JP4959381B2 - パターン測定方法、及び電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
(第2のパターン)へ視野移動し、前記第2局所形状を検出し、前記相対距離に基づいて、再度、前記第1局所形状の存在するべき位置へ視野移動する。
106により試料104上の走査範囲,走査位置を変えることができ、偏向増幅器107によって偏向コイル108を励磁し、電子ビーム102を試料104上で2次元走査する。また、試料104に入射した電子ビーム102により発生した信号(2次電子信号,反射電子信号等)は、検出器109により電気信号に変換され、画像制御部110により信号処理され、画像表示用CRT111に送られる。コンピュータ106は、画像制御部
110内の画像データの全部または一部を読み込むことができるほか、図示はされてないが、前記画像データに対応した画像表示用CRT111上を任意に移動可能なクロスヘアカーソルの位置情報(座標情報)を取得できる。
CRT111に表示し、寸法測定を終了する。また、整合性が取れた場合は(Y)、ステップS130に移行し、寸法測定処理を行い、寸法測定を終了する。
102 電子ビーム
103 対物レンズ
104 試料
105 偏向信号発生器
106 コンピュータ
107 偏向増幅器
108 偏向コイル
109 検出器
110 画像制御部
111 画像表示用CRT
112 試料ステージ
113 ステージ制御部
114 直流増幅器
115 イメージシフトコイル
201 アドレッシングパターン
202 測定パターン
203 クロスヘアカーソル
Claims (5)
- 試料上で電子ビームを走査し、当該走査個所から放出された電子の検出に基づいて、
前記試料上に形成されたパターンの寸法を測定するパターンの測定方法であって、
測定対象である第1のパターンの座標情報に基づいて、前記電子ビームの走査位置を移動し、
当該電子ビームの移動先において、
前記第1のパターンを検出できた場合には、前記第1のパターンの寸法を測定し、
当該検出に失敗した場合には、前記第1のパターンとの相対距離が予め登録されている第2のパターンを含む領域に前記電子ビームの走査位置を移動させて、当該第2のパターンを検出し、
当該第2のパターンの検出結果と、前記相対距離の情報に基づいて、
前記電子ビームの走査位置を移動することを特徴とするパターンの測定方法。 - 請求項1において、
前記第2のパターンは、
前記第1のパターンよりも大きく形成されていることを特徴とするパターンの測定方法。 - 請求項1において、
前記第2のパターンの検出結果と、
前記相対距離に基づいて、
前記第1のパターンの検出を再度実施することを特徴とするパターンの測定方法。 - 電子銃と、
当該電子銃から放出された電子ビームを試料上で走査する走査偏向器と、
前記試料から放出された電子を検出する検出器と、
当該検出器に検出された電子に基づいて、前記試料上に形成されたパターンの画像を形成する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記制御装置は、
測定対象である第1のパターンの座標情報に基づいて、前記電子ビームの走査位置を移動し、
当該電子ビームの移動先において、
前記第1のパターンを検出できた場合には、前記第1のパターンの寸法を測定し、
当該検出に失敗した場合には、前記第1のパターンとの相対距離が予め登録されている第2のパターンを含む領域に前記電子ビームの走査位置を移動させて、当該第2のパターンを検出し、
当該第2のパターンの検出結果と、前記相対距離の情報に基づいて、
前記電子ビームの走査位置を移動することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項4において、
前記第2のパターンの画像は、前記第1のパターンの画像よりも低い倍率において形成されることを特徴とする走査電子顕微鏡。
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