JP5003581B2 - フローティング機構 - Google Patents

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本発明は、水平方向及び鉛直方向に動作可能なフローティング機構に関するものである。
例えばLSIテスタのテストヘッドの上部に配置されたDUT部のハンドラへの接続とプローバへの接続動作時に用いて好適なフローティング機構に関するものである。
例えば、面実装コネクタ同士の嵌合およびアライメントを必要とする電子部品の検査を行うための装置として、可動部材と固定部材とを備えたフローティングユニットが用いられる場合がある。
この種のフローティングユニットにおいて、検査用コネクタの形成された部材を可動部材上に載置して、前記検査用コネクタに検査対象である被検査用コネクタを嵌合させることで、被検査用コネクタの導通性能等を検査することができる。
フローティング機構に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
特開平6−208785 特開2006−32048号公報
図5は本発明が適用される、例えば、LSIテスト装置の外観を示す斜視図で、1はテストヘッド、2はテストヘッド上に配置されたDUT(Device Under Test)である。
図5においてDUT2はテストヘッド1の複数(例えば3〜4)個所に設けられたフローティング機構によりXYZ方向に動作可能に構成されている。
なお、以下、水平方向をXY方向、鉛直方向をZ方向と称する。
図6はXYZ方向に動作可能なフローティング機構の従来例を示す断面構成図であり、前述の複数箇所に設けられたフローティング機構の一つを示している。
図6おいて、10はホルダーであり、表面に大径穴11が形成され、この穴の底部中央に大径穴の径よりも小さな径を有する貫通孔12が形成されている。
13は固定プレートとして機能するテストヘッド部で、ホルダー10に形成された大径穴11と略同じ径の貫通孔14を有しており、この貫通孔14が大径穴11を上方へ延長する状態で複数個の固定ねじ15によりホルダー10に固定されている。
16は大径穴11内に配置された外径が大径穴11の内径よりわずかに小さなコイルスプリングであり、一端が大径穴11の底部に接し他端はテストヘッド部13の表面から突出した状態となっている。
17はコイルばね16および貫通孔12を貫通して配置されたスタッドであり、一端にはカラー18が固定ねじ19により固定されている。
スタッド17の他端は可動プレートとして機能するDUTベース部20に当接し、固定ねじ21により固定されている。
なお、スタッド17の外径は貫通孔12の内径に対して片側でa1で示す程度の隙間(例えば1mm)を有するように小さく形成されており、DUTベース部20がXY方向に最大2mm程度動作可能なように形成されている。
また、可動プレートであるDUTベース部20はコイルばね16に当接した状態で所定の隙間bを有しており、DUTベース部20がZ方向に例えば4mm程度動作可能なように形成されている。
22は段付き孔、23はねじ孔であり、DUTベース部20をテストヘッド13に固定する際に使用する。
図7はDUTベース部20を固定ねじ24を用いてテストヘッド部13に固定した状態を示す断面図である。
図に示すようにコイルばね16の長さが押圧により短縮されスタッド17の下方が図6に示す隙間bだけ突出した状態となっている。
上述において図6の状態(固定ねじ24でDUTベース部20をテストヘッド部13に固定しない状態)によれば、ハンドラ接続時においてXYZ方向のフローティング動作が可能である。
このような装置においては、以下の間題点がある。
例えば、LSIテスタのプローバ接続時には、接続条件として、Z方向のフローティングがあっては困るという問題があり、Z方向のフローティングは固定した状態で、XY方向のフローティングのみを用いて接続をしなければならない。
他の方法としてプローバの接続媒体であるプローブリングにフローティング機能を持たせることも可能であるが、その場合はコスト高になるという問題があった。
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、
例えば、固定プレートと可動プレートとを有するLSIテスタのDUT部のフローティング動作において、ハンドラ接続用動作(鉛直方向及び水平方向の接続用動作)とプローバ接続用動作(水平方向の接続用動作)を同一構成のフローティング機構を用いて動作可能とし、接続の容易性とコスト低減を可能としたフローティング機構を提供することにある。
このような課題を達成するために、本発明では、請求項1のフローティング機構においては、
固定プレートと可動プレートとの間に設けられたフローティング機構において、前記固定プレートの一方の面に一方の面が接して設けられたブロック状のホルダーと、前記固定プレートの他方の面から所定の深さに形成されたホルダー穴と、このホルダー穴の底面から前記ホルダー穴と同心に前記ホルダーに設けられた小径の貫通ねじ孔と、一端にこの貫通ねじ孔と螺合するねじ部を有し途中に鍔部を有し他端が前記可動プレートに係止手段により係止されるスタッドと、前記鍔部に一端が取り付けられ他端が前記固定プレートの前記他方の面から所定寸法突出して配置され鉛直方向のフローティングを確保するコイルスプリングと、前記可動プレートに設けられ前記可動プレートと前記スタッドとの間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する隙間孔と、前記可動プレートを前記固定プレートに固定する固定手段とを具備し、前記鉛直方向のフローティングが不要の場合には前記スタッドをねじ込み前記鍔部を前記ホルダー穴の底面に押し付けて鉛直方向のフローティングを規正し、前記水平方向のフローティングをも不要の場合には前記固定手段を使用して前記可動プレートと前記固定プレートとを固定するようにしたことを特徴とする。
本発明の請求項2のフローティング機構においては、請求項1記載のフローティング機構において、
前記コイルスプリングの前記他端に接する鍔部を有し前記隙間孔と前記スタッドとの間に設けられ前記隙間孔と前記スタッドとの間にそれぞれ隙間を有するリング状の隙間リングを具備したことを特徴とする。
本発明の請求項3のフローティング機構においては、請求項1又は請求項2記載のフローティング機構において、
前記係止手段は、前記可動プレートの外側表面と前記スタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、このワッシャプレートを前記スタッドの他端に固定する固定ねじとを具備したことを特徴とする。
本発明の請求項4のフローティング機構においては、請求項1乃至請求項3の何れかに記載のフローティング機構において、
前記固定手段は、前記固定プレートに設けられたねじ穴と、前記可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじとを具備したことを特徴とする。
本発明の請求項5のフローティング機構においては、請求項2乃至請求項4の何れかに記載のフローティング機構において、
前記隙間リングの前記鍔部と前記可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体を具備したことを特徴とする。
本発明の請求項1によれば、次のような効果がある。
スタッドが鉛直方向および水平方向の動作を機能できる状態と、鉛直方向の動作を規制状態に切替できるので、例えば、ハンドラ接続用動作(鉛直方向と水平方向)とプローバ接続用動作(水平方向)を同一構成のフローティング機構を用いて切替えて動作させることがでるフローティング機構が得られる。
したがって、鉛直方向及び水平方向の接続用動作と水平方向の接続用動作が同一のフローティング機構にて可能となり、接続の容易性確保と共通化によるコスト低減を実現できるフローティング機構が得られる。
また、鉛直方向のフローティング機能を規制する場合に、コイルスプリングの圧縮が無い為に、スプリング圧縮の力が必要でなく、スタッドをホルダーにねじ込むだけで、余計な力を加えることなく、鉛直方向のフローティング機能を容易に規制することができるフローティング機構が得られる。
本発明の請求項2によれば、次のような効果がある。
コイルスプリングの他端に接する鍔部を有し、隙間孔とスタッドとの間に設けられ、隙間孔とスタッドとの間にそれぞれ隙間を有する、リング状の隙間リングが設けられたので、固定プレートと可動プレートとの傾き誤差を容易に吸収できるフローティング機構が得られる。
また、コイルスプリングの他端が、隙間孔に引っ掛かる恐れがなく、磨耗を生じる恐れもなく、確実に動作できるフローティング機構が得られる。
本発明の請求項3によれば、次のような効果がある。
係止手段は、可動プレートの外側表面とスタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、このワッシャプレートをスタッドの他端に固定する固定ねじが設けられたので、安価な係止手段を実現できるフローティング機構が得られる。
本発明の請求項4によれば、次のような効果がある。
固定手段は、固定プレートに設けられたねじ穴と、可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじとが設けられたので、安価な固定手段を実現できるフローティング機構が得られる。
本発明の請求項5によれば、次のような効果がある。
隙間リングの鍔部と可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体が設けられたので、フローティング動作に必要な力を軽減できるフローティング機構が得られる。特に、可動プレート部分の重量が大きい場合に有効な効果が得られるフローティング機構が得られる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、図2は図1のZ方向の動作を固定しXY方向のみフローティング動作をさせるようにした状態を示す要部構成説明図、図3は図1のXYZ方向の全てのフローティング動作を固定した状態を示す要部構成説明図である。
図において、図5と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図5との相違部分のみ説明する。
ホルダー31は、固定プレート32の一方の面に一方の面が接して設けられブロック状をなす。
この場合は、ホルダー31は、固定プレート32にねじ311により固定されている。
ホルダー穴33は、固定プレート32の他方の面から所定の深さに形成されている。
貫通ねじ孔34は、ホルダー穴33の底面から、ホルダー穴33と同心に、ホルダー31に設けられ小径をなす。
スタッド35は、一端にこの貫通ねじ孔34と螺合するねじ部36を有し途中に鍔部37を有し他端が可動プレート38に係止手段39により係止される。
この場合は、係止手段39は、可動プレート38の外側表面とスタッド35の他端に一面が接するワッシャプレート391と、このワッシャプレート391をスタッド35の他端に固定する固定ねじ392とを有する。
スタッド35の一端には、カラー41がねじ42により固定されている。

コイルスプリング43は、鍔部37に一端が取り付けられ、他端が固定プレート32の他方の面から所定寸法b突出して配置され、鉛直方向のフローティングを確保する。
隙間孔44は、可動プレート38に設けられ、可動プレート38とスタッド35との間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する。
固定手段45は、可動プレート38を固定プレート32に固定する。
この場合は、固定手段45は、固定プレート32に設けられたねじ穴451と、可動プレート38に設けられ、このねじ穴451に螺合するねじ452を有する。
隙間リング46は、コイルスプリング43の他端に接する鍔部461を有し、隙間孔44とスタッド35との間に設けられ、隙間孔44とスタッド35との間にそれぞれ隙間a1,a2を有する。
図1の構成によれば、可動プレート38は、隙間a1,a2,bにより、XYZ方向に動作可能である。
図2はスタッド35の一端に形成されたねじ部36をホルダー31の底部に形成された貫通ねじ孔34にねじ込んで、鍔部37をホルダー穴33の底面に押し付けて鉛直方向のフローティングを規正した状態を示す。
このような状態ではZ方向の動作が規制され、可動プレート38はXY方向のみフローティング動作が可能である。
図3は図2の状態に加え、固定プレート32に設けられたねじ穴451に可動プレート38に設けられ、このねじ穴451に螺合するねじ452をねじ込んで可動プレート38と固定プレート32の動作も固定した状態を示している。
これによりXYZ方向の全てのフローティング動作が固定される。
この結果、
スタッド35が鉛直方向のフローティング動作を機能できる状態と、鉛直方向のフローティング動作を機能できない規制状態に切替できるので、例えば、ハンドラ接続用動作(鉛直方向と水平方向)とプローバ接続用動作(水平方向)を同一構成のフローティング機構を用いて切替えて動作させることがでるフローティング機構が得られる。
したがって、鉛直方向及び水平方向の接続用動作と水平方向の接続用動作が同一のフローティング機構にて可能となり、接続の容易性確保と部品共通化によるコスト低減を実現できるフローティング機構が得られる。
また、鉛直方向のフローティング機能を規制する場合に、コイルスプリング43の圧縮が無い為に、スプリング圧縮の力が必要でなく、スタッド35をホルダー31にねじ込むだけで、余計な力を加えることなく、鉛直方向のフローティング機能を容易に規制することができるフローティング機構が得られる。
コイルスプリング43の他端に接する鍔部461を有し、隙間孔44とスタッド35との間に設けられ、隙間孔44とスタッド35との間にそれぞれ隙間を有する、リング状の隙間リング46が設けられたので、固定プレート32と可動プレート38との傾き誤差をも容易に吸収できるフローティング機構が得られる。
また、コイルスプリング43の他端が、隙間孔44に引っ掛かる恐れがなく、磨耗を生じる恐れもなく、確実に動作できるフローティング機構が得られる。
係止手段39は、可動プレート38の外側表面とスタッド35の他端に一面が接するワッシャプレート391と、このワッシャプレート391をスタッド35の他端に固定する固定ねじ392が設けられたので、安価な係止手段39を実現できるフローティング機構が得られる。
固定手段45は、固定プレート32に設けられたねじ穴451と、可動プレート38に設けられこのねじ穴451に螺合するねじ452とが設けられたので、安価な固定手段45を実現できるフローティング機構が得られる。
図4は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図4において、51は、隙間リングの鍔部441と可動プレート38との間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体である。
この結果、隙間リングの鍔部441と可動プレート38との間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体51が設けられたので、フローティング動作に必要な力を軽減できるフローティング機構が得られる。特に、可動プレート38の部分の重量が大きい場合に有効な効果が得られるフローティング機構が得られる。
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
本発明の一実施例の要部構成説明図である。 図1のZ方向の動作を固定しXY方向のみフローティング動作をさせるようにした状態を示す要部構成説明図である。 図1のXYZ方向の全てのフローティング動作を固定した状態を示す要部構成説明図である。 本発明の他の実施例の要部構成説明図である。 従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。 従来より一般に使用されているフローティング機構の要部構成説明図である。 図6のZ方向の動作を固定しXY方向のみフローティング動作をさせるようにした状態を示す要部構成説明図である。
符号の説明
1 テストヘッド
2 DUT
10 ホルダー
11 大径穴
12 貫通孔
13 テストヘッド部
14 貫通孔
15 固定ねじ
16 コイルスプリング
17 スタッド
18 カラー
19 固定ねじ
20 DUTベース部
21 固定ねじ
22 段付き孔
23 ねじ孔
24 固定ねじ
31 ホルダー


32 固定プレート
33 ホルダー穴
34 貫通ねじ孔
35 スタッド
36 ねじ部
37 鍔部
38 可動プレート
39 係止手段
391 ワッシャプレート
392 固定ねじ
41 カラー
42 ねじ
43 コイルスプリング
44 隙間孔
45 固定手段
451 ねじ穴
452 ねじ
46 隙間リング
461 鍔部
51 スペース体

Claims (5)

  1. 固定プレートと可動プレートとの間に設けられたフローティング機構において、
    前記固定プレートの一方の面に一方の面が接して設けられたブロック状のホルダーと、
    前記固定プレートの他方の面から所定の深さに形成されたホルダー穴と、
    このホルダー穴の底面から前記ホルダー穴と同心に前記ホルダーに設けられた小径の貫通ねじ孔と、
    一端にこの貫通ねじ孔と螺合するねじ部を有し途中に鍔部を有し他端が前記可動プレートに係止手段により係止されるスタッドと、
    前記鍔部に一端が取り付けられ他端が前記固定プレートの前記他方の面から所定寸法突出して配置され鉛直方向のフローティングを確保するコイルスプリングと、
    前記可動プレートに設けられ前記可動プレートと前記スタッドとの間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する隙間孔と、
    前記可動プレートを前記固定プレートに固定する固定手段と
    を具備し、前記鉛直方向のフローティングが不要の場合には前記スタッドをねじ込み前記鍔部を前記ホルダー穴の底面に押し付けて鉛直方向のフローティングを規正し、
    前記水平方向のフローティングをも不要の場合には前記固定手段を使用して前記可動プレートと前記固定プレートとを固定するようにしたこと
    を特徴とするフローティング機構。
  2. 前記コイルスプリングの前記他端に接する鍔部を有し前記隙間孔と前記スタッドとの間に設けられ前記隙間孔と前記スタッドとの間にそれぞれ隙間を有するリング状の隙間リング
    を具備したことを特徴とする請求項1記載のフローティング機構。
  3. 前記係止手段は、前記可動プレートの外側表面と前記スタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、
    このワッシャプレートを前記スタッドの他端に固定する固定ねじと
    を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項2の何れかに記載のフローティング機構。
  4. 前記固定手段は、前記固定プレートに設けられたねじ穴と、
    前記可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじと
    を具備したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のフローティング機構。
  5. 前記隙間リングの前記鍔部と前記可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体
    を具備したことを特徴とする請求項2乃至請求項4の何れかに記載のフローティング機構。
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