JP5018353B2 - プローバ - Google Patents
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Description
前記載置台に設けられ、当該載置台を冷却するための冷却用気体を通流させるための通流路と、
乾燥気体供給源からの乾燥気体を取り込み、熱交換を行って冷却設備に供給するための熱交換器と、
前記冷却設備にて冷却された前記乾燥気体を冷却用気体として前記通流路に供給するための気体供給ポートと、
前記通流路からの乾燥気体を前記熱交換器を通って排出するための気体排出路と、
前記気体排出路を流れる乾燥気体を加熱する加熱手段と、
前記熱交換器における熱交換と前記加熱手段による加熱とにより昇温された乾燥気体を結露防止のために検査雰囲気に供給する気体供給部と、を備え、
前記熱交換器は前記気体排出路内を流れる乾燥気体と前記乾燥気体供給源から供給される乾燥気体との間で熱交換を行うためのものであることを特徴とする。
また前記熱交換器及び加熱手段は、上流側からこの順に設けられていることが好ましい。
前記筐体30の上面部には、複数のプローブ針81が垂直に装着されたプローブカード80が水平に取り付けられている。前記プローブカード80の上面側には、各プローブ針81に電気的に接続する電極群が形成されており、この電極群と図示しないテストヘッドとの間で信号の授受を行うことにより、前記ウエハWに形成された回路の電気的特性を検査するように構成されている。
前記載置台50内には、当該載置台50を検査レシピに応じた設定温度に冷却するために、冷却用気体である乾燥空気を通流させるための通流路54が配設されている。一方筐体30内の用力系収納領域33には、乾燥気体例えば乾燥空気を冷却設備4に導くための第1の気体供給管60が配管されている。この第1の気体供給管60の上流側には、バルブ等のガス供給制御機構70及び乾燥空気供給源71が設けられている。この乾燥空気供給源71は例えばガスボンベであり、プローバ3に隣接して設けられている。
3 プローバ
30 筐体
31 仕切り板
32 検査領域
33 用力系収納領域
4 冷却設備
41 熱交換器
50 載置台
54a 気体供給ポート
54b 気体排出ポート
61 熱交換器
60 第1の気体供給管
62 第2の気体供給管
63 気体排出管
64 加熱手段
65 気体供給部
80 プローブカード
81 プローブ針
Claims (4)
- 筐体内に設けられた載置台に被検査基板を載せ、この載置台を介して前記被検査基板を冷却しながら、当該被検査基板に形成された回路の電極パッドにプローブカードのプローブを接触させて前記回路の電気的特性を検査するプローバにおいて、
前記載置台に設けられ、当該載置台を冷却するための冷却用気体を通流させるための通流路と、
乾燥気体供給源からの乾燥気体を取り込み、熱交換を行って冷却設備に供給するための熱交換器と、
前記冷却設備にて冷却された前記乾燥気体を冷却用気体として前記通流路に供給するための気体供給ポートと、
前記通流路からの乾燥気体を前記熱交換器を通って排出するための気体排出路と、
前記気体排出路を流れる乾燥気体を加熱する加熱手段と、
前記熱交換器における熱交換と前記加熱手段による加熱とにより昇温された乾燥気体を結露防止のために検査雰囲気に供給する気体供給部と、を備え、
前記熱交換器は前記気体排出路内を流れる乾燥気体と前記乾燥気体供給源から供給される乾燥気体との間で熱交換を行うためのものであることを特徴とするプローバ。 - 前記熱交換器及び加熱手段は、前記筐体内において、前記載置台が置かれ、基板を検査するための検査領域とは仕切り板により仕切られた雰囲気に配置されていることを特徴とする請求項1記載のプローバ。
- 前記熱交換器及び加熱手段は、前記検査領域の下方に設置されていることを特徴とする請求項2記載のプローバ。
- 前記熱交換器及び加熱手段は、上流側からこの順に設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のプローバ。
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JP2007229297A JP5018353B2 (ja) | 2007-09-04 | 2007-09-04 | プローバ |
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Family Applications (1)
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