JP4970640B2 - スクリーニング方法、スクリーニング装置及び記録媒体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は集積回路装置の初期不良品をスクリーニングするためのスクリーニング方法、スクリーニング装置及び記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、集積回路装置の初期不良品を除去する手法として、バーンインテストが知られている。バーンインテストは、例えば、Eugene R. Hnatek著、Integrated Circuit Quality and Reliabilityの719ページから720ページに記載されるように、高温環境下で電気的なストレスを被集積回路装置に印加することで温度依存性のある故障を比較的短時間で顕在化させる手法であり、故障が顕在化した初期不良品を除去して製品全体の信頼性を向上させるために実施される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、バーンインテストは故障を比較的短時間で顕在化させることができる加速試験であるが、除去すべき故障モードや要求される信頼性によっては、例えば、数百時間〜数千時間の長時間の試験時間を要することがある。したがって、初期不良品をより短時間でスクリーニングすることが可能な手法が望まれている。
【0004】
また、バーンインテストでは、印加されるストレスによって故障の度合が序々に進行するが、故障が完全に顕在化しないと外部から故障として認識することができないため、集積回路装置に欠陥があってもそれを見出すことができないおそれがあった。
【0005】
本発明は上記したような従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものであり、故障が顕在化する前に集積回路装置の故障を検出可能にすると共に、初期不良を短時間で除去することができる集積回路装置のスクリーニング方法及び装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明のスクリーニング方法は、
集積回路装置の初期不良品をスクリーニングするためのスクリーニング方法であって、
前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給すると共に、所定の周期から成るテスト信号を生成して前記集積回路装置に印加し、
前記集積回路装置に流れる電源電流を観測し、前記集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルを算出し、
前記初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電流のパワースペクトルに含まれる基本波及び高調波におけるパワーの平均値及び標準偏差を求め、前記基本波及び前記高調波におけるパワーが、前記平均値から前記標準偏差に予め定められた値を乗じた値以上離れている集積回路装置を前記初期不良品と判定する方法である。
【0007】
ここで、前記集積回路装置には、予めバーンインを実施しておいてもよい。
【0008】
または、集積回路装置の初期不良品をスクリーニングするためのスクリーニング方法であって、
前記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン中、及びバーンイン後に、それぞれ前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給すると共に、所定の周期から成るテスト信号を生成して前記集積回路装置に印加し、
前記集積回路装置に流れる電源電流を観測し、前記集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルを算出し、
前記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン中、バーンイン後における電源電流のパワースペクトルの時間変化率を求め、該時間変化率が予め定められた判定基準値よりも大きい集積回路装置を初期不良品と判定する方法である。
【0009】
一方、本発明のスクリーニング装置は、集積回路装置の初期不良品をスクリーニングするスクリーニング装置であって、
所定の周期から成るテスト信号を生成し、前記集積回路装置に印加するテスト信号生成装置と、
前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給するテスト電源と、
前記テスト電源から前記集積回路装置に流れる電源電流を観測し、前記集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルを算出するスペクトル解析装置と、
前記スペクトル解析装置で算出されたパワースペクトルのデータを保存する観測データ記憶装置と、
前記観測データ記憶装置に保存されたパワースペクトルのデータを読み出し、前記初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電流のパワースペクトルに含まれる基本波及び高調波におけるパワーの平均値及び標準偏差を求め、前記基本波及び前記高調波におけるパワーが、前記平均値から前記標準偏差に予め定められた値を乗じた値以上離れている集積回路装置を前記初期不良品と判定する判定装置と、
を有する構成である。
【0010】
このとき、前記集積回路装置は、予めバーンインが実施されたものであることが望ましく、前記判定装置は、前記集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン中、バーンイン後における電源電流のパワースペクトルの時間変化率を求め、該時間変化率が予め定められた判定基準値よりも大きい集積回路装置を初期不良品と判定してもよい。
【0011】
上記のようなスクリーニング方法及び装置では、集積回路装置に初期不良を起すような何らかの欠陥がある場合には良品と異なる異常な電源電流が流れる。したがって、集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルデータを解析することで、パワースペクトルデータのばらつきが正規分布を示す良品と、良品と異なるパワースペクトルデータのばらつきの分布を示す初期不良品とを分別することができる。
【0012】
また、上記処理を集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン中、バーンイン後でそれぞれ行うことで、集積回路装置に欠陥があった場合に、その欠陥がバーンインによって進行する様子が電源電流のパワースペクトルデータの変化として観測することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に本発明について図面を参照して説明する。
【0014】
(第1の実施の形態)
本実施形態のスクリーニング方法及び装置は、DUT(被試験集積回路装置)にバーンインによるストレスを印加することなく初期不良品をスクリーニングすることが可能な方法及び装置である。
【0015】
図1は本発明のスクリーニング装置の第1の実施の形態の構成を示すブロック図である。
【0016】
図1に示すように、本実施形態のスクリーニング装置は、所定のテスト信号を生成してDUT4に印加するテスト信号生成装置1と、DUT4に所定の電源電圧を供給するテスト電源2と、テスト電源2からDUT4に流れる電源電流を観測し、DUT4に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルデータを算出するスペクトル解析装置3と、スペクトル解析装置3で算出されたパワースペクトルデータを保存する観測データ記憶装置5と、観測データ記憶装置5に保存されたパワースペクトルデータを解析し、DUT4の初期不良の有無を判定する判定装置6と、テスト信号生成装置1、テスト電源2、スペクトル解析装置3、及び判定装置6の動作をそれぞれ制御する主制御装置7とを有する構成である。なお、主制御装置7は、テスト信号生成装置1、テスト電源2、スペクトル解析装置3、及び判定装置6をそれぞれ制御し、初期不良品をスクリーニングするためのスクリーニング処理を自動で実施するための装置である。したがって、例えば、検査員がテスト信号生成装置1、テスト電源2、スペクトル解析装置3、観測データ記憶装置5及び判定装置6をそれぞれ操作して初期不良品をスクリーニングする場合は無くてもよい。
【0017】
次に、本発明のスクリーニング方法の原理について図2及び図3を用いて説明する。
【0018】
図2はDUTに流れる電源電流のパワースペクトルの一例を示すグラフであり、図3は良品及び初期不良品のパワースペクトルデータのばらつきの一例を示すグラフである。なお、図2は、周期T=13.3msecのテスト信号をDUT4に印加したときの電源電流のパワースペクトルの様子を示している。
【0019】
図1に示したテスト電源2からDUT4に流れる電源電流には、負荷であるDUT4の内部状態を反映する多くの情報が含まれている。すなわち、初期不良を起すような欠陥、例えば、配線の接続不良やトランジスタの損傷など、何らかの欠陥がある場合には良品と異なる異常な電源電流が流れる。
【0020】
したがって、DUT4に流れる電源電流を解析し、良品と異なる電源電流が流れるDUT4を見い出すことで初期不良品を検出することができる。本発明では、電源電流を解析する手法として電源電流のパワースペクトルデータを用いる。
【0021】
DUT4に所定時間Tのテストパターンから成るテスト信号を周期的に印加するとDUT4に流れる電源電流も周期Tとなる。したがって、電源電流のパワースペクトルは、例えば、図2に示すように基本周波数1/T(1/13.3msec=75Hz)とその整数倍の高調波を有する波形となる。
【0022】
ところで、DUT4に流れる異常な電源電流のパワースペクトルを検出するためには、良/不良を判定するための判定基準として良品の電源電流のパワースペクトルデータが必要である。しかしながら、初期不良品を含む複数のDUT4が与えられたときに、試験することなくそれらの中から良品を選定することは困難である。本発明では複数のDUT4に初期不良品の占める割合が少ないことに着目する。すなわち、DUT4の多くは良品であり、スクリーニングすべき初期不良品は少数であることを利用して初期不良品を検出する。
【0023】
図3に示すように、一般に、良品の電源電流のパワースペクトルデータのばらつき(図2に示したような基本周波数とその高調波のパワーのばらつき)は、集積回路装置の特性の差によって平均値を中心とする正規分布となる。一方、初期不良品の電源電流のパワースペクトルデータのばらつきは異常な電源電流のために良品とは異なった分布になる。したがって、初期不良品を含む複数のDUT4の電源電流のパワースペクトルのばらつきを求めると、初期不良品は正規分布から大きく外れた値を示す。本発明は、初期不良品を含む複数のDUT4の電源電流のパワースペクトルデータの分布率を求め、所定の判定基準値よりも大きいDUT4を初期不良品と判定する。
【0024】
次に、本実施形態のスクリーニング方法の処理手順について図面を参照して説明する。
【0025】
図4は本発明のスクリーニング方法の第1の実施の形態の処理手順を示すフローチャートであり、図5は図1に示したテスト信号生成装置が生成するテスト信号の様子を示す模式図である。
【0026】
図4において、まず、テスト信号生成装置1は、主制御装置7の制御により、所定のテストパターン(テスト信号)を生成し、DUT4の所定の入力端子にそれぞれ印加する(ステップS1)。
【0027】
テスト信号生成装置1で生成するテスト信号には、図5(a)に示すように所定時間Tのテストパターンを1度だけ印加する信号、図5(b)に示すように所定時間Tのテストパターンを連続して複数回印加する信号、あるいは図5(c)に示すように所定時間Tのテストパターンを休止期間T0を挟んで複数回印加する信号等がある。
【0028】
また、テスト電源2は、主制御装置7の制御により、DUT4の電源端子にスペクトル解析装置3を介して所定の電源電圧を供給する(ステップS2)。
【0029】
テスト電源2からDUT4に供給する電源電圧には、所定の一定電圧、時間変化する電源電圧、あるいはテスト信号に同期して時間変化する電源電圧等がある。
【0030】
次に、スペクトル解析装置3は、主制御装置7の制御により、テスト電源2からDUT4に流れる電源電流を観測し(ステップS3)、DUT4に流れる電源電流のパワースペクトルデータを算出する(ステップS4)。
【0031】
スペクトル解析装置3は、予め定められたサンプリングタイミング毎にDUT4の電源電流の値(サンプリングデータ)を取り込み、サンプリングデータから電源電流のパワースペクトルを算出する。具体的には、離散フーリエ変換(Discrete Fourier Transform: DFT)、あるいは高速フーリエ変換(Fast Fourier Transform: FFT)を行う。
【0032】
なお、DUT4に印加されるテスト信号が図5(a)に示すように所定時間Tのテストパターンが1回だけ印加される信号の場合、DUT4に流れる電源電流は周期性を持たない。しかしながら、テスト信号の印加されている期間T、あるいはテスト信号印加後の一定期間T1を含むT+T1を1周期と見なして電源電流のパワースペクトルが算出される。その場合、電源電流のパワースペクトルデータは、基本周波数1/T、あるいは1/(T+T1)と、その整数倍の高調波を含むデータとなる。
【0033】
また、DUT4に印加されるテスト信号が図5(b)に示すように所定時間Tのテストパターンが周期的に印加される信号の場合、DUT4の電源電流も周期Tで流れる。したがって、電源電流のパワースペクトルデータは、基本周波数1/Tと、その整数倍の高調波を含むデータとなる。
【0034】
さらに、DUT4に印加されるテスト信号が図5(c)に示すように休止期間(T0)を挟んで所定時間Tのテストパターンが周期的に印加される信号の場合、テスト信号の印加周期はT+T0となり、DUT4の電源電流もT+T0の周期で流れる。この場合、電源電流のパワースペクトルデータは、基本周波数1/(T+T0)と、その整数倍の高調波を含むデータとなる。
【0035】
スペクトル解析装置3で算出されたパワースペクトルデータは、各DUT4毎に観測データ記憶装置5に保存される(ステップS5)。
【0036】
次に、判定装置6は、主制御装置7の制御により、観測データ記憶装置5に保存された各DUT4のパワースペクトルデータを読み出し、DUT4の初期不良の有無を判定する(ステップS6)。
【0037】
以下に判定装置6で実行する判定処理について具体的に説明する。
【0038】
図6は図1に示したスクリーニング装置のパワースペクトルデータの測定結果の一例を示すテーブル図である。
【0039】
例えば、図6に示すように、スペクトル解析装置3によってsamp1からsamp33までの33個のDUT4のパワースペクトルデータが算出されたとする。なお、図6には、パワースペクトルの基本周波数、及びその10次高調波までの値をそれぞれ示している。また、基準周波数及び各高調波における電源電流のパワースペクトルデータの平均値と標準偏差も示している。
【0040】
ここで、パワースペクトルデータの標準偏差をσとし、初期不良品の判定基準をパワースペクトルデータの平均値から5σ以上離れた値とすると、枠で囲んだsamp22の1、2、3、5、7、10次の各高調波のパワーがその平均値から5σ以上離れている。したがって、この場合は、samp22を初期不良品であると判定する。なお、初期不良品であるか否かの判定基準は、平均値から5σ以上に限定する必要はなく、パワースペクトルデータの測定値に応じて適宜設定すればよい。
【0041】
以上説明したように、本実施形態のスクリーニング方法によれば、DUT4にバーンインを実施することなく初期不良を検出することができるため、バーンイン時間が不要になり、短時間で初期不良品を除去することができる。
【0042】
(第2の実施の形態)
次に本発明のスクリーニング方法の第2の実施の形態について説明する。
【0043】
本実施形態のスクリーニング方法は、DUTに短時間バーンインを行った後、第1の実施の形態と同様の装置及び方法を用いて初期不良を判定する方法である。スクリーニング装置の構成及びその処理手順は第1の実施の構成と同様であるため、その説明は省略する。
【0044】
本実施形態のスクリーニング方法によれば、DUTに初期不良が存在する場合に、DUTに対して短時間バーンインを実施することで、その初期不良の原因である欠陥が進行するため、第1の実施の形態よりも初期不良を確実に検出することができる。
【0045】
(第3の実施の形態)
次に本発明のスクリーニング方法の第3の実施の形態について図面を用いて説明する。
【0046】
本実施形態のスクリーニング方法は、DUTに対するバーンイン前、バーンイン中、及びバーンイン後の電源電流をそれぞれ観測し、電源電流のパワースペクトルデータをそれぞれ算出して初期不良の有無を判定する方法である。
【0047】
したがって、本実施形態では図5のフローチャートで示した第1の実施形態と同様の処理手順をバーンイン前、バーンイン中、及びバーンイン後において実施し、各々のパワースペクトルデータを観測データ記憶装置に保存する。そして、判定装置は、各DUTの電源電流のパワースペクトルデータの、バーンイン前、バーンイン中、及びバーンイン後における時間変化率を算出し、予め定められた判定基準値以上の時間変化率を示すDUTを初期不良品として判定する。スクリーニング装置のその他の構成及び処理手順は第1の実施の構成と同様であるため、その説明は省略する。
【0048】
図7はバーンイン実施によるDUTの電源電流のパワースペクトルデータの変化の一例を示すグラフである。
【0049】
図7に示すように、良品は、初期不良となるような欠陥がないため、バーンインを実施しても劣化がほとんどない。また、電源電流のパワースペクトルデータも変化しないか、あるいは変化してもごくわずかである。
【0050】
一方、初期不良品は、欠陥が存在するために、その欠陥がバーンインによって進行していく。そのため電源電流のパワースペクトルデータも大きく変化して時間変化率が大きくなる。すなわち、欠陥の存在するDUTの電源電流のパワースペクトルデータはバーンインの実施によって大きく変化するため、バーンイン実施による電源電流のパワースペクトルの時間変化率によって初期不良品を検出することができる。
【0051】
本実施形態のスクリーニング方法によれば、DUTに欠陥があった場合に、その欠陥がバーンインによって進行する様子が電源電流のパワースペクトルデータの変化として観測することができる。したがって、初期不良品の劣化の進行具合が分かるため、初期不良品のスクリーニングをより正確に行うことができる。
【0052】
(第4の実施の形態)
次に本発明のスクリーニング方法の第4の実施の形態について図面を用いて説明する。
【0053】
図8は本発明のスクリーニング装置の第4の実施の形態の構成を示すブロック図であり、図9は図8に示したコンピュータの一構成例を示すブロック図である。
【0054】
図8に示すように、本実施形態のスクリーニング装置は、図1に示した観測データ記憶装置、判定装置、及び主制御装置をコンピュータ8に置き換えた構成である。その他の構成は第1の実施の形態と同様であるため、その説明は省略する。
【0055】
図9に示すように、コンピュータ8は、プログラムにしたがって所定の処理を実行する処理装置10と、処理装置10に対してコマンドや情報等を入力するための入力装置20と、処理装置10の処理結果をモニタするための出力装置30とを有する構成である。
【0056】
処理装置10は、CPU11と、CPU11の処理に必要な情報を一時的に記憶する主記憶装置12と、CPU11に、テスト信号生成装置、テスト電源、及びスペクトル解析装置を制御させるための制御プログラムが記録された記録媒体13と、スペクトル解析装置が算出したDUTに流れる電源電流のパワースペクトルデータを保存する観測データ記憶装置14と、主記憶装置12、記録媒体13及び観測データ記憶装置14とのデータ転送を制御するメモリ制御インタフェース部15と、入力装置20及び出力装置30とのインタフェース装置であるI/Oインタフェース部16と、テスト信号生成装置、テスト電源、及びスペクトル解析装置とデータの送受信を行うための通信制御装置17とを備え、それらがバス18を介して接続された構成である。
【0057】
処理装置10は、記録媒体13に記録された制御プログラムにしたがって、第1の実施の形態〜第3の実施の形態と同様に、テスト信号生成装置、テスト電源、及びスペクトル解析装置の動作をそれぞれ制御すると共に、観測データ記憶装置、及び判定装置の処理を実行する。なお、記録媒体13は、磁気ディスク、半導体メモリ、光ディスクあるいはその他の記録媒体であってもよい。
【0058】
本実施形態のような構成であっても、第1の実施の形態〜第3の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0059】
【発明の効果】
本発明は以上説明したように構成されているので、以下に記載する効果を奏する。
【0060】
集積回路装置に所定の電源電圧を供給すると共に、所定の周期から成るテスト信号を生成して集積回路装置に印加し、集積回路装置に流れる電源電流を観測し、集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルデータを算出し、初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電流のパワースペクトルデータの分布率を求め、パワースペクトルデータが所定の判定基準値よりも大きい集積回路装置を初期不良品と判定することで、集積回路装置にバーンインを実施することなく初期不良を検出することができるため、バーンイン時間が不要になり、短時間で初期不良品を除去することができる。
【0061】
また、集積回路装置に予め短時間バーンインを実施しておくことで、その初期不良の原因である欠陥が進行するため、初期不良を確実に検出することができる。
【0062】
さらに、集積回路装置に対するバーンイン前、バーンイン中、バーンイン後における電源電流のパワースペクトルデータの変化率を求めることで、集積回路装置に欠陥があった場合に、その欠陥がバーンインによって進行する様子が電源電流のパワースペクトルデータの変化として観測することができる。したがって、初期不良品の劣化の進行具合が分かるため、該変化率が所定の判定基準値よりも大きい集積回路装置を初期不良品と判定することで、初期不良品のスクリーニングをより正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のスクリーニング装置の第1の実施の形態の構成を示すブロック図である。
【図2】DUTに流れる電源電流のパワースペクトルの一例を示すグラフである。
【図3】良品及び初期不良品の特性のパワースペクトルデータのばらつきの一例を示すグラフである。
【図4】本発明のスクリーニング方法の第1の実施の形態の処理手順を示すフローチャートである。
【図5】図1に示したテスト信号生成装置が生成するテスト信号の様子を示す模式図である。
【図6】図1に示したスクリーニング装置のパワースペクトルデータの測定結果の一例を示すテーブル図である。
【図7】バーンイン実施によるDUTの電源電流のパワースペクトルデータの変化の一例を示すグラフである。
【図8】本発明のスクリーニング装置の第4の実施の形態の構成を示すブロック図である。
【図9】図8に示したコンピュータの一構成例を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 テスト信号生成装置
2 テスト電源
3 スペクトル解析装置
4 DUT
5、14 観測データ記憶装置
6 判定装置
7 主制御装置
8 コンピュータ
10 処理装置
11 CPU
12 主記憶装置
13 記録媒体
15 メモリ制御インタフェース部
16 I/Oインタフェース部
17 通信制御装置
18 バス
20 入力装置
30 出力装置
Claims (5)
- 集積回路装置の初期不良品をスクリーニングするためのスクリーニング方法であって、
前記初期不良品の割合は1/33以下であり、
前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給すると共に、所定の周期から成るテスト信号を生成して前記集積回路装置に印加し、
前記集積回路装置に流れる電源電流を観測し、前記集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルを算出し、
前記初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電流のパワースペクトルに含まれる基本波及び高調波におけるパワーの平均値及び標準偏差を求め、前記基本波及び前記高調波におけるパワーが、前記平均値から前記標準偏差に予め定められた値を乗じた値以上離れている集積回路装置を前記初期不良品と判定するスクリーニング方法。 - 前記集積回路装置に、
予めバーンインを実施しておく請求項1記載のスクリーニング方法。 - 集積回路装置の初期不良品をスクリーニングするスクリーニング装置であって、
前記初期不良品の割合は1/33以下であり、
所定の周期から成るテスト信号を生成し、前記集積回路装置に印加するテスト信号生成装置と、
前記集積回路装置に所定の電源電圧を供給するテスト電源と、
前記テスト電源から前記集積回路装置に流れる電源電流を観測し、前記集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルを算出するスペクトル解析装置と、
前記スペクトル解析装置で算出されたパワースペクトルのデータを保存する観測データ記憶装置と、
前記観測データ記憶装置に保存されたパワースペクトルのデータを読み出し、前記初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電流のパワースペクトルに含まれる基本波及び高調波におけるパワーの平均値及び標準偏差を求め、前記基本波及び前記高調波におけるパワーが、前記平均値から前記標準偏差に予め定められた値を乗じた値以上離れている集積回路装置を前記初期不良品と判定する判定装置と、
を有するスクリーニング装置。 - 前記集積回路装置は、
予めバーンインが実施された請求項3記載のスクリーニング装置。 - 所定の周期から成るテスト信号を生成するテスト信号生成装置と、
所定の電源電圧を出力するテスト電源と、
電源電流を観測可能に集積回路装置へ接続される、該電源電流のパワースペクトルを算出するスペクトル解析装置と、
を備え、前記集積回路装置の初期不良品をスクリーニングするためのスクリーニング処理をコンピュータで実行するためのプログラムが記録された記録媒体であって、
前記初期不良品の割合は1/33以下であり、
前記テスト電源に所定の電源電圧を前記集積回路装置へ供給させると共に、前記テスト信号生成装置に所定の周期から成るテスト信号を前記集積回路装置に印加させ、前記スペクトル解析装置に、前記集積回路装置に印加されるテスト信号に対応した電源電流のパワースペクトルを算出させ、前記初期不良品を含む複数の集積回路装置の電源電流のパワースペクトルに含まれる基本波及び高調波におけるパワーの平均値及び標準偏差を求め、前記基本波及び前記高調波におけるパワーが、前記平均値から前記標準偏差に予め定められた値を乗じた値以上離れている集積回路装置を前記初期不良品と判定するためのプログラムが記録された記録媒体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000148304A JP4970640B2 (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | スクリーニング方法、スクリーニング装置及び記録媒体 |
TW090111933A TW552424B (en) | 2000-05-19 | 2001-05-18 | Screening of semiconductor integrated circuit devices |
KR1020010027239A KR20010105278A (ko) | 2000-05-19 | 2001-05-18 | 반도체 집적 회로 장치의 스크리닝 |
US09/859,478 US6480011B2 (en) | 2000-05-19 | 2001-05-18 | Screening of semiconductor integrated circuit devices |
KR1020030018696A KR20030044935A (ko) | 2000-05-19 | 2003-03-26 | 반도체 집적 회로 장치의 스크리닝을 위한 컴퓨터프로그램 제품 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000148304A JP4970640B2 (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | スクリーニング方法、スクリーニング装置及び記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001330644A JP2001330644A (ja) | 2001-11-30 |
JP4970640B2 true JP4970640B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=18654357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000148304A Expired - Fee Related JP4970640B2 (ja) | 2000-05-19 | 2000-05-19 | スクリーニング方法、スクリーニング装置及び記録媒体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6480011B2 (ja) |
JP (1) | JP4970640B2 (ja) |
KR (2) | KR20010105278A (ja) |
TW (1) | TW552424B (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4211326B2 (ja) * | 2002-08-28 | 2009-01-21 | ヤマハ株式会社 | 半導体検査方法及び装置 |
JP4824319B2 (ja) * | 2005-01-21 | 2011-11-30 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 故障検出装置及び方法、並びに信号抽出回路 |
JP4049331B2 (ja) * | 2005-08-19 | 2008-02-20 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 診断対象物の評価方法および評価装置 |
US10145894B1 (en) | 2011-12-01 | 2018-12-04 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Defect screening method for electronic circuits and circuit components using power spectrum anaylysis |
US9188622B1 (en) * | 2011-12-01 | 2015-11-17 | Sandia Corporation | Power spectrum analysis for defect screening in integrated circuit devices |
US10094874B1 (en) | 2011-12-01 | 2018-10-09 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Scanning method for screening of electronic devices |
KR101746799B1 (ko) * | 2015-11-04 | 2017-06-14 | 주식회사 쏠리드 | 분산 안테나 시스템 |
EP3832869B8 (en) * | 2019-12-05 | 2022-03-30 | Rohde & Schwarz GmbH & Co. KG | Power supply unit with adaptive feedback control loops |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3210505B2 (ja) * | 1993-10-19 | 2001-09-17 | 株式会社東芝 | 半導体レ―ザダイオ―ドのスクリ―ニング方法 |
JP3274924B2 (ja) * | 1993-12-15 | 2002-04-15 | 株式会社東芝 | 半導体装置のスクリーニング方法 |
DE19511869B4 (de) * | 1995-03-31 | 2004-02-26 | Geiler, Hans-Dieter, Dr. | Verfahren und Anordnung zur Responseanalyse von Halbleitermaterialien mit optischer Anregung |
US5847573A (en) * | 1995-10-13 | 1998-12-08 | Massachusetts Technological Laboratory, Inc. | Method and apparatus for structure characterization of layered semiconductors |
JP2783243B2 (ja) * | 1996-02-06 | 1998-08-06 | 日本電気株式会社 | Cmos集積回路の故障検出方法及び装置 |
US6043662A (en) * | 1996-09-18 | 2000-03-28 | Alers; Glenn Baldwin | Detecting defects in integrated circuits |
JP3092590B2 (ja) * | 1997-09-03 | 2000-09-25 | 日本電気株式会社 | 集積回路の故障検出装置及びその検出方法並びにその検出制御プログラムを記録した記録媒体 |
JPH11108961A (ja) * | 1997-10-06 | 1999-04-23 | Ando Electric Co Ltd | 電気光学サンプリングオシロスコープ |
JP3340659B2 (ja) * | 1997-10-31 | 2002-11-05 | 日本碍子株式会社 | 電子部品の外観検査装置及び電子部品の外観検査方法 |
JP2000065890A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Ando Electric Co Ltd | Lsiテストシステム |
DE19901460C1 (de) * | 1999-01-15 | 2000-08-31 | Siemens Ag | Integrierte Halbleiterschaltung und Verfahren zur Überprüfung des Übertragungsverhaltens von Pad-Zellen |
-
2000
- 2000-05-19 JP JP2000148304A patent/JP4970640B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-05-18 KR KR1020010027239A patent/KR20010105278A/ko not_active Application Discontinuation
- 2001-05-18 US US09/859,478 patent/US6480011B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-18 TW TW090111933A patent/TW552424B/zh not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-03-26 KR KR1020030018696A patent/KR20030044935A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001330644A (ja) | 2001-11-30 |
TW552424B (en) | 2003-09-11 |
KR20010105278A (ko) | 2001-11-28 |
KR20030044935A (ko) | 2003-06-09 |
US20010043079A1 (en) | 2001-11-22 |
US6480011B2 (en) | 2002-11-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20030122 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20030122 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20041112 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20041112 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060120 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090604 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100407 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100701 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120403 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120405 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |