JP4957413B2 - 固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置 - Google Patents

Description

本発明は、固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置に関するものである。

近年、ビデオカメラや電子カメラ等の撮像装置が広く一般に普及している。これらのカメラには、ＣＣＤ型や増幅型などの固体撮像素子が使用されている。これらの固体撮像素子は、入射光の光量に応じて信号電荷を生成する光電変換部を有する画素がマトリクス状に複数配置されている。

増幅型の固体撮像素子では画素の光電変換部にて生成・蓄積された信号電荷を画素に設けられた増幅部に導き、増幅部で増幅した信号を画素から出力する。そして、増幅型の固体撮像素子には、例えば増幅部に接合型電界効果トランジスタを用いた固体撮像素子（特許文献１、２）や、増幅部にＭＯＳトランジスタを用いたＣＭＯＳ型固体撮像素子（特許文献３）などが提案されている。

ところで、電子カメラにおいて自動焦点調節を実現するためには撮像レンズの焦点調節状態を検出する必要がある。従来は、撮像に用いる固体撮像素子とは別個に焦点検出素子が設けられていた。しかし、その場合には焦点検出素子やこれに光を導く焦点検出用光学系の分だけコストが増大し、またその分だけ装置が大型化する。

そこで、近年、焦点検出方式としていわゆる瞳分割位相差方式を採用し焦点検出素子としても兼用できるように構成された固体撮像素子が提案されている（例えば、特許文献４）。

特許文献４に開示された固体撮像素子では、被写体像を示す画像信号を形成するための撮像用信号を出力する撮像用画素とは別に、焦点調節状態を示す焦点検出用信号（「ＡＦ信号」とも称す。）を生成する焦点検出用画素（「ＡＦ用画素」とも称す。）が複数配置されている。この固体撮像素子では、ＡＦ用画素は、２分割された光電変換部を有している。このような光電変換部上に、マイクロレンズが画素に対して１対１に設けられている。２分割された光電変換部は、マイクロレンズによって撮像レンズの射出瞳と略結像関係（すなわち、略共役）となる位置に配置されている。したがって、撮像レンズの射出瞳とマイクロレンズとの間の距離はマイクロレンズの大きさに対して十分に長いことから、２分割された光電変換部は、マイクロレンズの略焦点位置に配置されていることになる。以上述べた関係から、各画素において、２分割された光電変換部の一方部分は、撮像レンズの射出瞳の一部の領域であって射出瞳の中心から所定方向へ偏心した領域からの光束を選択的に受光して光電変換することになる。また、各ＡＦ用画素において、２分割された光電変換部の他方部分は、撮像レンズの射出瞳の一部であって射出瞳の中心から反対方向へ偏心した領域からの光束を選択的に受光して光電変換することになる。

このようなＡＦ用画素は、固体撮像素子の有効画素領域に均一に配置されるのではなく、上下、左右に或いは中央に部分的に配置されるのが一般的である。このように配置されるのは、ＡＦ用の信号を効率的に生成し、且つ、出来る限り撮像用画素を増大させるためである。

そして、特許文献４に開示された固体撮像素子では、撮像用画素にはカラーフィルタが設けられる一方、ＡＦ用画素にはカラーフィルタは設けられていない（特許文献４の段落［００６３］，［００６４］）。
特開平１１−１７７０７６号公報 特開２００４−３３５８８２号公報 特開２００４−１１１５９０号公報 特開２０００−２９２６８６号公報

しかしながら、特許文献４に開示されたような固体撮像素子を用いて実際に撮像すると、均一な輝度を持つ被写体を撮像したにも拘わらずに、輝度が他と比べて増大する領域が生じてしまった。さらに解析してみると、その領域は、ＡＦ用画素が配置されている領域の付近の領域であった。

すなわち、ＡＦ用画素付近の撮像用画素と、ＡＦ用画素付近以外の領域の撮像用画素とに同一の光を入射させても、両者の間で得られる撮像用信号の大きさに差が生じていた。その結果、ＡＦ用画素の配列に沿ってくっきりと線状に輝度の高い領域が出来てしまい、画像として品質の悪いものとなってしまっていた。

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、焦点検出用画素に対する入射光量を増大させて焦点検出の精度を高めるという効果をある程度確保しつつ、焦点検出用画素付近の撮像用画素から得られる撮像用信号と、焦点検出用画素付近以外の領域の撮像用画素から得られる撮像用信号との間の差を低減することができ、ひいては、高品質の画像を得ることができる固体撮像素子、及び、これを用いた撮像装置を提供することを目的とする。

本発明者は、鋭意研究の結果、上記問題点の原因を突き止めるに至った。前述した従来の固体撮像素子では、前述したように、ＡＦ用画素においてカラーフィルタが除去されている。これにより、ＡＦ用画素においては、青い成分である短い波長の光から、赤い成分である長い波長の光まで入射されるので、ＡＦ用画素に対する入射光量が増大し、ひいては焦点検出の精度が高まるという優れた効果を奏する。

しかしながら、ＡＦ用画素において、赤色の様に長い波長の光の成分まで入射されることになる。このような光は、入射される面より深くまで半導体中に進入して光電変換されることになる。半導体基板の深い位置で発生した電荷は、ドリフトによって四方八方に移動する。ドリフトした電荷が当該ＡＦ用画素に配置された電荷蓄積層に捕捉されるなら、特に問題は生じない。しかし、電荷の発生する位置が深いほど、当該ＡＦ用画素では捕捉されず、隣接する撮像用画素の電荷蓄積層に捕捉される成分が増大する。上記の問題は、この現象によって生じていたのである。

いわゆるクロストークではあるが、一般的に称されるクロストークとは異なる。つまり、本現象は、ＡＦ用画素からその付近の撮像用画素へ混入する電荷によって生ずるものである。ＡＦ画素は、有効画素領域の特定領域に配置される。したがって、有効画素領域におけるＡＦ用画素が配置された領域に沿って、くっきりと線状に輝度の高い領域が観察されていたのである。

本発明は、このような前記問題点の原因究明の結果としてなされたものである。すなわち、前記課題を解決するため、本発明の第１の態様による固体撮像素子は、光学系により結像される被写体像を光電変換する固体撮像素子であって、２次元状に配置され各々が入射光に応じた電荷を生成し蓄積する光電変換部を有する複数の画素を備え、前記複数の画素は、前記被写体像を示す画像信号を形成するための撮像用信号を出力する複数の撮像用画素と、前記光学系の焦点調節状態を検出するための焦点検出用信号を出力する複数の焦点検出用画素と、を含み、前記撮像用画素は第１乃至第３のグループに分けられ、前記第１のグループの前記撮像用画素には赤色カラーフィルタが設けられ、前記第２のグループの前記撮像用画素には緑色カラーフィルタが設けられ、前記第３のグループの前記撮像用画素には青色カラーフィルタが設けられ、前記焦点検出用画素には、前記赤色カラーフィルタ、前記緑色カラーフィルタ及び前記青色カラーフィルタのいずれとも異なる光透過特性を有する光学フィルタが設けられ、４２０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は３０％以上であり、５９０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は３０％以下であるものである。

前記第１の態様において、４１０ｎｍ以上５１０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率が３０％以上であることがより好ましく、４００ｎｍ以上５２０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率が３０％以上であることがより一層好ましい。また、前記第１の態様において、５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率が３０％以下であることがより好ましく、５５０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は３０％以下であることがより一層好ましい。

本発明の第２の態様による固体撮像素子は、光学系により結像される被写体像を光電変換する固体撮像素子であって、２次元状に配置され各々が入射光に応じた電荷を生成し蓄積する光電変換部を有する複数の画素を備え、前記複数の画素は、前記被写体像を示す画像信号を形成するための撮像用信号を出力する複数の撮像用画素と、前記光学系の焦点調節状態を検出するための焦点検出用信号を出力する複数の焦点検出用画素と、を含み、前記撮像用画素は第１乃至第３のグループに分けられ、前記第１のグループの前記撮像用画素には赤色カラーフィルタが設けられ、前記第２のグループの前記撮像用画素には緑色カラーフィルタが設けられ、前記第３のグループの前記撮像用画素には青色カラーフィルタが設けられ、前記焦点検出用画素には、前記赤色カラーフィルタ、前記緑色カラーフィルタ及び前記青色カラーフィルタのいずれとも異なる光透過特性を有する光学フィルタが設けられ、前記光学フィルタの、４００ｎｍ以上６００ｎｍ以下の波長域における透過率の波長に関する積分値は、前記緑色カラーフィルタの当該積分値及び前記青色カラーフィルタの当該積分値のいずれよりも大きく、前記光学フィルタの、６００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の波長域における透過率の波長に関する積分値は、前記赤色カラーフィルタの当該積分値よりも小さいものである。

本発明の第３の態様による固体撮像素子は、前記第２の態様において、６００ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は、２０％以下であるものである。

本発明の第４の態様による固体撮像素子は、前記第２又は第３の態様において、４１０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は、４０％以上であるものである。

本発明の第５の態様による固体撮像素子は、前記第１乃至第４のいずれかの態様において、前記光学フィルタは、シアン色のカラーフィルタであるものである。

本発明の第６の態様による固体撮像素子は、光学系により結像される被写体像を光電変換する固体撮像素子であって、２次元状に配置され各々が入射光に応じた電荷を生成し蓄積する光電変換部を有する複数の画素を備え、前記複数の画素は、前記被写体像を示す画像信号を形成するための撮像用信号を出力する複数の撮像用画素と、前記光学系の焦点調節状態を検出するための焦点検出用信号を出力する複数の焦点検出用画素と、を含み、前記撮像用画素は第１乃至第３のグループに分けられ、前記第１のグループの前記撮像用画素には赤色カラーフィルタが設けられ、前記第２のグループの前記撮像用画素には緑色カラーフィルタが設けられ、前記第３のグループの前記撮像用画素には青色カラーフィルタが設けられ、前記焦点検出用画素にはシアン色のカラーフィルタが設けられたものである。

本発明の第７の態様による撮像装置は、前記第１乃至第６のいずれかの態様による固体撮像素子と、前記複数の焦点検出用画素の少なくとも一部の画素からの前記焦点検出用信号に基づいて、前記光学系の焦点調節状態を示す検出信号を出力する検出処理部と、前記検出処理部からの前記検出信号に基づいて前記光学系の焦点調節を行う調節部と、を備えたものである。

本発明によれば、焦点検出用画素に対する入射光量を増大させて焦点検出の精度を高めるという効果をある程度確保しつつ、焦点検出用画素付近の撮像用画素から得られる撮像用信号と、焦点検出用画素付近以外の領域の撮像用画素から得られる撮像用信号との間の差を低減することができ、ひいては、高品質の画像を得ることができる固体撮像素子、及び、これを用いた撮像装置を提供することができる。

以下、本発明による固体撮像素子及びこれを用いた撮像装置について、図面を参照して説明する。

［第１の実施の形態］

図１は、本発明の第１の実施の形態に係る撮像装置としての電子カメラ１を示す概略ブロック図である。電子カメラ１には、被写体像を結像する光学系としての撮影レンズ２が装着される。この撮影レンズ２は、レンズ制御部２ａによってフォーカスや絞りが駆動される。この撮影レンズ２の像空間には、撮影レンズ２により結像された被写体像を光電変換する固体撮像素子３の撮像面が配置される。

固体撮像素子３は、撮像制御部４の指令によって駆動され、信号を出力する。固体撮像素子３から出力される信号は、被写体像を示す画像信号を形成するための撮像用信号、撮影レンズ２の焦点調節状態を検出するための焦点検出用信号のいずれかである。いずれにおいても信号は、信号処理部５、及びＡ／Ｄ変換部６を介して処理された後、メモリ７に一旦蓄積される。メモリ７は、バス８に接続される。バス８には、レンズ制御部２ａ、撮像制御部４、マイクロプロセッサ９、焦点演算部（検出処理部）１０、記録部１１、画像圧縮部１２及び画像処理部１３なども接続される。上記マイクロプロセッサ９には、レリーズ釦などの操作部９ａが接続される。また、上記の記録部１１には記録媒体１１ａが着脱自在に装着される。

図２は、図１中の固体撮像素子３の概略構成を示す回路図である。固体撮像素子３は、マトリクス状に配置された複数の画素２０と、画素２０から信号を出力するための周辺回路とを有している。画素２０がマトリクス状に配置されている有効画素領域（撮像領域）を符号３１で示している。図２において、画素数は、横に４行縦に４行の１６個の画素を示している。しかし、本実施の形態では、画素数はそれよりもはるかに多くなっている。もっとも、本発明では、画素数は特に限定されるものではない。

本実施の形態では、固体撮像素子３は、画素として後述する撮像用画素２０Ａと、焦点検出用信号を生成する焦点検出用画素（以下、「ＡＦ用画素」と称する。）２０Ｒ，２０Ｌ，２０Ｕ，２０Ｄとを有しているが、図２ではそれらのいずれであるかを区別することなく、符号２０で示している。その具体的な回路構成や構造は、後述する。これらの画素２０は、周辺回路の駆動信号に従って、撮像用信号又は焦点検出用信号を出力する。また、すべての画素２０は、同時に光電変換部がリセットされて露光の時間とタイミングが同一にされることも、１行ずつ読み出す所謂ローリングシャッタも可能となっている。

周辺回路は、垂直走査回路２１、水平走査回路２２、これらと接続されている駆動信号線２３，２４、画素２０からの信号を受け取る垂直信号線２５、垂直信号線２５と接続される定電流源２６及び相関二重サンプリング回路（ＣＤＳ回路）２７、ＣＤＳ回路２７から出力される信号を受け取る水平信号線２８、出力アンプ２９等からなる。

垂直走査回路２１及び水平走査回路２２は、電子カメラ１の撮像制御部４からの指令に基づいて駆動信号を出力する。各画素２０は、垂直走査回路２１から出力される駆動信号を所定の駆動信号線２３から受け取って駆動され、撮像用信号又は焦点検出用信号を垂直信号線２５に出力する。垂直走査回路２１から出力される駆動信号は複数あり、それに伴い駆動配線２３も複数ある。

画素２０から出力された信号は、ＣＤＳ回路２７にて所定のノイズ除去が施される。そして、水平走査回路２２の駆動信号により水平信号線２８及び出力アンプ２９を介して外部に信号が出力される。

図３は、図１中の固体撮像素子３（特にその有効画素領域３１）を模式的に示す概略平面図である。本実施の形態では、図３に示すように、固体撮像素子３の有効画素領域３１には、中央に配置された十字状をなす２つの焦点検出領域３２，３３と、左右に配置された２つの焦点検出領域３４，３５と、上下に配置された２つの焦点検出領域３６，３７とが、設けられている。なお、図３に示すように、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を定義する。また、Ｘ軸方向のうち矢印の向きを＋Ｘ方向又は＋Ｘ側、その反対の向きを−Ｘ方向又は−Ｘ側と呼び、Ｙ軸方向についても同様とする。ＸＹ平面と平行な平面が固体撮像素子３の撮像面（受光面）と一致している。Ｘ軸方向の並びを行、Ｙ軸方向の並びを列とする。なお、入射光は図３の紙面手前側から奥側に入射する。これらの点は、後述する図についても同様である。

図４は、図３における焦点検出領域３２，３３の交差部付近を拡大した概略拡大図であり、画素配置を模式的に示している。本実施の形態では、いずれの画素２０にもカラーフィルタが設けられているが、当該画素に設けられたカラーフィルタの色を区別しないで分類すると、固体撮像素子３は、１種類の撮像用画素２０Ａと、４種類のＡＦ用画素２０Ｒ，２０Ｌ，２０Ｕ，２０Ｄとを有している。以下の説明において、ＡＦ用画素の種類を区別しない場合は、ＡＦ用画素に符号２０Ｆを付す場合がある。

図５（ａ）は撮像用画素２０Ａの主要部を模式的に示す概略平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）中のＸ１−Ｘ２線に沿った概略断面図である。撮像用画素２０Ａは、光電変換部としてのフォトダイオード４１と、フォトダイオード４１上にオンチップで形成されたマイクロレンズ４２と、フォトダイオード４１の光入射側に設けられた赤色（Ｒ）カラーフィルタ５０Ｒ、緑色（Ｇ）カラーフィルタ５０Ｇ又は青色（Ｂ）カラーフィルタ５０Ｂとを備えている。図４には、各撮像用画素２０Ａに設けられたカラーフィルタの色を、Ｒ，Ｇ，Ｂとして示している。また、図５に示すように、マイクロレンズ４２の略焦点面には、遮光部としての金属層等の遮光層４３が形成されている。遮光層４３は、必要に応じて配線層を兼ねる。遮光層４３には、撮像用画素２０Ａにおいて、当該撮像用画素２０Ａのマイクロレンズ４２の光軸Ｏに対して同心の正方形の開口４３ａが形成されている。画素２０Ａのフォトダイオード４１は、開口４３ａを通過した光を全て有効に受光し得る大きさを有している。なお、遮光層４３とマイクロレンズ４２との間や、基板４４と遮光層４３との間には、層間絶縁膜等が形成されている。

本実施の形態では、画素２０Ａにおいて、マイクロレンズ４２の略焦点面に配置された遮光層４３に前記開口４３ａが形成されていることによって、画素２０Ａのフォトダイオード４１は、撮影レンズ２の射出瞳の中心から実質的に偏心していない前記射出瞳の領域（開口４３ａのマイクロレンズ４２による投影像に相当）からの光束を受光して光電変換することになる。

図６（ａ）はＡＦ用画素２０Ｒの主要部を模式的に示す概略平面図、図６（ｂ）は図６（ａ）中のＸ３−Ｘ４線に沿った概略断面図である。図６において、図５中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。この点は、後述する図７乃至図９についても同様である。

ＡＦ用画素２０Ｒが撮像用画素２０Ａと異なる所は、ＡＦ用画素２０Ｒにおいて、遮光層４３には、当該ＡＦ用画素２０Ｒのマイクロレンズ４２の光軸Ｏに対して同心の正方形（開口４３ａと同じ大きさの正方形）のちょうど右側（＋Ｘ側）半分の大きさの長方形の開口４３ｂが形成されている点と、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂに代えて、シアン色（Ｃｙ）のカラーフィルタ５０Ｃｙが設けられている点のみである。図４には、各ＡＦ用画素２０Ｒ（及び各ＡＦ用画素２０Ｌ，２０Ｕ，２０Ｄ）に設けられたカラーフィルタの色を、Ｃｙして示している。なお、画素２０Ｒのフォトダイオード４１は、画素２０Ａのフォトダイオード４１と同じ大きさを有している。このように本実施の形態では開口４３ｂは開口４３ａの半分であるが、これに限定されず、例えば、開口４３ｂは、当該ＡＦ用画素２０Ｒのマイクロレンズ４２の光軸Ｏに対して同心の正方形（開口４３ａと同じ大きさの正方形）の右側（＋Ｘ側）４０％程度又は６０％程度の大きさの長方形の開口としてもよい。なお、ＡＦ用画素２０Ｒの開口４３ｂはＡＦ用画素２０Ｌの後述する開口４３ｃと同じ大きさを有することが好ましく、ＡＦ用画素２０Ｕの後述する開口４３ｄはＡＦ用画素２０Ｄの後述する開口４３ｅと同じ大きさを有することが好ましい。

画素２０Ｒにおいて、遮光層４３に前記開口４３ｂが形成されていることによって、画素２０Ｒのフォトダイオード４１は、撮影レンズ２の射出瞳の中心から−Ｘ方向へ実質的に偏心した前記射出瞳の領域からの光束を選択的に受光して光電変換することになる。

図７（ａ）はＡＦ用画素２０Ｌの主要部を模式的に示す概略平面図、図７（ｂ）は図７（ａ）中のＸ５−Ｘ６線に沿った概略断面図である。ＡＦ用画素２０Ｌが撮像用画素２０Ａと異なる所は、ＡＦ用画素２０Ｌにおいて、遮光層４３には、当該ＡＦ用画素２０Ｌのマイクロレンズ４２の光軸Ｏに対して同心の正方形（開口４３ａと同じ大きさの正方形）のちょうど左側（−Ｘ側）半分の大きさの長方形の開口４３ｃが形成されている点と、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂに代えて、シアン色（Ｃｙ）のカラーフィルタ５０Ｃｙが設けられている点のみである。画素２０Ｌにおいて、遮光層４３に前記開口４３ｃが形成されていることによって、画素２０Ｌのフォトダイオード４１は、撮影レンズ２の射出瞳の中心から＋Ｘ方向へ実質的に偏心した前記射出瞳の領域からの光束を選択的に受光して光電変換することになる。

図８（ａ）はＡＦ用画素２０Ｕの主要部を模式的に示す概略平面図、図８（ｂ）は図８（ａ）中のＹ１−Ｙ２線に沿った概略断面図である。ＡＦ用画素２０Ｕが撮像用画素２０Ａと異なる所は、ＡＦ用画素２０Ｕにおいて、遮光層４３には、当該ＡＦ用画素２０Ｕのマイクロレンズ４２の光軸Ｏに対して同心の正方形（開口４３ａと同じ大きさの正方形）のちょうど上側（＋Ｙ側）半分の大きさの長方形の開口４３ｄが形成されている点と、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂに代えて、シアン色（Ｃｙ）のカラーフィルタ５０Ｃｙが設けられている点のみである。画素２０Ｕにおいて、遮光層４３に前記開口４３ｄが形成されていることによって、画素２０Ｕのフォトダイオード４１は、撮影レンズ２の射出瞳の中心から−Ｙ方向へ実質的に偏心した前記射出瞳の領域からの光束を選択的に受光して光電変換することになる。

図９（ａ）はＡＦ用画素２０Ｄの主要部を模式的に示す概略平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）中のＹ３−Ｙ４線に沿った概略断面図である。ＡＦ用画素２０Ｄが撮像用画素２０Ａと異なる所は、ＡＦ用画素２０Ｄにおいて、遮光層４３には、当該ＡＦ用画素２０Ｄのマイクロレンズ４２の光軸Ｏに対して同心の正方形（開口４３ａと同じ大きさの正方形）のちょうど下側（−Ｙ側）半分の大きさの長方形の開口４３ｅが形成されている点と、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂに代えて、シアン色（Ｃｙ）のカラーフィルタ５０Ｃｙが設けられている点のみである。画素２０Ｄにおいて、遮光層４３に前記開口４３ｅが形成されていることによって、画素２０Ｄのフォトダイオード４１は、撮影レンズ２の射出瞳の中心から＋Ｙ方向へ実質的に偏心した前記射出瞳の領域からの光束を選択的に受光して光電変換することになる。

再び図４を参照すると、本実施の形態に係る固体撮像素子３では、有効画素領域３１の全体に２次元状に配置された多数の画素２０が、列方向（Ｙ軸方向）に２個隣接するとともに行方向（Ｘ軸方向）に２個隣接して並んだ２×２個の画素２０からなる複数の画素ブロックに、分けられている。図４では、太線で囲まれた２×２個の画素２０の各グループがそれぞれ１つの画素ブロックとなっている。換言すれば、２×２個の画素２０からなる画素ブロックを一単位として、この画素ブロックが有効画素領域３１の全体に２次元状に配置されている。各画素ブロックは、２×２個の画素２０に限定されるものではなく、ｍ及びｎをそれぞれ２以上の整数としたとき、ｍ×ｎ個の画素であってもよい。

本実施の形態では、全ての画素ブロックの各々に関して、当該画素ブロックの全ての２×２個の画素２０には、ＡＦ用画素２０Ｆを除いて、同じ色のカラーフィルタ５０が設けられている。したがって、各画素ブロックは、当該撮像用画素２０Ａの色に従ったそれぞれ一色のカラー情報を出力する。本実施の形態では、１つの画素ブロックの画素数である４個分の撮像用画素２０Ａの撮像用信号に相当する信号が、１つの画素ブロックの領域の撮像用信号とされる。そして、本実施の形態では、有効画素領域３１の全体に配置された画素ブロックは、当該画素ブロックの撮像用画素２０Ａに設けられたカラーフィルタ５０の色を当該画素ブロックの色であるとみなして、当該画素ブロックの色に基づくベイヤー配列に従って配置されている。

本実施の形態では、図３中のＸ軸方向に延びた各焦点検出領域３２，３６，３７はそれぞれ一画素行の領域となっており、図３中のＹ軸方向に延びた各焦点検出領域３３〜３５はそれぞれ一画素列の領域となっている。図４には、焦点検出領域３２が一画素行の領域であるとともに焦点検出領域３３が一画素列の領域であることが明示されている。

本実施の形態では、Ｘ軸方向に延びた焦点検出領域３２，３６，３７のいずれかの領域の一部を含む各画素ブロックは、焦点検出領域３２，３３の交差点の画素２０（ここでは、画素２０Ｌ）を含む１つの画素ブロック６０（本実施の形態では、この画素ブロック６０は、特異な画素ブロックとなっているので、他の画素ブロックと区別するべく、図４において符号６０を付している。）を除いて、対応する焦点検出領域に配置され瞳分割に関して対をなす２個のＡＦ用画素２０Ｆ（ＡＦ用画素２０ＲとＡＦ用画素２０Ｌ）と、２個の撮像用画素２０Ａとからなる。Ｙ軸方向に延びた焦点検出領域３３〜３５のいずれかの領域の一部を含む各画素ブロックは、画素ブロック６０を除いて、対応する焦点検出領域に配置され瞳分割に関して対をなす２個のＡＦ用画素２０Ｆ（ＡＦ用画素２０ＵとＡＦ用画素２０Ｄ）と、２個の撮像用画素２０Ａとからなる。画素ブロック６０は、対応する焦点検出領域に配置された３個のＡＦ用画素２０Ｆ（ＡＦ用画素２０ＲとＡＦ用画素２０ＬとＡＦ用画素２０Ｕ）と、１個の撮像用画素２０Ａとからなる。画素ブロック６０にはＡＦ用画素２０Ｕと対をなすＡＦ用画素２０Ｄが設けられていないので、画素ブロック６０のＡＦ用画素２０Ｕからの焦点検出用信号は実際には焦点検出用に用いることはできない。よって、画素ブロック６０のＡＦ用画素２０Ｕは、撮像用画素２０Ａで置き換えてもよい。焦点検出領域３２〜３７のいずれの領域の一部も含まない各画素ブロックは、４個の撮像用画素２０Ａからなる。

このようにして、本実施の形態では、ＡＦ用画素２０Ｒ，２０Ｌは、各焦点検出領域３２，３６，３７において、Ｘ軸方向に並んだ２つ以上の画素ブロックに渡って、同一の行において順次隣り合うように一直線状に配置されている。また、ＡＦ用画素２０Ｕ，２０Ｄは、各焦点検出領域３３〜３５において、Ｙ軸方向に並んだ２つ以上の画素ブロックに渡って、同一の列において順次隣り合うように一直線状に配置されている。

撮影レンズ２の焦点調節状態を検出する際には、ＡＦ用画素２０Ｆから出力される焦点検出用信号が用いられる。また、撮像時には、２個のＡＦ用画素２０Ｆ及び２個の撮像用画素２０Ａからなる画素ブロックに関しては、２個の撮像用画素２０Ａの出力が、当該画素ブロックの撮像用信号として使用される。すなわち、まず、２個の撮像用画素２０Ａから個別に出力される撮像用信号は、固体撮像素子３内あるいは固体撮像素子３外にて合算される。しかし、２個のＡＦ用画素２０Ｆは、撮像用信号を生成しない。そこで、同一画素ブロックの４個の画素が配置される領域は、概略同一の光量であると近似する。そして、前記合算された撮像用信号は、更に２倍にされて４個分の画素の撮像用信号とするのである。なお、画素ブロック６０については、１個の撮像用画素２０Ａの撮像用信号を４倍にして４個分の画素の撮像用信号とすればよい。

換言すれば、本固体撮像素子３では、撮像時にＡＦ用画素２０Ｆを補間する場合、当該ＡＦ用画素２０Ｆに隣接する撮像用画素２０Ａの信号を補間用の信号として使用することができる。したがって、本実施の形態では、個々の画素をベイヤー配列に従って又はベイヤー配列に準じて配列する固体撮像素子に比べて、ＡＦ用画素２０Ｆに関する補間の精度を向上させて画質を向上させることができる。もっとも、本発明では、個々の画素をベイヤー配列に従って又はベイヤー配列に準じて配列してもよい。その例を、後に第２の実施の形態として説明する。

なお、４個の撮像用画素２０Ａからなる画素ブロックに関しては、４個の撮像用画素２０Ａから個別に出力される撮像用信号は、固体撮像素子３内あるいは固体撮像素子３外にて合算される。合算された信号は、その画素ブロックの画像情報となる。

図１０は、図１中の固体撮像素子３の１つの画素ブロックをなす２×２個の画素２０を示す回路図である。図１０は、焦点検出領域３３の一部を含む画素ブロック（図４参照）、すなわち、２個のＡＦ用画素２０Ｆ（ＡＦ用画素２０ＵとＡＦ用画素２０Ｄ）及び２個の撮像用画素２０Ａを示している。

本実施の形態では、いずれの画素２０（撮像用画素２０Ａ、ＡＦ用画素２０Ｒ、ＡＦ用画素２０Ｌ、ＡＦ用画素２０Ｕ、ＡＦ用画素２０Ｄ）も、同一の回路構成を有している。各画素は、入射光に応じた電荷を生成し蓄積する光電変換部としてのフォトダイオード４１と、前述した電荷を受け取って前述した電荷を電圧に変換する電荷電圧変換部としてのフローティングディフュージョン（ＦＤ）８１と、ＦＤ８１の電位に応じた信号を出力する増幅部としての画素アンプ８２と、フォトダイオード４１からＦＤ８１に電荷を転送する電荷転送部としての転送トランジスタ８３と、ＦＤ８１の電位をリセットするリセット部としてのリセットトランジスタ８４と、当該画素２０を選択する選択部としての選択トランジスタ８５と、を備えている。なお、図１０において、Ｖｄｄは電源である。この画素２０の回路構成は、ＣＭＯＳ固体撮像素子の単位画素の回路構成として一般的なものである。

本実施の形態では、転送トランジスタ８３、画素アンプ８２、リセットトランジスタ８４、選択トランジスタ８５は、いずれもＮＭＯＳトランジスタで構成されている。

各画素２０の転送トランジスタ８３のゲート電極は、画素行ごとに共通に接続されて、垂直走査回路２１から駆動配線２３を介して駆動信号φＴＧが供給される。各画素２０の選択トランジスタ８５のゲート電極は、画素行毎に共通に接続されて、垂直走査回路２１から駆動配線２３を介して駆動信号φＳが供給される。各画素２０のリセットトランジスタ８４のゲート電極は、画素行毎に共通に接続されて、垂直走査回路２１から駆動配線２３を介して駆動信号φＦＤＲが供給される。

図１１は、固体撮像素子３の動作例を示すタイミングチャートである。この例は、ローリングシャッタの場合の例を示している。なお、ここでは、撮像用信号を出力することで説明する。しかし、焦点検出用信号を出力する場合も、読み出す領域（行、列）が限定されるだけであり、基本的に同じである。

まず、選択行のφＦＤＲがハイとなっている間にφＴＧがハイ、ローとされることによりフォトダイオード４１がリセットされる。所定時間経過後に、φＳがハイとされて、選択行の選択トランジスタ８５がオンとされる。φＳがハイの開始時点から一定時間だけφＦＤＲがハイにされてＦＤ８１のレベルが基準レベルにリセットされ、その後φＦＤＲがローにされる。次いで、ＦＤ８１の基準レベルに応じたレベル（ダークレベル）が、画素アンプ８２から垂直信号線２５を介してＣＤＳ回路２７に蓄積される。

次いで、φＴＧが再度ハイ、ローとされる。これにより、フォトダイオード４１に蓄積されていた電荷がＦＤ８１に転送される。その後、基準レベルとこの電荷による信号の重畳された信号に応じたレベルの信号が、画素アンプ８２から垂直信号線２５を介してＣＤＳ回路２７に蓄積される。そして、ＣＤＳ回路２７によって、ここで蓄積された信号と先のダークレベルとの差分を取ることで得た撮像用信号が出力される。そして、順次各列の撮像用信号が水平信号線に出力される。

その後、次の行が選択されて同様に信号が出力されていく。

図１２は、固体撮像素子３の他の動作例を示すタイミングチャートである。この例は、全画素同時に露光する場合の例を示している。まず、全行のφＦＤＲがハイとされている状態で全行同時にφＴＧがハイとされる。これにより、全画素２０のフォトダイオード４１に蓄積されていた電荷が同時にリセットされる。なお、φＴＧがローにされた時点からφＴＧが再度ハイとされるまでの時間が、露光時間となる。

所定時間経過後、選択行のφＳがハイとされる。次いで、φＴＧが再度ハイ、ローとされる（この動作は全行同時に行われる。）。これにより、全行同時に、フォトダイオード４１に蓄積されていた電荷がＦＤ８１に転送される。選択行においては、この電荷による信号に応じたレベルの信号が、画素アンプ８２から垂直信号線２５を介してＣＤＳ回路２７に蓄積される。ここでは、ＣＤＳ回路２７は、ダークレベルを利用した相関二重サンプリング処理（ＣＤＳ処理）は行わず、単に、前記電荷による信号に応じたレベルの信号を一時的に蓄積する回路として用いられる。そして、順次各列の撮像用信号が水平信号線に出力される。

その後、次の行が選択されて同様に信号が出力されていく。

ここでは、簡略化のため、ＣＤＳ処理を行わないものとして説明した。しかしながら、全画素同時に露光する場合であっても、ＣＤＳ処理を行うことが好ましいことは、言うまでもない。この場合には、例えば、前記特許文献１（特開平１１−１７７０７６号公報）に開示されているように、フォトダイオード４１とＦＤ８１との間に、フォトダイオード４１からの電荷を一時的に蓄積する蓄積部（容量）を設け、転送トランジスタ８３の代わりに、フォトダイオード４１から前記蓄積部に電荷を転送する第１の転送トランジスタ、及び、前記蓄積部からＦＤ８１に電荷を転送する第２の転送トランジスタを設ければよい。

ここで、本実施の形態による電子カメラ１の動作の一例について、説明する。

操作部９ａのレリーズ釦の半押し操作が行われると、電子カメラ１内のマイクロプロセッサ９は、その半押し操作に同期して撮像制御部４を駆動する。撮像制御部４は、被写体の確認を行うために予め定めた公知の手法により、撮像用画素２０Ａのうちの全画素又は所定画素から被写体確認用の撮像信号を読み出し、メモリ７に蓄積する。このとき、全画素を読み出す場合は、例えば、前記図１１又は図１２に示す動作と同様の動作を行う。そして、画像処理部１３は、その信号から、画像認識技術を利用して被写体を認識する。例えば、顔認識モードの場合、被写体として顔を認識する。このとき、画像処理部１３は、被写体の位置及び形状を得る。

その後、マイクロプロセッサ９は、先に得られた被写体の位置及び形状に従って、焦点検出領域３２〜３７のうちから、被写体に対する焦点調節状態を精度良く検出するのに最適な、焦点検出に用いるべき、オートフォーカス用ラインセンサに相当する焦点検出領域を設定する。また、マイクロプロセッサ９は、前記認識結果等に基づいて、焦点検出用の撮影条件（絞り、焦点調節状態、シャッタ時間等）を設定する。

引き続いて、マイクロプロセッサ９は、先に設定した絞り等の条件となるようにレンズ制御部２ａを作動させ、先に設定したシャッタ時間等の条件でかつ先に設定した焦点検出領域のＡＦ用画素２０Ｆの画素列の座標に従って、撮像制御部４を駆動することで、焦点検出用信号を読み出し、メモリ７に蓄積する。このとき、前述した図１１又は図１２に示す動作と同様の動作によって、焦点検出用信号を読み出す。

次に、マイクロプロセッサ９は、先に取得されメモリ７に格納された全画素の信号のうちから、先に設定した焦点検出領域のＡＦ用画素２０Ｆからの焦点検出用信号をピックアップし、それらの信号に基づいて瞳分割位相差方式に従った演算（焦点調節状態の検出処理）を焦点検出演算部１０に行わせることで、焦点検出演算部１０にデフォーカス量を算出させる。

次いで、マイクロプロセッサ９は、先に算出されたデフォーカス量に応じて合焦状態となるように、レンズ制御部２ａに撮影レンズ２を調節させる。引き続いて、マイクロプロセッサ９は、本撮影のための撮影条件（絞り、シャッタ時間等）を設定する。

次に、マイクロプロセッサ９は、本撮影のために設定した絞り等の条件となるようにレンズ制御部２ａを作動させ、操作部９ａのレリーズ釦の全押し操作に同期して、本撮影のために設定したシャッタ時間等の条件で撮像制御部４を駆動することで、画像信号を読み出して本撮影を行う。このとき、前述した図１１又は図１２に示す動作と同様の動作によって、撮像用信号を読み出す。撮像制御部４によって、この撮像用信号は、メモリ７に蓄積される。

次いで、マイクロプロセッサ９は、前述したような画素ブロック毎の４個分の画素の撮像用信号を得る処理（補間処理を含む）を画像処理部１３に行わせ、これを画像信号としてメモリ７に蓄積させる。

その後、マイクロプロセッサ９は、操作部９ａの指令に基づき、必要に応じて画像処理部１３や画像圧縮部１２にて所望の処理を行い、記録部に処理後の信号を出力させ記録媒体１１ａに記録する。

本実施の形態では、前述したように、撮像用画素２０Ａには、赤色カラーフィルタ５０Ｒ、緑色カラーフィルタ５０Ｇ及び青色カラーフィルタ２０Ｂのうちのいずれかが設けられているのに対し、ＡＦ画素２０Ｆ（２０Ｒ，２０Ｌ，２０Ｕ，２０Ｄ）には、これらのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂのいずれとも異なる光透過特性を有する光学フィルタとして、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙが設けられている。これらのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂ，５０Ｃｙの光透過特性（分光感度特性）の一例を、図１３乃至図１６にそれぞれ示す。

図１３及び図１６からわかるように、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙは、赤色カラーフィルタ５０Ｒに比べて、赤色付近の長波長光の透過率がはるかに低い。したがって、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙが設けられたＡＦ用画素２０Ｆでは、カラーフィルタを全く設けない場合やシアン色カラーフィルタ５０Ｃｙに代えて赤色カラーフィルタ５０Ｒを設ける場合に比べて、フォトダイオード４１に入射した光に長波長成分がほとんど含まれなくなり、入射光が、比較的シリコン表面近傍で光電変換され、シリコン基板の深部では信号電荷がほとんど発生しなくなる。したがって、本実施の形態によれば、入射された波長の長い光によってＡＦ用画素２０Ｆで発生する電荷が隣接する撮像用画素２０Ａの方にドリフトされるという状況が、生じ難くなる。換言すれば、ＡＦ用画素２０Ｆからこれに隣接する撮像用画素２０Ａへ混入する電荷が少なくなり、ＡＦ用画素２０から隣接撮像用画素２０Ａへのクロストークを抑制することができる。このため、隣接する撮像用画素２０Ａのフォトダイオード４１の電荷蓄積層にこの電荷が捕捉されて撮像用信号が増大してしまうことはない。よって、ＡＦ用画素２０Ｆ付近以外の領域の撮像用画素２０Ａから得られる撮像用信号と、ＡＦ用画素２０Ｆ付近の領域の撮像用画素２０Ａから得られる撮像用信号との間で、信号の大きさに差が生じず、高品質の画像を得ることができる。

また、図１６からわかるように、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙは、青色から緑色に渡る比較的広い波長域で透過率が比較的高い。したがって、本実施の形態によれば、ＡＦ用画素２０Ｆに、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙに代えて、青色カラーフィルタ５０Ｂ又は緑色カラーフィルタ５０Ｇを設ける場合に比べて、ＡＦ用画素２０Ｆに対する入射光量が増大し、ひいては焦点検出の精度が高まる。

このように、本実施の形態によれば、ＡＦ用画素２０Ｆにシアン色カラーフィルタ５０Ｃｙが設けられているので、ＡＦ用画素２０Ｆに対する入射光量を増大させて焦点検出の精度を高めるという効果（以下、「ＡＦ用入射光量増大効果」という。）をある程度確保しつつ、ＡＦ用画素２０から隣接撮像用画素２０Ａへのクロストークを低減して高品質の画像を得るという効果（以下、「クロストーク低減効果」という。）を得ることができる。

前述した特許文献４に開示された固体撮像素子よりも前は、ＡＦ用入射光量増大効果が看過されており、これに従えば、ＡＦ用画素２０には、撮像用画素２０Ａに設けられているＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂのいずれかが設けられることになる。これに対し、ＡＦ用入射光量増大効果に着目した特許文献４に従えば、ＡＦ用画素２０にはカラーフィルタは全く設けられない。このように、従来の技術常識に従えば、「クロストーク低減効果」は全く看過されており、ＡＦ用画素２０には、撮像用画素２０Ａに設けられているＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂのいずれかが設けられるか、カラーフィルタが全く設けられないかの、いずれかしかない。従来は、ＡＦ用画素２０Ｆに、撮像用画素２０Ａに設けられているＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂ以外のカラーフィルタを設けることは、想到し得なかった。

ＡＦ用画素２０Ｆにシアン色カラーフィルタ５０Ｃｙに代えて赤色カラーフィルタ５０Ｒを設けると、赤色カラーフィルタ５０Ｒは図１３に示すように青色から緑色に渡る波長域の成分をカットするとともに長波長光を透過させるので、ＡＦ用入射光量増大効果が全く得られないだけでなく、クロストーク低減効果も得られない。

ＡＦ用画素２０Ｆにシアン色カラーフィルタ５０Ｃｙに代えて青色カラーフィルタ５０Ｂ又は緑色カラーフィルタ５０Ｇを設けると、これらのカラーフィルタ５０Ｂ，５０Ｇは図１４及び図１５に示すように青色又は緑色の波長域の成分を選択的に透過させるので、クロストーク低減効果は得られるものの、ＡＦ用入射光量増大効果は全く得られない。

ＡＦ用画素２０Ｆにカラーフィルタを全く設けないと、いずれの波長域の成分もカットされないので、大きなＡＦ用入射光量増大効果が得られるものの、クロストーク低減効果は全く得られない。

このように、従来の技術常識に従った場合、クロストーク低減効果とＡＦ用入射光量増大効果との間の二者択一的な状態となってしまい、両者をバランスさせることができなかったのである。これに対し、本実施の形態では、これまで看過されて来たクロストーク低減効果に新たに着目し、ＡＦ用画素２０Ｆにシアン色カラーフィルタ５０Ｃｙを設けることで、トレードオフ関係にあったクロストーク低減効果とＡＦ用入射光量増大効果とのバランスを図っているのである。

以上の説明からわかるように、クロストーク低減効果及びＡＦ用入射光量増大効果の両方のバランスを取って両方ともその効果を高めるためには、理想的には、ＡＦ用画素２０Ｆに設ける光学フィルタは、赤色付近の所定の遮断波長よりも高い波長域の成分の透過率がゼロでありかつ前記遮断波長よりも低い波長域の成分の透過率が１００％である光透過特性を有することが、好ましい。本実施の形態では、このような理想的な光透過特性に比較的近い光透過特性を有する光学フィルタとして、シアン色カラーフィルタ５０ＣｙがＡＦ用画素２０Ｆに設けられているのである。

しかしながら、ＡＦ用画素２０Ｆにシアン色カラーフィルタ５０Ｃｙに代えて青色カラーフィルタ５０Ｂ又は緑色カラーフィルタ５０Ｇを設ける場合に比べて大きい入射光量増大効果が得られる一方、ＡＦ用画素２０Ｆにシアン色カラーフィルタ５０Ｃｙに代えて赤色カラーフィルタ５０Ｒを設ける場合に比べて大きいクロストーク低減効果が得られれば、前述した従来の２社択一状態に比べて、好ましい。よって、本発明では、このような状態を実現するための条件を満たせばよく、ＡＦ用画素２０Ｆに設ける光学フィルタは、必ずしもシアン色カラーフィルタ５０Ｃｙに限定されるものではない。

そのような条件の一例としては、ＡＦ用画素２０Ｆに設けられる光学フィルタの、４００ｎｍ以上６００ｎｍ以下の波長域における透過率の波長に関する積分値が、緑色カラーフィルタ５０Ｇの当該積分値及び青色カラーフィルタ５０Ｂの当該積分値のいずれよりも大きく、かつ、前記光学フィルタの、６００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の波長域における透過率の波長に関する積分値が、赤色カラーフィルタ５０Ｒの当該積分値よりも小さいこと、を挙げることができる。図１３乃至図１６からわかるように、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙは、この条件を満たしている。このとき、クロストーク低減効果をより高めるためには、６００ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は２０％以下であることが、より好ましい。図１６からわかるように、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙはこれに合致している。また、入射光量増大効果をより高めるためには、４１０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は４０％以上であることが、より好ましい。図１６からわかるように、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙはこれに合致している。

前述したような条件の他の例としては、ＡＦ用画素２０Ｆに設けられる光学フィルタの４２０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域における透過率が３０％以上であり、前記光学フィルタの５９０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における透過率が３０％以下であること、を挙げることができる。このとき、クロストーク低減効果をより高めるためには、５７０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率が３０％以下であることがより好ましく、５５０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は３０％以下であることがより一層好ましい。また、入射光量増大効果をより高めるためには、４１０ｎｍ以上５１０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率が３０％以上であることがより好ましく、４００ｎｍ以上５２０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率が３０％以上であることがより一層好ましい。

［第２の実施の形態］

図１７は、本発明の第２の実施の形態による電子カメラで用いられている固体撮像素子７０の画素の配置を模式的に示す一部拡大概略平面図であり、図４に対応している。図１７において、図４中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。

本実施の形態が前記第１の実施の形態と異なる所は、基本的に、固体撮像素子３に代えて固体撮像素子７０が用いられている点のみである。固体撮像素子７０が固体撮像素子３と異なる所は、個々の撮像用画素２０Ａをベイヤー配列に従って配列した点のみである。

本実施の形態によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。

［第３の実施の形態］

図１８は、本発明の第３の実施の形態による電子カメラで用いられている固体撮像素子９０の画素の配置を模式的に示す一部拡大概略平面図であり、図４に対応している。図１８において、図４中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。

本実施の形態が前記第１の実施の形態と異なる所は、基本的に、固体撮像素子３に代えて固体撮像素子９０が用いられている点のみである。固体撮像素子９０が固体撮像素子３と異なる所は、以下に説明する点のみである。

固体撮像素子９０では、固体撮像素子３において、全てのＡＦ用画素２０Ｒ，２０ＬがそれぞれＡＦ用画素２０Ｈで置き換えられ、全てのＡＦ用画素２０Ｕ，２０ＤがそれぞれＡＦ用画素２０Ｖで置き換えられている。

図１９（ａ）はＡＦ用画素２０Ｈの主要部を模式的に示す概略平面図、図１９（ｂ）は図１９（ａ）中のＸ７−Ｘ８線に沿った概略断面図である。図２０（ａ）はＡＦ用画素２０Ｖの主要部を模式的に示す概略平面図、図２０（ｂ）は図２０（ａ）中のＹ５−Ｙ６線に沿った概略断面図である。図２１は、固体撮像素子９０の１つの画素ブロックをなす２×２個の画素を示す回路図である。図２１は、焦点検出領域３３の一部を含む画素ブロック（図１８参照）、すなわち、２個のＡＦ用画素２０Ｖ及び２個の撮像用画素２０Ａを示している。図１９乃至図２１において、図５、図６及び図１０中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。

ＡＦ用画素２０ＨとＡＦ用画素２０Ｖは、同一の回路構成を有している。ＡＦ用画素２０Ｈ，２０Ｖが撮像用画素２０Ａと回路構成上異なる所は、１つのフォトダイオード４１に代えて、それを２つに分割したような２つのフォトダイオード４１ａ，４１ｂを有する点と、これに伴い、１つの転送トランジスタ８３に代えて、互いに独立して作動し得る２つの転送トランジスタ８３ａ，８３ｂを有する点のみである。転送トランジスタ８３ａはフォトダイオード４１ａからＦＤ８１へ電荷を転送し、転送トランジスタ８３ｂはフォトダイオード４１ｂからＦＤ８１へ電荷を転送する。

図１９、図２０及び図５から理解される通り、ＡＦ用画素２０Ｈでは、フォトダイオード４１ａ，４１ｂは、フォトダイオード４１に相当するフォトダイオードを−Ｘ側と＋Ｘ側に２分割することによって構成されている。ＡＦ用画素２０Ｖでは、フォトダイオード４１ａ，４１ｂは、フォトダイオード４１に相当するフォトダイオードを＋Ｙ側と−Ｙ側に２分割することによって構成されている。

図１９及び図２０に示すように、ＡＦ用画素２０Ｈ，２０Ｖには、２０Ｒ，２０Ｌ，２０Ｕ，２０Ｄと同じく、シアン色カラーフィルタ５０Ｃｙが設けられている。

撮像用画素２０Ａの転送トランジスタ８３及びＡＦ用画素２０Ｖ，２０Ｈの一方の転送トランジスタ８３ａのゲート電極は、画素行ごとに共通に接続されて、垂直走査回路２１から駆動配線２３を介して駆動信号φＴＧＡが供給される。ＡＦ用画素２０Ｖ，２０Ｈの他方の転送トランジスタ８３ｂのゲート電極は、画素行毎に共通に接続されて、垂直走査回路２１から駆動配線２３を介して駆動信号φＴＧＢが供給される。

図２２は、固体撮像素子９０の動作例を示すタイミングチャートである。この例は、ローリングシャッタの場合に、撮像用信号を得る例を示している。この動作例は、前記第１の実施の形態において説明した図１１に示す動作と同様である。φＴＧＡを図１１中のφＴＧと同一にしている。この例では、ＡＦ用画素２０Ｈ，２０Ｖからの信号は使用せず意味を持たないため、φＴＧＢは任意でよい。したがって、図２２にはφＴＧＢを記載していない。

図２３は、固体撮像素子９０の他の動作例を示すタイミングチャートである。この例は、ローリングシャッタの場合に、焦点検出用信号を得る例を示している。図２３に示す動作が図２２に示す動作と異なる所は、２つのフォトダイオード４１ａ，４１ｂから信号を別々に読み出す点である。すなわち、図２３に示す動作では、φＳがハイとなり選択されている間は、ＡＦ用画素２０Ｈ，２０Ｖに関しては、一方のフォトダイオード４１ａの電荷を読み、次いで他方のフォトダイオード４１ｂの電荷を読むようになっている。

本実施例によっても、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。また、本実施の形態によれば、ＡＦ用画素として、それぞれ２つのフォトダイオード４１ａ，４１ｂを持つＡＦ用画素２０Ｈ，２０Ｖが用いられているので、焦点検出用信号を得る場所の分布密度が高まる。したがって、焦点検出の精度がより高まる。

第１の実施の形態における固体撮像素子３を変形して本実施の形態における固体撮像素子９０を得たのと同様に、前記第２の実施の形態における固体撮像素子７０において、全てのＡＦ用画素２０Ｒ，２０ＬをそれぞれＡＦ用画素２０Ｈで置き換えるとともに、全てのＡＦ用画素２０Ｕ，２０ＤをそれぞれＡＦ用画素２０Ｖで置き換えてもよい。

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではない。

本発明の第１の実施の形態に係る撮像装置としての電子カメラを示す概略ブロック図である。 図１中の固体撮像素子３の概略構成を示す回路図である。 図１中の固体撮像素子３を模式的に示す概略平面図である。 図３における焦点検出領域の交差部付近を拡大した概略拡大図である。 図４中の撮像用画素の主要部を模式的に示す図である。 図４中の所定のＡＦ用画素の主要部を模式的に示す図である。 図４中の他の所定のＡＦ用画素の主要部を模式的に示す図である。 図４中の更に他の所定のＡＦ用画素の主要部を模式的に示す図である。 図４中の更に他の所定のＡＦ用画素の主要部を模式的に示す図である。 図１中の固体撮像素子の１つの画素ブロックをなす２×２個の画素を示す回路図である。 図１中の固体撮像素子の動作例を示すタイミングチャートである。 図１中の固体撮像素子の他の動作例を示すタイミングチャートである。 図４中の撮像用画素に設けられている赤色カラーフィルタの光透過特性の一例を示す図である。 図４中の撮像用画素に設けられている緑色カラーフィルタの光透過特性の一例を示す図である。 図４中の撮像用画素に設けられている青色カラーフィルタの光透過特性の一例を示す図である。 図４中の撮像用画素に設けられているシアン色カラーフィルタの光透過特性の一例を示す図である。 本発明の第２の実施の形態による電子カメラで用いられている固体撮像素子の画素配置を模式的に示す一部拡大概略平面図である。 本発明の第３の実施の形態による電子カメラで用いられている固体撮像素子の画素配置を模式的に示す一部拡大概略平面図である。 図１８中の所定のＡＦ用画素の主要部を模式的に示す図である。 図１８中の他の所定のＡＦ用画素の主要部を模式的に示す図である。 図１８に示す固体撮像素子の１つの画素ブロックをなす２×２個の画素を示す回路図である。 図１８に示す固体撮像素子の動作例を示すタイミングチャートである。 図１８に示す固体撮像素子の他の動作例を示すタイミングチャートである。

符号の説明

３ 固体撮像素子
２０Ａ 撮像用画素
２０Ｒ，２０Ｌ，２０Ｕ，２０Ｄ ＡＦ用画素
５０Ｒ 赤色カラーフィルタ
５０Ｇ 緑色カラーフィルタ
５０Ｂ 青色カラーフィルタ
５０Ｃｙ シアン色カラーフィルタ５０

Claims (7)

1. 光学系により結像される被写体像を光電変換する固体撮像素子であって、
   ２次元状に配置され各々が入射光に応じた電荷を生成し蓄積する光電変換部を有する複数の画素を備え、
   前記複数の画素は、前記被写体像を示す画像信号を形成するための撮像用信号を出力する複数の撮像用画素と、前記光学系の焦点調節状態を検出するための焦点検出用信号を出力する複数の焦点検出用画素と、を含み、
   前記撮像用画素は、第１乃至第３のグループに分けられ、
   前記第１のグループの前記撮像用画素には、赤色カラーフィルタが設けられ、
   前記第２のグループの前記撮像用画素には、緑色カラーフィルタが設けられ、
   前記第３のグループの前記撮像用画素には、青色カラーフィルタが設けられ、
   前記焦点検出用画素には、前記赤色カラーフィルタ、前記緑色カラーフィルタ及び前記青色カラーフィルタのいずれとも異なる光透過特性を有する光学フィルタが設けられ、
   ４２０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は、３０％以上であり、
   ５９０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は、３０％以下である、
   ことを特徴とする固体撮像素子。
2. 光学系により結像される被写体像を光電変換する固体撮像素子であって、
   ２次元状に配置され各々が入射光に応じた電荷を生成し蓄積する光電変換部を有する複数の画素を備え、
   前記複数の画素は、前記被写体像を示す画像信号を形成するための撮像用信号を出力する複数の撮像用画素と、前記光学系の焦点調節状態を検出するための焦点検出用信号を出力する複数の焦点検出用画素と、を含み、
   前記撮像用画素は、第１乃至第３のグループに分けられ、
   前記第１のグループの前記撮像用画素には、赤色カラーフィルタが設けられ、
   前記第２のグループの前記撮像用画素には、緑色カラーフィルタが設けられ、
   前記第３のグループの前記撮像用画素には、青色カラーフィルタが設けられ、
   前記焦点検出用画素には、前記赤色カラーフィルタ、前記緑色カラーフィルタ及び前記青色カラーフィルタのいずれとも異なる光透過特性を有する光学フィルタが設けられ、
   前記光学フィルタの、４００ｎｍ以上６００ｎｍ以下の波長域における透過率の波長に関する積分値は、前記緑色カラーフィルタの当該積分値及び前記青色カラーフィルタの当該積分値のいずれよりも大きく、
   前記光学フィルタの、６００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の波長域における透過率の波長に関する積分値は、前記赤色カラーフィルタの当該積分値よりも小さい、
   ことを特徴とする固体撮像素子。
3. ６００ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は、２０％以下であることを特徴とする請求項２記載の固体撮像素子。
4. ４１０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下の波長域における前記光学フィルタの透過率は、４０％以上であることを特徴とする請求項２又は３記載の固体撮像素子。
5. 前記光学フィルタは、シアン色のカラーフィルタであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の固体撮像素子。
6. 光学系により結像される被写体像を光電変換する固体撮像素子であって、
   ２次元状に配置され各々が入射光に応じた電荷を生成し蓄積する光電変換部を有する複数の画素を備え、
   前記複数の画素は、前記被写体像を示す画像信号を形成するための撮像用信号を出力する複数の撮像用画素と、前記光学系の焦点調節状態を検出するための焦点検出用信号を出力する複数の焦点検出用画素と、を含み、
   前記撮像用画素は、第１乃至第３のグループに分けられ、
   前記第１のグループの前記撮像用画素には、赤色カラーフィルタが設けられ、
   前記第２のグループの前記撮像用画素には、緑色カラーフィルタが設けられ、
   前記第３のグループの前記撮像用画素には、青色カラーフィルタが設けられ、
   前記焦点検出用画素には、シアン色のカラーフィルタが設けられた、
   ことを特徴とする固体撮像素子。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載の固体撮像素子と、
   前記複数の焦点検出用画素の少なくとも一部の画素からの前記焦点検出用信号に基づいて、前記光学系の焦点調節状態を示す検出信号を出力する検出処理部と、
   前記検出処理部からの前記検出信号に基づいて前記光学系の焦点調節を行う調節部と、
   を備えたことを特徴とする撮像装置。

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