JP5018708B2 - 気相処理装置、気相処理方法および基板 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に従った気相処理装置の実施の形態1を示す断面模式図である。図2は、図1の線分II−IIにおける断面模式図である。図1および図2を参照して、本発明による気相処理装置の実施の形態1を説明する。
図7は、本発明による気相処理装置の実施の形態2を示す断面模式図である。図7を参照して、本発明による気相処理装置の実施の形態2を説明する。
図8、本発明による気相処理装置の実施の形態3を示す断面模式図である。図8を参照して、本発明による気相処理装置の実施の形態3を説明する。
本発明の効果を説明するため、以下のような実験を行なった。
使用した気相処理装置の処理室は、断面が矩形状の管である。処理室の断面のサイズとしては、内周側の高さが12mm、幅が170mmである。処理室を構成する材料としてはステンレス鋼を用いた。また、用いたサセプタとしては、平面形状が円形状であり直径が150mmの円板状のサセプタを用いた。サセプタの材質はSiCである。なお、サセプタの材質としてSiCコートカーボンを用いてもよい。
実験では、窒化ガリウム基板上に、窒化ガリウム(GaN)膜をエピタキシャル成長させた。準備した窒化ガリウム基板の厚みは300μm、平面形状は円形状であり、その直径は50mmである。このときのサセプタの加熱温度は1300℃とした。そして、反応ガス供給部の一番底壁側から供給されるアンモニアの流量は19.5SLM(Standard Litter per Minute)とした。また、トリメチルガリウムの流量としては198μmol/分とした。また、このトリメチルガリウムのキャリアガスとしては、水素ガスを用いた。この水素ガスの流量は18SLMとした。また、反応ガス供給部の最も上方から供給されるキャリアガスとしては窒素ガス(N2)を用いた。この窒素ガスの流量としては4SLMという値を用いた。
上述した成膜処理において、基板上での膜(GaN膜)の成膜速度(成長速度)と、処理室の上壁での堆積物の形成速度(堆積速度)を測定した。具体的には、X線回折法や光干渉法などを用いてデータ(膜厚など)の測定を行なった。
上述した測定の結果、基板上での窒化ガリウムの成長速度については、条件4が最も成長速度が遅く、条件1、条件2、条件3の順番で徐々に窒化ガリウムの成長速度が速くなっていた。具体的には、条件4での窒化ガリウムの成長速度が最も高い値でほぼ1.5μm/時間(h)程度であったのに対し、条件3の場合には元も高い成長速度の値でほぼ2.7μm/時間(h)程度であった。
(使用した気相処理装置の構成)
使用した気相処理装置の処理室は、基本的に実施例1において使用した気相処理装置の処理室と同様の構成とした。ただし、処理室の上壁には、図8に示す気相処理装置1と同様に16個のガス供給口が形成されている。このガス供給口の形状は反応ガスの流れる方向に対して垂直方向(処理室の幅方向)に延在するスリット状であり、そのサイズや隣接するガス供給口の間のピッチは実施例1の装置と同様とした。反応ガスの流れる方向において、最も上流側に位置するガス供給口の位置は、サセプタの上流側端部から30mm上流側に離れた位置になっている。
実験では、窒化ガリウム基板上に、InGaN膜をエピタキシャル成長させた。準備した窒化ガリウム基板の厚みは300μm、平面形状は円形状であり、その直径は50mmである。このときのサセプタの加熱温度は780℃とした。そして、反応ガス供給部の一番底壁側から供給されるアンモニアの流量は29.5SLMとした。また、トリメチルガリウムの流量としては46μmol/分とした。また、トリメチルインジウムの流量としては37μmol/分とした。また、このトリメチルガリウムおよびトリメチルインジウムのキャリアガスとしては、窒素ガスを用いた。この窒素ガスの流量は15SLMとした。また、反応ガス供給部の最も上方から供給されるキャリアガスとしては窒素ガス(N2)を用いた。この窒素ガスの流量としては34SLMという値を用いた。
上述した成膜処理において、基板上でのInGaN膜の成膜速度(成長速度)を測定した。具体的には、X線回折法や光干渉法などを用いてデータ(膜厚など)の測定を行なった。
測定結果を図10に示す。図10は、実施例2の測定結果を示すグラフである。図10の横軸は流れ方向位置(単位:mm)を示している。具体的には、横軸のゼロはサセプタの中央部を示している。また、横軸の左方向(マイナス側)は反応ガスの流れ方向上流側を示し、横軸の右方向(プラス側)は反応ガスの流れ方向下流側を示している。図10の縦軸はInGaN膜の成長速度(単位:μm/hr)を示している。
Claims (5)
- 反応ガスを流通させる処理室と、
前記処理室の壁面において、前記反応ガスの流通方向に沿って形成されたパージガスを供給するための複数のガス導入部と、
前記複数のガス導入部において、一のガス導入部と、前記一のガス導入部と異なる他のガス導入部とのそれぞれから異なる流量で前記パージガスを前記処理室の内部に供給可能なガス供給部と、
前記処理室の内部に配置される処理対象物を搭載するサセプタとを備え、
前記ガス導入部は、前記反応ガスの流通方向に対して交差する幅方向においても前記処理室の壁面に複数形成され、
前記ガス供給部は、前記幅方向において前記壁面に形成された複数のガス導入部における前記一のガス導入部と、前記一のガス導入部と前記幅方向において異なる位置に形成された別のガス導入部とのそれぞれから異なる流量で前記パージガスを前記処理室の内部に供給可能となっており、さらに、
前記複数のガス導入部は、前記一のガス導入部および前記他のガス導入部と前記反応ガスの流通方向に沿って形成されたもう1つのガス導入部を含み、
前記ガス供給部は、前記一のガス導入部、前記他のガス導入部および前記もう1つのガス導入部のそれぞれから異なる流量で前記パージガスを前記処理室の内部に供給可能であり、
前記反応ガスの流通方向における前記一のガス導入部と前記他のガス導入部との間の第1境界部は、前記複数のガス導入部から前記パージガスを前記処理室の内部に供給しない状態で前記反応ガスによる気相処理を行なったときの処理速度の、前記反応ガスの流通方向における変化率が前記サセプタの上流側と下流側との間で変化する変化点となる位置を含むように配置され、
前記反応ガスの流通方向における前記一のガス導入部と前記もう1つのガス導入部との間の第2境界部は、前記反応ガスの流通方向における前記サセプタの上流側の端部と前記第1境界部との間の位置に配置される、気相処理装置。 - 処理室の内部に処理対象物を配置する工程と、
前記処理室の内部に反応ガスを供給して前記処理対象物に対する処理を行なう工程とを備え、
前記処理を行なう工程では、前記処理室の壁面において前記反応ガスの流通方向に沿って形成されたパージガスを供給するための複数のガス導入部における一のガス導入部と、前記一のガス導入部と異なる他のガス導入部とのそれぞれから異なる流量で前記パージガスが供給され、
前記ガス導入部は、前記反応ガスの流通方向に対して交差する幅方向においても前記処理室の壁面に複数形成され、
前記処理を行なう工程では、前記幅方向において前記壁面に形成された複数のガス導入部における前記一のガス導入部と、前記一のガス導入部と前記幅方向において異なる位置に形成された別のガス導入部とのそれぞれから異なる流量で前記パージガスが供給され、さらに、
前記処理を行なう工程において、前記処理対象物はサセプタ上に搭載され、
前記複数のガス導入部は、前記一のガス導入部および前記他のガス導入部と前記反応ガスの流通方向に沿って形成されたもう1つのガス導入部を含み、
前記反応ガスの流通方向における前記一のガス導入部と前記他のガス導入部との間の第1境界部は、前記複数のガス導入部から前記ガスを前記処理室の内部に供給しない状態で前記反応ガスによる気相処理を行なったときの処理速度の、前記反応ガスの流通方向における変化率が前記サセプタの上流側と下流側との間で変化する変化点となる位置を含むように配置され、
前記反応ガスの流通方向における前記一のガス導入部と前記もう1つのガス導入部との間の第2境界部は、前記反応ガスの流通方向における前記サセプタの上流側の端部と前記第1境界部との間の位置に配置され、
前記処理を行なう工程では、前記1のガス導入部と前記他のガス導入部と前記もう1つのガス導入部とのそれぞれから異なる流量で前記パージガスが供給されている、気相処理方法。 - 前記ガス導入部から供給される前記パージガスは、2種以上のガスを含む、請求項2に記載の気相処理方法。
- 前記処理を行なう工程では、前記反応ガスの流通方向に沿った方向において、前記複数のガス導入部のうち相対的に下流側に位置する前記ガス導入部での前記パージガスの流量が、相対的に上流側に位置する前記ガス導入部での前記パージガスの流量より多くなっている、請求項2または3に記載の気相処理方法。
- 請求項2〜4のいずれか1項に記載の気相処理方法を用いて製造された基板。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008232493A JP5018708B2 (ja) | 2007-12-11 | 2008-09-10 | 気相処理装置、気相処理方法および基板 |
US12/330,904 US8628616B2 (en) | 2007-12-11 | 2008-12-09 | Vapor-phase process apparatus, vapor-phase process method, and substrate |
US13/231,446 US8349403B2 (en) | 2007-12-11 | 2011-09-13 | Vapor-phase process apparatus, vapor-phase process method, and substrate |
US13/270,891 US8349083B2 (en) | 2007-12-11 | 2011-10-11 | Vapor-phase process apparatus, vapor-phase process method, and substrate |
US13/716,886 US20130108788A1 (en) | 2007-12-11 | 2012-12-17 | Vapor-phase process apparatus, vapor-phase process method, and substrate |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007319735 | 2007-12-11 | ||
JP2007319735 | 2007-12-11 | ||
JP2008232493A JP5018708B2 (ja) | 2007-12-11 | 2008-09-10 | 気相処理装置、気相処理方法および基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009164570A JP2009164570A (ja) | 2009-07-23 |
JP5018708B2 true JP5018708B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=40966781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008232493A Expired - Fee Related JP5018708B2 (ja) | 2007-12-11 | 2008-09-10 | 気相処理装置、気相処理方法および基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5018708B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011035201A (ja) * | 2009-08-03 | 2011-02-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 気相処理装置、気相処理方法および基板 |
JP5968776B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-08-10 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置 |
JP6009347B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-10-19 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置 |
JP6103928B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2017-03-29 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置 |
JP6001443B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-10-05 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置および膜の製造方法 |
JP6087620B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2017-03-01 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置 |
JP6118105B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2017-04-19 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置および膜の製造方法 |
JP5973344B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-08-23 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置および膜の製造方法 |
JP6001444B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-10-05 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置および膜の製造方法 |
JP6009348B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2016-10-19 | 昭和電工株式会社 | 成膜装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05175135A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-07-13 | Ulvac Japan Ltd | 光cvd装置 |
JPH0677196A (ja) * | 1992-08-24 | 1994-03-18 | Fujitsu Ltd | 割り型バッチ式熱処理装置 |
JP3342118B2 (ja) * | 1993-06-29 | 2002-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
JP3572211B2 (ja) * | 1998-12-28 | 2004-09-29 | 京セラ株式会社 | 半導体製造装置用ガス導入ノズル |
JP2001284269A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-12 | Shiro Sakai | 気相成長装置及び方法 |
JP3953984B2 (ja) * | 2003-06-13 | 2007-08-08 | 有限会社マイクロシステム | 半導体製造装置 |
-
2008
- 2008-09-10 JP JP2008232493A patent/JP5018708B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009164570A (ja) | 2009-07-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110324 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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