなることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。
4. 帯状のシール部材は、固定部の少なくとも一方の固定面に固定される部位で分割されていることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 帯状のシール部材は、スリットの軸方向両端側でハウジング内部へ誘導され、ハウジング内部で可動ループを形成しているシールベルトであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のアクチュエータ。
   

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