JP5003581B2 - フローティング機構 - Google Patents
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Description
例えばLSIテスタのテストヘッドの上部に配置されたDUT部のハンドラへの接続とプローバへの接続動作時に用いて好適なフローティング機構に関するものである。
この種のフローティングユニットにおいて、検査用コネクタの形成された部材を可動部材上に載置して、前記検査用コネクタに検査対象である被検査用コネクタを嵌合させることで、被検査用コネクタの導通性能等を検査することができる。
図5においてDUT2はテストヘッド1の複数(例えば3〜4)個所に設けられたフローティング機構によりXYZ方向に動作可能に構成されている。
なお、以下、水平方向をXY方向、鉛直方向をZ方向と称する。
図6おいて、10はホルダーであり、表面に大径穴11が形成され、この穴の底部中央に大径穴の径よりも小さな径を有する貫通孔12が形成されている。
17はコイルばね16および貫通孔12を貫通して配置されたスタッドであり、一端にはカラー18が固定ねじ19により固定されている。
なお、スタッド17の外径は貫通孔12の内径に対して片側でa1で示す程度の隙間(例えば1mm)を有するように小さく形成されており、DUTベース部20がXY方向に最大2mm程度動作可能なように形成されている。
22は段付き孔、23はねじ孔であり、DUTベース部20をテストヘッド13に固定する際に使用する。
図に示すようにコイルばね16の長さが押圧により短縮されスタッド17の下方が図6に示す隙間bだけ突出した状態となっている。
例えば、LSIテスタのプローバ接続時には、接続条件として、Z方向のフローティングがあっては困るという問題があり、Z方向のフローティングは固定した状態で、XY方向のフローティングのみを用いて接続をしなければならない。
他の方法としてプローバの接続媒体であるプローブリングにフローティング機能を持たせることも可能であるが、その場合はコスト高になるという問題があった。
例えば、固定プレートと可動プレートとを有するLSIテスタのDUT部のフローティング動作において、ハンドラ接続用動作(鉛直方向及び水平方向の接続用動作)とプローバ接続用動作(水平方向の接続用動作)を同一構成のフローティング機構を用いて動作可能とし、接続の容易性とコスト低減を可能としたフローティング機構を提供することにある。
固定プレートと可動プレートとの間に設けられたフローティング機構において、前記固定プレートの一方の面に一方の面が接して設けられたブロック状のホルダーと、前記固定プレートの他方の面から所定の深さに形成されたホルダー穴と、このホルダー穴の底面から前記ホルダー穴と同心に前記ホルダーに設けられた小径の貫通ねじ孔と、一端にこの貫通ねじ孔と螺合するねじ部を有し途中に鍔部を有し他端が前記可動プレートに係止手段により係止されるスタッドと、前記鍔部に一端が取り付けられ他端が前記固定プレートの前記他方の面から所定寸法突出して配置され鉛直方向のフローティングを確保するコイルスプリングと、前記可動プレートに設けられ前記可動プレートと前記スタッドとの間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する隙間孔と、前記可動プレートを前記固定プレートに固定する固定手段とを具備し、前記鉛直方向のフローティングが不要の場合には前記スタッドをねじ込み前記鍔部を前記ホルダー穴の底面に押し付けて鉛直方向のフローティングを規正し、前記水平方向のフローティングをも不要の場合には前記固定手段を使用して前記可動プレートと前記固定プレートとを固定するようにしたことを特徴とする。
前記コイルスプリングの前記他端に接する鍔部を有し前記隙間孔と前記スタッドとの間に設けられ前記隙間孔と前記スタッドとの間にそれぞれ隙間を有するリング状の隙間リングを具備したことを特徴とする。
前記係止手段は、前記可動プレートの外側表面と前記スタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、このワッシャプレートを前記スタッドの他端に固定する固定ねじとを具備したことを特徴とする。
前記固定手段は、前記固定プレートに設けられたねじ穴と、前記可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじとを具備したことを特徴とする。
前記隙間リングの前記鍔部と前記可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体を具備したことを特徴とする。
スタッドが鉛直方向および水平方向の動作を機能できる状態と、鉛直方向の動作を規制状態に切替できるので、例えば、ハンドラ接続用動作(鉛直方向と水平方向)とプローバ接続用動作(水平方向)を同一構成のフローティング機構を用いて切替えて動作させることがでるフローティング機構が得られる。
コイルスプリングの他端に接する鍔部を有し、隙間孔とスタッドとの間に設けられ、隙間孔とスタッドとの間にそれぞれ隙間を有する、リング状の隙間リングが設けられたので、固定プレートと可動プレートとの傾き誤差を容易に吸収できるフローティング機構が得られる。
また、コイルスプリングの他端が、隙間孔に引っ掛かる恐れがなく、磨耗を生じる恐れもなく、確実に動作できるフローティング機構が得られる。
係止手段は、可動プレートの外側表面とスタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、このワッシャプレートをスタッドの他端に固定する固定ねじが設けられたので、安価な係止手段を実現できるフローティング機構が得られる。
固定手段は、固定プレートに設けられたねじ穴と、可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじとが設けられたので、安価な固定手段を実現できるフローティング機構が得られる。
隙間リングの鍔部と可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体が設けられたので、フローティング動作に必要な力を軽減できるフローティング機構が得られる。特に、可動プレート部分の重量が大きい場合に有効な効果が得られるフローティング機構が得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1のZ方向の動作を固定しXY方向のみフローティング動作をさせるようにした状態を示す要部構成説明図、図3は図1のXYZ方向の全てのフローティング動作を固定した状態を示す要部構成説明図である。
図において、図5と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図5との相違部分のみ説明する。
この場合は、ホルダー31は、固定プレート32にねじ311により固定されている。
ホルダー穴33は、固定プレート32の他方の面から所定の深さに形成されている。
貫通ねじ孔34は、ホルダー穴33の底面から、ホルダー穴33と同心に、ホルダー31に設けられ小径をなす。
この場合は、係止手段39は、可動プレート38の外側表面とスタッド35の他端に一面が接するワッシャプレート391と、このワッシャプレート391をスタッド35の他端に固定する固定ねじ392とを有する。
スタッド35の一端には、カラー41がねじ42により固定されている。
隙間孔44は、可動プレート38に設けられ、可動プレート38とスタッド35との間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する。
この場合は、固定手段45は、固定プレート32に設けられたねじ穴451と、可動プレート38に設けられ、このねじ穴451に螺合するねじ452を有する。
図1の構成によれば、可動プレート38は、隙間a1,a2,bにより、XYZ方向に動作可能である。
このような状態ではZ方向の動作が規制され、可動プレート38はXY方向のみフローティング動作が可能である。
これによりXYZ方向の全てのフローティング動作が固定される。
スタッド35が鉛直方向のフローティング動作を機能できる状態と、鉛直方向のフローティング動作を機能できない規制状態に切替できるので、例えば、ハンドラ接続用動作(鉛直方向と水平方向)とプローバ接続用動作(水平方向)を同一構成のフローティング機構を用いて切替えて動作させることがでるフローティング機構が得られる。
また、コイルスプリング43の他端が、隙間孔44に引っ掛かる恐れがなく、磨耗を生じる恐れもなく、確実に動作できるフローティング機構が得られる。
図4において、51は、隙間リングの鍔部441と可動プレート38との間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体である。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
2 DUT
10 ホルダー
11 大径穴
12 貫通孔
13 テストヘッド部
14 貫通孔
15 固定ねじ
16 コイルスプリング
17 スタッド
18 カラー
19 固定ねじ
20 DUTベース部
21 固定ねじ
22 段付き孔
23 ねじ孔
24 固定ねじ
31 ホルダー
32 固定プレート
33 ホルダー穴
34 貫通ねじ孔
35 スタッド
36 ねじ部
37 鍔部
38 可動プレート
39 係止手段
391 ワッシャプレート
392 固定ねじ
41 カラー
42 ねじ
43 コイルスプリング
44 隙間孔
45 固定手段
451 ねじ穴
452 ねじ
46 隙間リング
461 鍔部
51 スペース体
Claims (5)
- 固定プレートと可動プレートとの間に設けられたフローティング機構において、
前記固定プレートの一方の面に一方の面が接して設けられたブロック状のホルダーと、
前記固定プレートの他方の面から所定の深さに形成されたホルダー穴と、
このホルダー穴の底面から前記ホルダー穴と同心に前記ホルダーに設けられた小径の貫通ねじ孔と、
一端にこの貫通ねじ孔と螺合するねじ部を有し途中に鍔部を有し他端が前記可動プレートに係止手段により係止されるスタッドと、
前記鍔部に一端が取り付けられ他端が前記固定プレートの前記他方の面から所定寸法突出して配置され鉛直方向のフローティングを確保するコイルスプリングと、
前記可動プレートに設けられ前記可動プレートと前記スタッドとの間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する隙間孔と、
前記可動プレートを前記固定プレートに固定する固定手段と
を具備し、前記鉛直方向のフローティングが不要の場合には前記スタッドをねじ込み前記鍔部を前記ホルダー穴の底面に押し付けて鉛直方向のフローティングを規正し、
前記水平方向のフローティングをも不要の場合には前記固定手段を使用して前記可動プレートと前記固定プレートとを固定するようにしたこと
を特徴とするフローティング機構。 - 前記コイルスプリングの前記他端に接する鍔部を有し前記隙間孔と前記スタッドとの間に設けられ前記隙間孔と前記スタッドとの間にそれぞれ隙間を有するリング状の隙間リング
を具備したことを特徴とする請求項1記載のフローティング機構。 - 前記係止手段は、前記可動プレートの外側表面と前記スタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、
このワッシャプレートを前記スタッドの他端に固定する固定ねじと
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項2の何れかに記載のフローティング機構。 - 前記固定手段は、前記固定プレートに設けられたねじ穴と、
前記可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじと
を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のフローティング機構。 - 前記隙間リングの前記鍔部と前記可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体
を具備したことを特徴とする請求項2乃至請求項4の何れかに記載のフローティング機構。
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