JP4972774B2 - マイクロスキャナおよびそれを備える光学機器 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 60
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 101001030702 Zea mays Histone deacetylase HDT3 Proteins 0.000 description 6
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/085—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by electromagnetic means
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Description
実施の一形態について、図面に基づいて説明すれば、以下の通りである。ここでは、変動する部材(変動部)としてミラー部を例に挙げるとともに、このミラー部を変動させることで光を反射させスキャン動作を行うマイクロスキャナとして光スキャナを例に挙げる。なお、理解を容易にすべく、平面図であってもハッチングを付している。また、便宜上、部材符号・ハッチングを省略する場合もあるが、かかる場合、他の図面を参照するものとする。また、図面上での黒丸は紙面に対し垂直方向を意味する。
実施の形態2について説明する。なお、実施の形態1で用いた部材と同様の機能を有する部材については、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
実施の形態3について説明する。なお、実施の形態1・2で用いた部材と同様の機能を有する部材については、同一の符号を付記し、その説明を省略する。この実施の形態3では、保持部HDに形成されるトーションバーTB1について詳説する。
実施の形態4について説明する。なお、実施の形態1〜3で用いた部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付記し、その説明を省略する。
なお、本発明は上記の実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
11 可動枠
12 ミラー片(変動片)
13 ミラー片トーションバー(副軸部)
MA 主軸部
MA1 第1主軸部
MA2 第2主軸部
HD 保持部
HD1 第1保持部
HD2 第2保持部
PE 圧電素子(駆動部)
TB トーションバー
TB1 第1トーションバー
TB2 第2トーションバー
ST スリット
ST1 第1スリット
ST2 第2スリット
ST3 第3スリット
ST4 第4スリット
LS 光スキャナ(マイクロスキャナ)
Claims (11)
- 変動部と、
上記変動部を揺動可能に支持する主軸部と、
上記主軸部に垂直な方向に延びる変形可能な保持部と、
上記保持部に設けられ、上記保持部自身を撓み変形させる駆動部と、
上記主軸部と上記駆動部との間の上記保持部に、上記保持部の延び方向に対して交差する方向に延設され、上記主軸部を保持するとともに上記保持部自身の撓み変形をねじれ変形に変化させて上記主軸部に伝達する第1トーションバーと、
を含み、上記第1トーションバーに生じるねじれ変形を用いて上記変動部が揺動するマイクロスキャナにあって、
上記第1トーションバーの厚み方向の長さが、上記第1トーションバーの幅方向の長さよりも長いマイクロスキャナ。 - 上記第1トーションバーは、上記保持部にスリットを形成することによって設けられており、マイクロスキャナ自身は一基板に形成されている請求項1に記載のマイクロスキャナ。
- 上記変動部は、金属膜を含むことで光を反射させるミラー部になっている請求項1または2に記載のマイクロスキャナ。
- 上記第1トーションバーは、上記保持部の延び方向に対して交差する方向に沿って複数並んでいる請求項1〜3のいずれか1項に記載のマイクロスキャナ。
- 上記第1トーションバーは、上記保持部の延び方向に沿って複数並んでいる請求項1〜4のいずれか1項に記載のマイクロスキャナ。
- 上記保持部の延び方向に沿って複数並んでいる上記各第1トーションバーでは、各第1トーションバーの全長が異なっている請求項5に記載のマイクロスキャナ。
- 上記各第1トーションバーの全長は、上記主軸部から離れるにつれて短くなっている請求項6に記載のマイクロスキャナ。
- 上記保持部の延び方向に沿って複数並んでいる上記各第1トーションバーでは、各第1トーションバーにおける幅方向の長さが異なっている請求項5に記載のマイクロスキャナ。
- 上記各第1トーションバーの幅方向の長さは、上記主軸部から離れるにつれて長くなっている請求項8に記載のマイクロスキャナ。
- 上記変動部が、
変動片と、上記変動片を揺動可能に支持する副軸部と、上記副軸部につながりつつ上記変動片を囲んでいる可動枠と、を含み、
上記主軸部と上記可動枠との間に、上記可動枠を保持するとともに、上記保持部自身の撓み変形を上記主軸部を介して受けつつ、上記主軸部と直交する方向のねじれ変形に変化させて上記可動枠に伝達する第2トーションバーが設けられている請求項1〜9のいずれか1項に記載のマイクロスキャナ。 - 請求項1〜10のいずれか1項に記載のマイクロスキャナを搭載する光学機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007035895A JP4972774B2 (ja) | 2007-02-16 | 2007-02-16 | マイクロスキャナおよびそれを備える光学機器 |
US12/031,238 US7864392B2 (en) | 2007-02-16 | 2008-02-14 | Microscanner and optical equipment with the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007035895A JP4972774B2 (ja) | 2007-02-16 | 2007-02-16 | マイクロスキャナおよびそれを備える光学機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008203299A JP2008203299A (ja) | 2008-09-04 |
JP4972774B2 true JP4972774B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=39706398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007035895A Active JP4972774B2 (ja) | 2007-02-16 | 2007-02-16 | マイクロスキャナおよびそれを備える光学機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7864392B2 (ja) |
JP (1) | JP4972774B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8199389B2 (en) * | 2008-03-10 | 2012-06-12 | Ricoh Company, Ltd. | Vibration elements |
WO2010035759A1 (ja) | 2008-09-25 | 2010-04-01 | コニカミノルタオプト株式会社 | 光スキャナ |
JP5347473B2 (ja) * | 2008-12-15 | 2013-11-20 | 船井電機株式会社 | 振動ミラー素子 |
JP5493735B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2014-05-14 | 株式会社リコー | 偏向ミラー、光走査装置、画像形成装置、および画像投影装置 |
JP5458837B2 (ja) * | 2009-03-16 | 2014-04-02 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
JP5429111B2 (ja) * | 2009-10-09 | 2014-02-26 | 株式会社Jvcケンウッド | 光偏向子及びこの光偏向子を備えた光偏向器 |
JP2012073373A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Konica Minolta Opto Inc | マイクロスキャナおよびそれを備えた光学機器 |
JP5857602B2 (ja) * | 2011-10-03 | 2016-02-10 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
DE102012201981B4 (de) * | 2012-02-10 | 2020-08-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
CN104272167B (zh) * | 2012-05-07 | 2017-03-08 | 松下知识产权经营株式会社 | 光学反射元件 |
JP6014234B2 (ja) * | 2012-05-10 | 2016-10-25 | パイオニア株式会社 | 駆動装置 |
JP5976132B2 (ja) * | 2013-02-08 | 2016-08-23 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
JP5916667B2 (ja) * | 2013-07-17 | 2016-05-11 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
JP5916668B2 (ja) * | 2013-07-17 | 2016-05-11 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
DE102014211025B4 (de) | 2014-06-10 | 2022-07-14 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil |
JP6974696B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2021-12-01 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
WO2019098285A1 (ja) * | 2017-11-16 | 2019-05-23 | パイオニア株式会社 | 光偏向器 |
DE102018112809A1 (de) * | 2018-05-29 | 2019-12-05 | Blickfeld GmbH | Betätigung eines Scanspiegels mit einer elastischen Kopplung |
WO2023149196A1 (ja) * | 2022-02-07 | 2023-08-10 | ソニーグループ株式会社 | Memsデバイス及び測距装置 |
US20230384581A1 (en) * | 2022-05-26 | 2023-11-30 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Piezoelectrically-actuated resonant scanning mirror |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1620626A (zh) * | 2002-01-21 | 2005-05-25 | 松下电器产业株式会社 | 光学开关及其制造方法、使用该开关的信息传送装置 |
JP2005128147A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-05-19 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器及び光学装置 |
JP5098254B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2012-12-12 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子 |
-
2007
- 2007-02-16 JP JP2007035895A patent/JP4972774B2/ja active Active
-
2008
- 2008-02-14 US US12/031,238 patent/US7864392B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008203299A (ja) | 2008-09-04 |
US20080198433A1 (en) | 2008-08-21 |
US7864392B2 (en) | 2011-01-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110823 |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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