JP2008216247A - テストハンドラ用テストトレイ移送装置、テストハンドラ、及びテストハンドラ用テストトレイ移送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、一定の循環経路を循環する前後2枚のテストトレイのうち前のテストトレイを把持したり、把持を解除した状態で前記循環経路上の循環方向へ移動可能なように設けられる第1把持ブロックと、前記第1把持ブロックと一定間隔離間するように設けられ、前記前後2枚のテストトレイのうち後のテストトレイを把持したり、把持を解除した状態で前記循環経路上の循環方向へ移動可能なように設けられる第2把持ブロックと、前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが前記2枚のテストトレイを把持及び把持を解除するように作動させる把持ブロック作動装置と、前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックを前記循環経路上で共に移動させる把持ブロック移動装置とを含む。
【選択図】図5
Description
511 第1把持ブロック
512 第2把持ブロック
520 把持ブロック作動装置
521 第1把持ブロック作動器
522 第2把持ブロック作動器
530 把持ブロック移動装置
531 連結フレーム
532a ベルト
532b 駆動プーリ
532c 被動プーリ
533 正逆回転モータ
540 垂直移動装置
541 第1垂直移動器
541d 空圧シリンダ
541e 第1垂直移動部材
542 第2垂直移動器
542d 空圧シリンダ
542e 第2垂直移動部材
Claims (12)
- 一定の循環経路を循環する前後2枚のテストトレイのうち前のテストトレイを把持したり、把持を解除した状態で前記循環経路上の循環方向へ移動可能なように設けられる第1把持ブロックと、
前記第1把持ブロックと一定間隔離間するように設けられ、前記前後2枚のテストトレイのうち後のテストトレイを把持したり、把持を解除した状態で前記循環経路上の循環方向へ移動可能なように設けられる第2把持ブロックと、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが前記2枚のテストトレイを把持及び把持を解除するように作動させる把持ブロック作動装置と、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックを前記循環経路上で共に移動させる把持ブロック移動装置と
を含むことを特徴とするテストハンドラ用テストトレイ移送装置。 - 前記把持ブロック作動装置は、
前記第1把持ブロックを作動させる第1把持ブロック作動器と、
前記第1把持ブロック作動器と独立して動作し、前記第2把持ブロックを作動させる第2把持ブロック作動器と
を含むことを特徴とする請求項1に記載のテストハンドラ用テストトレイ移送装置。 - 前記把持ブロック移動装置は、
前記循環経路上の循環方向へ移動可能なように設けられ、その一側には前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが作動可能なように結合される連結フレームと、
前記連結フレームを前記循環経路上の循環方向へ移動させる動力を提供する動力源と、
前記動力源から発生する動力を前記連結フレームに伝達する動力伝達装置と
を含むことを特徴とする請求項1に記載のテストハンドラ用テストトレイ移送装置。 - 前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックを前記循環経路に垂直な方向へ移動させる垂直移動装置を更に含むことを特徴とする請求項1に記載のテストハンドラ用テストトレイ移送装置。
- 前記垂直移動装置は、
前記第1把持ブロックを前記循環経路に垂直な方向へ移動させる第1垂直移動器と、
前記第1垂直移動器と独立して動作し、前記第2把持ブロックを前記循環経路に垂直な方向へ移動させる第2垂直移動器と
を含むことを特徴とする請求項4に記載のテストハンドラ用テストトレイ移送装置。 - 前記第1垂直移動器は、
前記循環経路に垂直な方向へ移動可能なように前記連結フレームに結合され、その一側には前記第1把持ブロックが作動可能なように結合される第1垂直移動部材と、
前記第1垂直移動部材を前記循環経路に垂直な方向へ移動させるための動力を提供する第1動力源とを含み、
前記第2垂直移動器は、
前記循環経路に垂直な方向へ移動可能なように前記連結フレームに結合され、その一側には前記第2把持ブロックが作動可能なように結合される第2垂直移動部材と、
前記第2垂直移動部材を前記循環経路に垂直な方向へ移動させるための動力を提供する第2動力源と
を含むことを特徴とする請求項5に記載のテストハンドラ用テストトレイ移送装置。 - 一定の循環経路を循環するテストトレイを把持したり、把持を解除した状態で前記循環経路上の循環方向及び前記循環経路に垂直な方向へ移動可能なように設けられる把持ブロックと、
前記把持ブロックがテストトレイを把持及び把持を解除するように作動させる把持ブロック作動装置と、
前記把持ブロックを前記循環経路上の循環方向へ移動させる把持ブロック移動装置と、
前記把持ブロックを前記循環経路に垂直な方向へ移動させる垂直移動装置と
を含むことを特徴とするテストハンドラ用テストトレイ移送装置。 - 前記把持ブロック移動装置は、
前記循環経路上の循環方向へ移動可能なように設けられる連結フレームと、
前記連結フレームを前記循環経路上の循環方向へ移動させる動力を提供する第1動力源と、
前記動力源から発生する動力を前記連結フレームに伝達する動力伝達装置とを含み、
前記垂直移動装置は、
前記循環経路に垂直な方向へ移動可能なように前記連結フレームに結合され、その一側には前記把持ブロックが作動可能なように結合される垂直移動部材と、
前記垂直移動部材を前記循環経路に垂直な方向へ移動させるための動力を提供する第2動力源と
を含むことを特徴とする請求項7に記載のテストハンドラ用テストトレイ移送装置。 - 顧客トレーに積載されている半導体素子をローディング位置にあるテストトレイにロードさせるローディング装置と、
前記ローディング装置によりローディングが完了したテストトレイに積載されている半導体素子のテストを支援するテストチャンバと、
前記テストチャンバを経由してアンローディング位置に来たテストトレイに積載されているテスト済みの半導体素子を顧客トレーにアンロードさせるアンローディング装置と、
前記ローディング位置、テストチャンバ及びアンローディング位置を循環する循環経路上のテストトレイを移送させるためのテストトレイ移送装置とを含み、
前記テストトレイ移送装置は、
前記循環経路を循環するテストトレイを把持したり、把持を解除した状態で前記循環経路上の循環方向及び前記循環経路に垂直な方向へ移動可能なように設けられる把持ブロックと、
前記把持ブロックがテストトレイを把持及び把持を解除するように作動させる把持ブロック作動装置と、
前記把持ブロックを前記循環経路上の循環方向へ移動させる把持ブロック移動装置と、
前記把持ブロックを前記循環経路に垂直な方向へ移動させる垂直移動装置と
を含むことを特徴とするテストハンドラ。 - 第1把持ブロック及び第2把持ブロックがテストトレイをそれぞれ把持するA段階と、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが共に循環方向へ移動することで、それぞれのテストトレイを前記循環方向へ移動させるB段階と、
前記第1把持ブロックがテストトレイの把持を解除するC段階と、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが共に前記循環方向へ移動することで、前記第2把持ブロックに把持されたテストトレイを前記循環方向へ移動させるD段階と、
前記第2把持ブロックがテストトレイの把持を解除するE段階と、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが共に循環方向と逆方向へ移動するF段階と
を含むことを特徴とするテストハンドラ用テストトレイ移送方法。 - 前記C段階は、
前記第1把持ブロックが後進するC1段階と、
前記第1把持ブロックが上昇するC2段階とを含み、
前記E段階は、
前記第2把持ブロックが後進するE1段階と、
前記第2把持ブロックが上昇するE2段階と
を含むことを特徴とする請求項10に記載のテストハンドラ用テストトレイ移送方法。 - 第1把持ブロックがテストトレイの把持を解除した状態で第2把持ブロックがテストトレイを把持するA段階と、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが共に循環方向へ移動することで、前記第2把持ブロックに把持されたテストトレイを前記循環方向へ移動させるB段階と、
前記第2把持ブロックがテストトレイの把持を解除するC段階と、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが共に循環方向と逆方向へ移動するD段階と、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックがテストトレイをそれぞれ把持するE段階と、
前記第1把持ブロック及び第2把持ブロックが共に循環方向へ移動することで、それぞれのテストトレイを前記循環方向へ移動させるF段階と
を含むことを特徴とするテストハンドラ用テストトレイ移送方法。
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