JP5009153B2 - 流量調整弁 - Google Patents
流量調整弁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5009153B2 JP5009153B2 JP2007515725A JP2007515725A JP5009153B2 JP 5009153 B2 JP5009153 B2 JP 5009153B2 JP 2007515725 A JP2007515725 A JP 2007515725A JP 2007515725 A JP2007515725 A JP 2007515725A JP 5009153 B2 JP5009153 B2 JP 5009153B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- screw
- valve
- flow rate
- knob
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
- F16K31/50—Mechanical actuating means with screw-spindle or internally threaded actuating means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
- F16K27/0236—Diaphragm cut-off apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K35/00—Means to prevent accidental or unauthorised actuation
- F16K35/02—Means to prevent accidental or unauthorised actuation to be locked or disconnected by means of a pushing or pulling action
- F16K35/027—Means to prevent accidental or unauthorised actuation to be locked or disconnected by means of a pushing or pulling action the locking mechanism being actuated by pushing or pulling the valve actuator, the valve actuator being rotated subsequently to bring the valve closure element in the desired position
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Preventing Unauthorised Actuation Of Valves (AREA)
- Valve Housings (AREA)
Description
(1)図16に示す流量調整弁110は、差動ネジのネジ位置が変わらないようにカバー121で覆われるため、流量調整時には、カバー121を取り外してからアウタースリーブ116を回転させて流量調整し、その後再び、カバー121を流量調整弁110に被せなければならず、作業時におけるカバー121の管理や着脱が面倒であった。
第1ねじ部309のピッチを0.75mm、第2ねじ部311のピッチを0.5mmとした場合、第1,第2ねじ部309,311のピッチ差は0.25mmとなる。この場合、上記0.1mmの押付力を得るためには、直動部材302がバルブボディ本体301に突き当たった後、調節ねじ303を0.4回転(押付力0.1mm/ピッチ差0.25mm)させる必要がある。
また、第1ねじ部309のピッチを0.75mm、第2ねじ部311のピッチを0.65mmとした場合、第1,第2ねじ部309,311のピッチ差は0.1mmとなる。この場合、上記0.1mmの押付力を得るためには、直動部材302がバルブボディ本体301に突き当たった後、調節ねじ303を1回転(押付力0.1mm/ピッチ差0.1mm)させる必要がある。
従って、流量調節弁機構300は、第1,第2ねじ部309.311のピッチ差が小さいほど、直動部材302がバルブボディ本体301に突き当たったときに生じる反発トルクの変化が小さく、弁全開位置を規制するためのストッパ感を得られにくい。
また、本発明は、弁全開位置を容易に判別できる流量調整弁を提供することを第2の目的とする。
(1)第1ポートと第2ポートとの間に設けられた弁座に当接又は離間する弁体が連結される操作部材が、カバーに移動可能に挿入され、前記操作部材の位置を差動ネジを用いて調節することにより、前記弁体の位置を調整する流量調整弁において、
前記差動ネジに回転力を付与する回転部材を、前記カバーに前記操作部材の移動方向に沿ってスライド可能に取り付けたものであり、
前記回転部材は、前記操作部材の移動方向に沿ってスライドさせた際に前記カバーに対して回転不能に係合するロック部が設けられ、回転方向に爪部が設けられていること、
前記カバーは、前記回転部材を回転及び前記操作部材の移動方向に沿ってスライドできるように保持する保持部を有すると共に、前記保持部の奥側における前記カバーの内周面には、前記回転部材が前記ロック部を前記カバーに対して係合させない流量調整時に前記爪部に係合してガイドするガイド溝と、前記回転部材が前記ロック部を前記カバーに対して係合させるロック時に前記爪部に係合する位置決め溝とが、前記操作部材の移動方向に対して直交するように形成されていること、
前記保持部の内径は、前記回転部材の外径と同一寸法又は若干大きい寸法に形成されていること、
を特徴とする。
よって、本発明の流量調整弁によれば、位置調整した弁体の位置をずらさずに差動ネジのネジ位置を簡単にロックすることができる。
また、本発明の流量調整弁によれば、ロック部の形状は、カバーに形成された凹凸状の噛合部に係合する凸凹形状であるので、差動ネジのロック構造を簡単且つコンパクトにすることができる。
また、本発明の流量調整弁によれば、回転部材は、流量調整時には、カバーに操作部材の移動方向に対して直交するように形成されたガイド溝に爪部が係合された状態で回転し、ロック時には、操作部材の移動方向に対して直交するようにカバーに形成された位置決め溝に爪部が係合された状態でカバーに保持されるので、流量調整時やロック時に回転部材が傾かず、操作部材とカバーの同軸性を維持でき、スムーズに流量調整することができる。
また、本発明の流量調整弁によれば、ストローク調整ロッドの外周面にストッパ部材を着脱自在に取り付けるので、繰り返し荷重等によってストッパ部材が破損した場合にストッパ部材のみを簡単に交換できる。
また、本発明の流量調整弁によれば、ストローク調整ロッドが弁全開位置まで移動し、ストッパ部材をカバーに押し付けて変形させても、ストッパ部材の外周面を凹部の側壁によって支持し、ストッパ部材の脱落を防止できる。
5 第1ポート
6 第2ポート
7 弁座
8 ダイアフラム弁体(弁体)
11 可動部材(操作部材)
13,61 ストローク調整ロッド(操作部材)
14 第1ネジ(差動ネジ)
15 第2ネジ(差動ネジ)
16 スプリング(付勢部材)
21 ノブ(回転部材)
24 突起
25 ロック部
26 爪部
28 第1環状溝(ガイド溝)
29 第2環状溝(位置決め溝)
31 ローレット溝(噛合部)
52 Cリング(突出部、ストッパ部材)
53 凹部
62 突出部
図1は、流量調整弁1の断面図であって、ロック状態を示す。図2は、流量調整弁1の断面図であって、ロック解除状態を示す。
第1実施形態の流量調整弁1は、従来技術と同様、半導体製造装置に組み付けられ、腐食性の高い薬液や超純水等の流体を吐出・制御するものである。流量調整弁1は、腐食性雰囲気の中で使用可能なように主たる構成部品が樹脂で形成されている。
ストローク調整ロッド13は、第2ネジ15を構成する第2雄ネジ13aの上方に第1雄ネジ13bが一体的に樹脂で形成される。カバー4は、ストローク調整ロッド13を貫き通されるボス部4aの内周面に、第1雌ネジ4bが一体的に樹脂で形成されている。ストローク調整ロッド13の第1雄ネジ13bとカバー4の第1雌ネジ4bは螺合して第1ネジ14を構成する。
このような第1ネジ14と第2ネジ15は、同一方向にネジが設けられ、第1ネジ14のピッチが第2ネジ15のピッチより大きく設定され、第1ネジ14と第2ネジ15のピッチ差により可動部材11、ひいては、ダイアフラム弁体8の位置を微調整する。つまり、流量調整弁1は、樹脂製の第2ネジ15と第1ネジ14により差動ネジが構成され、この差動ネジには金属を一切使用しない。
図3に示すように、ノブ21は、PPなどの樹脂を一方に開口する袋状に成形したものであり、つまみ部23、本体部22、ロック部25、爪部26を備える。本体部22は、外径がカバー4に設けられた内径部4dの内径と同一寸法又は若干小さい寸法にされ、ノブ21が内径部4d内で回転及びスライドできるようにされている。本体部22の図中上端部には、つまみ部23が設けられている。つまみ部23は、外径がカバー4に設けられた内径部4dの内径より大きい寸法にされ、ノブ21が保持部4cに入り込み過ぎることを規制する。また、つまみ部23は、外径が保持部4cの外径より小さい寸法にされ、ノブ21の投影面積がカバー4に設けられた保持部4cの投影面積より小さくされている。本体部22の下側には、カバー4に係合してノブ21の回転を制限するロック部25と、カバー4に対してノブ21を位置決め保持する係合突起27が、一体的に樹脂で設けられている。
ストローク調整ロッド13の上端部13cは、凸部13dが外径方向に突設されている。ノブ21は、内周面に凸部13dに係合するキー溝30が軸方向に長く形成されている。ストローク調整ロッド13は、凸部13dがキー溝30に嵌め合わされて、ノブ21の回転力を凸部13dを介して伝達され、ノブ21と一体的に回転するようにされている。尚、キー溝30は、ノブ21のロック時及びロック解除時のいずれにおいても、ストローク調整ロッド13の凸部13dに係合するように形成されている。
流量調整弁1は、図1に示すように、ノブ21が、爪部26の係合突起27をカバー4の第2環状溝29に係合させるように、カバー4の保持部4c内に押し込まれた状態では、ノブ21のロック部25の突起24がカバー4のローレット溝31に噛合し、ノブ21の回転が制限される。そのため、流量調整弁1は、ノブ21を介してストローク調整ロッド13を回転させ、ダイアフラム弁体8の位置調整を行うことができない。
一方、ノブ21を図2の図中K2方向へ回転させて、ストローク調整ロッド13を下降させると、可動部材11が第2ネジ15と第1ネジ14のピッチ差に応じて下降し、ダイアフラム弁体8の弁体部9を弁座7に近づけて弁開度を狭め、流量を減少させる。
また、第1ネジ14と第2ネジ15が樹脂で形成されて低摩擦にされているため、第1ネジ14と第2ネジ15の摺動部にグリスなどの潤滑油を塗布する必要がなく、油分汚染を引き起こさない。
よって、第1実施形態の流量調整弁1によれば、位置調整したダイアフラム弁体8の位置をずらさずに差動ネジのネジ位置を簡単にロックすることができる。
また、第1実施形態の流量調整弁1によれば、ロック部25の形状は、カバー4に形成された凹凸状のローレット溝31に係合する凸凹形状であるので、差動ネジのロック構造を簡単且つコンパクトにすることができる。特に、ロック部25の突起24とローレット溝31の山部が、三角形状であるため、互いの面を滑らせながら噛み合わせをスムーズに行うことができる。
また、第1実施形態の流量調整弁1によれば、ノブ21は、流量調整時には、カバー4にストローク調整ロッド13の移動方向に対して直交するように形成された第1環状溝28に爪部26の係合突起27が係合された状態で回転し、ロック時には、ストローク調整ロッド13の移動方向に対して直交するようにカバー4に形成された第2環状溝に爪部26の係合突起27が係合された状態でカバー4に保持されるので、流量調整時やロック時にノブ21が傾かず、ストローク調整ロッド13とカバー4との同軸性を維持でき、スムーズに流量調整することができる。
続いて、本発明の流量調整弁に係る第2実施形態を図面を参照しながら説明する。図7は、本発明の第2実施形態に係る流量調整弁50の断面図であって、ロック解除時の弁全閉状態を示す。図8は、本発明の第2実施形態に係る流量調整弁50の断面図であって、ロック解除時の弁全開状態を示す。
第2実施形態の流量調整弁50は、「突出部」及び「ストッパ部材」の一例であるCリング52をストローク調整ロッド13に取り付け、ストッパ機能を持たせた点が第1実施形態と異なり、その他の点は第1実施形態と共通する。よって、ここでは、第1実施形態と共通する構成部品には第1実施形態と同一符号を図面に付して説明を適宜割愛し、第1実施形態と相違する点を中心に説明する。
Cリング52は、PPやPVDFの樹脂材料を環状に成形したものであり、切込部52aを開口させ、ストローク調整ロッド13の装着溝51へ装着させるための弾性をもっている。切込部52aは、Cリング52の端部同士を接触させて、Cリング52がストローク調整ロッド13から脱落するのを防止するために、斜めに形成されている。
Cリング52は、切込部52aを開いてストローク調整ロッド13の装着溝51に嵌め合わせると、切込部52aを閉じるように復元し、ストローク調整ロッド13を締め付けるようにして装着される。Cリング52は、装着溝51の図中上下溝壁によって軸方向の移動をされた状態で自身の弾性力でストローク調整ロッド13に内周面を密着させ、ストローク調整ロッド13からの脱落を防止される。
図7に示すように、使用者がノブ21のロックを解除してノブ21を図中K1方向に回転すると、ストローク調整ロッド13が、第1ネジ14のネジ送りによって上昇し、第1ネジ14と第2ネジ15のピッチ差分ずつダイアフラム弁体8を上昇させる。図8に示すように、ストローク調整ロッド13は、第1雄ネジ13bの下端を第1雌ネジ4bに螺合させるまで上昇すると、図11に示すように、Cリング52を凹部53に遊嵌し、更にはCリング52を凹部53の底壁に面接触させて押し付ける。これにより、ストローク調整ロッド13はネジ送りによる上昇を規制され、ノブ21の回転トルクが急激に上昇する。そのため、使用者は、ノブ21を回転させるときに生じる反発トルクの変化によって、弁全開位置を認識することができる。
図12の▲に示すように、差動ネジのピッチ差が0.1mmの場合、ノブ21は、基準位置において回転トルクが約0.04N.m発生する。ノブ21を基準位置からK1方向に4分の3回転させると、計算上、可動部材11がカバー4に対して0.075mmの押付力で押し付けられ、回転トルクが約0.07N.mまで上昇する。その後ノブ21を基準位置からK1方向へ4回転させるまでは、回転トルクはほぼ一定である。図12のP1に示すように、ノブ21を基準位置からK1方向へ4分の15回転させると、回転トルクは大きく下がり始め、第1ネジ14と第2ネジ15を破壊した。
より具体的には、流量調整弁50は、ストローク調整ロッド13に形成した装着溝51にCリング52を取り付け、ノブ21をK1方向へ回転させてダイアフラム弁体8を弁全開位置まで移動させたとき、Cリング52がカバー4に接触し、ストローク調整ロッド13とカバー4との間に設けた第1ネジ14のネジ送りによる上昇を規制して、回転トルク(反発トルク)が急上昇するので(図8、図11、図12参照)、弁全開位置におけるノブ21のストッパー感が得られやすく、ノブ21を回転し過ぎて第1ネジ14や第2ネジ15等を破壊する恐れが低い。
また、第2実施形態の流量調整弁50によれば、ストローク調整ロッド13が弁全開位置まで移動し、Cリング52をカバー4に押し付けると、Cリング52が切込部52aを開く。Cリング52は、外周面が凹部53の側壁に支持されるまで変形すると、それ以上切込部52aを開いて変形することができなくなる。よって、流量調整弁50は、Cリング52を凹部53の底壁に押し付けて変形させ、ストッパ機能を得るときに、Cリング52を凹部53の側壁によって支持して変形を阻止するので、ストッパ機能発生時にCリング52がストローク調整ロッド13から脱落しない。
続いて、本発明の流量調整弁に係る第2実施形態を図面を参照しながら説明する。図13は、本発明の第3実施形態に係る流量調整弁60の断面図であって、ロック解除時の弁全閉状態を示す。
本実施形態の流量調整弁60は、Cリング52の変わりに突出部62がストローク調整ロッド61に一体的に設けられている点が第2実施形態と相違する。よって、ここでは第2実施形態と共通する点は、第2実施形態と同一符号を図面に付して説明を割愛し、第2実施形態と相違する点を中心に説明する。
第3実施形態の流量調整弁60は、突出部62がストローク調整ロッド61と一体的に設けられており、樹脂であるため、腐食性雰囲気で使用しても突出部62が腐食して壊れることがない。また、流量調整弁60は、ストローク調整ロッド61と一体に設けられているため、単独での交換ができないが、ストローク調整ロッド61に装着溝51を加工したり、Cリング52を装着する手間などを省くことができる。
Claims (3)
- 第1ポートと第2ポートとの間に設けられた弁座に当接又は離間する弁体が連結される操作部材が、カバーに移動可能に挿入され、前記操作部材の位置を差動ネジを用いて調節することにより、前記弁体の位置を調整する流量調整弁において、
前記差動ネジに回転力を付与する回転部材を、前記カバーに前記操作部材の移動方向に沿ってスライド可能に取り付けたものであり、
前記回転部材は、前記操作部材の移動方向に沿ってスライドさせた際に前記カバーに対して回転不能に係合するロック部が設けられ、回転方向に爪部が設けられていること、
前記カバーは、前記回転部材を回転及び前記操作部材の移動方向に沿ってスライドできるように保持する保持部を有すると共に、前記保持部の奥側における前記カバーの内周面には、前記回転部材が前記ロック部を前記カバーに対して係合させない流量調整時に前記爪部に係合してガイドするガイド溝と、前記回転部材が前記ロック部を前記カバーに対して係合させるロック時に前記爪部に係合する位置決め溝とが、前記操作部材の移動方向に対して直交するように形成されていること、
前記保持部の内径は、前記回転部材の外径と同一寸法又は若干大きい寸法に形成されていること、
を特徴とする流量調整弁。 - 請求項1に記載する流量調整弁において、
前記操作部材は、前記カバーに挿入されるストローク調整ロッドと、前記弁体が取り付けられて前記カバー内を回転止めされた状態で移動する可動部材とを有し、
前記カバーは、前記ストローク調整ロッドが挿入される開口部の周りに、前記回転部材が嵌め込まれる円筒状の保持部が設けられ、
前記差動ネジは、前記ストローク調整ロッドを前記カバーに螺合させる第1ネジと、前記ストローク調整ロッドを前記可動部材に螺合させる第2ネジとからなり、
前記回転部材の投影面積が、前記カバーの投影面積より小さいことを特徴とする流量調整弁。 - 請求項1又は請求項2に記載する流量調整弁において、
前記ロック部の形状は、前記カバーに形成された凹凸状の噛合部に係合する凸凹形状であることを特徴とする流量調整弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007515725A JP5009153B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-09-21 | 流量調整弁 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005348742 | 2005-12-02 | ||
JP2005348742 | 2005-12-02 | ||
JP2007515725A JP5009153B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-09-21 | 流量調整弁 |
PCT/JP2006/318763 WO2007063635A1 (ja) | 2005-12-02 | 2006-09-21 | 流量調整弁 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007258944A Division JP4801650B2 (ja) | 2005-12-02 | 2007-10-02 | 流量調整弁 |
JP2012047841A Division JP5314777B2 (ja) | 2005-12-02 | 2012-03-05 | 流量調整弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007063635A1 JPWO2007063635A1 (ja) | 2009-05-07 |
JP5009153B2 true JP5009153B2 (ja) | 2012-08-22 |
Family
ID=38091975
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007515725A Active JP5009153B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-09-21 | 流量調整弁 |
JP2007258944A Active JP4801650B2 (ja) | 2005-12-02 | 2007-10-02 | 流量調整弁 |
JP2012047841A Active JP5314777B2 (ja) | 2005-12-02 | 2012-03-05 | 流量調整弁 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007258944A Active JP4801650B2 (ja) | 2005-12-02 | 2007-10-02 | 流量調整弁 |
JP2012047841A Active JP5314777B2 (ja) | 2005-12-02 | 2012-03-05 | 流量調整弁 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8104742B2 (ja) |
JP (3) | JP5009153B2 (ja) |
KR (1) | KR100980237B1 (ja) |
WO (1) | WO2007063635A1 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4627799B2 (ja) * | 2008-12-19 | 2011-02-09 | シーケーディ株式会社 | 手動弁 |
JP2012532301A (ja) * | 2009-07-01 | 2012-12-13 | マキシトロール カンパニー | バックラッシュ防止装置を有するモジュレータバルブアセンブリ |
JP5486995B2 (ja) * | 2010-04-08 | 2014-05-07 | 株式会社コガネイ | 開閉弁 |
DE102012109756B4 (de) * | 2012-10-12 | 2015-01-08 | Sed Flow Control Gmbh | Steigendes Handventil mit Hubbegrenzung |
US20140103240A1 (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-17 | Swagelok Company | Actuator with dual drive |
CN202972113U (zh) * | 2012-10-22 | 2013-06-05 | 费希尔久安输配设备(成都)有限公司 | 一种驱动装置以及包含该驱动装置的阀 |
EP2732833B1 (en) * | 2012-11-14 | 2015-07-29 | Flow Meter S.p.a. | Regulator for fluid suction and / or supply systems for medical use |
JP6128591B2 (ja) * | 2013-04-17 | 2017-05-17 | 株式会社フジキン | ロック装置及び弁装置 |
JP6106524B2 (ja) * | 2013-05-22 | 2017-04-05 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
KR101510987B1 (ko) * | 2014-03-17 | 2015-04-09 | 윤승찬 | 압력밸브 |
JP6249563B2 (ja) * | 2014-03-27 | 2017-12-20 | 株式会社光合金製作所 | 誤作動防止構造を有するバルブのハンドル装置 |
KR102259116B1 (ko) * | 2014-04-02 | 2021-06-01 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
JP6491878B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2019-03-27 | 株式会社フジキン | 流体制御器 |
KR102374260B1 (ko) * | 2015-03-04 | 2022-03-17 | 코웨이 주식회사 | 탄산수 제조 장치 |
JP6566510B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2019-08-28 | 株式会社フジキン | 弁装置 |
EP3091260B1 (en) * | 2015-05-06 | 2019-05-08 | F.I.P. Formatura Iniezione Polimeri S.p.A | Valve |
KR101708117B1 (ko) * | 2015-06-19 | 2017-02-20 | 최희식 | 역류 가능한 체크밸브 |
WO2017039823A1 (en) * | 2015-08-28 | 2017-03-09 | Precision High Pressure, LLC | Needle valve and associated methods |
EP3150889A1 (en) * | 2015-10-01 | 2017-04-05 | IMI Hydronic Engineering International SA | An actuator for controlling a valve |
CN105240588B (zh) * | 2015-11-02 | 2018-06-26 | 新疆水利水电科学研究院 | 电动阀低功耗阀门的板型控制装置 |
JP6716923B2 (ja) * | 2016-01-20 | 2020-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | 位置調整装置、波長変換装置、拡散反射装置、光源装置及びプロジェクター |
US9989978B2 (en) | 2016-01-21 | 2018-06-05 | Itt Manufacturing Enterprises Llc | Natural gas pressure regulator having adjustable valve seat |
WO2019026815A1 (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-07 | 株式会社フジキン | バルブの過剰締付け防止装置、およびそれを備えたバルブ |
CN109882623B (zh) * | 2017-12-06 | 2024-07-02 | 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 | 精密限流阀及气动三通阀 |
CN109931420B (zh) * | 2019-04-09 | 2024-02-02 | 潍坊百乐卫浴制品有限公司 | 一种冷热水同开同关的混水阀 |
JP7453016B2 (ja) * | 2020-02-21 | 2024-03-19 | 東海旅客鉄道株式会社 | 流量調整装置 |
CN112901579B (zh) * | 2021-01-12 | 2023-05-05 | 三一重机有限公司 | 一种阀芯工作位置记忆装置 |
EP4317753A1 (en) * | 2021-03-31 | 2024-02-07 | Zhejiang Dunan Artificial Environment Co., Ltd. | Stop valve |
CN113926645B (zh) * | 2021-09-30 | 2023-05-05 | 安脉时代智能制造(宁德)有限公司 | 一种涂布机模头流量调节机构及其工作方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03115279A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-05-16 | Merck & Co Inc | 窒素を脱保護した4―アシルオキシアゼチジン―2―オン |
JPH1151217A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量調節弁機構 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2388989A (en) * | 1944-04-08 | 1945-11-13 | Shriver & Company Inc T | Diaphragm valve |
US3001551A (en) * | 1958-09-16 | 1961-09-26 | Wyser Walter | Valve for radiators and the like |
US3428291A (en) * | 1965-05-24 | 1969-02-18 | Nuclear Products Co | Bellows metering valve |
US3409271A (en) * | 1966-05-04 | 1968-11-05 | Ideal Aerosmith Inc | Fluid flow control valve |
JPS52166123U (ja) * | 1976-06-11 | 1977-12-16 | ||
JPS6120386Y2 (ja) * | 1979-08-31 | 1986-06-19 | ||
JPS58119679A (ja) | 1982-01-11 | 1983-07-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 太陽電池 |
JPS58119679U (ja) * | 1982-02-08 | 1983-08-15 | 株式会社邑技術研究所 | 弁の開閉装置 |
JPH0140383Y2 (ja) * | 1985-04-26 | 1989-12-04 | ||
JPH0749527Y2 (ja) * | 1985-08-30 | 1995-11-13 | 甲南電機株式会社 | 減圧弁 |
FR2593260B1 (fr) * | 1986-01-17 | 1988-08-12 | Filleau Paul | Robinet a commande par vis micrometrique |
JP2534923Y2 (ja) * | 1987-09-14 | 1997-05-07 | エスエムシー 株式会社 | ゲージハンドル形減圧弁 |
US4917357A (en) * | 1988-09-26 | 1990-04-17 | Nupro Company | Diaphragm valve |
JP2541613Y2 (ja) * | 1991-01-11 | 1997-07-16 | 清原 まさ子 | 制御器 |
JP3012047B2 (ja) * | 1991-09-19 | 2000-02-21 | 清原 まさ子 | 制御器 |
JP2586268Y2 (ja) * | 1992-03-03 | 1998-12-02 | エスエムシー 株式会社 | 減圧弁付マニホールド |
JPH0725382A (ja) | 1993-07-13 | 1995-01-27 | Hitachi Zosen Corp | 半潜水式海洋構造物 |
JP3287663B2 (ja) * | 1993-09-17 | 2002-06-04 | 清原 まさ子 | 制御器 |
JP2602078Y2 (ja) * | 1993-10-25 | 1999-12-20 | 甲南電機株式会社 | 回転ハンドルのロック機構 |
US5419530A (en) * | 1994-02-16 | 1995-05-30 | Teknocraft, Inc. | Micrometer-controlled linear flow rate fluid flow valve assembly |
US5842679A (en) * | 1997-02-20 | 1998-12-01 | Sterling Hydraulics, Inc. | Adjustable stroke solenoid operated cartridge valve |
JP3982971B2 (ja) * | 2000-02-24 | 2007-09-26 | 株式会社コガネイ | 空気圧用調質装置 |
JP4319322B2 (ja) | 2000-03-22 | 2009-08-26 | シーケーディ株式会社 | 流量調整弁の組立方法と、その組立方法により組み立てられた流量調整弁 |
DE10249161B3 (de) * | 2002-10-22 | 2004-01-29 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Einstellung eines Ankerhubs eines Magnetventils |
US6942195B2 (en) * | 2003-11-25 | 2005-09-13 | Chih-Hung Kao | Valve for a water faucet |
JP4247386B2 (ja) * | 2003-11-28 | 2009-04-02 | 旭有機材工業株式会社 | 流量調節弁 |
-
2006
- 2006-09-21 WO PCT/JP2006/318763 patent/WO2007063635A1/ja active Application Filing
- 2006-09-21 JP JP2007515725A patent/JP5009153B2/ja active Active
- 2006-09-21 US US12/085,179 patent/US8104742B2/en active Active
- 2006-09-21 KR KR1020087015365A patent/KR100980237B1/ko active IP Right Grant
-
2007
- 2007-10-02 JP JP2007258944A patent/JP4801650B2/ja active Active
-
2012
- 2012-03-05 JP JP2012047841A patent/JP5314777B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03115279A (ja) * | 1989-06-21 | 1991-05-16 | Merck & Co Inc | 窒素を脱保護した4―アシルオキシアゼチジン―2―オン |
JPH1151217A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Advance Denki Kogyo Kk | 流量調節弁機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2007063635A1 (ja) | 2009-05-07 |
WO2007063635A1 (ja) | 2007-06-07 |
JP5314777B2 (ja) | 2013-10-16 |
US20090039304A1 (en) | 2009-02-12 |
KR20080080333A (ko) | 2008-09-03 |
US8104742B2 (en) | 2012-01-31 |
KR100980237B1 (ko) | 2010-09-09 |
JP4801650B2 (ja) | 2011-10-26 |
JP2012107762A (ja) | 2012-06-07 |
JP2008224027A (ja) | 2008-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5009153B2 (ja) | 流量調整弁 | |
US8087641B2 (en) | Fluid control valve with a holding member to prevent loosening of threaded engagement | |
TWI323326B (en) | Flow control valve | |
KR101013441B1 (ko) | 핀치밸브 | |
KR101231807B1 (ko) | 유량조절밸브 | |
JP4915752B2 (ja) | 弁装置 | |
US9816621B2 (en) | Shut-off valve | |
JP4247386B2 (ja) | 流量調節弁 | |
US11118690B2 (en) | Fluid control valve and fluid control valve manufacturing method | |
JP4807554B2 (ja) | 流路付開閉弁 | |
JP2007046770A (ja) | パイロット式吐止水・流調弁装置 | |
KR20140137298A (ko) | 유량 조절 장치 | |
US4257450A (en) | Pressure-reducing regulator valve for high-pressure gases | |
JP2005106258A (ja) | 薬液弁 | |
RU2470208C2 (ru) | Устройство для регулирования расхода текучей среды | |
JP2006336701A (ja) | 流量調整弁 | |
JP4908294B2 (ja) | 流量制御弁 | |
JP4295199B2 (ja) | トルクリミッター付きハンドル及びこのハンドルを備えた流体制御器 | |
JP2008267439A (ja) | 流量調節弁装置 | |
JP2003329159A (ja) | 流量制御弁 | |
JP2006283979A (ja) | メータガス栓 | |
JP2005195068A (ja) | 流量制御弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110701 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110809 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110915 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120305 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120529 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5009153 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608 Year of fee payment: 3 |