JP4964225B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、メモリセルMCは、ストレージノードSNを有するストレージトランジスタSTrと、アクセストランジスタATrとが、ノードPN(接続ノード)を介して直列に接続された構造を有している。
図3に示すように、シリコン基板11、埋め込み酸化膜12およびシリコン層13(SOI層)がこの順に積層されたSOI基板14上にメモリセルMCが形成される。
A−1.GIDL電流について
GIDL電流は、トランジスタがオフの状態において、ゲート電極下に存在するドレイン領域の端部に高い電界がかかることでドレイン領域からボディ領域に向けて流れるリーク電流であり、電子がボディ領域からドレイン領域に向けて移動し、ホールがドレイン領域からボディ領域に向けて移動することで、ボディ領域にホールを注入することができる。
図1を参照しつつ、図6(a)〜(e)に示すタイミングチャートを用いて、TTRAMにおけるGIDL電流を利用したデータの書き込み動作について説明する。
図6(a)および(b)に示されるように、ビットラインBLを低電位(0V)に設定した状態で、ワードラインWLを低電位(0V)から高電位(1/2VDD)に上昇させ、チャージラインCLを高電位(VDD)から低電位(0V)に低下させる。これにより、ノードPNが第1高電位(1/2VDD近傍)から低電位(0V)に低下するとともに、ゲートカップリングによって、ストレージノードSNが第1高電位(VDD近傍)から低電位(0V)に低下する。その結果、ストレージノードSNには電荷蓄積されていない状態(データ“0”)が作り出される。なお、一旦、0Vにまで低下したストレージノードSNの電位は、GIDLによるホールの流入により若干の上昇を見せるが、データ“0”の書き込みではアクセストランジスタがオンした状態なので、ある程度以上電荷が蓄積されるとアクセストランジスタを介してビットラインBLに流出するので、ストレージノードSNの電位はある程度以上は上昇しない。
データ“1”の書き込みに際しては、図6(b)に示されるように、チャージラインCLの電位を低電位まで下げると同時に、ワードラインWLおよびビットラインBLを低電位から高電位(1/2VDD)に上昇させる。これにより、図6(e)に示されるように、ノードPNが第2高電位(VDD近傍)から低下するとともに、図6(d)に示されるように、ストレージノードSNの電位がチャージラインCLからのカップリングにより、一旦低下した後、徐々に増加を始める。この仕組みは以下の通りである。
以上説明したように、実施の形態1の半導体記憶装置においては、データ“1”の書き込みに際して、ワードラインWLとビットラインBLの電位を同時に高め、チャージラインCLの電位を高める前に、予めGIDL電流によりストレージノードSNにホールを供給する構成を採用したので、ゲートカップリングだけでストレージノードSNの電位を高めてホールを蓄積する場合に比べて、効率よくホールを蓄積することができ、データ“1”の書き込みに相当するだけの電荷量を確実に得ることができる。
次に、図7を用いてワードラインWLおよびビットラインBLへの電位同時設定のための装置構成について説明する。
図7に示すように、半導体記憶装置1000は、メモリアレイ1と、メモリアレイ1内の複数のメモリセルで構成されるメモリセル部に対して、外部から与えられる外部アドレス信号ADを受け、所定のメモリセルを選択するためのアドレスデコーダ2と、メモリセル部に付属するセンスアンプ回路部等を制御するメモリ制御回路3と、外部から与えられる外部入力データINを受けてデータの書き込みを行うライトドライバ4と、ワードラインWL、ビットラインBLおよびチャージラインCLに対して与えられる信号のタイミングを調整する遅延タイミング生成回路7とを有している。
B−1.メモリアレイの構成
図8に実施の形態2に係るメモリアレイ1Aの構成を示す。
図8に示すようにメモリアレイ1Aは、TTRAM方式のメモリセルを複数含むメモリセル部と、ビットラインBLおよび/BLの電位を増幅するセンスアンプ回路部と、ビットラインBLおよび/BLの初期電位を設定するプリチャージ部と、ビットラインBLおよび/BLのデータの入出力を行うIOゲート部とを備えている。
メモリセル部は、データの読み出しおよび書き込みに用いられるノーマルセルと、読み出し時のリファレンス電流を供給するためのダミーセルとを有している。
センスアンプ回路は、2つのインバータが交差接続された、いわゆるクロスカップル回路である。すなわち、インバータを構成する直列に接続されたPMOSトランジスタQ3およびNMOSトランジスタQ4と、インバータを構成する直列に接続されたPMOSトランジスタQ5およびNMOSトランジスタQ6とを有し、PMOSトランジスタQ3とNMOSトランジスタQ4との接続ノードがビットラインBLに接続されるとともに、当該接続ノードには、PMOSトランジスタQ5およびNMOSトランジスタQ6のゲートが接続される構成となっている。また、PMOSトランジスタQ5とNMOSトランジスタQ6との接続ノードがビットライン/BLに接続されるとともに、当該接続ノードには、PMOSトランジスタQ3およびNMOSトランジスタQ4のゲートが接続される構成となっている。
プリチャージ部は、ビットラインBLと/BLとの間に直列に接続されて配設されたNMOSトランジスタQ7およびQ8を有して構成されている。
IOゲート部は、ビットラインBLおよび/BLにそれぞれ一方の主電極が接続された、NMOSトランジスタQ9およびQ10によって構成され、NMOSトランジスタQ9およびQ10のそれぞれの他方の主電極には、入出力ラインIOおよび/IOが接続され、NMOSトランジスタQ9およびQ10のゲートには、コラム選択ラインCSLが接続された構成となっている。
次に、以上説明したメモリアレイ1Aの動作について、図9(a)〜(e)に示すタイミングチャートを用いて、読み出し動作を例に採って説明する。
以上説明したように、実施の形態2の半導体記憶装置においては、ビットラインBLおよび/BLに、それぞれダミーセルDC0およびDC1を接続し、ビットラインBLに複数接続されるノーマルセルの何れかが選択された場合には、ダミーセルDC1を相補的に選択し、ビットライン/BLに複数接続されるノーマルセルの何れかが選択された場合には、ダミーセルDC0を相補的に選択することで、ビットラインBLと/BLとの間の電位差が明確に得られる構成を採るので、センスアンプ回路部でのセンス動作に誤動作が生じることが防止できる。
図10および図11を用いて、ゲート・ボディ直結トランジスタの構成の一例について説明する。
図11に示すように、ゲート・ボディ直結トランジスタGBT1は、シリコン基板11、埋め込み酸化膜12およびシリコン層13(SOI層)がこの順に積層されたSOI基板14上に配設され、P型不純物を比較的低濃度(P-)に含んだボディ領域BD上に、ゲート酸化膜GXを介してゲート電極GTが配設されている。
図13に示すように、ゲート・ボディ直結トランジスタGBT2は、SOI基板14上に配設され、P型不純物を比較的低濃度(P-)に含んだボディ領域BD上に、ゲート酸化膜GXを介してゲート電極GTが配設されている。
C−1.メモリアレイの構成
図14に実施の形態3に係るメモリアレイ1Bの構成を示す。
図14に示すようにメモリアレイ1Bは、メモリセル部を除いて図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じであり、メモリアレイ1Aと同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
次に、以上説明したメモリアレイ1Bの動作について、図15(a)〜(e)に示すタイミングチャートを用いて、読み出し動作を例に採って説明する。
以上説明したように、実施の形態3の半導体記憶装置においては、ビットラインBLおよび/BLに、それぞれダミートランジスタDT0およびDT1を接続し、ビットラインBLに複数接続されるノーマルセルの何れかが選択された場合には、ダミーセルトランジスタDT1を相補的に選択し、ビットライン/BLに複数接続されるノーマルセルの何れかが選択された場合には、ダミートランジスタDT0を相補的に選択することで、ビットラインBLと/BLとの間の電位差が明確に得られる構成を採るので、センスアンプ回路部でのセンス動作に誤動作が生じることが防止できる。
D−1.メモリアレイの構成
図16に実施の形態4に係るメモリアレイ1Cの構成を示す。
図16に示すようにメモリアレイ1Cは、メモリセル部を1ビットの情報を2つのメモリセルで記憶する1ビット2セル方式に対応するように構成し、図8を用いて説明した1ビット1セル方式に対応したメモリセル部を有するメモリアレイ1Aとはこの点において異なっている。なお、その他の構成においては図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じであり、メモリアレイ1Aと同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
次に、以上説明したメモリアレイ1Cの動作について、図17(a)〜(e)に示すタイミングチャートを用いて、読み出し動作を例に採って説明する。
以上説明したように、実施の形態4の半導体記憶装置においては、メモリアレイ1Cのメモリセル部を1ビット2セル方式とし、対をなすメモリセルにはデータの書き込み時に相補データが与えられる構成とし、データの読み出し時には対をなすメモリセルから同時にデータを読み出すように制御することで、ビットライン間には、データ“1”を読み出した場合の電位状態とデータ“0”を読み出した場合の電位状態に相当するだけの電位差を生させるようにするので、1ビット1セル方式で構成する場合に比べてビットライン間電位差を2倍程度大きくできる。
E−1.メモリアレイの構成
図20に実施の形態5に係るメモリアレイ1Dの構成を示す。
図20に示すメモリアレイ1Dは、センスアンプ回路部に特徴を有し、メモリセル部の構成は、図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じ1ビット1セル方式を採用しても良く、図16を用いて説明したメモリアレイ1Cと同じ1ビット2セル方式を採用しても良いので図示は省略している。また、その他の構成は、図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じであり、メモリアレイ1Aと同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
以上説明したように、実施の形態5の半導体記憶装置においては、センスアンプ回路部を、リストア用センスアンプ回路とリード用センスアンプ回路とで構成し、データの読み出し時には、ゲート・ボディ直結トランジスタによる増幅が必要な最小限の期間だけリード用センスアンプ回路を用いてセンスを行うので、センスアンプ回路部に流れる電流を必要最低限に制限して、電力効率を改善することができる。
図21に実施の形態6に係るメモリアレイ1Eの構成を示す。
図21に示すメモリアレイ1Eは、センスアンプ回路部に特徴を有し、メモリセル部の構成は、図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じ1ビット1セル方式を採用しても良く、図16を用いて説明したメモリアレイ1Cと同じ1ビット2セル方式を採用しても良いので図示は省略している。また、その他の構成は、図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じであり、メモリアレイ1Aと同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図22に実施の形態7に係るメモリアレイ1Fの構成を示す。
図22に示すメモリアレイ1Fは、センスアンプ回路部に特徴を有し、メモリセル部の構成は、図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じ1ビット1セル方式を採用しても良く、図16を用いて説明したメモリアレイ1Cと同じ1ビット2セル方式を採用しても良いので図示は省略している。また、その他の構成は、図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じであり、メモリアレイ1Aと同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
図23に実施の形態8に係るメモリアレイ1Gの構成を示す。
図23に示すメモリアレイ1Gは、センスアンプ回路部に特徴を有し、メモリセル部の構成は、図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じ1ビット1セル方式を採用しても良く、図16を用いて説明したメモリアレイ1Cと同じ1ビット2セル方式を採用しても良いので図示は省略している。また、その他の構成は、図8を用いて説明したメモリアレイ1Aと同じであり、メモリアレイ1Aと同一の構成については同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
以上説明した実施の形態2〜8においては、1ビット1セル方式のメモリセル部を有するメモリアレイ、あるいは1ビット2セル方式のメモリセル部を有するメモリアレイを有する半導体記憶装置について説明したが、1つの半導体記憶装置内に、1ビット1セル方式のメモリセル部を有するメモリアレイ、および1ビット2セル方式のメモリセル部を有するメモリアレイの両方を備えた構成も考えられる。
I−1−1.全体構成
図24は、コンフィギュラブルユニファイドメモリを備えた半導体記憶装置2000の全体構成を示すブロック図である。
図24に示すように、半導体記憶装置2000は、メモリアレイ1がメモリアレイブロックMCA0〜MCA7の8つのブロックに分けられている。
メモリアレイブロックを1ビット1セル方式あるいは1ビット2セル方式のどちらかにプログラムするための構成がプログラムユニット6であり、アドレスデコーダ2と、周辺回路との間に配設されている。
図26に示すように、プログラムユニット6は論理ゲートG1〜G7を有し、外部アドレス信号AD0およびAD1と、モード切替信号MDとに基づいて各論理ゲートの出力論理を決定し、当該出力論理をダミーワードライン、ワードラインおよびチャージラインに与えることで、メモリセル部を1ビット1セル方式あるいは1ビット2セル方式のどちらかにプログラムする構成となっている。
ANDゲートG1は入力の一方が反転入力であり、当該入力には外部アドレス信号AD0が与えられ、その出力がダミーワードラインDWL1およびダミーチャージラインDCL1に与えられる。
図27および図28には、プログラムユニット6における入力に対する出力を真理値表として示す。
以上説明したように、図24に示す半導体記憶装置2000においては、メモリアレイ1を複数のメモリアレイブロックで構成し、各ブロックを、1ビット1セル方式あるいは1ビット2セル方式のどちらかに任意にプログラム可能な構成としているので、メモリアレイ1をコンフィギュラブルユニファイドメモリとして使用することができる。
以上の説明においては、メモリアレイブロック単位で1ビット1セル方式あるいは1ビット2セル方式をプログラムするものとして説明したが、同一のメモリアレイブロック内の部分によって方式を変えることもでき、メモリアレイをより細かく機能分類できる。
図29〜31を用いて、TTRAMの平面レイアウトの一例を示す。
各層のレイアウトが明らかになるように、図29からビットラインBLを省略したものが図30に相当し、図30からワードラインWL、チャージラインCLおよびソースラインSLを省略したものが図31に相当する。
Claims (15)
- 行列状に配置された複数のメモリセル(MC)、チャージライン(CL)、ワードライン(WL)およびビットライン(BL)を有したメモリアレイ部を備え、
前記複数のメモリセル(MC)のそれぞれは、前記ビットライン(BL)と電源電位(VDD)との間に直列に接続されたアクセストランジスタ(ATr)およびストレージトランジスタ(STr)を有し、
前記ストレージトランジスタ(STr)のゲートは前記チャージライン(CL)に、前記アクセストランジスタ(ATr)のゲートは前記ワードライン(WL)に接続され、
前記ストレージトランジスタ(STr)および前記アクセストランジスタ(ATr)は、隣接する他のメモリセル(MC)から電気的に分離され、
前記アクセストランジスタ(ATr)のオン/オフによって、前記ストレージトランジスタ(STr)およびアクセストランジスタ(ATr)の接続ノードの電位を一定電位またはフローティング状態に切り替えることにより、前記ストレージトランジスタ(STr)のボディ領域(23b)の電位をハイレベルまたはロウレベルに設定することで、2値のデータを記憶する半導体記憶装置であって、
前記チャージラインの活性状態から非活性状態への変化と、前記ビットラインの非活性状態から活性状態への変化を同時に行い、
前記ストレージトランジスタ(STr)をオフした状態で、前記ワードライン(WL)および前記ビットライン(BL)を併行して活性化させることで、前記ストレージトランジスタ(STr)がオンするまでの期間に、ドレイン側から前記ボディ領域(23b)に向けて流れるリーク電流により、前記ボディ領域(23b)の電位を高めるように、前記チャージライン(CL)、前記ワードライン(WL)および前記ビットライン(BL)の電位状態を制御する半導体記憶装置。 - 前記ビットライン(BL)は、第1のビットライン(BL)と、第2のビットライン(/BL)とで対をなすように配設され、
前記複数のメモリセル(MC)は、
前記アクセストランジスタ(ATr)が前記第1のビットライン(BL)に接続される第1のメモリセルと、
前記アクセストランジスタ(ATr)が前記第2のビットライン(/BL)に接続される第2のメモリセルと、を含み、
前記メモリアレイ部は、
前記第1のビットライン(BL)にリファレンス電流を供給してリファレンス電位を与える第1のリファレンス電位付与手段と、
前記第2のビットライン(/BL)にリファレンス電流を供給してリファレンス電位を与える第2のリファレンス電位付与手段と、を備え、
前記第1のメモリセル(NC0,NC2)からのデータの読み出し時には、前記第2のリファレンス電位付与手段が併行して選択され、
前記第2のメモリセル(NC1,NC3)からのデータの読み出し時には、前記第1のリファレンス電位付与手段が併行して選択される、請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記第1のリファレンス電位付与手段は、
電源電位(VDD)と前記第1のビットライン(BL)との間に直列に接続された、第1および第2のMOSトランジスタ(BTr1,BTr2)を備え、
前記第2のリファレンス電位付与手段は、
前記電源電位(VDD)と前記第2のビットライン(/BL)との間に直列に接続された、第3および第4のMOSトランジスタ(BTr1,BTr2)を備え、
前記第1ないし第4のMOSトランジスタは、ボディ領域がソース電位に固定されたボディ固定トランジスタである、請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記第1のリファレンス電位付与手段は、
リファレンス電圧ライン(VREF)と前記第1のビットライン(BL)との間に接続された、第1のトランジスタ(DT0)を備え、
前記第2のリファレンス電位付与手段は、
前記リファレンス電圧ライン(VREF)と前記第2のビットライン(/BL)との間に接続された、第2のトランジスタ(DT1)を備える、請求項2記載の半導体記憶装置。 - 前記ビットライン(BL)は、第1のビットライン(BL)と、第2のビットライン(/BL)とで対をなすように配設され、
前記複数のメモリセル(MC)は、
前記アクセストランジスタ(ATr)が前記第1のビットライン(BL)に接続される第1のメモリセル(NC01)と、
前記アクセストランジスタ(ATr)が前記第2のビットライン(/BL)に接続される第2のメモリセル(NC02)と、を含み、
前記第1のメモリセル(NC01)および前記第2のメモリセル(NC02)には、相補データが対として記憶され、
前記第1のメモリセル(NC01)および前記第2のメモリセル(NC02)は、前記チャージライン(CL)および前記ワードライン(WL)が共通に接続され、データ読み出し時には前記相補データを併行して読み出す、請求項1記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリアレイ部は、
前記第1および第2のビットライン(BL,/BL)の電位差を増幅するセンスアンプ回路部を有し、
前記センスアンプ回路部は、
第1のインバータと第2のインバータとが交差接続されたクロスカップル回路を有し、
前記第1および第2のインバータのそれぞれのNMOSトランジスタ(Q4,Q6)は、ゲートとボディ領域とが電気的に接続される、請求項2または請求項5記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリアレイ部は、
前記第1および第2のビットライン(BL,/BL)の電位差を増幅するセンスアンプ回路部を有し、
前記センスアンプ回路部は、
前記第1のビットライン(BL)と接地との間に直列に接続された、第1および第2のNMOSトランジスタ(Q11,Q12)と、前記第2のビットライン(/BL)と接地との間に直列に接続された、第3および第4のNMOSトランジスタ(Q13,Q14)と、を有し、
前記第1のNMOSトランジスタ(Q11)のゲートが前記第2のビットライン(/BL)に接続され、前記第2のNMOSトランジスタ(Q13)のゲートが前記第1のビットライン(BL)に接続され、前記第2および第4のNMOSトランジスタ(Q12,Q14)のゲートに、データの読み出し時に活性化する読み出し活性信号(Read)が与えられる第1のセンスアンプ回路と、
第1のインバータと第2のインバータとが交差接続されたクロスカップル回路で構成される第2のセンスアンプ回路と、を備え、
前記第1および第3のNMOSトランジスタ(Q11,Q13)は、ゲートとボディ領域とが電気的に接続される、請求項2または請求項5記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリアレイ部は、
前記第1および第2のビットライン(BL,/BL)の電位差を増幅するセンスアンプ回路部を有し、
前記センスアンプ回路部は、
前記第1のビットライン(BL)と接地との間に接続された、第1のNMOSトランジスタ(Q21)と、前記第2のビットライン(/BL)と接地との間に接続された、第2のNMOSトランジスタ(Q22)と、を有し
前記第1のNMOSトランジスタ(Q21)のボディ領域が、前記第2のビットライン(/BL)に接続され、
前記第2のNMOSトランジスタ(Q22)のボディ領域が、前記第1のビットライン(BL)に接続され、
前記第1および第2のNMOSトランジスタ(Q21,Q22)のゲートに、データの読み出し時に活性化する読み出し活性信号(Read)が与えられる第1のセンスアンプ回路と、
第1のインバータと第2のインバータとが交差接続されたクロスカップル回路で構成される第2のセンスアンプ回路と、を備える、請求項2または請求項5記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリアレイ部は、
前記第1および第2のビットライン(BL,/BL)の電位差を増幅するセンスアンプ回路部を有し、
前記センスアンプ回路部は、
第1のインバータと第2のインバータとが交差接続されたクロスカップル回路を有し、
前記第1および第2のインバータのそれぞれのNMOSトランジスタ(Q4,Q6)は、ゲートとボディ領域とが電気的に接続され、
前記第1のインバータのPMOSトランジスタ(Q31)は、ボディ領域が前記第1のビットライン(BL)に接続され、
前記第2のインバータのPMOSトランジスタ(Q51)は、ボディ領域が前記第2のビットライン(/BL)に接続される、請求項2または請求項5記載の半導体記憶装置。 - 前記第1および第2のビットライン(BL,/BL)と、前記センスアンプ回路部との間にそれぞれ介挿された、第1および第2のMOSトランジスタ(Q15,Q16)をさらに備え、
第1および第2のMOSトランジスタのゲートに、データの書き込み時には前記第1および第2のMOSトランジスタをオンし、データの読み出し時にはオフする書き込み活性信号(Write)が与えられる、請求項6ないし請求項9の何れかに記載の半導体記憶装置。 - 行列状に配置された複数のメモリセル(MC)、チャージライン(CL)、ワードライン(WL)およびビットライン(BL)を有したメモリアレイ部を備え、
前記複数のメモリセル(MC)のそれぞれは、前記ビットライン(BL)と電源電位(VDD)との間に直列に接続されたアクセストランジスタ(ATr)およびストレージトランジスタ(STr)を有し、
前記ストレージトランジスタ(STr)のゲートは前記チャージライン(CL)に、前記アクセストランジスタ(ATr)のゲートは前記ワードライン(WL)に接続され、
前記ストレージトランジスタ(STr)および前記アクセストランジスタ(ATr)は、隣接する他のメモリセル(MC)から電気的に分離され、
前記アクセストランジスタ(ATr)のオン/オフによって、前記ストレージトランジスタ(STr)およびアクセストランジスタ(ATr)の接続ノードの電位を一定電位またはフローティング状態に切り替えることにより、前記ストレージトランジスタ(STr)のボディ領域(23b)の電位をハイレベルまたはロウレベルに設定することで、2値のデータを記憶する半導体記憶装置であって、
前記チャージラインの活性状態から非活性状態への変化と、前記ビットラインの非活性状態から活性状態への変化を同時に行い、
前記ストレージトランジスタ(STr)をオフした状態で、前記ワードライン(WL)および前記ビットライン(BL)を併行して活性化させることで、前記ストレージトランジスタ(STr)がオンするまでの期間に、ドレイン側から前記ボディ領域(23b)に向けて流れるリーク電流により、前記ボディ領域(23b)の電位を高めるように、前記チャージライン(CL)、前記ワードライン(WL)および前記ビットライン(BL)の電位状態を制御し、
前記ビットライン(BL)は、第1のビットライン(BL)と、第2のビットライン(/BL)とで対をなすように配設され、
前記複数のメモリセル(MC)は、
前記アクセストランジスタ(ATr)が前記第1のビットライン(BL)に接続される第1のメモリセルと、
前記アクセストランジスタ(ATr)が前記第2のビットライン(/BL)に接続される第2のメモリセルと、を含み、
前記メモリアレイ部は、
前記第1のビットライン(BL)にリファレンス電流を供給してリファレンス電位を与える第1のリファレンス電位付与手段と、
前記第2のビットライン(/BL)にリファレンス電流を供給してリファレンス電位を与える第2のリファレンス電位付与手段とを有し、
前記半導体記憶装置は、
前記チャージライン(CL)、前記ワードライン(WL)および第1および第2のリファレンス電位付与手段の制御ライン(DWL0,DWL1)に与える信号の組み合わせをプログラムして、前記複数のメモリセル(MC)を、1ビットの情報を2つのメモリセルで記憶する1ビット2セル方式のメモリセルとして使用、あるいは1ビットの情報を1つのメモリセルで記憶する1ビット1セル方式のメモリセルとして使用するプログラムユニット(6)を備える、半導体記憶装置。 - 前記メモリアレイ部は、それぞれが独立してロウアドレスアクセス可能な複数のメモリアレイブロック(MCA0〜MCA7)に区分され、
前記プログラムユニット(6)は、前記複数のメモリアレイブロックのそれぞれごとに、前記1ビット2セル方式あるいは前記1ビット1セル方式となるように前記プログラムを設定可能である、請求項11記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリアレイ部は、それぞれが独立してロウアドレスアクセス可能な複数のメモリアレイブロック(MCA0〜MCA7)に区分され、
前記プログラムユニット(6)は、前記複数のメモリアレイブロックのそれぞれにおいて、部分によって1ビット2セル方式あるいは1ビット1セル方式となるように前記プログラムを設定可能である、請求項11記載の半導体記憶装置。 - 前記ワードラインの非活性状態から活性状態への変化も前記チャージラインの活性状態から非活性状態への変化と同時に行う、請求項1記載の半導体記憶装置。
- 前記チャージライン、前記ワードラインおよび前記ビットラインに対して与えられる信号のタイミングを調整する遅延タイミング生成手段を備え、
前記遅延タイミング生成手段は複数の遅延段を有し、1つの信号を入力して、何れの遅延段から出力させるかでタイミングを調整する、請求項14記載の半導体記憶装置。
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