JP5037532B2 - in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ、プロセスチャンバ、及び、in−situでチャンバ粒子情報を収集する方法 - Google Patents
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- 半導体処理チャンバのためのin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
少なくとも1つのレーザ光源であって、前記処理チャンバ内の前記チャンバプロセス体積の中をレーザ光で走査することができる少なくとも1つのレーザ光源と、
少なくとも1つのレーザ光収集器であって、前記少なくとも1つのレーザ光源から放射されたレーザ光を収集することができる少なくとも1つのレーザ光収集器と、
粒子の数と、粒子のサイズと、粒子の位置とを含むチャンバ粒子情報を提供するために、前記少なくとも1つのレーザ光収集器によって収集されたレーザ光を表す信号を解析する、前記処理チャンバに外付けの解析器と、
前記処理チャンバ内に取り外し可能に設置されたチャンバライナと、
を備え、
前記少なくとも1つのレーザ光源及び前記少なくとも1つのレーザ光収集器は、前記チャンバライナ内に埋め込まれている、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項1に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
複数のレーザ光収集器があり、前記複数のレーザ光収集器は、いずれも共通軸を共有することのないように配置される、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項2に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
前記チャンバ粒子情報は、前記チャンバプロセス体積内の粒子の分布を表す3次元画像を含む、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - 請求項1に記載のin−situチャンバ粒子モニタアセンブリであって、
前記チャンバプロセス体積は、前記プロセスチャンバ内で基板サポートの上方に画定された平面を包含している、in−situチャンバ粒子モニタアセンブリ。 - チャンバ粒子源を特定するためにin−situチャンバ粒子モニタアセンブリを備えたプロセスチャンバであって、
前記プロセスチャンバ内の基板サポートと、
前記基板サポートの上方に設けられたチャンバ頂板と、
少なくとも1つのレーザ光源であって、前記プロセスチャンバ内のチャンバプロセス体積の中をレーザ光で走査することができ、前記チャンバプロセス体積は、前記基板サポートと前記チャンバ頂板との間に画定される、少なくとも1つのレーザ光源と、
少なくとも1つのレーザ光収集器であって、前記少なくとも1つのレーザ光源から放射されたレーザ光を収集することができる少なくとも1つのレーザ光収集器と、
粒子の数と、粒子のサイズと、粒子の位置とを含むチャンバ粒子情報を提供するために、前記少なくとも1つのレーザ光収集器によって収集されたレーザ光を表す信号を解析する、前記処理チャンバに外付けの解析器と、
前記プロセスチャンバ内に取り外し可能に設置されたチャンバライナと、
を備え、
前記少なくとも1つのレーザ光源及び前記少なくとも1つのレーザ光収集器は、前記チャンバライナ内に埋め込まれている、プロセスチャンバ。 - 請求項5に記載のプロセスチャンバであって、
複数のレーザ光収集器があり、前記複数のレーザ光収集器は、いずれも共通軸を共有することのないように配置される、プロセスチャンバ。 - 請求項5に記載のプロセスチャンバであって、
少なくとも2つのレーザ光源があり、前記少なくとも2つのレーザ光源は、前記プロセスチャンバに光源を提供するために、互いから隔てて配置される、プロセスチャンバ。 - 請求項5に記載のプロセスチャンバであって、
チャンバ壁は、前記基板サポートの周囲に画定され、前記チャンバライナは、前記チャンバ壁内に設けられる、プロセスチャンバ。 - 請求項5に記載のプロセスチャンバであって、
3つのレーザ光源および3つの光源収集器がある、プロセスチャンバ。 - in−situでチャンバ粒子情報を収集する方法であって、
少なくとも1つのレーザ光源と少なくとも1つのレーザ光収集器とが埋め込まれたチャンバライナを、プロセスチャンバ内に取り外し可能に設置する工程と、
レーザ光源から放射されたレーザ光で、前記プロセスチャンバ内部のプロセス体積の中を走査する工程と、
複数のレーザ光収集器によって、前記プロセスチャンバの中のレーザ光を収集する工程と、
粒子の数と、粒子のサイズと、粒子の位置とを含むチャンバ粒子情報を決定するために、前記収集されたレーザ光を解析する工程と、
前記少なくとも1つのレーザ光源と前記少なくとも1つのレーザ光収集器とを前記チャンバライナとともに前記プロセスチャンバから取り外する工程と、
を備える方法。 - 請求項10に記載の方法であって、
前記プロセス体積は、チャンバ頂板と基板サポートとの間に画定される、方法。 - 請求項10に記載の方法であって、さらに、
前記複数のレーザ光収集器を、いずれも共通軸を共有することのないように方向付ける工程を備える方法。 - 請求項10に記載の方法であって、
前記収集されたレーザ光を解析することは、前記プロセスチャンバ内部の粒子の分布を表す3−D画像を生成する工程を含む、方法。 - 請求項13に記載の方法であって、
前記3−D画像は、粒子のサイズ情報を含む、方法。
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