JP5037191B2 - 基板搬送装置及びケーブル配線構造 - Google Patents
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Description
先ず,本発明を基板を搬送する基板搬送装置に適用した場合の実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は基板搬送装置の構成を示す断面図である。基板搬送装置100は,箱状のケーシング110と,このケーシング110の上面に回転自在に設けられた円板状の回転テーブル120と,回転テーブル120上に設けられた水平方向に伸縮自在な搬送アーム130を備える。本実施形態では,この回転機構に電力や信号等を供給するためのケーブル200をケーシング110内の狭いスペースに配線するケーブル配線構造を例に挙げる。
このような本実施形態にかかるケーブル200の構成例及び配線例について図面を参照しながらより詳細に説明する。図2は,図1に示すケーブル200のP−P′断面図である。先ず,ケーブルの構成例について説明する。本実施形態にかかるケーブル200は,図2にも示すように複数(ここでは5本)の線条体210〜250を一列に配列し,これらを接合して一体化したものである。これによって,ケーブル200をフラット形状にすることができる。
110 ケーシング
112 テーブル駆動用モータ
113 フランジ部
114 回転軸(駆動軸)
115 フランジ部
116 スペース(配線スペース)
118 孔
120 回転テーブル
122 配管
124 通し孔
126 回転板
130 搬送アーム
132,134 リンク
136 エンドエフェクタ
142 回転軸(ショルダ軸)
144 回転軸(エルボ軸)
146 回転軸(リスト軸)
150 上部コネクタ
152 L字部材
160 下部コネクタ
162 L字部材
200 ケーブル
210,220,2230,240,250 線条体
212,222,232,242,252 単体ケーブル
214,224,234,244,254 シース
226,246 編組線
G 基板
Claims (9)
- ケーブル配線スペースを有するケーシングと,
前記ケーシングにそのケーブル配線スペースを覗くように,相対的に回転可能に配設された回転部材と,
前記回転部材に配線する複数種類のすべての線条体を,一本ずつについて又は複数本を束ねて一本にしたものについて,それぞれ同様の屈曲率になるように曲げ強さを調整した上で,帯状に配列して接合し一体化したケーブルと,を備え,
前記ケーブルを,前記各線条体が鉛直方向に配列するように前記回転部材に配線して,前記ケーブル配線スペースに収容し,その一端を前記回転部材の回転中心からずれた位置に取付けて,そこから前記ケーブル配線スペースに向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように,その他端を前記ケーシングに取付けたことを特徴とするケーブル配線構造。 - 前記線条体は,電源ケーブル,信号ケーブル,電線,中空チューブのいずれか又はこれらの組合せであることを特徴とする請求項1に記載のケーブル配線構造。
- 前記線条体の曲げ強さは,一本ずつについては,シースの厚みと材質のいずれか若しくはこれらの組合せによって調整し,複数本を束ねて一本にしたものについては,さらにこれらの隙間に充填する編組線と緩衝材及びシースの厚みと材質のうちのいずれか若しくはその組合せによって調整したことを特徴とする請求項1又は2に記載のケーブル配線構造。
- 前記ケーブルを構成する複数本の線条体は,すべて同径であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のケーブル配線構造。
- 前記回転部材はその始点角度から終点角度まで正逆方向に回転し,
前記ケーブルの長さは,少なくとも前記回転部材の始点角度から終点角度までその回転角度に応じて前記ケーブルの巻径が変る長さにしたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のケーブル配線構造。 - 前記ケーブルの巻径が最も小さくなるときの前記回転部材の回転角度における前記ケーブルの一端は,前記ケーブルの他端から水平方向にずれていることを特徴とする請求項5に記載のケーブル配線構造。
- 前記ケーブルの巻径が最も小さくなるときの前記回転部材の回転角度における前記ケーブルの一端は,前記回転部材の中心から見て前記ケーブルの他端と同じ側にずれていることを特徴とする請求項5に記載のケーブル配線構造。
- ケーシングの上面に相対的に回転可能に設けられた回転テーブルと,
前記回転テーブル上に搭載された基板を搬送するための搬送アームと,
前記ケーシング内の上方に配設され,前記回転ケーブルとともに鉛直軸回りに回転する回転板と,
前記回転部材に配線する複数種類のすべての線条体を,一本ずつについて又は複数本を束ねて一本にしたものについて,それぞれの同様の屈曲率になるように曲げ強さを調整した上で,帯状に配列して接合し一体化したケーブルと,を備え,
前記ケーブルを,前記各線条体が鉛直方向に配列するように前記回転部材に配線して,前記ケーブル配線スペースに収容し,その一端を前記回転部材の回転中心からずれた位置に取付けて,そこから前記ケーブル配線スペースに向けて徐々に巻径が広がる螺旋状になるように,その他端を前記ケーシングに取付けたことを特徴とする基板搬送機構。 - 相対的に回転可能な回転部材にケーブルを配線するケーブル配線構造であって,
前記ケーブルは,前記回転部材に配線する複数種類のすべての線条体を,一本ずつについて又は複数本を束ねて一本にしたものについて,それぞれ同様の屈曲率になるように曲げ強さを調整した上で,帯状に配列して接合し一体化したものであり,
前記ケーブルは,その一端を前記回転部材の鉛直な回転中心からずれた位置に取付けて,そこから鉛直方向に向けて徐々に巻径が広がる螺旋状に配線したことを特徴とするケーブル配線構造。
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JPS62207114A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-11 | 三菱電機株式会社 | 旋回部におけるケ−ブルの配線構造 |
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