JP5009822B2 - データ変換方法、描画システムおよびプログラム - Google Patents

Description

本発明は、複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換する技術に関連する。

従来より、半導体基板やプリント基板、あるいは、プラズマ表示装置や液晶表示装置用のガラス基板等（以下、「基板」という。）に形成された感光材料に光を照射することによりパターンの描画が行われており、パターンの高精細化に伴い、感光材料上にて光ビームを走査してパターンを描画するパターン描画装置が利用されている。例えば、特許文献１では、描画対象上の感光材料に回折格子型の光変調素子により光ビームを照射して画像を記録する画像記録装置が開示されている。

このようなパターンは、設計段階では通常、ストリームフォーマットまたはＧＤＳＩＩと呼ばれる階層構造を有するセルデータ要素の集合として表現され、各セルデータ要素は、１つ以上の図形や他のセルデータ要素が示す図形を参照するための情報を含む。パターンの描画では、ストリームフォーマット等により表現されている回路パターンのデータを、パターン描画装置が利用可能なラスタデータに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）必要がある。例えば、特許文献２では、ＣＡＤデータ等の線図データを描画装置が利用可能なランレングスデータに変換するデータ変換装置が開示されている。また、特許文献３では、ベクトルデータをラスタデータに変換する際の塗りつぶし処理等を専用のハードウェアで行う技術が開示されている。
特開２００７−１２１８８１号公報 特許第３９５２３５８号公報 特開２００２−２０８０１７号公報

ところで、近年のパターンの高精細化に伴い、当該パターンを示すパターンデータの量が大きくなっており、ラスタライズに要する処理時間の増大が指摘されている。特許文献３の描画処理装置では、専用のハードウェアを利用することにより処理時間の短縮が図られているが、メモリ容量等の観点からパターンデータの量の増大への対応に限界がある。また、液晶表示装置用のガラス基板に描画されるパターンでは、描画の進行方向に配列された複数の描画単位領域のラスタデータが同じものとなることが多く、このようなパターンのラスタライズを効率良く行うことが求められている。

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換する際に、出力データの生成に要する時間を短縮することを目的としている。

請求項１に記載の発明は、それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、ａ）コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、ｂ）コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程とを備え、前記ｂ）工程が、ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、ｂ４）前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ５）全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ６）前記注目単位領域の前記第２の方向に隣接する次の単位領域と重なる一または複数の図形要素群と前記注目図形要素群とが一致しない場合に、前記単位ランレングスリピート回数を０とする工程と、ｂ７）前記単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、前記次の単位領域の単位ランレングスデータとして前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記単位ランレングスリピート回数から１を減算するとともに前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記ｂ６）工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が０である場合に、前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程とを備える。

請求項２に記載の発明は、それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、ａ）コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、ｂ）コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程とを備え、前記ｂ）工程が、ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、ｂ４）前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ５）前記注目単位領域から前記第２の方向に向かって単位領域が新たな図形要素群と重なる直前までの単位領域の数をリピート停止回数として取得する工程と、ｂ６）全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数および前記リピート停止回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ７）前記単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数だけ前記第２の方向に並ぶ単位領域の単位ランレングスデータとして前記単位ランレングスリピート回数分の前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記注目単位領域を前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数に１を加えた数だけ前記第２の方向に離れた単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が０である場合に、前記注目単位領域を前記第２の方向に隣接する単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程とを備える。

請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間に、ｃ）コンピュータが、前記各図形要素群において前記第２の方向に連続する複数の同一ランレングスが存在する場合に、前記第２の方向における前記複数の同一ランレングスの開始位置である同一ランレングス開始位置と前記複数の同一ランレングスに含まれるランレングスの個数である同一ランレングス数とを求める工程をさらに備え、前記ｂ４）工程において、前記注目図形要素群の前記注目ランレングスが前記第２の方向に連続する複数の同一ランレングスに含まれる場合に、前記複数の同一ランレングスの同一ランレングス開始位置および同一ランレングス数に基づいて前記注目図形要素群の前記局所ランレングスリピート回数が求められる。

請求項４に記載の発明は、請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、前記複数の図形要素群に含まれる多階層図形要素群が、それぞれが少なくとも１つの図形要素により構成される複数の下位図形要素群により構成され、前記ｂ４）工程が、ｂ４１）前記ａ）工程において前記多階層図要素域群が分割されて得られた複数の下位単位領域の１つを最初の注目下位単位領域として決定する工程と、ｂ４２）前記注目下位単位領域と重なる一または複数の下位図形要素群を注目下位図形要素群として抽出する工程と、ｂ４３）各注目下位図形要素群の前記注目下位単位領域と重なるランレングスを注目下位ランレングスとして取得する工程と、ｂ４４）前記各注目下位図形要素群について、注目下位図形要素群の注目下位ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目下位図形要素群の下位局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ４５）前記注目下位単位領域から前記第２の方向に向かって下位単位領域が新たな下位図形要素群と重なる直前までの下位単位領域の数を下位リピート停止回数として取得する工程と、ｂ４６）全ての注目下位図形要素群に関して取得された下位局所ランレングスリピート回数および前記下位リピート停止回数の最小値を前記多階層図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程とを備える。

請求項５に記載の発明は、それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、ａ）コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、ｂ）コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程とを備え、前記ｂ）工程が、ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成する工程と、ｂ４）既に生成されてバッファに保存されている単位ランレングスデータである先行単位ランレングスデータが存在する場合に、前記ｂ３）工程にて生成された単位ランレングスデータであるカレント単位ランレングスデータと前記先行単位ランレングスデータとを比較する工程と、ｂ５）前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと異なる、または、前記先行単位ランレングスデータが存在しない場合に、前記カレント単位ランレングスデータをフォーマット変換して前記出力データの一部である変換済み単位ランレングスデータを出力するとともに前記バッファに保存し、さらに、前記カレント単位ランレングスデータを先行単位ランレングスデータとして前記バッファに保存し、前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと同じ場合に、前記バッファに保存されている変換済み単位ランレングスデータを出力する工程と、ｂ６）前記注目単位領域を前記第２の方向に隣接する次の単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程とを備える。

請求項６に記載の発明は、基板上にパターンを描画する描画システムであって、請求項１ないし５のいずれかに記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置とを備え、前記描画装置が、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板に光を照射する光変調素子と、前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を、前記基板上における前記第１の方向に対応する方向に前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部とを備える。

請求項７に記載の発明は、それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、ｂ）前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程とを実行させ、前記ｂ）工程が、ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、ｂ４）前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ５）全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ６）前記注目単位領域の前記第２の方向に隣接する次の単位領域と重なる一または複数の図形要素群と前記注目図形要素群とが一致しない場合に、前記単位ランレングスリピート回数を０とする工程と、ｂ７）前記単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、前記次の単位領域の単位ランレングスデータとして前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記単位ランレングスリピート回数から１を減算するとともに前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記ｂ６）工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が０である場合に、前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程とを備える。

請求項８に記載の発明は、それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、ｂ）前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程とを実行させ、前記ｂ）工程が、ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、ｂ４）前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ５）前記注目単位領域から前記第２の方向に向かって単位領域が新たな図形要素群と重なる直前までの単位領域の数をリピート停止回数として取得する工程と、ｂ６）全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数および前記リピート停止回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、ｂ７）前記単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数だけ前記第２の方向に並ぶ単位領域の単位ランレングスデータとして前記単位ランレングスリピート回数分の前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記注目単位領域を前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数に１を加えた数だけ前記第２の方向に離れた単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が０である場合に、前記注目単位領域を前記第２の方向に隣接する単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程とを備える。

請求項９に記載の発明は、それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、ｂ）前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程とを実行させ、前記ｂ）工程が、ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成する工程と、ｂ４）既に生成されてバッファに保存されている単位ランレングスデータである先行単位ランレングスデータが存在する場合に、前記ｂ３）工程にて生成された単位ランレングスデータであるカレント単位ランレングスデータと前記先行単位ランレングスデータとを比較する工程と、ｂ５）前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと異なる、または、前記先行単位ランレングスデータが存在しない場合に、前記カレント単位ランレングスデータをフォーマット変換して前記出力データの一部である変換済み単位ランレングスデータを出力するとともに前記バッファに保存し、さらに、前記カレント単位ランレングスデータを先行単位ランレングスデータとして前記バッファに保存し、前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと同じ場合に、前記バッファに保存されている変換済み単位ランレングスデータを出力する工程と、ｂ６）前記注目単位領域を前記第２の方向に隣接する次の単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程とを備える。

本発明では、出力データの生成に要する時間を短縮することができる。さらに、請求項３および４の発明では、注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数を速やかに求めることができる。

図１は、本発明の第１の実施の形態に係る描画システム１００の構成を示す図である。描画システム１００は、液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に「基板」という。）上の感光材料に光を利用してパターンを描画するシステムである。図１に示すように、描画システム１００は、パターンを示すベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）データ変換装置７、および、データ変換装置７により生成された出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置１を備える。以下では、描画装置１について説明した後、データ変換装置７およびデータ変換装置７にて取り扱われるデータについて説明する。

図２および図３はそれぞれ、描画装置１の側面図および平面図である。図２および図３に示すように、描画装置１は、（＋Ｚ）側の主面９１（以下、「上面９１」という。）上に感光材料の層が形成された基板９を保持する基板保持部３、基台１１上に設けられて基板保持部３をＺ方向に垂直なＸ方向およびＹ方向に移動する保持部移動機構２、基板保持部３および保持部移動機構２を跨ぐように基台１１に固定されるフレーム１２、並びに、フレーム１２に取り付けられて基板９上の感光材料に変調された光を照射する光照射部４を備える。また、描画装置１は、図２に示すように、保持部移動機構２や光照射部４等の各構成を制御する制御部６を備える。

基板保持部３は、基板９が載置されるステージ３１、ステージ３１を回転可能に支持する支持プレート３３、および、支持プレート３３上において、基板９の上面９１に垂直な回転軸３２１を中心としてステージ３１を回転するステージ回転機構３２を備える。

保持部移動機構２は、基板保持部３を図２および図３中のＸ方向（以下、「副走査方向」という。）に移動する副走査機構２３、副走査機構２３を介して支持プレート３３を支持するベースプレート２４、並びに、基板保持部３をベースプレート２４と共にＸ方向に垂直なＹ方向（以下、「主走査方向」という。）に移動する主走査機構２５を備える。描画装置１では、保持部移動機構２により、基板９の上面９１に平行な主走査方向および副走査方向に基板保持部３が移動される。

図２および図３に示すように、副走査機構２３は、支持プレート３３の下側（すなわち、（−Ｚ）側）において、ステージ３１の主面に平行、かつ、主走査方向に垂直な副走査方向に伸びるリニアモータ２３１、並びに、リニアモータ２３１の（＋Ｙ）側および（−Ｙ）側において副走査方向に伸びる一対のリニアガイド２３２を備える。主走査機構２５は、ベースプレート２４の下側において、ステージ３１の主面に平行な主走査方向に伸びるリニアモータ２５１、並びに、リニアモータ２５１の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側において主走査方向に伸びる一対のエアスライダ２５２を備える。

図３に示すように、光照射部４は、副走査方向に沿って等ピッチにて配列されてフレーム１２に取り付けられる複数（本実施の形態では、８つ）の光学ヘッド４１を備える。また、光照射部４は、図２に示すように、各光学ヘッド４１に接続される光源光学系４２、並びに、紫外光を出射するＵＶ光源４３および光源駆動部４４を備える。ＵＶ光源４３は固体レーザであり、光源駆動部４４が駆動されることにより、ＵＶ光源４３から波長３５５ｎｍの紫外光が出射され、光源光学系４２を介して光学ヘッド４１へと導かれる。

各光学ヘッド４１は、ＵＶ光源４３からの光を下方に向けて出射する出射部４５、出射部４５からの光を反射して空間光変調器４６へと導く光学系４５１、光学系４５１を介して照射された出射部４５からの光を変調しつつ反射する空間光変調器４６、および、空間光変調器４６からの変調された光を基板９の上面９１に設けられた感光材料上へと導く光学系４７を備える。

図４は、空間光変調器４６を拡大して示す図である。図４に示すように、空間光変調器４６は、出射部４５を介して照射されたＵＶ光源４３からの光を基板９の上面９１へと導く回折格子型の複数の光変調素子４６１を備える。光変調素子４６１は半導体装置製造技術を利用して製造され、格子の深さを変更することができる回折格子となっている。光変調素子４６１には複数の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂが交互に平行に配列形成され、複数の可撓リボン４６１ａは背後の基準面に対して個別に昇降移動可能とされ、複数の固定リボン４６１ｂは基準面に対して固定される。回折格子型の光変調素子としては、例えば、ＧＬＶ（Grating Light Valve：グレーチング・ライト・バルブ）（シリコン・ライト・マシーンズ（サニーベール、カリフォルニア）の登録商標）が知られている。

図５．Ａおよび図５．Ｂは、可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂに対して垂直な面における光変調素子４６１の断面を示す図である。図５．Ａに示すように可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂが基準面４６１ｃに対して同じ高さに位置する（すなわち、可撓リボン４６１ａが撓まない）場合には、光変調素子４６１の表面は面一となり、入射光Ｌ１の反射光が０次光Ｌ２として導出される。一方、図５．Ｂに示すように可撓リボン４６１ａが固定リボン４６１ｂよりも基準面４６１ｃ側に撓む場合には、可撓リボン４６１ａが回折格子の溝の底面となり、１次回折光Ｌ３（さらには、高次回折光）が光変調素子４６１から導出され、０次光Ｌ２は消滅する。このように、光変調素子４６１は回折格子を利用した光変調を行う。

図２に示す光照射部４では、ＵＶ光源４３からの光が光源光学系４２により線状光（光束断面が線状の光）とされ、出射部４５を介して空間光変調器４６のライン状に配列された複数の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂ（図５．Ａおよび図５．Ｂ参照）上に照射される。光変調素子４６１では、隣接する各１本の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂを１つのリボン対とすると、３つ以上のリボン対が描画されるパターンの１つの画素に対応する。光変調素子４６１では、各空間光変調器４６に接続される光変調素子制御部６１からの信号に基づいてパターンの各画素に対応するリボン対の可撓リボン４６１ａがそれぞれ制御され、各画素に対応するリボン対が０次光（正反射光）を出射する状態と、非０次回折光（主として１次回折光（（＋１）次回折光および（−１）次回折光））を出射する状態との間で遷移可能とされる。光変調素子４６１から出射される０次光は光学系４７へと導かれ、１次回折光は光学系４７とは異なる方向へと導かれる。なお、迷光となることを防止するために１次回折光は図示を省略する遮光部により遮光される。

光変調素子４６１からの０次光は、光学系４７を介して基板９の上面９１へと導かれ、これにより、基板９の上面９１上においてＸ方向（すなわち、副走査方向）に並ぶ複数の照射位置のそれぞれに変調された光が照射される。すなわち、光変調素子４６１の各画素に対応するリボン対は０次光を出射する状態がＯＮ状態であり、１次回折光を出射する状態がＯＦＦ状態とされる。

図２および図３に示す描画装置１では、保持部移動機構２の主走査機構２５により主走査方向に移動される基板９に対し、光照射部４の光変調素子４６１から変調された光が照射される。換言すれば、主走査機構２５は、光変調素子４６１から基板９へと導かれた光の基板９上における照射位置を、基板９に対して主走査方向に相対的に移動する照射位置移動機構となっている。なお、描画装置１では、基板９を移動することなく、光変調素子４６１が主走査方向に移動することにより基板９上の照射位置が主走査方向に移動されてもよい。描画装置１では、制御部６の光変調素子制御部６１により、光変調素子４６１からの光の変調が、データ変換装置７から描画装置１へと出力された出力データに基づいて制御されることにより、データ変換装置７に入力された入力データが示すパターンが基板９上に描画される。

次に、データ変換装置７について説明する。図６は、データ変換装置７の構成を示す図である。データ変換装置７は、通常のコンピュータと同様に、各種演算処理を行うＣＰＵ７０１、実行されるプログラムを記憶したり演算処理の作業領域となるＲＡＭ７０２、基本プログラムを記憶するＲＯＭ７０３、各種情報を記憶する固定ディスク７０４、作業者に各種情報を表示するディスプレイ７０５、および、キーボードやマウス等の入力部７０６等を接続した構成となっている。固定ディスク７０４内には、データ変換装置７により実行されるプログラム７０４１が記憶される。プログラム７０４１は、基板上に描画される予定のパターンを示すベクトルデータである入力データを、ランレングスデータである出力データに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）プログラムである。

図１では、データ変換装置７のＣＰＵ７０１（図６参照）等がプログラム７０４１に従って演算処理等を行うことにより（すなわち、プログラム７０４１がデータ変換装置７により実行されることにより）実現される機能をブロックにて示しており、図１中の記憶部７０、データ受付部７１、部分ランレングスデータ生成部７２、単位領域設定部７３、単位ランレングスデータ生成部７４、局所ランレングスリピート回数取得部７５、単位ランレングスリピート回数取得部７６、フォーマット変換部７８およびデータ出力部７７が、ＣＰＵ７０１等により実現される機能に相当する。なお、これらの機能は複数台のコンピュータにより実現されてもよい。

次に、データ変換装置７による入力データから出力データへのデータ変換について説明する。図７．Ａないし図７．Ｃ、並びに、図８は、データ変換装置７によるデータ変換の流れを示す図である。データ変換装置７では、まず、図１に示すデータ受付部７１により入力データが受け付けられる。図９は、入力データにより表されるパターンを示す図である。図９に示すように、入力データでは、所定の描画領域８に描画されるパターンを複数の図形要素群（図９中では６つの矩形の図形要素群８１〜８６が描かれており、以下、図形要素群を「セル」という。）として捉えた上で、複数のセルのそれぞれが、各セルを特定する識別子、各セルの形状を示すベクトルデータ、および、各セルの基板９（図２および図３参照）上における位置等を示すデータの集合であるデータ要素として表現される。実際のデータ変換装置７では、後述する処理が、入力データに含まれる複数のセル８１〜８６に対応するデータ要素に対して行われるが、以下の説明では、理解を容易とするために、図９に示すセル８１〜８６を処理の取扱対象として説明する。なお、実際の入力データは通常、図９に示すものよりも多種類かつ多数のセルを示すデータ要素を含む。

入力データに含まれる複数のセルはそれぞれ、少なくとも１つの多角形の図形要素（以下、「ポリゴン」という。）により構成されており、図９に示すように、セル８１は、３つのポリゴン８１１，８１２，８１３により構成される多階層セル（すなわち、多階層図形要素群）となっている。セル８３〜８６も、セル８１と同様に複数のポリゴンにより構成される多階層セルであり、また、セル８２はポリゴン８２１により構成される。図９では、図示の都合上、各セルに含まれるポリゴンに並行斜線を付す（図１０および図１１においても同様）。

データ受付部７１により入力データが受け付けられると、部分ランレングスデータ生成部７２（図１参照）により、入力データに含まれる各セルのベクトルデータに基づいて、各セルが図９中の上側から下側へと向かう方向（すなわち、描画装置１の（＋Ｙ）側から（−Ｙ）側へと向かう主走査方向に対応する方向であり、以下、「第１の方向」という。）を向く直線にて所定幅毎に分割され、図１０に示すように、第１の方向に垂直な第２の方向（すなわち、図１０中の左側から右側へと向かう方向であり、描画装置１の（＋Ｘ）側から（−Ｘ）側へと向かう副走査方向に対応する。）に配列された所定幅（以下、「単位幅」という。）の複数の領域８００が設定される。

そして、各セルの分割された領域８００（以下、「セル分割領域８００」という。）において、ポリゴンの各セル分割領域８００と重なる部分の情報が各セル分割領域８００のランレングスとして取得され、各セルをセル分割領域８００のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータが生成される（ステップＳ１１）。本実施の形態では、セル分割領域８００のランレングスは、ポリゴンのセル分割領域８００と重なる部分の第１の方向における始点および長さにより表される。なお、セル分割領域８００のランレングスは、例えば、ポリゴンのセル分割領域８００と重なる部分の第１の方向における始点および終点により表されてもよい。

続いて、単位領域設定部７３（図１参照）により、複数のセルが配置される描画領域８が、図１０に示すセル分割領域８００の設定に用いられた直線（すなわち、第１の方向を向く直線）にて単位幅に分割されることにより、図１１に示すように、第２の方向に配列された単位幅の複数の単位領域８０が設定される（ステップＳ１２）。なお、後述するように、単位領域８０の設定に用いられる複数の直線は、セル分割領域８００の設定に用いられる複数の直線と必ずしも一致する必要はない。また、ステップＳ１２における単位領域８０の設定は、ステップＳ１１における部分ランレングスデータの生成よりも前に行われてもよく、ステップＳ１１と並行して行われてもよい。

単位領域８０が設定されると、単位ランレングスデータ生成部７４（図１参照）により、図１１中の最も左側の単位領域８０が最初の注目単位領域８０ａとして決定され（ステップＳ１３）、注目単位領域８０ａと重なる一または複数のセルが注目セルとして抽出される（ステップＳ１４）。注目セルの抽出は、各セルの形状を示すベクトルデータ、および、描画領域８における各セルの位置を示すデータに基づいて行われ、この場合、セル８３が注目セルとして抽出される。

１つ以上の注目セルが抽出されると、各注目セルの注目単位領域８０ａと重なるランレングスである注目ランレングスが、ステップＳ１１において生成された各セルの部分ランレングスデータから取得され、当該注目ランレングスに基づいて注目単位領域８０ａの単位ランレングスデータが生成される。現在の注目単位領域８０ａについては、セル８３の注目単位領域８０ａと重なるセル分割領域８００ａ（以下、「注目セル分割領域８００ａ」という。）のランレングスである注目ランレングス（すなわち、図１１中においてポリゴン８３１の太実線にて示す領域８３１ａを表すランレングス）に基づいて注目単位領域８０ａの単位ランレングスデータが生成される。注目単位領域８０ａの単位ランレングスデータは、記憶部７０（図１参照）へと出力されて記憶される（ステップＳ１５）。

次に、局所ランレングスリピート回数取得部７５（図１参照）により、各注目セルについて、注目セルの注目ランレングスと同一のランレングスが第２の方向（すなわち、図１１中の左側から右側へと向かう方向）に連続して存在する個数が、注目セルの局所ランレングスリピート回数として取得される（ステップＳ１６）。図１１に示すように、注目セルであるセル８３では、注目セル分割領域８００ａよりも右側にポリゴン８３１のみと重なる２つのセル分割領域８００が存在し、当該２つのセル分割領域８００におけるポリゴン８３１のランレングスは、注目セル分割領域８００ａにおけるポリゴン８３１のランレングスに等しい。また、注目セル分割領域８００ａの３つ右のセル分割領域８００はポリゴン８３１およびポリゴン８３２と重なるため、当該セル分割領域８００のランレングスは、注目セル分割領域８００ａのランレングスとは異なる。したがって、注目単位領域８０ａ（すなわち、図１１中の最も左側の単位領域）に係るセル８３の局所ランレングスリピート回数は２とされる。

データ変換装置７では、上述の局所ランレングスリピート回数の取得は、図８に示す流れに沿って行われる。以下、局所ランレングスリピート回数の取得の詳細について説明する。まず、ステップＳ１１においてセル８３が分割されて得られた複数のセル分割領域８００（すなわち、描画領域８の単位領域８０よりも下位の単位領域である下位単位領域）の１つである図１０中の最も左側のセル分割領域（すなわち、注目単位領域８０ａと重なるセル分割領域）が注目セル分割領域８００ａとして決定され（ステップＳ１６１）、注目セル分割領域８００ａと重なる一または複数のポリゴンが注目ポリゴンとして抽出される（ステップＳ１６２）。そして、各注目ポリゴンの注目セル分割領域８００ａと重なるランレングスである注目下位ランレングスが取得される（ステップＳ１６３）。現在の注目セル分割領域８００ａについては、セル８３のポリゴン８３１が注目ポリゴンとして抽出され、ポリゴン８３１の注目セル分割領域８００ａと重なる領域（すなわち、図１１において太実線にて示す領域８３１ａ）のランレングスが、注目下位ランレングスとして取得される。

続いて、各注目ポリゴンについて、注目ポリゴンの注目下位ランレングスと同一のランレングスが第２の方向に連続して存在する個数が、注目ポリゴンの下位局所ランレングスリピート回数として取得される（ステップＳ１６４）。下位局所ランレングスリピート回数の取得は、例えば、ポリゴン８３１の形状を示すベクトルデータに基づいて行われてもよく、ポリゴン８３１において領域８３１ａと領域８３１ａの右側の複数の単位幅の領域とを順次比較することにより行われてもよい。

下位局所ランレングスリピート回数が取得されると、注目セルを構成する各ポリゴンの位置を示すデータに基づいて、注目セル分割領域８００ａから第２の方向に向かってセル分割領域８００が新たなポリゴンと重なる直前までのセル分割領域８００の個数が、下位リピート停止回数として取得される（ステップＳ１６５）。図１１に示すように、セル８３では、注目ポリゴンであるポリゴン８３１の注目下位ランレングスと同一のランレングスが注目セル分割領域８００ａの右側に６つ存在し、注目セル分割領域８００ａよりも３つ右側のセル分割領域８００にて新たなポリゴン８３２が出現するため、下位局所ランレングスリピート回数が６とされ、下位リピート停止回数が２とされる。

そして、全ての注目ポリゴンに関して取得された下位局所ランレングスリピート回数、および、注目セル分割領域８００ａの下位リピート停止回数の最小値が、注目セル分割領域８００ａの局所ランレングスリピート回数として取得される（ステップＳ１６６）。上述のように、注目ポリゴンはポリゴン８３１のみであるため、ポリゴン８３１の下位局所ランレングスリピート回数である６、および、下位リピート停止回数である２の最小値である２が、局所ランレングスリピート回数とされる。

局所ランレングスリピート回数が取得されると、単位ランレングスリピート回数取得部７６（図１参照）により、注目単位領域８０ａと重なる全ての注目セルに関して取得された局所ランレングスリピート回数の最小値が、注目単位領域８０ａに係る単位ランレングスリピート回数として取得される（ステップＳ１７）。この場合、注目セルはセル８３のみであるため、セル８３の局所ランレングスリピート回数である２が、単位ランレングスリピート回数とされる。ここでいう単位ランレングスリピート回数とは、現在の注目セル以外のセルが存在しないと仮定した場合に、注目単位領域８０ａの右側に隣接する注目単位領域８０ａと単位ランレングスデータが等しい単位領域８０の個数を表す値である。

単位ランレングスリピート回数が取得されると、注目単位領域８０ａの第２の方向に隣接する次の単位領域８０（すなわち、注目単位領域８０ａの右隣の単位領域）の存在が確認された後（ステップＳ２１）、次の単位領域８０と重なる一または複数のセルが抽出され、注目単位領域８０ａに重なる注目セルと次の単位領域８０に重なるセルとが比較される（ステップＳ２２）。図１１に示すように、次の単位領域８０と重なるセルはセル８３のみであるため、次の単位領域８０に重なるセルは注目セルと一致すると判断される。

続いて、注目単位領域８０ａの単位ランレングスリピート回数が１以上であるか否かが確認される（ステップＳ２３）。上述のように、単位ランレングスリピート回数は２であり、この場合、次の単位領域８０（すなわち、左側から２番目の単位領域）の単位ランレングスデータとして、注目単位領域８０ａ（すなわち、最も左側の単位領域）の単位ランレングスデータが単位ランレングスデータ生成部７４により記憶部７０へと出力されて記憶される（ステップＳ２４）。そして、単位ランレングスリピート回数から１が減算されて単位ランレングスリピート回数が１とされるとともに、注目単位領域が、現在の注目単位領域８０ａの右側に隣接する次の単位領域８０に変更される（ステップＳ２５，Ｓ２６）。

注目単位領域が図１１中の左側から２番目の単位領域に変更されると、ステップＳ２１に戻り、注目単位領域の第２の方向に隣接する次の単位領域８０の存在が確認された後（ステップＳ２１）、次の単位領域８０（すなわち、図１１中の左側から３番目の単位領域）と重なる一または複数のセルが抽出され、注目単位領域に重なる注目セルと次の単位領域８０に重なるセルとが比較される（ステップＳ２２）。図１１に示すように、注目単位領域と重なるセルはセル８３のみであり、次の単位領域８０と重なるセルはセル８１およびセル８３であるため、次の単位領域８０に重なるセルは注目セルとは一致しないと判断され、この場合、注目単位領域の単位ランレングスリピート回数が０とされる（ステップＳ２２１）。そして、注目単位領域の単位ランレングスリピート回数が１未満であることが確認された後、注目単位領域が次の単位領域８０に変更される（ステップＳ２３，Ｓ２７）。なお、ステップＳ２２１において注目単位領域の単位ランレングスリピート回数が０とされた場合、ステップＳ２３における単位ランレングスリピート回数の確認が行われることなく（すなわち、ステップＳ２３がスキップされて）、ステップＳ２７の注目単位領域の変更が行われてもよい。

注目単位領域が図１１中の左側から３番目の単位領域に変更されると、ステップＳ１４に戻り、注目単位領域と重なるセル８１およびセル８３が注目セルとして抽出され、セル８１，８３の注目単位領域と重なる注目ランレングス（すなわち、ポリゴン８１１，８３１により決定されるランレングス）に基づいて、注目単位領域の単位ランレングスデータが生成されて記憶部７０へと出力される（ステップＳ１４，Ｓ１５）。

続いて、セル８１およびセル８３の局所ランレングスリピート回数の取得が行われる（ステップＳ１６）。セル８１では、ポリゴン８１１の注目セル分割領域と重なる領域と同形状の領域が注目セル分割領域の右側に６つ存在し、注目セル分割領域よりも６つ右側のセル分割領域８００（すなわち、ポリゴン８１１の右端の領域が重なるセル分割領域）は、ポリゴン８１２の左端の領域と重なっているため、局所ランレングスリピート回数が５とされる。また、セル８３では、注目セル分割領域の右隣のセル分割領域８００がポリゴン８３２の左端の領域と重なっているため、局所ランレングスリピート回数が０とされる。そして、セル８１およびセル８３の局所ランレングスリピート回数の最小値である０が単位ランレングスリピート回数として取得される（ステップＳ１７）。

単位ランレングスリピート回数が取得されると、次の単位領域８０（すなわち、左側から４番目の単位領域）に重なるセルと注目セルとが比較され、両者ともセル８１およびセル８３であるため、単位ランレングスリピート回数が１以上であるか否かが確認される（ステップＳ２１〜Ｓ２３）。上述のように、単位ランレングスリピート回数は０であるため、注目単位領域が次の単位領域８０に変更される（ステップＳ２７）。

注目単位領域が図１１中の左側から４番目の単位領域に変更されると、ステップＳ１４に戻り、注目単位領域と重なるセル８１，８３の注目ランレングス（すなわち、ポリゴン８１１，８３１，８３２により決定されるランレングス）に基づいて注目単位領域の単位ランレングスデータが生成されて記憶部７０へと出力される（ステップＳ１４，Ｓ１５）。そして、セル８１およびセル８３の局所ランレングスリピート回数としてそれぞれ４および３が取得され、単位ランレングスリピート回数として３が取得される（ステップＳ１６，Ｓ１７）。その後、次の単位領域８０（すなわち、左側から５番目の単位領域）に重なるセル８１，８２，８３と注目セル８１，８３とが異なることから単位ランレングスリピート回数が０とされ、注目単位領域が次の単位領域８０に変更される（ステップＳ２１，Ｓ２２，Ｓ２２１，Ｓ２３，Ｓ２７）。

注目単位領域が図１１中の左側から５番目の単位領域に変更されると、ステップＳ１４に戻り、注目単位領域と重なるセル８１〜８３の注目ランレングス（すなわち、ポリゴン８１１，８２１，８３１，８３２により決定されるランレングス）に基づいて注目単位領域の単位ランレングスデータが生成されて記憶部７０へと出力される（ステップＳ１４，Ｓ１５）。続いて、セル８１〜８３の局所ランレングスリピート回数としてそれぞれ３，８および２が取得され、単位ランレングスリピート回数として２が取得される（ステップＳ１６，Ｓ１７）。

次に、次の単位領域８０（すなわち、左側から６番目の単位領域）に重なるセル８１〜８３と注目セル８１〜８３とが一致すること、および、単位ランレングスリピート回数が１以上であることが確認され、次の単位領域８０の単位ランレングスデータとして注目単位領域の単位ランレングスデータが記憶部７０へと出力される（ステップＳ２１〜Ｓ２４）。そして、単位ランレングスリピート回数から１が減算された後、注目単位領域が次の単位領域８０に変更される（ステップＳ２５，Ｓ２６）。

注目単位領域が図１１中の左側から６番目の単位領域に変更されると、ステップＳ２１に戻り、上述のステップＳ２１〜Ｓ２６が行われて、左から７番目の単位領域の単位ランレングスデータとして注目単位領域の単位ランレングスデータが記憶部７０へと出力され、単位ランレングスリピート回数から１が減算された後、注目単位領域が次の単位領域８０に変更される。

データ変換装置７では、次の単位領域８０が存在しなくなるまで、描画領域８の複数の単位領域８０のそれぞれと重なる一または複数のセルのランレングスを示す単位ランレングスデータが、第２の方向に向かって順次生成されて記憶部７０へと出力され、記憶部７０にてこれらの単位ランレングスデータが、対応する単位領域８０の位置を示すデータと関連付けられることにより、複数のセルのランレングスデータである出力データが生成される。

なお、上述のステップＳ１４における注目セルの抽出では、描画領域８中の全てのセルについて注目単位領域との重なりの判定が行われてもよいが、右側のエッジが注目単位領域よりも左側に位置するセルについては、注目単位領域との重なりの判定が行われることなく、注目セルから除外されることが好ましい。これにより、注目セルの抽出に要する時間が短縮される。

図１に示す描画システム１００では、データ変換装置７において生成された出力データが、フォーマット変換部７８により描画装置１における処理に適合するフォーマットにフォーマット変換された後、データ出力部７７により描画装置１へと出力される。そして、当該フォーマット変換後のデータに基づいて図２に示す制御部６の光変調素子制御部６１から各空間光変調器４６へと信号が送られるとともに、主走査機構２５により基板９が主走査方向（すなわち、基板９上における上記第１の方向に対応する方向）に移動することにより、データ変換装置７に入力された入力データが示すパターンが基板９上の感光材料に描画される。なお、データ変換装置７では、出力データがフォーマット変換されることなく描画装置１へと出力され、描画装置１においてフォーマット変換が行われてもよい。

以上に説明したように、データ変換装置７では、入力データから出力データへの変換において、描画領域８の複数の単位領域８０の単位ランレングスデータを順次生成する際に、注目単位領域と重なる各注目セルの局所ランレングスリピート回数（すなわち、各注目セルの注目ランレングスの第２の方向における繰り返し回数）に基づいて単位ランレングスリピート回数が取得される。そして、単位ランレングスリピート回数が１以上であって、かつ、注目単位領域の次の単位領域８０に重なるセルと注目セルとが一致する場合に、すなわち、注目単位領域上の全セルの注目単位領域に重なるランレングスと、次の単位領域８０上の全セルの次の単位領域８０に重なるランレングスとが同一である場合に、次の単位領域８０の単位ランレングスデータとして注目単位領域の単位ランレングスデータが出力される。

ここで、仮に、全ての単位領域について、各単位領域上のセルの各単位領域と重なるランレングスを取得して、当該ランレングスに基づいて単位ランレングスデータを生成するデータ変換装置を想定すると、このようなデータ変換装置（以下、「比較例のデータ変換装置」という。）では、同一の単位ランレングスデータが第２の方向において連続する場合であっても、これらの単位ランレングスデータを個々に生成することとなり、その結果、出力データの生成に長時間を要することとなる。

これに対し、本実施の形態に係るデータ変換装置７では、同一の単位ランレングスデータが第２の方向において連続する場合に、これら同一の単位ランレングスデータのうちの１つのみを生成し、生成された単位ランレングスデータを他の単位ランレングスデータとして使用することにより、出力データの生成に要する時間を短縮することができる。

図１２．Ａおよび図１２．Ｂはそれぞれ、本実施の形態に係るデータ変換装置７によるデータ変換に要する時間、および、比較例のデータ変換装置におけるデータ変換に要する時間を示すグラフである。図１２．Ａおよび図１２．Ｂでは、４種類の基板９ａ〜９ｄのそれぞれのデータ変換に要した時間を示す。各基板は８層のレイヤ９０１〜９０８を有しており、図１２．Ａおよび図１２．Ｂでは、各レイヤのデータ変換に要した時間もそれぞれ示している。図１２．Ａおよび図１２．Ｂに示すように、データ変換装置７によるデータ変換により、比較例のデータ変換装置によるデータ変換に比べて、約３７％〜６１％の処理時間削減が実現される。また、基板９ａ〜９ｄのいずれのレイヤにおいても、データ変換装置７によるデータ変換に要した時間は、比較例のデータ変換装置による処理時間以下となっている。

本実施の形態に係るデータ変換装置７では、局所ランレングスリピート回数の取得が、図８に示すように、注目セル分割領域８００ａと重なる各注目ポリゴンの下位局所ランレングスリピート回数（すなわち、各注目ポリゴンの注目下位ランレングスの第２の方向における繰り返し回数）、および、注目セル分割領域８００ａに係る下位リピート停止回数（すなわち、注目ポリゴンの変化が現れるまでのセル分割領域８００の個数）に基づいて行われる。このように、セル分割領域８００のランレングスに比べて第２の方向における連続または非連続の判定が容易なポリゴンを取り扱い対象とすることにより、注目セル分割領域の注目ランレングスを他のセル分割領域のランレングスと第２の方向に順次比較して局所ランレングスリピート回数を求める場合に比べて、局所ランレングスリピート回数を速やかに効率良く求めることができる。

データ変換装置７（および、後述するデータ変換装置７ａ）では、ステップＳ１６における注目セルの局所ランレングスリピート回数の取得は、必ずしも図８に示す流れに沿って行われる必要はなく、他の方法により行われてもよい。例えば、図１３に示すように、ステップＳ１１において各セルをセル分割領域８００のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータが生成された後、当該部分ランレングスデータに基づいて、各セルにおいて第２の方向に連続する複数の同一ランレングスが存在する場合に、第２の方向における複数の同一ランレングスの開始位置（すなわち、複数の同一ランレングスに対応する複数のセル分割領域８００のうち、図１０中における最も左側に位置するセル分割領域８００の位置）である同一ランレングス開始位置と、複数の同一ランレングスに含まれるランレングスの個数である同一ランレングス数とが求められる（ステップＳ１１１）。

続いて、複数の単位領域８０の設定、注目単位領域の決定、注目セルの抽出、および、注目単位領域８０ａの単位ランレングスデータの生成（ステップＳ１２〜Ｓ１５）が行われた後、ステップＳ１６において、注目セルの注目ランレングスがステップＳ１１１にて求められた第２の方向に連続する複数の同一ランレングスに含まれる場合に、複数の同一ランレングスの同一ランレングス開始位置および同一ランレングス数に基づいて注目セルの局所ランレングスリピート回数が求められる。具体的には、注目ランレングスの位置（すなわち、注目セル分割領域の位置）と同一ランレングス開始位置とに基づいて、複数の同一ランレングスに対応する複数のセル分割領域８００のうち最も左側に位置するセル分割領域８００から注目セル分割領域までの距離が求められ、当該距離を単位幅で除算した値および１を同一ランレングス数から減算することにより、局所ランレングスリピート回数が求められる。

この場合も、注目セル分割領域の注目ランレングスを他のセル分割領域のランレングスと第２の方向に順次比較して局所ランレングスリピート回数を求める場合に比べて、ランレングスの比較作業に係る時間を削減することができるため、局所ランレングスリピート回数を速やかに効率良く求めることができる。

次に、本発明の第２の実施の形態に係る描画システムについて説明する。図１４は、第２の実施の形態に係る描画システム１００ａの構成を示す図であり、描画システム１００ａは、データ変換装置７ａおよび描画装置１を備える。データ変換装置７ａの構成は図６と同様であり、以下の説明では対応する構成に同符号を付す。データ変換装置７ａは、ＣＰＵ７０１（図６参照）等がプログラムに従って演算処理等を行うことにより実現される機能として、図１４に示すように、図１に示すデータ変換装置７の各機能に加えてリピート停止回数取得部７５１を備える。また、描画装置１の構成は第１の実施の形態（図２および図３参照）と同様である。

データ変換装置７ａによる入力データから出力データへのデータ変換の動作は、第１の実施の形態に係るデータ変換装置７の動作と前半（図７．Ａ中のステップＳ１１〜Ｓ１６参照）は同様であり、図１５．Ａおよび図１５．Ｂに示すように、後半は異なる。

データ変換装置７ａによるデータ変換では、まず、図１４に示すデータ受付部７１により受け付けられた入力データに基づいて、部分ランレングスデータ生成部７２により、図１０に示す各セルが単位幅に分割されて複数のセル分割領域８００が設定され、各セルをセル分割領域８００のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータが生成される（図７．Ａ：ステップＳ１１）。

続いて、単位領域設定部７３により、描画領域８が単位幅に分割されて図１１に示す複数の単位領域８０が設定され（ステップＳ１２）、単位ランレングスデータ生成部７４により、図１１中の最も左側の単位領域８０が最初の注目単位領域８０ａとして決定される（ステップＳ１３）。そして、注目単位領域８０ａと重なる一または複数のセル（すなわち、セル８３）が注目セルとして抽出され、各注目セルの注目ランレングス（すなわち、注目セル分割領域８００ａのランレングス）が取得され、さらに、当該注目ランレングスに基づいて注目単位領域８０ａの単位ランレングスデータが生成されて記憶部７０へと出力される（ステップＳ１４，Ｓ１５）。

次に、局所ランレングスリピート回数取得部７５により、各注目セルについて、注目セルの注目ランレングスと同一のランレングスが第２の方向（すなわち、図１１中の左側から右側へと向かう方向）に連続して存在する個数が、注目セルの局所ランレングスリピート回数として取得される（ステップＳ１６）。本実施の形態でも、第１の実施の形態と同様に、セル８３の局所ランレングスリピート回数が２とされる。ステップＳ１６における局所ランレングスリピート回数の取得は、第１の実施の形態と同様に、図８に示すステップＳ１６１〜Ｓ１６６により行われる。

局所ランレングスリピート回数が取得されると、リピート停止回数取得部７５１により、注目単位領域８０ａから第２の方向に向かって単位領域８０が新たなセルと重なる直前までの単位領域８０の個数が、リピート停止回数として取得される（図１５．Ａ：ステップＳ３１）。図１１に示すように、注目単位領域８０ａ（すなわち、図１１中の最も左側の単位領域）から第２の方向に向かう場合に、セル８３に次いで出現するセル８１と注目単位領域８０ａとの間には１つの単位領域８０が存在するため、リピート停止回数は１とされる。

リピート停止回数が取得されると、単位ランレングスリピート回数取得部７６により、全ての注目セルに関して取得された局所ランレングスリピート回数および上記のリピート停止回数の最小値が、注目単位領域８０ａに係る単位ランレングスリピート回数として取得される（ステップＳ３２）。現在の注目単位領域８０ａに係る単位ランレングスリピート回数は１とされる。

続いて、注目単位領域８０ａの単位ランレングスリピート回数が１以上であるか否かが確認される（ステップＳ３３）。上述のように、単位ランレングスリピート回数は１であり、この場合、注目単位領域８０ａから単位ランレングスリピート回数だけ第２の方向に並ぶ単位領域８０の単位ランレングスデータとして、単位ランレングスリピート回数分の注目単位領域８０ａの単位ランレングスデータが記憶部７０へと出力されて記憶される（ステップＳ３４）。そして、注目単位領域が、現在の注目単位領域８０ａから単位ランレングスリピート回数に１を加えた数だけ第２の方向に離れた単位領域８０に変更される（ステップＳ３５）。この場合、注目単位領域８０ａの右に並ぶ１つの単位領域８０（すなわち、図１１中の左から２番目の単位領域）の単位ランレングスデータとして、注目単位領域８０ａの単位ランレングスデータが記憶部７０へと出力され、注目単位領域８０ａから２つだけ離れた図１１中の左から３番目の単位領域８０が、新たな注目単位領域とされる。

注目単位領域が変更されると、ステップＳ１４に戻り、注目単位領域と重なるセル８１およびセル８３が注目セルとして抽出され、セル８１，８３の注目単位領域と重なる注目ランレングス（すなわち、ポリゴン８１１，８３１により決定されるランレングス）に基づいて、注目単位領域の単位ランレングスデータが生成されて記憶部７０へと出力される（ステップＳ１４，Ｓ１５）。次に、セル８１およびセル８３の局所ランレングスリピート回数としてそれぞれ５および０が取得され（ステップＳ１６）、注目単位領域に係るリピート停止回数として１が取得され（ステップＳ３１）、これらの回数の最小値として、単位ランレングスリピート回数が０とされる（ステップＳ３２）。

単位ランレングスリピート回数が０であることが確認されると、注目単位領域の第２の方向に隣接する次の単位領域８０の存在が確認された後、注目単位領域が次の単位領域８０（すなわち、図１１中の左から４番目の単位領域）に変更される（ステップＳ３３，Ｓ３６，Ｓ３７）。そして、ステップＳ１４に戻り、注目単位領域と重なるセル８１，８３の注目ランレングス（すなわち、ポリゴン８１１，８３１，８３２により決定されるランレングス）に基づいて注目単位領域の単位ランレングスデータが生成されて記憶部７０へと出力される（ステップＳ１４，Ｓ１５）。

続いて、注目単位領域と重なるセル８１およびセル８３の局所ランレングスリピート回数としてそれぞれ４および３が取得され、注目単位領域に係るリピート停止回数として０が取得され、これらの回数の最小値として、単位ランレングスリピート回数が０とされる（ステップＳ１６，Ｓ３１，Ｓ３２）。また、上記と同様に、注目単位領域が図１１中の左から５番目の単位領域に変更される（ステップＳ３３，Ｓ３６，Ｓ３７）。

注目単位領域が変更されると、ステップＳ１４に戻り、注目単位領域と重なるセル８１〜８３の注目ランレングス（すなわち、ポリゴン８１１，８２１，８３１，８３２により決定されるランレングス）に基づいて注目単位領域の単位ランレングスデータが生成されて記憶部７０へと出力される（ステップＳ１４，Ｓ１５）。次に、セル８１〜８３の局所ランレングスリピート回数としてそれぞれ３，８および２が取得され、注目単位領域に係るリピート停止回数として１９（すなわち、注目単位領域とセル８５との間に存在する単位領域８０の個数）が取得され、これらの回数の最小値として、単位ランレングスリピート回数が２とされる（ステップＳ１６，Ｓ３１，Ｓ３２）。

そして、注目単位領域の単位ランレングスリピート回数が１以上であることが確認され（ステップＳ３３）、注目単位領域から第２の方向に並ぶ２つの単位領域８０（すなわち、図１１中の左から６番目および７番目の単位領域）の単位ランレングスデータとして、注目単位領域（すなわち、図１１中の左から５番目の単位領域）の単位ランレングスデータが２つ分だけ記憶部７０へと出力される（ステップＳ３４）。その後、注目単位領域が、現在の注目単位領域から第２の方向に３つ離れた単位領域８０（すなわち、図１１中の左から８番目の単位領域）に変更される（ステップＳ３５）。

データ変換装置７ａでは、次の単位領域８０が存在しなくなるまで、描画領域８の複数の単位領域８０のそれぞれと重なる一または複数のセルのランレングスを示す単位ランレングスデータが、第２の方向に向かって順次生成されて記憶部７０へと出力され、記憶部７０にてこれらの単位ランレングスデータが対応する単位領域８０の位置を示すデータと関連付けられることにより、複数のセルのランレングスデータである出力データが生成される。生成された出力データは、第１の実施の形態と同様に、必要に応じてフォーマット変換された後に描画装置１へと出力される。

以上に説明したように、データ変換装置７ａでは、入力データから出力データへの変換において、描画領域８の複数の単位領域８０の単位ランレングスデータを順次生成する際に、注目単位領域と重なる各注目セルの局所ランレングスリピート回数およびリピート停止回数（すなわち、重なるセルが同一の単位領域８０が第２の方向において繰り返し出現する回数）に基づいて単位ランレングスリピート回数が取得される。そして、単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、すなわち、注目単位領域上の全セルの注目単位領域に重なるランレングスと、注目単位領域から第２の方向に連続する各単位領域８０上の全セルの当該単位領域８０に重なるランレングスとが同一である場合に、当該各単位領域８０のランレングスから単位ランレングスデータを生成することなく、当該各単位領域８０の単位ランレングスデータとして、注目単位領域の単位ランレングスデータが出力される。

データ変換装置７ａでは、第１の実施の形態と同様に、同一の単位ランレングスデータが第２の方向において連続する場合に、これら同一の単位ランレングスデータのうちの１つのみを生成し、生成された単位ランレングスデータを他の単位ランレングスデータとして使用することにより、出力データの生成に要する時間を短縮することができる。

データ変換装置７ａでは、また、第１の実施の形態と同様に、局所ランレングスリピート回数の取得が、図８に示すステップＳ１６１〜Ｓ１６６により行われることにより、局所ランレングスリピート回数を速やかに効率良く求めることができる。データ変換装置７ａでは、特に、局所ランレングスリピート回数の取得と単位ランレングスリピート回数の取得とをほぼ同様の手順にて行って処理の共通化を図ることにより、局所ランレングスリピート回数および単位ランレングスリピート回数をより効率良く求めることができる。

次に、本発明の第３の実施の形態に係る描画システムについて説明する。図１６は、第３の実施の形態に係る描画システム１００ｂの構成を示す図であり、描画システム１００ｂは、データ変換装置７ｂおよび描画装置１を備える。データ変換装置７ｂの構成は図６と同様であり、以下の説明では対応する構成に同符号を付す。また、描画装置１の構成は第１の実施の形態（図２および図３参照）と同様である。

図１６に示すように、データ変換装置７ｂは、ＣＰＵ７０１（図６参照）等がプログラムに従って演算処理等を行うことにより実現される機能として、図１に示すデータ変換装置７の局所ランレングスリピート回数取得部７５および単位ランレングスリピート回数取得部７６を除く他の機能に加え、バッファ７００を備える。以下の説明では、対応する機能に図１と同様の符号を付す。

データ変換装置７ｂによる入力データから出力データへのデータ変換の動作は、第１の実施の形態に係るデータ変換装置７の動作とステップＳ１１〜Ｓ１４（図７．Ａ参照）のみが共通している。図１７．Ａおよび図１７．Ｂは、ステップＳ１４よりも後のデータ変換装置７ｂの動作の流れを示す図である。データ変換装置７ｂによるデータ変換では、まず、図１６に示すデータ受付部７１により受け付けられた入力データに基づいて、部分ランレングスデータ生成部７２により、図１０に示す各セルに複数のセル分割領域８００が設定されて各セルの部分ランレングスデータが生成される（図７．Ａ：ステップＳ１１）。

続いて、単位領域設定部７３により、描画領域８が単位幅に分割されて図１１に示す複数の単位領域８０が設定され（ステップＳ１２）、単位ランレングスデータ生成部７４により、図１１中の最も左側の単位領域８０が最初の注目単位領域８０ａとして決定されるとともに、注目単位領域８０ａと重なる一または複数のセル（すなわち、セル８３）が注目セルとして抽出される（ステップＳ１３，Ｓ１４）。

次に、各注目セルの注目ランレングス（すなわち、注目セル分割領域８００ａのランレングス）が取得され、当該注目ランレングスに基づいて注目単位領域８０ａの単位ランレングスデータであるカレント単位ランレングスデータが生成される（図１７．Ａ：ステップＳ４１）。

カレント単位ランレングスデータが生成されると、当該カレント単位ランレングスデータの生成よりも前に既に生成されてバッファ７００に保存されている単位ランレングスデータが存在するか否かが確認される（ステップＳ４２）。この場合は、既に生成された単位ランレングスデータ（以下、「先行単位ランレングスデータ」という。）が存在しないため、フォーマット変換部７８により、カレント単位ランレングスデータがフォーマット変換されて出力データの一部である変換済み単位ランレングスデータが生成され、当該変換済み単位ランレングスデータが記憶部７０へと出力されるとともにバッファ７００に保存される（ステップＳ４４）。また、上記カレント単位ランレングスデータは、先行単位ランレングスデータとしてバッファ７００に保存される（ステップＳ４５）。

先行単位ランレングスデータの保存が終了すると、注目単位領域８０ａの第２の方向に隣接する次の単位領域８０（すなわち、注目単位領域８０ａの右隣の単位領域）の存在が確認された後（ステップＳ４６）、注目単位領域が、現在の注目単位領域８０ａの右側に隣接する次の単位領域８０に変更される（ステップＳ４７）。

注目単位領域が図１１中の左側から２番目の単位領域に変更されると、ステップＳ１４に戻り、注目単位領域と重なるセル８３が注目セルとして抽出され、注目セルの注目ランレングスに基づいて注目単位領域のカレント単位ランレングスデータが生成される（ステップＳ１４，Ｓ４１）。続いて、先行単位ランレングスデータの存在が確認され（ステップＳ４２）、カレント単位ランレングスデータと先行単位ランレングスデータが比較されてカレント単位ランレングスデータと先行単位ランレングスデータとが同じであることが確認される（ステップＳ４３）。そして、バッファ７００に記憶されている前回生成された変換済み単位ランレングスデータ（すなわち、図１１中の最も左側の単位領域の単位ランレングスデータをフォーマット変換したもの）が、注目単位領域の変換済み単位ランレングスデータとして記憶部７０に出力された後、注目単位領域が、左側から３番目の単位領域８０に変更される（ステップＳ４８，Ｓ４６，Ｓ４７）。

注目単位領域が変更されると、ステップＳ１４に戻り、注目単位領域と重なるセル８１，８３が注目セルとして抽出されて注目単位領域のカレント単位ランレングスデータが生成され、先行単位ランレングスデータが存在すること、および、カレント単位ランレングスデータと先行単位ランレングスデータとが異なることが確認される（ステップＳ１４，Ｓ４１〜Ｓ４３）。次に、カレント単位ランレングスデータが、変換済み単位ランレングスデータにフォーマット変換されて記憶部７０へと出力されるとともにバッファ７００に保存され、さらに、カレント単位ランレングスデータが先行単位ランレングスデータとしてバッファ７００に保存された後、注目単位領域が、左側から４番目の単位領域８０に変更される（ステップＳ４４〜Ｓ４７）。このとき、バッファ７００に記憶されていた最初の注目単位領域の単位ランレングスデータおよび変換済み単位ランレングスデータは、現在の注目単位領域の単位ランレングスデータおよび変換済み単位ランレングスデータにより上書きされる。

そして、左側から４番目および５番目の単位領域８０について、上記と同様にステップＳ１４，Ｓ４１〜Ｓ４７が繰り返され、左側から６番目の単位領域８０について、ステップＳ１４，Ｓ４１〜Ｓ４３，Ｓ４８，Ｓ４６が行われた後、左側から７番目の単位領域８０が注目単位領域とされる（ステップＳ４７）。

左側から７番目の単位領域８０についても、注目セルの抽出、カレント単位ランレングスデータの生成、および、先行単位ランレングスデータの存在の確認が行われ（ステップＳ１４，Ｓ４１，Ｓ４２）、カレント単位ランレングスデータと先行単位ランレングスデータ（すなわち、左側のから５番目の単位領域の単位ランレングスデータ）とが同じであることが確認された後、バッファ７００に記憶されている変換済み単位ランレングスデータ（すなわち、左側のから５番目の単位領域の変換済み単位ランレングスデータ）が、注目単位領域である７番目の単位領域８０の変換済み単位ランレングスデータとして出力されて記憶部７０に保存される（ステップＳ４８）。その後、左側から８番目の単位領域８０が注目単位領域とされる（ステップＳ４６，Ｓ４７）。

データ変換装置７では、次の単位領域８０が存在しなくなるまで、描画領域８の複数の単位領域８０のそれぞれと重なる一または複数のセルのランレングスを示す単位ランレングスデータが第２の方向に向かって順次生成され、単位ランレングスデータに対応する変換済み単位ランレングスデータが記憶部７０へと順次出力されて保存される。そして、記憶部７０にてこれらの変換済み単位ランレングスデータが対応する単位領域８０の位置を示すデータと関連付けられることにより、複数のセルのランレングスデータである出力データが生成される。

以上に説明したように、データ変換装置７ｂでは、入力データから出力データへの変換において、描画領域８の複数の単位領域８０の変換済み単位ランレングスデータを順次出力する際に、注目単位領域の単位ランレングスデータと先行単位ランレングスデータとが同じである場合に、注目単位領域の単位ランレングスデータに対してフォーマット変換を行うことなく、既に生成されている変換済み単位ランレングスデータが注目単位領域の変換済み単位ランレングスデータとして出力される。これにより、出力データの生成に要する時間を短縮することができる。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。

上記実施の形態では、それぞれが一または複数のポリゴンにより構成されるセル８１〜８６のうち、セル８１，８３〜８６が、複数のポリゴンにより構成される多階層セルとして説明したが、各多階層セルは、それぞれが一または複数のポリゴンを有する複数の下位セルにより構成されてもよい。例えば、上記実施の形態に係るセル８１において、セル８１を構成する３つのポリゴン８１１，８１２，８１３をそれぞれ、１つのポリゴンにより構成される下位セルと捉えると、多階層セルは、それぞれが少なくとも１つのポリゴン（すなわち、図形要素）により構成される複数の下位セルにより構成されると捉えられる。

この場合、図８に示すステップＳ１６２では、注目セル分割領域と重なる一または複数の下位セルが注目下位セルとして抽出され、ステップＳ１６３では、各注目下位セルの注目セル分割領域と重なるランレングスが注目下位ランレングスとして取得される。また、ステップＳ１６４では、各注目下位セルについて、注目下位セルの注目下位ランレングスと同一のランレングスが第２の方向に連続して存在する個数が、注目下位セルの下位局所ランレングスリピート回数として取得される。ステップＳ１６５では、注目下位セルから第２の方向に向かってセル分割領域８００が新たな下位セルと重なる直前までのセル分割領域８００の数が、下位リピート停止回数として取得され、ステップＳ１６６では、全注目下位セルの下位局所ランレングスリピート回数および下位リピート停止回数の最小値が、注目セルの局所ランレングスリピート回数として取得される。

第１の実施の形態に係るデータ変換装置７では、ステップＳ１６における注目セルの局所ランレングスリピート回数の取得は、注目セル分割領域の注目ランレングスを注目セル分割領域の右側の複数のセル分割領域８００のランレングスと第２の方向に順次比較し、注目セル分割領域と同一のランレングスが第２の方向に連続する数を局所ランレングスリピート回数とすることにより行われてもよい。第２の実施の形態に係るデータ変換装置７ａにおけるステップＳ１６の動作においても同様である。

上記実施の形態に係るデータ変換装置では、ステップＳ１２において単位領域８０の設定に用いられる複数の直線は、ステップＳ１１においてセル分割領域８００の設定に用いられる複数の直線と一致する必要はなく、第２の方向にずれていてもよい。この場合、各注目セルにおいて注目単位領域と重なる注目セル分割領域は、注目単位領域と重なる面積が大きい方のセル分割領域とされる。

データ変換装置により出力データに変換される入力データは、必ずしも液晶表示装置用のガラス基板上に描画されるパターンを示すデータには限定されず、例えば、プラズマ表示装置等の他のフラットパネル表示装置またはフォトマスク用のガラス基板上に描画されるパターンを示すデータであってもよく、ＬＳＩ用のパターンデータであってもよい。また、他の様々な目的に利用される入力データがデータ変換装置により出力データに変換されてもよい。

描画装置１は、上述の構造を備えるものには限定されず、ランレングスデータである出力データに基づいて描画を行う装置であればよい。例えば、描画装置１の光照射部４は、ＧＬＶ以外の他の光変調素子を備える空間光変調器を備えてもよい。

第１の実施の形態に係る描画システムの構成を示す図である。 描画装置の側面図である。 描画装置の平面図である。 空間光変調器を拡大して示す図である。 光変調素子の断面を示す図である。 光変調素子の断面を示す図である。 データ変換装置の構成を示す図である。 データ変換の流れを示す図である。 データ変換の流れを示す図である。 データ変換の流れを示す図である。 データ変換の流れを示す図である。 入力データにより表されるパターンを示す図である。 入力データにより表されるパターンを示す図である。 入力データにより表されるパターンを示す図である。 データ変換装置によるデータ変換に要する時間を示す図である。 比較例のデータ変換装置によるデータ変換に要する時間を示す図である。 データ変換の流れを示す図である。 第２の実施の形態に係る描画システムの構成を示す図である。 データ変換の流れを示す図である。 データ変換の流れを示す図である。 第２の実施の形態に係る描画システムの構成を示す図である。 データ変換の流れを示す図である。 データ変換の流れを示す図である。

符号の説明

１ 描画装置
３ 基板保持部
８ 描画領域
７，７ａ，７ｂ データ変換装置
９ 基板
２５ 主走査機構
６１ 光変調素子制御部
８０ 単位領域
８０ａ 注目単位領域
８１〜８６ セル
１００，１００ａ，１００ｂ 描画システム
４６１ 光変調素子
７００ バッファ
８００ セル分割領域
８１１〜８１３，８２１，８３１，８３２ ポリゴン
７０４１ プログラム
Ｓ１１〜Ｓ１７，Ｓ２１〜Ｓ２７，Ｓ３１〜Ｓ３７，Ｓ４１〜Ｓ４８，Ｓ１１１，Ｓ１６１〜Ｓ１６６，Ｓ２２１ ステップ

Claims (9)

1. それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
   ａ）コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
   ｂ）コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
   を備え、
   前記ｂ）工程が、
   ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
   ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
   ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
   ｂ４）前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ５）全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ６）前記注目単位領域の前記第２の方向に隣接する次の単位領域と重なる一または複数の図形要素群と前記注目図形要素群とが一致しない場合に、前記単位ランレングスリピート回数を０とする工程と、
   ｂ７）前記単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、前記次の単位領域の単位ランレングスデータとして前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記単位ランレングスリピート回数から１を減算するとともに前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記ｂ６）工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が０である場合に、前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程と、
   を備えることを特徴とするデータ変換方法。
2. それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
   ａ）コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
   ｂ）コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
   を備え、
   前記ｂ）工程が、
   ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
   ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
   ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
   ｂ４）前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ５）前記注目単位領域から前記第２の方向に向かって単位領域が新たな図形要素群と重なる直前までの単位領域の数をリピート停止回数として取得する工程と、
   ｂ６）全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数および前記リピート停止回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ７）前記単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数だけ前記第２の方向に並ぶ単位領域の単位ランレングスデータとして前記単位ランレングスリピート回数分の前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記注目単位領域を前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数に１を加えた数だけ前記第２の方向に離れた単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が０である場合に、前記注目単位領域を前記第２の方向に隣接する単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程と、
   を備えることを特徴とするデータ変換方法。
3. 請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、
   前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間に、
   ｃ）コンピュータが、前記各図形要素群において前記第２の方向に連続する複数の同一ランレングスが存在する場合に、前記第２の方向における前記複数の同一ランレングスの開始位置である同一ランレングス開始位置と前記複数の同一ランレングスに含まれるランレングスの個数である同一ランレングス数とを求める工程をさらに備え、
   前記ｂ４）工程において、前記注目図形要素群の前記注目ランレングスが前記第２の方向に連続する複数の同一ランレングスに含まれる場合に、前記複数の同一ランレングスの同一ランレングス開始位置および同一ランレングス数に基づいて前記注目図形要素群の前記局所ランレングスリピート回数が求められることを特徴とするデータ変換方法。
4. 請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、
   前記複数の図形要素群に含まれる多階層図形要素群が、それぞれが少なくとも１つの図形要素により構成される複数の下位図形要素群により構成され、
   前記ｂ４）工程が、
   ｂ４１）前記ａ）工程において前記多階層図要素域群が分割されて得られた複数の下位単位領域の１つを最初の注目下位単位領域として決定する工程と、
   ｂ４２）前記注目下位単位領域と重なる一または複数の下位図形要素群を注目下位図形要素群として抽出する工程と、
   ｂ４３）各注目下位図形要素群の前記注目下位単位領域と重なるランレングスを注目下位ランレングスとして取得する工程と、
   ｂ４４）前記各注目下位図形要素群について、注目下位図形要素群の注目下位ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目下位図形要素群の下位局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ４５）前記注目下位単位領域から前記第２の方向に向かって下位単位領域が新たな下位図形要素群と重なる直前までの下位単位領域の数を下位リピート停止回数として取得する工程と、
   ｂ４６）全ての注目下位図形要素群に関して取得された下位局所ランレングスリピート回数および前記下位リピート停止回数の最小値を前記多階層図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   を備えることを特徴とするデータ変換方法。
5. それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
   ａ）コンピュータが、入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
   ｂ）コンピュータが、前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
   を備え、
   前記ｂ）工程が、
   ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
   ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
   ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成する工程と、
   ｂ４）既に生成されてバッファに保存されている単位ランレングスデータである先行単位ランレングスデータが存在する場合に、前記ｂ３）工程にて生成された単位ランレングスデータであるカレント単位ランレングスデータと前記先行単位ランレングスデータとを比較する工程と、
   ｂ５）前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと異なる、または、前記先行単位ランレングスデータが存在しない場合に、前記カレント単位ランレングスデータをフォーマット変換して前記出力データの一部である変換済み単位ランレングスデータを出力するとともに前記バッファに保存し、さらに、前記カレント単位ランレングスデータを先行単位ランレングスデータとして前記バッファに保存し、前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと同じ場合に、前記バッファに保存されている変換済み単位ランレングスデータを出力する工程と、
   ｂ６）前記注目単位領域を前記第２の方向に隣接する次の単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程と、
   を備えることを特徴とするデータ変換方法。
6. 基板上にパターンを描画する描画システムであって、
   請求項１ないし５のいずれかに記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、
   前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置と、
   を備え、
   前記描画装置が、
   前記基板を保持する基板保持部と、
   前記基板に光を照射する光変調素子と、
   前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を、前記基板上における前記第１の方向に対応する方向に前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、
   前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部と、
   を備えることを特徴とする描画システム。
7. それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
   ａ）入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
   ｂ）前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
   を実行させ、
   前記ｂ）工程が、
   ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
   ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
   ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
   ｂ４）前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ５）全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ６）前記注目単位領域の前記第２の方向に隣接する次の単位領域と重なる一または複数の図形要素群と前記注目図形要素群とが一致しない場合に、前記単位ランレングスリピート回数を０とする工程と、
   ｂ７）前記単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、前記次の単位領域の単位ランレングスデータとして前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記単位ランレングスリピート回数から１を減算するとともに前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記ｂ６）工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が０である場合に、前記注目単位領域を前記次の単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程と、
   を備えることを特徴とするプログラム。
8. それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
   ａ）入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
   ｂ）前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
   を実行させ、
   前記ｂ）工程が、
   ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
   ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
   ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
   ｂ４）前記各注目図形要素群について、注目図形要素群の注目ランレングスと同一のランレングスが前記第２の方向に連続して存在する個数を前記注目図形要素群の局所ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ５）前記注目単位領域から前記第２の方向に向かって単位領域が新たな図形要素群と重なる直前までの単位領域の数をリピート停止回数として取得する工程と、
   ｂ６）全ての注目図形要素群に関して取得された局所ランレングスリピート回数および前記リピート停止回数の最小値を単位ランレングスリピート回数として取得する工程と、
   ｂ７）前記単位ランレングスリピート回数が１以上である場合に、前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数だけ前記第２の方向に並ぶ単位領域の単位ランレングスデータとして前記単位ランレングスリピート回数分の前記注目単位領域の前記単位ランレングスデータを出力し、前記注目単位領域を前記注目単位領域から前記単位ランレングスリピート回数に１を加えた数だけ前記第２の方向に離れた単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻り、前記単位ランレングスリピート回数が０である場合に、前記注目単位領域を前記第２の方向に隣接する単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程と、
   を備えることを特徴とするプログラム。
9. それぞれが少なくとも１つの多角形の図形要素により構成される複数の図形要素群のベクトルデータを含む入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
   ａ）入力データに含まれる各図形要素群のベクトルデータに基づいて、前記各図形要素群を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素群を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
   ｂ）前記複数の図形要素群が配置される領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のそれぞれと重なる一または複数の図形要素群のランレングスを示す単位ランレングスデータを前記第２の方向に向かって順次生成して前記複数の図形要素群のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
   を実行させ、
   前記ｂ）工程が、
   ｂ１）一の単位領域を最初の注目単位領域として決定する工程と、
   ｂ２）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素群を注目図形要素群として抽出する工程と、
   ｂ３）各注目図形要素群の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目ランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成する工程と、
   ｂ４）既に生成されてバッファに保存されている単位ランレングスデータである先行単位ランレングスデータが存在する場合に、前記ｂ３）工程にて生成された単位ランレングスデータであるカレント単位ランレングスデータと前記先行単位ランレングスデータとを比較する工程と、
   ｂ５）前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと異なる、または、前記先行単位ランレングスデータが存在しない場合に、前記カレント単位ランレングスデータをフォーマット変換して前記出力データの一部である変換済み単位ランレングスデータを出力するとともに前記バッファに保存し、さらに、前記カレント単位ランレングスデータを先行単位ランレングスデータとして前記バッファに保存し、前記カレント単位ランレングスデータが前記先行単位ランレングスデータと同じ場合に、前記バッファに保存されている変換済み単位ランレングスデータを出力する工程と、
   ｂ６）前記注目単位領域を前記第２の方向に隣接する次の単位領域に変更して前記ｂ２）工程に戻る工程と、
   を備えることを特徴とするプログラム。

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