JP4975507B2 - キャパシタ内蔵配線基板 - Google Patents
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Description
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、製造が容易であって信頼性に優れ、半導体素子の能力をより引き出し易い配線基板を提供することを目的とする。
(1)基板コア部と、該基板コア部内に収容されたキャパシタ部と、プロセッサコア部を有する第1の半導体素子及び該第1の半導体素子と異なる他の半導体素子を搭載可能であり且つ少なくとも該キャパシタ部上に積層されたビルドアップ部と、を備えるキャパシタ内蔵配線基板であって、
上記キャパシタ部は、複数のキャパシタ機能部を有し、各々の該キャパシタ機能部に接続されて該キャパシタ部の外表面へ導出された複数の接続端子からなる接続端子群を備え、
上記接続端子群は、上記キャパシタ機能部のうちの第1のキャパシタ機能部に接続され且つ上記第1の半導体素子に電気的に接続可能な第1接続端子群と、該キャパシタ機能部のうちの第2のキャパシタ機能部に接続され且つ上記他の半導体素子に電気的に接続可能な第2接続端子群と、を含み、
上記第2接続端子群は、上記キャパシタ部の外表面において上記第1接続端子群に対してより外側に配置されており、
上記第2接続端子群は、上記キャパシタ部の外表面において該第1接続端子群を囲んで配置されていることを特徴とするキャパシタ内蔵配線基板(以下、この発明を「本第1発明」ともいう)。
(2)基板コア部と、該基板コア部内に収容されたキャパシタ部と、プロセッサコア部及び該プロセッサコア部以外の他の回路部を有する半導体素子を搭載可能であり且つ少なくとも該キャパシタ部上に積層されたビルドアップ部と、を備えるキャパシタ内蔵配線基板であって、
上記キャパシタ部は、複数のキャパシタ機能部を有し、各々の該キャパシタ機能部に接続されて該キャパシタ部の外表面へ導出された複数の接続端子からなる接続端子群を備え、
上記接続端子群は、上記キャパシタ機能部のうちの第1のキャパシタ機能部に接続され且つ上記プロセッサコア部に電気的に接続可能な第1接続端子群と、該キャパシタ機能部のうちの第2のキャパシタ機能部に接続され且つ上記他の回路部に接続可能な第2接続端子群と、を含み、
上記第2接続端子群は、上記キャパシタ部の外表面において上記第1接続端子群に対してより外側に配置されており、
上記第2接続端子群は、上記キャパシタ部の外表面において該第1接続端子群を囲んで配置されていることを特徴とするキャパシタ内蔵配線基板(以下、この発明を「本第2発明」ともいう)。
(3)上記第2のキャパシタ機能部は複数のキャパシタ容量部を有し、且つ、上記第2接続端子群は該複数のキャパシタ容量部に対応した複数の第2副接続端子群からなる上記(1)又は(2)に記載のキャパシタ内蔵配線基板。
(4)上記他の回路部は、メモリ回路部である上記(2)に記載のキャパシタ内蔵配線基板。
(5)上記他の回路部は、インプット回路部とアウトプット回路部とを備え、
上記第2接続端子群は、上記インプット回路部と上記アウトプット回路部とに電気的に接続されていることを特徴とする上記(2)に記載のキャパシタ内蔵配線基板。
本第2発明のキャパシタ内蔵配線基板によれば、半導体素子のプロセッサコア部と接続されることとなる第1のキャパシタ機能部に対して、その他の回路部と接続されることとなる第2のキャパシタ機能部を、外側に配置する。このため、各キャパシタ機能部に対応する回路部との接続経路を短縮でき、特に高周波域における電源インピーダンスを効果的に抑制できる。従って、半導体素子の能力をより引き出し易い配線基板を提供できる。加えて、より短い経路で上記接続を行うことができるために、製造をより容易にすることができ、キャパシタ内蔵配線基板の信頼性及びコスト性を向上させることができる。
本第1発明及び第2発明では、第2接続端子群がキャパシタ部の外表面において第1接続端子群を囲んで配置されているので、効果をより得やすい。
第2のキャパシタ機能部は複数のキャパシタ容量部を有し、且つ、第2接続端子群が複数のキャパシタ容量部に対応した複数の第2副接続端子群からなる場合は、更に、的確に接続経路を短縮でき、電源インピーダンスの低減を更に効果的に得ることができる。
他の回路部がメモリ回路部である場合、即ち、プロセッサコア部に対して、より小規模なキャパシタしか必要としない回路部を、第1の接続端子群の外側に配置することで、特に、的確に接続経路を短縮でき、電源インピーダンスの低減を特に効果的に得ることができる。
以下、本第1発明のキャパシタ内蔵配線基板を図1、図3〜10を参照して説明する。尚、図1には、分かり易さのために、本第1発明のキャパシタ内蔵配線基板101以外に、搭載されることとなる半導体素子90(91及び92)を図示している。
キャパシタ部21は、複数のキャパシタ機能部22を有し、各々のキャパシタ機能部22に接続されてキャパシタ部21の外表面へ導出された複数の接続端子4からなる接続端子群40を備え、
接続端子群40は、キャパシタ機能部22のうちの第1のキャパシタ機能部221に接続され且つ第1の半導体素子91に電気的に接続可能な第1接続端子群41と、キャパシタ機能部22のうちの第2のキャパシタ機能部222に接続され且つ他の半導体素子92に電気的に接続可能な第2接続端子群42と、を含み、
第2接続端子群42は、キャパシタ部22の外表面において第1接続端子群41に対してより外側に配置されていることを特徴とする。
上記「基板コア部(20)」は、キャパシタ部21を収容し、配線基板全体を支持するコアとなる部位である。基板コア20は、単なる板状体であってもよいが、通常、キャパシタ部21を収容する収容部201を有する。収容部201は、基板コア部20に設けられた貫通孔及び/又は有底穴を利用できる。尚、収容部201に収容された状態におけるキャパシタ部21は収容部201から一部がはみ出していてもよく、収容部201内に完全に収容されていてもよい。
キャパシタ部21(図8参照)の構成は特に限定されないが、通常、セラミック誘電体層223と、このセラミック誘電体層223を介して交互に積層配置された複数のグランド用電極層224a及び複数の電源用電極層224bと、を有する。
尚、図9は、キャパシタ部21の積層方向に垂直であり且つグランド用電極層224aを含む面における概略平面図であり、図10は、キャパシタ部21の積層方向に垂直であり且つ電源用電極層224bを含む面における概略平面図であり、図9のグランド用電極層224aと図10の電源用電極層224bとはセラミック誘電体層223を介して隣接された導体層である。
尚、上記プロセッサコア部911の数とは、搭載されることとなる総ての半導体素子に含まれる総てのプロセッサコアの総数であるものとする。
また、キャパシタ部21が有するグランド用ビア225及び電源用ビア226は、ビルドアップ部30に形成された各種導体31a(配線層、ハンダバンプ311a等)を介して各半導体素子が有する、更には、半導体素子の各回路部が有する、電源用導体及びグランド用導体に電気的に接続されることとなる。
即ち、図4に示す接続端子群40は、正方形状に配列された一群の第1接続端子群41と、ロ字形状(サークル形状)に配列された一群の第2接続端子群42と、を備え、このうち第2接続端子群42が第1接続端子群41の外側に配置されて、第1接続端子群41を取り囲んで配置したものである。
また、図5に示す接続端子群40は、正方形状に配列された一群の第1接続端子群41と、コ字形状に配列された同数の接続端子4を含む二群からなる第2接続端子群42と、を備え、各第2接続端子群42の総てが第1接続端子群41の外側に配置されて、且つ各第2接続端子群42同士が点対象(キャパシタ部21の中心が対象の中心となる)にコ字形状を向かい合わせて第1接続端子群41を取り囲んで配置したものである。尚、図5における第2接続端子群42はコ字形状以外にも二群からなるL字形状とすることもできる。
更に、図6に示す接続端子群40は、正方形状に配列された一群の第1接続端子群41と、L字形状に配列された同数の接続端子4を含む四群の第2接続端子群42と、を備え、各第2接続端子群42の総てが第1接続端子群41の外側に配置されて、且つ各第2接続端子群42同士が各線対称(各対辺の等分点を結ぶ2つの線分が各対称軸となる)にL字形状を向かい合わせて第1接続端子群41を取り囲んで配置したものである。
接続端子群は、第1接続端子群41を囲んで第2接続端子群42を配置する形態となっていることがより好ましい。これにより特に効果的に接続端子群40と半導体素子90との接続経路を短縮できる。
このキャパシタ容量部はどのようにして形成してもよい。即ち、例えば、キャパシタ部21とキャパシタ機能部22との関係に相当するように、キャパシタ部21内で接続される内部電極層(グランド用電極層224a及び電源用電極層224b)を電気的に絶縁して形成することができる。更に、例えば、1つのキャパシタ機能部22内において異なる2つの電源用ビア226同士を接続する抵抗体を、グランド用ビア225、電源用ビア226、グランド用電極層224a及び電源用電極層224b等よりも高い抵抗値を有する抵抗材料を用いて形成することでも得ることができる。この抵抗体を備えることで、1つのキャパシタ機能部内において異なる電位を設定できるようになり、キャパシタ容量部を形成することができる。
このビルドアップ部30(30a及び30b)は、配線基板10の一面側にのみ備えてもよいが、通常、両面側に備え、更には、対象形状に備えることが好ましい。一般に、キャパシタ内蔵配線基板10の半導体素子90側の接続端子311a(通常、キャパシタ部21の接続端子群40と対応)の端子間ピッチと、キャパシタ内蔵配線基板10のマザーボード100側の接続端子311bの端子間ピッチとには大きな差がある(図3参照)。このため、ビルドアップ部30(30a及び30b)を設けることで、ビルドアップ部30(30a及び30b)内でピッチを自在に調整して配線基板10の上面側(半導体素子搭載側)から下面側(マザーボード搭載側)へ異なる端子間ピッチの出力を行うことができる(図1及び図2参照)。
更に、ビルドアップ部30(30a及び30b)を構成する導体層31(31a及び31b)は、必要に応じて他層の導体層とビア等を通じて導通をとることができる。ビアを用いる場合には、各ビアの直上を避けて接続する非スタックドビア方式(各ビアはフィルドビアであってもよく、コンフォーマルビアであってもよい)で積層してもよく、各ビアの直上にビアを形成するスタックドビア方式(各ビアは、通常、フィルドビアである)で積層してもよい。また、この各ビアの形式は上面側ビルドアップ部30aと下面側ビルドアップ部30bとで同じものとしてもよく、異なるものとしてもよい。
キャパシタ内蔵配線基板10の表面(半導体素子搭載側)における第1半導体素子91の搭載方式は特に限定されないが、例えば、フリップチップ実装とすることができる。
このような他の半導体素子92としては、演算を行うための演算用素子、各種計測(温度、湿度、速度、加速度、ガス種、ガス濃度、圧力等)を行うためのセンサ素子、発光を行うための発光素子、受光を行うための受光素子、通信を行うための通信用素子、アクチュエータ機能(マイクロポンプ、マイクロバルブ、マイクロモータ等)を有するアクチュエータ素子等が挙げられる。これらの素子は1種のみを用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
以下、本第2発明のキャパシタ内蔵配線基板を図2〜10を参照して説明する。尚、図2には、分かり易さのために、本第2発明のキャパシタ内蔵配線基板102以外に、搭載されることとなる半導体素子90を図示している。
キャパシタ部21は、複数のキャパシタ機能部22を有し、各々のキャパシタ機能部22に接続されてキャパシタ部21の外表面へ導出された複数の接続端子4からなる接続端子群40を備え、
接続端子群40は、キャパシタ機能部22のうちの第1のキャパシタ機能部221に接続され且つプロセッサコア部901に電気的に接続可能な第1接続端子群41と、キャパシタ機能部22のうちの第2のキャパシタ機能部222に接続され且つ他の回路部902に接続可能な第2接続端子群42と、を含み、
第2接続端子群42は、キャパシタ部21の外表面において第1接続端子群41に対してより外側に配置されていることを特徴とする。
即ち、前記本第1発明のキャパシタ内蔵配線基板と、搭載されることとなる半導体素子90が、1つの半導体素子90内にプロセッサコア部901とその他の回路部902とを備えている点において異なる。
上記「キャパシタ部(21)」は、基板コア部20内に収容されたキャパシタである(図2及び図8参照)。このキャパシタ部21は、通常、基板コア20内に収容された状態で、エポキシ樹脂等の樹脂材料などの充填剤204によって収容部201内に固定される。キャパシタ部21の構成は特に限定されず、前記本第1発明におけると同様である。
プロセッサコア部901は、他の回路部に比べてより高速作動され、大電流を要する。このため、各プロセッサコア部901に対応するキャパシタ機能部221を有することで、ノイズ低減の効果を特に得やすいからである。尚、プロセッサコア部901の数は、プロセッサコア部901及びその他の回路部902を備える半導体素子90を2つ以上そなえることとなる場合には、これらのプロセッサコア部901の総数である。
また、キャパシタ部21が有するグランド用ビア225及び電源用ビア226は、ビルドアップ部30に形成された各種導体31aを介して各回路部(プロセッサコア部901及び他の回路部902)が有する電源用導体及びグランド用導体に電気的に接続されることとなる。
上記「半導体素子(90)」は、プロセッサコア部901と、プロセッサコア部901と異なる他の回路部902とを有する。プロセッサコア部とは演算処理を行うことができる回路である。このプロセッサコア部901は、半導体素子90内に1つのみを有してもよく、2つ以上を有してもよい。また、他の回路としては、メモリ回路部、I/O回路部、A/D変換回路、D/A変換回路、オペアンプ部、PLL回路部、フィルタ回路部等が挙げられる。これらは1種のみを用いてもよく2種以上を併用してもよい。また、各回路部は1つのみを有してもよく、2つ以上を有してもよい。
キャパシタ内蔵配線基板102の表面(半導体素子搭載側)における半導体素子90の搭載方式は特に限定されないが、例えば、フリップチップ実装とすることができる。
本発明の各キャパシタ内蔵配線基板10(101及び102)には各々半導体素子90が搭載されることとなる。この半導体素子90が搭載された状態における半導体素子90付き配線基板のうち、本第1発明のキャパシタ内蔵配線基板101を用いた半導体素子付き配線基板は、
プロセッサコア部911を有する第1の半導体素子91及び該第1の半導体素子91とは異なる他の半導体素子92と、該第1の半導体素子91及び該他の半導体素子92が搭載されたキャパシタ内蔵配線基板101と、を備える半導体素子付き配線基板であって、
上記キャパシタ内蔵配線基板101は、基板コア部20と、該基板コア部20内に収容されたキャパシタ部21と、該第1の半導体素子91及び該他の半導体素子92が搭載され且つ少なくとも該キャパシタ部21上に積層されたビルドアップ部30と、を備え、
上記キャパシタ部21は、複数のキャパシタ機能部22を有し、各々の該キャパシタ機能部22に接続されて該キャパシタ部21の外表面へ導出された複数の接続端子4からなる接続端子群40を備え、
上記接続端子群40は、上記キャパシタ機能部22のうちの第1のキャパシタ機能部221に接続され且つ上記第1の半導体素子91に電気的に接続された第1接続端子群41と、該キャパシタ機能部22のうちの第2のキャパシタ機能部222に接続され且つ上記他の半導体素子92に電気的に接続された第2接続端子群42と、を含み、
上記第2接続端子群42は、上記キャパシタ部21の外表面において上記第1接続端子群41に対してより外側に配置されている。
この半導体素子付き配線基板における各々の構成要素については、前記各説明をそのまま適用できる。
プロセッサコア部901及び該プロセッサコア部901以外のその他の回路部902を有する半導体素子90と、該半導体素子90が搭載されたキャパシタ内蔵配線基板102と、を備える半導体素子付き配線基板であって、
上記キャパシタ内蔵配線基板102は、基板コア部20と、該基板コア部20内に収容されたキャパシタ部21と、該半導体素子90が搭載され且つ少なくとも該キャパシタ部21上に積層されたビルドアップ部30と、を備え、
上記キャパシタ部21は、複数のキャパシタ機能部22を有し、各々の該キャパシタ機能部22に接続されて該キャパシタ部21の外表面へ導出された複数の接続端子4からなる接続端子群40を備え、
上記接続端子群40は、上記キャパシタ機能部22のうちの第1のキャパシタ機能部221に接続され且つ上記プロセッサコア部901に電気的に接続された第1接続端子群41と、該キャパシタ機能部22のうちの第2のキャパシタ機能部222に接続され且つ上記他の回路部902に接続された第2接続端子群42と、を含み、
上記第2接続端子群42は、上記キャパシタ部21の外表面において上記第1接続端子群41に対してより外側に配置されている。
この半導体素子付き配線基板における各々の構成要素については、前記各説明をそのまま適用できる。
[第1実施形態](図1、図3、図4、図8、図9及び図10参照)
図1は、本第1発明のキャパシタ内蔵配線基板101(10)の一実施形態を示す概略断面図である。配線基板101は、上面側に、プロセッサコア部911とI/O回路部とを有する半導体素子91(90)を1つ、及びメモリ回路部とI/O回路部とを有する半導体素子92(90)を2つ、各々接続端子311a(ハンダバンプ)を介して搭載でき、下面側で接続端子311b(ハンダバンプ)を介してマザーボード100(図3参照)に搭載されることとなるインターポーザー基板である。
各ビルドアップ部30(30a及び30b)は、導体層31(31a及び31b、この導体層31は層間導体層、ビア、表面金属端子パッド及びハンダバンプ311a等を含む)と層間絶縁層32(32a及び32b)とを備え、更に、最外層にソルダーレジスト層321(321a及び321b)を備える。
更に収容部201とキャパシタ部21との間隙は、エポキシ樹脂を主剤とする充填剤204により埋められている。この充填剤204は、キャパシタ部21を基板コア20に固定すると共に、配線基板101に対する熱的及び機械的な変形による応力がキャパシタ部21に影響をすることを抑制するように応力を吸収する機能も有する。
基板コア20の上面及び下面は、スルーホール導体202によって導通されており、両面銅張り積層板の表裏面の銅層がパターニングされてなる導体層を備える。
基板コア20は、平面方向(XY方向)における熱膨張係数{0℃〜ガラス転移温度(Tg)間の測定値の平均値である}が10〜15ppm/℃程度となっている。
下面側ビルドアップ部30bは、エポキシ樹脂からなる2層の樹脂絶縁層32b(層間絶縁層)と、銅からなる導体層31bとを有している。更に、接続端子311aを除いた最外層にはソルダーレジスト層321bが形成されている。下面側ビルドアップ部30bの熱膨張係数{30℃〜ガラス転移温度(Tg)間の測定値の平均値である}は、30〜40ppm/℃程度であり、具体的には35ppm/℃程度である。
キャパシタ機能部221には、その厚さ方向に貫通すると共に、平面視による格子状(アレイ状)にニッケルを主材とするグランド用ビア225及び電源用ビア226が配置されている。グランド用ビア225は、各電源用電極層224bを貫通(絶縁されて)して、各グランド用電極層224a同士を互いに電気的に接続している。また、電源用ビア226は、各グランド用電極層224aを貫通(絶縁されて)して、各電源用電極層224b同士を互いに電気的に接続している。
各接続端子群41及び42は、直径約500μmの円形に形成された接続端子4が、ピッチの最小長さ約580μmで配設されている。
そして、接続端子群41は、キャパシタ内蔵配線基板101の上面側の接続端子311aを介して半導体素子91のプロセッサコア部911に電気的に接続されている。一方、接続端子群42は、キャパシタ内蔵配線基板101の上面側の接続端子311aを介して半導体素子92に電気的に接続されている。
このように実装した場合には、マザーボード100側から通電を行い、グランド用電極層225と電源用電極層224bとの間に電圧を印加することで、グランド用電極層224a及び電源用電極層224bに互いに対極となる電荷が蓄積されてキャパシタ21はキャパシタとして機能される。
また、キャパシタ機能部221及び222内では、グランド用ビア225及び電源用ビア226が互いに隣接配置され、且つグランド用ビア225及び電源用ビア226を流れる電流の方向が互いに逆向きになるように設定されている。これにより、インダクタンス成分が低減されている。
図2は、本第2発明のキャパシタ内蔵配線基板102(10)の一実施形態を示す概略断面図である。配線基板102は、上面側に、プロセッサコア部901と、プロセッサコア部901への入力を行うインプット回路と、プロセッサコア部901からの出力を行うアウトプット回路と、の3つの回路を有する半導体素子90、1つを、各々接続端子311a(ハンダバンプ)を介して搭載でき、下面側で接続端子311b(ハンダバンプ)を介してマザーボード100(図3参照)に搭載されることとなるインターポーザー基板である。
そして、接続端子4は接続端子群40を構成し、キャパシタ機能部221に接続されている第1接続端子群41と、キャパシタ機能部222に接続されている第2接続端子群42と、を備え、接続端子群41は、キャパシタ内蔵配線基板102の上面側の接続端子311aを介して半導体素子90のプロセッサコア部901に電気的に接続されている。一方、接続端子群42は、キャパシタ内蔵配線基板102の上面側の接続端子311aを介して半導体素子90のインプット回路部とアウトプット回路部とに電気的に接続されている。
この他の構成等については、前記第1実施形態におけると同様であり、同様の作用効果を得ることができる。
20;基板コア、201;収容部、204;充填剤、202;スルーホール導体、203;硬化体、
21;キャパシタ部、221;キャパシタ機能部(プロセッサコア部用のキャパシタ機能部)、222;キャパシタ機能部(他の半導体素子用の、他の回路用の、キャパシタ機能部)、223;セラミック誘電体層、224a;グランド用電極層、224b;電源用電極層、225;グランド用ビア、226;電源用ビア、4;接続端子(半導体素子側の接続端子)、40;接続端子群、41;第1接続端子群、42;第2接続端子群、421;副接続端子群(第2副接続端子群)、
30;ビルドアップ部、30a;上面側ビルドアップ部、30b;下面側ビルドアップ部、31a及び31b;導体層、311a及び311b;接続端子(キャパシタ内蔵配線基板表面の接続端子)、32a及び32b;層間絶縁層、321a及び321b;ソルダーレジスト層、
90、91及び92;半導体素子、901及び911;プロセッサコア部、902;他の回路部、100;マザーボード。
Claims (5)
- 基板コア部と、該基板コア部内に収容されたキャパシタ部と、プロセッサコア部を有する第1の半導体素子及び該第1の半導体素子とは異なる他の半導体素子を搭載可能であり且つ少なくとも該キャパシタ部上に積層されたビルドアップ部と、を備えるキャパシタ内蔵配線基板であって、
上記キャパシタ部は、複数のキャパシタ機能部を有し、各々の該キャパシタ機能部に接続されて該キャパシタ部の外表面へ導出された複数の接続端子からなる接続端子群を備え、
上記接続端子群は、上記キャパシタ機能部のうちの第1のキャパシタ機能部に接続され且つ上記第1の半導体素子に電気的に接続可能な第1接続端子群と、該キャパシタ機能部のうちの第2のキャパシタ機能部に接続され且つ上記他の半導体素子に電気的に接続可能な第2接続端子群と、を含み、
上記第2接続端子群は、上記キャパシタ部の外表面において上記第1接続端子群に対してより外側に配置されており、
上記第2接続端子群は、上記キャパシタ部の外表面において該第1接続端子群を囲んで配置されていることを特徴とするキャパシタ内蔵配線基板。 - 基板コア部と、該基板コア部内に収容されたキャパシタ部と、プロセッサコア部及び該プロセッサコア部以外のその他の回路部を有する半導体素子を搭載可能であり且つ少なくとも該キャパシタ部上に積層されたビルドアップ部と、を備えるキャパシタ内蔵配線基板であって、
上記キャパシタ部は、複数のキャパシタ機能部を有し、各々の該キャパシタ機能部に接続されて該キャパシタ部の外表面へ導出された複数の接続端子からなる接続端子群を備え、
上記接続端子群は、上記キャパシタ機能部のうちの第1のキャパシタ機能部に接続され且つ上記プロセッサコア部に電気的に接続可能な第1接続端子群と、該キャパシタ機能部のうちの第2のキャパシタ機能部に接続され且つ上記他の回路部に接続可能な第2接続端子群と、を含み、
上記第2接続端子群は、上記キャパシタ部の外表面において上記第1接続端子群に対してより外側に配置されており、
上記第2接続端子群は、上記キャパシタ部の外表面において該第1接続端子群を囲んで配置されていることを特徴とするキャパシタ内蔵配線基板。 - 上記第2のキャパシタ機能部は複数のキャパシタ容量部を有し、且つ、上記第2接続端子群は該複数のキャパシタ容量部に対応した複数の第2副接続端子群からなる請求項1又は2に記載のキャパシタ内蔵配線基板。
- 上記他の回路部は、メモリ回路部である請求項2に記載のキャパシタ内蔵配線基板。
- 上記他の回路部は、インプット回路部とアウトプット回路部とを備え、
上記第2接続端子群は、上記インプット回路部と上記アウトプット回路部とに電気的に接続されていることを特徴とする請求項2に記載のキャパシタ内蔵配線基板。
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