JPH04112440A - 観察装置 - Google Patents
観察装置Info
- Publication number
- JPH04112440A JPH04112440A JP2232132A JP23213290A JPH04112440A JP H04112440 A JPH04112440 A JP H04112440A JP 2232132 A JP2232132 A JP 2232132A JP 23213290 A JP23213290 A JP 23213290A JP H04112440 A JPH04112440 A JP H04112440A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- electron
- hole
- needle probe
- side face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 29
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は電子顕微鏡型の観察装置に関するものである。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕走査電
子顕微鏡は、電子線を分析資料の表面に照射し、放出さ
れる二次電子を検出するもので、電子線を走査すること
で二次電子の検出値が変化し、この変化量をコンピュー
タを用いて解析処理をなして画像表示を行うものである
。
子顕微鏡は、電子線を分析資料の表面に照射し、放出さ
れる二次電子を検出するもので、電子線を走査すること
で二次電子の検出値が変化し、この変化量をコンピュー
タを用いて解析処理をなして画像表示を行うものである
。
ところで第２図（イ）に示すように、分析対象が基板ａ
に穿設された孔すの内側面である場合、そのままでは従
来の電子顕微鏡を用いての観察が不可能であったので、
同図（１））に示すように分析資料片の基板ａを分割し
て孔す内側面の観察を行っていた。
に穿設された孔すの内側面である場合、そのままでは従
来の電子顕微鏡を用いての観察が不可能であったので、
同図（１））に示すように分析資料片の基板ａを分割し
て孔す内側面の観察を行っていた。
しかし基板ａを切断して分析資料を形成すると云う煩雑
さがあり、更に切断加工によって、観察対象である孔す
内側面に変形を与える可能性があって必ずしも正確な観
察が行なえるものでない等の問題点が存在する。
さがあり、更に切断加工によって、観察対象である孔す
内側面に変形を与える可能性があって必ずしも正確な観
察が行なえるものでない等の問題点が存在する。
そこで本発明は分析資料片を分割せずに孔内側面の観測
が可能な観察装置を提案したものである。
が可能な観察装置を提案したものである。
本発明に係る観察装置は、分析資料表面に電子線を走査
しながら照射して、照射面から放出される二次電子を検
出し、分析資料表面状態を解析処理して画像表示をなす
走査電子顕微鏡型の観察装置において、電子線延長線上
にマイナスの高電圧を印加した針プローブを設置し、電
子線を折曲して分析資料側面に照射して、分析資料側面
を画像表示することを特徴とするものである。
しながら照射して、照射面から放出される二次電子を検
出し、分析資料表面状態を解析処理して画像表示をなす
走査電子顕微鏡型の観察装置において、電子線延長線上
にマイナスの高電圧を印加した針プローブを設置し、電
子線を折曲して分析資料側面に照射して、分析資料側面
を画像表示することを特徴とするものである。
観察対象である孔内側面に電子線が入射するように分析
資料片を位置せしめ、針プローブに適当な負電圧を印加
すると、電子線は折曲して進行し、孔内側面へ衝突する
。従って電子線を円を描くように走査せしめると孔内側
面全周に衝突し、更に針プローブの上下位置調整或いは
電圧調整等によって電子線の衝突個所が孔内側面の上下
方向に移行するので、電子線衝突時の二次電子放出を検
出し、解析処理を行うと、孔内側面の画像表示が可能と
なるものである。
資料片を位置せしめ、針プローブに適当な負電圧を印加
すると、電子線は折曲して進行し、孔内側面へ衝突する
。従って電子線を円を描くように走査せしめると孔内側
面全周に衝突し、更に針プローブの上下位置調整或いは
電圧調整等によって電子線の衝突個所が孔内側面の上下
方向に移行するので、電子線衝突時の二次電子放出を検
出し、解析処理を行うと、孔内側面の画像表示が可能と
なるものである。
次に本発明の実施例について説明する。
本発明装置は基本的に走査電子顕微鏡と同一で、第３図
に示すようにフィラメント（電子源）１１ウェネルト１
２．アノード１３からなる電子銃１と、収束レンズ（コ
イル）２と、対物絞り３と、走査用コイル４と、対物レ
ンズ（コイル）５と、資料装着部６と、二次電子検出器
７を備え、更に資料装着部６の中心下方に上下移動可能
とした針プローブ８を設置し、また走査コイル４の動作
及び針プローブ８の動作と、二次電子検出器７の検出値
を処理用入力とし、解析処理を行うと共に画像表示をな
す表示部（図示せず）を設けてなるものである。
に示すようにフィラメント（電子源）１１ウェネルト１
２．アノード１３からなる電子銃１と、収束レンズ（コ
イル）２と、対物絞り３と、走査用コイル４と、対物レ
ンズ（コイル）５と、資料装着部６と、二次電子検出器
７を備え、更に資料装着部６の中心下方に上下移動可能
とした針プローブ８を設置し、また走査コイル４の動作
及び針プローブ８の動作と、二次電子検出器７の検出値
を処理用入力とし、解析処理を行うと共に画像表示をな
す表示部（図示せず）を設けてなるものである。
而かして第２図（イ）に示すような基板ａに孔すを穿設
してなる分析資料片の孔すの内側面を観察する場合、電
子銃１からの電子線Ａが孔す内に入射するように分析資
料片を資料装着部６に装着し、電子銃１から電子線Ａを
発射して孔すの内側面を観察するものである。即ち、針
プローブ８に一５ｋｖ程度の負電圧を印加し、電子銃１
の電子加速電圧を１〜４ｋｖ（電子線が後述する所定の
折曲を行うに必要な電圧）とすると、電子銃１がら発射
された電子線Ａは針プローブ８の負電圧によって折曲し
て進行し、孔すの内側面に衝突する。尚電子銃１の電子
加速電圧が低いと電子線Ａは孔す内に入射する前に折曲
してしまい、また逆に高いと針プローブ８の負電圧に勝
って孔すを通過してしまうので、適度に調整する。電子
線Ａが孔すの内側面に衝突すると、衝突部分より二次電
子Ｂが放出され、二次電子Ｂは正電位を保っている二次
電子検出器７で捕捉される。
してなる分析資料片の孔すの内側面を観察する場合、電
子銃１からの電子線Ａが孔す内に入射するように分析資
料片を資料装着部６に装着し、電子銃１から電子線Ａを
発射して孔すの内側面を観察するものである。即ち、針
プローブ８に一５ｋｖ程度の負電圧を印加し、電子銃１
の電子加速電圧を１〜４ｋｖ（電子線が後述する所定の
折曲を行うに必要な電圧）とすると、電子銃１がら発射
された電子線Ａは針プローブ８の負電圧によって折曲し
て進行し、孔すの内側面に衝突する。尚電子銃１の電子
加速電圧が低いと電子線Ａは孔す内に入射する前に折曲
してしまい、また逆に高いと針プローブ８の負電圧に勝
って孔すを通過してしまうので、適度に調整する。電子
線Ａが孔すの内側面に衝突すると、衝突部分より二次電
子Ｂが放出され、二次電子Ｂは正電位を保っている二次
電子検出器７で捕捉される。
従って電子線Ａの衝突位置を順次変化させ、その際の二
次電子Ｂの捕捉を解析処理することによって、孔すの内
側面を画像表示し、その観察が可能となったものである
。
次電子Ｂの捕捉を解析処理することによって、孔すの内
側面を画像表示し、その観察が可能となったものである
。
尚電子線Ａの衝突位置調整は、電子線Ａの走査ト針プロ
ーブ８の上下移動で可能であるが、その他電子銃１の電
子加速電圧の調整、針プローブ８の負電圧調整や資料装
着部６の位置調整によっても実現できる。
ーブ８の上下移動で可能であるが、その他電子銃１の電
子加速電圧の調整、針プローブ８の負電圧調整や資料装
着部６の位置調整によっても実現できる。
本発明は以上のように従前の走査電子顕微鏡型の観察装
置に於いて、電子線延長上に負電圧の針プローブを設け
、電子線を折曲して分析資料側面に衝突させるようにし
たもので、分析資料を分割せずに孔内側面の観察を可能
としたものである。
置に於いて、電子線延長上に負電圧の針プローブを設け
、電子線を折曲して分析資料側面に衝突させるようにし
たもので、分析資料を分割せずに孔内側面の観察を可能
としたものである。
第１図は本発明装置の原理図、第２図は分析資料片を示
すもので（イ）は分割前、（ロ）は分割後、第３図は本
発明装置の実施例の要部断面図である。 １−電子銃 １１−フィラメント１２− ウェ
ネルト １３−アノード２−収束レンズ ３−
＝対物絞り ４−走査コイル ５一対物レンズ ６−＝資料装着部 ７−二次電子検出器８−針プロ
ーブ 第１ 図 第２ 図
すもので（イ）は分割前、（ロ）は分割後、第３図は本
発明装置の実施例の要部断面図である。 １−電子銃 １１−フィラメント１２− ウェ
ネルト １３−アノード２−収束レンズ ３−
＝対物絞り ４−走査コイル ５一対物レンズ ６−＝資料装着部 ７−二次電子検出器８−針プロ
ーブ 第１ 図 第２ 図
Claims (1)
- （１）分析資料表面に電子線を走査しながら照射して、
照射面から放出される二次電子を検出し、分析資料表面
状態を解析処理して画像表示をなす走査電子顕微鏡型の
観察装置において、電子線延長線上にマイナスの高電圧
を印加した針プローブを設置し、電子線を折曲して分析
資料側面に照射して、分析資料側面を画像表示すること
を特徴とする観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2232132A JPH04112440A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2232132A JPH04112440A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 観察装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04112440A true JPH04112440A (ja) | 1992-04-14 |
Family
ID=16934501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2232132A Pending JPH04112440A (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 | 観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04112440A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007018928A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP5504277B2 (ja) * | 2009-11-26 | 2014-05-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
-
1990
- 1990-08-31 JP JP2232132A patent/JPH04112440A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007018928A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP5504277B2 (ja) * | 2009-11-26 | 2014-05-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
| US8921784B2 (en) | 2009-11-26 | 2014-12-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope |
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