JP5046712B2 - エンコーダを初期化する方法 - Google Patents
エンコーダを初期化する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5046712B2 JP5046712B2 JP2007097090A JP2007097090A JP5046712B2 JP 5046712 B2 JP5046712 B2 JP 5046712B2 JP 2007097090 A JP2007097090 A JP 2007097090A JP 2007097090 A JP2007097090 A JP 2007097090A JP 5046712 B2 JP5046712 B2 JP 5046712B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- absolute
- track
- scale
- evaluation method
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
- G01D18/001—Calibrating encoders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
3つのスケール2が、物体1に固定されている。これらのスケール2はそれぞれ、インクリメンタルトラック3及びアブソリュートトラック4を支持する。走査ヘッド5が、測定フレーム6に固定されている。これらの測定ヘッド5は、それぞれのスケール2に割り当てられている。そしてこれらの測定ヘッド5は、インクリメンタルトラック3及びアブソリュートトラック4の双方を読み取って電気信号に変換され得る。
整合ステップ200では、走査ヘッド5が、スケール2に対してより良好に整合されているように、物体1が、初期化ステップ100で算定されたおおよその位置値に基づいて位置決めされる。
2 スケール
3 インクリメンタルトラック
4 アブソリュートトラック
5 走査本体
6 測定フレーム
10 エンコーダ
11 エンコーダ
12 エンコーダ
Claims (10)
- 測定フレーム(6)に対して少なくとも2つの自由度(Rx,Ry,Z)で移動する物体(1)に対して位置測定系を初期化するための方法であって、前記位置測定系には、相対位置を測定するインクリメンタルトラック(3)と絶対位置を測定するアブソリュートトラック(4)とを有するスケール(2)を1つずつ備えた少なくとも1つのエンコーダ(10,11,12)が、1つの自由度(Rx,Ry,Z)ごとに存在し、且つ、前記インクリメンタルトラック(3)と前記アブソリュートトラック(4)とを読み取るための、前記スケール(1)に割り当てられた走査ヘッド(5)が存在する当該方法において、
初期化ステップ(100)では、前記インクリメンタルトラック(3)又は前記アブソリュートトラック(4)が、走査ヘッド(5)と対応するスケール(2)との整合に関して大きい許容誤差を有する第1の評価方法によって評価され、評価結果が生成され、整合ステップ(200)では、移動する前記物体(1)が、前記評価結果に基づいて前記測定フレーム(6)に対して整合され、検出ステップ(300)では、前記アブソリュートトラック(4)が、走査ヘッド(5)と対応するスケール(2)との整合に関する僅かな許容誤差を有する第2の評価方法によって評価され、正確な絶対位置が、各自由度(Rx,Ry,Z)に対して算定されることを特徴とする方法。 - 前記初期化ステップ(100)では、前記アブソリュートトラック(4)が、前記第1の評価方法によって評価され、おおよその絶対位置が、評価結果として各自由度(Rx,Ry,Z)に対して算定され、前記第1の評価方法は、走査ヘッド(5)と対応するスケール(2)との整合に関して大きい許容誤差を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記初期化ステップ(100)で算出された前記おおよその絶対位置に基づいて、前記物体(1)が、前記測定フレーム(6)に対して整合され、すなわち前記走査ヘッド(5)が、前記スケール(2)に対して整合される結果、前記僅かな許容誤差が、前記検出ステップ(300)で保持されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記アブソリュートトラック(4)は、基準マークを有し、この基準マークは、前記第1の評価方法及び前記第2の評価方法に基づいて評価されることを特徴とする請求項2又は3に記載の方法。
- 前記第1の評価方法は、おおよその割り当てだけを可能にし、前記第2の評価方法は、前記インクリメンタルトラック(3)に対する前記基準マークの正確な割り当てを保証することを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記アブソリュートトラック(4)は、コードを有し、複数の絶対位置が、このコードでコード化されていること、及び、このコードは、前記第1の評価方法及び前記第2の評価方法に基づいて評価されることを特徴とする請求項2又は3に記載の方法。
- 前記おおよその絶対位置は、前記アブソリュートトラック(4)だけに基づいて算定されることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記初期化ステップ(100)では、前記インクリメンタルトラック(3)が、前記第1の評価方法によって評価され、各自由度(Rx,Ry,Z)に対して、前記インクリメンタルトラック(3)のアブソリュート信号(9、A,B)の信号特性が、評価結果として算定されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記初期化ステップ(100)で算出された前記信号特性に基づいて、前記物体(1)が、前記測定フレーム(6)に対して整合され、すなわち前記走査ヘッド(5)が、前記スケール(2)に対して整合される結果、前記僅かな許容誤差が、前記検出ステップ(300)で保持されることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記走査信号(9、A,B)の前記信号特性は、信号強度であることを特徴とする請求項8又は9に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006015725A DE102006015725A1 (de) | 2006-04-04 | 2006-04-04 | Verfahren zum Initialisieren eines Positionsmesssystems |
DE102006015725.7 | 2006-04-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007279038A JP2007279038A (ja) | 2007-10-25 |
JP5046712B2 true JP5046712B2 (ja) | 2012-10-10 |
Family
ID=38179983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007097090A Active JP5046712B2 (ja) | 2006-04-04 | 2007-04-03 | エンコーダを初期化する方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7426790B2 (ja) |
EP (1) | EP1843132B1 (ja) |
JP (1) | JP5046712B2 (ja) |
CN (1) | CN101050957B (ja) |
DE (1) | DE102006015725A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5626278B2 (ja) * | 2012-07-13 | 2014-11-19 | 株式会社村田製作所 | 基板へのインク塗布方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3204012C1 (de) * | 1982-02-05 | 1983-02-03 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale Messeinrichtung |
GB8820778D0 (en) * | 1988-09-02 | 1988-10-05 | Renishaw Plc | Setting up of quadrature signals |
AT394446B (de) * | 1990-10-11 | 1992-03-25 | Rsf Elektronik Gmbh | Inkrementales laengenmesssystem |
DE4040794A1 (de) * | 1990-12-17 | 1992-06-25 | Ems Technik Gmbh | Verfahren und lagegeber zur lagebestimmung eines positionierkoerpers relativ zu einem bezugskoerper |
DE19642200A1 (de) * | 1996-10-12 | 1998-04-16 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen |
DE19809690A1 (de) * | 1998-03-06 | 1999-09-09 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät mit Benutzerführung |
DE19821372A1 (de) * | 1998-05-13 | 1999-11-18 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmeßgerät und Verfahren zur Steuerung eines solchen |
EP1182509B1 (en) * | 2000-08-24 | 2009-04-08 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, calibration method thereof and device manufacturing method |
DE10157112A1 (de) * | 2001-11-21 | 2003-06-05 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Kontrollvorrichtung einer Positionsmesseinrichtung |
GB0200575D0 (en) * | 2002-01-11 | 2002-02-27 | Rls Merilna Tehnika D O O | Encoder with reference marks |
DE10309679B4 (de) * | 2003-02-27 | 2014-05-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtasteinheit zum Abtasten einer Maßverkörperung |
US6901677B2 (en) * | 2003-05-05 | 2005-06-07 | University Of North Carolina At Charlotte | Method and apparatus using a closed loop controlled actuator for surface profilometry |
JP4675047B2 (ja) * | 2004-02-02 | 2011-04-20 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機の測定座標補正方法及び三次元測定システム |
GB0415141D0 (en) * | 2004-07-06 | 2004-08-11 | Renishaw Plc | Scale reading apparatus |
-
2006
- 2006-04-04 DE DE102006015725A patent/DE102006015725A1/de not_active Withdrawn
-
2007
- 2007-01-27 EP EP07001821.3A patent/EP1843132B1/de active Active
- 2007-03-29 US US11/693,655 patent/US7426790B2/en active Active
- 2007-04-03 JP JP2007097090A patent/JP5046712B2/ja active Active
- 2007-04-04 CN CN2007100920348A patent/CN101050957B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7426790B2 (en) | 2008-09-23 |
CN101050957B (zh) | 2012-06-27 |
EP1843132A2 (de) | 2007-10-10 |
US20070227019A1 (en) | 2007-10-04 |
CN101050957A (zh) | 2007-10-10 |
EP1843132A3 (de) | 2010-12-01 |
EP1843132B1 (de) | 2013-05-08 |
DE102006015725A1 (de) | 2007-10-11 |
JP2007279038A (ja) | 2007-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5038861B2 (ja) | 位置測定装置 | |
US7164120B2 (en) | Position measuring instrument | |
US7461464B2 (en) | Position measuring arrangement | |
CN101371105B (zh) | 旋转编码器装置和方法 | |
EP1766335B1 (en) | Scale and readhead apparatus | |
JP6022220B2 (ja) | 線形位置測定システム | |
JP2000161986A (ja) | 変位測定装置および変位測定方法 | |
JP2649306B2 (ja) | 位置測定装置 | |
CN104105951A (zh) | 用于确定位置的方法和装置 | |
JP5085657B2 (ja) | 測定要素および測定要素の動作方法 | |
EP1957943B1 (en) | Scale and readhead apparatus and method | |
JP5046712B2 (ja) | エンコーダを初期化する方法 | |
US7748251B2 (en) | Circuit configuration and method for ascertaining tilt errors in connection with a position-measuring device | |
US7432496B1 (en) | Encoder scale writing or calibration at an end-use installation based on correlation sensing | |
US7031031B1 (en) | Position measuring system | |
CN114667438B (zh) | 位置测量装置 | |
JP4783698B2 (ja) | 電磁誘導式エンコーダ | |
US10474516B2 (en) | Encoder | |
CN115950345A (zh) | 测量数据处理器、位置测量设备和计算机实现的方法 | |
US20210302156A1 (en) | Calibration standard for geometry calibration of a measurement system operating by tactile and/or optical means, method for calibration, and coordinate measuring machine | |
US20120313624A1 (en) | Linear position measuring system and method for determining the absolute position of a carriage along a slide rail | |
CN113405442B (zh) | 用于操作具有单磁道磁码对象的绝对测量位置检测***的方法 | |
JP4146133B2 (ja) | リニアエンコーダ | |
CN105571493B (zh) | 光电设备及其方法 | |
CN118251582A (zh) | 运行线性驱动***的方法和线性驱动*** |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091208 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120626 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120717 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150727 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5046712 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |