JP5015721B2 - 欠陥検査装置、欠陥検査プログラム、図形描画装置および図形描画システム - Google Patents

Description

この発明は、描画すべき図形を記述した入力データをＲＩＰ処理することによって取得され、図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を検査する技術に関する。例えば、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」という）の回路パターンをＣＡＤデータから直接レジスト上に描画する際に供されるランレングスデータの欠陥を検査する技術に関する。

近年の半導体集積回路の高集積化、複雑化に伴い、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の少品種大量生産のビジネスモデルから、システムＬＳＩ等の多品種少量生産のビジネスモデルへの転換が必須となってきている。また、システムＬＳＩ等の回路パターンは年々微細化してきており、その開発費は膨大なものとなってきている。

従来より、基板に対するパターン描画（より具体的には、フォトリソグラフィによるパターン描画（露光））は、ＣＡＤシステムにより作成・編集された回路パターンをレーザでフィルムに描画することによってフォトマスクを作成し、当該フォトマスクを用いて回路パターンを基板に転写する方式がとられていた。ところがこのフォトマスクは、高精度に微細加工されたものであるため非常に高価であり、コスト面から見て多品種少量生産には不向きであるという問題があった。

そこで、システムＬＳＩ等の開発費を削減すべく、フォトマスクを用いないパターン描画方式（すなわち、フォトマスクを使わず、ＣＡＤデータから直接レジスト上に回路パターンを描画する方式であり、以下において「直接描画方式」という。）が導入されてきている。

直接描画方式により回路パターンを描画する装置（以下において「直接描画装置」という。）においては、描画すべき回路パターンを記述したＣＡＤデータをＲＩＰ(Raster Image Processor)処理して得られるランレングスデータ（複数の水平方向（あるいは、垂直方向）の線分の始点位置および長さによって記述されたデータ）を解釈して描画を実行する。

ところで、ＲＩＰ処理によって取得されたランレングスデータには、ＲＩＰ処理における誤変換等に起因して、欠陥（すなわち、ＣＡＤデータの記述内容との差異）が発生している場合がある。ランレングスデータに欠陥が生じていると、正しい描画が行われないこととなってしまう。したがって、描画を実行するにあたっては、欠陥のないランレングスデータに基づいて正しい描画を実行可能か否かを検証する工程を実行しなければならない。

フォトマスクを用いたパターン描画方式の場合、描画の実行前に必ずフォトマスクが生成される。したがって、このフォトマスクを検査することによって、正しい描画を実行可能か否かを検証することができる。

しかしながら、フォトマスクを用いない直接描画方式の場合には、フォトマスクが生成されることなく描画が実行されるので、フォトマスクを利用してランレングスデータの欠陥を検査することはできない。そこで従来においては、直接描画方式の場合には、一旦基板に対する描画を実行し、描画された回路パターンを検査していた。例えば、現像後の基板の回路パターンを目視で確認することによって、もしくは、現像後の基板の回路パターンを撮像して得られた画像（撮像画像）を検査することによって、欠陥を検査していた（特許文献１参照）。

この構成によると、一旦描画を実行してからでなければランレングスデータの欠陥を検出することができない。すなわち、ＲＩＰ処理によって取得されたランレングスデータに欠陥が生じていても描画の実行前にその欠陥が検出できないため、欠陥のあるランレングスデータに基づく描画処理が実行されることとなり、当該描画処理によって得られた基板は無駄になってしまう。

このような無駄な試料の発生を防止すべく、ランレングスデータの欠陥を描画の実行前に検出することを可能とする技術も提案されている。例えば、ＲＩＰ処理によってＣＡＤデータから得られたランレングスデータ（描画に用いられるランレングスデータ）と、当該ＲＩＰ処理とは別のアルゴリズムを用いて当該ＣＡＤデータから得られるランレングスデータ（検証用のランレングスデータ）とを比較して、描画に用いられるランレングスデータに生じている欠陥を検出する方法が提案されている（特許文献２参照）。

特開２００１−３３７０４１号公報 特開２００４−５６０６８号公報

上記の構成によると、描画を実行する前にランレングスデータの欠陥を検出できるため、試料が無駄になることがないという利点がある。しかしながら、この構成では、実際に描画に用いられるランレングスデータを取得するためのＲＩＰ処理を実行する機能部の他に、当該ＲＩＰ処理とは別のアルゴリズムで規定されるＲＩＰ処理を実行する機能部が必要となってしまう。すなわち、複数個のＲＩＰ処理機能部が必要となり、欠陥の検出にあたって複数回のＲＩＰ処理が必要となってしまう。これでは、欠陥の検出に係る処理負担が増大し、処理時間も長くなってしまう。

したがって、より簡易な構成で、描画を実行する前にランレングスデータの欠陥を検出することを可能とする技術が求められていた。

この発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、簡易な構成で、図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を描画の実行前に検出することができる技術を提供することを目的としている。

請求項１の発明は、図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、を備える。

請求項２の発明は、請求項１に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記入力データと前記ランレングスデータとのうちの少なくとも一方のデータに対して所定の変換処理を実行して両データを互いに比較可能なデータ形式に揃えるデータ形式変換手段、を備える。

請求項３の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、を備え、前記欠陥検出手段が、前記図形化ランレングスデータと前記入力データとの排他的論理和を演算することによって、前記差異領域を特定した差異領域データを取得する差異領域特定手段、をさらに備える。

請求項４の発明は、請求項３に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記差異領域データと前記図形化ランレングスデータとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、をさらに備える。

請求項５の発明は、請求項３または４に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記差異領域データと前記入力データとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、をさらに備える。

請求項６の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、を備え、前記欠陥検出手段が、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第１の差分領域データを取得する第１差分領域取得手段と、前記第１の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、をさらに備える。

請求項７の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、を備え、前記欠陥検出手段が、前記入力データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第２の差分領域データを取得する第２差分領域取得手段と、前記第２の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、をさらに備える。

請求項８の発明は、請求項３に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第１の差異差分領域データを取得する第１差異差分領域取得手段と、前記第１の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、をさらに備える。

請求項９の発明は、請求項３に記載の欠陥検査装置であって、前記欠陥検出手段が、前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第２の差異差分領域データを取得する第２差異差分領域取得手段と、前記第２の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、をさらに備える。

請求項１０の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記ランレングスデータに第１の画像化処理を実行して、前記ランレングスデータを画像化した画像化ランレングスデータを取得するランレングスデータ画像化手段と、前記入力データに第２の画像化処理を実行して、前記入力データを画像化した画像化入力データを取得する入力データ画像化手段と、を備え、前記欠陥検出手段が、前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較することによって、前記差異領域を特定する差異領域特定手段、をさらに備える。

請求項１１の発明は、請求項１０に記載の欠陥検査装置であって、前記差異領域特定手段が、前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化ランレングスデータにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域として特定する。

請求項１２の発明は、請求項１０または１１に記載の欠陥検査装置であって、前記差異領域特定手段が、前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化入力データにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域として特定する。

請求項１３の発明は、請求項２に記載の欠陥検査装置であって、前記データ形式変換手段が、前記入力データに座標値化処理を実行して、前記入力データに含まれる１以上の図形のそれぞれを座標値の集合によって記述した座標値化入力データを取得する入力データ座標値化手段、を備え、前記欠陥検出手段が、前記ランレングスデータに含まれる複数のランの始点および終点の位置と、前記座標値化入力データに含まれる複数の座標値のうちの所定の座標値とを比較することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域と、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのに前記ランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域とをそれぞれ特定する差異領域特定手段、をさらに備える。

請求項１４の発明は、請求項４、６、８、１１および１３のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、前記余分欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記余分欠陥領域に生成されている前記ランデータを削除する余分欠陥修復手段、を備える。

請求項１５の発明は、請求項５、７、９、１２および１３のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、前記欠落欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記欠落欠陥領域に新たに前記ランデータを生成する欠落欠陥修復手段、を備える。

請求項１６の発明は、請求項１から１５のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、前記ランレングスデータが、基板に前記パターンを描画するのに供される。

請求項１７の発明は、コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得機能と、前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得されたランレングスデータを取得するランレングスデータ取得機能と、前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出機能と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復機能と、を実現させる。

請求項１８の発明は、ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画装置であって、描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、前記描画用ランレングスデータに基づいて、前記出力媒体に図形を描画する描画手段と、を備える。

請求項１９の発明は、請求項１８に記載の図形描画装置であって、前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、前記描画手段が、前記ＣＡＤデータがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画する。

請求項２０の発明は、ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画システムであって、前記ランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置と、前記欠陥検査装置から描画用ランレングスデータを取得し、前記描画用ランレングスデータに基づいて前記出力媒体に図形を描画する描画装置と、を備え、前記欠陥検査装置が、描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、前記描画用ランレングスデータを前記描画装置に送信する描画用ランレングスデータ送信手段と、を備える。

請求項２１の発明は、請求項２０に記載の図形描画システムであって、前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、前記描画装置が、前記ＣＡＤデータがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画する。

請求項１〜２１に記載の発明によると、ＲＩＰ処理前後のデータ、すなわち、入力データとランレングスデータとを比較することによって、ランレングスデータの欠陥を検出するので、ランレングスデータに基づく描画を実行しなくても、ランレングスデータに生じている欠陥を検出することができる。また、ランレングスデータに欠陥が検出された場合に、当該欠陥を修復するので、欠陥のないランレングスデータを取得することができる。

特に、請求項１６に記載の発明によると、ランレングスデータに基づいて基板に対するパターンの描画を実行する前に、ランレングスデータに生じている欠陥を検出することができる。したがって、欠陥のあるランレングスデータに基づいて基板に対する描画処理が実行されて無駄な試料が生じてしまう、といった事態を未然に防止することができる。

特に、請求項１８〜２１に記載の発明によると、ランレングスデータに欠陥が検出された場合には、修復ランレングスデータに基づいて図形の描画を実行する。したがって、欠陥の修復されたランレングスデータに基づいて正しく図形の描画を実行することができる。

〔第１の実施の形態〕
〈１．構成〉
〈１ａ．図形描画システムの全体構成〉
この発明の第１の実施の形態に係る図形描画システム１００について、図１を参照しながら説明する。図１は、図形描画システム１００の全体構成を示す図である。

図形描画システム１００は、ＣＡＤ装置１と、ＲＩＰ装置２と、欠陥検査装置３と、描画装置４とを備える。これら各装置１〜４は、ＬＡＮ等のネットワークＮを介して互いに接続されている。

ＣＡＤ装置１は、描画すべき図形を記述したデータを作成・編集する装置であり、当該データをベクトルデータであるＣＡＤデータとして出力する。ＣＡＤデータは、ストリームフォーマット（例えば、ＧＤＳII）と呼ばれるセル階層を有するデータフォーマットで表現されている。各セル階層には、少なくとも１以上の図形に関する情報（例えば、図形の位置および形状に関する情報であり、具体的には、図形の頂点位置座標等）やセル参照情報が保有されている。以下において、ＣＡＤ装置１から出力されたＣＡＤデータを「入力ＣＡＤデータＤ１」という。

ＲＩＰ装置２は、ＣＡＤ装置１から入力ＣＡＤデータＤ１を取得し、当該取得した入力ＣＡＤデータＤ１をＲＩＰ展開して、ランレングスデータに変換して出力する。より具体的には、ベクトルデータである入力ＣＡＤデータＤ１をラスタイメージデータ（すなわち、第１の方向に複数の画素を形成する二値画像データを配列したデータ（ラインデータ）を、第１の方向と直交する第２の方向に多数配列して構成されるデータ）に変換する。さらに、このラスタイメージデータをランレングス符号化処理し、圧縮されたランレングスデータとして出力する。より具体的には、ラインデータを単位として、ビットマップデータを第２の方向の先頭ラインから最終ラインまで順次ランレングス符号化処理し、圧縮されたランレングスデータに変換する。得られたランレングスデータは、図４に示すように、入力ＣＡＤデータＤ１における図形領域が、複数の水平方向の線分（ランＬｉ（ｉ＝１，２，・・））の始点位置および長さによって記述されたデータとなる。以下において、ＲＩＰ装置２から出力されたランレングスデータを「ランレングスデータＤ２」という。

欠陥検査装置３は、描画に供されるランレングスデータＤ２の欠陥を検査する。すなわち、ＣＡＤ装置１から入力ＣＡＤデータＤ１を、ＲＩＰ装置２からランレングスデータＤ２を、それぞれ取得し、当該取得した２つのデータに基づいてランレングスデータＤ２の欠陥を検査する。また、欠陥検査装置３は、描画装置４に対して、描画に用いるべきランレングスデータ（「描画用ランレングスデータＴ」）を送信する。すなわち、ランレングスデータＤ２に欠陥が検出された場合には、当該欠陥を修復したデータ（「修復ランレングスデータＤ４」（図６参照））を、描画用ランレングスデータＴとして描画装置４に送信する。また、ランレングスデータＤ２に欠陥が検出されなかった場合には、ランレングスデータＤ２をそのまま描画用ランレングスデータＴとして描画装置４に送信する。欠陥検査装置３の具体的な構成については後に詳述する。

描画装置４は、出力媒体上に図形を描画する装置である。すなわち、欠陥検査装置３から描画用ランレングスデータＴを取得し、当該取得した描画用ランレングスデータＴに基づいて図形の描画を実行する。より具体的には、描画用ランレングスデータＴをビットマップデータに展開し、このビットマップデータに基づいて、出力媒体に二次元画像を記録する。

なお、この実施の形態においては、ＣＡＤ装置１は、基板に露光記録すべきＬＳＩ等の回路パターンの描画データを作成して入力ＣＡＤデータＤ１として出力するものとする。また、描画装置４は、ＣＡＤ装置１にて作成された回路パターンを基板上に直接に描画（露光）する装置であるとする。

〈１ｂ．欠陥検査装置の構成〉
〈１ｂ−１．ハードウェア構成〉
欠陥検査装置３のハードウェア構成について、図２を参照しながら説明する。図２は、欠陥検査装置３のハードウェア構成を示す概略図である。

欠陥検査装置３は、制御部１１と、ＲＯＭ１２と、ＲＡＭ１３と、メディアドライブ１４と、操作部１５と、表示部１６とをバスライン１７を介して電気的に接続した構成となっている。

制御部１１は、ＣＰＵで構成されている。制御部１１は、ＲＯＭ１２に記憶されたプログラム（または、メディアドライブ１４によって読み込まれたプログラム）Ｐに基づいて、上記のハードウェア各部を制御し、欠陥検査装置３の機能を実現する。

ＲＯＭ１２は、欠陥検査装置３の制御に必要なプログラムＰやデータを予め格納した読み出し専用の記憶装置である。

ＲＡＭ１３は、読み出しと書き込みとが可能な記憶装置であり、制御部１１による演算処理の際に発生するデータなどを一時的に記憶する。ＲＡＭ１３はＳＲＡＭやフラッシュメモリなどで構成される。

メディアドライブ１４は、記録媒体（より具体的には、ＣＤーＲＯＭ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）、フレキシブルディスクなどの可搬性の記録媒体）Ｍからその中に記憶されている情報を読み出す機能部である。

操作部１５は、キーボードおよびマウスによって構成される入力デバイスであり、コマンドや各種データの入力といったユーザ操作を受け付ける。操作部１５が受けたユーザ操作は信号として制御部１１に入力される。

表示部１６は、モニタ等を備え、各種のデータや欠陥検査装置３の動作状態などを表示する。

〈１ｂ−２．機能的構成〉
欠陥検査装置３の機能的構成について、図３、図４を参照しながら説明する。図３は、欠陥検査装置３の機能的構成を示す概略図である。図４は、欠陥検査装置３において実行される欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。

欠陥検査装置３は、ＣＡＤデータ取得部３１と、ランレングスデータ取得部３２と、欠陥検出部３３と、欠陥修復部３４と、描画用ランレングスデータ取得部３５と、描画用ランレングスデータ送信部３６とを備える。これら各部の機能は、ＲＯＭ１２等に予め格納されたプログラムＰ、あるいは記録媒体Ｍに記録されているプログラムＰが読み出され、制御部１１において実行されることにより実現される。

ＣＡＤデータ取得部３１は、ＣＡＤ装置１から、ネットワークＮを介して、描画すべき図形を記述した入力ＣＡＤデータＤ１（すなわち、検査対象となるランレングスデータＤ２をＲＩＰ展開する前のデータ）を取得する。

ランレングスデータ取得部３２は、ＲＩＰ装置２からネットワークＮを介して、図形の描画に供されるランレングスデータＤ２（すなわち、描画すべき図形を記述した入力ＣＡＤデータＤ１をＲＩＰ展開して取得されたデータ）を取得する。

欠陥検出部３３は、ランレングスデータＤ２の欠陥を検出する。より具体的には、入力ＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２とを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域をランレングスデータＤ２の欠陥領域として検出する。欠陥検出部３３は、変換処理部３３１と、差異領域特定部３３２と、余分欠陥領域特定部３３３と、欠落欠陥領域特定部３３４とを備える。

変換処理部３３１は、互いに異なる形式で記述されている入力ＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２との少なくとも一方に所定の変換処理を実行して、互いに比較可能なデータ形式に揃えられた比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２とを取得する（図４参照）。変換処理部３３１は、比較入力ＣＡＤデータ取得部３３１１と、比較ランレングスデータ取得部３３１２とを備える。

比較入力ＣＡＤデータ取得部３３１１は、ＣＡＤデータ取得部３１が取得した入力ＣＡＤデータＤ１を、そのまま、比較ＣＡＤデータＦ１として取得する（図４参照）。

比較ランレングスデータ取得部３３１２は、ランレングスデータ取得部３２が取得したランレングスデータＤ２に対して「図形化処理」を実行し、当該処理を実行して得られた図形化ランレングスデータＤ２２を比較ランレングスデータＦ２として取得する（図４参照）。

「図形化処理」とは、複数のランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）によって記述されたデータであるランレングスデータＤ２を、図形によって記述するデータ形式に変換する処理である。図形化処理について、図５を参照しながら説明する。図５は、図形化処理を説明するための模式図である。

図形化処理においては、まず、ランレングスデータＤ２を構成する複数のランＬｉのそれぞれを長方形に図形化する。すなわち、各ランＬｉを、Ｘ方向についての長さがランＬｉの線分の長さに等しく、Ｙ方向についての長さがランＬｉ間のＹ方向についての距離に等しい長方形図形Ｒｉ（ｉ＝１，２，・・・）に変換する。これによって、ランレングスデータＤ２が、複数のランＬｉによって記述されたデータから、複数の長方形図形Ｒｉによって記述されたデータＤ２１に変換されることになる。

続いて、複数の長方形図形Ｒｉをマージして（複数の長方形図形Ｒｉの論理和（ＯＲ）を演算して）、各長方形図形Ｒｉのマージ領域を抽出する。これによって、ランレングスデータＤ２によって記述される領域が図形化され、図形化ランレングスデータＤ２２が取得されることになる。

再び図３を参照する。差異領域特定部３３２は、比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２とを比較して、両データの差異を検出する。より具体的には、比較ＣＡＤデータＦ１（すなわち、ここでは入力ＣＡＤデータＤ１）と比較ランレングスデータＦ２（すなわち、ここでは図形化ランレングスデータＤ２２）との排他的論理和（ＸＯＲ）を演算して、両データ間の差異領域を特定した差異領域データＤ３を取得する（図４参照）。両データ間に差異領域がある場合には、当該差異領域がランレングスデータＤ２の欠陥領域として検出されることになる。

余分欠陥領域特定部３３３は、差異領域データＤ３と比較ランレングスデータＦ２（すなわち、図形化ランレングスデータＤ２２）との論理積（ＡＮＤ）を演算して、「余分欠陥領域Ａｅ」を特定した余分欠陥領域データＤ３ａを取得する（図４参照）。ただし、「余分欠陥領域Ａｅ」とは、ＲＩＰ処理において、本来作成すべきでない領域に余分に作成されてしまったデータ領域（すなわち、ランレングスデータＤ２において入力ＣＡＤデータＤ１が存在しないのにランデータが生成されている領域）である。つまり、余分欠陥領域特定部３３３は、差異領域データＤ３によって規定される領域（すなわち、入力ＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２との差異領域）のうち、図形化ランレングスデータＤ２２に存在する領域のみを抽出することによって、余分欠陥領域Ａｅを特定する。

欠落欠陥領域特定部３３４は、差異領域データＤ３と比較ＣＡＤデータＦ１（すなわち、入力ＣＡＤデータＤ１）との論理積（ＡＮＤ）を演算して、「欠落欠陥領域Ａｆ」を特定した欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する（図４参照）。ただし、「欠落欠陥領域Ａｆ」とは、ＲＩＰ処理において、本来作成されるべき領域に作成されなかったデータ領域（すなわち、ランレングスデータＤ２において入力ＣＡＤデータＤ１が存在するのにランデータが生成されていない領域）である。つまり、欠落欠陥領域特定部３３４は、差異領域データＤ３によって規定される領域のうち、入力ＣＡＤデータＤ１に存在する領域のみを抽出することによって、欠落欠陥領域Ａｆを特定する。

欠陥修復部３４は、欠陥検出部３３がランレングスデータＤ２に欠陥を検出した場合に、当該ランレングスデータＤ２に対して欠陥修復処理を実行し、修復ランレングスデータＤ４を取得する。欠陥修復部３４は、余分欠陥修復部３４１と、欠落欠陥修復部３４２とを備える。

余分欠陥修復部３４１は、余分欠陥領域Ａｅが検出された場合に、当該余分欠陥領域Ａｅを修復する。より具体的には、図６に示すように、余分欠陥領域特定部３３３が取得した余分欠陥領域データＤ３ａに基づいてランレングスデータＤ２における余分欠陥領域Ａｅを特定し（例えば、欠陥領域の頂点座標値によって欠陥領域を特定し）、当該領域に存在するランデータを削除する処理を実行する。これにより、ランレングスデータＤ２の余分欠陥が修復される。

欠落欠陥修復部３４２は、欠落欠陥領域Ａｆが検出された場合に、当該欠落欠陥領域Ａｆを修復する。より具体的には、図６に示すように、欠落欠陥領域特定部３３４が取得した欠落欠陥領域データＤ３ｂに基づいてランレングスデータＤ２における欠落欠陥領域Ａｆを特定し、当該領域について再度ＲＩＰ処理を実行して新たなランデータを生成する。さらに、新たに生成されたランデータの近傍にランデータが存在する場合には、新たに生成されたランデータを当該近傍のランデータと結合する。これにより、ランレングスデータＤ２の欠落欠陥が修復された修復ランレングスデータＤ４が取得される。

描画用ランレングスデータ取得部３５は、描画に用いるべきランレングスデータである描画用ランレングスデータＴを取得する。より具体的には、欠陥検出部３３が検査対象のランレングスデータＤ２に欠陥を検出しない場合には、当該ランレングスデータＤ２をそのまま描画用ランレングスデータＴとして取得し、欠陥検出部３３が検査対象のランレングスデータＤ２に欠陥を検出した場合には、欠陥修復部３４によって取得された修復ランレングスデータＤ４を描画用ランレングスデータＴとして取得する。

描画用ランレングスデータ送信部３６は、描画用ランレングスデータ取得部３５が取得した描画用ランレングスデータＴを描画装置４に送信する。描画装置４は、描画用ランレングスデータ送信部３６から受信した描画用ランレングスデータＴに基づいて描画を実行することになる。

〈２．処理動作〉
〈２ａ．図形描画システムにおける処理動作〉
ここで、図形描画システム１００が実行する処理について、図７を参照しながら説明する。図７は、入力ＣＡＤデータＤ１を取得してから図形の描画を実行するまでの処理の流れを示す図である。

はじめに、ＣＡＤ装置１が、基板に露光記録すべき回路パターンの描画データを作成して、入力ＣＡＤデータＤ１としてＲＩＰ装置２に送信する（ステップＳ１）。

続いて、ＲＩＰ装置２から入力ＣＡＤデータＤ１を取得したＲＩＰ装置２が、当該取得した入力ＣＡＤデータＤ１をＲＩＰ展開して、ランレングスデータＤ２を出力する（ステップＳ２）。

続いて、欠陥検査装置３が、ステップＳ２で出力されたランレングスデータＤ２をＲＩＰ装置２から取得し、当該取得したランレングスデータＤ２の欠陥を検査した上で、描画用ランレングスデータＴを取得して描画装置４に送信する（ステップＳ３）。ステップＳ３の具体的な処理の流れについては後に詳述する。

続いて、欠陥検査装置３から描画用ランレングスデータＴを取得した描画装置４が、当該取得した描画用ランレングスデータＴに基づいて描画処理を実行する（ステップＳ４）。すなわち、基板上に二次元画像である回路パターンを露光する。

以上が、図形描画システム１００において実行される一連の描画処理である。次に、欠陥検査装置３において実行される処理（ステップＳ３）について説明する。

〈２ｂ．欠陥検査装置３における処理動作〉
欠陥検査装置３が実行する処理（すなわち、欠陥検査処理および欠陥修復処理）について、図８を参照しながらより具体的に説明する。図８は、欠陥検査装置３において実行される欠陥検査処理および欠陥修復処理の流れを示す図である。

はじめに、ＣＡＤデータ取得部３１が、ＣＡＤ装置１から入力ＣＡＤデータＤ１を取得する（ステップＳ１１）。また、ランレングスデータ取得部３２が、ＲＩＰ装置２からランレングスデータＤ２を取得する（ステップＳ１２）。

続いて、欠陥検出部３３が、ステップＳ１２で取得されたランレングスデータＤ２の欠陥を検出する（ステップＳ１３〜ステップＳ１６）。

すなわち、まず、変換処理部３３１が、互いに比較可能なデータ形式に揃えられた比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２とを取得する（ステップＳ１３）。より具体的には、比較入力ＣＡＤデータ取得部３３１１が、入力ＣＡＤデータＤ１（すなわち、ステップＳ１１でＣＡＤデータ取得部３１が取得したデータ）を、そのまま、比較ＣＡＤデータＦ１として取得する。また、比較ランレングスデータ取得部３３１２が、ランレングスデータＤ２（すなわち、ステップＳ１２でランレングスデータ取得部３２が取得したデータ）に対して図形化処理を実行し、当該処理を実行して得られた図形化ランレングスデータＤ２２を比較ランレングスデータＦ２として取得する。

続いて、差異領域特定部３３２が、比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２との排他的論理和を演算して、両データ間の差異領域を特定した差異領域データＤ３を取得する（ステップＳ１４）。

続いて、余分欠陥領域特定部３３３が、ステップＳ１４で取得された差異領域データＤ３と、ステップＳ１３で取得された比較ランレングスデータＦ２（すなわち、図形化ランレングスデータＤ２２）との論理積（ＡＮＤ）を演算して、余分欠陥領域Ａｅを特定した余分欠陥領域データＤ３ａを取得する（ステップＳ１５）。

続いて、欠落欠陥領域特定部３３４が、ステップＳ１４で取得された差異領域データＤ３と、ステップＳ１３で取得された比較ＣＡＤデータＦ１（すなわち、入力ＣＡＤデータＤ１）との論理積（ＡＮＤ）を演算して、欠落欠陥領域Ａｆを特定した欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する（ステップＳ１６）。

なお、ステップＳ１５の処理とステップＳ１６の処理とは実行順序が逆でもよい。すなわち、欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する処理と、余分欠陥領域データＤ３ａを取得する処理とはいずれを先に行ってもよい。

続いて、欠陥修復部３４が、欠陥検出部３３がランレングスデータＤ２の欠陥を検出したか否か（すなわち、差異領域が検出されたか否か）をステップＳ１４において取得された差異領域データＤ３に基づいて判断する（ステップＳ１７）。

ステップＳ１７で欠陥が検出されていると判断した場合には、欠陥修復部３４は当該検出された欠陥を修復して修復ランレングスデータＤ４を取得する（ステップＳ１８）。より具体的には、まず、余分欠陥修復部３４１が余分欠陥を修復する。すなわち、ステップＳ１５で取得された余分欠陥領域データＤ３ａに基づいてランレングスデータＤ２における余分欠陥領域Ａｅを特定し、当該領域に存在するランデータを削除することによって、余分欠陥を修復する。また、欠落欠陥修復部３４２が欠落欠陥を修復する。すなわち、ステップＳ１６で取得された欠落欠陥領域データＤ３ｂに基づいてランレングスデータＤ２における欠落欠陥領域Ａｆを特定し、当該領域について再度ＲＩＰ処理を実行して新たなランデータを生成することによって、欠落欠陥を修復する。これらの処理を実行することによって、修復ランレングスデータＤ４が取得される。

続いて、描画用ランレングスデータ取得部３５が、ステップＳ１８で取得された修復ランレングスデータＤ４を描画用ランレングスデータＴとして取得する（ステップＳ１９）。

一方、ステップＳ１７で欠陥が検出されていないと判断した場合には、ステップＳ１８の処理を実行せずにステップＳ２０の処理に進む。ステップＳ２０では、描画用ランレングスデータ取得部３５が、ステップＳ１２で取得されたランレングスデータＤ２を描画用ランレングスデータＴとして取得する（ステップＳ２０）。

ステップＳ１９もしくはステップＳ２０のいずれかの処理が実行されることによって描画用ランレングスデータＴが取得されると、描画用ランレングスデータ送信部３６が、当該取得された描画用ランレングスデータＴを描画装置４に送信する（ステップＳ２１）。描画装置４は描画用ランレングスデータＴに基づいて描画を実行することになる（図７のステップＳ４）。以上が、欠陥検査装置３において実行される一連の処理である。

〈３．効果〉
上記の実施の形態によると、欠陥検査装置３が、ＲＩＰ処理前後のデータ、すなわち、入力ＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２とを比較することによって、ランレングスデータＤ２の欠陥を検出するので、描画装置４がランレングスデータＤ２に基づく描画を実行する前に（すなわち、描画を実行しなくとも）、ランレングスデータＤ２に生じている欠陥を検出することができる。

また、欠陥の検出にあたって複数個のＲＩＰ処理機能部を備える必要もなく、ＲＩＰ処理を複数回実行する必要もない。したがって、簡易な構成でランレングスデータＤ２に生じている欠陥を検出することができる。

また、ランレングスデータＤ２に欠陥が検出された場合に、当該欠陥を修復して修復ランレングスデータＤ４を生成するので、欠陥のないランレングスデータを取得することができる。

また、ランレングスデータＤ２に欠陥が検出された場合は、修復ランレングスデータＤ４が描画用ランレングスデータＴとして描画装置４に送られ、描画装置４が当該描画用ランレングスデータＴに基づいて描画を実行する。したがって、描画装置４が欠陥のあるランレングスデータＤ２に基づいてパターンの描画が実行することがなく、無駄な基板が生じない。

また、上記の実施の形態によると、ＣＡＤデータに補正処理が施された場合に、その補正内容を効率よく確認することができる。すなわち、次の処理を実行することによって、ＣＡＤデータに施された補正内容を確認することができる。

まず、ＣＡＤ装置１から「補正前のＣＡＤデータ」を入力ＣＡＤデータＤ１として取得するとともに、ＲＩＰ装置２から「補正後のＣＡＤデータ」をＲＩＰ展開して取得したランレングスデータ（すなわち、補正後のＣＡＤデータから生成されたランレングスデータ）をランレングスデータＤ２として取得する。そして、取得されたＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２とを比較して両データの差異を検出し、差異領域データＤ３を取得する。この差異領域データＤ３においては、ＣＡＤデータに対して補正が行われた部分が、差異領域として検出されるはずである。すなわち、取得された差異領域データＤ３を見れば、ＣＡＤデータに対してどのような補正が行われたかを効率的に確認することができる。また、ＣＡＤデータに対する補正が行われた部分が差異領域として正しく検出されるか否かを確認することによって、生成されたランレングスデータにＣＡＤデータに対して行われた補正が正しく反映されているか否かを検証することができる。

なお、当然のことながら、ＣＡＤ装置１から「補正後のＣＡＤデータ」を入力ＣＡＤデータＤ１として取得して、補正後のＣＡＤデータから生成されたランレングスデータと比較すれば、補正後のＣＡＤデータに基づいて正しいランレングスデータが生成されているか否かを検証する（すなわち、ランレングスデータの欠陥を検出する）ことができる。

〔第２の実施の形態〕
〈１．構成〉
〈１ａ．図形描画システムの全体構成〉
この発明の第２の実施の形態に係る図形描画システムについて説明する。なお、以下においては、第１の実施の形態と相違する構成について説明し、同様の構成については説明を省略する。また、同様の構成については第１の実施の形態において用いた参照符号を適宜使用する。

第２の実施の形態に係る図形描画システムは、第１の実施の形態に係る図形描画システム１００と同様、ＬＡＮ等のネットワークＮを介して互いに接続された、ＣＡＤ装置１と、ＲＩＰ装置２と、欠陥検査装置５と、描画装置４とを備える（図１参照）。ＣＡＤ装置１、ＲＩＰ装置２、描画装置４の各構成は、第１の実施の形態と同様である。欠陥検査装置５は、第１の実施の形態に係る欠陥検査装置３と同様、描画に供されるランレングスデータＤ２の欠陥を検査する。次に、欠陥検査装置５の具体的な構成について説明する。

〈１ｂ．欠陥検査装置の構成〉
欠陥検査装置５は、第１の実施の形態に係る欠陥検査装置３と同様のハードウェア構成によって実現される（図２参照）。

欠陥検査装置５の機能的構成について、図９、図１０を参照しながら説明する。図９は、欠陥検査装置５の機能的構成を示す概略図である。図１０は、欠陥検査装置５において実行される欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。

欠陥検査装置５は、ＣＡＤデータ取得部５１と、ランレングスデータ取得部５２と、欠陥検出部５３と、欠陥修復部５４と、描画用ランレングスデータ取得部５５と、描画用ランレングスデータ送信部５６とを備える。これら各部の機能は、ＲＯＭ１２等に予め格納されたプログラムＰ、あるいは記録媒体Ｍに記録されているプログラムが読み出され、制御部１１において実行されることにより実現される（図２参照）。ＣＡＤデータ取得部５１、ランレングスデータ取得部５２、欠陥修復部５４、描画用ランレングスデータ取得部５５、描画用ランレングスデータ送信部５６の各機能は、ＣＡＤデータ取得部３１、ランレングスデータ取得部３２、欠陥修復部３４、描画用ランレングスデータ取得部３５、描画用ランレングスデータ送信部３６のそれぞれと同様である。

欠陥検出部５３は、ランレングスデータＤ２の欠陥を検出する。より具体的には、入力ＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２とを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域をランレングスデータＤ２の欠陥領域として検出する。欠陥検出部５３は、変換処理部５３１と、差異領域特定部５３２とを備える。

変換処理部５３１は、互いに異なる形式で記述されている入力ＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２との両方に所定の変換処理を実行して、互いに比較可能なデータ形式に揃えられた比較ＣＡＤデータＧ１と比較ランレングスデータＧ２とを取得する（図１０参照）。変換処理部５３１は、比較入力ＣＡＤデータ取得部５３１１と、比較ランレングスデータ取得部５３１２とを備える。

比較入力ＣＡＤデータ取得部５３１１は、ＣＡＤデータ取得部５１が取得した入力ＣＡＤデータＤ１に対して「ＣＡＤデータ画像化処理」を実行し、当該処理を実行して得られた画像化ＣＡＤデータＤ１０１を比較ＣＡＤデータＧ１として取得する（図１０参照）。

「ＣＡＤデータ画像化処理」とは、図１１（ａ）に示すように、図形によって記述されたデータである入力ＣＡＤデータＤ１を、画像によって記述するデータ形式に変換する処理である。ＣＡＤデータ画像化処理においては、入力ＣＡＤデータＤ１に含まれる多角形図形データのそれぞれについて、当該多角形図形（ポリゴン）の内部を塗りつぶす処理を行う。これによって、その輪郭線が図形データによって規定される多角形図形となるような画像が生成される。すなわち、図形データが画像データに変換される。この処理を、入力ＣＡＤデータＤ１に含まれる図形データのすべてに対して実行することによって、画像化ＣＡＤデータＤ１０１が取得されることになる。

比較ランレングスデータ取得部５３１２は、ランレングスデータ取得部５２が取得したランレングスデータＤ２に対して「ランレングス画像化処理」を実行し、当該処理を実行して得られた画像化ランレングスデータＤ２０２を比較ランレングスデータＧ２として取得する（図１０参照）。

「ランレングス画像化処理」とは、図１１（ｂ）に示すように、複数のランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）によって記述されたデータであるランレングスデータＤ２を、画像によって記述するデータ形式に変換する処理である。より具体的には、ランレングスデータＤ２が有するランＬｉの座標値情報に従って対応する画素を塗りつぶす処理である。ランレングス画像化処理においては、まず、ランレングスデータＤ２を構成する複数のランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）のそれぞれに基づいて長方形領域Ｒｉ（ｉ＝１，２，・・・）を規定し（Ｄ２０１）、この長方形領域Ｒｉ（ｉ＝１，２，・・・）のそれぞれに対応する画素を塗りつぶす（Ｄ２０２）。これによって、ランレングスデータＤ２が、複数のランＬｉによって記述されたデータから、画素集合によって記述されたデータＤ２０２に変換されることになる。すなわち、画像化ランレングスデータＤ２０２が取得されることになる。

再び図９を参照する。差異領域特定部５３２は、比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２とを比較して、両データ間の差異を検出する。より具体的には、比較ＣＡＤデータＧ１（すなわち、ここでは画像化ＣＡＤデータＤ１０１）と比較ランレングスデータＧ２（すなわち、ここでは画像化ランレングスデータＤ２０２）とを画素単位で比較して（より具体的には、両データについて同一の座標位置における画素の有無を比較して）、両データ間の差異領域（すなわち、いずれか一方のデータにのみ画素が存在する領域）を特定した差異領域データＤ３を取得する。

特に、差異領域特定部５３２は、画像化ランレングスデータＤ２０２にのみ画素が存在する領域を余分欠陥領域Ａｅとして抽出して、余分欠陥領域Ａｅを特定した余分欠陥領域データＤ３ａを取得する。また、画像化ＣＡＤデータＤ１０１にのみ画素が存在する領域を欠落欠陥領域Ａｆとして抽出して、欠落欠陥領域Ａｆを特定した欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する。

〈２．処理動作〉
〈２ａ．図形描画システムにおける処理動作〉
第２の実施の形態に係る図形描画システムが実行する処理の全体の流れは、第１の実施の形態に係る図形描画システム１００が実行する処理の流れ（図７参照）と同様である。

〈２ｂ．欠陥検査装置３における処理動作〉
欠陥検査装置５が実行する処理（すなわち、欠陥検査処理および欠陥修復処理）について説明する。欠陥検査装置５が実行する処理の流れは、第１の実施の形態に係る欠陥検査装置３が実行する処理の流れ（図８参照）とほぼ同様であるので、以下においては、図８を参照しながらこれと相違する点について説明する。

はじめに、ＣＡＤデータ取得部５１がＣＡＤ装置１から入力ＣＡＤデータＤ１を取得し、ランレングスデータ取得部５２がＲＩＰ装置２からランレングスデータＤ２を取得する（ステップＳ１１〜Ｓ１２参照）。

続いて、欠陥検出部５３が、先の工程（ステップＳ１２参照）で取得されたランレングスデータＤ２の欠陥を検出する（ステップＳ１３〜ステップＳ１６参照）。

すなわち、まず、変換処理部５３１が、互いに比較可能なデータ形式に揃えられた比較ＣＡＤデータＧ１と比較ランレングスデータＧ２とを取得する（ステップＳ１３参照）。より具体的には、比較入力ＣＡＤデータ取得部５３１１が、入力ＣＡＤデータＤ１（すなわち、先の工程（ステップＳ１１参照）でＣＡＤデータ取得部５１が取得したデータ）に対してＣＡＤデータ画像化処理を実行し、当該処理を実行して得られた画像化ＣＡＤデータＤ１０１を比較ＣＡＤデータＧ１として取得する。また、比較ランレングスデータ取得部５３１２が、ランレングスデータＤ２（すなわち、先の工程（ステップＳ１２参照）でランレングスデータ取得部５２が取得したデータ）に対してランレングス画像化処理を実行し、当該処理を実行して得られた画像化ランレングスデータＤ２０２を比較ランレングスデータＧ２として取得する。

続いて、差異領域特定部５３２が、比較ＣＡＤデータＧ１と比較ランレングスデータＧ２との画素を比較して、両データ間の差異領域を特定した差異領域データＤ３を取得する（ステップＳ１４参照）。

さらに、差異領域特定部５３２は、差異領域のうちで、余分画素によって構成される領域（余分欠陥領域Ａｅ）を抽出した余分欠陥領域データＤ３ａを取得する（ステップＳ１５参照）。

さらに、差異領域のうちで、欠落画素によって構成される領域（欠落欠陥領域Ａｆ）を抽出した欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する（ステップＳ１６参照）。

続いて、欠陥修復部５４が、欠陥検出部５３がランレングスデータＤ２の欠陥を検出したか否か（すなわち、差異領域が検出されたか否か）を先の工程（ステップＳ１４参照）において取得された差異領域データＤ３に基づいて判断する（ステップＳ１７参照）。

ここで欠陥が検出されていると判断した場合には、欠陥修復部３４は当該検出された欠陥を修復して修復ランレングスデータＤ４を取得し（ステップＳ１８参照）、描画用ランレングスデータ取得部５５が、当該取得された修復ランレングスデータＤ４を描画用ランレングスデータＴとして取得する（ステップＳ１９参照）。そして、描画用ランレングスデータ送信部５６が、当該取得された描画用ランレングスデータＴを描画装置４に送信する（ステップＳ２１参照）。

一方、欠陥が検出されていないと判断した場合には、描画用ランレングスデータ取得部５５が、先の工程（ステップＳ１２参照）で取得されたランレングスデータＤ２を描画用ランレングスデータＴとして取得する（ステップＳ２０参照）。そして、描画用ランレングスデータ送信部５６が、当該取得された描画用ランレングスデータＴを描画装置４に送信する（ステップＳ２１参照）。

〔第３の実施の形態〕
〈１．構成〉
〈１ａ．図形描画システムの全体構成〉
この発明の第３の実施の形態に係る図形描画システムについて説明する。なお、以下においては、第１の実施の形態と相違する構成について説明し、同様の構成については説明を省略する。また、同様の構成については第１の実施の形態において用いた参照符号を適宜使用する。

第３の実施の形態に係る図形描画システムは、第１の実施の形態に係る図形描画システム１００と同様、ＬＡＮ等のネットワークＮを介して互いに接続された、ＣＡＤ装置１と、ＲＩＰ装置２と、欠陥検査装置６と、描画装置４とを備える（図１参照）。ＣＡＤ装置１、ＲＩＰ装置２、描画装置４の各構成は、第１の実施の形態と同様である。欠陥検査装置６は、第１の実施の形態に係る欠陥検査装置３と同様、描画に供されるランレングスデータＤ２の欠陥を検査する。次に、欠陥検査装置６の具体的な構成について説明する。

〈１ｂ．欠陥検査装置の構成〉
欠陥検査装置６は、第１の実施の形態に係る欠陥検査装置３と同様のハードウェア構成によって実現される（図２参照）。

欠陥検査装置６の機能的構成について、図１２、図１３を参照しながら説明する。図１２は、欠陥検査装置６の機能的構成を示す概略図である。図１３は、欠陥検査装置６において実行される欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。

欠陥検査装置６は、ＣＡＤデータ取得部６１と、ランレングスデータ取得部６２と、欠陥検出部６３と、欠陥修復部６４と、描画用ランレングスデータ取得部６５と、描画用ランレングスデータ送信部６６とを備える。これら各部の機能は、ＲＯＭ１２等に予め格納されたプログラムＰ、あるいは記録媒体Ｍに記録されているプログラムが読み出され、制御部１１において実行されることにより実現される（図２参照）。ＣＡＤデータ取得部６１、ランレングスデータ取得部６２、欠陥修復部６４、描画用ランレングスデータ取得部６５、描画用ランレングスデータ送信部６６の各機能は、ＣＡＤデータ取得部３１、ランレングスデータ取得部３２、欠陥修復部３４、描画用ランレングスデータ取得部３５、描画用ランレングスデータ送信部３６のそれぞれと同様である。

欠陥検出部６３は、ランレングスデータＤ２の欠陥を検出する。より具体的には、入力ＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２とを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域をランレングスデータＤ２の欠陥領域として検出する。欠陥検出部６３は、変換処理部６３１と、差異領域特定部６３２とを備える。

変換処理部６３１は、互いに異なる形式で記述されている入力ＣＡＤデータＤ１とランレングスデータＤ２との少なくとも一方（ここでは、入力ＣＡＤデータＤ１）に所定の変換処理を実行して、互いに比較可能なデータ形式に揃えられた比較ＣＡＤデータＨ１と比較ランレングスデータＨ２とを取得する（図１３参照）。変換処理部６３１は、比較入力ＣＡＤデータ取得部６３１１と、比較ランレングスデータ取得部６３１２とを備える。

比較入力ＣＡＤデータ取得部６３１１は、ＣＡＤデータ取得部６１が取得した入力ＣＡＤデータＤ１に対して「座標値化処理」を実行し、当該処理を実行して得られた座標値化ＣＡＤデータＤ１１を比較ＣＡＤデータＨ１として取得する（図１３参照）。

「座標値化処理」とは、図１４に示すように、図形によって記述されたデータである入力ＣＡＤデータＤ１を、座標値の集合によって記述するデータ形式に変換する処理である。座標値化処理においては、まず、入力ＣＡＤデータＤ１中に、走査方向（もしくは、副走査方向）に平行な複数本の直線Ｎｉ（ｉ＝１，２，・・・）を規定する（Ｄ１０）。そして、各直線Ｎｉと、入力ＣＡＤデータＤ１に含まれる多角形図形（ポリゴン）との交点の座標情報を取得する。ただし、直線Ｎｉ（ｉ＝１，２，・・）は、各多角形図形と２点で交わることになり、ここでは、この２点の各座標値を一対の座標値の組（以下において「座標値組Ｍｉ（ｉ＝１，２，・・）」と示す）とする。さらに、座標値組Ｍｉのうち、Ｘ座標値が小さい方の座標値を始点座標値Ｍｓｉ（ｉ＝１，２，・・）とし、他方の座標値を終点座標値Ｍｅｉ（ｉ＝１，２，・・）とする。これによって、ＣＡＤデータＤ１に含まれる多角形図形のそれぞれを複数個の座標値組Ｍｉ（始点座標値Ｍｓｉおよび終点座標値Ｍｅｉ）（ｉ＝１，２，・・）によって規定した座標値化ＣＡＤデータＤ１１が取得されることになる。

再び図１２を参照する。比較ランレングスデータ取得部６３１２は、ランレングスデータ取得部５２が取得したランレングスデータＤ２を、そのまま、比較ランレングスデータＨ２として取得する（図１３参照）。

差異領域特定部６３２は、比較ＣＡＤデータＨ１と比較ランレングスデータＨ２とを比較して、両データ間の差異を検出する。より具体的には、比較ランレングスデータＨ２（すなわち、ここではランレングスデータＤ２）に含まれる複数のランＬｉ（ｉ＝１，２，・・）のそれぞれと、比較ＣＡＤデータＨ１（すなわち、ここでは座標値化ＣＡＤデータＤ１１）に含まれる複数の座標値組Ｍｉ（ｉ＝１，２，・・）のそれぞれとを比較することによって（さらに具体的には、各ランＬｉの始点位置と、当該ランＬｉと対応する座標値組Ｍｉの始点座標値Ｍｓｉとを比較することによって、また、各ランＬｉの終点位置と、当該ランＬｉと対応する座標値組Ｍｉの終点座標値Ｍｅｉとを比較することによって）、両データ間の差異領域（余分欠陥領域Ａｅおよび欠落欠陥領域Ａｆ）を特定し、差異領域データＤ３として取得する。ただし、座標値化ＣＡＤデータＤ１１に含まれる座標値組ＭｉのそれぞれとランレングスデータＤ２に含まれるランＬｉ（ｉ＝１，２，・・）の始点および終点の位置とは、共通の座標系（例えば、ＣＡＤデータの原点座標を共通の基準とする共通の座標系）を用いて表現されるものとする。

差異領域特定部６３２が差異領域（余分欠陥領域Ａｅおよび欠落欠陥領域Ａｆ）を特定する処理について図１５〜図１７を参照しながら具体的に説明する。図１５および図１６は、差異領域特定部６３２が実行する処理の流れを示す図である。図１７は、差異領域を模式的に例示する図である。

〔−Ｘ側に生じている差異領域の特定〕
差異領域特定部６３２は、比較ランレングスデータＨ２に含まれるランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）の始点の位置と比較ＣＡＤデータＨ１に含まれる座標値組Ｍｉ（ｉ＝１，２，・・）の始点座標値Ｍｓｉとを比較することによって、ランレングスデータＨ２の−Ｘ側（より具体的には、描画すべき多角形図形の−Ｘ側）に生じている差異領域を特定する。

−Ｘ側に生じている差異領域を特定する処理を、図１５、図１７を参照しながら説明する。差異領域特定部６３２は、まず、比較ランレングスデータＨ２に含まれるランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）のうちの１つのランを選択し、当該ラン（「ランＬｔ」と示す）の始点の座標値を取得する（ステップＳ３１）。

続いて、比較ＣＡＤデータＨ１に含まれる座標値組Ｍｉ（ｉ＝１，２，・・）のうち、ステップＳ３１で取得されたランＬｔと対応する座標値組Ｍｉ（「座標値組Ｍｔ」と示す）の始点座標値Ｍｓｉ（「始点座標値Ｍｓｔ」と示す）を取得する（ステップＳ３２）。「対応する座標値組」とは、当該座標値組Ｍｉに含まれる始点座標値Ｍｓｉと終点座標値Ｍｅｉとを結ぶ線分領域と、ランＬｔとが、本来的には（すなわち、ランＬｔが正確に生成されていれば）、一致するような関係にある座標値組である。例えば、ランＬｔと同じ多角形図形に由来し、かつランＬｔと等しい（もしくは最も近い）Ｙ座標値を有する座標値組を、「対応する座標値組Ｍｔ」として取得する。

続いて、ステップＳ３１で比較ランレングスデータＨ２から取得したランＬｔの始点座標値のＸ成分と、対応する始点座標値Ｍｓｔ（ステップＳ３２で比較ＣＡＤデータＨ１から取得した始点座標値Ｍｓｔ）のＸ成分とが一致するか否かを判断する（ステップＳ３３）。

ステップＳ３３で、両値が一致すると判断された場合、ランＬｔは−Ｘ側に差異領域を構成するランではないと判断する（ステップＳ３４）（例えば、図１７のランＬ１と始点座標値Ｍｓ１、ランＬ２と始点座標値Ｍｓ２）。

一方、ステップＳ３３で、両値が一致しないと判断された場合、ランＬｔは−Ｘ側に差異領域を構成するランであると判断する。この場合、比較ランレングスデータＨ２から取得したランＬｔの始点座標値のＸ成分が、対応する始点座標値ＭｓｔのＸ成分よりも大きいか否かを判断することによって、ランＬｔが欠落欠陥領域Ａｆ、余分欠陥領域Ａｅのいずれを構成するランであるかを判断する（ステップＳ３５）。

すなわち、ステップＳ３５で、ランＬｔの始点座標値のＸ成分が、対応する始点座標値ＭｓｔのＸ成分よりも大きいと判断された場合、ランＬｔは−Ｘ側に欠落欠陥領域Ａｆを構成するランであると判断する（ステップＳ３６）（例えば、図１７のランＬ２２と始点座標値Ｍｓ２２、ランＬ２３と始点座標値Ｍｓ２３）。この場合、差異領域特定部６３２は、始点座標値Ｍｓｔを始点位置とし、ランＬｔの始点の座標値を終点位置とする線分領域を、欠落欠陥領域Ａｆとして抽出する。

一方、ステップＳ３５で、ランＬｔの始点座標値のＸ成分が、対応する始点座標値ＭｓｔのＸ成分よりも小さいと判断された場合、ランＬｔは−Ｘ側に余分欠陥領域Ａｅを形成するランであると判断する（ステップＳ３７）。この場合、差異領域特定部６３２は、ランＬｔの始点の座標値を始点位置とし、始点座標値Ｍｓｔを終点位置とする線分領域を、余分欠陥領域Ａｅとして抽出する。

以上のステップＳ３１〜ステップＳ３７の処理を、比較ランレングスデータＨ２に含まれる全てのランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）について実行する。全てのランについてステップＳ３１〜ステップＳ３７の処理が行われると、処理を終了する（ステップＳ３８）。

〔＋Ｘ側に生じている差異領域の特定〕
差異領域特定部６３２は、比較ランレングスデータＨ２に含まれるランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）の終点の位置と比較ＣＡＤデータＨ１に含まれる座標値組Ｍｉ（ｉ＝１，２，・・）の終点座標値Ｍｅｉとを比較することによって、ランレングスデータＨ２の＋Ｘ側（より具体的には、描画すべき多角形図形の＋Ｘ側）に生じている差異領域を特定する。

＋Ｘ側に生じている差異領域を特定する処理を、図１６、図１７を参照しながら説明する。差異領域特定部６３２は、まず、比較ランレングスデータＨ２に含まれるランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）のうちの１つのランを選択し、当該ラン（「ランＬｔ」と示す）の終点の座標値を取得する（ステップＳ４１）。

続いて、比較ＣＡＤデータＨ１に含まれる座標値組Ｍｉ（ｉ＝１，２，・・）のうち、ステップＳ４１で取得されたランＬｔと対応する座標値組Ｍｉ（「座標値組Ｍｔ」と示す）の終点座標値Ｍｅｉ（「終点座標値Ｍｅｔ」と示す）を取得する（ステップＳ４２）。

続いて、ステップＳ４１で比較ランレングスデータＨ２から取得したランＬｔの終点の座標値のＸ成分と、対応する終点座標値Ｍｅｔ（ステップＳ４２で比較ＣＡＤデータＨ１から取得した終点座標値Ｍｅｔ）のＸ成分とが一致するか否かを判断する（ステップＳ４３）。

ステップＳ４３で、両値が一致すると判断された場合、ランＬｔは＋Ｘ側に差異領域を構成するランではないと判断する（ステップＳ４４）（例えば、図１７のランＬ１と終点座標値Ｍｅ１、ランＬ２２と終点座標値Ｍｅ２２）。

一方、ステップＳ４３で、両値が一致しないと判断された場合、ランＬｔは＋Ｘ側に差異領域を構成するランであると判断する。この場合、比較ランレングスデータＨ２から取得したランＬｔの終点座標値のＸ成分が、対応する終点座標値ＭｅｔのＸ成分よりも大きいか否かを判断することによって、ランＬｔが欠落欠陥領域Ａｆ、余分欠陥領域Ａｅのいずれを構成するランであるかを判断する（ステップＳ４５）。

すなわち、ステップＳ４５で、ランＬｔの終点座標値のＸ成分が、対応する終点座標値ＭｅｔのＸ成分よりも大きいと判断された場合、ランＬｔは＋Ｘ側に余分欠陥領域Ａｅを構成するランであると判断する（ステップＳ４６）（例えば、図１７のランＬ２と終点座標値Ｍｅ２、ランＬ３と終点座標値Ｍｅ３）。この場合、差異領域特定部６３２は、終点座標値Ｍｅｔを始点位置とし、ランＬｔの終点の座標値を終点位置とする線分領域を、余分欠陥領域Ａｅとして抽出する。

一方、ステップＳ４５で、ランＬｔの終点座標値のＸ成分が、対応する終点座標値ＭｅｔのＸ成分よりも小さいと判断された場合、ランＬｔは＋Ｘ側に欠落欠陥領域Ａｆを形成するランであると判断する（ステップＳ４７）。この場合、差異領域特定部６３２は、ランＬｔの終点の座標値を始点位置とし、終点座標値Ｍｅｔを終点位置とする線分領域を、欠落欠陥領域Ａｆとして抽出する。

以上のステップＳ４１〜ステップＳ４７の処理を、比較ランレングスデータＨ２に含まれる全てのランＬｉ（ｉ＝１，２，・・・）について実行する。全てのランについてステップＳ４１〜ステップＳ４７の処理が行われると、処理を終了する（ステップＳ４８）。

〈２．処理動作〉
〈２ａ．図形描画システムにおける処理動作〉
第３の実施の形態に係る図形描画システムが実行する処理の全体の流れは、第１の実施の形態に係る図形描画システム１００が実行する処理の流れ（図７参照）と同様である。

〈２ｂ．欠陥検査装置３における処理動作〉
欠陥検査装置６が実行する処理（すなわち、欠陥検査処理および欠陥修復処理）について説明する。欠陥検査装置６が実行する処理の流れは、第１の実施の形態に係る欠陥検査装置３が実行する処理の流れ（図８参照）とほぼ同様であるので、以下においては、図８を参照しながらこれと相違する点について説明する。

はじめに、ＣＡＤデータ取得部６１がＣＡＤ装置１から入力ＣＡＤデータＤ１を取得し、ランレングスデータ取得部６２がＲＩＰ装置２からランレングスデータＤ２を取得する（ステップＳ１１〜Ｓ１２参照）。

続いて、欠陥検出部６３が、先の工程（ステップＳ１２参照）で取得されたランレングスデータＤ２の欠陥を検出する（ステップＳ１３〜ステップＳ１６参照）。

すなわち、まず、変換処理部６３１が、互いに比較可能なデータ形式に揃えられた比較ＣＡＤデータＨ１と比較ランレングスデータＨ２とを取得する（ステップＳ１３参照）。より具体的には、比較入力ＣＡＤデータ取得部６３１１が、入力ＣＡＤデータＤ１（すなわち、先の工程（ステップＳ１１参照）でＣＡＤデータ取得部６１が取得したデータ）に対して座標値化処理を実行し、当該処理を実行して得られた座標値化ＣＡＤデータＤ１１を比較ＣＡＤデータＨ１として取得する。また、比較ランレングスデータ取得部６３１２が、ランレングスデータＤ２（すなわち、先の工程（ステップＳ１２参照）でランレングスデータ取得部５２が取得したデータ）を比較ランレングスデータＨ２として取得する。

続いて、差異領域特定部６３２が、比較ランレングスデータＨ２に含まれるランＬｉ（ｉ＝１，２，・・）のそれぞれと、比較ＣＡＤデータＨ１に含まれる座標値組Ｍｉ（ｉ＝１，２，・・）のそれぞれとを比較して、両データ間の差異領域（余分欠陥領域Ａｅおよび欠落欠陥領域Ａｆ）を特定した差異領域データＤ３を取得する（図１５および図１６参照）（ステップＳ１４〜１６に相当する処理）。

続いて、欠陥修復部６４が、欠陥検出部６３がランレングスデータＤ２の欠陥を検出したか否か（すなわち、差異領域が検出されたか否か）を先の工程において取得された差異領域データＤ３に基づいて判断する（ステップＳ１７参照）。

ここで欠陥が検出されていると判断した場合には、欠陥修復部６４は当該検出された欠陥を修復して修復ランレングスデータＤ４を取得し（ステップＳ１８参照）、描画用ランレングスデータ取得部６５が、当該取得された修復ランレングスデータＤ４を描画用ランレングスデータＴとして取得する（ステップＳ１９参照）。そして、描画用ランレングスデータ送信部６６が、当該取得された描画用ランレングスデータＴを描画装置４に送信する（ステップＳ２１参照）。

一方、欠陥が検出されていないと判断した場合には、描画用ランレングスデータ取得部６５が、先の工程（ステップＳ１２参照）で取得されたランレングスデータＤ２を描画用ランレングスデータＴとして取得する（ステップＳ２０参照）。そして、描画用ランレングスデータ送信部６６が、当該取得された描画用ランレングスデータＴを描画装置４に送信する（ステップＳ２１参照）。

〈３．効果〉
上記の実施の形態によると、比較入力ＣＡＤデータ取得部６３１１が、入力ＣＡＤデータＤ１に対して「座標値化処理」を行うことによって、これを座標値の集合（より具体的には、始点座標値と終点座標値とから構成される座標値組の集合）により記述されたデータ（座標値化ＣＡＤデータＤ１１）に変換する。この座標値化ＣＡＤデータＤ１１を、ランレングスデータＤ２（すなわち、線分の集合として記述されたデータ）と比較することによって、ランレングスデータＤ２に生じている欠陥領域を特定することができる。

なお、ＲＩＰ処理は、多角形図形から線分の集合を取得する処理である。ＲＩＰ処理では、長さに関する情報を線分化する処理においてエラーが発生したり、解像度などのパラメータによって解釈に幅が生じる可能性があり、これらが、ランレングスデータＤ２の欠陥となる。一方、座標値化処理は多角形図形から座標値の集合を取得する処理であるので、座標化処理により得られた座標値化ＣＡＤデータＤ１１にはこのような欠陥が生じることがない。したがって、座標値化ＣＡＤデータＤ１１とランレングスデータＤ２とを比較することによって、ランレングスデータＤ２に生じている欠陥を確実に検出することができる。

〔第１の変形例〕
上記の第１の形態に係る欠陥検出部３３は、余分欠陥領域特定部３３３、欠落欠陥領域特定部３３４のそれぞれが、差異領域データＤ３と比較ランレングスデータＦ２との論理積、差異領域データＤ３と比較ＣＡＤデータＦ１との論理積をそれぞれ演算して、余分欠陥領域Ａｅ、欠落欠陥領域Ａｆをそれぞれ特定する余分欠陥領域データＤ３ａ、欠落欠陥領域データＤ３ｂと取得している（図３，図４参照）が、次の態様で各データＳ３ａ，Ｄ３ｂを取得してもよい。

この変形例に係る欠陥検出部８は、図１８に示すように、変換処理部８１と、第１差分領域特定部８２と、余分欠陥領域特定部８３と、第２差分領域特定部８４と、欠落欠陥領域特定部８５とを備える。変換処理部８１は、第１の実施の形態に係る変換処理部３３１と同様である。

第１差分領域特定部８２は、図１９（ａ）に示すように、比較ランレングスデータＦ２（すなわち、図形化ランレングスデータＤ２２）により規定される図形領域から、比較ＣＡＤデータＦ１（すなわち、入力ＣＡＤデータＤ１）により規定される図形領域を差し引いて（Ｆ２−Ｆ１）、第１差分領域データＫａを取得する。第１差分領域データＫａにおいては、比較ランレングスデータＦ２に存在し、比較ＣＡＤデータＦ１に存在しない領域の値は「正」となる（正領域Ｓ１）。また、比較ランレングスデータＦ２に存在せず、比較ＣＡＤデータＦ１に存在する領域の値は「負」となり（負領域Ｓ２）、比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２との両方に存在する領域の値は「０」となる。

余分欠陥領域特定部８３は、図１９（ａ）に示すように、第１差分領域データＫａにおいて「正」の値の領域を抽出することによって、余分欠陥領域Ａｅを特定した余分欠陥領域データＤ３ａを取得する。

第２差分領域特定部８４は、図１９（ｂ）に示すように、比較ＣＡＤデータＦ１（すなわち、入力ＣＡＤデータＤ１）により規定される図形領域から、比較ランレングスデータＦ２（すなわち、図形化ランレングスデータＤ２２）により規定される図形領域を差し引いて（Ｆ１−Ｆ２）、第２差分領域データＫｂを取得する。第２差分領域データＫｂにおいては、比較ＣＡＤデータＦ１に存在し、比較ランレングスデータＦ２に存在しない領域の値は「正」となる（正領域Ｓ１）。また、比較ＣＡＤデータＦ１に存在せず、比較ランレングスデータＦ２に存在する領域の値は「負」となり（負領域Ｓ２）、比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２との両方に存在する領域の値は「０」となる。

欠落欠陥領域特定部８５は、図１９（ｂ）に示すように、第２差分領域データＫｂにおいて「正」の値の領域を抽出することによって、欠落欠陥領域Ａｆを特定した欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する。

この変形例においては、欠陥を検出する処理動作（図８のステップＳ１３〜ステップＳ１６に相当する処理）は次のように行われる。

すなわち、まず、変換処理部８１が、入力ＣＡＤデータＤ１を比較ＣＡＤデータＦ１として取得し、図形化ランレングスデータＤ２２を比較ランレングスデータＦ２として取得する。

続いて、第１差分領域特定部８２が、比較ランレングスデータＦ２により規定される図形領域から、比較ＣＡＤデータＦ１により規定される図形領域を差し引いて、第１差分領域データＫａを取得する。

続いて、余分欠陥領域特定部８３が、第１差分領域データＫａにおいて「正」の値の領域を抽出することによって、余分欠陥領域Ａｅを特定した余分欠陥領域データＤ３ａを取得する。

続いて、第２差分領域特定部８４が、比較ＣＡＤデータＦ１により規定される図形領域から、比較ランレングスデータＦ２により規定される図形領域を差し引いて、第２差分領域データＫｂを取得する。

続いて、欠落欠陥領域特定部８５が、第２差分領域データＫｂにおいて「正」の値の領域を抽出することによって、欠落欠陥領域Ａｆを特定した欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する。

なお、欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する処理と、余分欠陥領域データＤ３ａを取得する処理とはいずれを先に行ってもよい。

上記の変形例においては、２つのデータの論理積を演算するのではなく、差分を演算することによって、余分欠陥領および欠落欠陥領域を特定することができる。また、比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２との差に基づいて、直接に余分欠陥領域データＤ３ａおよび欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得することができる。したがって、第１の実施の形態のように差異領域データＤ３を生成する必要がない。

なお、上記の変形例においては、第２差分領域データＫｂを取得し、その「正」の値の領域を抽出することによって欠落欠陥領域Ａｆを特定しているが、第１差分領域データＫａの「負」の値の領域を抽出することによって、欠落欠陥領域Ａｆを特定してもよい。また、上記の変形例においては、第１差分領域データＫａを取得し、その「正」の値の領域を抽出することによって余分欠陥領域Ａｅを特定しているが、第２差分領域データＫｂの「負」の値の領域を抽出することによって、余分欠陥領域Ａｅを特定してもよい。つまり、第１差分領域データＫａ、もしくは第２差分領域データＫｂのいずれか一方を取得し、当該取得したデータの「正」の値の領域と「負」の値の領域とをそれぞれ抽出することによって、余分欠陥領域Ａｅと欠落欠陥領域Ａｆとを特定してもよい。

〔第２の変形例〕
余分欠陥領域データＤ３ａ、欠落欠陥領域データＤ３ｂは、次の態様で取得してもよい。この変形例に係る欠陥検出部９は、図２０に示すように、変換処理部９１と、差異領域特定部９２と、第１差異差分領域特定部９３と、余分欠陥領域特定部９４と、第２差異差分領域特定部９５と、欠落欠陥領域特定部９６とを備える。変換処理部９１および差異領域特定部９２は、それぞれ、第１の実施の形態に係る変換処理部３３１および差異領域特定部３３２と同様である。

第１差異差分領域特定部９３は、図２１（ａ）に示すように、差異領域データＤ３により規定される図形領域から、比較ＣＡＤデータＦ１（すなわち、入力ＣＡＤデータＤ１）により規定される図形領域を差し引いて（Ｄ３−Ｆ１）、第１差異差分領域データＬａを取得する。第１差異差分領域データＬａにおいては、差異領域データＤ３に存在し、比較ＣＡＤデータＦ１に存在しない領域の値は「正」となる（正領域Ｓ１）。また、差異領域データＤ３に存在せず、比較ＣＡＤデータＦ１に存在する領域の値は「負」となり（負領域Ｓ２）、差異領域データＤ３と比較ＣＡＤデータＦ１との両方に存在する領域の値は「０」となる。

余分欠陥領域特定部９４は、図２１（ａ）に示すように、第１差異差分領域データＬａにおいて「正」の値の領域を抽出することによって、余分欠陥領域Ａｅを特定した余分欠陥領域データＤ３ａを取得する。

第２差異差分領域特定部９５は、図２１（ｂ）に示すように、差異領域データＤ３により規定される図形領域から、比較ランレングスデータＦ２（すなわち、図形化ランレングスデータＤ２２）により規定される図形領域を差し引いて（Ｄ３−Ｆ２）、第２差異差分領域データＬｂを取得する。第２差異差分領域データＬｂにおいては、差異領域データＤ３に存在し、比較ランレングスデータＦ２に存在しない領域の値は「正」となる（正領域Ｓ１）。また、差異領域データＤ３に存在せず、比較ランレングスデータＦ２に存在する領域の値は「負」となり（負領域Ｓ２）、差異領域データＤ３と比較ランレングスデータＦ２との両方に存在する領域の値は「０」となる。

欠落欠陥領域特定部９６は、図２１（ｂ）に示すように、第２差異差分領域データＬｂにおいて「正」の値の領域を抽出することによって、欠落欠陥領域Ａｆを特定した欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する。

この変形例においては、欠陥を検出する処理動作（図８のステップＳ１３〜ステップＳ１６に相当する処理）は次のように行われる。

すなわち、まず、変換処理部９１が、入力ＣＡＤデータＤ１を比較ＣＡＤデータＦ１として取得し、図形化ランレングスデータＤ２２を比較ランレングスデータＦ２として取得する。

続いて、差異領域特定部９２が、比較ＣＡＤデータＦ１と比較ランレングスデータＦ２との排他的論理和を演算して、両データ間の差異領域を特定した差異領域データＤ３を取得する。

続いて、第１差異差分領域特定部９３が、差異領域データＤ３により規定される図形領域から、比較ＣＡＤデータＦ１により規定される図形領域を差し引いて、第１差異差分領域データＬａを取得する。

続いて、余分欠陥領域特定部９４が、第１差異差分領域データＬａにおいて「正」の値の領域を抽出することによって、余分欠陥領域Ａｅを特定した余分欠陥領域データＤ３ａを取得する。

続いて、第２差異差分領域特定部９５が、差異領域データＤ３により規定される図形領域から、比較ランレングスデータＦ２により規定される図形領域を差し引いて、第２差異差分領域データＬｂを取得する。

続いて、欠落欠陥領域特定部９６が、第２差異差分領域データＬｂにおいて「正」の値の領域を抽出することによって、欠落欠陥領域Ａｆを特定した欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する。

なお、欠落欠陥領域データＤ３ｂを取得する処理と、余分欠陥領域データＤ３ａを取得する処理とはいずれを先に行ってもよい。

上記の変形例においては、２つのデータの論理積を演算するのではなく、差分を演算することによって、余分欠陥領および欠落欠陥領域を特定することができる。

〔その他の変形例〕
上記の各実施の形態においては、欠陥検査装置３，５，６を描画装置４とは独立した装置として構成しているが、欠陥検査装置３，５，６の機能構成（図３および図９参照）は、描画装置４において実現されるものとしてもよい。すなわち、描画装置４を欠陥検査装置３（もしくは欠陥検査装置５、もしくは欠陥検査装置６）と一体化された装置として構成してもよい。

図２２には、この変形例に係る描画装置７の構成が示されている。図２２に示すように、描画装置７は、出力媒体上に図形を描画する機能部（描画処理部７１）を備えるとともに、上記の各実施の形態において欠陥検査装置３（もしくは欠陥検査装置５，６）が備えるとした各部（すなわち、ＣＡＤデータ取得部３１（５１）（６１）、ランレングスデータ取得部３２（５２）（６２）、欠陥検出部３３（５３）（６３）、欠陥修復部３４（５４）（６４）、描画用ランレングスデータ取得部３５（５５）（６５））の機能が、描画装置７が備えるハードウェア構成によって実現される。ここでは、描画用ランレングスデータ取得部３５（５５）（６５）が取得した描画用ランレングスデータＴを描画処理部７１が取得して、当該取得した描画用ランレングスデータＴに基づいて描画処理を実行することになる。

また、上記の各実施の形態においては、ランレングスデータＤ２の欠落欠陥領域Ａｆについては、当該領域に対して再度ＲＩＰ処理を実行してランデータを生成することによって、欠落欠陥を修復する構成としている（図８のステップＳ２６）が、ＲＩＰ処理によらず、直接に当該欠落欠陥領域Ａｆに新たなランデータを生成する構成としてもよい。例えば、欠陥領域の近傍に存在するランデータを強制的に延ばすことによって欠落欠陥領域Ａｆにランレングスデータを生成してもよい。

また、欠陥領域の修復を、オペレータの入力操作を受け付けることによって行う構成としてもよい。例えば、欠陥領域をオペレータに示唆する画面（例えば、画面上にランレングスデータＤ２の全体を表示し、ランレングスデータＤ２中の余分欠陥領域Ａｅについては赤色で、欠落欠陥領域Ａｆについては青色で表示した画面）を表示部１６に表示させるとともに、各欠陥領域についてランデータを生成する指示もしくはランデータを削除する指示の入力をオペレータから受け付け、当該指示入力に応じて欠陥領域を修復する構成としてもよい。

さらに、上記の各実施の形態においては、描画すべき図形を記述したデータはＣＡＤデータであるとしたが、画像やテキスト文書を扱うドキュメントファイルであってもよい。この場合、ランレングスデータＤ２は、当該ドキュメントファイルをＲＩＰ処理することによって取得されるデータである。

また、上記の各実施の形態においては、描画すべき図形が回路パターンであるとしたが、描画すべき図形は回路パターンでなくともよい。

また、上記の各実施の形態においては、欠陥検査装置３，５，６は、ネットワークＮを介して接続されたＣＡＤ装置１およびＲＩＰ装置２よりそれぞれ入力ＣＡＤデータＤ１、ランレングスデータＤ２を取得するとしていたが、これらのデータを取得する方法はこれに限らない。例えば、これらのデータを格納した記録媒体Ｍから読み取って取得してもよい。

また、上記の各実施の形態においては、描画用ランレングスデータＴに基づいて描画を実行する装置（描画装置４）が、回路パターンを基板上に描画する直接描画装置により構成されるとしたが、描画を実行する装置はこれら直接描画装置に限らず、ランレングスデータに基づいて出力媒体上に図形を描画する描画方式を採用する各種の装置により構成することができる。例えば、ランレングスデータに基づいて、紙などの記録媒体上に図形を描画する印刷装置により構成されてもよい。

また、上記の各実施の形態においては、欠陥検査装置３，５，６の備える各機能部は、コンピュータによって所定のプログラムＰが実行されることにより実現されるとしたが、専用のハードウェアによって実現してもよい。

この発明の第１の実施の形態に係る図形描画システムの全体構成を示す図である。 欠陥検査装置の構成を示す概略図である。 欠陥検査装置の機能的構成を示す概略図である。 欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。 図形化処理を説明するための模式図である。 欠陥修復処理を説明するための模式図である。 入力ＣＡＤデータを取得してから図形の描画を実行するまでの処理の流れを示す図である。 欠陥検査処理および欠陥修復処理の流れを示す図である。 欠陥検査装置の機能的構成を示す概略図である。 欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。 ＣＡＤデータ画像化処理およびランレングス画像化処理を説明するための模式図である。 欠陥検査装置の機能的構成を示す概略図である。 欠陥検査装置において実行される欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。 座標値化処理を説明するための模式図である。 差異領域特定部が実行する処理の流れを示す図である。 差異領域特定部が実行する処理の流れを示す図である。 差異領域を模式的に例示する図である。 第１の変形例に係る欠陥検出部の機能的構成を示す図である。 第１の変形例において、欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。 第２の変形例に係る欠陥検出部の機能的構成を示す図である。 第２の変形例において、欠陥検出処理において取得される各種のデータおよびその相関関係を模式的に示す図である。 描画装置の構成を示す概略図である。

符号の説明

１ ＣＡＤ装置
２ ＲＩＰ装置
３，５，６ 欠陥検査装置
４，７ 描画装置
３１，５１，６１ ＣＡＤデータ取得部
３２，５２，６２ ランレングスデータ取得部
３３，５３，６３ 欠陥検出部
３４，５４，６４ 描画用ランレングスデータ取得部
１００ 図形描画システム
３３１，５３１，６３１ 変換処理部
３３２，５３２，６３２ 差異領域特定部
３３３ 余分欠陥領域特定部
３３４ 欠落欠陥領域特定部
３４１，５４１ 欠陥修復部
３３１１ 比較入力ＣＡＤデータ取得部
３３１２ 比較ランレングスデータ取得部
３４１１ 余分欠陥修復部
３４１２ 欠落欠陥修復部
Ｄ１ 入力ＣＡＤデータ
Ｄ２ ランレングスデータ
Ｄ３ 差異領域データ
Ｄ３ａ 余分欠陥領域データ
Ｄ３ｂ 欠落欠陥領域データ
Ｄ４ 修復ランレングスデータ
Ｆ１，Ｇ１，Ｈ１ 比較ＣＡＤデータ
Ｆ２，Ｇ２，Ｈ２ 比較ランレングスデータ
Ｔ 描画用ランレングスデータ
Ｐ プログラム
Ｍ 記録媒体

Claims (21)

1. 図形の描画に供されるランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
   描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
   前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
   前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
   前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
   を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
2. 請求項１に記載の欠陥検査装置であって、
   前記欠陥検出手段が、
   前記入力データと前記ランレングスデータとのうちの少なくとも一方のデータに対して所定の変換処理を実行して両データを互いに比較可能なデータ形式に揃えるデータ形式変換手段、
   を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
3. 請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
   前記データ形式変換手段が、
   前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
   を備え、
   前記欠陥検出手段が、
   前記図形化ランレングスデータと前記入力データとの排他的論理和を演算することによって、前記差異領域を特定した差異領域データを取得する差異領域特定手段、
   をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
4. 請求項３に記載の欠陥検査装置であって、
   前記欠陥検出手段が、
   前記差異領域データと前記図形化ランレングスデータとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
   をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
5. 請求項３または４に記載の欠陥検査装置であって、
   前記欠陥検出手段が、
   前記差異領域データと前記入力データとの論理積を演算することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
   をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
6. 請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
   前記データ形式変換手段が、
   前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
   を備え、
   前記欠陥検出手段が、
   前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第１の差分領域データを取得する第１差分領域取得手段と、
   前記第１の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
   をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
7. 請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
   前記データ形式変換手段が、
   前記ランレングスデータに図形化処理を実行して、前記ランレングスデータを図形化した図形化ランレングスデータを取得する図形化手段、
   を備え、
   前記欠陥検出手段が、
   前記入力データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第２の差分領域データを取得する第２差分領域取得手段と、
   前記第２の差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
   をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
8. 請求項３に記載の欠陥検査装置であって、
   前記欠陥検出手段が、
   前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記入力データにより規定される図形領域を差し引いて第１の差異差分領域データを取得する第１差異差分領域取得手段と、
   前記第１の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域を特定する余分欠陥領域特定手段、
   をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
9. 請求項３に記載の欠陥検査装置であって、
   前記欠陥検出手段が、
   前記差異領域データにより規定される図形領域から、前記図形化ランレングスデータにより規定される図形領域を差し引いて第２の差異差分領域データを取得する第２差異差分領域取得手段と、
   前記第２の差異差分領域データにおける正の値の領域を抽出することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域を特定する欠落欠陥領域特定手段、
   をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
10. 請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
    前記データ形式変換手段が、
    前記ランレングスデータに第１の画像化処理を実行して、前記ランレングスデータを画像化した画像化ランレングスデータを取得するランレングスデータ画像化手段と、
    前記入力データに第２の画像化処理を実行して、前記入力データを画像化した画像化入力データを取得する入力データ画像化手段と、
    を備え、
    前記欠陥検出手段が、
    前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較することによって、前記差異領域を特定する差異領域特定手段、
    をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
11. 請求項１０に記載の欠陥検査装置であって、
    前記差異領域特定手段が、
    前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化ランレングスデータにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域として特定することを特徴とする欠陥検査装置。
12. 請求項１０または１１に記載の欠陥検査装置であって、
    前記差異領域特定手段が、
    前記画像化ランレングスデータと前記画像化入力データとを画素単位で比較して、前記画像化入力データにのみ画素が存在する領域を、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在するのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域として特定することを特徴とする欠陥検査装置。
13. 請求項２に記載の欠陥検査装置であって、
    前記データ形式変換手段が、
    前記入力データに座標値化処理を実行して、前記入力データに含まれる１以上の図形のそれぞれを座標値の集合によって記述した座標値化入力データを取得する入力データ座標値化手段、
    を備え、
    前記欠陥検出手段が、
    前記ランレングスデータに含まれる複数のランの始点および終点の位置と、前記座標値化入力データに含まれる複数の座標値のうちの所定の座標値とを比較することによって、前記ランレングスデータにおいて、前記入力データが存在しないのに、前記ランレングスデータを構成する単位データであるランデータが生成されている領域である余分欠陥領域と、前記ランレングスデータにおいて前記入力データが存在するのに前記ランデータが生成されていない領域である欠落欠陥領域とをそれぞれ特定する差異領域特定手段、
    をさらに備えることを特徴とする欠陥検査装置。
14. 請求項４、６、８、１１および１３のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
    前記余分欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記余分欠陥領域に生成されている前記ランデータを削除する余分欠陥修復手段、
    を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
15. 請求項５、７、９、１２および１３のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
    前記欠落欠陥領域が特定された場合に、前記ランレングスデータにおける前記欠落欠陥領域に新たに前記ランデータを生成する欠落欠陥修復手段、
    を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
16. 請求項１から１５のいずれかに記載の欠陥検査装置であって、
    前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、
    前記ランレングスデータが、基板に前記パターンを描画するのに供されることを特徴とする欠陥検査装置。
17. コンピュータによって実行されることにより、前記コンピュータに、
    描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得機能と、
    前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得されたランレングスデータを取得するランレングスデータ取得機能と、
    前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出機能と、
    前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復機能と、
    を実現させることができる欠陥検査プログラム。
18. ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画装置であって、
    描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
    前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
    前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
    前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
    前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、
    前記描画用ランレングスデータに基づいて、前記出力媒体に図形を描画する描画手段と、
    を備えることを特徴とする図形描画装置。
19. 請求項１８に記載の図形描画装置であって、
    前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、
    前記描画手段が、前記ＣＡＤデータがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画することを特徴とする図形描画装置。
20. ランレングスデータに基づいて出力媒体に対する図形の描画を行う図形描画システムであって、
    前記ランレングスデータの欠陥を検査する欠陥検査装置と、
    前記欠陥検査装置から描画用ランレングスデータを取得し、前記描画用ランレングスデータに基づいて前記出力媒体に図形を描画する描画装置と、
    を備え、
    前記欠陥検査装置が、
    描画すべき図形を記述した入力データを取得する入力データ取得手段と、
    前記入力データがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータを取得するランレングスデータ取得手段と、
    前記入力データと前記ランレングスデータとを比較して、差異領域がある場合に当該差異領域を前記ランレングスデータの欠陥領域として検出する欠陥検出手段と、
    前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合に、当該欠陥領域を修復して修復ランレングスデータを取得する修復手段と、
    前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出された場合には、前記修復ランレングスデータを描画用ランレングスデータとして取得し、前記ランレングスデータに前記欠陥領域が検出されなかった場合には、前記ランレングスデータをそのまま描画用ランレングスデータとして取得する描画用ランレングスデータ取得手段と、
    前記描画用ランレングスデータを前記描画装置に送信する描画用ランレングスデータ送信手段と、
    を備えることを特徴とする図形描画システム。
21. 請求項２０に記載の図形描画システムであって、
    前記入力データが基板に描画すべきパターンのＣＡＤデータであり、
    前記描画装置が、前記ＣＡＤデータがＲＩＰ処理されることによって取得された前記ランレングスデータに基づいて基板に前記パターンを描画することを特徴とする図形描画システム。

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