JP5061492B2 - アクチュエータ - Google Patents
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Description
従来から、そのような要求に応えようとした低発塵アクチュエータが知られており、その一例を図10〜図15に示す。
さらに、アクチュエータのハウジング30の一面31には、キャリッジ10の移動経路に沿って開口したスリットSを有し、座面20を搭載するキャリッジ10の搭載部11が、そのスリットSと隙間を有して貫通してハウジング30の外面に突出している。
これにより、スリットSに沿って搭載部11が直線往復移動可能な構成となる。
そして、ハウジング30の内部で可動ループを形成したシールベルト40は、図10及び図12に示すように、ハウジング30の一面31の外面側に取り回されるとともに、ハウジング30の一面31に設けられたスリットSの案内溝33に案内されている。そして、そのシールベルト40の端部は、前記分割された一対の固定面112にそれぞれ固定(例えば、雄ネジ113と固定面112に設けた雌ネジによって、シールベルト40を共締めして固定)されている。
このような構成により、シールベルト40が搭載部11の直線往復移動に伴なって移動するとともに、スリットSの案内溝33に案内されてスリットSの開口をシールしている。さらに、アクチュエータには図示しない吸引機構が連結され、ハウジング30の内気を吸引するようにしている(特許文献1及び特許文献2)。
しかしながら、キャリッジ10の高速化や、より厳しい清浄度に対する要求へ対応のためには、なお改良の余地あった。
図15に示すように、搭載部11の移動方向(図中両矢印参照)のスリット両端部と搭載部11との間の領域(図中F2の領域、以下F2領域と称する)では、スリットSの開口がシールベルト40で略シールされてハウジング30の内と外を略隔離できるので低発塵の効果が望める。
しかしながら、キャリッジ10の搭載部11の移動方向(図中両矢印参照)と直交する側面111とスリットSとの間の対向領域(図中F1の領域、以下F1領域と称する)においては、キャリッジ10とスリットSとの隙間Gがあり、調査の結果、吸引機構の併用にもかかわらず、なお、この部分を介して塵埃の外部への排出があり、厳しい清浄度等への対応のためには、無視できないことが判明した。
本発明は、ハウジング30に設けられたスリットSのスリット両端部と搭載部11との間の領域(以下、この開口領域をF2領域ともいう。)、及び搭載部11の移動方向と直交する側面111とスリットSとの間の対向領域(以下、この開口領域をF1領域ともいう。)のスリット開口の全領域(以下、この全開口領域をF領域ともいう。)をシールしてハウジング30の内と外を隔離するものであるが、特に、F1領域において、スリットSと搭載部11との隙間Gをシールするシール構造に特徴を有している。その具体的な実施の形態を以下、図1〜図9にて詳細に説明する。
また、以下の実施形態では、2本の搭載部11を備えたアクチュエータの場合を説明するが、本発明によるシール構造は1本の搭載部11を備えたアクチュエータの場合にも適用可能である。さらに、直線案内装置、直線駆動装置、駆動源等の形式や種類についても以下の実施形態に限定されるものではない。
なお、可動ループを形成する手段は、シールベルト40が円滑に可動すればどのような手段でも良いので、ここでは特に限定をしない。
さらに、シールベルト40には、その幅方向の中心に合わせて、取付部12よりも僅かに大きく形成された孔部42が備えられ、シールベルト40は、その孔部42に搭載部11の取付部12が貫通した状態で固定面112に固定されている。
なお、シールベルト40を固定面112に固定する場合には、シールベルト40の孔部42を取付部12が貫通するように搭載部11の固定面112上に配し、シールベルト40を固定面112に固定する。これにより、シールベルト40の幅方向の両端側が取付部12からはみ出し、そのはみ出し部分60の先端側がスリットSの案内溝33の開口に挿入される。なお、シールベルト40は軸方向(図中両矢印参照)に移動することによって、案内溝33に案内される。
なお、シールベルト40を固定面112に固定する手段は、シールベルト40が固定面112に堅牢に固定されればどのような固定方法でも良いので、ここでは特に限定しない。例えば、強力な接着剤によって固定するものであっても良い。さらに、シールベルト40の材質は、スリットSの開口をシール可能な材質であれば良いので、特に限定しない。例えば、ゴム等の樹脂や柔軟な金属によって形成されていても良いし、ポリウレタン等の樹脂を含浸してなる繊維によって形成されていても良い。
さらに、アクチュエータには図示しない吸引機構が連結され、ハウジング30の内気を吸引するようにしている。
このように、本発明の第1の実施形態では、F2領域においては、従来と同様に、シールベルト40がスリットSの案内溝33に案内されることによって、スリットSの開口をシールベルト40でシールされるシール構造を構成する。
従って、前記F2領域と前記F1領域が連続してシールされるので、ハウジング30に設けられたスリットSが設けられた長さの全領域(F1領域及びF2領域からなる全開口領域であるF領域)に亘ってハウジング30の内と外が隔離され、低発塵の効果を高くすることができる。
なお、本実施形態に使用されるシールベルト40は前述の第1の実施形態と同様の構成である。
一方、座面20を取付ける取付部12は、座面20が取付けられる一面を有し、さらに、取付部12の他面には、固定部114の固定面112と対向して形成される押え面121を有して構成される。また、その押え面121の軸方向(図中両矢印参照)の中央部には、固定部114の凹部115と嵌合する凸部122が形成されている。
なお、本実施形態では、鍔状のシール部材60が、少なくともキャリッジ10の搭載部11の幅方向外側端部111に備えられている場合を説明したが、キャリッジ10の幅方向外側と内側の双方の端部111に備えられていても良い。鍔状のシール部材60をキャリッジ10の幅方向外側と内側の双方に配することによって、キャリッジ10の搭載部11間のF1領域もシールされるので、ハウジング30の内外を確実に隔離することが可能となる。その他の構成及び作用効果は上述した各実施形態と同様であるので説明を省略する。
また、本実施形態においても、上述の各実施形態と同様にスリットSに案内溝33を備えない形態であっても本発明の範囲内である。この場合のシールベルト40の構成例については上述した通りである。
11 搭載部
20 座面
30 ハウジング
31 ハウジング一面
32 開口の一対の端面
33 案内溝
60 シールベルトのはみ出し部分、鍔状のシール部材
111 搭載部の幅方向端面
F1 キャリッジの搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの間の対向領域(F1領域)
F2 搭載部の移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域(F2領域)
G 隙間
S スリット
Claims (5)
- 座面を搭載する搭載部を有するキャリッジと、
そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、
該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングと、
該ハウジングの内気を吸引する吸引機構とを備え、
該ハウジングの一面には、キャリッジの移動経路に沿って開口するスリットが設けられるとともに、該スリットを貫通してキャリッジの搭載部がハウジングの外側に突出し、かつ、
吸引機構により内気が吸引されてハウジング内が負圧に保たれた状態で、スリットの開口が、搭載部の移動に伴って移動しつつシールされるシール構造を備えたアクチュエータにおいて、
シール構造は、搭載部移動方向におけるスリット両端部と搭載部との間の領域をシールする帯状のシール部材と、搭載部移動方向と直交する方向における搭載部の側面とスリットとの対向領域の隙間をシールする隙間シール部材とを有し、
スリットの開口の対向する一対の端面には、スリットの全長に亘たり、それぞれスリットを挟む方向で対向して開口した一対の案内溝が備えられ、帯状のシール部材とともに隙間シール部材が案内溝に案内されることによってスリット開口の全領域をシールし、ハウジングの内と外を隔離しており、
案内溝は、溝底側の幅もしくはスリットの端面側の幅のいずれか一方が他方よりも狭められており、
シール構造において、隙間シール部材は、帯状のシール部材と別体を成し、搭載部の側面とスリットとの対向領域の隙間をシールするように、搭載部に備えられた鍔状のシール部材として構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 搭載部は、その軸方向中央部が段差状に突出して座面を取付ける取付部を形成し、取付部の各軸方向側にはスリットと対向する固定面が形成され、
帯状のシール部材は、スリットの全長を搭載部の移動に伴なってシール可能な長さに連続するとともに、前記取付部が貫通可能な孔部を備え、
帯状のシール部材の孔部にキャリッジの取付部を貫通させるとともに、シールベルトを各固定面に固定してなることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。 - 搭載部は、キャリッジと一体に形成される固定部と、キャリッジと別体に形成され、座面を取付ける取付部とで構成され、
帯状のシール部材を取付部と固定部とで挟持し固定してなることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。 - 帯状のシール部材は、固定部の少なくとも一方の固定面に固定される部位で分割されていることを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータ。
- 帯状のシール部材は、スリットの軸方向両端側でハウジング内部へ誘導され、ハウジング内部で可動ループを形成しているシールベルトであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のアクチュエータ。
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